JPH1128900A - レーザ光を用いた塗装除去方法及びレーザ処理装置 - Google Patents

レーザ光を用いた塗装除去方法及びレーザ処理装置

Info

Publication number
JPH1128900A
JPH1128900A JP10059966A JP5996698A JPH1128900A JP H1128900 A JPH1128900 A JP H1128900A JP 10059966 A JP10059966 A JP 10059966A JP 5996698 A JP5996698 A JP 5996698A JP H1128900 A JPH1128900 A JP H1128900A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
lens
laser beam
laser light
height
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10059966A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Tsunemi
明良 常見
Teruhiko Takusagawa
照彦 田草川
Yukiko Funabiki
裕紀子 船曳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Airlines Co Ltd
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Japan Airlines Co Ltd
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Airlines Co Ltd, Sumitomo Heavy Industries Ltd filed Critical Japan Airlines Co Ltd
Priority to JP10059966A priority Critical patent/JPH1128900A/ja
Priority to US09/072,938 priority patent/US6144010A/en
Priority to DE19821211A priority patent/DE19821211A1/de
Publication of JPH1128900A publication Critical patent/JPH1128900A/ja
Priority to US09/649,291 priority patent/US6384370B1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B23K26/123Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an atmosphere of particular gases
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B08B7/0035Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like
    • B08B7/0042Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by radiant energy, e.g. UV, laser, light beam or the like by laser
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/032Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/034Observing the temperature of the workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/046Automatically focusing the laser beam
    • B23K26/048Automatically focusing the laser beam by controlling the distance between laser head and workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0648Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/0869Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
    • B23K26/0876Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
    • B23K26/0884Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least in three axial directions, e.g. manipulators, robots
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/142Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor for the removal of by-products
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1435Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor involving specially adapted flow control means
    • B23K26/1438Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor involving specially adapted flow control means for directional control
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1464Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1464Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
    • B23K26/147Features outside the nozzle for feeding the fluid stream towards the workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • B23K26/705Beam measuring device

Abstract

(57)【要約】 【課題】 化学薬品を用いることなく、塗装膜の除去が
可能な塗装膜除去方法、及びその塗装膜除去に適したレ
ーザ処理装置を提供する。 【解決手段】 レーザ光を処理対象物の表面に照射し、
かつ該処理対象物の表面におけるレーザ光のエネルギ密
度を変化させることができるエネルギ密度可変光学系を
用いて、表面に塗装膜が形成された処理対象物の該表面
にレーザ光を照射する。該塗装膜の少なくとも上層部分
がアブレーションにより除去される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を用いた
塗装除去方法及びその塗装除去方法に適したレーザ処理
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】航空機等の機体外板の塗装除去には、主
にメチレンクロライドと呼ばれる毒性の強い薬品が用い
られている。従来は、塗装表面にこの薬剤を吹き付け、
塗料を脆弱化させた後、手作業で塗装膜を機体外板表面
からかき落とすことによって除去していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の塗装膜除去
方法は作業効率が低く、除去物の回収及び廃棄処理にも
問題がある。
【0004】本発明の目的は、化学薬品を用いることな
く、塗装膜の除去が可能な塗装膜除去方法、及びその塗
装膜除去に適したレーザ処理装置を提供することであ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の一観点による
と、パルスレーザ光を処理対象物の表面に照射し、かつ
該処理対象物の表面におけるレーザ光のエネルギ密度を
変化させることができるエネルギ密度可変光学系を用い
て、表面に塗装膜が形成された処理対象物の該表面にパ
ルスレーザ光を照射し、該塗装膜の少なくとも上層部分
をアブレーションにより除去する工程を含む塗装除去方
法が提供される。
【0006】照射レーザ光のエネルギ密度が低すぎる
と、アブレーションが生じない。また、エネルギ密度が
高すぎると、塗装膜の下地材料が損傷を受けてしまう。
すなわち、塗装膜をアブレーションにより除去する際に
は、エネルギ密度の好適な範囲が存在する。エネルギ密
度可変光学系を用いることにより、エネルギ密度を好適
な範囲に設定することができる。
【0007】本発明の他の観点によると、レーザ光を集
光もしくは発散し処理対象物の表面に照射するレンズ
と、前記レンズを支持し、外部からの制御信号に基づい
て、前記処理対象物表面から前記レンズまでの高さを調
節するレンズ支持機構と、前記レンズの前記処理対象物
表面からの高さを検出する高さセンサと、前記高さセン
サからの出力信号が入力され、前記処理対象物表面から
前記レンズまでの高さが一定になるように、前記レンズ
支持機構を制御する制御手段と、前記レンズに入射する
レーザ光の光路内に配置され、レーザ光の進行方向を変
化させることにより、前記処理対象物の表面内の第1の
方向にレーザ光の照射位置を移動させる第1の偏向器と
を有するレーザ処理装置が提供される。
【0008】処理対象物表面からレンズまでの高さを変
えることにより、処理対象物表面におけるレーザ光のエ
ネルギ密度を変えることができる。レーザ照射位置を移
動させることにより、広い範囲にレーザ照射を行うこと
ができる。
【0009】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施例によるレ
ーザ処理装置の概略斜視図を示す。処理対象物1の表面
にレーザ照射ヘッド10が接触している。レーザ照射ヘ
ッド10は、処理対象物1側に開口を有する箱型容器1
1と、その内部に収納された光学部品を含んで構成され
ている。箱型容器11の側面に透明窓12が取り付けら
れており、透明窓12を通して内部を目視観察すること
ができる。なお、箱型容器11自体を透明な材料で形成
してもよい。
【0010】レーザ照射ヘッド10は、マニピュレータ
アーム50の先端に取り付けられている。マニピュレー
タアーム50は、マニピュレータ本体51により制御さ
れ、レーザ照射ヘッド10を処理対象物1の表面の所望
の位置に移動させ支持する。
【0011】レーザ光発生装置60から出力したレーザ
ビームが、ビーム整形用光学部品61、ビーム伝送用ア
ーム62を通ってレーザ照射ヘッド10内に導かれる。
【0012】レーザ光発生装置60は、例えば横方向励
起大気圧型CO2 レーザ装置(TEA−CO2 レーザ装
置)である。TEA−CO2 レーザ装置は、波長9〜1
1μmのレーザビームをパルス的に出力する。
【0013】ビーム整形用光学部品61は、レーザ光発
生装置60から出力したレーザビームの断面形状を所望
の形に整形する。例えば、矩形状の貫通孔を有するアパ
ーチャにより構成され、レーザビームの断面形状を矩形
状に整形する。
【0014】ビーム伝送用アーム62は、例えば複数の
関節を有する屈伸可能なアームであり、レーザ照射ヘッ
ド10の移動に追随し、ビーム整形用光学部品61を通
過したレーザビームをレーザ照射ヘッド10まで導く。
【0015】レーザ照射ヘッド10に、ガス導入管13
及びガス排気管15が取り付けられている。ガス導入管
13はガス供給装置14に接続されており、ガス供給装
置14からガス導入管13を通してレーザ照射ヘッド1
0内にガスが導入される。ガス排気管15はガス排気装
置16に接続されており、ガス排気装置16は、ガス排
