KR20190035758A - 레이저 박리 장치, 레이저 박리 방법, 및 유기 el 디스플레이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

일 실시 예에 따르면, 기판(11)과 해당 기판(11) 위에 형성된 박리층(12)을 적어도 구비하는 워크(10)에 대해서, 기판(11) 측에서 기판(11)과 박리층(12)의 경계면에 레이저 광(16)을 조사해서 박리층(12)을 기판(11)으로부터 박리하는 레이저 박리 장치(1)이며, 워크(10) 상에 기체(35)를 내뿜고, 워크(10) 표면에 존재하는 분진을 불어날리는 분사 유닛(22)과, 레이저 광(16)의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부(52)를 가지고, 불어날려진 분진을 개구부(52)에서 흡인해서 집진하는 집진 유닛(23)을 구비한다.

Description

레이저 박리 장치, 레이저 박리 방법, 및 유기 EL 디스플레이의 제조 방법

본 발명은, 레이저 박리 장치, 레이저 박리 방법, 및 유기 EL 디스플레이의 제조 방법에 관한 것으로, 예를 들면 레이저 광을 이용하여 기판으로부터 박리층을 분리하는 레이저 박리 장치, 레이저 박리 방법, 및 유기 EL 디스플레이의 제조 방법에 관한 것이다.

기판 상에 형성된 박리층에, 기판 측에서 레이저 광을 조사해서 박리층을 기판으로부터 박리하는 레이저 박리 장치가 알려져 있다. 특허문헌 1에는, 기판으로부터 박막을 분리하는 레이저 박리 공정에 사용되는 레이저 가공 장치가 개시되어있다.

일본 특허공보 제5220133호

배경 기술에서 설명한 바와 같이, 레이저 박리 장치는, 기판 상에 형성된 박리층에 기판 측에서 레이저 광을 조사(照射)해서 박리층을 기판으로부터 박리한다. 이때, 기판 상에 분진(particles)이 부착되어 있는 경우는, 이 분진이 부착되어 있는 부분에서 레이저 광이 박리층에 닿지 않기 때문에 이 부분에서는 기판과 박리층이 분리되지 않는다. 이 때문에 기판과 박리층을 균일하게 분리할 수 없는 문제점이 있다.

일 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치는, 워크 상에 기체를 내뿜는 분사 유닛과, 개구부에서 흡인하여 분진을 집진하는 집진 유닛을, 구비한다.

일 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치는, 레이저 광이 통과하는 광로(光路) 공간과, 광로 공간의 외측에 배치된 배기 공간을 구비하는 집진 유닛을 갖는다. 광로 공간은, 개구부의 주위에 배치된 측벽(側壁)을 가지며, 측벽에는 광로 공간에 기체를 공급하기 위한 급기홀(給氣孔)이 형성되어 있다. 급기홀에서 광로 공간에 공급된 기체는, 측벽을 따라서 워크 쪽에 흐른 뒤, 측벽의 하단과 워크 사이를 통과해서 배기 공간으로 흐르도록 구성되어 있다.

일 실시 예에 관련한 레이저 박리 방법은, 레이저 광을 조사하면서 워크를 반송할 때, 워크 상에 기체를 내뿜고, 내뿜어진 기체를 흡인해서 분진을 집진한다.

일 실시 예에 관련한 유기 EL 디스플레이의 제조 방법은, 기판과 박리층을 분리하는 공정을 포함하고, 상기 분리 공정에 있어서 레이저 광을 조사하면서 워크를 반송할 때, 워크 상에 기체를 내뿜고, 내뿜어진 기체를 흡인해서 분진을 집진한다.

상기 일 실시 예에 따르면, 기판에서 박리층을 균일하게 분리할 수 있는 레이저 박리 장치, 레이저 박리 방법, 및 유기 EL 디스플레이의 제조 방법을 제공할 수 있다.

도 1a는, 유기 EL 디스플레이의 일례를 나타내는 단면도이고,
도 1b는, 유기 EL 디스플레이의 제조 공정의 개요를 설명하기 위한 도면이고,
도 2는, 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 단면도이고,
도 3은, 레이저 박리 공정을 설명하기 위한 평면도 및 측면도이고,
도 4는, 레이저 박리 공정을 설명하기 위한 평면도 및 측면도이고,
도 5는, 레이저 박리 공정을 설명하기 위한 평면도 및 측면도이고,
도 6은, 레이저 박리 공정을 설명하기 위한 단면도이고,
도 7은, 실시 예 1에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 단면도이고,
도 8은, 실시 예 1에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 평면도이고,
도 9는, 실시 예 1에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 하면도이고고,
도 10은, 집진 유닛의 워크 근방의 확대 단면도이고,
도 11은, 실시 예 2에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 단면도이고,
도 12는, 실시 예 2에 관련한 레이저 박리 장치가 구비하는 집진 유닛을 상세하게 설명하기 위한 사시도이고,
도 13은, 실시 예 2에 관련한 레이저 박리 장치가 구비하는 집진 유닛을 상세하게 설명하기 위한 사시도이고,
도 14는, 실시 예 3에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 단면도이고,
도 15는, 실시 예 3에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 사시도이고,
도 16은, 실시 예 3에 관련한 레이저 박리 장치의 다른 구성 예를 설명하기위한 단면도이고,
도 17은, 실시 예 4에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 단면도이고,
도 18은, 실시 예 4에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 사시도이고,
도 19는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 사시도이고,
도 20은, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 사시도이고,
도 21은, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 사시도이고,
도 22는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 측면도이고,
도 23은, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버의 내부에서의 워크의 이동을 예시한 도면이고,
도 24는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 전면벽 및 후면벽에서의 필터의 유무와, 챔버의 내부의 전면벽 측 및 스테이지 상으로의 공기의 도달과의 관계를 예시한 도면이고,
도 25a는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버의 전면벽에 급기 팬을 설치하고, 후면벽에 배기 덕트용 배기구를 설치한 경우의 챔버 내부의 공기의 흐름을 예시한 사시도이고,
도 25b는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버의 전면벽에 급기 팬을 설치하고, 후면벽에 배기 덕트용 배기구를 설치한 경우의 챔버 내부의 공기 흐름을 예시한 상면도이고,
도 26a는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버의 전면벽에 급기 팬을 설치하고, 후면벽에 배기 덕트용 배기구 및 필터를 설치한 경우의 챔버 내부의 공기 흐름을 예시한 사시도이고,
도 26b는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버의 전면벽에 급기 팬을 설치하고, 후면벽에 배기 덕트용 배기구 및 필터를 설치한 경우의 챔버 내부의 공기 흐름을 예시한 상면도이고,
도 27a는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버의 전면벽에 급기 팬 및 필터를 설치하고, 후면벽에 배기 덕트용 배기구 및 필터를 설치한 경우의 챔버 내부의 공기 흐름을 예시한 사시도이고,
도 27b는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버의 전면벽에 급기 팬 및 필터를 설치하고, 후면벽에 배기 덕트용 배기구 및 필터를 설치한 경우의 챔버 내부의 공기의 흐름을 예시한 상면도이고,
도 28은, 챔버 내부의 압력이, 외부의 압력보다도 커졌을 때의 챔버를 예시 한 단면도이고,
도 29는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 집진 유닛에서의 급기량에 대한 배기량의 비(比)와, 파티클 농도를 예시한 그래프이고,
도 30은, 실시 예 5에 관련한 FFU의 작동 및 집진 유닛에서의 배기량/급기 량의 비와, 파티클 농도의 관계를 예시한 그래프이고,
도 31은, 실시 예 5에 관련한 FFU의 작동, 그리고 집진 유닛의 급기 및 배기의 제어 방법을 예시한 블록도이고,
도 32는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치의 컨트롤러의 제어를 예시 한 도면이고,
도 33은, 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 사시도이고,
도 34a는, 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버 내부에서의 워크의 이동을 예시한 도면이며 상면 벽에 투영한 도면이고,
도 34b는, 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버 내부에서의 워크의 이동을 예시한 도면이며 저면벽에 투영한 도면이고,
도 35는, 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버 내부의 공기 흐름을 예시한 도면이고,
도 36a는, 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버의 공기의 흐름을 예시한 도면이며, 급기량을 배기량보다도 크게 한 경우를 나타내고,
도 36b는, 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치에 있어서, 챔버의 공기의 흐름을 예시한 도면이며, 급기량을 배기량보다도 작게 한 경우를 나타낸다.

<유기 EL 디스플레이>

먼저, 도 1a를 이용하여 유기 EL(Electroluminescence) 디스플레이의 구조에 관해서 설명한다. 도 1a는, 유기 EL 디스플레이의 일 예를 나타내는 단면도이다. 도 1a에 나타내는 유기 EL 디스플레이(300)는, 각 화소(PX)에 TFT가 배치된 액티브 매트릭스(active-matrix) 타입의 표시 장치이다.

유기 EL 디스플레이(300)는, 기판(218), 박리층(212), TFT(Thin Film Transistor)층(311), 유기층(312), 컬러 필터층(313), 및 보호층(214)을 구비하고 있다. 도 1a에서는, 보호층(214) 측이 시인(視認) 측이 되는 전면 발광(top-emission) 방식의 유기 EL 디스플레이를 나타내고 있다. 또한, 이하의 설명은, 유기 EL 디스플레이의 일 구성 예를 나타내는 것이며, 본 실시 예는 다음에 설명되는 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 본 실시 형태에서는 후면 발광(bottom-emission) 방식의 유기 EL 디스플레이에 이용되어도 좋다.

기판(218)은 플라스틱 필름이며, 응력을 가함으로써 구부릴 수 있는 필름이다. 기판(218) 상에는 박리층(212), TFT층(311)이 설치되어 있다. TFT층(311)은, 각 화소(PX)에 배치된 TFT(311a)를 가지고 있다. 그리고 또한, TFT층(311)은, TFT(311a)에 접속되는 배선(미도시) 등을 가지고 있다. TFT(311a), 및 배선 등이 화소 회로를 구성한다.

TFT층(311) 위에는 유기층(312)이 설치되어 있다. 유기층(312)은, 화소(PX)별로 배치된 유기 EL 발광 소자(312a)를 가지고 있다. 유기 EL 발광 소자(312a)는, 예를 들면, 양극, 정공 주입층(hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 발광층, 전자 수송층(electron transport layer), 전자 주입층(electron injection layer), 및 음극이 적층된 적층 구조를 가지고 있다. 전면 발광 방식의 경우, 양극은 금속 전극이며, 음극은 ITO(Indium Tin Oxide) 등의 투명 도전막이다. 그리고 또한, 유기층(312)에는, 화소(PX) 사이에서 유기 EL 발광 소자(312a)를 분리하기 위한 격벽(312b)이 설치되어 있다.

유기층(312) 위에는, 컬러 필터층(313)이 설치되어 있다. 컬러 필터층(313)은, 컬러 표시를 하기 위한 컬러 필터(313a)가 설치되어 있다. 즉, 각 화소(PX)에는, R(적색), G(녹색), 또는 B(청색)으로 착색된 수지층이 컬러 필터(313a)로서 설치되어 있다. 유기층(312)에서 방출된 백색광은, 컬러 필터(313a)를 통과하면 RGB색의 빛으로 변환된다. 또한, 유기층(312)에, RGB의 각 색을 발광하는 유기 EL 발광 소자가 설치되어 있는 3색 방식의 경우, 컬러 필터층(313)을 생략해도 좋다.

컬러 필터층(313) 위에는, 보호층(214)이 설치되어 있다. 보호층(214)은, 수지 재료로 구성되어 있으며, 유기층(312)의 유기 EL 발광 소자의 열화를 방지하기 위해 설치되어 있다.

유기층(312)의 유기 EL 발광 소자(312a)로 흐르는 전류는, 화소 회로에 공급되는 표시 신호에 의해 변화한다. 따라서, 표시 화상에 따른 표시 신호를 각 화소(PX)에 공급함으로써 각 화소(PX)에서의 발광량을 제어할 수 있다. 이에 따라, 원하는 화상을 표시할 수 있다.

<유기 EL 디스플레이의 제조 공정>

이어서, 도 1b를 이용하여 상기에서 설명한 유기 EL 디스플레이의 제조 공정에 관해서 설명한다. 유기 EL 디스플레이를 제조할 때는, 우선 기판(211)을 준비한다(공정A). 예를 들면, 기판(211)으로는 레이저 광을 투과하는 유리 기판을 사용한다. 이어서, 기판(211) 위에 박리층(212)을 형성한다(공정B). 박리층(212)으로는, 예를 들면 폴리이미드를 사용할 수 있다. 그리고, 박리층(212) 위에 회로 소자(213)를 형성한다(공정C). 이때, 회로 소자(213)는, 도 1a에 나타내는 TFT층(311), 유기층(312), 컬러 필터층(313)을 포함한다. 회로 소자(213)는, 포토리소그래피 기술이나 성막 기술을 이용하여 형성할 수 있다. 그 후, 회로 소자(213) 상에 회로 소자(213)를 보호하기 위한 보호층(214)을 형성한다(공정D).

다음으로, 기판(211)이 위가 되도록 기판(211)을 반전시키고(공정E), 기판(211) 측에서 박리층(212)에 레이저 광(216)을 조사한다(공정F). 레이저 광 (216)으로는 라인 빔(line beam)을 사용할 수 있다. 도 1b에 나타내는 경우는, 기판(211)을 x방향으로 반송하고 있기 때문에, 기판(211)의 우측에서 좌측을 향해 레이저 광(216)이 조사된다. 그 후, 기판(211)과 박리층(212)을 분리한다(공정G). 마지막으로 필름(218)을 박리층(212)에 적층한다. 예를 들면, 필름(218)은 플라스틱 필름이며, 응력을 더함으로써 구부릴 수 있는 필름이다. 이러한 제조 공정을 이용함으로써 절곡 가능한 유기 EL 디스플레이(300)를 제작할 수 있다.

<레이저 박리 장치(비교 예)>

이어서, 공정 F에서 사용되는 레이저 박리 장치(비교 예)에 관해서 구체적으로 설명한다. 도 2는, 레이저 박리 장치(레이저 리프트 오프 장치)를 설명하기 위한 단면도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 레이저 박리 장치(201)는 광학계(220)와 스테이지(221)를 구비한다. 광학계(220)로는, 레이저 광원(미도시)에서 레이저 광이 공급된다. 레이저 광원으로는, 예를 들면 엑시머 레이저나 자외(UV) 레이저를 발생시키는 레이저 발생 장치를 사용할 수 있다. 광학계(220)는 복수의 렌즈를 이용하여 구성되어 있다. 광학계(220)는, 레이저 광원에서 공급된 레이저 광의 형상을 선상(line shape), 구체적으로 초점이 y축 방향으로 신장되는 레이저 광(216)으로 한다.

스테이지(221)는, 스테이지(221) 상에 배치된 워크(210)를 반송방향(x축 방향)으로 반송 가능하게 구성되어 있다. 이때 워크(210)는 적어도 기판(211)과 박리층(212)을 구비한다. 또한, 박리층(212) 상에 형성되어 있는 회로 소자 등은 도시를 생략한다. 워크(210)는, 기판(211) 측에서 기판(211)과 박리층(212)의 경계면에 레이저 광(216)이 조사되도록 기판(211)이 상측으로 되게 스테이지(221) 상에 배치되어 있다. 또한, 스테이지(221)는 레이저 광(216)의 초점이 기판(211)과 박리 층(212)의 경계면에 맞도록 상하 방향(z축에 따른 방향)으로 이동 가능하게 구성되어 있다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 레이저 광(216)을 조사하면서 스테이지(221)를 반송 방향(x축 방향)으로 이동시켜서 워크(210)를 반송 방향으로 반송함으로써 워크(210) 상에서 레이저 광(216)를 주사할 수 있다. 이때, 레이저 광(216)이 조사되어서 기판(211)과 박리층(212)의 경계면 부근에서 원자·분자의 결합이 분해하기 때문에 도 3에 나타낸 바와 같이, 기판(211)과 박리층(212)과의 경계면에서 그을음 형태의 연기(219)가 발생한다. 이 그을음 형태의 연기(219)는, 워크(210)의 단면(217)에서 대기 중에 방출된다. 이 그을음 형태의 연기(219)는 박리층(212)의 분해 생성물이다. 이 그을음 형태의 연기(219)는, 도 4에 나타내는 바와 같이 기판 (211)의 표면에 퇴적해서 분진(파티클)(231)이 된다.

