RU2520944C2 - Способ оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления - Google Patents

Способ оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления Download PDF

Info

Publication number
RU2520944C2
RU2520944C2 RU2011137685/28A RU2011137685A RU2520944C2 RU 2520944 C2 RU2520944 C2 RU 2520944C2 RU 2011137685/28 A RU2011137685/28 A RU 2011137685/28A RU 2011137685 A RU2011137685 A RU 2011137685A RU 2520944 C2 RU2520944 C2 RU 2520944C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
spectral
laser
lens
radiation
video camera
Prior art date
Application number
RU2011137685/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2011137685A (ru
Inventor
Юрий Александрович Чивель
Original Assignee
Юрий Александрович Чивель
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Юрий Александрович Чивель filed Critical Юрий Александрович Чивель
Priority to RU2011137685/28A priority Critical patent/RU2520944C2/ru
Priority to PCT/IB2012/001793 priority patent/WO2013038263A2/ru
Priority to EP12831885.4A priority patent/EP2905104A4/en
Publication of RU2011137685A publication Critical patent/RU2011137685A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2520944C2 publication Critical patent/RU2520944C2/ru

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/034—Observing the temperature of the workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/032—Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/0014—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiation from gases, flames
    • G01J5/0018—Flames, plasma or welding
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/025—Interfacing a pyrometer to an external device or network; User interface
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/026—Control of working procedures of a pyrometer, other than calibration; Bandwidth calculation; Gain control
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/08—Optical arrangements
    • G01J5/0806—Focusing or collimating elements, e.g. lenses or concave mirrors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/08—Optical arrangements
    • G01J5/0808—Convex mirrors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/08—Optical arrangements
    • G01J5/0818—Waveguides
    • G01J5/0821—Optical fibres
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/08—Optical arrangements
    • G01J5/084—Adjustable or slidable
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/08—Optical arrangements
    • G01J5/0846—Optical arrangements having multiple detectors for performing different types of detection, e.g. using radiometry and reflectometry channels
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/08—Optical arrangements
    • G01J5/0859—Sighting arrangements, e.g. cameras
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/08—Optical arrangements
    • G01J5/0871—Beam switching arrangements; Photodetection involving different fields of view for a single detector
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02—Constructional details
    • G01J5/08—Optical arrangements
    • G01J5/0896—Optical arrangements using a light source, e.g. for illuminating a surface
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/60—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/60—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature
    • G01J5/602—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using determination of colour temperature using selective, monochromatic or bandpass filtering

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при измерении температуры поверхности в области лазерного воздействия. Спектральные линии регистрации теплового излучения поверхности пирометром и спектральные полосы регистрации теплового излучения поверхности видеокамерой и спектральные линии излучения источников подсветки располагаются в спектральной полосе пропускания гальвосканера по обе стороны спектральной линии лазерного излучения в ее непосредственной близости. Устройство содержит гальвосканер с линзой, оптический пирометр и видеокамеру с объективом, а также поворотное зеркало с эллиптической областью в центре с покрытием, имеющим 100% отражение на длине волны лазера, или эллиптическое отверстие, а периферическая область зеркала обладает или высоким пропусканием в области спектра вне полосы излучения лазера или широкополосным отражающим покрытием. Изобретение обеспечивает полный мониторинг поверхности в области лазерного воздействия с минимальной погрешностью при использовании серийной оптики. 3 н. и 1 з.п. ф-лы, 4 ил.

