JPH0546009B2 - - Google Patents

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JPH0546009B2
JPH0546009B2 JP58140136A JP14013683A JPH0546009B2 JP H0546009 B2 JPH0546009 B2 JP H0546009B2 JP 58140136 A JP58140136 A JP 58140136A JP 14013683 A JP14013683 A JP 14013683A JP H0546009 B2 JPH0546009 B2 JP H0546009B2
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JP
Japan
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magnetic
thin film
metal
magnetic head
gap
Prior art date
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JP58140136A
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English (en)
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JPS6032107A (ja
Inventor
Tomio Kobayashi
Shoichi Kano
Heikichi Sato
Makoto Kubota
Tatsuo Hisamura
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/23Gap features
    • G11B5/232Manufacture of gap
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
    • G11B5/1871Shaping or contouring of the transducing or guiding surface

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気ヘツド特にVTR用等の磁気ヘツ
ドに関する。
背景技術とその問題点 近年、磁気記録技術の発展に伴ないVTR用の
磁気ヘツドとしては高磁束密度、高抗磁力の磁気
テープへの記録再生が可能であること又、磁気テ
ープの面内での記録密度を向上させるためにでき
るだけ狭トラツク化が可能であることが要求され
ている。前者の要求に対しては飽和磁束密度の大
きい金属磁制材料(アモルフアス、センダスト、
パーマロイ等)がフエライトに代わつて用いられ
ている。又、後者の要求に対しても数十マイクロ
以下のトラツク幅を実現するためにスパツタリン
グ、蒸着、イオンプレーテイング等の真空薄膜形
成技術による金属磁性薄膜が適している。
この強磁制金属薄膜を形成する磁気ヘツドは各
種提案されている。例えば第1図に示す磁気ヘツ
ド1は非磁性基板2の上にスパツタリングにより
センダスト等の金属磁性薄膜3を形成した磁気コ
ア半体1a,1bを突き合わせて形成し、又、第
2図に示す磁気ヘツド1′はフエライト板4a,
4bを第1図に示すごとく形成した磁気コア半体
1a,1bの両面から貼り付けて形成し、更に
又、第3図に示す磁気ヘツド1″はフエライトヘ
ツドコア4のギヤツプg部分だけに金属磁性薄膜
3をスパツタで形成している。
しかし、第1図及び第2図に示すごとき構成の
もの即ち非磁性基板2上にスパツタリング等の真
空薄膜形成技術によつて作成する金属磁性薄膜3
は膜成長速度が極めて遅く作成に時間を要する欠
点がある。
又、第3図に示すものは金属磁性薄膜3が磁路
と直交する方向であるため渦電流損が多く、更に
金属磁性薄膜3を積層すると膜間の絶縁膜がギヤ
ツプとしての働きをもつてしまう欠点がある。
発明の目的 本発明は斯る点に鑑み、金属磁性薄膜でギヤツ
プ及び巻線孔近傍を形成し、テープ摺動面の大部
分を高耐摩耗性の強磁性酸化物により形成して信
頼性が高く且つ安価な磁気ヘツドを提供するもの
である。
発明の概要 本発明は上記の目的を達成するため、強磁性酸
化物よりなる磁気コア半体対の接合面に真空薄膜
形成技術により強磁性金属薄膜を形成しこの磁気
コア半体対を突き合わせて磁気ギヤツプを形成し
てなる磁気ヘツドにおいて、この磁気ギヤツプ形
成面と強磁性金属薄膜形成面とを所要角度で傾斜
して形成したものである。
実施例 以下、第4図以降を参照して本発明の実施例を
説明する。
先ず第4図及び第5図は本発明による一例の磁
気ヘツド11を示すものである。強磁性酸化物例