그리고, 이 분진(231)이 기판(211)의 표면에 퇴적한 상태에서 레이저 광(216)를 주사하면, 도 5에 나타내는 바와 같이 레이저 광(216)이 분진(231)에 의해 차단되어 박리층(212)에 레이저 광(216)이 닿지 않는 부분인 다크 스팟(dark unevenness)(232)가 발생한다. 이 레이저 광(216)이 닿지 않는 다크 스팟(232)에서는, 기판(211)과 박리층(212)이 부착된 상태가 되어 있다. 따라서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 기판(211)과 박리층(212)을 박리할 때, 다크 스팟(232)과 대응하는 부분에 있어서, 기판(211)과 박리층(212)이 분리되지 않는 부분이 발생한다. 이 상태에서 기판(211)과 박리층(212)을 무리하게 분리하면, 박리층(212)의 표면이 요철 상태가 되고, 박리층(212)의 표면의 평활성에 불균일이 생긴다. 환언하면, 박리 층(212)의 두께에 불균일이 생긴다. 따라서, 기판(211)과 박리층(212)을 균일하게 분리할 수 없는 문제가 있었다. 특히 유기 EL 디스플레이의 제조 공정에 있어서 레이저 박리 장치를 이용한 경우, 기판(211)과 박리층(212)이 균일하게 분리되지 않으면, 유기 EL 디스플레이의 표시 화면에 불균일(unevenness)이 생긴다.

이러한 문제를 해결하기 위해 다음에서 설명하는 실시 예 1 내지 4에 관련한레이저 박리 장치는, 기판 상의 분진을 제거하기 위한 기구를 구비한다. 이하, 구체적으로 설명한다.

<실시 예 1>

이하, 도면을 참조해서 실시 예 1에 대해서 설명한다. 도 7 내지 도 9는 각각 실시 예 1에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 단면도, 평면도, 및 하면도이다. 도 7에 나타내는 바와 같이 레이저 박리 장치(1)는, 광학계(20), 스테이지(21), 분사 유닛(22), 및 집진 유닛(23)을 구비한다. 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(1)는, 기판(11)과 해당 기판(11) 상에 형성된 박리층(12)을 적어도 구비하는 워크(10)에 대해서, 워크(10)를 반송하면서 기판(11) 측에서 기판(11)과 박리층(12)의 경계면에 레이저 광(16)을 조사해서 박리층(12)을 기판(11)으로부터 박리하는 장치이다. 레이저 박리 장치(1)는, 레이저 광을 조사하면서 워크(10)를 반송할 때, 워크(10) 상에 기체를 내뿜고, 내뿜어진 기체를 흡인해서 분진을 집진한다.

광학계(20)로는, 레이저 광원(미도시)에서 레이저 광이 공급된다. 레이저 광원으로는, 예를 들면 엑시머 레이저나 자외(UV) 레이저를 발생시키는 레이저 발생 장치를 사용할 수 있다. 광학계(20)는 복수의 렌즈를 이용하여 구성되어 있다. 광학계(20)는 레이저 광원에서 공급된 레이저 광의 형상을 선상, 구체적으로 초점이 y축 방향으로 신장되는 레이저 광(16)(도8 참조)으로 한다.

스테이지(21)는, 스테이지(21) 상에 배치된 워크(10)를 반송 방향(x축 방향)으로 반송 가능하게 구성되어 있다. 여기에서, 워크(10)는 적어도 기판(11)과 박리층(12)을 구비한다. 또한, 박리층(12) 위에 형성되어 있는 회로 소자 등은 도시를 생략하고 있다 (이하, 동일). 워크(10)는, 기판(11) 측에서 기판(11)과 박리층(12)과의 경계면에 레이저 광(16)이 조사되도록, 기판(11)이 상측이 되도록 스테이지(21) 상에 배치되어 있다. 또한, 스테이지(21)는 레이저 광(16)의 초점이 기판(11)과 박리층(12)의 경계면에 맞게 상하방향(z축에 따른 방향)으로 이동 가능하게 구성되어 있다.

분사 유닛(22)은, 워크(10) 상에 기체를 내뿜고, 워크(10)의 표면에 존재하는 분진(파티클)을 불어날린다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 분사 유닛(22)은 집진 유닛(23)에 대해서 워크(10)의 반송 방향 하류측(x축 플러스측)에 배치되어 있다. 분사 유닛(22)은, 본체부(31), 노즐(32), 및 급기용 배관(33)을 구비한다. 도 8, 도 9에 나타내는 바와 같이, 본체부(31) 및 노즐(32)은 y축 방향(환언하면, 워크 (10)의 표면과 평행하며 워크(10)의 반송 방향과 수직인 방향)으로 신장하도록 배치되어 있다.

분사 유닛(22)의 본체부(31)에는, 급기용 배관(33)에서 기체(압축기체)가 공급된다. 그리고, 본체부(31)에 공급된 기체는, 노즐(32)의 선단에서 워크(10)의 표면을 향해서 분사된다(화살표(35)로 나타냄). 도 7에 나타내는 바과 같이, 노이즈(32)의 유로는 좁아지기 때문에 노즐(32)은 조리개로서의 기능을 한다. 이 때문에, 본체부(31) 내부의 압력이 높아져 노즐(32)의 선단에서 기체가 힘차게 분출된다. 이때, 분사 유닛(22)은 워크(10)의 반송 방향과 역방향(x축 마이너스측)으로 기체를 내뿜어서 워크(10)의 표면에 워크(10)의 반송 방향과 역방향의 층류(laminar flow)를 형성한다. 분사 유닛(22)은, 예를 들면 스테인리스 등의 금속 재료나 수지 재료를 이용해서 형성할 수 있다. 또한, 급기용 배관(33)에서 공급하는 기체로는, 압축된 불활성 가스(질소 등)나 압축 공기 등을 이용할 수 있다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 집진 유닛(23)은 분사 유닛(22)에 대해서 워크(10)의 반송방향 상류측(x축 마이너스측)에 배치되어 있으며, 분사 유닛(22)에서 내뿜어진 기체(35)에 의해 불어날려진 분진을, 개구부(52)에서 흡인해서 집진한다. 집진 유닛(23)은, 측벽(41)과, 측벽(41)의 상부에 설치된 상판(42)(도 8 참조)과, 측벽(41)의 하부에 설치된 판상부재(44,45)(도 9 참조)를 이용하여 구성되어 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 상판(42)에는 y축 방향으로 신장하는 상부 개구부(51)가 형성되어 있으며, 이 상부 개구부(51)는 뚜껑체(48)에 의해 뚜껑이 닫혀져 있다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 판상부재(44)와 판상부재(45) 사이에는 개구부(52)가 형성되어 있다. 구체적으로는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 개구부(52)는 개구부(52)에 대해서 반송방향 상류측에 설치된 y축 방향으로 신장하는 판상부재 (44)와, 개구부(52)에 대해서 반송방향 하류측에 설치된 y축 방향으로 신장하는 판상부재(45)를 이용하여 형성되어 있다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 측벽(41)에는 배기용 배관(46)(46a,46b)이 설치되어 있고, 배기용 배관(46)(46a,46b)을 이용하여 배기함으로써, 측벽(41), 상판 (42), 판상부재(44,45), 및 뚜껑체(48)로 둘러싸인 공간은 감압된다. 이에 의해, 개구부(52)로부터 분진을 흡인할 수 있다.

이때, 도 9에 나타내는 바와 같이 개구부(52)의 y축 방향에서의 길이(L1)가, 분사 유닛(22)의 노즐(32)의 y축 방향에서의 길이(L2)보다도 길어지게 해도 좋다. 이러한 구성으로 함으로써, 노즐(32)에서 내뿜어진 기체(35)에 의해 날려버려진 분진을, 개구부(52)에서 확실하게 흡인할 수 있다.

개구부(52)는, 레이저 광(16)의 조사 위치와 대응하는 위치에 배치되어 있다 (도 7, 9 참조). 또한, 상부 개구부(51)는 레이저 광이 통과하는 광로와 대응하는 위치에 설치되어 있다. 또한, 상부 개구부(51)는 레이저 광을 투과하는 재료로 형성된 뚜껑체(48)를 이용하여 뚜껑이 닫혀져 있다. 예를 들면, 뚜껑체(48)는 유리나 사파이어를 사용하여 형성할 수 있다. 도 8, 도 9에 나타내는 바와 같이, 상부 개구부(51) 및 개구부(52)는 y축 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 따라서, 도 7에 나타내는 바와 같이, 선상의 레이저 광(16)은 집진 유닛(23)의 상부 개구부(51)를 통과한 후, 개구부(52)를 통과해서 기판(11)과 박리층(12)의 경계면에 도달한다. 집진 유닛(23)의 측벽(41), 상판(42), 판상부재(44,45)는, 예를 들면 스테인리스 등의 금속 재료나 수지 재료를 이용해서 형성할 수 있다.

도 10은, 집진 유닛(23)의 워크(10) 근방의 확대 단면도이다. 도 10에 나타내는 바와 같이, 판상부재(44,45)는 판상부재(45)와 워크(10)의 간격(d2)이 판상부재(44)와 워크(10)의 틈새(d1)보다도 넓어지도록 배치되어 있다. 판상부재(44,45)를 이와 같은 배치로 함으로써 판상부재(45)와 워크(10)의 간격(d2)에서의 공기 저항을 저감시킬 수 있다. 이에 의해, 판상부재(45)와 워크(10)의 틈새(d2)에 있어서 기체(35)가 흐르기 쉬워져 집진 유닛(23)의 개구부(52)에 기체(35)가 흐르기 쉬워진다.

또한, 도 10에 나타내는 바와 같이, 판상부재(44)의 개구부(52)에서의 단면 형상을, 판상부재(44)의 하면과 이루는 각도가 예각이 되는 경사면(55)을 포함하는 형상으로 해도 좋다. 또한, 판상부재(45)의 개구부(52)에서의 단면형상을, 판상부재(45)의 상면과 이루는 각도가 예각이 될 수 있는 경사면(56)을 포함한 형상으로 해도 좋다. 판상부재(44,45)를 이와 같은 형상으로 함으로써, 집진 유닛(23)의 개구부(52)에서의 공기 저항을 저감시킬 수 있으며, 기체(35)가 개구부(52)를 흐르기 쉬워진다.

위에서 설명한 바와 같이, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(1)는, 워크(10) 상에 기체(35)를 내뿜고, 워크(10)의 표면에 존재하는 분진을 불어날리는 분사 유닛(22)과, 레이저 광(16)의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부(52)를 가지며, 날려벼려진 분진을 개구부(52)에서 흡인해서 집진하는 집진 유닛(23)을 구비한다. 따라서, 레이저 박리 장치(1)를 이용하여 워크(10)를 반송하면서 워크(10)에 레이저 광(16)을 조사할 때, 워크(10)의 표면에 존재하는 분진을 날려버려서 제거할 수 있다.

이에 따라, 레이저 광(16)이 분진에 의해 차단되어서 박리층(12)에 레이저 광(16)이 닿지않는 부분인 다크 스팟이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 기판(11)과 박리층(12)이 분리되지 않는 부분의 발생을 억제할 수 있기 때문에, 기판(11)과 박리층(12)을 균일하게 분리할 수 있다. 즉, 기판(11)과 박리층(12)과 분리했을 때에, 박리층(12)의 표면이 요철 모양으로 되는 것을 억제할 수 있어 박리층(12)의 표면을 평활한 상태로 할 수 있다. 환언하면, 박리층(12)의 두께에 불균일이 생기는 것을 억제 할 수 있다.

또한, 유기 EL 디스플레이의 제조 공정에 있어서 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(1)를 사용함으로써, 기판(11)과 박리층(12)을 균일하게 분리할 수 있어 유기 EL 디스플레이의 표시 화면에서의 불균일(unevenness)의 발생을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(1)에서는, 레이저 광(16)의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부(52)를 설치하고, 이 개구부(52)에서 분진을 흡인하고 있기 때문에, 레이저 광(16)의 조사 위치 근방의 분진을 제거할 수 있다. 특히, 이러한 구성에 의해 레이저 광(16)의 광축 상에 기체를 흐르게 할 수 있기 때문에, 박리층(12)에 레이저 광(16)을 조사함으로써 발생한 그을음 형태의 연기(도 3 참조)를 개구부(52)에서 흡인해서 제거할 수 있다. 따라서, 워크(10) 상에 분진이 부착하는 것을 억제할 수 있다.

그리고 또한, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(1)에서는, 집진 유닛(23)(개구부52)에 대해서 워크(10)의 반송방향 하류 측에 분사 유닛(22)을 배치하고, 분사 유닛(22)에서 워크(10)의 반송방향과 역방향에 기체(35)를 내뿜어서 워크(10) 표면에 워크(10)의 반송방향과 역방향의 층류(35)를 형성한다. 따라서, 레이저 광(16)이 워크(10)에 조사되기 전에 워크(10) 표면에 존재하는 분진을 제거할 수 있다.

이상에서 설명한 본 실시 예에 따라 기판으로부터 박리층을 균일하게 분리 할 수 있는 레이저 박리 장치, 레이저 박리 방법, 및 유기 EL 디스플레이의 제조 방법을 제공할 수 있다.

<실시 예 2>

이어서, 실시 예 2에 관해서 설명한다. 도 11은, 실시 예 2에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 단면도이다. 도 11에 나타내는 바와 같이 레이저 박리 장치(2)는, 광학계(20), 스테이지(21), 및 집진 유닛(60)을 구비한다. 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(2)는, 기판(11)과 해당 기판(11) 상에 형성된 박리층 (12)을 적어도 구비하는 워크(10)에 대해서, 워크(10)를 반송하면서 기판(11) 측에서 기판(11)과 박리층(12)의 경계면에 레이저 광(16)을 조사해서 박리층(12)을 기판(11)으로부터 박리하는 장치이다.

광학계(20)로는, 레이저 광원(미도시)에서 레이저 광이 공급된다. 레이저 광원으로는, 예를 들면 엑시머 레이저나 자외(UV) 레이저를 발생시키는 레이저 발생 장치를 사용할 수 있다. 광학계(20)는 복수의 렌즈를 사용하여 구성되어 있다. 광학계(20)는 레이저 광원으로부터 공급된 레이저 광의 형상을 선상, 구체적으로 초점이 y축 방향으로 연장하는 레이저 광(16)으로 한다.

스테이지(21)는, 스테이지(21) 상에 배치된 워크(10)를 반송방향(x축 방향)으로 반송 가능하게 구성되어 있다. 여기에서, 워크(10)는 적어도 기판(11)과 박리층(12)을 구비한다. 또한, 박리층(12) 위에 형성되어 있는 회로 소자 등은 도시를 생략한다. 워크(10)는, 기판(11) 측에서 기판(11)과 박리층(12)의 경계면에 레이저 광(16)이 조사되도록, 기판(11)이 상측이 되도록 스테이지(21) 상에 배치되어 있다. 또한, 스테이지(21)는, 레이저 광(16)의 초점을 기판(11)과 박리층(12)의 경계면에 맞추기 위해 상하방향(z축에 따른 방향)으로 이동 가능하게 구성되어 있다.

다음으로, 집진 유닛(60)의 구성에 대해서 상세하게 설명한다. 도 12, 도 13은, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(2)가 구비하는 집진 유닛(60)을 상세하게 설명하기 위한 사시도이다. 또한, 도 13에서는 집진 유닛(60)의 일부를 xz평면에서 절단한 단면 형상도 나타내고 있다.

도 11 내지 도 13에 나타내는 바와 같이, 집진 유닛(60)은 광로 공간(70), 급기 공간(71,72), 및 배기 공간(73,74)을 구비한다.