Description

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при мониторинге поверхности в области лазерного воздействия.
Известен способ оптического мониторинга поверхности в области лазерной обработки путем измерения температуры [1], состоящий в регистрации теплового излучения поверхности в 2-х спектральных интервалах.
Недостатком данного способа является то, что его невозможно применить в системе с гальвосканером с F-teta линзой и ограниченный уровень информации.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому изобретению является реализованный в устройстве [2] способ оптического мониторинга поверхности в области лазерной обработки, состоящий в регистрации теплового излучения поверхности в двухспектральных интервалах.
Недостатком данного способа является то, что регистрация теплового излучения осуществляется в спектральных интервалах значительно удаленных от полосы излучения лазера, что приводит при сканировании поверхности к значительному смещению изображения поверхности в свете этих длин волн по отнощению к изображению в свете длины волны лазера вследствие аберраций промышленной F-teta линзы гальвосканера и, как следствие, к искажению результатов измерения и необходимости разработки специальной F-teta линзы, что существенно усложняет и удорожает лазерную систему.
Задачей заявляемого изобретения является создание способа оптического мониторинга поверхности, позволяющего получить полный объем информации о состоянии поверхности в области лазерного воздействия путем измерения максимальной температуры поверхности в области воздействия лазерного излучения, распределения температуры в области воздействия, визуализации области воздействия с измерением ванны расплава и других структур при сканировании поверхности с помощью гальваносканера с серийно выпускаемой F-teta линзой и устройства для его осуществления.
В заявляемом способе спектральные линии регистрации теплового излучения поверхности с помощью многоканального пирометра и спектральные полосы регистрации теплового излучения поверхности видеокамерой, а также спектральные линии излучения источников подсветки поверхности располагают в полосе отражения зеркал гальвосканера по обе стороны линии лазерного излучения в ее непосредственной близости.
Сущность способа поясняется схемой фиг.1, где представлена зависимость пропускания оптической системы гальваносканера от длины волны излучения.
Длины волн излучения регистрируемого многоканальным пирометром 3 длины волн излучения источников подсветки поверхности 2 и полосы регистрации видеокамер 5; 4 располагаются в полосе максимального пропускания оптической системы гальваносканера и вблизи линии излучения лазера 1. Это обеспечивает минимальные искажения и высокую точность результатов измерений ввиду малости аберраций F-teta линзы в этой области длин волн.
Известно устройство [1], содержащее сканер и двухканальный оптический пирометр с объективом.
Данное устройство не обеспечивает точности измерения температуры в малых пятнах воздействия лазерного излучения при использовании сканера с F-teta линзой ввиду сильной хроматической аберрации F-teta линз, которые рассчитываются для использования одной длины волны и могут быть скорректированы еще только на одной длине волны.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому устройству является представленное в [2] устройство, содержащее гальвосканер с F-teta линзой и двухканальный оптический пирометр с объективом, видеокамеру.
Недостатком данного устройства является то, что дихроичными поворотными зеркалами возможно выделение области спектра излучения, посылаемого на пирометр, только в области слабого отражения зеркал гальвосканера и удаленной от волны излучения лазера, что приводит к ошибкам измерения вследствие сдвига изображения, формируемого F-teta линзой и объективом пирометра на входной диафрагме пирометра и искажений изображения на видеокамере из-за сильных аберраций F-teta линзы при использовании излучения с длиной волны, удаленной от лазерной длины волны.
