JP7224992B2 - 集塵装置及びレーザ加工装置 - Google Patents
集塵装置及びレーザ加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7224992B2 JP7224992B2 JP2019059798A JP2019059798A JP7224992B2 JP 7224992 B2 JP7224992 B2 JP 7224992B2 JP 2019059798 A JP2019059798 A JP 2019059798A JP 2019059798 A JP2019059798 A JP 2019059798A JP 7224992 B2 JP7224992 B2 JP 7224992B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust collection
- projection optical
- outside air
- air introduction
- collection box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
投影光学系の投影光学部品の下部に取り付けられ、被加工物表面と近接して対向し、ライン状レーザ光の走査範囲以上の大きさの開口を有し、集塵室を形成する集塵ボックスと、
集塵ボックスと投影光学部品の境界の近傍の集塵ボックス及び投影光学部品の少なくとも一方に形成された複数の外気導入路と、
集塵ボックスの外気導入路の位置及び開口の間の位置に形成され、負圧源に接続され、集塵室内の気体を排出する排気口と、
を備えた集塵装置である。
また、本発明は、レーザ光源から発振された光をライン状に整形し、装置内に配置されたマスクへ導く照明光学系と、
照明光学系を内包する照明光学装置を移動させ、ライン状の光をマスクに対して走査させる走査機構と、
マスクを透過した光を被加工物に投影する投影光学系と、
投影光学系の投影光学部品の下部に取り付けられ、被加工物表面と近接して対向し、ライン状レーザ光の走査範囲以上の大きさの開口を有し、集塵室を形成する集塵ボックスとを備え、
集塵ボックスは、
集塵ボックスと投影光学系の投影光学部品の境界の近傍の集塵ボックス及び投影光学部品の少なくとも一方に形成された複数の外気導入路と、
集塵ボックスの外気導入路の位置及び開口の間の位置に形成され、負圧源に接続され、集塵室内の気体を排出する排気口と、
を備えるレーザ加工装置である。
12・・・レーザ走査機構、13・・・マスク、14・・・投影レンズ、
15・・・加工ステージ、16・・・集塵装置、20・・・鏡筒ベース部,
21・・・箱状部、22・・・円筒部、23・・・底板、24・・・光学部品、
26・・・レーザ光の走査範囲、31a~31d・・・側壁、
33a~33h・・・外気導入路、34,35・・・隆起部、36・・・狭路部、
37・・・整流部、38・・・排気口
Claims (9)
- ライン状レーザ光を投影光学系によって被加工物表面に投影し、走査機構によって走査させるレーザ加工装置の集塵装置において、
前記投影光学系の投影光学部品の下部に取り付けられ、前記被加工物表面と近接して対向し、前記ライン状レーザ光の走査範囲以上の大きさの開口を有し、集塵室を形成する集塵ボックスと、
前記集塵ボックスと前記投影光学部品の境界の近傍の前記集塵ボックス及び前記投影光学部品の少なくとも一方に形成された複数の外気導入路と、
前記集塵ボックスの前記外気導入路の位置及び前記開口の間の位置に形成され、負圧源に接続され、前記集塵室内の気体を排出する排気口と、
を備えた集塵装置。 - 前記複数の外気導入路が前記集塵ボックスと前記投影光学部品の境界の近傍で前記集塵ボックスにより形成される集塵室の開口を囲むように設けられている請求項1に記載の集塵装置。
- 前記複数の外気導入路の少なくとも一つが気流の速度を増加させるための狭路部を有する請求項1又は2に記載の集塵装置。
- 前記複数の外気導入路の少なくとも一つが導入された気流の方向を制御する整流部を有する請求項1から3のいずれかに記載の集塵装置。
- 前記複数の外気導入路が、前記投影光学部品の前記集塵室内に露出する表面に沿って外気を導入することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の集塵装置。
- 前記集塵ボックスが箱状部と、前記箱状部の下部に取り付けられた円筒部からなる請求項1から5のいずれかに記載の集塵装置。
- 前記円筒部の円筒面の対向する2箇所に外気を導入可能な開口を備えることを特徴とする請求項6に記載の集塵装置。
- レーザ光源から発振された光をライン状に整形し、装置内に配置されたマスクへ導く照明光学系と、
前記照明光学系を内包する照明光学装置を移動させ、ライン状の光を前記マスクに対して走査させる走査機構と、
前記マスクを透過した光を被加工物に投影する投影光学系と、
前記投影光学系の投影光学部品の下部に取り付けられ、前記被加工物表面と近接して対向し、前記ライン状レーザ光の走査範囲以上の大きさの開口を有し、集塵室を形成する集塵ボックスとを備え、
前記集塵ボックスは、
前記集塵ボックスと前記投影光学系の投影光学部品の境界の近傍の前記集塵ボックス及び前記投影光学部品の少なくとも一方に形成された複数の外気導入路と、
前記集塵ボックスの前記外気導入路の位置及び前記開口の間の位置に形成され、負圧源に接続され、前記集塵室内の気体を排出する排気口と、
を備えるレーザ加工装置。 - 前記投影光学系の焦点と前記被加工物表面の表面との相対位置を検出するためのフォーカス検出部を備え、
前記集塵ボックスの前記排気口と前記開口の間に第1の外気導入路及び第2の外気導入路が形成され、
前記フォーカス検出部から出射したフォーカス検出ビームが前記第1の外気導入路を通過し、
前記被加工物の表面で反射したフォーカス検出ビームが前記第2の外気導入路を通過するようになされた請求項8に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019059798A JP7224992B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 集塵装置及びレーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019059798A JP7224992B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 集塵装置及びレーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020157341A JP2020157341A (ja) | 2020-10-01 |
