KR970077720A - 3극 다이아몬드 박막 필드 에미터의 제조방법 - Google Patents
3극 다이아몬드 박막 필드 에미터의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 리프트 오프방법을 사용하여 다이아몬드 박막 3극 필드 에미터를 제조하는 방법에 관한 것으로, 유리기판 상부에 캐소드 전극과 포스트를 금속으로 형성하고, 금속 포스트 상부에 다이아몬드 박막 에미터를 형성한 다음, 다이아몬드 박막 높이로 게이트 전극을 형성하는 방법으로 재현성 있게 다이아몬드 박막을 게이트 전극과 같은 높이로 제작함으로써 적은 전압에 많은 전자를 방출시킬 수 있는 3극 다이아몬드 박막 필드 에미터의 제조방법을 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3D도 내지 제3G도는 본 발명에 의한 다이아몬드 3극 필드 에미터 제조공정을 순차적으로 나타낸 단면도.
Claims (5)
- 유리기판 상부에 금속 포스트를 형성하기 위한 금속층을 증착하는 단계와, 상기 금속층 상부에 다이아몬드 박막을 증착하는 단계와, 상기 다이아몬드 박막 상부에 금속 마스크를 형성하기 위해 마스크용 금속층을 증착하는 단계와, 상기 마스크용 금속층을 원하는 마스크로 만들기 위하여 포토 레지스트를 증착하여 포토레지스트 마스크를 형성하는 단계와, 상기 포토레지스트 하부의 노출된 마스크용 금속층을 식각하여 금속 마스크를 형성하고 포토레지스트 마스크를 제거하는 단계와, 상기 금속 마스크 하부의 노출된 다이아몬드 박막을 식각하고 계속해서 포스트 금속층을 일정한 높이의 포스트가 되도록 식각하는 단계와, 상기 식각된 금속층과 금속 마스크 상부로부터 절연체와 게이트 전극을 순차적으로 증착시키는 단계와, 상기 금속 마스크와 금속 마스크 상부의 절연체 및 게이트 전극을 제거하는 단계을 포함하는 금속 포스트를 이용한 3극 다이아몬드 박막 필드 에미터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 포스트 금속층은 도금법에 의해 증착하는 것을 특징으로 하는 3극 다이아몬드 박막 필드 에미터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 마스크용 금속과 포스트용 금속은 서로 다른 금속을 사용하는 것을 특징으로 하는 3극 다이아몬드 박막 필드 에미터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 마스크용 금속과 게이트 전극용 금속은 서로 다른 금속을 사용하는 것을 특징으로 하는 3극 다이아몬드 박막 필드 에미터의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 금속 마스크는 리프트-오프방법으로 제거하는 것을 특징으로 하는 3극 다이아몬드 박막 필드 에미터의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960017977A KR970077720A (ko) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 3극 다이아몬드 박막 필드 에미터의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960017977A KR970077720A (ko) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 3극 다이아몬드 박막 필드 에미터의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970077720A true KR970077720A (ko) | 1997-12-12 |
Family
ID=66220381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960017977A KR970077720A (ko) | 1996-05-27 | 1996-05-27 | 3극 다이아몬드 박막 필드 에미터의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970077720A (ko) |
-
1996
- 1996-05-27 KR KR1019960017977A patent/KR970077720A/ko not_active Application Discontinuation
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