광로 공간(70)은, 레이저 광(16)이 통과하는 공간이며, 레이저 광(16)의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부(78)를 가진다. 광로 공간(70)은 광로 공간(70)의 주위에 배치된 측벽(61,62,81,82)(도 12 참조)과, 측벽(61,62)의 상부를 덮도록 배치된 뚜껑체(68)(도 11 참조)를 이용하여 구성되어 있다. 이때, 측벽(61)은, 광로 공간(70)에 대해서 워크(10)의 반송방향 상류측(x축 마이너스 측)에 배치된 판상부재이다. 측벽(62)은, 광로 공간(70)에 대해서 워크(10)의 반송방향 하류측(x축 플러스측)에 배치된 판상부재이다.

도 12에 나타내는 바와 같이, 측벽(61) 및 측벽(62)은, y축 방향으로 연장하도록 배치되어 있다. 또한, 측벽(61) 및 측벽(62)의 y축 방향의 양단에는, 측벽(81,82)이 각각 배치되어 있다. 도 13에 나타내는 바와 같이, 개구부(78)는 y축 방향으로 연장하도록 배치되어 있다. 측벽(61) 및 측벽(62)은 서로 대향하도록 배치되어 있으며, 또 측벽(81) 및 측벽(82)은 서로 대향하도록 배치되어 있다. 광로 공간(70)은 측벽(61,62,81,82)으로 둘러싸인 공간이다.

또한, 도 11에 나타내는 바와 같이, 본 실시 예서는, 측벽(61,62)이 광로를 방해하지 않도록 측벽(61,62)이 연직방향(z축방향)에 대해서 비스듬해지도록 배치하고 있지만, 측벽(61,62)이 광로를 방해하지 않을 것 같으면 측벽(61,62)을 연직 방향과 평행해지게 배치해도 좋다.

도 11에 나타내는 바와 같이, 뚜껑체(68)는 상판(65) 위에 배치되어 있다. 즉, 뚜껑체(68)를 이용해서 광로 공간(70)에 뚜껑이 닫혀 있다. 뚜껑체(68)는 레이저 광을 투과하는 재료로 형성되어 있으며, 예를 들면 유리나 사파이어를 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 도 12에서는 상판(65) 및 뚜껑체(68)의 도시를 생략하고 있다. 또한, 도 13에서는 뚜껑체(68)의 도시를 생략하고 있다. 도 12에 나타내는 바와 같이, 광로 공간(70)은 y축 방향으로 연장하도록 형성되어 있기 때문에, y축 방향으로 연장되는 선상의 레이저 광(16)을 통과시킬 수 있다. 따라서, 도 11에 나타내는 바와 같이, 선상의 레이저 광(16)은 집진 유닛(23)의 광로 공간(70)을 통과한 후, 개구부(78)를 통과해서 기판(11)과 박리층(12)의 경계면에 도달한다.

도 11에 나타내는 바와 같이, 측벽(61,62)에는, 각각 광로 공간(70)에 기체를 공급하기 위한 급기홀(75,76)이 형성되어 있다. 즉, 광로 공간(70)과 급기 공간 (71)은 급기홀(75)을 통해서 연결되어 있으며, 광로 공간(70)에는 급기 공간(71)에서 급기홀(75)을 통해서 기체가 공급된다. 또한, 광로 공간(70)과 급기 공간(72)은 급기홀(76)을 통해서 연결되어 있으며, 광로 공간(70)에는 급기 공간(72)에서 급기홀(76)을 통해서 기체가 공급된다. 도 12, 도 13에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 급기홀(75,76)은 y축 방향을 따라서 늘어서도록 형성되어 있다.

급기 공간(71,72)은, 광로 공간(70)의 외측에 배치되어 있다. 구체적으로는 급기 공간(71)은 광로 공간(70)에 대해서 워크(10)의 반송방향 상류측(x축 마이너스측)에서, 또 배기 공간(73)의 상부에 배치되어 있다. 또한, 급기 공간(72)은, 광로 공간(70)에 대해서 워크(10)의 반송방향 하류측(x축 플러스측)에서, 또 배기 공간(74)의 상부에 배치되어 있다. 도 12에 나타내는 바와 같이, 급기 공간(71,72)은 집진 유닛(60)의 y축 방향의 양단측에서 공간적으로 이어져 있다. 즉, 급기 공간(71,72)은 광로 공간(70)의 외측을 둘러싸도록 배치되어 있다.

도 12에 나타내는 바와 같이, 급기 공간(71,72)은, 판상부재(63,64), 판상부재(83,84), 측벽(61,62), 측벽(81,82), 칸막이 판(66,67), 및 상판(65)(도 13 참조)으로 둘러싸인 공간이다. 도 12에 나타내는 바와 같이, 집진 유닛(60)의 y축 방향의 마이너스측의 단부, 즉 판상부재(84)에는 급기 공간(71,72)에 기체를 공급하기 위한 급기 포트(85)가 형성되어 있다. 급기 포트(85)에는, 압축된 불활성 가스(질소 등)나 압축 공기 등의 양압(positive pressure)의 기체가 공급된다.

도 11, 도 13에 나타낸 바와 같이, 배기 공간(73,74)은 광로 공간(70)의 외측에 배치되어 있다. 구체적으로는, 배기 공간(73)은 광로 공간(70)에 대해서 워크(10)의 반송방향 상류측(x축 마이너스측)에서, 또 급기 공간(71)의 하부에 배치되어 있다. 또한, 배기 공간(74)은 광로 공간(70)에 대해서 워크(10)의 반송 방향 하류측(x축 플러스측)에서, 또 급기 공간(72)의 하부에 배치되어 있다. 급기 공간(71,72)의 경우와 마찬가지로, 배기 공간(73,74)은 집진 유닛(60)의 y축 방향의 양단 측에서 공간적으로 이어져 있다.

도 11 내지 도 13에 나타내는 바와 같이, 배기 공간(73,74)은, 판상부재(63,64), 판상부재(83,84), 측벽(61,62), 측벽(81,82), 및 칸막이판(66,67)으로 둘러싸인 공간이다. 배기공간(73,74)의 워크(10) 측은 개구되어 있다. 집진 유닛 (60)의 판상부재(64)에는 배기포트(77)(77a,77b)가 설치되어 있으며, 배기포트 (77)(77a,77b)의 끝에 설치된 팬이나 펌프 등을 이용하여 배출함으로써 배기 공간 (73,74)의 압력이 음압(negative pressures)이 된다.

집진 유닛(60)이 구비하는 측벽(61,62,81,82), 판상부재(63,64,83,84), 상판 (65), 칸막이판(66,67), 및 배기 포트(77a,77b)는, 예를 들면 스테인리스 등의 금속 재료를 이용하여 형성할 수 있다.

다음으로, 집진 유닛(60)의 동작에 대해서 설명한다. 집진 유닛(60)을 동작시킬 때는, 도 12에 나타내는 급기 포트(85)에서 급기 공간(71,72)에 양압의 기체를 공급한다. 또, 도 13에 나타내는 배기 포트(77a,77b)를 통해서 배기 공간(73,74)을 배기해서, 배기 공간(73,74)의 압력을 음압으로 한다.

도 11에 나타내는 바와 같이, 급기 공간(71,72)이 양압이 되면, 급기 공간(71,72)에서 광로 공간(70)으로 급기홀(75,76)을 통해서 기체가 흐른다. 이때, 급기홀(75,76)의 직경은 충분히 작기 때문에 급기 공간(71,72) 내의 압력은 급기 공간(71,72)의 전역에서 균일한 압력이 된다. 따라서, 각각의 급기홀(75,76)에서 흘러 나오는 기체의 유량은 대략 동일해진다. 또한, 기체의 흐름은 도 11에 있어서 점선의 화살표로 나타내어진다. 도 14, 도 16, 도 17에 있어서도 마찬가지이다.

급기홀(75,76)에서 광로 공간(70)에 공급된 기체는, 측벽(61,62)을 따라서 워크(10) 측에 흐른 뒤, 측벽(61,62)의 하단과 워크(10) 사이를 통과해서 배기 공간(73,74)으로 흐른다. 즉, 급기홀(75,76)에서 공급된 기체는 다운플로(downflow)를 형성하여 워크(10)에 충돌한 뒤, 워크(10)의 반송방향 상류측과 하류측으로 분기된다. 워크(10)의 반송방향 상류측으로 분기된 기체는 배기 공간(73)으로 흐른다. 또한, 워크(10)의 반송방향 하류측으로 분기된 기체는 배기 공간(74)으로 흐른다. 그리고, 배기 공간(73,74)으로 흐른 기체는, 그 후, 배기 포트(77)(77a,77b)에서 배기된다.

이와 같이, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(2)에서는, 집진 유닛(60)의 내부에 있어서 상기에서 설명한 기체의 흐름을 만드는 것으로, 레이저 광을 조사함으로써 발생한 분진(도 3,도 4 참조)을, 기체의 흐름에 따라서 배기 포트(77)(77a,77b)에서 배기할 수 있다. 이때, 급기홀(75,76)에서 공급된 기체는 다운플로가 되어 워크(10)에 충돌하기 때문에 워크(10)의 표면에 존재하는 분진을 날려버릴 수 있다. 그리고, 이 날려버려진 분진을 기체의 흐름을 따라서 배기 포트(77)(77a,77b)에서 배기할 수 있다.

또한, 이때 급기 포트(85)에서 급기 공간(71,72)으로 공급하는 기체의 양보다도 배기 포트(77)(77a,77b)에서 배기하는 기체의 양을 많게 함으로써 배기 공간(73,74)에서의 압력을 더욱 낮출 수 있다. 이와 같이, 배기 공간(73,74)에서의 압력을 더 낮게 함으로써 집진 유닛(60)의 외측에서 판상부재(63,64,83,84)(도 12 참조)의 하단과 워크(10) 사이를 통과해서 기체가 흘러들어가도록 할 수 있다. 따라서, 집진 유닛(60)의 내부에서 분진이 부유해도, 집진 유닛(60)의 외부로 분진이 나오는 것을 억제할 수 있다.

위에서 설명한 바와 같이, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(2)는, 레이저 광(16)의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부(78)를 가지고, 레이저 광(16)이 통과하는 광로 공간(70)과, 광로 공간(70)의 외측에 배치된 배기 공간(73,74)을 구비하는 집진 유닛(60)를 가진다. 광로 공간(70)의 측벽(61,62)에는, 광로 공간(70)에 기체를 공급하기 위한 급기홀(75,76)이 형성되어 있다. 그리고, 급기홀(75,76)에서 광로 공간(70)에 공급된 기체는 측벽(61,62)을 따라서 워크(10) 측에 흐른 뒤, 측벽(61,62)의 하단과 워크(10) 사이를 통과해서 배기 공간(73,74)으로 흐른다. 이와 같이, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(2)에서는, 집진 유닛(60)을 이용하여 상기에서 설명한 바와 같은 기체의 흐름을 만들어서 레이저 광(16)을 조사함으로써 발생한 분진(도 3, 도 4 참조)을, 기체의 흐름에 따라서 배출할 수 있다.

이에 의해, 레이저 광(16)이 분진에 의해 차단되어서 박리층(12)에 레이저 광(16)이 닿지 않는 부분인 다크 스팟이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 기판(11)과 박리층(12)이 분리되지 않는 부분의 발생을 억제할 수 있기 때문에, 기판(11)과 박리층(12)을 균일하게 분리할 수 있다. 즉, 기판(11)과 박리층(12)을 분리했을 때에, 박리층(12)의 표면이 요철 상태가 되는 것을 억제할 수 있고, 박리 층(12)의 표면을 평활한 상태로 할 수 있다. 환언하면, 박리층(12)의 두께에 불균일이 생기는 것을 억제 할 수 있다.

또한, 급기공(75,76)에서 공급된 기체는, 레이저 광(16)의 광축상에서 다운 플로가 되어 측벽(61,62)을 따라서 흐르기 때문에, 레이저 광을 조사함으로써 발생한 그을음 형태의 연기나 분진(도 3, 도 4 참조)이 측벽(61,62)이나 뚜껑체의 하면에 부착하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 유기 EL 디스플레이의 제조 공정에 있어서 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(2)를 사용함으로써, 기판(11)과 박리층(12)을 균일하게 분리할 수 있고, 유기 EL 디스플레이의 표시 화면에서의 불균일의 발생을 억제할 수 있다.

이상에서 설명한 본 실시 예에 의해, 기판에서 박리층을 균일하게 분리할 수있는 레이저 박리 장치, 레이저 박리 방법, 및 유기 EL 디스플레이의 제조 방법을 제공할 수 있다.

<실시 예 3>

다음으로, 실시 예 3에 대해서 설명한다. 도 14는, 실시 예 3에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 단면도이다. 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치 (3)는, 실시 예 2에서 설명한 레이저 박리 장치(2)와 비교해서 집진 유닛(90)의 저부에 바닥판 부재(91~94)를 구비하는 점이 다르다. 이외는 실시 예 2에서 설명한 레이저 박리 장치(2)와 동일하므로 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고 중복된 설명은 생략한다.

도 14, 도 15에 나타내는 바와 같이, 집진 유닛(90)이 구비하는 배기 공간(73)의 하부에는 흡기구(95)가 형성되어 있다. 흡기구(95)는, y축 방향으로 연장되는 바닥판 부재(91) 및 바닥판 부재(92)를 대향시켜 배치함으로써 형성할 수 있다. 바닥판 부재(91)는 측벽(61)의 하부에 설치되어 있고, 바닥판 부재(92)는 판상부재(63)의 하부에 설치되어 있다. 흡기구(95)는, 워크(10)의 표면과 배기 공간(73) 사이의 유로가 좁아지도록 형성되어 있다.

마찬가지로, 집진 유닛(90)이 구비하는 배기 공간(74)의 하부에는 흡기구(96)가 형성되어 있다. 흡기구(96)는, y축 방향으로 연장되는 바닥판 부재(93) 및 바닥판 부재(94)를 대향시켜서 배치함으로써 형성할 수 있다. 바닥판 부재(93)는 측벽(62)의 하부에 설치되어 있으며, 바닥판 부재(94)는 판상부재(64)의 하부에 설치되어 있다. 흡기구(96)는, 워크(10)의 표면과 배기공간(74) 사이의 유로가 좁아지도록 형성되어 있다.

이와 같이, 흡기구(95,96)를 설치함으로써, 워크(10)의 표면과 배기 공간(73,74) 사이의 유로를 좁게 할 수 있다. 이에 따라, 배기 공간(73,74)에는 압력 손실이 발생한다. 배기 공간의 내부의 압력을 배기 공간 전체에서 균일하게 할 수 있다. 따라서, 워크(10)의 표면에서 배기 공간(73,74)의 내부로 기체를 효율적으로 회수할 수 있다. 환언하면, 흡기구(95,96)에서의 흡인력을 강하게 할 수 있기 때문에 워크(10)의 표면에서 기체의 유속을 빠르게 할 수 있다. 따라서, 분진을 확실하게 흡인할 수 있다.

이때, 바닥판 부재(91)의 흡기구(95)에서의 단면 형상을, 바닥판 부재(91)의 상면과의 이루는 각도가 예각이 될 수 있는 경사면(97)을 포함하는 형상으로 해도 좋다. 또한, 바닥판 부재(93)의 흡기구(96)에서의 단면 형상을 바닥판 부재(93)의 상면과 이루는 각도가 예각이 될 수 있는 경사면(98)을 포함하는 형상으로 해도 좋다. 이렇게 경사면(97,98)을 마련함으로써, 개구부(78) 측에서 흡기구(95,96)를 향해 기체가 흐르기 쉬워진다.

도 16은, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치의 다른 구성 예를 나타내는 단면도이다. 본 실시 형태에서는 도 16에 나타내는 레이저 박리 장치(4)와 같이, 집진 유닛(100)의 저부에 설치한 바닥판 부재(101,102)에 각각 경사면(103,104)을 형성해도 좋다. 즉, 바닥판 부재(103)의 흡기구(95)에서의 단면 형상을, 바닥판 부재(101)의 상면과 이루는 각도가 예각이 될 수 있는는 경사면(103)을 포함한 형상으로 해도 좋다. 또한, 바닥판 부재(102)의 흡기구(96)에서의 단면 형상을 바닥판 부재(102)의 상면과 이루는 각도가 예각이 될 수 있는 경사면(104)을 포함한 형상으로 해도 좋다. 이렇게 경사면(103,104)을 설치함으로써 집진 유닛(100)의 외측에서 흡기구(95,96)를 향해 기체가 흐르기 쉬워진다.