JP7224992B2 true JP7224992B2 (ja) | 2023-02-20 |
Family
ID=72641010
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019059798A Active JP7224992B2 (ja) | 2019-03-27 | 2019-03-27 | 集塵装置及びレーザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7224992B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007029973A (ja) | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Sony Corp | レーザ加工装置とその加工方法及びデブリ回収装置とその回収方法 |
JP2008147242A (ja) | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Hitachi Via Mechanics Ltd | プリント基板のレーザ加工方法 |
JP2008180983A (ja) | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Sei Tsunezo | レーザー微細加工方法 |
JP2018024014A (ja) | 2016-08-04 | 2018-02-15 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ剥離装置、レーザ剥離方法、及び有機elディスプレイの製造方法 |
-
2019
- 2019-03-27 JP JP2019059798A patent/JP7224992B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007029973A (ja) | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Sony Corp | レーザ加工装置とその加工方法及びデブリ回収装置とその回収方法 |
JP2008147242A (ja) | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Hitachi Via Mechanics Ltd | プリント基板のレーザ加工方法 |
JP2008180983A (ja) | 2007-01-25 | 2008-08-07 | Sei Tsunezo | レーザー微細加工方法 |
JP2018024014A (ja) | 2016-08-04 | 2018-02-15 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ剥離装置、レーザ剥離方法、及び有機elディスプレイの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020157341A (ja) | 2020-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20170106471A1 (en) | Laser processing apparatus | |
US7863542B2 (en) | Laser processing apparatus and laser processing method as well as debris extraction mechanism and debris extraction method | |
KR20020015661A (ko) | 레이저 수정방법 및 장치 | |
US11460787B2 (en) | Apparatus and a method of forming a particle shield | |
KR102382051B1 (ko) | 레이저 장치 | |
JP2008264858A (ja) | レーザー印字装置 | |
JP7224992B2 (ja) | 集塵装置及びレーザ加工装置 | |
JP5355349B2 (ja) | レーザースクライブ装置 | |
JPH116086A (ja) | レーザ光を用いた表面不要物除去装置 | |
US10843294B2 (en) | Laser processing apparatus | |
KR20230085864A (ko) | 레이저 가공 장치 및 데브리 제거 장치 | |
JP2008290123A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP6111090B2 (ja) | レーザー加工方法 | |
JP2008023548A (ja) | 切断装置 | |
JP7431601B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2004268080A (ja) | レーザ加工装置および加工方法 | |
TW589714B (en) | Wafer scribing method and wafer scribing device | |
JP5595021B2 (ja) | レーザ処理装置 | |
TWI778641B (zh) | 微影系統和在微影系統中產生層流的裝置 | |
JP2003080391A (ja) | レーザ加工装置 | |
KR20060122417A (ko) | 파티클 제거 장치 및 이를 포함하는 반도체 기판 가공 설비 | |
KR20180073953A (ko) | 오염물질 집진설비 | |
JPH05172731A (ja) | 粒子検出方法 | |
JP2022181658A (ja) | レーザー加工装置 | |
KR20070080523A (ko) | 웨이퍼 처리장치 및 처리방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221122 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230207 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7224992 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |