KR910003777A - 검사 데이터 해석 시스템 - Google Patents

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KR910003777A
KR910003777A KR1019900010577A KR900010577A KR910003777A KR 910003777 A KR910003777 A KR 910003777A KR 1019900010577 A KR1019900010577 A KR 1019900010577A KR 900010577 A KR900010577 A KR 900010577A KR 910003777 A KR910003777 A KR 910003777A
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마사오 사까따
준 나까자또
사다오 시모야시로
히로또 나가또모
유조 다니구찌
오사무 사또우
쓰또무 오까베
유자부로 사까모또
기미오 무라마쓰
가즈히꼬 마쓰오까
다이조 하시모또
유이찌 오오야마
유따까 에바라
이사오 미야자끼
스이찌 하나시마
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미따 가쓰시게
가부시끼가이샤 히다찌세이사꾸쇼
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Abstract

내용 없음.

Description

검사 데이타 해석 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 실시예에 따라 검사 데이타 해석 시스템의 전체 구성을 나타내는 도면,
제2도는 제1도에 도시된 이물질 검사 시스템의 부분 구성을 나타내는 도면.

Claims (33)

  1. 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 외관불량의 좌표를 측정하는 수단과, 사전에 가공물상에 설정한 복수 영역의 기하학적 배열정보를 기억하는 수단과, 상기 외관불량이 상기 영역중 어디에 속하는가를 판단하는 수단을 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  2. 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 외관불량의 좌표를 측정하는 수단과, 외관검사 직전의 상기 가공물 제조공정을 인식하는 수단과, 각 좌표에서 외관 검사된 새로운 외관불량을 뽑아내기 위해 동일한 가공물의 외관 검사결과를 제조공정순으로 비교하는 수단을 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  3. 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 가공물을 식별하는 수단을 갖는 외관검사장치와, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 수단과, 가공물상에 사전에 설정한 복수 영역의 기하학적 배열정보를 기억하는 수단과, 상기 외관불량이 상기 영역중 속하는가를 판단하는 수단과, 처리결과의 출력 수단을 갖는 데이타 처리장치를 구비하는 검사 데이타 해석시스템.
  4. 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 외관불량의 좌표를 측정하는 수다노가, 외관검사 직전의 가공물 제조공정을 인식하는 수단과, 가공물을 식별하는 수단을 갖는 외관검사 장치와, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 수단과, 각 외관 검사에 의해 새롭게 검사된 외관불량을 뽑아내기 위해 제조공정순으로 가공물을 외관 검사한 결과를 비교하는 수단과, 처리결과의 출력수단을 갖는 데이타 처리장치를 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  5. 상기 외관불량의 좌표를 측정하는 수단과, 상기 외관불량의 발생수를 측정하는 수단과, 가공물을 식별하는 수단을 갖는 제1외관검사장치와, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 수단과, 각 가공물마다 또는 공정마다 데이타를 처리하는 수단과, 처리결과의 출력 수단을 갖는 제1데이타 처리장치와, 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 가공물 위에 발생한 외관불량의 수를 계수하는 수단과, 상기 가공물 상에 발행한 상기 외관 불량의 좌표를 측정하는 수단과, 외관 불량 종류를 인식하는 수단과, 외관검사 직전의 가공물 제조공정을 인식하는 수단과, 가공물을 식별하는 수단을 갖는 제2외관검사장치와, 상기 제2외관 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 수단과, 가공물마다 또는 공정마다 데이타를 처리하는 수단과, 처리 결과의 출력 수단을 갖는 제2데이타 처리 장치를 구비하며, 제1 및 제2외관 검사 장치는 가공물 제조실내에 설치하고, 제1외관 검사장치와 제1데이타 처리장치는 통신회선으로 연결하며 제2외관 검사 장치와 제2데이타 처리 장치는 또 다른 통신회선을 연결하고, 상기 제2데이타 처리 장치는 외관 불량수가 시간적으로 증가하는 공정 또는 가공물상의 외관 불량의 분포가 한쪽에 치우친 공정 또는 다수의 외관 불량의 발생 빈도가 많은 공정을 찾아내는 해석을 실시하며, 상기 제2외관 검사장치는 해석 결과를 토대로 피검사 공정을 결정하는 검사데이타 해석 시스템.
