KR960030292A - 전계 방출 표시 소자의 제조 방법 - Google Patents

전계 방출 표시 소자의 제조 방법 Download PDF

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KR960030292A
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박남신
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윤종용
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Abstract

본 발명은 전계 방출 표시 장치(field emission display) 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 상세하게는 평판 표시 장치(flat panel display), 초고주파 증폭기 센서, 전자 빔 응용 기기의 소스로 사용할 수 있는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법에 관한 것이다.
즉, 본 발명에 따른 전계 방출 표시 소자의 제조 방법은 분리층으로 금속층을 이용한 그레이징 각도 증착을 이용하지 않고, 폴리이미드를 이용하여 분리층을 형성하고, 그 상부에 금속 마스크를 형성하여 홀을 식각하여 바로 마이크로-팁을 형성함으로써, 마이크로-팁의 높이를 조정하기 용이하고, 폴리이미드 자체가 솔벤트에 쉽게 용해되는 관계로 식각 공정상의 오염의 문제가 해소되어 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

Description

전계 방출 표시 소자의 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제12도는 마이크로-팁 형성후의 수직 단면도, 제13도는 본 발명에 따른 전계 방출 표시 소자 완성 후의 수직 단면도이다.

Claims (10)

  1. 기판 상에 스트라이프 상의 음극들을 형성하는 단계; 상기 스트라이프 상의 음극들이 형성된 기판 상에 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연층 상에 게이트 전극층을 증착하고 소정의 패턴으로 식각하여 상기 음극들과 교차하는 방향의 스트라이프 상으로 게이트 전극들을 형성하는 단계; 상기 게이트 전극들이 형성된 상기 절연층 상에 폴리이미드층을 형성하는 단계; 상기 폴리이미드층 상에 금속을 증착하는 단계; 상기 금속층을 소정 직경의 홀들을 형성하기 위해 식각하는 단계; 상기 폴리이미드층을 상기 홀들을 형성하기 위해 식각하는 단계; 상기 게이트 전극층을 상기 홀들을 형성하기 위해 식각하는 단계; 상기 절연층을 상기 홀들을 형성하기 위해 식각하는 단계; 상기 홀들 내부에 전계 방출용 마이크로-팁들을 형성하는 단계; 상기 폴리이미드층을 리프트-오프시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 절연층은 SiO2또는 Al2O3를 1㎛ 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 게이트층은 Mo 또는 Cr을 3000~6000Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 폴리이미드층을 형성하는 단계는, 폴리이미드를 스핀 코팅하는 단계; 상기 코팅된 폴리이미드층을 소정의 온도로 프리 베이킹하여 경화시키는 단계; 및 상기 폴리이미드를 솔벤트에 스트립하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 금속을 증착하는 단계는 Al을 2000Å 두께로 증착하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 금속층을 식각하는 단계는 리액티브 이온 에칭법으로 식각하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 폴리이미드층을 식각하는 단계는 O2플라즈마를 이용하여 식각하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 게이트 전극을 식각하는 단계는 CF4/O2플라즈마 또는 CCl3F/O2로 식각하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 절연층을 식각하는 단계는 CHF3/O2플라즈마로 식각하는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 폴리이미드가 분할층으로 사용되는 것을 특징으로 하는 전계 방출 표시 소자의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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