Для решения поставленной задачи предлагается устройство для измерения температуры поверхности и ее распределения в области воздействия лазерного излучения, содержащее гальвосканер с F-teta линзой, многоканальный оптический пирометр с объективом и видеокамеру с объективом и источник подсветки поверхности.
С помощью поворотных зеркал с градиентом коэффициента отражения по плоскости зеркала осуществляют ввод лазерного излучения в гальвосканер через область зеркала с 100% или нулевым отражением, а тепловое излучение поверхности и рассеянное поверхностью излучение источников подсветки направляют на детекторы - видеокамеру и пирометр через области зеркала с максимальным пропусканием или отражением вне полосы частот лазерного излучения, но вблизи длины волны лазерного, в ее непосредственной близости.
Устройство дополнительно содержит поворотное градиентное зеркало с 100% коэффициентом отражения или 100% пропусканием его центральной части на длине волны лазера, оптически связанное с лазером, двухканальным оптическим пирометром с объективом и видеокамерой, причем пирометр регистрирует тепловое излучение поверхности в нескольких узких спектральных интервалах вблизи спектральной полосы.
Сущность заявляемого устройства поясняется чертежом (фиг.2), где 1 - лазер, 2 - градиентное поворотное зеркало, 3 - гальваносканер, 4 - объектив 5 - обрабатываемая поверхность, 6 - F-teta линза, 7 - дихроичное зеркало, 8 - диафрагма пирометра, 9 - световод, 10 - пирометр, 11 - фильтр 12 - объектив 13 - видеокамера.
Устройство работает следующим образом. Излучение лазера 1 проходит через центральную область поворотного зеркала и вводится на зеркала гальвосканера 3 и с помощью F-teta объектива 6 фокусируется на поверхности обработки 5. При вращении зеркал сканера фокус лазера перемещается по поверхности 5. Изображение фокальной области строится на диафрагме пирометра 8 с помощью F-teta линзы и объектива пирометра 4. Пирометр 10 регистрирует тепловое излучение нагретой поверхности в узких спектральных участках вблизи линии излучения лазера. С помощью объектива 12 и F-teta линзы изображение поверхности на длине волны, вырезаемой фильтром 11, регистрируется видеокамерой 13. У поворотного зеркала на 100% отражение работает периферия поворотного зеркала, а лазерное излучение пропускается центральной эллиптической областью с 100% коэффициентом пропускания. Так как измерения проводятся на длинах волн вблизи линии генерации лазера, то хроматические аберрации F-teta линзы будут приводить к пренебрежимо малым смещениям изображения на диафрагме пирометра при сканировании поверхности и минимальным искажениям изображения регистрируемого видеокамерой.
Изображение области поверхности с помощью F-teta линзы и объектива строится в плоскости матрицы видеокамеры. С помощью зеркал и фильтра выделяется узкая область спектра теплового излучения поверхности вблизи линии излучения лазера. Полученное изображение области лазерной обработки имеет пренебрежимо малые искажения и дает возможность построить распределение яркостной температуры поверхности в области обработки. Многоканальный пирометр при числе каналов больше двух позволяет определить излучательную способность поверхности, что позволяет получить и распределение термодинамической температуры.
В устройстве на фиг.3 градиентное зеркало имеет 100% отражение центральной области на длине волны лазера при 100% пропускании периферии зеркала в широкой области спектра.
В устройство на фиг.4 дополнительно введен источник подсветки поверхности 16, излучение которого с помощью телескопа поворотного зеркала 18 и градиентного зеркала вводится в гальваносканер и фокусируется в области обработки. Изображение поверхности в свете этого источника строится с помощью F-teta линзы и объективов 4,12 в плоскости матрицы видеокамеры 13. Фильтрами 11 выделяется либо излучение подсветки, либо тепловое излучение поверхности.
Таким образом, заявляемый способ и устройство обеспечивают полный мониторинг поверхности в области лазерного воздействия при ее сканировании с помощью гальвосканера с F-teta линзой с минимальной погрешностью при использовании серийной оптики.
Литература
1. Патент JP №2007190576 A.
2. Чивель Ю.А., Смуров И., Лаже Б. // Патент RU 2371704, 27.10.2009.

Claims (4)

1. Способ оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения при сканировании поверхности с помощью гальвосканера с линзой, состоящий в регистрации температуры поверхности и ее распределении в области воздействия путем регистрации теплового излучения поверхности в нескольких спектральных интервалах и регистрации изображения поверхности в свете излучения источника внешней подсветки поверхности, отличающийся тем, что спектральные линии регистрации теплового излучения поверхности пирометром и спектральные полосы регистрации теплового излучения поверхности видеокамерой и спектральные линии излучения источников подсветки располагаются в спектральной полосе пропускания гальвосканера по обе стороны спектральной линии лазерного излучения в ее непосредственной близости.
2. Устройство для оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения, содержащее гальвосканер с линзой, оптический пирометр с объективом и видеокамеру с объективом, отличающееся тем, что дополнительно содержит поворотное зеркало, имеющее в центре эллиптическую область с покрытием, имеющим 100% отражение на длине волны лазера, а периферическая область зеркала обладает высоким пропусканием в области спектра вне полосы излучения лазера.
3. Устройство для оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения, содержащее гальвосканер с линзой, оптический пирометр с объективом и видеокамеру с объективом, отличающееся тем, что дополнительно содержит поворотное зеркало, имеющее центральное эллиптическое отверстие с 100% пропусканием лазерного излучения и с широкополосным отражающим покрытием на периферии зеркала.
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что дополнительно содержит источник подсветки поверхности в области лазерной обработки, оптически связанный с гальвосканером и видеокамерой, причем длина волны излучения источника располагается вблизи линии излучения лазера и в спектральной полосе отражения зеркал гальвосканера.
RU2011137685/28A 2011-09-13 2011-09-13 Способ оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления RU2520944C2 (ru)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011137685/28A RU2520944C2 (ru) 2011-09-13 2011-09-13 Способ оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления
PCT/IB2012/001793 WO2013038263A2 (ru) 2011-09-13 2012-09-13 Способ оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления
EP12831885.4A EP2905104A4 (en) 2011-09-13 2012-09-13 METHOD FOR OPTICALLY MONITORING THE SURFACE IN THE FIELD OF LASER RADIATION ACTION AND DEVICE FOR IMPLEMENTING SAID METHOD

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011137685/28A RU2520944C2 (ru) 2011-09-13 2011-09-13 Способ оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011137685A RU2011137685A (ru) 2013-03-27
RU2520944C2 true RU2520944C2 (ru) 2014-06-27

Family

ID=47883855

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011137685/28A RU2520944C2 (ru) 2011-09-13 2011-09-13 Способ оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP2905104A4 (ru)
RU (1) RU2520944C2 (ru)
WO (1) WO2013038263A2 (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014101576B4 (de) 2014-02-07 2019-10-02 Dr. Mergenthaler Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken
GB201516681D0 (en) * 2015-09-21 2015-11-04 Renishaw Plc Addictive manufacturing apparatus and an optical module for use in an addictive manufacturing apparatus
CN108127206B (zh) * 2017-12-21 2020-07-07 武汉比天科技有限责任公司 一种激光钎焊工艺移植方法及可移植数据的激光钎焊装置
TWI723877B (zh) * 2020-05-13 2021-04-01 國家中山科學研究院 插件式同軸熱輻射影像量測系統

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4645342A (en) * 1984-10-05 1987-02-24 Kawasaki Steel Corp. Method of laser emission spectroscopic analysis of steel and apparatus therefor
GB2258304A (en) * 1991-07-31 1993-02-03 Korea Advanced Inst Sci & Tech Measurement of thermal inhomogeneities
RU2083973C1 (ru) * 1994-10-11 1997-07-10 Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам РАН Способ неразрушающего контроля поверхности
RU2371704C1 (ru) * 2008-07-25 2009-10-27 Государственное Научное Учреждение "Институт Физики Имени Б.И. Степанова Национальной Академии Наук Беларуси" Устройство для контроля лазерных технологических процессов
RU2010107443A (ru) * 2010-03-02 2011-09-10 Юрий Александрович Чивель (BY) Способ измерения яркостной и цветовой температуры поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5427733A (en) 1993-10-20 1995-06-27 United Technologies Corporation Method for performing temperature-controlled laser sintering
JPH1128900A (ja) * 1997-05-12 1999-02-02 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザ光を用いた塗装除去方法及びレーザ処理装置
KR100346090B1 (ko) * 2000-05-30 2002-11-23 한국원자력연구소 레이저 용접시 용접 풀 크기감시 및 초점제어 방법 및장치
BE1014222A3 (fr) * 2001-06-13 2003-06-03 Ct Rech Metallurgiques Asbl Procede de caracterisation en ligne d'une surface en mouvement et dispositif pour sa mise en oeuvre.
JP2006185933A (ja) * 2004-12-24 2006-07-13 Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd レーザアニール方法およびレーザアニール装置
JP2007190576A (ja) 2006-01-17 2007-08-02 Japan Unix Co Ltd レーザー式はんだ付け装置
US7676061B2 (en) * 2006-05-02 2010-03-09 Telesis Technologies, Inc. Laser safety system
EP2032345B1 (en) 2006-06-20 2010-05-05 Katholieke Universiteit Leuven Procedure and apparatus for in-situ monitoring and feedback control of selective laser powder processing

