KR920013632A - 종형 cvd 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

종형 CVD 장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 1실시예에 의한 종형 CVD장치를 개략적으로 도시하는 단면도, 제2도는 제1도의 CVD장치의 높이방향 중앙부부근에 있어서 횡단면을 개략적으로 도시하는 도면, 제3도는 제1도의 CVD장치를 사용하여 막을 형성했을 때의 가스분사구의 방향(θ)과 막 두께분포의 관계를 나타내는 도면.

Claims (8)

1. 반응실과, 그 반응실에 수직으로 수납하고, 복수개의 반도체 기판을 수평하게 유지하는 보트수단과, 길이방향에 따라 복수개의 가스분사구를 가짐과 동시에 상기 보트수단의 길이방향에 따라 연장되고, 반응가스를 상기 반응실에 도입하는 가스도입관을 구비하고, 상기 가스분사구의 각각의 방향은 상기 가스도입관을 구비하고, 상기 가스분사구의 각각의 방향은 상기 가스도입관의 중심과 상기 반도체기판의 중심을 연결하는 직선을 기준으로 한 각도(θ)로 설정되고, 그 각도(θ) 0°＜θ≤90°의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 종형 CVD장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 가스도입관은 상기 보트수단의 정상부까지 연장하는 것을 특징으로 하는 종형 CVD장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 반응실을 형성하는 아우터 튜브의 외측에 배치되고, 규열존을 형성하는 가열수단을 가지는 것을 특징으로 하는 종형 CVD장치.
4. 제1항에 있어서, 가스도입관은 2분기된 가스도입구를 가지며 다른 종류의 원료가스를 상기 반응실로 도입하는 것을 특징으로 하는 종형 CVD장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 가스분사구는 각각 동일한 방향을 가지는 것을 특징으로 하는 종형 CVD장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 가스분사구는 각각 다른 방향을 가지는 것을 특징으로 하는 종형 CVD장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 가스도입관의 가장자리부와 상기 반도체 기판의 가장자리부와의 거리(ℓ)는 12∼18㎜이며, 각 가스분사구의 직경(D)은 0.7∼1.3㎜인 것을 특징으로 하는 종형 CVD장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 각도(θ)는 바람직하게는 25°≤θ≤80°의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 종형 CVD장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.