JPH0656457A - 紫外線伝送用ファイバの製造方法 - Google Patents
紫外線伝送用ファイバの製造方法Info
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- JPH0656457A JPH0656457A JP4235196A JP23519692A JPH0656457A JP H0656457 A JPH0656457 A JP H0656457A JP 4235196 A JP4235196 A JP 4235196A JP 23519692 A JP23519692 A JP 23519692A JP H0656457 A JPH0656457 A JP H0656457A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/02—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor
- C03B37/025—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor from reheated softened tubes, rods, fibres or filaments, e.g. drawing fibres from preforms
- C03B37/027—Fibres composed of different sorts of glass, e.g. glass optical fibres
- C03B37/02718—Thermal treatment of the fibre during the drawing process, e.g. cooling
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C21/00—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface
- C03C21/007—Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in gaseous phase
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 紫外線伝送による伝送損失増の小さい紫外線
伝送用光ファイバの製造方法を提供する。 【効果】 コアが純粋石英、クラッドがフッ素ドープ石
英からなる光ファイバ母材１を一端から溶融線引きし
て、線引き直後の未だ高温のときに水素ガス雰囲気にさ
らすか、もしくは線引きされた光ファイバを高温に維持
された水素ガスにさらすようにして水素を光ファイバ内
に多量に拡散させることによって、光ファイバに紫外線
を伝送させても伝送損失増が抑制される。
伝送用光ファイバの製造方法を提供する。 【効果】 コアが純粋石英、クラッドがフッ素ドープ石
英からなる光ファイバ母材１を一端から溶融線引きし
て、線引き直後の未だ高温のときに水素ガス雰囲気にさ
らすか、もしくは線引きされた光ファイバを高温に維持
された水素ガスにさらすようにして水素を光ファイバ内
に多量に拡散させることによって、光ファイバに紫外線
を伝送させても伝送損失増が抑制される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、エキシマレーザなど
の紫外線を伝送させるための光ファイバ製造方法に関す
るもので、紫外線伝送による光ファイバの損失増加の小
さいものを提供する。
の紫外線を伝送させるための光ファイバ製造方法に関す
るもので、紫外線伝送による光ファイバの損失増加の小
さいものを提供する。
【０００２】
【従来の技術】エキシマレーザなどの紫外線を伝送させ
るファイバにおいては、コアとして純粋石英が採用され
ている。その理由は、Ｇｅドープ石英ではレーリー散乱
による損失量が紫外線領域で大きく、また、紫外線の透
過により損失増加が生じ透過率が減少してしまうからで
ある。この点、純粋石英は紫外線の透過による損失増が
Ｇｅドープ石英よりも比較的小さいため、このような用
途に対して用いられる。さらに、純粋石英でもＯＨ基が
多量にドープされたものは効果的である。
るファイバにおいては、コアとして純粋石英が採用され
ている。その理由は、Ｇｅドープ石英ではレーリー散乱
による損失量が紫外線領域で大きく、また、紫外線の透
過により損失増加が生じ透過率が減少してしまうからで
ある。この点、純粋石英は紫外線の透過による損失増が
Ｇｅドープ石英よりも比較的小さいため、このような用
途に対して用いられる。さらに、純粋石英でもＯＨ基が
多量にドープされたものは効果的である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ファイバに
ＯＨ基をドープさせる手段としては、ＶＡＤ法などによ
って得られた多孔質の石英ガラスプリフォームを透明ガ
ラス化する際に、水素やや水蒸気を流して行なうことが
考えられるが、このような方法によってもドープしうる
ＯＨ基量はせいぜい１０００ｐｐｍが限度である。この
ため、このような処理を施したファイバを用いても強い
紫外線を伝送させると伝送損失が増大することは否めな
かった。そこで、この発明者等は上記光ファイバを高
温、高圧の水素ガス雰囲気に維持した状態で紫外線を伝
送させるという、紫外線による損失増加を考慮した提案
を先にした。しかし、この方法は紫外線による損失増加
を抑制するという点においては効果を発揮するものの、
光ファイバを高温にさらすため、光ファイバを保護する
コーティング層が劣化する、高圧にするには光ファイバ
長に限りがあるなどといった新たな課題があることが判
明した。
ＯＨ基をドープさせる手段としては、ＶＡＤ法などによ
って得られた多孔質の石英ガラスプリフォームを透明ガ