気管15を通してレーザ照射ヘッド10内のガスを排気
する。
【0016】図2は、図1のレーザ照射ヘッド10の概
略断面図を示す。処理対象物1側の面が開口した箱型容
器11が、その開口の周囲を処理対象物1の表面にほぼ
接するように保持されている。箱型容器11の開口部と
対向する面に形成された貫通孔17にレーザ伝送用アー
ム62が連結されている。レーザ伝送用アーム62内を
伝送されたレーザビーム63が、貫通孔17を通って箱
型容器11内に導入される。
【0017】箱型容器11内に導入されたレーザビーム
は、ハーフミラー20及びホモジナイザ31を透過し偏
向器21及び22により反射され、集光レンズ23に入
射する。集光レンズ23により集光されたレーザビーム
は、処理対象物1の表面に照射される。
【0018】ハーフミラー20は、レーザビームの一部
を反射し、エネルギセンサ30に入射させる。エネルギ
センサ30は、レーザビームのエネルギを測定する。
【0019】ホモジナイザ31は、レーザビームの断面
内の強度分布をほぼ一様にする。偏向器21及び22
は、それぞれレーザビームの照射位置を、処理対象物1
の表面内の相互に直交するY軸方向及びX軸方向に移動
させる。偏向器21及び22は、例えばガルバノミラー
により構成される。偏向器21及び22をガルバノミラ
ーとした場合、レーザ照射位置の移動速度を一定に保つ
ために、集光レンズ23をアークサインレンズとするこ
とが好ましい。偏向器21及び22によるレーザビーム
の偏向角が時間に比例して変化する場合には、同様の理
由から集光レンズ23をfθレンズとすることが好まし
い。なお、偏向器21及び22として回転ポリゴンミラ
ーを用いてもよい。また、fθレンズを用いた場合で
も、ガルバノミラーの角度変化が時間に対して非線形に
なるように動作させることにより、レーザ照射位置での
移動速度を一定に保つことが可能となる。
【0020】集光レンズ23は、集光レンズ支持機構2
4により箱型容器11の側面に取り付けられている。集
光レンズ支持機構24は、処理対象物1の表面から集光
レンズ23までの高さを調節することができる。集光レ
ンズ23に、高さセンサ25が取り付けられている。高
さセンサ25は、処理対象物1の表面から集光レンズ2
3までの高さを検出し、高さ制御装置26に検出信号を
送出する。
【0021】高さ制御装置26には、予め高さ目標値が
記憶されている。高さ制御装置26は、高さセンサ25
から受信した検出信号に基づき、集光レンズ23の高さ
が目標値に近づくように集光レンズ支持機構24を制御
し、集光レンズ23の高さを調節する。
【0022】箱型容器11内に、可視光レーザ装置32
が設置されている。可視光レーザ装置32は、例えばH
eNeレーザ装置等である。可視光レーザ装置32から
出力された可視レーザビームは、ハーフミラー20によ
り反射され、貫通孔17を通って入射したレーザビーム
と同一の光軸に沿って伝搬する。従って、可視レーザビ
ームは、処理対象物1の表面のうちTEA−CO2 レー
ザ光とほぼ同一の領域を照射する。このため、図1に示
す透明窓12を通してレーザビームの照射位置を目視観
察することができる。
【0023】箱型容器11内に、ノズル40と41が配
置されている。ノズル40と41は、箱型容器11の側
壁に取り付けられたガス導入管13に連通している。ノ
ズル40は、処理対象物1の表面のレーザビーム照射位
置及びその近傍にガスを噴出する。ノズル41は、集光
レンズ23の処理対象物1側の面に向かってガスを噴出
する。このガス流により、処理対象物1の表面からの飛
散物が集光レンズ23の表面に付着することを抑制する
ことができる。
【0024】箱型容器11内に配置されたガス吸引口4
2が、箱型容器11の側壁に取り付けられたガス排気管
15に連通している。ガス吸引口42の先端は、処理対
象物1の表面のレーザ照射位置の方を向く。ガス吸引口
42は、箱型容器11内のガスを排気するとともに、レ
ーザ照射部分から飛散した除去物を排出することができ
る。
【0025】ガス吸引口42の先端近傍に、色センサ4
3及び温度センサ44が取り付けられている。色センサ
43は、例えばCCDを含んで構成され、処理対象物1
のレーザビーム照射位置及びその近傍の色を検出する。
温度センサ44は、例えば放射温度計であり、処理対象
物1の表面のレーザビーム照射位置及びその近傍の温度
を検出する。例えば、航空機の機体表面の塗装膜除去時
には、機体表面の温度を80℃以下に保った状態でレー
ザ照射を行う必要がある。温度センサ44で常時温度を
観測することにより、機体表面の温度が80℃以上にな
る前にレーザ照射を停止する等の処置をとることが可能
になる。
【0026】次に、図1及び図2に示すレーザ処理装置
の動作を、処理対象物表面の塗装膜を除去する場合を例
にとって説明する。
【0027】図2に示すレーザ照射ヘッド10に入射し
たレーザビームが、処理対象物1の表面に照射され、塗
装膜がアブレーションにより除去される。処理対処物1
の表面におけるレーザビームのエネルギ密度(フルエン
ス)が低すぎる場合には、塗装膜はアブレーションされ
ない。また、エネルギ密度が高すぎる場合には、塗装膜
の下地材料が損傷を受けてしまう。従って、レーザビー
ムのエネルギ密度を、下地材料が損傷を受けず、かつ塗
装膜がアブレーションされるような範囲に設定すること
が好ましい。なお、レーザ光発生装置60から出力され
たレーザビームのエネルギ密度が十分高い場合には、集
光レンズ23の代わりに発散レンズを用いる場合もあり
得る。