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4645342A (en) * 1984-10-05 1987-02-24 Kawasaki Steel Corp. Method of laser emission spectroscopic analysis of steel and apparatus therefor
GB2258304A (en) * 1991-07-31 1993-02-03 Korea Advanced Inst Sci & Tech Measurement of thermal inhomogeneities
RU2083973C1 (ru) * 1994-10-11 1997-07-10 Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам РАН Способ неразрушающего контроля поверхности
RU2371704C1 (ru) * 2008-07-25 2009-10-27 Государственное Научное Учреждение "Институт Физики Имени Б.И. Степанова Национальной Академии Наук Беларуси" Устройство для контроля лазерных технологических процессов
RU2010107443A (ru) * 2010-03-02 2011-09-10 Юрий Александрович Чивель (BY) Способ измерения яркостной и цветовой температуры поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления

Also Published As

Publication number Publication date
WO2013038263A3 (ru) 2013-06-13
WO2013038263A2 (ru) 2013-03-21
WO2013038263A4 (ru) 2013-08-01
RU2011137685A (ru) 2013-03-27
EP2905104A2 (en) 2015-08-12
EP2905104A4 (en) 2016-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6971645B2 (ja) 共焦点変位計
RU2520944C2 (ru) Способ оптического мониторинга поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления
CN103673887A (zh) 共聚焦计测装置
JP2024028237A (ja) 分光カメラ、撮像方法、プログラム及び記録媒体
WO2021161986A1 (ja) 膜厚測定装置及び膜厚測定方法
JP2008039750A (ja) 高さ測定装置
TWI781200B (zh) 用於高功率光纖照明源之光譜濾波器
US20190265024A1 (en) Sample shape measuring method and sample shape measuring apparatus
TW202204970A (zh) 用於最佳化對比度以與模糊成像系統一起使用的方法及裝置
JP6257874B1 (ja) 対物光学系及びそれを備えた内視鏡装置
JP2017522605A (ja) ビームスプリッタ装置を備えた顕微鏡
RU2460992C2 (ru) Способ измерения яркостной и цветовой температуры поверхности в области воздействия лазерного излучения и устройство для его осуществления
JP5601442B2 (ja) 赤外線光学系の評価装置
JP2000241128A (ja) 面間隔測定方法および装置
RU2466363C2 (ru) Устройство для измерения температуры поверхности в области воздействия лазерного излучения
TWI770182B (zh) 測量系統及測量方法
JP2020020609A (ja) 倍率色収差測定用のカラーフィルタおよびこれを用いた倍率色収差測定装置
JP2010145161A (ja) 形状測定装置
WO2012077265A1 (ja) 撮像ユニットの製造方法
WO2012173009A1 (ja) 分光画像撮影装置及び分光画像撮影方法
JP6160134B2 (ja) 熱画像観察装置
Mazzetta et al. Automated testing of ultraviolet, visible, and infrared sensors using shared optics
Mazzetta et al. Ultraviolet through infrared imager performance testing
JP2023520406A (ja) 多重波長光学系の焦点補正式光学フィルタ装置
JP2018125769A (ja) 撮像装置、撮像方法、プログラム及び記録媒体

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20140606