JPH0626008B2 - 磁気抵抗効果型磁気ヘツド - Google Patents
磁気抵抗効果型磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPH0626008B2 JPH0626008B2 JP59242728A JP24272884A JPH0626008B2 JP H0626008 B2 JPH0626008 B2 JP H0626008B2 JP 59242728 A JP59242728 A JP 59242728A JP 24272884 A JP24272884 A JP 24272884A JP H0626008 B2 JPH0626008 B2 JP H0626008B2
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- JP
- Japan
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- magnetic
- gap
- yoke
- magnetic material
- head
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3906—Details related to the use of magnetic thin film layers or to their effects
- G11B5/3916—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide
- G11B5/3919—Arrangements in which the active read-out elements are coupled to the magnetic flux of the track by at least one magnetic thin film flux guide the guide being interposed in the flux path
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、特に磁気記録媒体との相対摺動速度の遅い
方式の高密度磁気記録装置，たとえば固定ヘッド方式の
デジタルオーディオシステムにおいて信号再生用として
使用される磁気抵抗効果型磁気ヘッドに関する。
方式の高密度磁気記録装置，たとえば固定ヘッド方式の
デジタルオーディオシステムにおいて信号再生用として
使用される磁気抵抗効果型磁気ヘッドに関する。
従来より、磁気抵抗効果素子（以下単にMR素子という）
を用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいては、MR素子
を直接磁気記録媒体に摺接するシールド型磁気ヘッドに
対して、耐摺動性に優れたいわゆるヨーク型磁気ヘッド
が開発されている。
を用いた磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいては、MR素子
を直接磁気記録媒体に摺接するシールド型磁気ヘッドに
対して、耐摺動性に優れたいわゆるヨーク型磁気ヘッド
が開発されている。
このヨーク型磁気ヘッドは、磁気記録媒体との対向面に
ギャップを形成して構成された磁気回路の一部に直列に
MR素子を設けたものである。
ギャップを形成して構成された磁気回路の一部に直列に
MR素子を設けたものである。
ところで、この種磁気ヘッドを薄膜技術を駆使して構成
する場合、MR素子が磁気回路を構成する磁性薄膜に比し
極めて薄く形成されるため、ＭＲ素子に流入する信号磁
束が途中からこれに対向する磁気回路形成体の方へ流出
してしまい、十分な出力が得られなくなる不都合があ
る。
する場合、MR素子が磁気回路を構成する磁性薄膜に比し
極めて薄く形成されるため、ＭＲ素子に流入する信号磁
束が途中からこれに対向する磁気回路形成体の方へ流出
してしまい、十分な出力が得られなくなる不都合があ
る。
そこで、従来では、たとえば特開昭58−115620，115621
号公報等に示されているように、フエライト等の磁性基
板に溝を設けるとともに、該溝を非磁性材により埋め込
み、この埋め込み非磁性材上に直接または他の電気的絶
縁層を介してMR素子を設けている。
号公報等に示されているように、フエライト等の磁性基
板に溝を設けるとともに、該溝を非磁性材により埋め込
み、この埋め込み非磁性材上に直接または他の電気的絶
縁層を介してMR素子を設けている。
すなわち、従来のこの種磁気ヘッドは、第４図および第
５図に示すように、下部ヨークとなるNi−Znフエライト
等の磁性基板(1)に溝(2)を設け、該溝(2)にガラス等の
非磁性材(3)を充填し、表面を研磨したのち、非磁性材
(3)上にMR素子(4)を溝(2)の縁の少なくとも一方には重
ならないように配し、MR素子(4)が重ならないようにし