ラス化する際に、水素やや水蒸気を流して行なうことが
考えられるが、このような方法によってもドープしうる
ＯＨ基量はせいぜい１０００ｐｐｍが限度である。この
ため、このような処理を施したファイバを用いても強い
紫外線を伝送させると伝送損失が増大することは否めな
かった。そこで、この発明者等は上記光ファイバを高
温、高圧の水素ガス雰囲気に維持した状態で紫外線を伝
送させるという、紫外線による損失増加を考慮した提案
を先にした。しかし、この方法は紫外線による損失増加
を抑制するという点においては効果を発揮するものの、
光ファイバを高温にさらすため、光ファイバを保護する
コーティング層が劣化する、高圧にするには光ファイバ
長に限りがあるなどといった新たな課題があることが判
明した。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、以上の観点
にたってなされたもので、その特徴とする請求項１記載
の発明は、コアが純粋石英、クラッドがフッ素ドープ石
英からなる光ファイバ母材を一端から溶融線引きしてフ
ァイバ化するとともに、線引き直後の高温のファイバを
水素ガス雰囲気にさらす光ファイバの製造方法にある。
また、その特徴とする記載項２記載の発明は、光ファイ
バ温度が１０００℃以上である請求項１記載の光ファイ
バの製造方法にある。さらに、その特徴とする請求項３
記載の発明は、コアが純粋石英、クラッドがフッ素ドー
プ石英からなる光ファイバ母材を一端から溶融線引きし
てファイバ化し、その後高温の水素ガス雰囲気にさらす
光ファイバの製造方法にある。さらにまた、その特徴と
する請求項４記載の発明は、水素ガス雰囲気温度が１０
００〜２０００℃以上である請求項３記載の光ファイバ
の製造方法にある。なお、ここで、水素ガスにさらされ
る光ファイバ自身の温度もしくは水素ガス雰囲気温度を
１０００℃以上としたのは、これ以下では光ファイバ内
への水素の拡散量が十分とはいえないからである。
にたってなされたもので、その特徴とする請求項１記載
の発明は、コアが純粋石英、クラッドがフッ素ドープ石
英からなる光ファイバ母材を一端から溶融線引きしてフ
ァイバ化するとともに、線引き直後の高温のファイバを
水素ガス雰囲気にさらす光ファイバの製造方法にある。
また、その特徴とする記載項２記載の発明は、光ファイ
バ温度が１０００℃以上である請求項１記載の光ファイ
バの製造方法にある。さらに、その特徴とする請求項３
記載の発明は、コアが純粋石英、クラッドがフッ素ドー
プ石英からなる光ファイバ母材を一端から溶融線引きし
てファイバ化し、その後高温の水素ガス雰囲気にさらす
光ファイバの製造方法にある。さらにまた、その特徴と
する請求項４記載の発明は、水素ガス雰囲気温度が１０
００〜２０００℃以上である請求項３記載の光ファイバ
の製造方法にある。なお、ここで、水素ガスにさらされ
る光ファイバ自身の温度もしくは水素ガス雰囲気温度を
１０００℃以上としたのは、これ以下では光ファイバ内
への水素の拡散量が十分とはいえないからである。
【０００５】
【作用】光ファイバが１０００℃以上の高温のときに水
素ガス雰囲気にさらすか、もしくは光ファイバを１００
０〜２０００℃程度の高温の水素ガス雰囲気にさらすこ
とにより、水素がファイバ内に容易に拡散され、紫外線
伝送による伝送損失増が抑制される。
素ガス雰囲気にさらすか、もしくは光ファイバを１００
０〜２０００℃程度の高温の水素ガス雰囲気にさらすこ
とにより、水素がファイバ内に容易に拡散され、紫外線
伝送による伝送損失増が抑制される。
【０００６】
（実施例１）図１は、この発明の紫外線伝送用ファイバ
の製造方法の概略説明図で、まず、その構成について説
明すると、１は純粋石英コア−フッ素ドープ石英クラッ
ドからなる光ファイバ母材で所定速度で降下されるよう
になっている。２はこの光ファイバ母材１を光ファイバ
１０に溶融線引きする加熱炉で、２１は発熱体、２２は
炉心管である。３はこの加熱炉２の直下に位置された石
英パイプで、３１は水素ガス供給口、３２はその出口で
ある。なお、この石英パイプの位置は、未だ光ファイバ
の温度が１０００℃以上を維持できる位置とされる。以
上の構成において、発熱体２１によって炉心管２２内を
高温に維持して光ファイバ母材１を線引きして光ファイ
バ１０となし、この線引き直後の高温状態の光ファイバ
１０を水素ガスが流されている石英パイプ３内を通過さ
せて、光ファイバ１０内に水素ガスを拡散させる。その
後、図示しないが、水素を多量に含む光ファイバ１０上
にＵＶ樹脂を被覆する。
の製造方法の概略説明図で、まず、その構成について説
明すると、１は純粋石英コア−フッ素ドープ石英クラッ
ドからなる光ファイバ母材で所定速度で降下されるよう
になっている。２はこの光ファイバ母材１を光ファイバ
１０に溶融線引きする加熱炉で、２１は発熱体、２２は
炉心管である。３はこの加熱炉２の直下に位置された石
英パイプで、３１は水素ガス供給口、３２はその出口で
ある。なお、この石英パイプの位置は、未だ光ファイバ
の温度が１０００℃以上を維持できる位置とされる。以
上の構成において、発熱体２１によって炉心管２２内を
高温に維持して光ファイバ母材１を線引きして光ファイ
バ１０となし、この線引き直後の高温状態の光ファイバ
１０を水素ガスが流されている石英パイプ３内を通過さ
せて、光ファイバ１０内に水素ガスを拡散させる。その
後、図示しないが、水素を多量に含む光ファイバ１０上
にＵＶ樹脂を被覆する。
【０００７】（実施例２）水素ガスを図１のように石英
パイプを用いて供給することなく、図１における炉心管
２２内に下部から供給する。このとき光ファイバは溶融
線引きされたばかりであり、その温度は線引き温度、例
えば２０００℃程度である。この方法でも光ファイバ１
０内に水素を拡散させることができる。
パイプを用いて供給することなく、図１における炉心管
