KR940022390A - 자기헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 자기헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의자기헤드는 기판상의 최소한 자기기록매체 대향면의 근방부에 금속자성막이 형성되는 1쌍의 자기코어 반체(半體)를 갖대고, 금속자성막 사이에 자기갭이 형성되는 자기헤드에 있어서, 최소한 한쪽의 자기코어 반체의 맞댐면에 코일형성용의 요부(凹部)를 형성하고, 이 요부내에 박막공정에 의한 코일을 형성한다.
또한, 본 발명의 다채널자기헤드는 자기갭의 아지머스각이 서로 다른 복수의 자기헤드를 접합일체화한 다채널자기헤드에 있어서, 각 자기헤드는 기판상의 최소한 자기기록매체 대향면의 근방부에 금속자성막이 형성되는 1쌍의 자기코어 반체를 갖대고, 금속자성막사이에 자기갭이 형성되고, 최소한 한쪽의 자기코어 반체의 맞댐면에 코일형성용의 요부가 형성되는 동시에, 이 요부내에 박막공정에 의해 코일이 형성되어 있다. 본 발명은 또한 상기 자기헤드 및 다채널자기헤드의 제조방법이 개시되어 있다.

Description

자기헤드 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 각 자기헤드블록의 제조공정을 공정순으로 나타낸 것이며, 기판을 나타낸 개략사시도,
제2도는 기판에의 제1의 홈가공공정을 나타낸 개략사시도,
제3도는 금속자성막의 성막공정을 나타낸 개략사시도이다.

Claims (25)