이상에서 설명한 본 실시 예에 있어서도, 기판에서 박리층을 균일하게 분리할 수 있는 레이저 박리 장치, 레이저 박리 방법, 및 유기 EL 디스플레이의 제조 방법을 제공할 수 있다.

<실시 예 4>

다음으로, 실시 예 4에 대해서 설명한다. 도 17은 실시 예 4에 관련한 레이저 박리 장치(5)를 설명하기 위한 단면도이다. 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(5)는, 실시 예 3에서 설명한 레이저 박리 장치(3)(도 14 참조)와 비교해서 집진 유닛(110)이 급기 공간(71,72)을 구비하지 않은 점이 다르다. 이외는 실시 예 3에서 설명한 레이저 박리 장치(3)와 같기 때문에 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고 중복된 설명은 생략한다.

도 17, 도 18에 나타내는 바와 같이, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(5)가 구비하는 집진 유닛(110)은, 광로 공간(70) 및 배기 공간(73,74)을 구비한다. 광로 공간(70) 및 배기 공간(73,74)에 관해서는 실시 예 2, 3에서 설명한 경우와 동일하므로 설명을 생략한다.

본 실시 예에서는, 집진 유닛(110)의 측벽(61,62)이 각각 구비하는 급기홀(75,76)에 배관(113,114)이 접속되어 있으며, 이 배관(113,114)에서 급기홀(75,76)을 경유해서 광로 공간(70)에 양압의 기체가 공급된다. 즉, 본 실시 예에서는 실시 예 3에서 설명한 레이저 박리 장치(4)와 비교해서 판상부재(111, 112)의 z축 방향에서의 길이를 짧게 하고, 또한 상판(65)(도 14 참조)을 마련하지 않은 구성으로서 급기 공간(71,72)을 생략한다. 또한, 본 실시 예에서는 상판(65)을 설치하고 있지 않기 때문에, 뚜껑체(68)를 측벽(61,62)의 상부에 설치한다.

이와 같이, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(5)에서는, 급기홀(75,76)에 배관(113,114)을 접속하고, 이 배관(113,114)에서 광로 공간(70)에 양압의 기체를 공급한다. 따라서, 급기 공간(71,72)(도 14 참조)을 생략할 수 있기 때문에, 장치 구성을 간소화 할 수 있다.

또한, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(5)의 구성, 즉 급기 공간 (71,72)을 생략하는 구성은, 실시 예 2에서 설명한 레이저 박리 장치(2)에도 적용 할 수 있다. 환언하면, 도 17에 나타내는 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(5)에 있어서, 바닥판 부재(91~94)를 생략해도 좋다. 또한, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(5)의 구성은, 도 16에 나타낸 실시 예 3의 다른 구성 예에 관련한 레이저 박리 장치(4)에 적용할 수 있다.

<실시 예 5> (사이드플로(sideflow)의 챔버 장비)

다음으로, 실시 예 5에 대해서 설명한다. 우선, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치의 구성을 설명한다. 도 19 내지 21은, 실시 예 5와 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 22는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 측면도이다. 도 19 내지 도 22에서는, 내부의 구조를 설명하기 위해 적절하게 구성하는 부재를 생략한다.

도 19 내지 도 22에 나타내는 바와 같이, 본 실시 예에 관련한 레이저 박리 장치(500)는, 실시 예 1 내지 4에서 설명한 레이저 박리 장치와 비교해서 챔버(510)를 구비하고 있는 점이 다르다. 챔버(510)의 내부에, 실시 예 1 내지 4에서 설명한 집진 유닛(23,60,90,100,110) 중 어느 것이 배치되어 있다. 또한, 스테이지(21) 상에 배치된 워크(10)도 챔버(510)의 내부에 배치되어 있다.

본 실시 예에서는, 실시 예 1 내지 4의 집진 유닛 중, 집진 유닛(60)이 챔버 (510)의 내부에 배치되어 있는 것으로 설명한다. 또한, 집진 유닛(60) 대신에 다른 집진 유닛을 적용해도 좋다. 레이저 박리 장치(500)를 설명하기 위해 집진 유닛(60)에 적용한 XYZ 직교 좌표계를 도입한다. 따라서, 워크(10)의 반송 방향은 X축 방향으로 되어 있다.

<챔버의 구성>

챔버(510)는, 예를 들면 외형이 직육면체 형상이며, 챔버 벽에 의해 둘러싸인 내부에 공간을 가지고 있다. 챔버(510)는, 하방에서 지지대(530)로 지지되어 있다. 지지대(530)는, 토대(531) 및 복수의 지주(532)를 가지고 있다. 토대(531)는 바닥면 위에 평평하게 설치된 평판상의 부재이며, 챔버(510)의 무게를 지지하고 있다. 토대(531)에서 상방으로 연장하도록 설치된 복수의 지주(532)에 의해 챔버(510)는 지지되어 있다.

챔버(510)는, 저면벽(511) 및 상면벽(512), 전면벽(513) 및 후면벽(514), 그리고 측면벽(515 및 516)에 의해, 예를 들면 직육면체 형상으로 구성되어 있다. 저면벽(511) 및 상면벽(512)은, Z축 방향, 즉 상하방향에서 대향한다. 전면벽(513) 및 후면벽(514)은, X축 방향, 즉 워크(10)의 반송 방향에서 대향하고 있다. 측면 벽(515 및 516)은, Y축 방향에서 대향하고 있다. 또, 챔버(510)의 형상은 직육면체 형상에 한정되는 것은 아니다.

저면벽(511)은, 상방에서 볼 때, 예를 들면, 긴 변이 X축 방향을 따르고, 짧은 변이 Y축 방향을 따른 직사각형의 평판상으로 이루어져 있다. 저면벽(511)은, 상면벽(512)의 -Z축 방향 쪽에 배치되어 있다. 저면벽(511)은, 판 면을 수평으로 해서 복수의 지주(532)로 지지되어 있다.

전면벽(513)은, X축 방향에서 봐서, 예를 들면, 긴 변이 Y축 방향을 따르고, 짧은 변이 Z축 방향을 따른 직사각형의 평판상으로 이루어져 있다. 전면벽(513)은, 후면벽(514)의 -X축 방향쪽에 배치되어 후면벽(514)과 마주하고 있다. 따라서, 전면벽(513)을 한쪽 벽으로 하면, 후면벽(514)은 한쪽 벽에 대향하는 다른 쪽 벽이 된다. 또, 전면벽(513)은 반송 방향에 직교한다. 전면벽(513)에는 급기팬(541) 및 필터(542)가 설치되어 있다. 따라서, 전면벽(513)은 급기팬(541) 및 필터(542)가 결합된 FFU(Fan Filter Unit)를 구성하고 있다.

급기팬(541)은, 예를 들면 전면벽(513)의 Y축 방향에서의 중앙부에 배치되어있다. 급기팬(541)은, 챔버(510)의 외부에서 챔버(510)의 내부로 기체를 급기한다. 기체는, 예를 들면 공기이다. 또한, 챔버(510)의 외부에서 내부로 급기되는 기체(급기기체라고도 함)는 공기에 한정되지 않고, 질소 등의 불활성 가스 등으로도 좋다. 다음의 설명에서는, 챔버(510)의 내부로 들어오는 기체를 공기로서 설명한다. 급기 팬(541)은 챔버(510)의 내부로 가져온 공기를 +X축 방향으로 송풍한다. 예를 들면 급기 팬(541)은, 1개당 500~1500L/min 유량의 공기를 급기한다.

필터(542)는, 예를 들면 전면벽(513)에 1개 또는 복수개 설치되어 있다. 예를 들면, 필터(542)는 전면벽(513)에서의 Y축 방향에 있어서, 급기팬(541)의 양쪽에 하나씩 급기팬(541)을 사이에 끼우도록 총 2개 설치되어 있다. 따라서, Y축 방향으로 떨어져서 배치된 필터(542) 사이에 급기팬(541)이 배치되어 있다.

후면벽(514)은, X축 방향에서 볼 때, 예를 들면, 긴 변이 Y축 방향을 따르고, 짧은 변이 Z축 방향을 따른 직사각형의 평판상으로 이루어져 있다. 후면벽(514)에는 배기 덕트용 배기구(543) 및 필터(542)가 설치되어 있다.

배기 덕트용 배기구(543)는, 예를 들면 후면벽(514)의 Y축 방향에서의 중앙부에 배치되어 있다. 배기 덕트용 배기구(543)는, 챔버(510)의 내부에서 챔버(510)의 외부로 공기를 배출한다. 배기 덕트용 배기구(543)에는 챔버(510)의 외부에서 배기 덕트(544)가 접속되어 있다. 급기팬(541)에 의해 챔버(510)의 내부에 채워진 공기는 배기 덕트용 배기구(543)를 지나서 배기 덕트(544)로 배출된다. 따라서, 배기 덕트용 배기구(543)는 급기팬(541)과 함께 배치됨으로써 챔버(510)의 내부에 +X축 방향을 따른 공기의 흐름을 형성한다. 배기 덕트용 배기구(543)에 배기팬(548)이 설치되어 있어도 좋다.

필터(542)는, 예를 들면 후면벽(514)에 1개 또는 복수개 설치되어 있다. 예를 들면, 필터(542)는 후면벽(514)에서의 Y축 방향에 있어서 배기 덕트용 배기구( 543)의 양쪽에, 배기 덕트용 배기구(543)를 사이에 끼우도록 하나씩 총 2개 설치되어 있다. 따라서, Y축 방향으로 떨어져서 배치된 필터(542) 사이에 배기 덕트용 배기구(543)가 배치되어 있다. 또, 필터(542)의 배치 개수 및 배치 장소는 적절하게 변경해도 좋고, 예를 들면, 후면벽(514)의 형상 등에 의해 후면벽(514)에 설치한 필터(542)의 수를 변경해도 좋다.

측면벽(515 및 516)는, Y축 방향에서 볼 때, 예를 들면, 긴 변이 X축 방향을 따르고, 짧은 변이 Z축 방향을 따른 직사각형의 평판상으로 이루어져 있다. 측면벽(515)은, 측면벽(516)의 -Y축 방향 쪽에 배치되어 있다. 측면벽(515)에는, 워크(10)를 출입할 수 있는 워크 출입구(515a)가 형성되어 있다. 워크 출입구(515a)는, 레이저 조사시는 밀폐된다.

상면벽(512)은, 위쪽에서 볼 때, 예를 들면, 긴 변이 X축 방향을 따르고 짧은 변이 Y축 방향을 따른 직사각형의 평판상으로 이루어져 있다. 상면벽(512)에는 개구부(545)가 설치되어 있다. 개구부(545)는, 집진 유닛(60)의 광로 공간(70)으로 이어져 있다. 상면벽(512) 상에 광학계(20)를 배치했을 때에 개구부(545)에서 집진 유닛(60)의 내부에 레이저 광(16)을 입사한다(도 11 참조). 이에 따라, 레이저 광 (16)은, 광로 공간(70)을 통해서 워크(10)를 조사한다.

<챔버 내부의 부재>

챔버(510)의 내부에는, 스테이지(21) 및 집진 유닛(60)이 배치된다. 스테이지(21)는 저면벽(511) 상에 배치된 주사 장치(551) 상에 배치된다. 스테이지(21) 상에 워크(10)를 배치한다. 스테이지(21)에 배치된 워크(10)는, 주사 장치(551) 상에 배치되어서, X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동 가능하다.

도 23은, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치(500)에 있어서, 챔버(510)의 내부에서의 워크(10)의 이동을 예시한 도면이다. 도 23에 나타내는 바와 같이, 스테이지(21) 상에 배치된 워크(10)는, 예를 들면 워크 출입구(515a)의 근방에서 반송 방향이 되는 X축을 따라서 이동한다. 이때에 워크(10)는 레이저 조사된다. 워크(10)를 반송 방향으로 이동시키면서 레이저 조사하는 것을 스캔이라고도 한다. 워크(10)는, 1번 스캔된 후에 +Y축 방향으로 빗겨나게 해서 스캔 시작 위치로 돌아가 다시 스캔되어도 좋다.

도 20 내지 22에 나타내는 바와 같이, 집진 유닛(60)은, 예를 들면, 상면벽 (512)의 아래쪽에 배치된다. 집진 유닛(60)의 광로 공간(70)이 상면벽(512)의 개구부(545)의 바로 아래에 배치되도록, 집진 유닛(60)을 배치한다. 집진 유닛(60)에는 급기 포트(85)가 설치되어 있다. 예를 들면, 급기 포트(85)는 집진 유닛(60)의 -Y축 방향 쪽에 설치되어 있다. 급기 포트(85)에는, 급기 배관(521)이 접속되어 있다. 급기 배관(521)은 급기 포트(85)에서 -Y축 방향으로 연장하여 굴곡하고, +X축 방향으로 연장된다. 급기 배관(521)은, 후면벽(514)의 앞까지 +X축 방향으로 연장하고, 후면벽(514)의 앞에서 아래로 굴곡한다. 그리고, 급기 배관(521)은, 후면벽의 하부에서 챔버(510)의 외부로 관통한다. 급기 배관(521)은, 챔버(510)의 외부에서 챔버(510)의 하방에 배치된 집진 유닛용 급배기 팬(520)에 접속한다.

집진 유닛(60)에는, 배기 포트(77a 및 77b)가 설치되어 있다. 예를 들면, 배기 포트(77a 및 77b)는 집진 유닛(60)의 +X축 방향 쪽에 2개 설치되어 있다. 배기 포트(77a 및 77b)에는 배기 배관(522a 및 522b)이 접속되어 있다. 배기 배관(522a 및 522b)은 각각 배기 포트(77a 및 77b)에서 +X축 방향으로 연장하고, 후면벽(514)의 앞쪽에서 합체하고, 후면벽(514)에서 챔버(510)의 외부로 관통한다. 배기 배관(77)은, 챔버(510)의 외부에서 집진 유닛용 급배기 팬(520)에 접속한다.

집진 유닛용 급배기 팬(520)은, 챔버(510)의 하방에 배치되어 있다. 집진 유닛용 급배기 팬(520)에는 급기 배관(521)이 접속되어 있다. 집진 유닛용 급배기 팬 (520)은, 급기 배관(521)을 통해서 집진 유닛(60)의 급기 공간(71 및 72)에서 광로 공간(70)에 기체를 급기한다. 또한, 집진 유닛용 급배기 팬(520)에는 배기 배관 (522)이 접속해 있다. 집진 유닛용 급배기 팬(520)은, 배기 배관(522)을 통해서 집진 유닛(60)의 배기 공간(73 및 74)을 배기한다. 이에 의해, 집진 유닛(60)이 흡인한 기체를 챔버(510)의 외부로 배출한다. 예를 들면, 집진 유닛용 급배기 팬(520)은 500L/min~1500L/min의 유량의 공기를 급배기한다.

<챔버 내부의 공기의 흐름>

다음으로, 챔버(510) 내부의 공기의 흐름을 설명한다.

도 24는, 실시 예 5와 관련한 레이저 박리 장치(500)에 있어서, 전면벽(513) 및 후면벽에서의 필터(542)의 유무와, 챔버(510) 내부의 전면벽(513)측 및 스테이지(21) 위로의 공기의 도달과의 관계를 예시한 도면이다.

도 25A 및 도 25B는, 실시 예 5와 관련한 레이저 박리 장치(500)에 있어서, 챔버(510)의 전면벽(513)에 급기팬(541)을 설치하고, 후면벽(514)에 배기 덕트용 배기구(543)를 설치한 경우의 챔버(510) 내부의 공기 흐름을 예시한 도면이고, 도 25a는 사시도를 나타내고, 도 25b는 상면도를 나타낸다.