２２内に下部から供給する。このとき光ファイバは溶融
線引きされたばかりであり、その温度は線引き温度、例
えば２０００℃程度である。この方法でも光ファイバ１
０内に水素を拡散させることができる。
【０００８】（実施例３）図２は、この発明方法による
他の例で、同一符号は図１と同一物を示す。４は石英の
容器で上下に開口４１、４２を有して線引きされた光フ
ァイバ１０が挿通されるようになされているとともに、
内部には水素ガスが供給管５を介して充填されるように
なされている。６はこの容器４を高温に維持するための
発熱体である。以上の構成において、発熱体２１によっ
て炉心管２２内を高温に維持して光ファイバ母材１を線
引きして光ファイバ１０となし、次いで、高温状態の水
素ガスが充填されている容器４内を通過させて光ファイ
バ１０に水素を拡散させる。その後、光ファイバ１０に
ＵＶ樹脂などのコーティングを施す。
他の例で、同一符号は図１と同一物を示す。４は石英の
容器で上下に開口４１、４２を有して線引きされた光フ
ァイバ１０が挿通されるようになされているとともに、
内部には水素ガスが供給管５を介して充填されるように
なされている。６はこの容器４を高温に維持するための
発熱体である。以上の構成において、発熱体２１によっ
て炉心管２２内を高温に維持して光ファイバ母材１を線
引きして光ファイバ１０となし、次いで、高温状態の水
素ガスが充填されている容器４内を通過させて光ファイ
バ１０に水素を拡散させる。その後、光ファイバ１０に
ＵＶ樹脂などのコーティングを施す。
【０００９】（具体例１）コアとなる部分が直径２４ｍ
ｍの純粋石英、クラッドとなる部分が厚さ３ｍｍのＦド
ープ石英、そして両者の比屈折率差が１％、外径３０ｍ
ｍの光ファイバ母材１を用意した。この母材１を２００
０℃に維持された加熱炉２を用いて、その一端から線引
きして直径１２５μｍの光ファイバ１０となし、その直
後の温度が未だ１５００℃の光ファイバ１０を水素ガス
が２０リットル／分流されている石英パイプ３内を通過
させた。この石英パイプ３の長さは３００ｍｍ、直径は
６０ｍｍとした。また、光ファイバの線引速度は３０ｍ
／分とした。最後に、この光ファイバの周りにＵＶ樹脂
をコーティングしてその外径を２５０μｍとした。得ら
れた光ファイバを用いてエキシマレーザ（ＸｅＣｌ、波
長３０８ｎｍ）を２０ｍＪ、１０００時間伝送したが、
伝送損失の増加は見られなかった。因みに、水素ガス処
理を全くしない光ファイバは５０ｄＢ／ｋｍの伝送損失
増が見られた。
ｍの純粋石英、クラッドとなる部分が厚さ３ｍｍのＦド
ープ石英、そして両者の比屈折率差が１％、外径３０ｍ
ｍの光ファイバ母材１を用意した。この母材１を２００
０℃に維持された加熱炉２を用いて、その一端から線引
きして直径１２５μｍの光ファイバ１０となし、その直
後の温度が未だ１５００℃の光ファイバ１０を水素ガス
が２０リットル／分流されている石英パイプ３内を通過
させた。この石英パイプ３の長さは３００ｍｍ、直径は
６０ｍｍとした。また、光ファイバの線引速度は３０ｍ
／分とした。最後に、この光ファイバの周りにＵＶ樹脂
をコーティングしてその外径を２５０μｍとした。得ら
れた光ファイバを用いてエキシマレーザ（ＸｅＣｌ、波
長３０８ｎｍ）を２０ｍＪ、１０００時間伝送したが、
伝送損失の増加は見られなかった。因みに、水素ガス処
理を全くしない光ファイバは５０ｄＢ／ｋｍの伝送損失
増が見られた。
【００１０】（具体例２）図２の方法を用いた。発熱体
６を動作させて水素ガスで充填された容器４内を２００
０℃に維持した。他の条件はすべて具体例１と同様とし
た。具体例１と同様に損失増はなかった。
６を動作させて水素ガスで充填された容器４内を２００
０℃に維持した。他の条件はすべて具体例１と同様とし
た。具体例１と同様に損失増はなかった。
【００１１】
【発明の効果】この発明方法は、純粋石英コア−Ｆドー
プ石英クラッドファイバの線引き直後の未だ高温のとき
に水素ガス雰囲気にさらすか、もしくは線引きされた光
ファイバを高温に維持された水素ガスにさらすようにす
るので、水素を光ファイバ内に多量に含ませることがで
き、以て紫外線を伝送させても、それによる光ファイバ
の伝送損失増を抑制できる。
プ石英クラッドファイバの線引き直後の未だ高温のとき
に水素ガス雰囲気にさらすか、もしくは線引きされた光
ファイバを高温に維持された水素ガスにさらすようにす
るので、水素を光ファイバ内に多量に含ませることがで
き、以て紫外線を伝送させても、それによる光ファイバ
の伝送損失増を抑制できる。
【図１】この発明方法を示す概略説明図である。
【図２】この発明方法の他の例を示す概略説明図であ
る。
る。
１ 光ファイバ母材 ２ 加熱炉 ３ 石英パイプ ４ 石英の容器
フロントページの続き (72)発明者 妻沼 孝司 千葉県佐倉市六崎1440番地 藤倉電線株式 会社佐倉工場内 (72)発明者 真田 和夫 千葉県佐倉市六崎1440番地 藤倉電線株式 会社佐倉工場内
Claims (4)
- 【請求項１】 コアが純粋石英、クラッドがフッ素ドー
プ石英からなる光ファイバ母材を一端から溶融線引きし
てファイバ化するとともに、線引き直後の高温のファイ
バを水素ガス雰囲気にさらすことを特徴とする紫外線伝
送用ファイバの製造方法。 - 【請求項２】 光ファイバの温度が１０００℃以上であ
ることを特徴とする請求項１記載の紫外線伝送用ファイ
バの製造方法。 - 【請求項３】 コアが純粋石英、クラッドがフッ素ドー
プ石英からなる光ファイバ母材を一端から溶融線引きし
てファイバ化し、その後高温の水素ガス雰囲気にさらす
ことを特徴とする紫外線伝送用ファイバの製造方法。 - 【請求項４】 水素雰囲気の温度が１０００〜２０００
℃以上であることを特徴とする請求項３記載の紫外線伝
