KR960004243A - 진공자외선 파장대 광선용 실리카 유리의 제조방법, 및 그에 의해 제조된 실리카 유리 및 광학 부재 - Google Patents

진공자외선 파장대 광선용 실리카 유리의 제조방법, 및 그에 의해 제조된 실리카 유리 및 광학 부재 Download PDF

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Abstract

본 발명은 (a) 수트(soot) 전형태를 제조하는 단계; (b) 불소-도핑된 다공성 수트 전형태를 얻기 위해 불소를 함유하는 대기 중에서 수트 전형태를 가열하는 단계; (c) 불소-도핑된 합성 실리카 유리를 얻기 위해서 불소-도핑된 수트 전형태를 응고시키는 단계; (d) 불소 및 수소 분자로 도핑된 합성 실리카 유리를 얻기 위해서 수소 기체를 함유하는 대기 중에서 불소-도핑된 합성 실리카 유리를 가열하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하여, 진공 자외광용 합성 실리카 유리를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 합성 실리카 유리는 진공 자외선 파장 범위의 광에 대한 고투과성 및 높은 자외선 광 내성을 모두 갖는다.

Description

진공자외선 파장대 광선용 실리카 유리의 제조방법, 및 그에 의해 제조된 실리카 유리 및 광학 부재
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (21)

  1. (a) 미세한 유리 입자를 얻기 위해서 화염속에서 실리콘 화합물을 가수분해시키고, 다공성 유리 덩어리를 형성시키기 위해 미세한 유리 입자를 석출시키는 단계; (b) 불소-도핑된 다공성 유리 덩어리를 얻기 위해 불소를 함유하는 대기 중에서 다공성 유리 덩어리를 가열하는 단계; (c) 불소-도핑된 합성 실리카 유리를 얻기 위해서 불소-도핑된 다공성 유리 덩어리를 응고시키는 단계; 및 (d) 불소 및 수소 분자로 도핑된 합성 실리카 유리를 얻기 위해서 수소 기체를 함유하는 대기 중에서 불소-도핑된 합성 실리카 유리를 가열하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하여, 진공 자외 파장대의 광을 사용하는 합성 실리카 유리를 제조하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, (c) 단계에서 다공성 유리 덩어리를 불소를 함유하는 대기 중에서 응고시킴을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, (d) 단계에서 불소-도핑된 합성 실리카 유리를 500℃이하의 온도에서 수소 기체를 함유하는 대기 중에서 가열함을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, (c) 단계와 (d) 단계 사이에 추가로 (e) 700℃ 이하의 온도에서 10° 내지 10-10atm의 산소 분압을 갖는 불활성 기체 대기 중에서 상기 불소-도핑된 합성 실리카 유리를 가열하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, (a) 단계와 (b) 단계 사이에 추가로 (f) 상기 다공성 유리 덩어리를 염소를 함유하는 대기 중에서 가열하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, (b) 단계에서 상기 다공성 유리 덩어리를 01. 내지 100 vol%의 불소 화합물 기체를 함유하는 불활성 기체 대기 중에서 0.1 내지 10acm의 압력 하에서 1,000 내지 1,700℃의 온도로 가열함을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, (c) 단계에서, 상기 다공성 유리 덩어리를 0.1 내지 100vol%의 불소 화합물 기체를 함유하는 불활성 기체 대기 중에서 0.1 내지 10atm의 압력 하에서 상기 유리의 연화점 이상의 온도로 응고시킴을 특징으로 하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, (b) 단계 및 (c) 단계가 단일 단계로 수행됨을 특징으로 하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, (d) 단계에서, 상기 블소-도핑된 합성 실리카 유리를 0.1 내지 100vol%의 수소 기체를 함유하는 불활성 기체 대기 중에서 0.1 내지 10atm의 압력 하에서 0 내지 500℃의 온도로 가열함을 특징으로 하는 방법.
  10. 제1항에 있어서, 불소 및 수소 분자가 도핑된 상기 합성 실리카 유리카 100ppm 이상의 불소 농도 및 1×1017분자/㎤ 이상의 수소 분자 농도를 가짐을 특징으로 하는 방법.
  11. 제1항에 따르는 방법에 의해 제조도니 진공 자외 파장대의 광을 사용하는 불소 및 수소 분자-도핑된 합성 실리카 유리.
  12. 제11항에 있어서, 상기 합성 실리카 유리가 100ppm 이상의 불소 농도 및 1×1017분자/㎤ 이상의 수소 분자 농도를 가짐을 특징으로 하는 실리카 유리.
  13. 제11항에 있어서, 상기 합성 실리카 유리가 100 내지 30,000ppm의 불소 농도 및 1×1017분자/㎤의 수소 분자 농도를 가짐을 특징으로 하는 실리카 유리.
  14. 제11항에 있어서, 상기 합성 실리캉 유리가 10ppm 내지 100ppm의 OH기 농도를 가짐을 특징으로 하는 실리카 유리.
  15. 제1항에 따르는 방법으로 제조된 불소-및 수소 분자-도핑된 합성 실리카 유리로 이루어짐을 특징으로 하는 진공 자외 파장대의 광을 사용하는 광학 부재.
  16. 제15항에 있어서, 상기 합성 실리카 유리가 100ppm 이상의 불소 농도 및 1×1017분자/㎤ 이상의 수소 분자 농도를 가짐을 특징으로 하는 부재.
  17. 제15항에 있어서, 상기 합성 실리카 유리가 100 내지 30,000ppm의 불소 농도 및 1×1017분자/㎤의 수소 분자 농도를 가짐을 특징으로 하는 부재.
  18. 제15항에 있어서, 상기 합성 실리카 유리가 100 내지 100ppm의 OH기 농도를 가짐을 특징으로 하는 부재.
  19. 감광성 기판이 주 표면 위에 고정되도록 하는 스테이지; 소정 파장의 노출광을 방출하여 마스크 소정 패턴을 상기 기판 상에 전이시키기 위한 조명 광학계; 상기 마스크의 패턴상을 상기 기판 상에 투영하기 위해 마스크가 장착된 표면과 상기 기판 사이에 제공된 투영 광학계; 및 제1항에 따르는 방법으로 제조된 불소-및 수소 분자-도핑된 합성 실리카 유리로 이루어진 광학 부재로 이루어짐을 특징으로 하여, 노출광으로서 진공 자외 파장대의 광을 사용하는 노광 장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 조명 광학계가 상기 광학 부재로 이루어짐을 특징으로 하는 노광 장치.
  21. 제19항에 있어서, 상기 투영 광학계가 상기 광학 부재로 이루어짐을 특징으로 하는 노광 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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