【0028】集光レンズ支持機構24により、処理対象
物1の表面から集光レンズ23までの高さを調節して照
射領域の面積を変えることにより、エネルギ密度を調節
することができる。エネルギ密度の好適な範囲は、下地
材料及び塗装膜の種類によって異なる。従って、予め異
なるエネルギ密度で予備実験を行い、好適なエネルギ密
度の範囲、すなわち好適な集光レンズ23の高さを決定
しておくことが好ましい。
【0029】高さ制御装置26に、集光レンズ23の好
適な高さを記憶させておく。高さ制御装置26が、高さ
センサ25により検出された高さと、予め記憶されてい
る好適な高さとを比較し、好適な高さに近づくように集
光レンズ支持機構24を制御する。この高さ制御によ
り、常時好適なエネルギ密度でアブレーションを行うこ
とができる。
【0030】偏向器22により、レーザビームの照射位
置をX軸方向に掃引し、その後偏向器21によりY軸方
向に照射位置をずらす。再び偏向器22により照射位置
をX軸方向に掃引し、X軸方向に関して前回の掃引と同
じ範囲にレーザ光を照射する。この掃引を繰り返すこと
により、処理対象物1の表面のある領域の塗装膜をアブ
レーションにより除去することができる。
【0031】図1に示すマニピュレータアーム50を駆
動してレーザ照射ヘッド10の位置を移動させ、上記X
軸及びY軸方向の掃引を繰り返し実行する。このように
して、処理対象物1の表面の広い領域の塗装膜をアブレ
ーションにより除去することができる。
【0032】レーザ照射ヘッド10を移動させると、処
理対象物1の表面の曲率の変化、凹凸等により、その表
面から集光レンズ23までの高さが変動する場合があ
る。この場合、高さセンサ25と高さ制御装置26によ
り、集光レンズ23の高さを一定に保つことができる。
このため、処理対象物1の表面におけるレーザ光のエネ
ルギ密度を一定に維持することができ、安定したアブレ
ーションを行うことが可能になる。
【0033】なお、偏向器21による掃引方向と偏向器
22による掃引方向とは、必ずしも直交させる必要はな
い。両者の掃引方向が相互に交わる関係にあればよい。
【0034】また、上述の掃引方法では、偏向器21と
22を用いて2次元的に掃引する場合を説明したが、い
ずれか一方の偏向器のみを用いて1次元的に掃引を行っ
てもよい。この場合、図1に示すマニピュレータアーム
50により、掃引方向に交わる方向にレーザ照射ヘッド
10を移動させる。このようにして、処理対処物1の表
面の広い領域にレーザビームを照射することができる。
【0035】ノズル40から処理対象物1の表面にガス
を吹き付けることにより、表面の温度上昇を抑制するこ
とができる。なお、吹き付けガスとして、処理対象物1
を酸化しないガス、例えばArガス、Heガス等の不活
性ガス、もしくはN2 ガス等を用いることが好ましい。
なお、耐酸化性の高い材料を処理する場合には、空気を
吹き付けてもよい。また、処理対象物1の表面から飛散
した除去物は、ガス吸引口42から排出される。
【0036】このように、レーザアブレーションを利用
することにより、有毒な化学薬品を使用することなく塗
装膜の除去を行うことができる。
【0037】次に、図3を参照して塗装膜除去の実験結
果について説明する。実験には、アルミ板の表面上に航
空機の機体の塗装に使用される厚さ約80μmの塗装膜
を形成したサンプルを用いた。レーザ光発生装置60
は、繰り返し周波数100Hzでパルスレーザ光を出力
するTEA−CO2 レーザ装置である。処理対象物1の
表面におけるレーザビームのエネルギ密度は約5J/c
2 、照射領域の形状は、約14mm×1mmの長方形
である。このとき、アブレーション除去される領域は約
5mm×0.5mmの長方形状である。ショット間の移
動距離は約0.5mmである。また、レーザビーム照射
位置のX軸方向の掃引速度を25mm/sとした。
【0038】図3は、レーザビーム照射履歴を示す。ま
ず、矢印S1で示すように偏向器22によりX軸方向に
約5cm掃引する。次に、偏向器21によりY軸方向に
約0.5cmずらし、矢印S2で示すように再び偏向器
22によりX軸方向に関して同じ範囲を掃引する。さら
に、Y軸方向に約0.5cmずらし、矢印S3で示すよ
うにX軸方向に関して同じ範囲を掃引する。矢印S1〜
S3の掃引により、約5cm×1.5cmの長方形の領
域にレーザビームを照射することができる。矢印S1〜
S3の掃引を3回繰り返し実行する。
【0039】その結果、アルミ板表面の塗装膜はほぼ完
全に除去され、母材であるアルミ板の表面が露出した。
アルミ板の表面の損傷は見られなかった。
【0040】上記実験では、処理対象物表面の同一領域
に3回のレーザ照射を行った。レーザ照射回数を減らす
ことにより、塗装膜の下層部分を残し、上層部分のみを
除去することができる。航空機の機体表面の塗装膜は、
通常、接着及び防錆のためのプライマ層と、その上に塗
布された化粧のためのトップコート層からなる。レーザ
照射回数を調節することにより、例えばトップコート層
のみを除去することが可能になる。
【0041】上記実施例では、レーザ光発生装置として
パルス発振型のTEA−CO2 レーザ装置を用いた場合
を説明したが、その他のレーザ装置を用いてもよい。例
えば、Nd:YAGレーザ装置、Nd:YLFレーザ装
置、エキシマレーザ装置、銅蒸気レーザ装置、COレー
ザ装置、半導体レーザ装置等を用いてもよい。また、パ
ルス発振型に限る必要はなく、連続発振型のレーザ装置
を用いてもよい。また、これらレーザ装置から出力され