  1. 기판상의 최소한 자기기록매체 대향면의 근방부에 금속자성막이 형성되어 이루어지는 1쌍의 자기코어 반체(半體)를 맞대고, 금속자성막 사이에 자기갭이 형성하여 이루어지는 자기헤드에 있어서, 최소한 한쪽의 자기코어 반체의 맞댐면에 코일형성용의 요부(凹部)가 형성되는 동시에, 이 요부내에 박막공정에 의해 형성된 코일이 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  2. 제1항에 있어서, 1쌍의 자기코어 반체의 맞댐면에 각각 코일형성용의 요부가 형성되는 동시에, 이들 요부내에 박막공정에 의해 형성된 코일이 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  3. 제1항에 있어서, 코일이 요부내에 형성된 유리층상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  4. 제1항에 있어서, 코일 및 요부를 덮는 절연막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  5. 제1항에 있어서, 코일이 단층의 코일인 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  6. 제1항에 있어서, 코일이 다층의 코일인 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  7. 제1항에 있어서, 트랙폭규제홈이 자기갭의 양측에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  8. 제1항에 있어서, 금속자성막이 자기갭을 사이에 두고 경사지게 이어져 배설되어있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  9. 제2항에 있어서, 각 자기코어 반체에 설치된 코일은 서로 도통하기 위한 접점전극을 가지는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  10. 제9항에 있어서, 접점전극이 Ti, Cr, Mo, W, Nb, Ta로부터 선정되는 최소한 1종으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  11. 제9항에 있어서, 코일 및 요부가 코일의 접점전극을 제외하고 절연막에 의해 덮여 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  12. 제10항에 있어서, 접점전극의 대향면상에 금으로 이루어지는 막이 형성되고, 금의 확산접합에 의해 접점전극끼리가 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  13. 제1항에 있어서, 자기갭이 금의 확산접합에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기헤드.
  14. 금속자성막을 성막한 1쌍의 기판의 맞댐면에 각각 유리를 충전하여 평탄화하는 공정과, 최소한 한쪽의 기판의 맞댐면에 코일형성영역에 대응하여 이온밀링에 의해 요부를 형성하는 공정과, 상기 요부내에 도체막을 성막(成膜)하고, 포토리소그라피기술에 의해 패터닝하여 코일을 형성하는 공정과, 코일 및 요부를 덮어 절연막을 성막하고, 맞댐면표면을 연마하여 평탄화하는 공정과, 상기 1쌍의 기판을 갭재를 통해 맞대는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기헤드의 제조방법.
  15. 금속자성막을 성막한 1쌍의 기판의 맞댐면에 각각 유리를 충전하여 평탄화하는 공정과, 이들 양 기판의 맞댐면에 코일형성영역에 대응하여 이온밀링에 의해 요부를 형성하는 공정과, 상기 요부내에 도체막을 성막하고, 포토리소그라피기술에 의해 패터닝하여 코일을 형성하는 공정과, 코일 및 요부를 덮어 절연막을 성막하고, 맞댐면표면을 연마하여 평탄화하는 공정과, 상기 1쌍의 기판을 갭재를 통해 맞대는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기헤드의 제조방법.
  16. 자기갭의 아지머스각이 서로 다른 복수의 자기헤드를 접합일체화하여 이루어지는 다채널자기헤드에 있어서, 각 자기헤드는 기판상의 최소한 자기기록매체 대향면의 근방부에 금속자성막이 형성되어 이루어지는 1쌍의 자기코어 반체를 맞대고, 상기 금속자성막사이에 자기갭을 형성하여 이루어지고, 최소한 한쪽의 자기코어 반체의 맞댐면에 코일형성용의 요부가 형성되는 동시에, 이 요부내에 박막공정에 의해 형성된 코일이 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 다채널자기헤드.
  17. 제16항에 있어서, 1쌍의 자기코어 반체의 맞댐면에 각각 코일형성용의 요부가 형성되는 동시에, 이들 요부내에 박막공정에 의해 형성된 코일이 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 다채널자기헤드.
  18. 제16항에 있어서, 자기갭의 아지머스각이 서로 다른 복수의 자기헤드가 접합일체화되어 있는 것을 특징으로 하는 다채널자기헤드.
  19. 제18항에 있어서, 1쌍의 자기헤드의 자기갭은 트랙피치방향으로 자기기록매체상의 트랙피치와 대략 같은 단차를 가지며, 또한 자기헤드주행방향으로 화상신호영역과 음성신호영역 사이에 배설되는 인터블록갭 영역의 길이와 트랙간단차의 거리와의 합보다 짧은 갭간 거리를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 다채널자기헤드.
  20. 제18항에 있어서, 입력디지탈화상신호를 복수의 화소데이터로 이루어지는 블록단위의 데이터로 변환하여 블록화하고, 이 블록화된 데이터를 블록단위로 압축부호화하고, 이 압축부호화된 데이터를 채널부호화하고, 이 채널부호화된 데이터를 자기기록매체에 기록하도록 한 디지털기록용의 자기헤드인 것을 특징으로 하는 다채널자기헤드.
  21. 제16항에 있어서, 각 자기헤드의 전극인출면이 외측에 향해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 다채널자기헤드.
  22. 제16항에 있어서, 각 자기헤드의 전극인출위치가 자기갭의 깊이방향에 있어서 서로 다른 것을 특징으로 하는 다채널자기헤드.
  23. 제16항에 있어서, 각 자기헤드의 접합계면에 자성막 또는 금속막이 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 다채널자기헤드.
  24. 금속자성막을 성막한 1쌍의 기판의 맞댐면에 각각 유리를 충전하여 평탄화하는 공정과, 최소한 한쪽의 기판의 맞댐면에 코일형성영역에 대응하여 이온밀링에 의해 요부를 형성하는 공정과, 상기 요부내에 도체막을 성막하고, 포토리소그라피기술에 의해 패터닝하여 코일을 형성하는 공정과, 코일 및 요부를 덮어서 절연막을 성막하고, 맞댐면의 표면을 연마하여 평탄화하는 공정과, 상기 1쌍의 기판을 갭재를 통해 맞대어 기본 자기헤드블록을 얻는 공정과, 복수의 기본 자기헤드블록을 겹쳐서 소정의 각도를 가지고 절단하며, 자기갭이 절단면에 대해 소정의 각도를 가진 경사자기헤드블록을 형성하는 공정과, 자기갭의 절단면에 대한 각도가 서로 다른 복수의 경사자기헤드블록 또는 경사자기헤드블록과 기본 자기헤드블록을 접합일체화하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다채널자기헤드의 제조방법.
  25. 금속자성막을 성막한 1쌍의 기판의 맞댐면에 각각 유리를 충전하여 평탄화하는 공정과, 이들 양 기판의 맞댐면에 코일형성영역에 대응하여 이온밀링에 의해 요부를 형성하는 공정과, 상기 요부내에 도체막을 성막하고, 포토리소그라피기술에 의해 패터닝하여 코일을 형성하는 공정과, 코일 및 요부를 덮어서 절연막을 성막하고, 맞댐면의 표면을 연마하여 평탄화하는 공정과, 상기 1쌍의 기판을 갭재를 통해 맞대어 기본 자기헤드블록을 얻는 공정과, 복수의 기본 자기헤드블록을 겹쳐서 소정의 각도를 가지고 절단하며, 자기갭이 절단면에 대해 소정의 각도를 가진 경사자기헤드블록을 형성하는 공정과, 자기갭의 절단면에 대한 각도가 서로 다른 복수의 경사자기헤드블록 또는 경사자기헤드블록과 기본 자기헤드블록을 접합일체화하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다채널자기헤드의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0689707A4 (en) * 1993-03-16 1996-05-29 Shyam C Das HYBRID READ-WRITE HEAD OBTAINED BY GAP AND THIN-LAYER METAL PROCESSES
JPH07169015A (ja) * 1993-12-10 1995-07-04 Sony Corp 磁気ヘッド
WO1995030984A1 (fr) * 1994-05-09 1995-11-16 Sony Corporation Tete magnetique et sa fabrication
JPH08203030A (ja) * 1995-01-25 1996-08-09 Sony Corp 磁気ヘッド装置及びその製造方法
JPH09245312A (ja) * 1996-03-07 1997-09-19 Sony Corp 磁気ヘッド及びその製造方法
FR2747226B1 (fr) * 1996-04-04 1998-04-30 Commissariat Energie Atomique Procedes de realisation d'une tete magnetique double a entrefers d'azimuts opposes
JPH09293207A (ja) * 1996-04-26 1997-11-11 Sony Corp 磁気ヘッド
JPH10302219A (ja) * 1997-04-30 1998-11-13 Fujitsu Ltd 薄膜磁気ヘッドおよび製造方法
JP2000293813A (ja) * 1999-04-08 2000-10-20 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 多チャンネル磁気ヘッド及びその製造方法及びそれを用いた磁気カードリーダ
US6496328B1 (en) 1999-12-30 2002-12-17 Advanced Research Corporation Low inductance, ferrite sub-gap substrate structure for surface film magnetic recording heads
US6989960B2 (en) * 1999-12-30 2006-01-24 Advanced Research Corporation Wear pads for timing-based surface film servo heads
US6859997B1 (en) 2000-09-19 2005-03-01 Western Digital (Fremont), Inc. Method for manufacturing a magnetic write element
US6861937B1 (en) 2002-06-25 2005-03-01 Western Digital (Fremont), Inc. Double winding twin coil for thin-film head writer
JP2004039074A (ja) * 2002-07-02 2004-02-05 Sony Corp マルチチャンネルヘッドの位置制御装置およびマルチチャンネルヘッドの位置制御方法
US8144424B2 (en) 2003-12-19 2012-03-27 Dugas Matthew P Timing-based servo verify head and magnetic media made therewith
WO2005109405A1 (en) 2004-05-04 2005-11-17 Advanced Research Corporation Intergrated thin film subgap/subpole structure for arbitrary gap pattern, magnetic recording heads and method of making the same
US8068301B2 (en) 2008-03-28 2011-11-29 Advanced Research Corporation Magnetic media formed by a thin film planar arbitrary gap pattern magnetic head
WO2011014836A2 (en) 2009-07-31 2011-02-03 Advanced Research Corporation Erase drive systems and methods of erasure for tape data cartridge

