JPH0554314A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 非磁性材料からなる基板１ａの表面に軟磁性
薄膜５を形成した後、一対の上記基板１ａを各軟磁性薄
膜５・５同士が相互に連なるように接合することによっ
て、上端側のテープ摺動面から、閉ループ状の磁気回路
を上記軟磁性薄膜５で形成する磁気ヘッドの製造方法に
おいて、上記基板１には、テープ摺動面とは反対側の領
域における軟磁性薄膜５の形成部位に、軟磁性材料より
なる接合補助部３が予め設けられている。 【効果】 テープ摺動面とは反対側領域における相対向
する軟磁性薄膜５・５のずれにより生じる磁路面積の低
下を、軟磁性材料よりなる上記接合補助部３を介するこ
とにより防止することができる。この結果、磁気抵抗の
増加が防止され、磁気ヘッドの記録再生特性の低下が抑
制される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ビデオテープレコーダ
等の高密度記録再生を行うために必要な高い飽和磁束密
度を有する磁気ヘッドの製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、磁気記録の高密度化に伴って、磁
気テープ等の磁気記録媒体の高保磁力化と共に磁気ヘッ
ドも高飽和磁束密度を有するものが要求されている。こ
のような磁気ヘッドの一例として、例えば図１１に示す
ように、図において左右に位置する一対の結晶化ガラス
等からなる基板２１・２１を互いに接合することにより
構成された磁気ヘッドチップ２２が従来より用いられて
いる。両基板２１・２１の相対向面のＶ溝加工面に、セ
ンダスト合金等からなる積層構造の軟磁性薄膜２３・２
３がそれぞれ形成されている。これら軟磁性薄膜２３・
２３を突き合わせた状態で、基板２１・２１が上記Ｖ溝
に充填された低融点ガラス２４にて接合されている。

【０００３】上記構成の磁気ヘッドチップ２２の製造工
程を順を追って説明する。

【０００４】まず、図１２に示すように、耐摩耗性に優
れた例えば結晶化ガラスからなる略直方体形状の基板２
１の表面に、断面略Ｖ字状の溝２５…を、所定のピッチ
にて形成する。次いで、上記溝２５…の一方の傾斜面に
真空蒸着法、或いはスパッタリング法等により、センダ
スト合金等からなる軟磁性薄膜２３…を所定の膜厚とな
るように形成する。その後、上記溝２５…に低融点ガラ
ス２４を充填し、その表面を研磨して、軟磁性薄膜２３
の端面を表出させる。そして、所定の位置に、コイル巻
線窓２９となる凹部２９ａ、及びその反対側の面にコイ
ル巻線溝３０を形成する。

【０００５】次いで、このように、軟磁性薄膜２３と凹
部２９ａとが表面に形成された一対の非磁性材料からな
る基板２１・２１を接合してコアブロック２７を作製す
る。

【０００６】つまり、図１３に示すように、一対の基板
２１・２１を、コアブロック２７の上面の軟磁性薄膜２
３・２３が、ギャップ部２８を挟んで互いに直線状に連
なるように位置を合わせて接合する。その後、図中一点
鎖線Ｃで切断し、テープ摺動面研磨を施して、図１１に
示す前記磁気ヘッドチップ２２が作製される。

【０００７】なお、上記のように作製された磁気ヘッド
チップ２２は、その後、図示しないベース板へ接着固定
された後、コイル巻線が施されて磁気ヘッドとして完成
される。