たレーザ光の高調波、例えば第2〜第5高調波、または
ラマン変換光等を用いてもよい。
【0042】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種
々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。
【0043】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
レーザアブレーションを利用することにより、化学薬品
を使用することなく、処理対象物の表面に形成された塗
装膜を除去することができる。また、処理対象物表面か
ら集光レンズまでの高さを調節することにより、レーザ
ビームのエネルギ密度を好適な範囲に設定することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例によるレーザ処理装置の概略を
示す斜視図である。
【図2】図1に示すレーザ照射ヘッドの概略を示す断面
図である。
【図3】レーザビームの掃引の様子を説明するための図
である。
【符号の説明】
1 処理対象物 10 レーザ照射ヘッド 11 箱型容器 12 透明窓 13 ガス導入管 14 ガス供給装置 15 ガス排気管 16 ガス排気装置 17 貫通孔 20 ハーフミラー 21、22 偏向器 23 集光レンズ 24 集光レンズ支持機構 25 高さセンサ 26 高さ制御装置 30 エネルギセンサ 31 ホモジナイザ 32 可視光レーザ装置 40、41 ノズル 42 ガス吸引口 43 色センサ 44 温度センサ 50 マニピュレータアーム 51 マニピュレータ本体 60 レーザ光発生装置 61 ビーム整形用光学部品 62 レーザ伝送用アーム 63 レーザビーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 船曳 裕紀子 東京都大田区羽田空港1−6−3機装ビル 日本航空株式会社技術研究所内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光を処理対象物の表面に照射し、
    かつ該処理対象物の表面におけるレーザ光のエネルギ密
    度を変化させることができるエネルギ密度可変光学系を
    用いて、表面に塗装膜が形成された処理対象物の該表面
    にレーザ光を照射し、該塗装膜の少なくとも上層部分を
    アブレーションにより除去する工程を含む塗装除去方
    法。
  2. 【請求項2】 レーザ光を集光もしくは発散し処理対象
    物の表面に照射するレンズと、 前記レンズを支持し、外部からの制御信号に基づいて、
    前記処理対象物表面から前記レンズまでの高さを調節す
    るレンズ支持機構と、 前記レンズの前記処理対象物表面からの高さを検出する
    高さセンサと、 前記高さセンサからの出力信号が入力され、前記処理対
    象物表面から前記レンズまでの高さが一定になるよう
    に、前記レンズ支持機構を制御する制御手段と、 前記レンズに入射するレーザ光の光路内に配置され、レ
    ーザ光の進行方向を変化させることにより、前記処理対
    象物の表面内の第1の方向にレーザ光の照射位置を移動
    させる第1の偏向器とを有するレーザ処理装置。
  3. 【請求項3】 さらに、前記レンズに入射するレーザ光
    の光路内に配置され、レーザ光の進行方向を変化させる
    ことにより、前記処理対象物の表面内の前記第1の方向
    と交わる第2の方向にレーザ光の照射位置を移動させる
    第2の偏向器を有する請求項2に記載のレーザ処理装
    置。
  4. 【請求項4】 さらに、前記レンズに入射するレーザ光
    の光路内に配置され、該レーザ光の光軸に垂直な断面形
    状をある形状に制限するアパーチャを有する請求項2ま
    たは3に記載のレーザ処理装置。
  5. 【請求項5】 さらに、前記レンズに入射するレーザ光
    の光路内に配置され、該レーザ光の光軸に垂直な断面内
    の強度分布を一様に近づけるホモジナイザを有する請求
    項2〜4のいずれかに記載のレーザ処理装置。
JP10059966A 1997-05-12 1998-03-11 レーザ光を用いた塗装除去方法及びレーザ処理装置 Pending JPH1128900A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10059966A JPH1128900A (ja) 1997-05-12 1998-03-11 レーザ光を用いた塗装除去方法及びレーザ処理装置
US09/072,938 US6144010A (en) 1997-05-12 1998-05-05 Method of removing coating film with laser beam and laser processing system
DE19821211A DE19821211A1 (de) 1997-05-12 1998-05-12 Verfahren zur Entfernung eines Beschichtungsfilms mit Laserstrahl- und Laserverarbeitungssystem
US09/649,291 US6384370B1 (en) 1997-05-12 2000-08-28 Method of removing a coating film with a laser beam