えばフエライトよりなる磁気コア半体対11a,
11bの接合面においてガラス等の非磁性材12
の充填により巾が規定される磁気ギヤツプgが金
属磁性薄膜13の積層方向とほぼ45°をなしてお
り金属磁性薄膜13,131,132…間の積層の
絶縁膜14と磁気ギヤツプgとのテープへの記録
再生時における相互作用が最も少ない向きになつ
ている。即ち、本発明による磁気ヘツドは第6図
に両磁気コア半体11a,11bをギヤツプ面g
より分解して示すように、磁路の最短距離の領域
のほとんどを金属磁性薄膜13で形成しており、
この金属磁性薄膜13の面積が少なくても有効な
配置であると共に金属磁性薄膜13は積層構造で
あり且つテープ対接面のほとんどが両磁気コア半
体11a,11bを形成するフエライトとなつて
いるため高耐摩耗な磁気ヘツドが構成される。な
お、第4図及び第6図において15は巻線溝であ
る。
次に第7図〜第14図について本発明による磁
気ヘツドの一例を製造工程を説明する。
先ず第7図に示すごとくフエライト基板21に
回転砥石又は電解エツチングにより溝加工を行な
い例えば断面V字状の溝21a,21a1,21
a2,21a3…を形成し、この溝21aに高融点酸
化物ガラス22を溶解充填した後、平面研摩加工
を行なう(第8図参照)。次に第9図に示すごと
く溝21a1,21a2,21a3…の間即ちガラス2
2が充填されなかつた部分を溝加工し例えば前述
と同様の断面V字状の溝21b,21b1,21
b2,21b3…を形成し、この溝21bにセンダス
ト、アモルハス等の金属磁性材料をスパツタリン
グ、イオンプレーテイング、蒸着等の薄膜形成技
術により金属磁性薄膜23,231,232…を
SiO2、ZrO2、Ta2O5等の高硬度絶縁膜24を介
して積層形成する(第10図参照)。然る後、第
11図に示すごとく平面研摩加工を再び行ないコ
ア半体ブロツク31a,31bを形成する。そし
て一方のコア半体ブロツク31aには第12図に
示すごとく巻線溝25及びガラス溝26の溝加工
を行なう。次いでこの溝加工を施した一方のコア
半体ブロツク21aと溝の無い他方のコア半体ブ
ロツク31bをその平面部を突き合わせて巻線溝
25及びガラス溝26にガラス棒を挿入し、この
ガラス棒を溶融して金属磁性薄膜部23の方面側
溝部21b′,21b′1,21b′2,21b′3…により
形成される中空部に溶融ガラス27を充填して両
ブロツク31a,31bを融着合体する(第13
図参照)。
この合体ブロツクを第13図に示すA−A′線
の位置でスライシング加工して後部のガラス溝部
26を切り取りヘツド素材を形成した後、この両
側面及び前面のテープ摺接面を研摩加工すること
により第14図に示すごとき磁気ギヤツプgが金
属磁性薄膜層23の積層方向と所要の角度をなす
磁気ヘツド31が得られる。
この様にして磁気ヘツドを形成することにより
単位金属磁性薄膜形成面積から作成可能な磁気ヘ
ツドの個数が従来の平面に金属磁性薄膜層を形成
するもので比し極めて多く、即ちヘツド幅3mm、
ヘツドチツプ厚150〜200μ、スライシングの切り
しろ100〜150μとすると約10倍の磁気ヘツドが作
成可能となる。
又、フエライトブロツク21に溝加工したもの
が直接金属磁性薄膜23の形成時の基板となつて
いるので第2図に示したようなフエライト両側よ
り貼り合わせる手数も要せず製作工数が著しく消
減されて安価な製法となつている。
第15図はアジマス記録用の磁気ヘツドを作成
するコアブロツク合体を示すもので各コア半体ブ
ロツク31a,31bの酸化物ガラス22を溶融
充填する溝21aと金属磁性薄膜層23を形成す
る溝21bとはその両辺の傾斜を非対称に形成し
即ち一方を急角度に他方を緩角度に形成してあ
り、夫々の溝21a,21bにガラス22を溶融
充填し又、金属磁性薄膜層23を形成した状態で
両コア半体ブロツク31aと31bを、金属性薄
膜層23が緩角度傾斜面において金属連続するよ
うに接合合体する。そしてB−B′線の位置でス
ライシングすることにより第16図に示した様な
アジマス磁気ギヤツプg′を有する磁気ヘツド3
1′が得られる。
尚、本例の場合に限るものではないが第16図
に示すごとく巻線溝25の深さを浅く形成するこ
とにより、即ち巻線溝25を金属磁性薄膜層23
の一部を残すように溝加工をすることにより巻線
溝を形成した側のコア31aにおいても金属磁性
薄膜がフロントギヤツプよりバツクギヤツプに至
るまで連続的に延在することになる。
第17図は本発明の他の実施例を示すもので金
属磁性薄膜層23を両コア半体31a,31bの
両側面側に配した場合である。
又、第18図に示す他の実施例は金属磁性薄膜
23を一層のみにより形成しギヤツプ幅を狭くし
た場合である。
又、第19図に示す更に他の実施例はテープ摺
動面においてコア半体31a,31bを形成する
フエライトの先端をギヤツプ面より後方に位置す