た側の磁性基板(1)上に非磁性材よりなるギャップ形成
層(5)を介して上部ヨークとなる磁性膜(6)を形成し、磁
気ヘッドを完成している。なお、(7)は端子リードであ
る。
５図に示すように、下部ヨークとなるNi−Znフエライト
等の磁性基板(1)に溝(2)を設け、該溝(2)にガラス等の
非磁性材(3)を充填し、表面を研磨したのち、非磁性材
(3)上にMR素子(4)を溝(2)の縁の少なくとも一方には重
ならないように配し、MR素子(4)が重ならないようにし
た側の磁性基板(1)上に非磁性材よりなるギャップ形成
層(5)を介して上部ヨークとなる磁性膜(6)を形成し、磁
気ヘッドを完成している。なお、(7)は端子リードであ
る。
これによると、磁性基板(1)および磁性膜(6)による磁気
回路の一部に直列に設けられたMR素子(4)とこれに相対
向する磁気回路形成体，すなわち磁性基板(1)との距離
を十分に確保することができるため、前述した信号磁束
のMR素子(4)からの流出を防止できることになる。
回路の一部に直列に設けられたMR素子(4)とこれに相対
向する磁気回路形成体，すなわち磁性基板(1)との距離
を十分に確保することができるため、前述した信号磁束
のMR素子(4)からの流出を防止できることになる。
ところで、前述の磁気ヘッドの場合、磁性基板(1)の溝
(2)の具体的な寸法は幅10〜20μｍ，深さ10〜20μｍで
あるが、特に１枚の磁性基板(1)上に多数のMR素子(4)の
ヘッドパターンを形成しようとすれば、溝(2)の個々の
寸法精度とともに複数個の溝(2)の相対位置精度も、エ
ッチングマスクパターンの寸法精度，相対位置精度と同
程度、具体的には±２μｍ程度にする必要があり、この
溝(2)をダイシングソー等による通常の機械加工によつ
て形成するのは技術的にかなり困難な問題がある。
(2)の具体的な寸法は幅10〜20μｍ，深さ10〜20μｍで
あるが、特に１枚の磁性基板(1)上に多数のMR素子(4)の
ヘッドパターンを形成しようとすれば、溝(2)の個々の
寸法精度とともに複数個の溝(2)の相対位置精度も、エ
ッチングマスクパターンの寸法精度，相対位置精度と同
程度、具体的には±２μｍ程度にする必要があり、この
溝(2)をダイシングソー等による通常の機械加工によつ
て形成するのは技術的にかなり困難な問題がある。
また、前述の構造の磁気ヘッドでは、薄膜化により磁気
回路の磁路長をある程度短かくできるものの、MR素子
(4)を含む本来の磁気回路の全長はなお長い問題があ
り、さらに、磁気回路の一部のMR素子(4)部分において
は、その断面積（(膜厚)×(トラック幅)）が非常に小さ
いのに対し、MR素子(4)に対向する磁気回路形成体，す
なわち磁性基板(1)および磁性膜()との対向面積がかな
り大きいため、信号磁束をMR素子(4)に導入する効率は
あまり良くないといつた問題がある。
回路の磁路長をある程度短かくできるものの、MR素子
(4)を含む本来の磁気回路の全長はなお長い問題があ
り、さらに、磁気回路の一部のMR素子(4)部分において
は、その断面積（(膜厚)×(トラック幅)）が非常に小さ
いのに対し、MR素子(4)に対向する磁気回路形成体，す
なわち磁性基板(1)および磁性膜()との対向面積がかな
り大きいため、信号磁束をMR素子(4)に導入する効率は
あまり良くないといつた問題がある。
この発明は前記問題点を解決するためになされたもので
あり、非磁性材を周回する磁気回路の磁気記録媒体との
対向部にギャップを形成し該磁気回路内で前記ギャップ
から離れた部分にMR素子を配した磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドにおいて、前記磁気回路が、前記ギャップの一方の
側面に端を発し前記非磁性材の外形に沿って曲がりなが
ら記録媒体対向面から遠ざかる第１のヨークと、前記ギ
ャップの他方の側面に接し前記非磁性材の外形に沿って
記録媒体対向面から遠ざかる第２のヨークと、トラック
幅方向に平行でかつギャップデプス方向に対して傾斜し
た前記非磁性材の外形斜面上に配置され前記ギャップか
ら離れた位置で前記第１と第２のヨークをつなぐMR素子
とによって構成されるような磁気抵抗効果型磁気ヘッド
を提供するものである。
あり、非磁性材を周回する磁気回路の磁気記録媒体との
対向部にギャップを形成し該磁気回路内で前記ギャップ
から離れた部分にMR素子を配した磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドにおいて、前記磁気回路が、前記ギャップの一方の
側面に端を発し前記非磁性材の外形に沿って曲がりなが
ら記録媒体対向面から遠ざかる第１のヨークと、前記ギ
ャップの他方の側面に接し前記非磁性材の外形に沿って
記録媒体対向面から遠ざかる第２のヨークと、トラック
幅方向に平行でかつギャップデプス方向に対して傾斜し
