KR970008265A - 금속이 코팅된 3극 필드 에미터 제조방법 - Google Patents
금속이 코팅된 3극 필드 에미터 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
금속이 코팅된 3극 필드 에미터를 샤프닝 산화막 공정을 거치지 않고 금속을 코팅하여 제조함으로써, 금속이 코팅된 3극 필드 에미터 제조공정을 단순화시켜 제조시간을 단축하고, 팁 에미터 전면에 금속을 코팅하므로 게이트 전극 이외의 부분에도 전도체인 금속막이 존재하게 되어 전기적 특성이 향상된 금속이 코팅된 3극 필드 에미터를 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도 내지 제2G도는 본 발명에 따른 금속이 코팅된 3극 필드 에미터 제조방법을 순차적으로 각각 나타낸 정단면도.
Claims (2)
- 실리콘 기판 상부에 포토레지스트층을 형성하는 단계와, 상기 실리콘 기판의 팁이 형성될 부분에 포토레지스트층을 식각하여 제1마스크 패턴을 형성하는 단계와, 상기 실리콘 기판을 식각 공정으로 제1마스크 패턴이 제거되도록 과도식각하여 팁 에미터를 형성하는 단계와, 상기 팁 에미터 상부 전체면에 금속을 코팅하는 단계와, 상기 금속이 코팅된 팁 상부에 포토레지스트를 사용하여 제2마스크 패턴을 형성하는 단계와, 상기 제2마스크 패턴이 형성된 팁과 팁을 제외한 부분의 상부에 절연체와 게이트 전극을 순차적으로 증착하는 단계와, 상기 금속으로 코팅된 팁이 완전히 노출되도록 제2마스크 패턴을 제거하는 단계를 포함하는 금속이 코팅된 3극 필드 에미터 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 절연체와 게이트 전극은 진공증착법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 금속이 코팅된 3극 필드 에미터 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950021269A KR970008265A (ko) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | 금속이 코팅된 3극 필드 에미터 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950021269A KR970008265A (ko) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | 금속이 코팅된 3극 필드 에미터 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970008265A true KR970008265A (ko) | 1997-02-24 |
Family
ID=66540585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950021269A KR970008265A (ko) | 1995-07-20 | 1995-07-20 | 금속이 코팅된 3극 필드 에미터 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970008265A (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000066956A (ko) * | 1999-04-22 | 2000-11-15 | 김영환 | 전계방출 표시소자의 제조방법 |
| KR100569269B1 (ko) * | 1999-04-22 | 2006-04-10 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 전계방출 표시소자의 제조방법 |
| KR100577780B1 (ko) * | 1999-04-22 | 2006-05-10 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 전계방출 표시소자의 제조방법 |
-
1995
- 1995-07-20 KR KR1019950021269A patent/KR970008265A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000066956A (ko) * | 1999-04-22 | 2000-11-15 | 김영환 | 전계방출 표시소자의 제조방법 |
| KR100569269B1 (ko) * | 1999-04-22 | 2006-04-10 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 전계방출 표시소자의 제조방법 |
| KR100577780B1 (ko) * | 1999-04-22 | 2006-05-10 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 전계방출 표시소자의 제조방법 |
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