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ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
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ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
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Novel fluorosulfonyloxyalkyl sulfonate salts and derivatives, photoacid generators, resist compositions, and patterning process
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信越化学工業株式会社 |
光酸発生剤並びにこれを用いたレジスト材料及びパターン形成方法
|
JP5124805B2
(ja)
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2006-06-27 |
2013-01-23 |
信越化学工業株式会社 |
光酸発生剤並びにこれを用いたレジスト材料及びパターン形成方法
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2006-09-28 |
2011-05-20 |
신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 |
신규 광산 발생제 및 이것을 이용한 레지스트 재료 및 패턴형성 방법
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(en)
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2006-10-27 |
2009-08-04 |
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. |
Sulfonium salt having polymerizable anion, polymer, resist composition, and patterning process
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2014-07-08 |
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중합성 술폰산 오늄염 및 수지
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JP4355725B2
(ja)
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2006-12-25 |
2009-11-04 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
|
JP5019071B2
(ja)
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2007-09-05 |
2012-09-05 |
信越化学工業株式会社 |
新規光酸発生剤並びにこれを用いたレジスト材料及びパターン形成方法
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(en)
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2012-10-09 |
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Sulfonic acid salt and derivative thereof, photoacid generator agent, and resist material and pattern formation method using the photoacid generator agent
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JP5054041B2
(ja)
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2008-02-08 |
2012-10-24 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
JP5054042B2
(ja)
|
2008-02-08 |
2012-10-24 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
JP4966886B2
(ja)
*
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2008-02-12 |
2012-07-04 |
富士フイルム株式会社 |
感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に用いられる化合物
|
JP5131482B2
(ja)
|
2008-02-13 |
2013-01-30 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
|
CN101970400B
(zh)
|
2008-03-13 |
2015-04-22 |
中央硝子株式会社 |
具有含氟碳负离子结构的盐及其衍生物、光产酸剂以及使用其的抗蚀材料和图案形成方法
|
EP2101217B1
(en)
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2008-03-14 |
2011-05-11 |
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. |
Sulfonium salt-containing polymer, resist compositon, and patterning process
|
JP5245956B2
(ja)
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2008-03-25 |
2013-07-24 |
信越化学工業株式会社 |
新規光酸発生剤並びにこれを用いたレジスト材料及びパターン形成方法
|
JP4998746B2
(ja)
|
2008-04-24 |
2012-08-15 |
信越化学工業株式会社 |
スルホニウム塩を含む高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法
|
JP4569786B2
(ja)
|
2008-05-01 |
2010-10-27 |
信越化学工業株式会社 |
新規光酸発生剤並びにこれを用いたレジスト材料及びパターン形成方法
|
JP5237173B2
(ja)
|
2008-06-03 |
2013-07-17 |
信越化学工業株式会社 |
重合性化合物、高分子化合物及びポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
US8685616B2
(en)
|
2008-06-10 |
2014-04-01 |