  6. 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 외관불량의 좌표를 측정하는 수단과, 가공물을 식별하는 수단을 갖는 외관검사장치와, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 수단과, 처리결과를 출력하는 수단을 갖는 데이타 처리 장치와, 가공물상에 사전에 설정된 각 영역의 부품 또는 제품으로서의 특성을 측정하는 수단과, 가공물을 식별하는 수단을 갖는 제품 특성 감사장치와, 상기 제품 특성 검사장치의 측정 결과를 토대로 이 가공물상에 미리 설정된 각 영역마다 제품 또는 부품으로서 불량품인가를 판단하는 수단과, 상기 외관 검사장치의 검사결과와 상기 판정장치의 판정결과를 축적하는 수단을 갖는 데이타 처리장치를 구비하며, 상기 시스템은 가공 물상에 미리 설정한 좌표계에 제품 특성 검사에서 사전에 설정한 영역의 기하학적 배열정보를 기술하기 위한 좌표계를 대응시키는 것을 특징으로 하는 검사데이타 해석 시스템.
  7. 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하고 상기 외관불량의 좌표를 측정하는 수단과, 가공물을 식별하는 수단을 갖는 외관검사장치와, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 수단과, 사전에 분할된 영역의 기하학적 배치 정보를 기억시키는 수단과, 복수의 피검사 기공물상의, 외관불량분포와, 상기 사전 불할된 영역을 가공물상에 겹쳐서 표시하는 수단을 갖는 데이타 처리장치를 구비하는 검사데이타 해석 시스템.
  8. 제1항에 있어서, 외관 불량수와 외관 불량 밀도는 사전에 분할된 영역을 기초로 계산하고, 가공물상에 겹쳐서 표시하는 것을 특징으로 하는 검사데이타 해석 시스템.
  9. 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 외관불량의 좌표를 측정하는 수단과, 외관불량의 종류를 식별하는 수단과, 가공물을 식별하는 수단을 갖는 외관검사 장치와, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 수단과, 피검사 가공물 외관불량의 종류별 분포를 표시하는 수단을 갖는 데이타 처리 장치를 구비하는 검사데이타 해석 시스템.
  10. 가공물 제조 라인의 외관 검사 공정에 있어서, 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 외관 불량의 좌표를 측정하는 수단과, 외관불량의 종류를 식별하는 수단과, 상기 가공물을 식별하는 수단을 갖는 외관검사장치와, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 수단과, 피검사 가공물 외관불량의 도수에 대한 피검사 가공물수의 도수의 관계를 표시하는 수단을 갖는 데이타 처리 장치를 구비하는 검사데이타 해석 시스템.
  11. 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 외관불량의 좌표를 측정하는 수단과, 외관불량의 종류를 식별하는 수단과, 상기 외관검사 직전의 가공물 제조공정을 인식하는 수단을 갖는 외관검사장치와, 상기 검사장치의 검사데이타를 축적하는 수단과, 복수의 공정의 외관검사 결과를 해석작업자가 지정한 순으로 나열하고 외관불량수의 추이를 표시하는 수단을 갖는 데이타 처리 장치를 구비하는 검사데이타 해석 시스템.
  12. 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 외관불량의 좌표를 측정하는 수단과, 가공물을 식별하는 수단을 갖는 외관검사 장치와, 상기 외관검사 직전의 가공물 제조 공정을 인식하는 수단과, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 수단과, 외관검사한 모든 가공물의 상기 외관 불량분포를 비교하는 수단과, 사전 분할된 영역의 기하학적 배열 정보를 기억하는 수단과, 가공물 제조공정의 진행순으로 동일 가공물을 검사하고 각 검사 사이의 제조공정에서 발생한 외관불량 분포를 비교하고 제조공정 순으로 발생한 외관 불량의 가공물내 분포를 표시하는 수단을 갖는 데이타 처리 장치를 구비하는 검사데이타 해석 시스템.
