KR920008961A - 전계방출형 에미터 및 그 제조방법 - Google Patents

전계방출형 에미터 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

전계방출형 에미터 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 제1실시예에 따른 전게방출형 에미터를 나타내는 단면도.

Claims (6)

  1. 도전성기판과, 상기 도전성기판상에 형성된 절연막과, 상기 절연막내에 형성된 공동부와, 상기 공동부내의 상기 도전성기판상에 형성된 캐소드와, 상기 절연막상에 형성된 게이트전극으로 구성되고, 상기 게이트전극이 내화성 금속실리사이드로 이루어진 것을 특징으로 하는 전계방출형 에미터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 절연막과 상기 게이트전극 사이에 다결정실리콘막이 형성된 것을 특징으로 하는 전계방출형 에미터.
  3. 글라스기판과, 상기 글라스기판상에 형성된 제1절연막과, 상기 제1절연막상에 형성된 도전막과, 상기 글라스기판상에 형성된 제2절연막으로서, 상기 도전막 및/또는 상기 제1절연막상에 형성된 제2절연막과, 상기 제2절연막내에 형성된 공동부와, 상기 공동부내의 상기 도전막상에 형성된 캐소드와, 상기 제2절연막상에 걸쳐 형성된 게이트전극으로 구성된 것을 특징으로 하는 전계방출형 에미터.
  4. 도전성기판과, 상기 도전성기판상에 형성된 절연막과, 상기 절연막내에 형성된 공동부와, 상기 공동부내의 상기 도전성기판에 형성된 캐소드와, 상기 절연막상에 형성된 게이트전극으로 구성되고, 상기 공동부부분내의 상기 절연막의 측벽은 역테이퍼형상을 갖도록 이루어진 것을 특징으로 하는 전계방출형 에미터.
  5. 도전성기판과, 상기 도전성기판상에 형성된 절연막과, 상기절연막내에 형성된 공동부와, 상기 공동부내의 상기 도전성기판상에 형성된 캐소드와, 상기 절연막상에 형성된 게이트전극으로 구성된 전계방출형 에미터의 제조방법에 있어서, 상기 도전성기판상에 상기 절연막과 상기 게이트전극을 형성하기 위한 상기 도전막을 순차형성하고, 상기 게이트전극을 형성하기 위해 상기 도전막상에 상기 게이트전극에 대응하는 형상을 갖는 레지스트패턴을 형성하고, 상기 레지스트패턴을 마스크로 사용하여 상기 도전막을 에칭하여 상기 게이트전극을 형성하고, 상기 게이트전극을 마스크로 사용하여 상기 도전성기판의 표면과 대략 수직인 방향으로 상기 절연막을 이방성 에칭하고, 상기 게이트 전극을 마스크로 사용하여 상기 절연막을 습식에칭하는 스텝으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계방출형 에미터의 제조방법.
  6. 기판과, 상기 기판상에 형성된 절연막과, 상기 절연막내에 형성된 공동부와, 상기 공동부내의 상기 기판상에 형성된 캐소드와, 상기 절연막상에 형성된 게이트전극으로 구성된 전계방출형 에미터의 제조방법에 있어서, 상기 기판상에 상기 공동부와 상기 게이트전극을 가진 상기 절연막을 형성한 후에, 상기 기판의 표면에 대해 경사진 방향으로 제1증착을 행하여 상기 게이트 전극상에 박리층을 형성하고, 상기 기판의 표면에 대해 수직방향으로 제2증착을 행하여 상기 캐소드를 형성하고, 상기 제2증착에 의해 상기 박리층상에 형성된 막을 에칭제거하여 상기 박리층을 부분적으로 노출시키고, 리프트오프법에 의해 상기 막과 함께 상기 박리층을 제거하는 스텝으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전계방출형 에미터의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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