University Of North Carolina At Charlotte |
Photoacid generators and lithographic resists comprising the same
|
JP5201363B2
(ja)
|
2008-08-28 |
2013-06-05 |
信越化学工業株式会社 |
重合性アニオンを有するスルホニウム塩及び高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法
|
JP5841707B2
(ja)
|
2008-09-05 |
2016-01-13 |
富士フイルム株式会社 |
ポジ型レジスト組成物、該組成物を用いたパターン形成方法及び該組成物に用いられる樹脂
|
TWI400226B
(zh)
|
2008-10-17 |
2013-07-01 |
Shinetsu Chemical Co |
具有聚合性陰離子之鹽及高分子化合物、光阻劑材料及圖案形成方法
|
JP5401910B2
(ja)
|
2008-10-17 |
2014-01-29 |
セントラル硝子株式会社 |
重合性アニオンを有する含フッ素スルホン塩類とその製造方法、含フッ素樹脂、レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
|
JP5446679B2
(ja)
|
2008-10-29 |
2014-03-19 |
セントラル硝子株式会社 |
アルコキシカルボニルフルオロアルカンスルホン酸塩類の製造方法
|
JP4813537B2
(ja)
|
2008-11-07 |
2011-11-09 |
信越化学工業株式会社 |
熱酸発生剤を含有するレジスト下層材料、レジスト下層膜形成基板及びパターン形成方法
|
TWI417274B
(zh)
|
2008-12-04 |
2013-12-01 |
Shinetsu Chemical Co |
鹽、酸發生劑及使用其之抗蝕劑材料、空白光罩,及圖案形成方法
|
JP5417150B2
(ja)
|
2008-12-18 |
2014-02-12 |
富士フイルム株式会社 |
感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、レジスト膜、それを用いたパターン形成方法、及び樹脂
|
JP5368270B2
(ja)
|
2009-02-19 |
2013-12-18 |
信越化学工業株式会社 |
新規スルホン酸塩及びその誘導体、光酸発生剤並びにこれを用いたレジスト材料及びパターン形成方法
|
JP5463963B2
(ja)
|
2009-03-09 |
2014-04-09 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
JP5407941B2
(ja)
|
2009-03-09 |
2014-02-05 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
TWI485511B
(zh)
|
2009-03-27 |
2015-05-21 |
Jsr Corp |
敏輻射線性樹脂組成物及聚合物
|
JP5287552B2
(ja)
|
2009-07-02 |
2013-09-11 |
信越化学工業株式会社 |
光酸発生剤並びにレジスト材料及びパターン形成方法
|
JP5464131B2
(ja)
|
2009-12-02 |
2014-04-09 |
信越化学工業株式会社 |
化学増幅レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
JP5216032B2
(ja)
|
2010-02-02 |
2013-06-19 |
信越化学工業株式会社 |
新規スルホニウム塩、高分子化合物、高分子化合物の製造方法、レジスト材料及びパターン形成方法
|
JP5561192B2
(ja)
|
2010-02-26 |
2014-07-30 |
信越化学工業株式会社 |
高分子化合物及びこれを用いた化学増幅ポジ型レジスト組成物並びにパターン形成方法
|
JP5007846B2
(ja)
|
2010-02-26 |
2012-08-22 |
信越化学工業株式会社 |
化学増幅ネガ型レジスト組成物及びパターン形成方法
|
JP5618625B2
(ja)
*
|
2010-05-25 |
2014-11-05 |
富士フイルム株式会社 |
パターン形成方法及び感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物
|
JP5505371B2
(ja)
|
2010-06-01 |
2014-05-28 |
信越化学工業株式会社 |
高分子化合物、化学増幅ポジ型レジスト材料、及びパターン形成方法
|
KR101535197B1
(ko)
|
2010-10-13 |
2015-07-08 |
샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드 |
중합성 함불소 술폰산염류, 함불소 술폰산염 수지, 레지스트 조성물 및 그것을 사용한 패턴 형성 방법
|
US8993212B2
(en)
|
2010-10-27 |
2015-03-31 |
Central Glass Company, Limited |
Fluorine-containing sulfonic acid salts, photo-acid generator and resist composition and pattern formation method utilizing same
|
JP5278406B2
(ja)
|
2010-11-02 |
2013-09-04 |
信越化学工業株式会社 |
パターン形成方法
|
JP5601309B2
(ja)
|
2010-11-29 |
2014-10-08 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
JP5776580B2
(ja)
|
2011-02-25 |
2015-09-09 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法
|
JP5411893B2
(ja)
|
2011-05-30 |
2014-02-12 |
信越化学工業株式会社 |
スルホニウム塩、高分子化合物、該高分子化合物を用いた化学増幅型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法
|
JP5491450B2
(ja)
|
2011-05-30 |
2014-05-14 |
信越化学工業株式会社 |
高分子化合物、化学増幅レジスト材料、該化学増幅レジスト材料を用いたパターン形成方法。
|
US9221928B2
(en)
|
2011-06-20 |
2015-12-29 |
Central Glass Company, Limited |
Fluorine-containing sulfonate resin, fluorine-containing N-sulfonyloxyimide resin, resist composition and pattern formation method
|
JP5472217B2
(ja)
|
2011-06-29 |
2014-04-16 |
信越化学工業株式会社 |
2,2−ビス(フルオロアルキル)オキシラン類を用いた光酸発生剤の製造方法
|
JP5601286B2
(ja)
|
2011-07-25 |
2014-10-08 |
信越化学工業株式会社 |
レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法
|
JP5434983B2
(ja)
|
2011-07-27 |
2014-03-05 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
JP5698184B2
(ja)
|
2011-09-02 |
2015-04-08 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
|
JP5698185B2
(ja)
|
2011-09-06 |
2015-04-08 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
|
JP6019849B2
(ja)
|
2011-09-08 |
2016-11-02 |
セントラル硝子株式会社 |
含フッ素スルホン酸塩類、含フッ素スルホン酸塩樹脂、レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
|
JP5655755B2
(ja)
|
2011-10-03 |
2015-01-21 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
JP5655756B2
(ja)
|
2011-10-03 |
2015-01-21 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
JP5678864B2
(ja)
|
2011-10-26 |
2015-03-04 |
信越化学工業株式会社 |
ArF液浸露光用化学増幅ポジ型レジスト材料及びパターン形成方法
|
JP5668710B2
(ja)
|
2012-02-27 |
2015-02-12 |
信越化学工業株式会社 |
高分子化合物及びそれを含んだレジスト材料並びにパターン形成方法、該高分子化合物の製造方法
|
JP2013173855A
(ja)
|
2012-02-27 |
2013-09-05 |
Shin-Etsu Chemical Co Ltd |
高分子化合物の製造方法、該製造方法によって製造された高分子化合物及びそれを含んだレジスト材料並びにパターン形成方法
|
JP6013218B2
(ja)
|
2012-02-28 |
2016-10-25 |
信越化学工業株式会社 |
酸発生剤、化学増幅型レジスト材料、及びパターン形成方法
|
JP5615860B2
(ja)
|
2012-03-07 |
2014-10-29 |
信越化学工業株式会社 |
酸発生剤、化学増幅型レジスト材料、及びパターン形成方法
|
JP5712963B2
(ja)
|
2012-04-26 |
2015-05-07 |
信越化学工業株式会社 |
高分子化合物、ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
JP5783137B2
(ja)
|
2012-06-15 |
2015-09-24 |
信越化学工業株式会社 |
スルホニウム塩、高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法
|
JP5772760B2
(ja)
|
2012-08-13 |
2015-09-02 |
信越化学工業株式会社 |
ポジ型レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
JP6131776B2
(ja)
|
2012-09-05 |
2017-05-24 |
信越化学工業株式会社 |
レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法
|
JP6048345B2
(ja)
|
2012-09-05 |
2016-12-21 |
信越化学工業株式会社 |
レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法
|
JP6127832B2
(ja)
|
2012-09-05 |
2017-05-17 |
信越化学工業株式会社 |
レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法
|
JP5817707B2
(ja)
|
2012-11-21 |
2015-11-18 |
信越化学工業株式会社 |
現像液及びこれを用いたパターン形成方法
|
JP5790631B2
(ja)
|
2012-12-10 |
2015-10-07 |
信越化学工業株式会社 |
スルホニウム塩及び高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法、並びに該高分子化合物の製造方法
|
JP5835204B2
(ja)
|
2012-12-20 |
2015-12-24 |
信越化学工業株式会社 |
レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法
|
JP5825252B2
(ja)
|
2012-12-26 |
2015-12-02 |
信越化学工業株式会社 |
レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法
|
JP5812030B2
(ja)
|
2013-03-13 |
2015-11-11 |
信越化学工業株式会社 |
スルホニウム塩及び高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法
|
JP6213296B2
(ja)
|
2013-04-10 |
2017-10-18 |
信越化学工業株式会社 |
現像液を用いたパターン形成方法
|
JP6237470B2
(ja)
|
2013-06-12 |
2017-11-29 |
信越化学工業株式会社 |
感光性レジスト材料用現像液及びこれを用いたパターン形成方法
|
JP6221939B2
(ja)
|
2013-06-19 |
2017-11-01 |
信越化学工業株式会社 |
感光性レジスト材料用現像液及びこれを用いたパターン形成方法
|
JP6325464B2
(ja)
|
2015-01-05 |
2018-05-16 |
信越化学工業株式会社 |
現像液及びこれを用いたパターン形成方法
|
JP6370265B2
(ja)
|
2015-07-09 |
2018-08-08 |
信越化学工業株式会社 |
重合性モノマー、高分子化合物、ポジ型レジスト材料、及びパターン形成方法
|
JP6411967B2
(ja)
|
2015-07-29 |
2018-10-24 |
信越化学工業株式会社 |
レジスト材料並びにこれを用いたパターン形成方法
|
JP6346129B2
(ja)
|
2015-08-05 |
2018-06-20 |
信越化学工業株式会社 |
化合物、高分子化合物、レジスト組成物、及びパターン形成方法
|
JP6651965B2
(ja)
|
2016-04-14 |
2020-02-19 |
信越化学工業株式会社 |
単量体、高分子化合物、レジスト組成物及びパターン形成方法
|
US20230384677A1
(en)
|
2022-05-24 |
2023-11-30 |
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. |
Onium salt compound, polymer, resist composition, and patterning process
|