도 24에서의 A란이, 도 25a 및 도 25b에 나타내는 챔버(510)의 경우를 나타내고 있다. 도 24, 도 25a 및 도 25b에 나타내는 바와 같이, 챔버(510)의 전면벽 (513)에 급기팬(541)을 설치하고, 후면벽(514)에 배기 덕트용 배기구(543)를 설치 한 경우에는, 급기 팬(541)에서 챔버(510) 내부에 채워진 공기는, +X축 방향으로 흐르고, 후면벽(514)에 가까워지면 Y축 방향 및 Z축 방향으로 확대된다.

한편, 챔버(510) 내부에서의 전면벽(513) 측에는 공기가 도달하지 않은 부분이 있다. 예를 들어, 전면벽(513) 측의 +Y축 방향측 및 -Y축 방향측의 단부(546)에는, 공기가 도달되어 있지 않다. 특히, 챔버(510) 내부로 받아들여진 직후의, 이른바 신선한 공기가 도달되어 있지 않다. 이와 같이, 챔버(510)의 내부에 공기가 도달하지 않은 부분이 있으면 파티클 등이 퇴적해서 퇴적물이 되어 챔버(510)의 내부를 청결하게 유지할 수 없다. 스테이지(21)로의 신선한 공기가 도달하는 도달시간은 10초이다.

도 26a 및 도 26b는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치(500)에 있어서, 챔버(510)의 전면벽(513)에 급기팬(541)을 설치하고, 후면벽(514)에 배기 덕트용 배기구(543) 및 필터(542)를 설치한 경우의 챔버(510) 내부의 공기의 흐름을 예시한 도면이고, 도 26a는 사시도를 나타내고, 도 26b는 상면도를 나타낸다.

도 24에서의 B란이, 도 25a 및 도 25b에 나타내는 챔버(510)의 경우를 나타내고 있다. 도 24, 도26a 및 도 26b에 나타내는 바와 같이, 챔버(510)의 전면벽 (513)에 급기팬(541)을 설치하고, 후면벽(514)에 배기 덕트용 배기구(543) 및 필터 (542)를 설치한 경우에는, 급기팬(541)에서 챔버(510) 내부에 채워진 공기는 +X축 방향으로 흐르고, 후면벽(514)에 가까워지면 Y축 방향 및 Z축 방향으로 확대된다.

또한, 챔버(510) 내부에서의 전면벽(513) 측에도 공기가 도달하고 있다. 예를 들면, 전면벽(513) 측의 +Y축 방향측 및 -Y축 방향측의 단부(546)에는 후면벽(514) 정도는 아니지만 공기는 도달하고 있다. 따라서, 챔버(510)의 내부를 청결하게 유지할 수 있다. 스테이지(21)로 신선한 공기가 도달하는 도달 시간은 50초이다.

도 27a 및 도 27b는, 실시 예 5와 관련한 레이저 박리 장치(500)에 있어서, 챔버(510)의 전면벽(513)에 급기팬(541) 및 필터(542)을 설치하고, 후면벽(514)에 배기 덕트용 배기구(543) 및 필터(542)를 설치한 경우의 챔버(510) 내부의 공기 흐름을 예시한 도면이고, 도 27a는 사시도를 나타내고, 도 27b는 상면도를 나타낸다.

도 24에서의 C란이, 도 27a 및 도 27b에 나타내는 챔버(510)의 경우를 나타내고 있다. 도 24, 도 27a 및 도 27b에 나타내는 바와 같이, 챔버(510)의 전면벽 (513)에 급기팬(541) 및 필터(542)를 설치하고, 후면벽(514)에 배기 덕트용 배기구 (543) 및 필터(542)를 설치한 경우에는, 급기팬(541)에서 챔버(510)의 내부에 채워진 공기는 +X축 방향으로 흐르고, 후면벽(514)에 가까워지면 Y축 방향 및 Z축 방향으로 확대되고 있다.

또한, 챔버(510) 내부에서의 전면벽(513) 측에도 공기가 도달한다. 예를 들면, 전면벽(513) 측의 +Y축 방향측 및 -Y축 방향측의 단부(546)에는, 도 26a 및 도 26b의 경우보다 더 많은 공기가 도달하고 있다. 따라서, 챔버(510)의 내부를 충분히 깨끗하게 유지할 수 있다. 스테이지(21)로의 신선한 공기가 도달하는 도달 시간은 36초이다. 따라서, 도 26a 및 도 26b의 경우보다 더 신선한 공기가 스테이지(21)에 도달한다.

이와 같이, 본 실시 예에서는, 챔버(510)의 내부 공간에 층류를 형성함으로써 챔버(510)의 내부에서 발생하는 분진이 레이저광(16)의 조사 영역에 도달하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 후면벽(514)에, 필터(542)를 설치함으로써 챔버(510) 내부의 전면벽(513) 측에 퇴적물을 형성하지 않도록 할 수 있다. 그리고 또한, 전면벽(513)에도 필터(542)를 설치함으로써 챔버(510) 내부의 전면벽(513) 측에 퇴적물을 형성하지 않도록 할 수 있으면서 스테이지(21)로의 신선한 공기의 도달 시간을 단축할 수 있다. 따라서, 워크(10)의 표면에 존재하는 분진을 날려버려서 기판에서 박리층을 균일하게 분리할 수 있다.

필터(542)는 공기를 통과시킨다. 필터(542)는 챔버(510)의 외부에서 내부로 공기를 통과시켜도 좋고, 챔버(510)의 내부에서 외부로 공기를 통과시켜도 좋다. 예를 들면, 챔버(510) 내부에서의 필터(542)의 근방이 감압되면 필터(542)는 챔버 (510)의 외부에서 내부로 공기를 통과시킨다. 반대로, 챔버(510) 내부에서의 필터 (542) 근방의 공기 압력이 증가하면, 필터(542)는 챔버(510)의 내부에서 외부로 공기를 통과시킨다. 이와 같이, 필터(542)는 챔버(510) 내부의 압력과, 챔버(510)의 외부 압력과의 균형을 취하고 있다. 챔버(510)의 외부가 대기압인 경우에는, 필터 (542)는 챔버(510) 내부의 압력과 챔버(510)의 외부 대기압과의 균형을 잡는다.

도 28은, 챔버(510) 내부의 압력이 외부의 압력보다 커졌을 때의 챔버(510)를 예시한 단면도이다. 도 28에 나타내는 바와 같이, 챔버(510) 내부의 압력이 챔버(510)의 외부의 압력보다 커지면 챔버(510)의 챔버벽은 바깥쪽으로 팽창한다. 그러면, 예를 들면 주사장치(551)의 바닥면이 배치된 저면벽(511)의 중앙부는 아래쪽으로 오목하게 들어간다. 이에 따라, 레이저 광(16)을, 집진 유닛(60)를 통해서 워크(10)에 조사했을 때, 레이저 광(16)의 초점이 디포커스(defocus)(547)하게 된다. 따라서, 레이저 광(16)을 워크(10) 상에서 초점을 맞출 수 없게 된다. 반대로, 챔버(510)의 내부가 감압했을 때도 챔버 벽의 변형에 의해 레이저 광(16)의 초점이 디포커스(547)하게 된다.

이에 비해, 본 실시 예에서는, 챔버(510)에는 필터(542)가 설치되어 있다. 필터(542)는 챔버(510) 내부의 압력이 높아지면 챔버(510) 내부의 공기를 외부로 통과시킨다. 챔버(510) 내부의 압력이 낮아지면 챔버(510)의 외부 공기를 내부로 통과시킨다. 이렇게 해서 필터(542)는 챔버(510)의 외부의 압력과의 균형을 취할 수 있다.

본 실시 예와 같은 레이저 박리 장치(500)에 있어서는, 챔버(510)에 급기하는 급기량은 500~1500L/min이 된다. 유사한 장치로서 꼽히는 엑시머 레이저 어닐링 장치(ELA)에서의 유량이, 50cc/min~5L/min인 것과 비교하면 큰 유량이 된다. 본 실 시 예서는, 필터(542)를 설치하고 있기 때문에 큰 유량의 공기를 급기해도 내부의 압력이 높아지는 것을 방지할 수 있고, 레이저 박리 장치(500)의 성능을 유지할 수 있다.

<집진 유닛의 급배기량>

이어서, 집진 유닛(60)으로의 급기량 및 집진 유닛(60)에서의 배기량에 대해서 설명한다. 도 29는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치(500)에 있어서, 급기량에 대한 배기량의 비와, 배기 배관(522) 내의 파티클 농도를 예시한 그래프이다. 파티클 농도는, 입경이 0.3~1.0μm(그래프 중에 원 표시로 나타냄)인 파티클(이하, 소(小) 파티클이라 함) 농도, 입경이 1.0~10μm(그래프 중에 사각 표시로 나타냄)인 파티클(이하, 중(中) 파티클이라 함) 농도 및 입경이 10μm이상(그래프 중에 삼각 표시로 나타냄)인 파티클(이하, 대(大) 파티클이라 함) 농도를 나타내고 있다.

파티클 농도는, 레이저 조사시에 일정 간격으로 배기 배관(522a 및 522b) 내의 각 파티클을 파티클 카운터(particle counter)로 측정한 것이다. 파티클 농도가 높을수록, 배기 배관(522a 및 522b) 내에 받아들여지는 파티클이 많은 것을 의미하며, 따라서 워크(10) 상에 잔존하는 파티클 농도가 낮다 것을 나타내고 있다.

도 29에 나타내는 바와 같이, 집진 유닛(60)의 급기량에 대해서 배기량의 비율인 배기량/급기량의 비가 1.4인 경우에는, 배기 배관(722a 및 722b) 내의 소(小) 파티클의 농도는 100,000개/ft³ 정도를 나타내고, 중(中) 파티클의 농도는 7,000개/ft³ 정도를 나타내고, 대(大) 파티클의 농도는 30~100개/ft³ 정도를 나타내고 있다. 배기량/급기량의 비가 1.8인 경우에는 배기 배관(722a 및 722b) 내의 소 파티클의 농도는 100,000개/ft³ 정도를 나타내며, 중 파티클의 농도는 7,000개/ft³ 정도를 나타내고, 대 파티클의 농도는 100개/ft³ 정도를 나타내고 있다. 이렇게 배기량/급기량의 비가 1.4~1.8에서는 배기 배관(722a 및 722b) 내의 파티클 농도는 거의 변화하지 않는다.

한편, 집진 유닛(60)의 배기량/급기량의 비가 3.0인 경우에는 배기 배관 (722a 및 722b) 내의 소 파티클의 농도는 300,000개/ft³ 정도를 나타내며, 중 파티클의 농도는 20,000개/ft³ 정도를 나타내고, 대 파티클의 농도는 100개/ft³ 정도를 나타내고 있다. 이와 같이 배기량/급기량의 비가 3.0인 경우에는 배기 배관(722a 및 722b) 내의 파티클 농도는 증가하고 있다. 이것은 배기량/급기량의 비율을 3배 이상으로 함으로써 배기 공간(73,74)에서의 압력을 더욱 낮출 수 있으며, 기체와 함께 흘러들어가는 분진의 양이 커진 것을 나타내고 있다.

이와 같이, 광로 공간에 공급되는 기체의 급기량에 대해서 배출 공간에서 배출되는 기체의 배출량의 비율을 3이상으로 함으로써, 집진 유닛(60)의 외부에 분진이 나오는 것을 억제할 수 있고, 기판으로부터 박리층을 균일하게 분리할 수 있다. 또한, 도면에는 나타내고 있지 않지만, 배기량/급기량의 비가 3보다 큰 경우에는 파티클 수는 3과 비슷하거나 3보다도 커져 있다.

<집진 유닛의 급배기량 및 챔버의 공기의 흐름과, 파티클과의 관계>

본 실시 예에서는, 챔버(510) 내부의 공기 흐름과 집진 유닛(60)에서의 급기 및 배기의 경로와는 다른 경로가 되어 있다. 본 실시 예에서는, 챔버(510) 내부의 공기 흐름을 급기 팬(541) 및 필터(542)(FFU)로 제어하고, 집진 유닛(60)에서의 급기량 및 배기량을 집진 유닛용 급배기 팬(520)으로 제어하고 있다.

도 30은, 실시 예 5에 관련한 FFU의 작동 및 집진 유닛(60)에서의 배기량/급기량의 비와, 파티클 농도의 관계를 예시한 그래프이다. 파티클 농도는 덕트 컬렉터(duct collector) 근방의 파티클 농도를 파티클 카운터로 측정한 값이다.

도 30에 나타내는 바와 같이, 챔버(510)에서의 FFU를 작동시켜 집진 유닛(60)에서의 배기량/급기량의 비를 3:1로 했을 경우(이하,ON·ON 상태라 함)에는, 대(大) 파티클의 농도는 측정 한계 이하이고, 중 파티클의 농도는 40개/ft³ 정도를 나타내고, 소 파티클의 농도는 100개/ft³ 정도를 나타내고 있다. 챔버(510)에서의 FFU를 작동시켜 집진 유닛(60)에 급기도 배기도시키지 않은 경우(이하, ON·OFF상태라 함)에는, 대 파티클의 농도는 측정 한계 이하이며, 중 파티클의 농도는 70개/ft³ 정도를 나타내고, 소 파티클의 농도는 300개/ft³ 정도를 나타내고 있다. 챔버(510)에서의 FFU을 정지시켜 집진 유닛(60)에서의 배기량/급기량의 비율을 3:1로 했을 경우(이하, OFF·ON 상태라 함)에는, 대 파티클의 농도는 측정 한계 이하이며, 중 파티클의 농도는 400개/ft³ 정도를 나타내고, 소 파티클의 농도는 2000개/ft³ 정도를 나타내고 있다.

이와 같이, ON·ON 상태로 함으로써 파티클을 억제할 수 있다. 이에 대해서 OFF·ON상태이면, 파티클 농도가 훨씬 커진다. 또한, ON·OFF 상태라도, OFF·ON 상태보다는 파티클 농도를 억제할 수 있지만, ON·ON 상태와 비교하면 파티클 농도는 커진다.

<챔버 및 집진 유닛의 제어>

이어서, 챔버(510)의 FFU의 작동, 그리고 집진 유닛(60)의 급기 및 배기의 제어에 관해서 설명한다. 도 31은, 실시 예 5와 관련한 FFU의 작동, 그리고 집진 유닛(60)의 급기 및 배기의 제어 방법을 예시한 블록도이다.

도 31에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태의 레이저 박리 장치(500)는, FFU의 작동, 그리고 집진 유닛(60)의 급기 및 배기를 제어하는 컨트롤러(552)를 구비하고 있다. 컨트롤러(552)는 급기팬(541), 배기팬(548), 워크 출입구(515b), 광학계(20) 및 집진 유닛용 급배기팬(520)과, 신호선 또는 무선 등의 정보 전달 수단에 의해 접속되어 있다. 또한, 배기 덕트용 배기구(543)에 배기팬(548)을 구비한 것으로 한다.

컨트롤러(552)는, 급기팬(541)의 작동, 정지, 및 공기(517)의 급기량을 제어한다. 컨트롤러(552)는, 배기팬(548)의 작동, 정지, 및 공기(517)의 배기량을 제어한다. 컨트롤러(552)는, 집진 유닛용 급배기팬(520)의 작동, 정지, 및 공기(517)의 급배기량을 제어한다.

또한, 컨트롤러(552)는, 워크 출입구(515b)에서 워크(10)의 출입에 관한 정보를 취득한다. 컨트롤러(552)는, 광학계(20)에서 레이저 조사의 정보를 취득한다.

도 32는, 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치(500)의 컨트롤러(552)의 제어를 예시한 도면이다. 도 31 및 도 32에 나타내는 바와 같이, 컨트롤러(552)는, 워크 출입구(515b)에서 워크(10)의 출입에 관한 정보를 취득했을 경우에는, 집진 유닛용 급배기팬(520)을 정지시켜 챔버(510)의 급기팬(541)을 정지시킨다. 또한, 컨트롤러(552)는, 챔버(510)의 배기팬(548)의 회전수를 저하시키고, 배기팬(548)의 배기량을 감소시킨다.

또한, 컨트롤러(552)는 광학계(20)에서 레이저광(16)의 조사의 정보를 취득했을 경우에는, 집진 유닛용 급배기 팬(520)을 작동시켜 챔버(510)의 급기팬(541) 및 배기팬(548)을 작동시킨다.

