KR970023740A - 층간 접속구조 및 이를 형성하는 방법 - Google Patents
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Abstract
층간접속구조 및 이를 형성하는 방법에 대해 기재되어 있다. 이는 하부도전층이 형성되어 있는 반도체기판 상에 층간절연층을 형성하는 단계, 층간절연층 상에 상부도전층을 형성하는 단계, 하부도전층에 수직으로 대응하는 상부도전층을 부분적으로 노출시키는 홈을 갖는 감광막 패턴을 상부도전층 상에 형성하는 단계, 감광막 패턴을 식각 마스크로하여 상부도전층의 일부 두께를 식각하는 단계, 홈의 폭을 넓히기 위해, 감광막 패턴의 가장자리를 에슁하는 단계, 에슁된 감광막 패턴을 식각마스크로하여 층간절연층이 노출되도록 상부도전층은 식각하는 단계, 식각된 상부도전층을 식각마스크로하여 층간절연층을 이방성식각함으로써 하부도전층을 부분적으로 노출시키는 접촉창을 형성하는 단계, 접속창을 완전히 매몰하도록 텅스텐을 증착하는 단계 및 상부도전층이 노출될 때 까지 텅스텐을 에치백하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 반도체소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 의한 층간접속구조를 도시한 단면도이다,
제4A도 내지 제4H도는 본 발명에 의한 층간접속구조를 형성하는 방법을 설명하기 위해 도시한 단면도들이다.
Claims (3)
- 반도체기판 상에 형성된 하부도전층; 상기 반도체기판과 하부도전층 상에 형성되고, 상기 하부도전층을 상부도전층과 접속시키는 접촉창을 갖는 층간절연층; 상기 하부도전층의 수직 상부의 상기 층간절연층 상에 형성되고, 그 상단의 폭은 상기 접촉창 보다 크고 그 하단의 폭은 상기 접촉창과 동일한 구멍을 갖는 상부도전층; 및 상기 구멍과 접촉창을 완전히 채우는 모양의 텅스텐막을 포함하는 것을 특징으로 하는 층간접속구조.
- 하부도전층이 형성되어 있는 반도체 기판 상에 층간절연층을 형성하는 제1 단계 ; 상기 층간절연층 상에 상부도전층을 형성하는 제2 단계 ; 하부도전층에 수직으로 대응하는 상기 상부도전층을 부분적으로 노출시키는 홈을 갖는 감광막 패턴을 상기 상부도전층 상에 형성하는 제3단계 ; 상기 감광막 패턴을 식각마스크로하여 상기 상부도전층의 일부 두께를 식각하는 제4단계; 상기 홈의 폭을 넓히기 위해, 상기 감광막 패턴의 가장자리를 에슁하는 제5단계; 에슁된 감광막 패턴을 식각마스크로하여 상기 층간절연층이 노출되도록 상부도전층을 식각하는 제6 단계 ; 상기 제 6 단계에 의해 식각된 상부도전층을 식각마스크로 하여 상기 층간절연층을 이방성 식각함으로써 상기 하부도전층을 부분적으로 노출시키는 접족창을 형성하는 제7 단계 ; 상기 접촉창을 완전히 매몰하도록 텅스텐을 증착하는 제8 단계; 및 상기 상부도전층이 노출될 때 까지 상기 텅스텐을 에치백하는 제9단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 층간 접속구조 형성방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제5단계 후, 상기 제4단계와, 제5단계를 1회 이상 반복하는 것을 특징으로 하는 층간 접속구조 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950038991A KR970023740A (ko) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 층간 접속구조 및 이를 형성하는 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950038991A KR970023740A (ko) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 층간 접속구조 및 이를 형성하는 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| KR970023740A true KR970023740A (ko) | 1997-05-30 |
Family
ID=66585072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950038991A KR970023740A (ko) | 1995-10-31 | 1995-10-31 | 층간 접속구조 및 이를 형성하는 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970023740A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8955172B2 (en) | 2009-12-08 | 2015-02-17 | Bill Culwell | Water closet flange seal |
-
1995
- 1995-10-31 KR KR1019950038991A patent/KR970023740A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8955172B2 (en) | 2009-12-08 | 2015-02-17 | Bill Culwell | Water closet flange seal |
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