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9-121234 1997-05-12
JP12123497 1997-05-12
JP10059966A JPH1128900A (ja) 1997-05-12 1998-03-11 レーザ光を用いた塗装除去方法及びレーザ処理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1128900A true JPH1128900A (ja) 1999-02-02

Family

ID=26401025

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10059966A Pending JPH1128900A (ja) 1997-05-12 1998-03-11 レーザ光を用いた塗装除去方法及びレーザ処理装置

Country Status (3)

Country Link
US (2) US6144010A (ja)
JP (1) JPH1128900A (ja)
DE (1) DE19821211A1 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6766764B1 (en) * 1999-01-27 2004-07-27 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Matrix assisted pulsed laser evaporation direct write
JP2009195801A (ja) * 2008-02-20 2009-09-03 Fukuda Corporation:Kk 金属製ワークの加工方法
JP2014014933A (ja) * 2012-07-06 2014-01-30 Shutoko Maintenance East Tokyo 塗装剥離方法
TWI657986B (zh) * 2013-12-20 2019-05-01 山特森光伏股份有限公司 晶圓裝載皿及用於處理半導體晶圓之設備
WO2021075534A1 (ja) * 2019-10-18 2021-04-22 大松精機株式会社 レーザー処理装置
JP2022107680A (ja) * 2017-10-25 2022-07-22 株式会社ニコン 加工装置、及び、移動体の製造方法

