KR840008533A - 반도체 재료의 제조방법 및 그것에 사용하는 장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명에 의한 잉곳 어닐의 공정을 도시한 도면.
제6도는 본 발명에 의한 반도체 제조장치의 실시예 1를 도시한 대략적인 단면도.
제7도는 본 발명에 있어서의 어닐 및 급냉(急冷)의 온도프로그램을 표시한 도면
Claims (21)
- 다음의 공정으로 되는 반도체 재료의 제조방법; 상기 제조방법은 벨 자와 상기 벨 자의 일부에 고정된 자크와 상기 벨 자의 외주에 마련된 열원으로 되는 장치를 사용한다. (a). 상기 반도체 재료를 상기 자크에 고정하는 것의 의해서 상기 벨 자내에 수용하는 공정, 상기 반도체 재료는 단결정 잉곳이며, 상기 단결정 잉곳은 그 한쪽이 상기 자크에 고정되어 늘어트리게 된다. (b). 상기 단결정 잉곳을 상기 열원을 사용해서 가열하는 공정, 상기 열원은 복사열원이며, 상기 복사열원으로부터의 복사열에 의해서 상기 단결정 잉곳을 가열한다. (c). 상기 단결정 잉곳을 냉각하는 공정.
- 특허청구의 범위 제1항에 따르는 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 공정(c)에 있어서, 상기 복사열원을 제어하는 것에 의해서 상기 단결정 잉곳을 냉각한다.
- 특허청구의 범위 제2항에 따르는 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 단결정 잉곳의 상기 한쪽은 시이트 측이다.
- 특허청구의 범위 제3항에 따르는 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 단결정 잉곳은 종결정과 결합하고 있으며, 상기 단결정 잉곳의 상기 종결정이 상기 자크에 고정되어 있다.
- 특허청구의 범위 제2항에 따르는 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 복사열원은 적외선 램프이다.
- 특허청구의 범위 제5항에 따르는 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 적외선 램프에 흐르는 전류를 제어하는 것에 의해서 상기 단결정 잉곳을 냉각한다.
- 특허청구의 범위 제2항에 따르는 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 벨자내는 비산화성 분위기이다.
- 특허청구의 범위 제2항에 따르는 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 단결정 잉곳은 실리콘으로 된다.
- 특허청구의 범위 제2항에 따르는 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 단결정 잉곳은 Ga-As, Ga-P, Ga-Sb, In-P, In-As 그리고, In-P의 III-V족 화합물 반도체인 것.
- 특허청구의 범위 제2항에 따르는 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 단결정 잉곳은 II-VI족 화합물 반도체인 것.
- 특허청구의 범위 제8항에 따르는 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 단결정잉곳은 직경 125㎜ 이상이다.
- 다음 공정으로 되는 실리콘 반도체 재료의 제조방법. (a). 상기 실리콘 반도체 재료를 1200℃이상의 온도로 가열하고, 일정시간 유지하는 공정. (b). 상기 실리콘 반도체 재료를 1100℃까지 냉각하는 공정. (c). 상기 실리콘 반도체 재료를 1100℃에서 380℃이하의 소정의 온도까지 25∼100℃/분의 속도로 급냉하는 공정. (d). 상기 실리콘 반도체 재료를 상기 380℃13. 이하의 소정의 온도로 유지하는 공정.
- 특허청구의 범위 제12항에 따르는 실리콘 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 공정(b)에 있어서, 10∼15℃/분의 속도로 냉각한다.
- 특허청구의 범위 제12항에 따르는 실리콘 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 실리콘 반도체 재료는 단결정 잉곳이다.
- 특허청구의 범위 제14항에 따르는 실리콘 반도체 재료의 제조방법에 있어서, 상기 잉곳은 직경 125㎜ 이상이다.
- 반도체 재료를 어닐하기 위한 세로형 열처리를를서 다음의 것으로 된다.반도체 재료를 그 내부에 수용하기 위한 벨자, 벨자는 내부가 공동의 통이며, 세운상태이고, 벨자는 적어도 그 상부에 뚜껑을 가지며, 벨자의 내부는 기밀이 되도록 마련된다.반도체 재료를 유지하기 위한 자크, 자크는 상기 뚜껑에 마련된다. 반도체 재료는 자크에서 벨자의 내부로 늘어지게 된다. 그리고, 상기 벨자의 외주에 마련된 복사열원.
- 특허청구의 범위 제16항에 따르는 세도형 열처리로에 있어서, 상기 복사열원은 적외선 램프이고, 상기벨자는 투명의 석영으로 된다.
- 특허청구의 범위 제17항에 따르는 세로형 열처리로에 있어서, 상기 적외선 램프는 상기 벨자 외주에 서로 일정한 거리를 갖고 배치되어 있다.
- 특허청구의 범위 제18항에 따르는 세로형 열처리로에 있어서, 상기 적외선 램프에 반사경이 설치된다. 반사경은 상기 적외선 램프로부터 적외선의 대부분이 상기 벨자에 행하도록 설치된다.
- 특허청구의 범위 제16항에 따르는 세로형 열처리로에 있어서, 상기 벨자는 반도체 재료의 잉곳과 비슷한 외형이다.
- 특허청구의 범위 제16항에 따르는 세로형 열처리로에 있어서, 상기 자크는 회전 가능하게 마련된다.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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