るようになしコアブロツク31a,31bの研摩
寸法精度(研摩終了時点の判断)に余裕をもたせ
てもよい。そのためには上述した第3工程の金属
磁性薄膜層23の形成溝21bの購入加工におい
てその溝幅及び深さを大となし溝エツジ部がガラ
ス部22に充分かかるように加工しておけばよ
い。
以上の様に構成される本発明の磁気ヘツドにお
いて金属磁性薄膜層23の積層面とギヤツプ面g
とのなす角は20°以上であることが必要で、それ
以下の角度では隣接トラツクからのクロストーク
が大きくなり、最も望ましくは30°以上の角度を
付けるのがよい。又、角度の最大値については
90°まで可能であるが耐摩耗性の観点が80°以下が
望ましい。
尚、本例では金属磁性薄膜層23間に介在させ
る絶縁膜24はSiO2、Ta2O5としたがAl2O3
ZrO2、Si3N4等その他の高耐摩耗性絶縁膜であつ
てもよい。又、金属磁性薄膜層23もスパツタリ
ングによるセンダストに限らず、スパツタリング
によるアモルフアス磁性膜等高飽和磁束密度の金
属磁性薄膜であればよい。
又、ガラス22その他の非磁性材料を充填埋設
して基板とする酸化物磁性材料はNi−Znフエラ
イト、フエクロスプレーナその他の高周波酸化物
磁性材料であつてもよいことは言うまでもない。
以上の様に本例では磁性ギヤツプgを形成する
金属磁性薄膜層23は真空薄膜形成技術即ち真空
薄膜形成装置の中で絶縁膜24との交互積層によ
り形成するので従来のごとく金属強磁性箔をガラ
ス無機接着剤、有機接着剤等の接着層を積層して
形成するものに比して金属磁性薄膜間に間隙があ
くこともなく又、金属磁性薄膜の積層は従来のハ
ンドリングによる積層に較らべ簡単且つ確実に行
なうことができ高周波特性の優れた高磁束密度の
記録再生が可能な高耐摩耗性磁気ヘツドを得るこ
とができる。
発明の効果 以上の様に本発明によれば磁気ギヤツプ近傍は
金属磁性薄膜が全体に亘つて膜構造が均一に形成
されて透磁率が一定となり、またこの磁性金属薄
膜は磁気ギヤツプ形成面に対して傾斜しているた
め、この膜厚をトラツク幅相当とすることなく磁
気ギヤツプを形成できてヘツド作製に要する時間
が短縮され、また磁気ギヤツプ近傍から離れた領
域においては即ちテープ摺動面の大部分が高耐摩
耗性の強磁性酸化物より形成されるので高周波特
性の優れた高磁束密度の記録再生が可能な高耐摩
耗性磁気ヘツドを安価に提供できる等の効果を有
する。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第3図は従来のVTR用の磁気ヘツド
の各例の斜視図、第4図は本発明による磁気ヘツ
ドの一例の斜視図、第5図は同一部の拡大正面
図、第6図は同磁気ヘツドの分解斜視図、第7図
〜第13図は本発明による磁気ヘツドの一例の製
造工程図、第14図は同工程により製造された磁
気ヘツドの斜視図、第15図はアジマス記録用磁
気ヘツドの切削工程を示す斜視図、第16図は同
アジマス記録用磁気ヘツドの斜視図、第17図〜
第19図は本発明による磁気ヘツドの他例の斜視
図である。 図中、11,31,31′は磁気ヘツド、11
a,11b,31a,31bは磁気コア半体、1
3,23は金属磁性薄膜層、12,22は非磁性
材、gは磁気ギヤツプである。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 強磁性酸化物よりなる磁気コア半体対の接合
    面に真空薄膜形成技術により強磁性金属薄膜を形
    成し、この磁気コア半体対を突き合わせて磁気ギ
    ヤツプを形成してなり、該磁気ギヤツプは磁気コ
    ア半体接合面の略中央に位置してなる磁気ヘツド
    において、強磁性酸化物に対する強磁性金属薄膜
    の接合面と該接合面に対する強磁性金属薄膜の外
    周面とが磁気ギヤツプ形成面に対し所要角度で傾
    斜しており、上記強磁性金属薄膜のみにより磁気
    ギヤツプを形成し、強磁性金属薄膜は、磁気コア
    半体の一平面上に形成されていることを特徴とす
    る磁気ヘツド。
JP14013683A 1983-07-30 1983-07-30 磁気ヘツド Granted JPS6032107A (ja)

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JPS6032107A JPS6032107A (ja) 1985-02-19
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61126614A (ja) * 1984-11-21 1986-06-14 Victor Co Of Japan Ltd 磁気ヘツド及びその製造方法
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