  13. 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 외관불량의 좌표를 측정하는 수단과, 가공물을 식별하는 수단을 갖는 외관검사 장치와, 상기 외관검사 직전의 가공물 제조 공정을 인식하는 수단과, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 수단과, 외관검사한 각 가공물마다 외관 불량의 분포를 비교하는 수단과, 사전 분할된 영역의 기하학적 배열 정보를 기억하는 수단과, 상기 외관불량이 사전에 설정된 영역중 여디에 속하는가를 판단하는 수단과, 가공물 제조공정의 진행 순으로 가공물을 검사하고 각 검사 사이의 제조공정에서 발생한 외관 불량의 분포를 비교하고 제조공정순으로 발생한 외부 불량의 가공물내 분포를 사전에 분할된 영역마다 밀도 표시하는 수단을 갖는 데이타 처리 장치를 구비하는 검사데이타 해석 시스템.
  14. 가공물 제조 라인의 외관 검사 공정에 있어서, 피검사 가공물위의 외관불량을 검사하고 상기 외관불량과 가공물의 좌표를 인식하는 수단을 갖는 외관검사장치와, 사전에 분할된 가공물 영역의 기하학적인 배열 정보를 기억하는 수단과, 상기 외관불량이 어느 영역에 속하는가를 판단하는 수단과, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 수단과, 상기 사전 분할영역을 수종류에 구분하여 표시화면 상에서 복수의 영역으로 가공물을 재분할하는 수단과, 상기 재분할된 영역단위에 외관 불량의 밀도를 표시하는 수단을 갖는 처리장치를 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  15. 피검사 가공물위의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 외관불량의 좌표를 측정하는 수단과, 상기 외관불량의 종류를 식별하는 수단과, 가공물을 식별하는 번호를 인식하는 수단을 갖는 외관검사장치와, 가공물내의 상기 사전 불할 영역의 제품특성을 검사하는 수단과, 가공물을 식별하는 기호를 인식하는 수단을 갖는 제품특성 검사 장치와, 상기 제품특성 검사 결과를 토대로 사전에 분할된 영역이 양질품인지 또는 불량품 인지를 판정하는 수단을 갖는 판정 장치와, 상기 검사 장치의 검사 데이타를 축적하고 가공물내 칩의 기하학적 배열 정보를 기억하는 수단과, 피검사 가공물상의 사전 분할 영역에 대한 제품 특성 거사로서 판정한 양질품 또는 불량품과의 관계를 표시하는 수단을 갖는 데이타 처리장치를 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  16. 피검사 가공물상의 외관불량을 검사하는 수단과, 상기 외관불량을 식별하는 수단과, 가공물을 식별하는 기호를 인식하는 수단과, 상기 외관검사 직전의 가공물 제조공정을 인식하는 수단을 갖는 외관검사 장치와, 가공물내의 사전 분할된 각 영역의 제품특성을 검사하는 수단과, 가공물을 식별하는 기호를 인식하는 수단을 갖는 제품특성 검사장치와, 상기 제품특성 검사 결과를 토대로 사전에 분할된 영역이 양질품 또는 불량품인지를 판정하는 수단을 갖는 판정 장치와, 사전 분할 영역의 기하학적 배열정보를 기억하는 수단과, 각 외관 불량이 사전 분할 영역중 어디에 속하는가를 판단하는 수단과, 동일 가공물을 제조공정순으로 검사하고 각 검사에 의하여 얻어진 외관 불량의 분포를 비교하고 새로 검사된 외관 불량을 뽑아내며 외관 불량이 발생한 공정과 사전 분할 영역의 제품특성의 양질품 또는 불량품과의 관계를 표시하는 수단을 갖는 데이타 처리장치를 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  17. 제15항에 있어서, 외관 불량의 발생 현상과 종류에 착안하여, 외관 분량을 분류하여 해석하고, 상기 분류에 의거 하여 해석 결과를 표시하는 것을 특징으로 하는 검사 데이타 해석 시스템.
  18. 제17항에 있어서, 우선, 품종명을 지정하고, 필요하다면, 그후, 공정명, 로트번호, 가공물번호, 검사기간 작업자명을 지정하는 데이타 지정방법을 추가로 포하함하는 검사 데이타 해석 시스템.
  19. 제5항에 있어서, 제1 및 제2데이타 처리장치의 어느 한쪽 또는 양쪽 모두는 가공물 제조실밖에 설치하는 것을 특징으로 하는 검사 데이타 해석 시스템.
  20. 반도체 장치 제조라인의 외관검사 공정에 있어서, 피검사 웨이퍼의 외관 불량 좌표와 외관불량 종류와 웨이퍼를 식별하는 기능을 갖는 외관검사 장치와, 피검사 웨이퍼의 칩 내부의 기하학적 배열정보와 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 기능을 갖는 처리장치와, 단일 또는 복수의 피검사 웨이퍼의 외관 불량을 상기 칩의 기하학적 배열 정보에 따라서 표시 화면에 그려진 웨이퍼상에 겹쳐서 표시하는 수단을 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  21. 제20항에 있어서, 단일 또는 복수의 피검사 웨이퍼의 각 칩 내부에 발생한 외관 불량을 칩 단위로 표시하는 수단을 추가로 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  22. 제20항에 있어서, 피검사 웨이퍼상에 발생한 외관 불량의 종류별로, 피검사 웨이퍼별로 품종별로, 외관 불량의 개수 및 분포를 표시하는 수단을 추가로 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  23. 제20항에 있어서, 피검사 웨이퍼의 외관 불량의 종류별 도수에 대한 피검사 웨이퍼수의 도수를 표시하는 수단을 추가로 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  24. 반도체 장치 제조라인의 외관 검사 공정에 있어서, 피검사 웨이퍼에서 발생한 외관 불량 좌표와 외관 불량 종류와 웨이퍼를 식별하는 기능을 갖는 외관 검사 장치와, 상기 피검사 웨이퍼에 형성된 반도체 장치를 갖는 웨이퍼의 칩 내부의 기하학적 배열 정보와, 상기 외관 검사를 실시하기전의 반도체 장치의 제조공정을 인식하는 기능을 가지며 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 기능을 갖는 처리장치와, 피검사 웨이퍼의 반도체장치의 제조공정의 진행순으로 외관 불량수의 추이를 표시하는 수단을 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  25. 반도체 장치 제조라인의 외관 검사 공정에 있어서, 피검사 웨이퍼에서 발생한 외관 불량 좌표를 갖는 외관 검사 장치와, 상기 피검사 웨이퍼상에서 형성된 반도체 장치를 갖는 웨이퍼의 칩 내부의 기하학적 배열 정보와, 상기 외관 검사를 실시하기전의 반도체 장치의 제조공정을 인식하는 기능과, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 기능과, 외관 검사마다 웨이퍼의 외관 불량 발생좌표를 비교하는 기능을 갖는 처리장치와, 피검사 웨이퍼에 형성된 반도체 장치의 제조공정의 진행순으로 외관 불량 발생 웨이퍼의 좌표를 비교하고, 각 검사간의 제조공정에서 발생한 외관 불량수를 동정하고, 제조 공정순으로 발생하는 외관 불량수의 추이를 표시하는 수단을 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  26. 제25항에 있어서, 피검사 웨이퍼의 반도체 장치의 제조 공정의 진행순으로 검사하는 웨이퍼상에 발생한 외관 불량 좌표를 비교하고, 각 검사간의 제조공정에서 발생한 외관불량 좌표를 동정하고, 제조공정순으로 발생하는 외관불량의 분포를 화면 또는 좌표로 표기하는 수단을 추가로 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  27. 반도체 장치 제조라인의 외관 검사 공정에 있어서, 피검사 웨이퍼상에서 발생한 외관 불량 좌표를 갖는 외관 검사 장치와, 상기 피검사 웨이퍼상에 형성된 반도체 장치를 갖는 웨이퍼의 칩 내부의 기하학적 배열 정보와, 상기 검사장치의 검사데이타를 축적하는 기능과, 검사 데이타을 웨이퍼 상의 좌표에서 임의로 분할하는 기능을 갖는 처리장치와, 단일 또는 복수의 피검사 웨이퍼상에서 발행한 외관 불량을 웨이퍼상에 임의로 분할한 영역에 겹쳐서 화면에 표시하는 수단을 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  28. 