Families Citing this family (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT408632B (de) * 1998-01-29 2002-01-25 Trodat Gmbh Bearbeitungskopf für eine lasergravier- bzw. -schneidvorrichtung
DE19900910A1 (de) * 1999-01-13 2000-07-27 Clean Lasersysteme Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Behandeln von Oberflächen mittels Laserstrahlung
US6693255B2 (en) 2001-03-22 2004-02-17 R. F. Envirotech, Inc. Laser ablation cleaning
US20060138104A1 (en) * 2001-05-25 2006-06-29 Devore Paul W Fuel cell and liquid container sealant removal system
DE10204993B4 (de) * 2002-02-05 2005-06-09 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Vorrichtung zum Bearbeiten von dreidimensional ausgedehnten Werkstückoberflächen mittels Laser
US20030155328A1 (en) * 2002-02-15 2003-08-21 Huth Mark C. Laser micromachining and methods and systems of same
ES2249527T3 (es) * 2002-10-02 2006-04-01 Leister Process Technologies Procedimiento y dispositivo para unir piezas de plastico de forma tridimensional por medio de un rayo laser.
US6969822B2 (en) * 2003-05-13 2005-11-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Laser micromachining systems
US7754999B2 (en) 2003-05-13 2010-07-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Laser micromachining and methods of same
US7633033B2 (en) 2004-01-09 2009-12-15 General Lasertronics Corporation Color sensing for laser decoating
JP3708104B2 (ja) * 2004-01-13 2005-10-19 浜松ホトニクス株式会社 レーザ加工方法及びレーザ加工装置
EP1598121A3 (de) * 2004-05-18 2007-02-14 Airbus Deutschland GmbH Lasergestütztes Entschichtungsverfahren
FR2887161B1 (fr) * 2005-06-20 2007-09-07 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif d'ablation laser d'une couche superficielle d'une paroi, telle q'un revetement de peinture dans une installation nucleaire
US20070193985A1 (en) * 2006-02-20 2007-08-23 Howard Patrick C Method for removing a coating from a substrate using a defocused laser beam
JP4840110B2 (ja) * 2006-03-09 2011-12-21 日産自動車株式会社 レーザ溶接装置およびレーザ溶接方法
WO2008118365A1 (en) 2007-03-22 2008-10-02 General Lasertronics Corporation Methods for stripping and modifying surfaces with laser-induced ablation
US7947919B2 (en) 2008-03-04 2011-05-24 Universal Laser Systems, Inc. Laser-based material processing exhaust systems and methods for using such systems
EP2283961A4 (en) * 2008-04-14 2017-02-01 Kabushiki Kaisha Toshiba Laser welding device and laser welding method
DE102008027524B3 (de) * 2008-06-04 2009-09-17 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zum schneidenden Bearbeiten von Werkstücken mit einem Laserstrahl
US20100000977A1 (en) * 2008-07-07 2010-01-07 Ashok Sudhakar Method for removal of content-based stripe and the like on a substrate and equipment thereof
DE102008037169A1 (de) 2008-08-06 2010-02-11 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Vorrichtung zum einseitigen Bearbeiten von Werkstücken mittels Laserstrahlung
GB0816308D0 (en) 2008-09-05 2008-10-15 Mtt Technologies Ltd Optical module
US8706288B2 (en) * 2009-05-21 2014-04-22 Electro Scientific Industries, Inc. Apparatus and method for non-contact sensing of transparent articles
DE102010011508B4 (de) * 2010-03-15 2015-12-10 Ewag Ag Verfahren zur Herstellung zumindest einer Spannut und zumindest einer Schneidkante und Laserbearbeitungsvorrichtung
US10112257B1 (en) * 2010-07-09 2018-10-30 General Lasertronics Corporation Coating ablating apparatus with coating removal detection
JP5898699B2 (ja) * 2011-01-13 2016-04-06 タマラック サイエンティフィック カンパニー インコーポレイテッド 導電性シード層のレーザ除去
JP5912264B2 (ja) * 2011-02-28 2016-04-27 日本発條株式会社 レーザー加工方法及び装置
US10137651B2 (en) * 2011-08-11 2018-11-27 The Boeing Company Heating system for composite rework of aircraft
US10160163B2 (en) 2011-08-11 2018-12-25 The Boeing Company Heating system for composite rework of aircraft
RU2520944C2 (ru) * 2011-09-13 2014-06-27 Юрий Александрович Чивель Способ оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления
CN104114316B (zh) * 2012-02-14 2015-11-25 村田机械株式会社 激光加工机
US9895771B2 (en) 2012-02-28 2018-02-20 General Lasertronics Corporation Laser ablation for the environmentally beneficial removal of surface coatings
JP5574354B2 (ja) * 2012-03-09 2014-08-20 株式会社トヨコー 塗膜除去方法及びレーザー塗膜除去装置
DE102013105878A1 (de) * 2013-06-06 2014-12-11 Accuride International Gmbh Oberflächenbeschichtete Teleskopschiene
US10086597B2 (en) 2014-01-21 2018-10-02 General Lasertronics Corporation Laser film debonding method
JP5835400B2 (ja) * 2014-05-09 2015-12-24 横浜ゴム株式会社 モールドの洗浄システム
US11358224B2 (en) 2015-11-16 2022-06-14 Renishaw Plc Module for additive manufacturing apparatus and method
CN107584209A (zh) * 2016-07-08 2018-01-16 京东方科技集团股份有限公司 激光切割装置
JP6999264B2 (ja) * 2016-08-04 2022-01-18 株式会社日本製鋼所 レーザ剥離装置、レーザ剥離方法、及び有機elディスプレイの製造方法
CN106363299A (zh) * 2016-11-11 2017-02-01 西安必盛激光科技有限公司 一种超高功率的激光退镀设备及其退镀方法
DE102017121526A1 (de) * 2017-09-15 2019-03-21 Rollomatic S.A. Vorrichtung zur Ausrichtung und Positionierung eines Werkstücks relativ zu einem Laserstrahl einer Laserbearbeitungsmaschine
US10898932B2 (en) * 2018-02-12 2021-01-26 Suss Micro Tec Photomask Equipment Gmbh & Co Kg Method and apparatus for cleaning a substrate and computer program product
CN108435708A (zh) * 2018-06-14 2018-08-24 嘉善铂汉塑胶五金有限公司 一种镭射高效脱漆系统
JP6852031B2 (ja) * 2018-09-26 2021-03-31 株式会社東芝 溶接装置及びノズル装置
DE102019103659B4 (de) * 2019-02-13 2023-11-30 Bystronic Laser Ag Gasführung, Laserschneidkopf und Laserschneidmaschine
US11173526B2 (en) * 2019-11-27 2021-11-16 Lockheed Martin Corporation Automated structural laser cleaning system
US20210362270A1 (en) * 2020-05-20 2021-11-25 G.C. Laser Systems, Inc. Laser Ablation and Laser Processing Fume and Contaminant Capture System