た前記非磁性材の外形斜面上に配置され前記ギャップか
ら離れた位置で前記第１と第２のヨークをつなぐMR素子
とによって構成されるような磁気抵抗効果型磁気ヘッド
を提供するものである。
したがつて、非磁性材の形成の際には、デプスエンドと
なる磁気回路のギャップ部と非磁性材との境界の加工精
度のみが要求され、それ以降の製造工程における精度は
エッチングマスクの精度で決まるため、十分な精度を得
ることが容易となり、また、傾斜した非磁性材面上のMR
素子はその端部がそれぞれ磁気回路形成体に対向するこ
とになり、信号磁束のMR素子への導入効率が高まり、し
かも、MR素子が傾斜面上に配されることにより、明らか
に磁気回路の磁路長が短かくなる。
なる磁気回路のギャップ部と非磁性材との境界の加工精
度のみが要求され、それ以降の製造工程における精度は
エッチングマスクの精度で決まるため、十分な精度を得
ることが容易となり、また、傾斜した非磁性材面上のMR
素子はその端部がそれぞれ磁気回路形成体に対向するこ
とになり、信号磁束のMR素子への導入効率が高まり、し
かも、MR素子が傾斜面上に配されることにより、明らか
に磁気回路の磁路長が短かくなる。
つぎに、この発明を、その実施例を示した第１図ないし
第３図とともに詳細に説明する。
第３図とともに詳細に説明する。
まず、１実施例を示した第１図および第２図について説
明する。
明する。
第１図はこの発明の磁気抵抗効果型磁気ヘッドの断面を
示し、以下その製造方法を第２図を用いて説明する。
示し、以下その製造方法を第２図を用いて説明する。
すなわち、まず、第２図(a)に示すように、下部ヨーク
となるNi−Znフエライト等からなる磁性基板(11)上に機
械加工またはエッチングにより溝(12)を形成し、同図
(b)に示すように、溝(12)内にガラス等の非磁性材(13)
を充填するとともに、基板表面を平坦に研磨する。
となるNi−Znフエライト等からなる磁性基板(11)上に機
械加工またはエッチングにより溝(12)を形成し、同図
(b)に示すように、溝(12)内にガラス等の非磁性材(13)
を充填するとともに、基板表面を平坦に研磨する。
つぎに、同図(c)に示すように、磁性基板(11)上のギャ
ップ突き合わせ面となるべき部分およびその近傍にレジ
ストパターン(14)を形成後、同図(d)に示すように、レ
ジストパターン(14)に従つてテーパーエッチングし、非
磁性材(13)のギャップ突き合わせ面との反対側にトラッ
ク幅方向に平行でかつギャップデプス方向に対し傾斜し
た傾斜面(13a)を形成する。このエッチング時、イオン
ビームエッチング等の方法を用いればエッチング境界面
にテーパーを付けることは容易である。また、磁性基板
(11)のフエライトと非磁性材(13)のガラスとのエッチン
グ速度の違いによりその境界部に多少の段差が生じて
も、この種磁気ヘッドの構造上何ら問題にならない。
ップ突き合わせ面となるべき部分およびその近傍にレジ
ストパターン(14)を形成後、同図(d)に示すように、レ
ジストパターン(14)に従つてテーパーエッチングし、非
磁性材(13)のギャップ突き合わせ面との反対側にトラッ
ク幅方向に平行でかつギャップデプス方向に対し傾斜し
た傾斜面(13a)を形成する。このエッチング時、イオン
ビームエッチング等の方法を用いればエッチング境界面
にテーパーを付けることは容易である。また、磁性基板
(11)のフエライトと非磁性材(13)のガラスとのエッチン
グ速度の違いによりその境界部に多少の段差が生じて
も、この種磁気ヘッドの構造上何ら問題にならない。
さらに、磁性基板(11)上に残余するレジストパターン(1
4)を除去後、同図(e)に示すように、非磁性材(13)の傾
斜面(13a)上にMR素子（磁気抵抗効果素子）(15)を形成
し、同図(f)に示すように、ギャップを形成するSiO2等
の非磁性薄膜(16)を基板(11)上の全面に形成し、さら
に、上部ヨークとなる磁性膜(17)を磁性基板(11)のギャ
ップ突き合わせ面および非磁性材(13)上に非磁性薄膜(1
6)を介して形成する。
4)を除去後、同図(e)に示すように、非磁性材(13)の傾
斜面(13a)上にMR素子（磁気抵抗効果素子）(15)を形成
し、同図(f)に示すように、ギャップを形成するSiO2等
の非磁性薄膜(16)を基板(11)上の全面に形成し、さら
に、上部ヨークとなる磁性膜(17)を磁性基板(11)のギャ
ップ突き合わせ面および非磁性材(13)上に非磁性薄膜(1
6)を介して形成する。
したがつて、第２図(f)のＸ−Ｘ′線で切断することに
より、第１図に示す磁気ヘッドが得られ、磁気記録媒体
との対向面，すなわち図中の左側面に磁性基板(11)と磁
性膜(17)との間の非磁性薄膜(16)によるギャップを形成
した磁気回路が、磁性基板(11)，MR素子(15)および磁性
膜(17)により構成され、MR素子(15)が磁気回路に直列に
挿入された構造となる。
より、第１図に示す磁気ヘッドが得られ、磁気記録媒体
との対向面，すなわち図中の左側面に磁性基板(11)と磁
性膜(17)との間の非磁性薄膜(16)によるギャップを形成
した磁気回路が、磁性基板(11)，MR素子(15)および磁性
膜(17)により構成され、MR素子(15)が磁気回路に直列に
挿入された構造となる。
これによると、非磁性材(13)の形成の際、磁気ヘッドの
デプスエンドとなる磁性基板(11)との境界Ａの加工精度
が要求されるのみとなり、それ以降の製造工程の精度は
エッチングマスクの精度に依存するため、十分な精度を
容易に得ることが可能となり、また、非磁性材(13)の傾
斜面(13a)にMR素子(15)が配置されるため、磁性基板(1
1)に平行にMR素子(15)を配した従来の場合に比し磁気回
路の磁路長が短かくなることは明らかであり、しかも、
MR素子(15)はその両端部がそれぞれ磁性基板(11)および
磁性膜(17)に対向した状態で磁気的に結合されるため、
信号磁束のMR素子(15)への導入効率が従来例に比し高ま
ることになる。
デプスエンドとなる磁性基板(11)との境界Ａの加工精度
が要求されるのみとなり、それ以降の製造工程の精度は
エッチングマスクの精度に依存するため、十分な精度を
容易に得ることが可能となり、また、非磁性材(13)の傾
斜面(13a)にMR素子(15)が配置されるため、磁性基板(1
1)に平行にMR素子(15)を配した従来の場合に比し磁気回
路の磁路長が短かくなることは明らかであり、しかも、
MR素子(15)はその両端部がそれぞれ磁性基板(11)および
磁性膜(17)に対向した状態で磁気的に結合されるため、
信号磁束のMR素子(15)への導入効率が従来例に比し高ま
ることになる。
つぎに、他の実施例を示した第３図について説明する。
第３図に示す磁気ヘッドの製造方法を順に説明すると、
まず、同図(a)に示すように、磁性基板(11)上の全面ガ
ラス，SiO2等の非磁性材(13)を形成し、同図(b)に示す
ように、非磁性材(13)上のギャップ突き合わせ面となる
べき部分を機械加工またはエッチングにより除去して溝
(12)′を形成し、同図(c)に示すように、溝(12)′を埋
めるようにパーマロイ等の磁性層(11)′を形成し、表面
を平坦に研磨する。
まず、同図(a)に示すように、磁性基板(11)上の全面ガ
ラス，SiO2等の非磁性材(13)を形成し、同図(b)に示す
ように、非磁性材(13)上のギャップ突き合わせ面となる
べき部分を機械加工またはエッチングにより除去して溝
(12)′を形成し、同図(c)に示すように、溝(12)′を埋
めるようにパーマロイ等の磁性層(11)′を形成し、表面
を平坦に研磨する。
つぎに、前述と同様、磁性基板(11)の磁性層(11)′上お
よびその近傍の非磁性材(13)上にレジストパターン(14)
を形成後、同図(d)に示すように、イオンビームエッチ
ング等によりレジストパターン(14)に従つてテーパーエ
ッチングし、非磁性材(13)に傾斜面(13a)を形成し、残
余するレジストパターン(14)を除去後同図(e)に示すよ
うに、傾斜面(13a)上にMR素子(15)を形成するととも
に、ギャップ形成用非磁性薄膜(16)を全面に形成し、さ
らに、上部ヨークとなる磁性膜(17)を形成し、磁気ヘッ
ドを得る。
よびその近傍の非磁性材(13)上にレジストパターン(14)
を形成後、同図(d)に示すように、イオンビームエッチ
ング等によりレジストパターン(14)に従つてテーパーエ
ッチングし、非磁性材(13)に傾斜面(13a)を形成し、残
余するレジストパターン(14)を除去後同図(e)に示すよ
うに、傾斜面(13a)上にMR素子(15)を形成するととも
に、ギャップ形成用非磁性薄膜(16)を全面に形成し、さ
らに、上部ヨークとなる磁性膜(17)を形成し、磁気ヘッ
ドを得る。
なお、第３図に示した実施例において、非磁性基板上全
面に磁気回路形成体の一部を構成する磁性体層を形成
し、この上に第３図(a)のように非磁性材(13)を形成
し、以下同様に構成してもよい。
面に磁気回路形成体の一部を構成する磁性体層を形成
し、この上に第３図(a)のように非磁性材(13)を形成
し、以下同様に構成してもよい。
以上のように、この発明の磁気抵抗効果型磁気ヘッドに
よると、磁気回路の一部に直列に設けられたMR素子を、
トラック幅方向に平行でかつギャップデプス方向に対し
傾斜した非磁性材面上に配置したことにより、加工精度
上の難しさを緩和し、同時に磁気回路の磁路長を短かく
するとともに、信号磁束のMR素子への導入効率が向上す
ることができるものである。
よると、磁気回路の一部に直列に設けられたMR素子を、
トラック幅方向に平行でかつギャップデプス方向に対し
傾斜した非磁性材面上に配置したことにより、加工精度
上の難しさを緩和し、同時に磁気回路の磁路長を短かく
