KR950024618A - 전계방출 표시장치 및 이의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전계방출 표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 기판(11)상에 캐소드 전극(12)이 형성되고 그 위에 캐소드 팁(16)이 형성되며, 상기 팁(16)의 주위에 일정거리를 두고 제1 절연층(13) 및 게이트 전극(14)이 순차적으로 형성되어 있는 전계방출 표시장치에 있어서, 상기 게이트 전극(14)위에 제2절연층(17)을 형성시키고 그 위에 이온 컬렉터 전극(18)을 형성시켜 전계방출 표시장치를 제작하므로써 저진공 수준에서도 안정적으로 동작할 수 있는 전계방출 표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.

Description

전계방출 표시장치 및 이의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 전계방출 표시장치의 단면도이며,
제3(a)~(d)도는 제1도의 전계방출 표시장치의 전계방출 특성을 나타낸 그래프이고,
제4(a)~(d)도는 본 발명의 전계방출 표시장치의 제조공정도이다.

Claims (6)

  1. 기판(11)상에 캐소드 전극(l2)을 형성시키고 그 위에 캐소드 팁(16)을 형성시키며, 상기 팁(16)의 주위에 일정거리를 두고 제1절연층(13) 및 게이트 전극(14)을 순차적으로 형성시켜서 된 전계방출 표시장치에서, 상기 게이트 전극(14)을 순차적으로 형성시켜서 된 전계방출 표시장치에서, 게이트 전극(14)위에 제2절연층( 17)을 형성시키고 그 위에 이온 컬렉터 전극(18)을 형성시켜서 된 전계방출 표시장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이온 컬렉터 전극(18)ol Nb 뜨는 MO재질인 것을 특징으로 하는 전계방출 표시장치.
  3. 기관(11)상에 캐소드 전극(12)을 형성시키고 그 위에 제1절연층(13) 및 게이트 전극(14)을 순차적으로 형성시키는 전계방출 표시장치의 제조방법에 있어서, a)상기 게이트 전극(14)위에 제2절연층(17) 및 이온 컬렉터 전극(18)을 순차적으로 형성시키는 단계 ; b)상기 이온 컬렉터전극(18)에서 캐소드 전극(12)까지 호울페턴을 형성시키는 단계 ; c)상기 이온 컬렉터전극(18)표면에서 경사증증착시져 분리층(19)을 형성시키는 단계 ; 및 d)기판(11)을 회전시키면서 제거용 Mo층(20)을 증착형성시킴과 동시에 캐소드 팁(l6)을 형성시키고 분리층(19)을 리프트-오프공정으로 에칭하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계방출 표시장치의 제조방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 c)단계에서 경사증착시의 경사각이 10∼20°인 것으리 특징을 하는 전계방출 표시장치의 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 분리층(19) 물질이 Al 또는 AI2O3재질인 것을 특징으로 하는 전계방출 표시장치의 제조방법.
  6. 제3항에 있어서, 상기 분리층(19) 물길이 A1 또는 AI2O3재질인 것을 특징으로 하는 전계방출 표시장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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