【０００８】上記のように作製された磁気ヘッドチップ
２２の相対向する軟磁性薄膜２３・２３は、コイル巻線
窓２９より上側（テープ摺動面側）では所定のギャップ
を挟んで対向していると共に、下側では密着接合してい
る。これにより、上記磁気ヘッドには、コイル巻線窓２
９を囲んで、相対向する軟磁性薄膜２３・２３による閉
ループ状の磁気回路が構成されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の製造方法において作製された磁気ヘッドにおいて
は、コイル巻線窓２９より下側領域における相対向する
軟磁性薄膜２３・２３にずれが生じ易いため、これに伴
って上記磁気回路の磁気抵抗が増加し、磁気ヘッドの記
録再生特性を低下させるという問題を生じている。つま
り、上記製造方法において、例えば軟磁性薄膜２３を有
する一対の基板２１・２１を接合してコアブロック２７
を作製した場合、その上面の相対向する軟磁性薄膜２３
・２３については、接合時において目視できるため修正
が可能で、ずれのない接合状態とすることが可能である
が、下面は、目視できないため修正が困難で、図１４に
示すようにずれを生じ易い。したがって、このようなコ
アブロック２７を切り出すため、図１５に示すように、
コイル巻線窓２９より下側領域における各軟磁性薄膜２
３・２３にずれδを生じた磁気ヘッドチップ２２が作製
され易い。このため、上記領域の軟磁性薄膜２３・２３
の接合箇所で、磁気回路の磁路面積が小さくなり、この
結果、前記したように磁気抵抗が増加し、磁気ヘッドの
記録再生特性が低下し易くなっている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドの製
造方法は、上記課題を解決するために、非磁性材料から
なる基板表面に軟磁性薄膜と凹部とを形成した後、一対
の上記基板を各軟磁性薄膜および凹部同士が相互に連な
るように接合することによって、上端側のテープ摺動面
から、相対向した凹部により形成されるコイル巻線窓を
囲う閉ループ状の磁気回路を上記軟磁性薄膜で形成する
磁気ヘッドの製造方法において、上記基板には、凹部よ
りもテープ摺動面とは反対側の領域における軟磁性薄膜
の形成部位に、軟磁性材料よりなる接合補助部が予め設
けられていることを特徴としている。

【００１１】

【作用】上記製造方法によれば、凹部よりもテープ摺動
面とは反対側領域の軟磁性薄膜は、予め基板に設けられ
た軟磁性材料よりなる接合補助部の上に形成される。し
たがって、一対の上記基板の接合時において、コイル巻
線窓よりもテープ摺動面とは反対側領域で、相対向する
軟磁性薄膜にずれが生じたとしても、上記接合補助部の
領域を介して磁路が確保されるので、磁路面積の低下は
防止される。この結果、軟磁性薄膜により形成されるコ
イル巻線窓を囲う閉ループ状の磁気回路における磁気抵
抗の増加が抑制され、磁気ヘッドの記録再生特性を向上
させることができる。

【００１２】

【実施例】本発明の一実施例について図１ないし図１０
に基づいて説明すれば、以下の通りである。

【００１３】本実施例に係る磁気ヘッドは、図１０に示
す磁気ヘッドチップ９に、図示しない巻線を施して形成
されている。上記磁気ヘッドチップ９は、図において左
右に位置する一対の結晶化ガラス等からなる基板１・１
を、中心のギャップ部１２を挟んで相互に接合すること
により構成されている。両基板１・１の相対向面には、
後述する断面略Ｖ字状の第２溝４の加工面に軟磁性薄膜
５・５がそれぞれ形成されており、これらの軟磁性薄膜
５・５が中央のギャップ部１２を挟んで直線状に連なる
ように互いに突き合わせた状態で、基板１・１が上記第
２溝４に充填された低融点ガラス６にて接合されてい
る。

【００１４】また、図において左側の軟磁性薄膜５は、
テープ摺動面（図において上面）から下面側に延びる形
状で設けられており、図示されてはいないが右側の軟磁
性薄膜５も同様に設けられている。さらに、コイル巻線
窓１０より上側領域における上記軟磁性薄膜５・５の突
き合わせ面は、所定のギャップを挟んで対向しており、
一方、上記コイル巻線窓１０より下側領域における突き
合わせ面は、相互に密着接合されている。すなわち、上
記磁気ヘッドには、コイル巻線窓１０を囲う閉ループ状
の磁気回路が、上記軟磁性薄膜５・５により構成されて
いる。