送用ファイバの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4235196A JPH0656457A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 紫外線伝送用ファイバの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4235196A JPH0656457A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 紫外線伝送用ファイバの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0656457A true JPH0656457A (ja) | 1994-03-01 |
Family
ID=16982504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4235196A Pending JPH0656457A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 紫外線伝送用ファイバの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0656457A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0691312A1 (en) | 1994-07-07 | 1996-01-10 | Nikon Corporation | Method for producing silica glass for use with light in a vacuum ultraviolet wavelength range, and silica glass and optical member produced by the method |
| EP0780707A1 (de) | 1995-12-21 | 1997-06-25 | Heraeus Quarzglas GmbH | Bauteil für die Übertragung energiereicher UV-Strahlung und Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteils und seine Verwendung |
| EP1598323A1 (en) * | 2004-05-12 | 2005-11-23 | The Boc Group, Inc. | Method for manufacturing optical fiber |
| US7277616B2 (en) | 2002-05-17 | 2007-10-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical fiber bundle and method of manufacturing the same |
| US7630611B2 (en) | 2001-06-08 | 2009-12-08 | Draka Fibre Technology B.V. | Optical fiber and method of manufacturing an optical fiber |
-
1992
- 1992-08-12 JP JP4235196A patent/JPH0656457A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0691312A1 (en) | 1994-07-07 | 1996-01-10 | Nikon Corporation | Method for producing silica glass for use with light in a vacuum ultraviolet wavelength range, and silica glass and optical member produced by the method |
| EP0780707A1 (de) | 1995-12-21 | 1997-06-25 | Heraeus Quarzglas GmbH | Bauteil für die Übertragung energiereicher UV-Strahlung und Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteils und seine Verwendung |
| US7630611B2 (en) | 2001-06-08 | 2009-12-08 | Draka Fibre Technology B.V. | Optical fiber and method of manufacturing an optical fiber |
| US7277616B2 (en) | 2002-05-17 | 2007-10-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical fiber bundle and method of manufacturing the same |
| EP1598323A1 (en) * | 2004-05-12 | 2005-11-23 | The Boc Group, Inc. | Method for manufacturing optical fiber |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
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|
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