그리고 또한, 컨트롤러(552)는, 워크 출입 및 레이저 광(16)의 조사 이외의, 예를 들면, 아이들링시 등은 집진 유닛용 급배기 팬(520)의 회전 수를 저하시켜, 챔버(510)의 급기팬(541) 및 배기팬(548)의 회전수를 저하시켜 공기(517)의 급기량 및 배기량을 저하시킨다.

이와 같이, 컨트롤러(552)는 급기팬(541)에 의한 급기 기체의 공급량, 그리고 집진 유닛용 급배기 팬(520)의 급기량 및 배출량을, 워크(10)의 챔버(510)로의 출입 및 레이저 광(16)의 조사에 따라서 제어한다.

다음으로, 본 실시 예 5에 관련한 레이저 박리 장치(500)의 동작을 설명한다.

도 22에 나타내는 바와 같이, 챔버(510)의 내부에 배치된 스테이지(21) 상에 워크(10)를 배치한다. 예를 들면, 측면 벽(515)에 설치된 워크 출입구(515a)에서 챔버(510)의 내부로 워크(10)를 삽입하여 스테이지(21) 상에 배치한다.

이어서, 챔버(510)의 전면벽(513)에 설치된 급기팬(541)을 작동시킨다. 이에 의해 챔버(510) 내에 +X축 방향을 향하는 공기의 흐름이 형성된다. 또한, 집진 유닛용 급배기팬(520)을 작동시킨다. 급기팬(541) 및 집진 유닛용 급배기팬(520)을 컨트롤러(552)에 의해 제어시킨다.

다음으로, 스테이지(21) 상의 워크(10)를 스캔시켜서 워크(10)에 레이저 광을 조사한다. 이렇게 해서 레이저 박리 장치(500)에 의해 워크(10)의 기판으로부터 박리층을 박리한다.

다음으로, 본 실시 형태의 효과를 설명한다.

본 실시 형태에 따르면, 챔버(510) 내부의 공간에 층류를 형성함으로써 챔버 (510)의 내부에서 발생하는 분진이 레이저 광(16)의 조사 영역에 도달하는 것을 억제할 수 있다. 특히, 챔버(510)의 내부에 배치된 스테이지(21)의 주행 레일, 레일에 조립된 베어링, 케이블, 케이블을 지지하는 케이블 베어(cable bear, 등록상표), 배선 배관 등에서 발생하는 분진을 워크(10)의 근처에서 제거할 수 있다.

또한, 챔버(510)에 필터(542)를 설치함으로써 챔버(510) 내부의 전면벽(513) 측에 퇴적물을를 형성하지 않도록 할 수 있다. 또한, 스테이지(21)로의 신선한 공기의 도달 시간을 단축할 수 있다. 따라서, 워크(10)의 표면에 존재하는 분진을 날려버려 기판으로부터 박리층을 균일하게 분리할 수 있다. 그리고 또한, 필터(542)를 설치함으로써 챔버(510) 외부의 압력과의 균형을 취할 수 있어 챔버(510)의 변형에 의한 레이저 광(16)의 디포커스(defocus)를 억제할 수 있다.

집진 유닛(60)으로의 배기량을 급기량보다 크게 하고, 배기 공간(73,74)을 음압으로 함으로써 집진 유닛(60)의 내부에서 분진이 부유해도 집진 유닛(60)의 외부에 분진이 나오는 것을 억제할 수 있다. 그리고 또한, 급기량에 대한 배기량의 비율을 3이상으로 함으로써 이 효과를 현저하게 할 수 있다.

챔버(510)의 내부에 워크(10)를 배치함으로써 워크(10)를 외부 공기에 노출하는 일이 없기 때문에 워크(10)의 표면을 청결하게 유지할 수 있다. 그 밖의 효과는 실시 예 1~4와 같기 때문에 설명을 생략한다.

<실시 예 6> (다운플로의 챔버 장비)

다음으로, 실시 예 6을 설명한다. 우선, 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치를 설명한다. 도 33은, 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치를 설명하기 위한 사시도이다.

도 33에 나타내는 바와 같이, 본 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치 (600)는, 실시 예 5에서 설명한 레이저 박리 장치(500)의 챔버(510)와 비교해서 챔버(610)에서의 급기팬(641), 배기팬(648) 및 필터(642)가 설치된 위치가 다르다. 본 실시 예에서도 챔버(610)의 내부에 집진 유닛(60)이 설치되어 있는 것으로 해서, 집진 유닛(60)에 적용한 XYZ 직교 좌표계를 도입한다. 따라서, 워크(10)의 반송 방향은 X축 방향이 된다.

<챔버의 구성>

챔버(610)는, 예를 들면, 외형이 직육면체 형상이며, 챔버 벽에 의해 둘러싸인 내부에 공간을 가지고 있다. 챔버(610)는, 예를 들면 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향의 길이가 5.5m정도, 4.5m정도 및 2m정도로 이루어져 있다. 또한, 실시 예 5의 챔버(510)는, 챔버(610)보다도 예를 들면 작은 것으로 이루어져 있다. 챔버(610)는 하방에서 복수의 지주(681)에 의해 지지되어 있다.

챔버(610)는, 저면벽(611) 및 상면벽(612) 외, 전면벽(613) 및 후면벽(614), 그리고 측면벽(615 및 616)(전면벽(613) 및 후면벽(614), 측면벽(615 및 616)은 도35 참조)에 의해, 예를 들어 직육면체 형상으로 구성되어 있다. 도면에서는, 전면벽(613) 및 후면벽(614), 그리고 측면벽(615 및 616)을 생략하고 있다. 저면벽 (611) 및 상면벽(612)은 Z축 방향, 즉 상하 방향에서 대향한다. 전면벽(613) 및 후면벽(614)은, X축 방향, 즉 워크(10)의 반송 방향에 있어서 대향하고, 측면벽(615 및 616)은 Y축 방향에서 대향한다. 또한, 챔버(510)의 형상은 직육면체 형상에 한정되는 않는다.

상면벽(512)은, 상방에서 볼 때, 예를 들면, 긴 변이 X축 방향을 따르고, 짧은 변이 Y축 방향을 따른 직사각형의 평판상으로 되어 있다. 상면벽(612)은 저면벽(611)의 +Z축 방향 쪽에 배치되고, 저면벽(611)과 대향한다. 따라서, 상면벽(612)을 한 쪽 벽으로 하면, 저면벽(611)은 한쪽 벽에 대향하는 다른 쪽 벽이 된다. 상면벽(512) 및 저면벽(511)은 X축 방향 및 Y축 방향에 평행하게 되어 있다.

상면벽(612)에는, 복수의 급기팬(641) 및 복수의 필터(642)가 설치되어 있다. 따라서, 상면벽(612)은, 급기팬(641) 및 필터(642)가 결합된 FFU를 구성하고 있다.

여기서, 상면벽(612)에서의 복수의 급기팬(641) 및 복수의 필터(642)가 배치 된 위치를 설명한다. 도 34a 및 도 34b는, 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치 (600)에 있어서, 챔버(610)의 내부에서의 워크(10)의 이동을 예시한 도면이고, 도 34a는 상면벽(612)에 투영한 도면이며, 도 34b는 저면벽(611)에 투영한 도면이다.

도 34a에 나타내는 바와 같이, 상면벽(612)을 상방에서 투시하듯이 봤을 때, 워크(10)의 반송에 의해 워크(10)가 가동하는 가동 영역(649)은, 상면벽(612)의 중앙부에 겹쳐 있다. 그러나, 상면벽(612)의 주변부(periphery portion)는 가동 영역(649)에 겹치지 않는다. 예를 들면, 상면벽(612)에서의 X축 방향의 양단부의 주변부(612a 및 612b), 그리고 Y축 방향의 양단부의 주변부(612c 및 612d)는 가동 영역(649)에 겹쳐있지 않다. 이때, 급기팬(641)을 상면벽(612)에서의 Y축 방향의 양단측의 주변부(612c 및 612d)에 배치시킨다. 예를 들면, 주변부(612c)에 X축 방향을 따라서 늘어서도록 두 개의 급기팬(641)을 배치시키고, 주변부(612d)에 X축 방향을 따라서 늘어서도록 두 개의 급기팬(641)을 배치시킨다.

급기팬(641)은, 챔버(610)의 외부에서 챔버(610)의 내부에 기체를 급기한다. 실시 예 5와 마찬가지로, 다음의 설명에서는, 챔버(610)의 내부에 채워지는 기체를 공기로서 설명한다. 급기팬(641)은 챔버(610)의 내부로 가져온 공기를 -Z축 방향으로 송풍한다.

필터(642)는, 예를 들면 상면벽(612)에 복수개 설치되어 있다. 예를 들면, 필터(642)는 주변부(612c)에 있어서 복수의 급기팬(641)을 사이에 끼우두록 상면벽(612)의 모서리 부분에 설치되어 있다. 또한, 필터(642)는 주변부(612d)에 있어서, 복수의 급기팬(641)을 사이에 끼우도록 상면벽(612)의 모서리 부분에 설치되어 있다. 따라서, 주변부(612c 및 612d)에 있어서 X축 방향으로 떨어트려 배치된 필터(642) 사이에 급기팬(641)이 배치되어 있다.

도 33에 나타내는 바와 같이, 상면벽(612)에는 개구부(645)가 설치되어 있다. 개구부(645)는, 집진 유닛(60)의 광로 공간(70)에 연결되어 있다. 개구부(645)는, Y축 방향으로 연장되어 있다. 상면벽(612) 위에 광학계(20)를 배치했을 때에, 개구부(645)에서 집진 유닛(60)의 내부로 레이저 광(16)을 입사한다 (도 11 참조). 이에 의해, 레이저 광(16)은, 광로 공간(70)을 지나 워크(10)를 조사한다.

도 33에 나타내는 바와 같이, 저면벽(611)은, 위쪽에서 볼 때, 예를 들면, 긴 변이 X축 방향을 따르고, 짧은 변이 Y축 방향에 따른 직사각형의 평판상으로 되어 있다. 저면벽(611)은 상면벽(612)의 -Z축 방향 측에 배치되고 상면벽(612)과 대향한다. 저면벽(611)에는 복수의 배기 팬(648)이 설치되어 있다.

도 33 및 도 34b에 나타내는 바와 같이, 저면벽(611)을 상방에서 투시하듯이 봤을 때, 가동 영역(649)은 저면벽(611)의 중앙부에 겹쳐있다. 그러나, 저면벽(611)의 주변부는 가동 영역(649)에 겹치지 않는다. 예를 들면, 저면벽(611)에서의 X축 방향의 양단부의 주변부(611a 및 611b), 그리고 Y축 방향의 양단부의 주변부(611c 및 611d)는 가동 영역(649)에 겹쳐 있지 않다. 이때, 복수의 배기팬(648)을 저면벽(611)에서의 X축 방향의 양단측의 주변부(611a 및 611b)에 배치시킨다. 예를 들면, 주변부(611a)에 Y축 방향을 따라서 늘어서도록 4개의 배기팬(648)을 배치시키고, 주변부(611b)에 Y축 방향을 따라서 늘어서도록 4개의 배기팬(648)을 배치시킨다. 배기팬(648)은 챔버(610)의 내부에서 챔버(610)의 외부로 공기를 -Z축 방향으로 배기한다.

<챔버 내부의 공기의 흐름>

다음으로, 챔버(610) 내부의 공기의 흐름을 설명한다.

도 35는, 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치(600)에 있어서, 챔버(610) 내부의 공기의 흐름을 예시한 도면이다. 도 35에 나타내는 바와 같이, 챔버(610)의 내부에 있어서 상면벽(612)에서 저면벽(611)을 향한 다운 플로가 형성되어 있다. 특히, 챔버(610) 내부에서의 Y축 방향의 양단부에는 다운 플로가 형성되어 있다. 분진 등의 파티클은, 기본적으로 저면벽(611) 상에 퇴적한다. 따라서, 다운 플로로 함으로써 저면벽(611) 상에 퇴적한 파티클이 스테이지(21) 상에 말려 올라가는 것을 억제할 수 있다.

챔버(610)의 상면벽(612)의 전면(全面)에 급기팬(641)을 설치하고 저면벽(611)의 전면에 배기팬(648)을 설치함으로써 챔버(610)의 내부를 완전한 다운 플로로 할 수 있을지도 모른다. 그러나, 챔버(610)의 내부에는 스테이지(21) 및 주사 장치 등의 부재가 배치되기 때문에 챔버(610) 내를 완전한 다운 플로로 할 수 없다. 이때, 본 실시 예에서는 챔버(610) 내부에 다운 플로를 방해하는 부재가 배치되어 있어도 분진의 영향을 억제할 수 있는 위치에 급기팬(641), 필터(642) 및 배기팬(648)을 배치하였다. 도 35에 나타내는 바와 같은 배치로 함으로써 챔버(610)의 내부에 다운 플로를 형성할 수 있고, 분진이 레이저 광(16)의 조사 영역에 도달하는 것을 억제할 수 있다.

도 36a 및 도 36b는, 실시 예 6에 관련한 레이저 박리 장치(600)에 있어서, 챔버(610)의 공기의 흐름을 예시한 도면이며, 도 36a는 급기량을 배기량보다 더 크게 한 경우를 나타내고, 도 36b는 급기량을 배기량보다 작게 한 경우를 나타낸다.

도 36a 및 도 36b에 나타내는 바와 같이, 챔버(610)의 내부를 다운 플로로 함으로써 챔버(610) 내부의 전역에 걸쳐서 공기를 도달시킬 수 있다. 특히, 도 36a에 나타내는 바와 같이, 급기량을 배기량보다 더 크게 하여 챔버(610)의 내부를 양압으로 함으로써, 급기량을 배기량보다 더 작게 해서 챔버(610)의 내부를 음압으로 하는 것보다도 챔버(610)의 내부에 공기를 널리 퍼지게 할 수 있다.

본 실시 형태에 따르면, 챔버(610) 내부의 공간에 다운 플로를 형성함으로써 챔버(610)의 내부에서 발생하는 분진이 레이저 광(16)의 조사 영역에 도달하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 다운 플로에 의해 챔버(610)의 내부 전체 구석 구석까지 공기가 도달한다. 따라서, 챔버(610)의 내부에 퇴적물의 발생을 억제할 수 있다. 그 밖의 동작 및 효과는 실시 예 1 내지 5와 동일하므로 설명을 생략한다.

이상, 본 발명자들에 의해 이루어진 발명을 실시 예에 따라 구체적으로 설명 하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것이 아니며 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능한 것은 말할 필요도 없다.

이 출원은, 2016년 8월 4일에 출원된 일본 특허출원 제2016-153341호 및 2016년 12월 20일에 출원된 일본 특허출원 제2016-246571호를 기초로 하는 우선권을 주장하고, 그 개시 전부를 여기에 포함시킨다.