【００１５】上記構成の磁気ヘッドチップ９の製造工程
を順を追って説明する。

【００１６】まず、図２に示すように、耐摩耗性に優れ
た結晶化ガラス等からなる略直方体形状の基板１の表面
の所定の領域、すなわち、後述するように、上記コイル
巻線窓１０より下側に対応する領域に、所定の深さを有
する例えば断面略Ｕ字状の第１溝２…を設ける。次に、
この第１溝２…にスパッタリング法によりフェライト等
の軟磁性材料を充填して接合補助部３…を形成する。

【００１７】その後、この接合補助部３…が形成された
基板１の表面に、図３に示すように、上記第１溝２…の
長さ方向と直交する方向に、所定の深さを有する複数の
断面略Ｖ字状の第２溝４…を、所定のピッチにて相互に
隣接して互いに平行に延びる形状で形成する。なお、上
記基板１は、耐摩耗性に優れる反面、脆く難加工性の材
料からなるため、溝形成は、ブレードを用いるダイシン
グ加工によって行われる。

【００１８】次いで、上記第２溝４…の両壁面を鏡面に
仕上げた後、図４に示すように、各第２溝４…の一方の
傾斜面４ａ…に真空蒸着法、或いはスパッタリング法等
の薄膜形成方法により、センダスト合金等からなる軟磁
性薄膜５…を所定の膜厚となるように形成する。その
後、上記基板１を、図３に一点鎖線で示す切断線Ａに沿
って順次切断し、図５に示す基板１ａを２個作製する。
このようにして得られる基板１ａにおいては、軟磁性薄
膜５の一端側は接合補助部３の上に形成され、他端側は
結晶化ガラス等よりなる基板１ａの上に形成されたもの
となっている。次いで、図６に示すように、上記基板１
ａの表面の第２溝４…に低融点ガラス６を充填してコア
片７が作製される。

【００１９】この後、図７に示すように、上記コア片７
における低融点ガラス６の表面を、上記各第２溝４…間
の頂点位置をやや越えるまで研磨する（以下、この研磨
された面を接合面１３という）。その後、この接合面１
３上の所定の位置に、後述するように、一対のコア片７
・７を接合することによりコイル巻線窓１０となる凹部
１０ａを設ける。次いで、接合面１３とは反対側の面の
上記凹部１０ａに対応する位置にコイル巻線溝１１を設
ける。つまり、図において凹部１０ａより手前側の接合
面１３では、軟磁性薄膜５の端面のみが表出し、一方、
凹部１０ａより奥側の接合面１３では、軟磁性薄膜５と
接合補助部３との各端面が相互に隣接して表出したコア
片７が得られる。

【００２０】その後、低融点ガラス６の充填面に、図示
されない非磁性ギャップ材を設けた後、このように作製
された一対のコア片７・７同士を、図８に示すように、
それぞれの非磁性ギャップ材が設けられた面同士を対面
させると共に、各凹部１０ａ・１０ａを相対向させ、か
つ、各軟磁性薄膜５・５の位置を合わせて接合する。

【００２１】つまり、上面の相対向する軟磁性薄膜５・
５が、図９に示すように、ギャップ部１２を挟んで直線
状に連なった形状のコアブロック８を作製する。

【００２２】次いで、上記コアブロック８を図８に一点
鎖線で示す切断線Ｂに沿って切断した後、テープ摺動面
研磨を施すことにより、相対向する凹部１０ａ・１０ａ
により形成されたコイル巻線窓１０が中央部に貫通した
形状の図１０に示す前記磁気ヘッドチップ９が作製され
る。この後、この磁気ヘッドチップ９に図示しないコイ
ル巻線を施し、ベース板への固定を行い磁気ヘッドとし
て完成される。