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5584016A (en) * 1978-12-19 1980-06-24 Sony Corp Magnetic head and its manufacture
US4743988A (en) * 1985-02-01 1988-05-10 Victor Company Of Japan, Ltd. Thin-film magnetic head
JP2551749B2 (ja) * 1985-02-05 1996-11-06 日本ビクター株式会社 薄膜磁気ヘッドの製造方法
JPS6271010A (ja) * 1985-09-25 1987-04-01 Hitachi Ltd 磁気ヘツド
JPS6280816A (ja) * 1985-10-04 1987-04-14 Sony Corp 薄膜磁気ヘツド
DE3776359D1 (en) * 1986-02-13 1992-03-12 Sony Corp Duennschichtmagnetkopf.
JPS62266708A (ja) * 1986-05-14 1987-11-19 Toshiba Corp 磁気ヘツド
FR2604021B1 (fr) * 1986-09-17 1988-10-28 Commissariat Energie Atomique Procede de realisation de tetes magnetiques en couches minces et a structure planaire et tete obtenue par ce procede
US5173825A (en) * 1986-10-15 1992-12-22 Canon Kabushiki Kaisha Magnetic head using magnetic oxide part and magnetic metal film
JPS63231713A (ja) * 1987-03-20 1988-09-27 Hitachi Ltd 磁気ヘツド
JPH01128213A (ja) * 1987-11-13 1989-05-19 Hitachi Ltd 金属薄膜磁気ヘッド
US5132861A (en) * 1989-10-02 1992-07-21 Behr Michael I Systems using superimposed, orthogonal buried servo signals
JPH0430308A (ja) * 1990-05-25 1992-02-03 Hitachi Ltd 磁気ヘッドおよびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US5666249A (en) 1997-09-09
EP0614173A2 (en) 1994-09-07
ATE193141T1 (de) 2000-06-15
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EP0614173A3 (en) 1995-01-11
DE69424456T2 (de) 2001-01-18
KR100314168B1 (ko) 2002-03-21
EP0614173B1 (en) 2000-05-17

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