1, 2, 3, 4, 5; 레이저 박리 장치
10; 워크(workpiece)
11; 기판
12; 박리층
16; 레이저 광
20; 광학계
21; 스테이지
22; 분사 유닛
23; 집진 유닛
31; 본체부
32; 노즐
33; 급기용 배관
41; 측벽
42; 상판
44, 45; 판상 부재
48; 뚜껑체
51; 상부 개구부
52; 개구부
60; 집진 유닛
61, 62; 측벽
63, 64; 판상 부재
65; 상판
66, 67; 칸막이 판
68; 뚜껑체
70; 광로 공간
71, 72; 급기 공간
73, 74; 배기 공간
75, 76; 급기 홀(feeding hole)
77, 77a, 77b; 배기 포트(exhaust port)
78; 개구부
81, 82; 측벽
83, 84; 판상 부재
85; 급기 포트
90; 집진 유닛
91, 92, 93, 94; 바닥판 부재
95; 흡기구
100; 집진 유닛
101, 102; 바닥판 부재
110; 집진 유닛
111, 112; 판상 부재
113, 114; 배관
500; 레이저 박리 장치
510; 챔버
511; 저면벽
512; 상면벽
513; 전면벽
514; 후면벽
515; 측면벽
515a; 워크 출입구
516; 측면벽
517; 공기
520; 집진 유닛용 급배기 팬
521; 급기 배관
522, 522a, 522b; 배기 배관
530; 지지대(support base)
531; 토대(base)
532; 지주
541; 급기 팬
542; 필터
543; 배기 덕트용 배기구
544; 배기 덕트
545; 개구부
546; 단부(end portion)
547; 디포커스(defocus)
548; 배기 팬
551; 주사 장치
552; 컨트롤러(controller)
600; 레이저 박리 장치
610; 챔버
611; 저면벽
611c, 611d; 주변부(periphery portion)
612; 상면벽
612a, 612b; 주변부
613; 전면벽
614; 후면벽
615; 측면벽
616; 측면벽
648; 배기 팬
649; 가동영역

Claims (38)

1. 기판과 해당 기판 상에 형성된 박리층을 구비하는 워크에 레이저 광을 조사해서 상기 박리층을 상기 기판으로부터 박리하는 레이저 박리 장치에 있어서,
   상기 워크 상에 기체를 내뿜는 분사 유닛과,
   상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부를 가지며, 상기 개구부에서 흡인해서 분진을 집진하는 집진 유닛를 구비하는, 레이저 박리 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 분사 유닛은, 상기 워크 상에 기체를 내뿜어서 상기 워크 표면에 존재하는 분진을 날려 버리고,
   상기 집진 유닛은, 상기 날려진 분진을 상기 개구부에서 흡인해서 집진하는, 레이저 박리 장치.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 분사 유닛은, 상기 집진 유닛에 대해서 상기 워크의 반송 방향 하류측에 배치되어 있으며, 상기 워크의 반송 방향과 역방향으로 상기 기체를 내뿜어서 상기 워크 표면에 상기 워크의 반송 방향과 역방향의 층류(laminar flow)를 형성하는, 레이저 박리 장치.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 분사 유닛의 노즐은, 상기 워크의 표면과 평행이며 상기 워크의 반송 방향과 수직인 제1의 방향으로 신장하도록 배치되어 있으며,
   상기 집진 유닛의 상기 개구부는, 상기 제1의 방향으로 연장하도록 배치되어 있는, 레이저 박리 장치.
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 개구부는, 해당 개구부의 상기 반송 방향 상류측에 설치된 상기 제1의 방향으로 연장되는 제1의 판상 부재와, 상기 개구부의 상기 반송 방향 하류측에 설치된 상기 제1의 방향으로 신장되는 제2의 판상 부재를 사용하여 형성되어 있으며,
   상기 제1 및 제2의 판상 부재는, 상기 제2의 판상 부재와 상기 워크의 간격이 상기 제1의 판상 부재와 상기 워크의 간격보다도 넓어지게 배치되어 있는, 레이저 박리 장치.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 제1의 판상 부재의 상기 개구부에서의 단면 형상은, 상기 제1의 판상 부재의 하면과 이루는 각도가 예각이 될 수 있는 경사면을 포함하는 형상이며,
   상기 제2의 판상 부재의 상기 개구부에서의 단면 형상은, 상기 제2의 판상 부재의 상면과 이루는 각도가 예각이 될 수 있는 경사면을 포함하는 형상인, 레이저 박리 장치.
   
7. 제4항에 있어서,
   상기 개구부의 상기 제1의 방향에서의 길이는, 상기 노즐의 상기 제1 방향에서의 길이보다 긴, 레이저 박리 장치.
   
8. 기판과 해당 기판 상에 형성된 박리층을 구비하는 워크에 레이저 광을 조사해서 상기 박리층을 상기 기판으로부터 박리하는 레이저 박리 장치에 있어서,
   상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부를 가지며, 상기 레이저 광이 통과하는 광로 공간과,
   상기 광로 공간의 외측에 배치된 배기 공간을 구비하는 집진 유닛을 가지며,
   상기 광로 공간은, 상기 개구부의 주위에 배치된 측벽과, 상기 측벽의 상부를 덮도록 배치된 상기 레이저 광을 투과하는 뚜껑체를 사용하여 구성되어 있으며,
   상기 측벽에는 상기 광로 공간에 기체를 공급하기 위한 급기홀이 형성되어 있으며,
   상기 급기홀에서 상기 광로 공간에 공급된 기체는, 상기 측벽을 따라서 상기 워크 측에 흐른 후, 상기 측벽의 하단과 상기 워크 사이를 통과해서 상기 배기 공간으로 흐르는, 레이저 박리 장치.
   
9. 제8항에 있어서,
   상기 개구부는, 상기 워크의 표면과 평행하며 상기 워크의 반송 방향과 수직 인 제1의 방향으로 연장하도록 배치되어 있으며,
   상기 측벽은, 상기 워크의 반송 방향 상류 측에 배치된 제1의 판상 부재와, 상기 워크의 반송 방향 하류 측에 배치된 제2의 판상 부재를 구비하는, 레이저 박리 장치.
   
10. 제9항에 있어서,
    상기 배기 공간은, 상기 광로 공간에 대해서 상기 반송 방향 상류 측에 배치 된 제1의 배기 공간과, 상기 광로 공간에 대해서 상기 반송 방향 하류 측에 배치 된 제2의 배기 공간을 구비하고,
    상기 제1의 판상 부재에 형성된 급기홀에서 상기 광로 공간에 공급된 기체는, 상기 제1의 판상 부재의 표면을 따라서 상기 워크 측에 흐른 후, 상기 제1의 판상 부재의 하단과 상기 워크 사이를 통과해서 상기 제1의 배기 공간으로 흐르고,
    상기 제2의 판상 부재에 형성된 급기홀에서 상기 광로 공간에 공급된 기체는, 상기 제2의 판상 부재의 표면을 따라사 상기 워크 측에 흐른 후, 상기 제2의 판상 부재의 하단과 상기 워크 사이를 통과해서 상기 제2의 배기 공간으로 흐르는, 레이저 박리 장치.
    
11. 제10항에 있어서,
    상기 제1의 배기 공간은, 상기 제1의 판상 부재와, 해당 제1의 판상 부재에 대해서 상기 반송 방향 상류측에 배치된 제3의 판상 부재로 사이에 끼인 공간이며,
    상기 제1의 배기 공간에는 또한, 상기 집진 유닛의 외부에서 상기 제3의 판상 부재의 하단과 상기 워크 사이를 통과해서 기체가 흘러 들어가고,
    상기 제2의 배기 공간은, 상기 제2의 판상 부재와, 해당 제2의 판상 부재에 대해서 상기 반송 방향 하류 측에 배치된 제4의 판상 부재로 사이에 끼인 공간이며,
    상기 제2의 배기 공간에는 또한, 상기 집진 유닛의 외측에서 상기 제4의 판상 부재의 하단과 상기 워크 사이를 통과해서 기체가 흘러 들어가는, 레이저 박리 장치.
    
12. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 제1의 배기 공간의 하부에는, 상기 워크의 표면과 상기 제1의 배기 공간 사이의 유로가 좁아지도록 배치된 제1의 흡기구가 형성되어 있으며,
    상기 제2의 배기 공간의 하부에는, 상기 워크의 표면과 상기 제2의 배기 공간 사이의 유로가 좁아지도록 배치된 제2의 흡기구가 형성되어 있는, 레이저 박리 장치.
    
13. 제12항에 있어서,
    상기 제1의 흡기구의 상기 반송 방향 하류측에는 상기 제1의 방향으로 연장 하는 제1의 바닥판 부재가 설치되어 있고, 상기 제1의 흡기구의 상기 반송 방향 상류측에는 상기 제1의 방향으로 연장하는 제2의 바닥판 부재가 설치되어 있고,
    상기 제1의 바닥판 부재의 상기 제1의 흡기구에서의 단면 형상은, 상기 제1의 바닥판 부재의 상면과 이루는 각도가 예각이 될 수 있는 경사면을 포함하는 형상이며,
    상기 제2의 흡기구의 상기 반송 방향 상류측에는 상기 제1의 방향으로 연장하는 제3의 바닥판 부재가 설치되어 있으며, 상기 제2의 흡기구의 상기 반송 방향 하류측에는 상기 제1의 방향으로 연장되는 제4의 바닥판 부재가 설치되어 있고,
    상기 제3의 바닥판 부재의 상기 제2의 흡기구에서의 단면 형상은, 상기 제3의 바닥판 부재의 상면과 이루는 각도가 예각이 될 수 있는 경사면을 포함하는 형상인, 레이저 박리 장치.
    
14. 제13항에 있어서,
    상기 제2의 바닥판 부재의 상기 제1의 흡기구에서의 단면 형상은, 상기 제2의 바닥판 부재의 상면과 이루는 각도가 예각이 될 수 있는 경사면을 포함하는 형상이며,
    상기 제4의 바닥판 부재의 상기 제2의 흡기구에서의 단면 형상은, 상기 제4의 바닥판 부재의 상면과 이루는 각도가 예각이 될 수 있는 경사면을 포함하는 형상인, 레이저 박리 장치.
    
15. 제10항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 집진 유닛은, 상기 광로 공간의 외측에 배치되고, 상기 급기홀을 통해서 상기 광로 공간에 기체를 공급하는 급기 공간을 더 가지는, 레이저 박리 장치.
    
16. 제15항에 있어서,
    상기 급기 공간은, 상기 광로 공간에 대해서 상기 반송 방향 상류측에서, 또한 상기 제1의 배기 공간의 상부에 배치된 제1의 급기 공간과, 상기 광로 공간에 대해서 상기 반송 방향 하류측에서, 또한 상기 제2의 배기 공간의 상부에 배치된 제2의 급기 공간을 구비하는, 레이저 박리 장치.
    
17. 제10항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 급기홀에는 배관이 접속되어 있으며, 상기 배관 및 상기 급기홀을 통해서 상기 광로 공간에 기체가 공급되는, 레이저 박리 장치.
    
18. 기판과 해당 기판 상에 형성된 박리층을 구비하는 워크에 레이저 광을 조사해서 상기 박리층을 상기 기판으로부터 박리하는 레이저 박리 장치에 있어서,
    상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부를 가지며, 상기 레이저 광이 통과하는 광로 공간과, 상기 광로 공간의 외측에 배치된 배기 공간을, 구비하는 집진 유닛과,
    챔버 벽에 의해 둘러싸인 내부에 공간을 가지며, 상기 워크 및 상기 집진 유닛이 상기 내부에 배치된 챔버를, 구비하고,
    상기 광로 공간은, 상기 개구부의 주위에 배치된 측벽과, 상기 측벽의 상부를 덮도록 배치된 상기 레이저 광을 투과하는 뚜껑체를 사용하여 구성되어 있으며,
    상기 측벽에는 상기 광로 공간에 기체를 공급하기 위한 급기홀이 형성되어 있으며,
    상기 급기홀에서 상기 광로 공간에 공급된 기체는, 상기 측벽을 따라서 상기 워크 측에 흐른 후, 상기 측벽의 하단과 상기 워크 사이를 통과해서 상기 배기 공간으로 흐르고,
    상기 개구부는, 상기 워크의 표면과 평행이며 상기 워크의 반송 방향과 수직 인 제1의 방향으로 연장하도록 배치되어 있으며,
    상기 챔버 벽은, 상기 반송 방향에 직교하는 평판상의 한쪽 벽과, 상기 한쪽 벽에 대향하여 상기 반송 방향에 직교하는 평판상의 다른 쪽 벽을 포함하고,
    상기 챔버는,
    상기 한쪽 벽에 설치되고, 상기 챔버의 외부에서 상기 내부에 급기되는 급기 기체를, 상기 내부에 급기하는 급기 팬과,
    상기 한쪽 벽에 설치되고, 상기 제1의 방향에서 상기 급기 팬을 사이에 끼우게 설치된 복수의 필터와,
    상기 다른 쪽 벽에 설치되고, 상기 내부에서 상기 외부로 상기 급기 기체를 배기하는 배기구를 갖는, 레이저 박리 장치.
    
19. 기판과 해당 기판 상에 형성된 박리층을 구비하는 워크에 레이저 광을 조사해서 상기 박리층을 상기 기판으로부터 박리하는 레이저 박리 장치에 있어서,
    상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부를 가지고, 상기 레이저 광이 통과하는 광로 공간과, 상기 광로 공간의 외측에 배치된 배기 공간을, 구비하는 집진 유닛과,
    챔버 벽으로 둘러싸인 내부에 공간을 가지며, 상기 워크 및 상기 집진 유닛이 상기 내부에 배치된 챔버를 구비하고,
    상기 광로 공간은, 상기 개구부의 주위에 배치된 측벽과, 상기 측벽의 상부를 덮도록 배치된 상기 레이저 광을 투과하는 뚜껑체를 사용해서 구성되어 있으며,
    상기 측벽에는 상기 광로 공간에 기체를 공급하기 위한 급기홀이 형성되어 있으며,
    상기 급기홀에서 상기 광로 공간에 공급된 기체는, 상기 측벽을 따라서 상기 워크 측에 흐른 후, 상기 측벽의 하단과 상기 워크 사이를 통과해서 상기 배기 공간으로 흐르고,
    상기 개구부는, 상기 워크의 표면과 평행이며 상기 워크의 반송 방향과 수직 인 제1의 방향으로 연장하도록 배치되어 있으며,
    상기 챔버 벽은, 상기 반송 방향 및 상기 제1의 방향에 평행한 평판상의 한쪽 벽과, 상기 한쪽 벽에 대향하여 상기 반송 방향 및 상기 제1의 방향에 평행한 평판상의 다른 쪽 벽을 포함하고,
    상기 챔버는,
    상기 한쪽 벽을 상방에서 투시하듯이 보았을 때, 상기 워크의 반송에 의해 상기 워크가 가동하는 가동 영역에 겹치지 않는 상기 한쪽 벽에서의 상기 제1의 방향의 양단측의 주변부인 제1 방향 주변부에, 상기 반송 방향을 따라서 나열하도록 설치되고, 상기 챔버의 외부에서 상기 내부로 급기되는 급기 기체를, 상기 내부에 급기하는 복수의 급기팬과,
    상기 제1 방향 주변에있어서, 상기 복수의 급기팬을 사이에 끼우도록 상기 한쪽 벽의 모서리부에 설치된 복수의 필터와,
    상기 다른 쪽 벽을 상방에서 투시하듯이 보았을 때, 상기 가동 영역에 겹치지 않는 상기 다른 쪽 벽에서의 상기 반송 방향의 양단측의 주변부인 반송 방향 주변부에, 상기 제1의 방향을 따라서 나열하도록 설치되어, 상기 내부에서 상기 외부로 상기 급기 기체를 배출하는 복수의 배기 팬을 갖는, 레이저 박리 장치.
    
20. 제18항 또는 제19항에 있어서,
    상기 집진 유닛에 상기 기체를 급기하면서 동시에 상기 집진 유닛이 흡인한 상기 기체를 상기 집진 유닛에서 배출하는 집진 유닛용 급배기 팬을 더 구비하고,
    상기 집진 유닛용 급배기 팬은 상기 챔버의 하방에 배치된, 레이저 박리 장치.
    
21. 제20항에 있어서,
    상기 급기팬에 의한 상기 급기 기체의 급기량, 및 상기 집진 유닛용 급배기 팬의 급기량 및 배기량을, 상기 워크의 상기 챔버로의 출입 및 상기 레이저 광의 조사를 근거로 제어하는 컨트롤러를 더 구비한, 레이저 박리 장치.
    
22. 제18항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광로 공간에 공급되는 상기 기체의 급기량에 대해서, 상기 배기 공간에서 배기되는 상기 기체의 배기량의 비율은 3 이상인, 레이저 박리 장치.
    
23. 기판과 해당 기판 상에 형성된 박리층을 구비하는 워크에 레이저 광을 조사해서 상기 박리층을 상기 기판으로부터 박리하는 레이저 박리 방법에 있어서,
    상기 박리층에 상기 레이저 광을 조사하면서 상기 워크를 반송할 때,
    상기 워크 상에 기체를 내뿜고,
    상기 내뿜어진 기체를 흡인해서 분진을 집진하는, 레이저 박리 방법.
    