【００２３】以上の説明のように、本実施例における磁
気ヘッドの製造方法においては、凹部１０ａを挟んで摺
動面とは反対側の下側に対応する領域に予め軟磁性材料
よりなる接合補助部３を設けた基板１を用いることによ
り、凹部１０ａより下側に対応する領域に、軟磁性薄膜
５と接合補助部３との各端面が相互に隣接したコア片７
が作製される。これにより、上面を目視しながらのコア
ブロック８の作製時、つまり、上面側の軟磁性薄膜５・
５がギャップ部１２を挟んで同一の直線上に連なるよう
に、一対のコア片７・７を相互に接合する場合に、それ
以前の加工精度等に起因して、下面側の軟磁性薄膜５・
５がずれた状態で接合されたとしても、図１に示すよう
に、コイル巻線窓１０の下側に対応する領域に設けられ
た軟磁性材料よりなる接合補助部３を介して磁路が確保
されるので、磁路面積の低下による磁気抵抗の増加を防
止することができる。この結果、磁気ヘッドの記録再生
特性を向上させることができる。

【００２４】

【発明の効果】本発明の磁気ヘッド製造方法は、以上の
ように、基板には、凹部よりもテープ摺動面とは反対側
の領域における軟磁性薄膜の形成部位に、軟磁性材料よ
りなる接合補助部が予め設けられているものである。

【００２５】それゆえ、一対の基板の接合時において、
相対向した凹部より形成されるコイル巻線窓よりもテー
プ摺動面とは反対側領域で、相対向する軟磁性薄膜にず
れが生じたとしても、上記接合補助部の領域を介して磁
路が確保されるので、磁路面積の低下が防止される。こ
の結果、軟磁性薄膜により形成されるコイル巻線窓を囲
う閉ループ状の磁気回路の磁気抵抗の増加が抑制され、
磁気ヘッドの記録再生特性を向上させることができると
いう効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法を適用して磁気ヘッドを作製
する過程でのコアブロックの下面図である。

【図２】上記コアブロックを構成する基板の斜視図であ
る。

【図３】表面に断面略Ｖ字状の溝が形成された上記基板
の斜視図である。

【図４】上記溝の壁面に軟磁性薄膜が形成された基板の
要部断面図である。

【図５】図３の切断線Ａに沿う切断後の基板の斜視図で
ある。

【図６】上記基板に低融点ガラスを充填して形成された
コア片の要部断面図である。

【図７】凹部及びコイル巻線溝が形成された上記コア片
の斜視図である。

【図８】一対の上記コア片を接合して得たコアブロック
の斜視図である。

【図９】上記コアブロックの平面図である。

【図１０】上記コアブロックを所定の寸法で切断するこ
とにより得た磁気ヘッドチップの斜視図である。

【図１１】従来の磁気ヘッドの製造方法に基づいて作製
された磁気ヘッドチップの斜視図である。

【図１２】上記従来の磁気ヘッドチップを作製する過程
での基板の斜視図である。

【図１３】一対の上記従来の基板を接合して得られたコ
アブロックの斜視図である。

【図１４】上記従来のコアブロックの下面図である。

【図１５】上記従来の磁気ヘッドチップにおける相対向
する軟磁性薄膜のずれを示す斜視図である。

【符号の説明】

１・１ａ 基板 ３ 接合補助部 ５ 軟磁性薄膜 １０ コイル巻線窓 １０ａ 凹部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】非磁性材料からなる基板表面に軟磁性薄膜
   と凹部とを形成した後、一対の上記基板を各軟磁性薄膜
   および凹部同士が相互に連なるように接合することによ
   って、上端側のテープ摺動面から、相対向した凹部によ
   り形成されるコイル巻線窓を囲う閉ループ状の磁気回路
   を上記軟磁性薄膜で形成する磁気ヘッドの製造方法にお
   いて、 上記基板には、凹部よりもテープ摺動面とは反対側の領
   域における軟磁性薄膜の形成部位に、軟磁性材料よりな
   る接合補助部が予め設けられていることを特徴とする磁
   気ヘッドの製造方法。