KR960005736A - 전계방출 표시장치 및 이의 제조방법 - Google Patents

전계방출 표시장치 및 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전계방출 표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 방법은 a)기판(11)위에 캐소드 전극(12)을 형성시키고 그 위에 절연체층(13)을 형성시키는 공정 ; b)포토리지스트(21)를 사용하여 상기 절연체층(13)을 식각시키는 공정; c)포토리지스트(21)를 제거하고 절연체층(13)위에 분리층(22)이 형성시키는 공정; d)다이아몬드를 사용하여 다이아몬드 캐소드(20)와 다이아몬드층(23)을 형성시키는 공정; 및 e)리프트 오프공정에 의해 분리층(22)을 제거시키는 공정으로 이루어진다. 한편, 본 발명의 전계방출 표시장치는 전계방출 표시장치에 있어서 캐소드 전극(12)위에 원형 패턴의 애퍼쳐를 갖는 절연체층(13)을 형성시키고, 그 절연체층(13)의 애퍼쳐내에 다이아몬드 캐소드(20)를 형성시켜서 된 구조로서, 제작공정을 단순화시킬 수 있으며 제작단가를 낮출 수 있고 캐소드의 수명을 연장시킬 수 있는 잇점이 있다.

Description

전계방출 표시장치 및 이의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 방법에 따라 전계방출 캐소드를 갖는 전계방출 표시 장치의 단면도이다.
제3(가)~(마)도는 본 발명에 따른 전계방출 캐소드의 제조공정도이다.

Claims (5)

  1. 전계방출 표시장치의 제조방법에 있어서, a)기판(11)위에 캐소드 전극(12)을 형성시키고 그 위에 절연체층(13)을 형성시키는 공정; b)포토리지스트(21)를 사용하여 상기 절연체층(13)을 식각시키는 공정; c)포토리지스트(21)를 제거하고 절연(13)위에 분리층(22)을 형성시키는 공정; d)다이아몬드를 사용하여 다이아몬드 캐소드(20)와 다이아몬드층(23)을 형성시키는 공정; 및 e)리프트 오프공정에 의해 분리층(22)을 제거시키는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계방출 표시장치의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 d)공정의 다이아몬드 캐소드(20) 형성공정이 마이크로파 CVD공정에 의해 400~700℃온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 전계방출 표시장치의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 c)공정의 분리층(22) 형성공정이 기판을 회전시키면서 전자빔 증착기를 사용하여 10~20°의 경사각을 갖도록 경사증착시키는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계방출 표시장치의 제조방법.
  4. 전계방출 표시장치에 있어서, 캐소드 전극(12)위에 원형 패턴의 애퍼쳐를 갖는 절연체층(13)을 형성시키고, 그 절연체층(13)의 애퍼쳐내 다이아몬드 캐소드(20)를 형성시켜서 된 것을 특징으로 하는 전계방출 표시장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 다이아몬드 캐소드(20)를 형성시켜서 된 것을 특징으로 하는 전계방출 표시장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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