24. 제23항에 있어서,
    상기 박리층에 상기 레이저 광을 조사하면서 상기 워크를 반송할 때,
    상기 워크의 반송 방향 하류측에 배치된 분사 유닛에서 상기 워크 상에 기체를 내뿜어서 상기 워크 표면에 존재하는 분진을 날려버리고,
    상기 워크의 반송 방향 상류측에 배치된 집진 유닛를 이용하여 상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 배치된 개구부에서 상기 날려버려진 분진을 흡인해서 집진하는, 레이저 박리 방법.
    
25. 제23항에 있어서,
    상기 박리층에 상기 레이저 광을 조사하면서 상기 워크를 반송할 때, 상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부를 가지며, 상기 개구부의 주위에 측벽이 배치되고, 상기 레이저 광이 통과하는 광로 공간과, 해당 광로 공간의 외측에 배치된 배기 공간을 구비하는 집진 유닛를 이용하여, 상기 측벽에 형성된 급기홀에서 상기 광로 공간에 기체를 공급하고, 해당 기체를 상기 측벽을 따라서 상기 워크 측으로 흐르게 하고, 상기 측벽의 하단과 상기 워크 사이를 통과시켜서 상기 배기 공간으로 흐르게 해서 상기 워크 표면에 존재하는 분진을 집진하는, 레이저 박리 방법.
    
26. 기판과 해당 기판 상에 형성된 박리층을 구비하는 워크에 레이저 광을 조사해서 상기 박리층을 상기 기판으로부터 박리하는 레이저 박리 방법으로서,
    상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부를 가지며, 상기 개구부의 주위에 측벽이 배치되고 상기 레이저 광이 통과하는 광로 공간과, 해당 광로 공간의 외측에 배치된 배기 공간을, 구비하는 집진 유닛과,
    챔버 벽에 의해 둘러싸인 내부에 공간을 가지며, 상기 워크 및 상기 집진 유닛이 상기 내부에 배치된 챔버를, 이용하여,
    상기 개구부를, 상기 워크의 표면과 평행이며 상기 워크의 반송 방향과 수직 인 제1의 방향으로 연장하도록 배치하고,
    상기 챔버 벽은, 상기 워크의 반송 방향에 직교하는 평판상의 한쪽 벽과, 상기 한쪽 벽에 대향하여 상기 반송 방향에 직교하는 평판상의 다른 쪽 벽을, 포함하고,
    상기 챔버는,
    상기 한쪽 벽에 설치되어, 상기 챔버의 외부에서 상기 내부로 급기되는 급기 기체를, 상기 내부로 급기하는 급기 팬과,
    상기 한쪽 벽에 설치되고, 상기 제1의 방향에 있어서 상기 급기 팬을 사이에 끼우게 설치된 복수의 필터와,
    상기 다른 쪽 벽에 설치되고, 상기 내부에서 상기 외부로 상기 급기 기체를 배기하는 배기구를 가지며,
    상기 박리층에 상기 레이저 광을 조사하면서 상기 워크를 반송할 때, 상기 측벽에 형성된 급기홀에서 상기 광로 공간에 기체를 공급하고, 해당 기체를 상기 측벽을 따라서 상기 워크 측으로 흐르게 해서, 상기 워크 상에 기체를 내뿜고, 상기 내뿜어진 기체를 흡인하여 상기 측벽의 하단과 상기 워크 사이를 통과시켜서 상기 배기 공간으로 흐르게 하여 상기 워크 표면에 존재하는 분진을 집진하는 레이저 박리 방법.
    
27. 기판과 해당 기판 상에 형성된 박리층을 구비하는 워크에 레이저 광을 조사해서 상기 박리층을 상기 기판으로부터 박리하는 레이저 박리 방법으로서,
    상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부를 가지며, 상기 개구부의 주위에 측벽이 배치되고, 상기 레이저 광이 통과하는 광로 공간과, 해당 광로 공간의 외측에 배치된 배기 공간을, 구비하는 집진 유닛과,
    챔버 벽으로 둘러싸인 내부에 공간을 가지며, 상기 워크 및 상기 집진 유닛이 상기 내부에 배치된 챔버를 이용하며,
    상기 개구부를, 상기 워크의 표면과 평행이며 상기 워크의 반송 방향과 수직 인 제1의 방향으로 연장하도록 배치하고,
    상기 챔버벽은 상기 반송 방향 및 상기 제1의 방향에 평행한 평판상의 한쪽 벽과, 상기 한쪽 벽에 대향하여 상기 반송 방향 및 상기 제1의 방향에 평행한 평판상의 다른 쪽 벽을 포함하고,
    상기 챔버는,
    상기 한쪽 벽을 상방에서 투시하듯이 보았을 때, 상기 워크의 반송에 의해 상기 워크가 가동하는 가동 영역에 겹치지 않는 상기 한쪽 벽에서의 상기 제1의 방향의 양단측의 주변부인 제1의 방향 주변부에, 상기 반송 방향을 따라서 나열하도록 설치되고, 상기 챔버의 외부에서 상기 내부에 급기되는 급기 기체를, 상기 내부에 급기하는 복수의 급기 팬과,
    상기 제1 방향 주변부에 있어서, 상기 복수의 급기팬을 사이에 끼우게 상기 한쪽 벽의 모서리부에 설치된 복수의 필터와,
    상기 다른 쪽 벽을 위쪽에서 투시하듯이 보았을 때, 상기 가동 영역에 겹치지 않는 상기 다른 쪽 벽에서의 상기 반송 방향의 양단측의 주변부인 반송방향 주변부에 상기 제1의 방향을 따라서 나열하도록 설치되고, 상기 내부에서 상기 외부로 상기 급기 기체를 배기하는 복수의 배기 팬을 가지고,
    상기 박리층에 상기 레이저 광을 조사하면서 상기 워크를 반송할 때, 상기 측벽에 형성된 급기홀에서 상기 광로 공간으로 기체를 공급하고, 해당 기체를 상기 측벽을 따라서 상기 워크 측으로 흐르게 하고, 상기 워크 상에 기체를 내뿜고, 상기 내뿜어진 기체를 흡인하여 상기 측벽의 하단과 상기 워크 사이를 통과시켜서 상기 배기 공간으로 흐르게 해서 상기 워크 표면에 존재하는 분진을 집진하는 레이저 박리 방법.
    
28. 제26항 또는 제27항에 있어서,
    상기 집진 유닛에 상기 기체를 공급하면서 동시에 상기 집진 유닛이 흡인한 상기 기체를 상기 집진 유닛에서 배기하는 집진 유닛용 급배기 팬을 더 구비하고,
    상기 집진 유닛용 급배기팬을 상기 챔버의 하방에 배치하는, 레이저 박리 방법.
    
29. 제28항에 있어서,
    상기 급기팬에 의한 상기 급기 기체의 급기량, 그리고 상기 집진 유닛용 급 배기팬의 급기량 및 배기량을, 상기 워크의 상기 챔버로의 출입 및 레이저 광의 조사를 토대로 제어하는, 레이저 박리 방법.
    
30. 제26항 내지 제29항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광로 공간에 공급하는 상기 기체의 급기량에 대해서 상기 배기 공간에서 배기되는 상기 기체의 배기량의 비율을 3이상으로 하는, 레이저 박리 방법.
    
31. (A)기판 상에 박리층을 형성하는 공정과,
    (B)상기 박리층 위에 구동 소자 및 유기 EL 소자를 형성하는 공정과,
    (C)상기 기판과 상기 박리층을 분리하는 공정과,
    (D)상기 박리층에 필름을 적층하는 공정을 포함하는 유기 EL 디스플레이의 제조 방법으로서,
    (C)상기 기판과 상기 박리층을 분리하는 공정은, 상기 기판과 상기 박리층을 포함하는 워크에 레이저 광을 조사해서 상기 박리층을 상기 기판으로부터 박리하는 공정이며,
    상기 박리층에 상기 레이저 광을 조사하면서 상기 워크를 반송할 때,
    상기 워크 상에 기체를 내뿜어서,
    상기 내뿜어진 기체를 흡인해서 분진을 집진하는, 유기 EL 디스플레이의 제조 방법.
    
32. 제31항에 있어서,
    상기 박리층에 상기 레이저 광을 조사하면서 상기 워크를 반송할 때,
    상기 워크의 반송 방향 하류측에 배치된 분사 유닛에서 상기 워크 상에 기체를 내뿜어서 상기 워크 표면에 존재하는 분진을 날려버리고,
    상기 워크의 반송 방향 상류측에 배치된 집진 유닛를 이용해서, 상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 배치된 개구부에서 상기 날려버려진 분진을 흡인해서 집진하는, 유기 EL 디스플레이의 제조 방법.
    
33. 제31항에 있어서,
    상기 박리층에 상기 레이저 광을 조사하면서 상기 워크를 반송할 때, 상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부를 가지고, 상기 개구부의 주위에 측벽이 배치되며, 상기 레이저 광이 통과하는 광로 공간과, 해당 광로 공간의 외측에 배치된 배기 공간을 구비하는 집진 유닛를 이용하여, 상기 측벽에 형성된 급기홀에서 상기 광로 공간으로 기체를 공급하고, 해당 기체를 상기 측벽을 따라서 상기 워크 측으로 흐르게 하고, 상기 측벽의 하단과 상기 워크 사이를 통과시켜서 상기 배기 공간으로 흐르게 해서 상기 워크 표면에 존재하는 분진을 집진하는, 유기 EL 디스플레이의 제조 방법.
    
34. (A)기판 상에 박리층을 형성하는 공정과,
    (B)상기 박리층 상에 구동 소자 및 유기 EL 소자를 형성하는 공정과,
    (C)상기 기판과 상기 박리층을 분리하는 공정과,
    (D)상기 박리층에 필름을 적층하는 공정을, 포함하는 유기 EL 디스플레이의 제조 방법으로서,
    (C)상기 기판과 상기 박리층을 분리하는 공정은, 상기 기판과 상기 박리층을 포함하는 워크에 레이저 광을 조사해서 상기 박리층을 상기 기판으로부터 박리하는 공정이며,
    상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부를 가지며, 상기 개구부의 주위에 측벽이 배치되고, 상기 레이저 광이 통과하는 광로 공간과, 해당 광로 공간의 외측에 배치된 배기 공간을 구비하는 집진 유닛과,
    챔버 벽에 의해 둘러싸인 내부에 공간을 가지며, 상기 워크 및 상기 집진 유닛이 상기 내부에 배치된 챔버를 이용하여,
    상기 개구부를, 상기 워크의 표면과 평행이며 상기 워크의 반송 방향과 수직 인 제1의 방향으로 연장하도록 배치하고,
    상기 챔버 벽은, 상기 워크의 반송 방향에 직교하는 평판상의 한쪽 벽과, 상기 한쪽 벽에 대향하여 상기 반송 방향에 직교하는 평판상의 다른 벽을 포함하고,
    상기 챔버는,
    상기 한쪽 벽에 설치되고, 상기 챔버의 외부에서 상기 내부에 급기되는 급기 기체를, 상기 내부에 급기하는 급기 팬과,
    상기 한쪽 벽에 설치되고, 상기 제1의 방향에서 상기 급기팬을 사이에 끼우도록 설치된 복수의 필터와,
    상기 다른 쪽 벽에 설치되고, 상기 내부에서 상기 외부로 상기 급기 기체를 배기하는 배기구를 가지며,
    상기 박리층에 상기 레이저 광을 조사하면서 상기 워크를 반송할 때, 상기 측벽에 형성된 급기홀에서 상기 광로 공간으로 기체를 공급하고, 해당 기체를 상기 측벽을 따라서 상기 워크 측으로 흐르게 하고, 상기 워크 상에 기체를 내뿜고, 상기 내뿜어진 기체를 흡인해서 상기 측벽의 하단과 상기 워크 사이를 통과시켜서 상기 배기 공간으로 흐르게 해서 상기 워크 표면에 존재하는 분진을 집진하는 유기 EL 디스플레이의 제조 방법.
    
35. (A)기판 상에 박리층을 형성하는 공정과,
    (B)상기 박리층 상에 구동 소자 및 유기 EL 소자를 형성하는 공정과,
    (C)상기 기판과 상기 박리층을 분리하는 공정과,
    (D)상기 박리층에 필름을 적층하는 공정을, 포함하는 유기 EL 디스플레이의 제조 방법으로서,
    (C)상기 기판과 상기 박리층을 분리하는 공정은, 상기 기판과 상기 박리층을 포함하는 워크에 레이저 광을 조사해서 상기 박리층을 상기 기판으로부터 박리하는 공정이며,
    상기 레이저 광의 조사 위치와 대응하는 위치에 개구부를 가지며, 상기 개구부의 주위에 측벽이 배치되고, 상기 레이저 광이 통과하는 광로 공간과, 해당 광로 공간의 외측에 배치된 배기 공간을 구비하는, 집진 유닛과,
    챔버 벽으로 둘러싸인 내부에 공간을 가지며, 상기 워크 및 상기 집진 유닛이 상기 내부에 배치된 챔버를 이용하여,
    상기 개구부를, 상기 워크의 표면과 평행이며 상기 워크의 반송 방향과 수직 인 제1의 방향으로 연장하도록 배치하고,
    상기 챔버 벽은, 상기 반송 방향 및 상기 제1의 방향에 평행한 평판상의 한쪽 벽과, 상기 한쪽 벽에 대향하여 상기 반송 방향 및 상기 제1의 방향에 평행한 평판상의 다른 쪽 벽을 포함하고,
    상기 챔버는,
    상기 한쪽 벽을 상방에서 투시하듯이 보았을 때, 상기 워크의 반송에 의해 상기 워크가 가동하는 가동 영역에 겹치지 않는 상기 한쪽 벽에서의 상기 제1의 방향의 양단측에서의 주변부인 제1 방향 주변부에, 상기 반송 방향을 따라서 나열하도록 설치되고, 상기 챔버의 외부에서 상기 내부에 급기되는 급기 기체를, 상기 내부에 급기하는 복수의 급기 팬과,
    상기 제1 방향 주변부에 있어서, 상기 복수의 급기 팬을 사이에 끼우도록 상기 한쪽 벽의 모서리부에 설치된 복수의 필터와,
    상기 다른 쪽 벽을 상방에서 투시하듯이 보았을 때, 상기 가동 영역에 겹치지 않는 상기 다른 쪽 벽에서의 상기 반송 방향의 양단측의 주변부인 반송 방향 주변부에, 상기 제1의 방향을 따라서 나열하도록 설치되어, 상기 내부에서 상기 외부로 상기 급기 기체를 배기하는 복수의 배기 팬을 가지며,
    상기 박리층에 상기 레이저 광을 조사하면서 상기 워크를 반송할 때, 상기 측벽에 형성된 급기홀에서 상기 광로 공간으로 기체를 공급하고, 해당 기체를 상기 측벽을 따라서 상기 워크 측으로 흐르게 해서, 상기 워크 상에 기체를 내뿜고, 상기 내뿜어진 기체를 흡인해서 상기 측벽의 하단과 상기 워크 사이를 통과시켜서 상기 배기 공간으로 흐르게 해서 상기 워크 표면에 존재하는 분진을 집진하는 유기 EL 디스플레이의 제조 방법.
    
36. 제34항 또는 제35항에 있어서,
    상기 집진 유닛에 상기 기체를 급기하면서 동시에 상기 집진 유닛이 흡인한 상기 기체를 상기 집진 유닛에서 배기하는 집진 유닛용 급배기 팬을 더 구비하고,
    상기 집진 유닛용 급배기 팬을, 상기 챔버의 하방에 배치한, 유기 EL 디스플레이의 제조 방법.
    
37. 제36항에 있어서,
    상기 급기 팬에 의한 상기 급기 기체의 급기량, 그리고 상기 집진 유닛용 급 배기 팬의 급기량 및 배기량을, 상기 워크의 상기 챔버로의 출입 및 레이저 광의 조사를 토대로 해서 제어하는, 유기 EL 디스플레이의 제조 방법.
    
38. 제34항 내지 제37항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광로 공간에 공급하는 상기 기체의 급기량에 대해서 상기 배기 공간에서 배기되는 상기 기체의 배기량의 비율을 3이상으로 하는, 유기 EL 디스플레이의 제조 방법.

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