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0091947A1 (en) * 1981-10-22 1983-10-26 First Of Chelsea Corporation Laser removal of materials from surfaces
JPH04272122A (ja) * 1991-02-28 1992-09-28 Nissan Motor Co Ltd レーザ加工装置
US5662762A (en) * 1995-07-07 1997-09-02 Clover Industries, Inc. Laser-based system and method for stripping coatings from substrates
JP2822953B2 (ja) * 1995-09-14 1998-11-11 日本電気株式会社 超伝導回路の製造方法
JPH1027971A (ja) * 1996-07-10 1998-01-27 Nec Corp 有機薄膜多層配線基板の切断方法
US5986234A (en) * 1997-03-28 1999-11-16 The Regents Of The University Of California High removal rate laser-based coating removal system

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6766764B1 (en) * 1999-01-27 2004-07-27 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Matrix assisted pulsed laser evaporation direct write
JP2009195801A (ja) * 2008-02-20 2009-09-03 Fukuda Corporation:Kk 金属製ワークの加工方法
JP2014014933A (ja) * 2012-07-06 2014-01-30 Shutoko Maintenance East Tokyo 塗装剥離方法
TWI657986B (zh) * 2013-12-20 2019-05-01 山特森光伏股份有限公司 晶圓裝載皿及用於處理半導體晶圓之設備
JP2022107680A (ja) * 2017-10-25 2022-07-22 株式会社ニコン 加工装置、及び、移動体の製造方法
WO2021075534A1 (ja) * 2019-10-18 2021-04-22 大松精機株式会社 レーザー処理装置
JPWO2021075534A1 (ja) * 2019-10-18 2021-11-18 大松精機株式会社 レーザー処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
US6384370B1 (en) 2002-05-07
US6144010A (en) 2000-11-07
DE19821211A1 (de) 1998-11-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH1128900A (ja) レーザ光を用いた塗装除去方法及びレーザ処理装置
US9481052B2 (en) Methods for stripping and modifying surfaces with laser-induced ablation
US9023461B2 (en) Apparatus for optically laser marking articles
US8449806B2 (en) Laser processing apparatus
US8604380B2 (en) Method and apparatus for optimally laser marking articles
TWI545690B (zh) 以高脈衝重覆頻率的皮秒雷射脈衝來雷射直接剝蝕
JPH10309516A (ja) レーザ塗装除去方法及びレーザ処理装置
JPH10309899A (ja) レーザ処理装置及び塗装除去方法
US6313434B1 (en) Method for creation of inclined microstructures using a scanned laser image
US5147680A (en) Laser assisted masking process
JPH10305376A (ja) レーザ処理装置と塗装除去方法
JP5983933B2 (ja) 塗膜除去方法及びレーザー照射装置
WO2003028943A1 (en) Method and apparatus for fine liquid spray assisted laser material processing
KR100420251B1 (ko) 성막 장치
JPH10309515A (ja) レーザによる塗装除去方法及びレーザ処理装置
JP2020040115A (ja) レーザー被膜剥離システム
JP2615362B2 (ja) レーザによる表面付着物の除去方法及び装置
JPH10309900A (ja) レーザ塗装除去方法とレーザ処理装置
JPH10309517A (ja) レーザ処理装置及びそれを用いた塗装除去方法
JP3621587B2 (ja) 洗浄装置および洗浄方法
Chkalov et al. Femtosecond laser micromachining of metal thin films
Burghardt et al. Ablation plume effects on high precision excimer laser-based micromachining
KR101782608B1 (ko) 소재 표면 세정 장치 및 세정 방법
JP2002248589A (ja) レーザ加工方法
JP2003285175A (ja) レーザ加工方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050223

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080624

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20081021