반도체장치 제조라인의 외관 검사 공정에 있어서, 피검사 웨이퍼상에서 발생한 외관 불량 좌표 및 종류와 웨이퍼를 식별하는 기능을 갖는 외관검사 장치와, 상기 피검사 웨이퍼상에 형성된 반도체 장치를 갖는 웨이퍼의 칩 내부의 기하학적 배열 정보와, 상기 외관 검사를 실시하기전의 반도체 장치의 제조공정을 인식하는 기능과, 상기 검사 장치의 검사 데이타를 축적하는 기능과, 외관검사마다 웨이퍼의 외관 불량발생 좌표를 비교하는 처리장치와, 피검사 웨이퍼상에 형성된 반도체 장치의 제조공정의 진행 순으로 외관 불량 발생 웨이퍼의 좌표를 비교하고, 검사간의 제조공정에서 발생한 외관 불량수를 동정하고, 제조공정순으로 발생하는 외관 불량수의 추이를 표시하는 수단을 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  29. 반도체 장치 제조라인의 외관 검사 공정에 있어서, 피검사 웨이퍼의 외관불량 좌표와 외관 불량 종류를 식별하는 기능을 갖는 외관검사 장치와, 반도체 장치의 전기적 특성이 양질품인지 또는 불량품인지를 판단하는 기능을 갖는 전기 특성 검사장치와, 피검사 웨이퍼상에 형성된 반도체 장치를 갖는 웨이퍼의 챕 내부의 기하학적 배열정보와, 상기 검사 장치의 검사 데이타를 축적하는 기능을 갖는 처리장치와, 상기 외관 검사 및 전기적 특성 검사를 받는 웨이퍼상에서 발생한 외관 불량수와 한 웨이퍼에 포함된 모든 칩웨에서 전기적 특성의 양질품수의 비율을 표시하는 수단을 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  30. 제29항에 있어서, 외관검사되는 피검사 웨이퍼상에 포함된 각 칩내에 발생한 외관 불량을 종류 또는, 개수에 의하여 분리하고, 이 분리된 불량품과 한 웨이퍼의 모든 칩에 포함된 전기적 특성의 양질품의 비율을 표시하는 수단을 추가로 포함하는 데이타 해석 시스템.
  31. 반도체 장치 제조라인의 외관 검사공정에 있어서, 피검사 웨이퍼상에서 발생한 외관불량 좌표 및 불량 종류를 식별하는 기능을 갖는 외관검사장치와, 반도체 장치의 전기적 특성에 대해 양질품 인지 또는 불량품인지를 판정하는 기능을 갖는 전기 특성 검사 장치와, 상기 피검사, 웨이퍼상에 형성된 반도체장치를 갖는 웨이퍼의 칩내부의 기하학적 배열 정보와, 상기 외관검사를 실시하기전의 반도체 장치의 제조공정을 인식하는 기능과, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 기능을 갖는 처리장치와, 외관불량이 발생된 칩과 하나의 웨이퍼에 포함된 모든 칩의 전기적 특성 양질품의 비율을 표시하는 수단을 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  32. 반도체 장치 제조라인의 외관 검사공정에 있어서, 피검사 웨이퍼에 발행한 외관불량 좌표 및 불량 종류를 식별하는 기능을 갖는 외관검사장치와, 전기적 특성에 대해 반도체 장치의 양질품과 불량품의 불량종류를 식별하는 기능을 갖는 전기특성검사 장치와, 상기 피검사 웨이퍼상에 형성된 반도체장치를 갖는 웨이퍼의 칩 내부의 기하학적 배열 정보와, 상기 외관 검사를 실시하기전의 반도체 장치의 제조공정을 인식하는 기능과, 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 기능을 갖는 처리장치와, 외관 불량의 종류와 전기 특성의 불량의 관게를 표시하는 수단을 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
  33. 반도체 장치 제조라인의 외관 검사 공정에 있어서, 피검사 웨이퍼상에 발생한 외관불량좌표와 외관 불량의 종류를 불량발생의 원인과 결과의 관점에서 식별하여 웨이퍼를 식별하는 기능을 갖는 외관 검사 장치와, 상기 피검사 웨이퍼상에 형성된 반도체 장치를 갖는 웨이퍼의 칩 내부의 기하학적 배열정보와 상기 검사장치의 검사 데이타를 축적하는 기능을 갖는 처리장치와, 단일 또는 복수의 피검사 웨이퍼상에 발행한 외관 불량의 원인과 결과를 표시하는 수단을 구비하는 검사 데이타 해석 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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