するとともに、信号磁束のMR素子への導入効率が向上す
ることができるものである。
第１図ないし第３図はこの発明の磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッドの実施例を示し、第１図および第２図は１実施例を
示し、第１図は要部の断面図、第２図(a)〜(f)は製造過
程を示す断面図、第３図(a)〜(e)は他の実施例の製造過
程を示す断面図、第４図は従来のこの種磁気ヘッドの平
面図、第５図は第４図におけるＹ−Ｙ′線の切断斜視図
である。 (11)……磁性基板、(11)′……磁性層、(13)……非磁性
材、(13a)……傾斜面、(15)……磁気抵抗効果素子(MR素
子)、(16)……非磁性薄膜、(17)……磁性膜。
ッドの実施例を示し、第１図および第２図は１実施例を
示し、第１図は要部の断面図、第２図(a)〜(f)は製造過
程を示す断面図、第３図(a)〜(e)は他の実施例の製造過
程を示す断面図、第４図は従来のこの種磁気ヘッドの平
面図、第５図は第４図におけるＹ−Ｙ′線の切断斜視図
である。 (11)……磁性基板、(11)′……磁性層、(13)……非磁性
材、(13a)……傾斜面、(15)……磁気抵抗効果素子(MR素
子)、(16)……非磁性薄膜、(17)……磁性膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山野 孝雄 大阪府守口市京阪本通２丁目18番地 三洋 電機株式会社内 (72)発明者 近藤 健雄 大阪府守口市京阪本通２丁目18番地 三洋 電機株式会社内 (56)参考文献 特開 昭51−319（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性材を周回する磁気回路の磁気記録媒
体との対向部にギャップを形成し、該磁気回路内で前記
ギャップから離れた部分に磁気抵抗効果素子を配した磁
気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、 前記磁気回路が、 (ａ) 前記ギャップの一方の側面に端を発し、前記非磁
性材の外形に沿って曲がりながら記録媒体対向面から遠
ざかる第１のヨークと、 (ｂ) 前記ギャップの他方の側面に接し、前記非磁性材
の外形に沿って記録媒体対向面から遠ざかる第２のヨー
クと、 (ｃ) トラック幅方向に平行でかつギャップデプス方向
に対して傾斜した前記非磁性材の外形斜面上に配置さ
れ、前記ギャップから離れた位置で前記第１のヨークと
前記第２のヨークとをつなぐ磁気抵抗効果素子と によって構成されることを特徴とする磁気抵抗効果型磁
気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59242728A JPH0626008B2 (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59242728A JPH0626008B2 (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61122911A JPS61122911A (ja) | 1986-06-10 |
| JPH0626008B2 true JPH0626008B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=17093359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59242728A Expired - Lifetime JPH0626008B2 (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 磁気抵抗効果型磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626008B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7406962A (nl) * | 1974-05-24 | 1975-11-26 | Philips Nv | Magneetkop welke gebruik maakt van een mag- neetveldgevoelig element en werkwijze voor het vervaardigen daarvan. |
-
1984
- 1984-11-16 JP JP59242728A patent/JPH0626008B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61122911A (ja) | 1986-06-10 |
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