KR20150079919A

KR20150079919A - 감광성 수지 적층체 롤

Info

Publication number: KR20150079919A
Application number: KR1020157014298A
Authority: KR
Inventors: 유조 고타니
Original assignee: 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤
Priority date: 2012-12-27
Filing date: 2013-12-26
Publication date: 2015-07-08
Also published as: CN104903207B; KR20190018037A; TW201613817A; JP6315724B2; WO2014104217A1; JP2017071445A; CN106393838B; CN106393838A; CN104903207A; CN106966074A; KR101950064B1; TWI522303B; TW201431769A; JP6046746B2; JPWO2014104217A1; TWI611990B; CN106966074B; MY176080A; KR102191080B1

Abstract

롤을 풀 때에 감광성 수지 적층체 롤 단면으로부터 간단하게 이물질을 제거할 수 있는 감광성 수지 적층체 롤을 제공한다. 이 감광성 수지 적층체 롤은, 감광성 수지 적층체가 권심에 롤상으로 권취되어 있고, 롤 단면 보호 부재가, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 배치된 감광성 수지 적층체 롤로서, 롤 단면 보호 부재는, 롤 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고, 감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 지지층에 적층되는 감광성 수지층을 포함한다.

Description

감광성 수지 적층체 롤{PHOTOSENSITIVE RESIN LAMINATE ROLL}

본 발명은, 감광성 수지 적층체 롤에 관한 것이다.

종래, 감광성 엘리먼트의 곤포로서는 몇 가지의 양태가 개시되어 있다. 예를 들어 롤 단면을 보호하기 위해서 단면 보호 부재가 배치된 곤포가 개시되어 있다 (특허문헌 1).

일본 공개특허공보 2005-41537호

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 롤을 풀 때에 감광성 수지 적층체 롤 단면으로부터 간단하게 이물질을 제거할 수 있는 감광성 수지 적층체 롤을 제공하는 것이다.

상기 과제는, 본 발명의 이하의 구성에 의해 해결할 수 있다. 즉, 본 발명은 이하와 같다 ：

［1］

감광성 수지 적층체가 권심에 롤상으로 권취되어 있고,

롤 단면 보호 부재가, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 배치된 감광성 수지 적층체 롤로서,

상기 롤 단면 보호 부재는, 롤 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고,

상기 감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 당해 지지층에 적층되는 감광성 수지층을 포함하는, 감광성 수지 적층체 롤.

［2］

차광 시트에 의해 덮이는 것을 특징으로 하는［1］에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［3］

상기 차광 시트가 통형상인 것을 특징으로 하는［2］에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［4］

상기 권심의 길이가 상기 감광성 수지 적층체의 폭보다 길고,

상기 롤 단면 보호 부재는 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 구비되는 링상 시트이며, 당해 링상 시트가 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 구비되는 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［5］

상기 링상 시트의 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배인 것을 특징으로 하는［4］에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［6］

수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는,［4］또는［5］에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［7］

상기 단면 보호 부재와 저밀도 폴리에틸렌 필름의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는,［1］∼［6］중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［8］

상기 롤 단면 보호 부재의 기재가, 무발진지, 저발진지, 합성지, 또는 종이와 수지 기재를 첩합(貼合)하여 이루어지는 것인 것을 특징으로 하는［1］∼［7］중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［9］

상기 감광성 수지층이, 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, 부가 중합성 모노머, 광 중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물로 이루어지는 층인 것을 특징으로 하는［1］∼［8］중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［10］

상기 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자가, 스티렌 또는 그 유도체를 공중합한 것인 것을 특징으로 하는［9］에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［11］

상기 부가 중합성 모노머가, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는［9］또는［10］에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［12］

상기 광 중합 개시제가, 헥사아릴비이미다졸 또는 그 유도체를 함유하는 것을 특징으로 하는［9］∼［11］중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［13］

상기 점착제 조성물이, 아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는［1］∼ [12］중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［14］

상기 점착제 조성물이, 점착제와 입자를 함유하고, 그 입자의 50 질량％ 이상은, 그 점착제 조성물의 도포 두께의 80 ∼ 120 ％ 의 직경을 갖는 것이며, 또한 그 입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부인 것을 특징으로 하는［1］∼［13］중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤.

［15］

감광성 수지 적층체를 권심에 롤상으로 권취하고, 롤 단면 보호 부재를, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 구비하는 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법으로서,

당해 권심의 길이가 당해 감광성 수지 적층체의 폭보다 길고,

당해 감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 당해 지지층에 적층되는 감광성 수지층을 포함하고,

당해 롤 단면 보호 부재는,

롤 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고,

롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 일체 또는 복수의 부분으로 분할된 상태로 구비되고, 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 구비된 후는 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배의 링상 시트인 것을 특징으로 하는,

감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.

［16］

상기 링상 시트의 내경이 상기 권심의 외경의 1.001 ∼ 1.1 배이며, 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 구비되어 있는 것을 특징으로 하는,［15］에 기재된 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.

［17］

수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는,［15］또는［16］에 기재된 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.

［18］

상기 링상 시트와 저밀도 폴리에틸렌 필름의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는,［15］∼［17］중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.

［19］

［15］∼［18］중 어느 한 항에 기재된 방법으로 감광성 수지 적층체 롤을 제조하고, 또한 통형상의 차광 시트에 의해 덮는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤의 곤포 방법.

［20］

필름이 권심에 롤상으로 권취되어 있는 필름 롤용의 링상 시트로서,

상기 권심의 길이는, 상기 필름의 폭보다 길고,

상기 링상 시트의 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배이며, 또한

상기 링상 시트는, 상기 권취된 필름의 단면에 접촉하고, 이 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고, 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 필름 롤에 구비되는,

링상 시트.

［21］

상기 필름은, 감광성 수지 적층체인［20］에 기재된 링상 시트.

［22］

수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는,［20］또는［21］에 기재된 링상 시트.

［23］

저밀도 폴리에틸렌 필름과의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는,［20］∼［22］중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.

［24］

무발진지, 저발진지, 또는 종이와 수지 기재를 첩합하여 이루어지는 것인 기재를 갖는 것을 특징으로 하는,［20］∼［23］중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.

［25］

상기 감광성 수지층이, 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, 부가 중합성 모노머, 광 중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물로 이루어지는 층인 것을 특징으로 하는, 제 21 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.

［26］

상기 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자가, 스티렌 또는 그 유도체를 공중합한 것인 것을 특징으로 하는,［25］에 기재된 링상 시트.

［27］

상기 부가 중합성 모노머가, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는,［25］또는［26］에 기재된 링상 시트.

［28］

상기 광 중합 개시제가, 헥사아릴비이미다졸 또는 그 유도체를 함유하는 것을 특징으로 하는,［25］∼［27］중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.

［29］

상기 점착제 조성물이, 아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는,［20] ∼［28］중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.

［30］

상기 점착제 조성물이, 점착제와 입자를 함유하고, 그 입자의 50 질량％ 이상은, 그 점착제 조성물의 도포 두께의 80 ∼ 120 ％ 의 직경을 갖는 것이며, 또한 그 입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부인 것을 특징으로 하는,［20］∼［29］중 어느 한 항에 기재된 링상 시트.

［31］

차광 시트에 의해 덮인,［20］∼［30］에 기재된 링상 시트를 구비한 필름 롤.

본 발명의 감광성 수지 적층체 롤을 사용하면, 롤을 풀 때에 감광성 수지 적층체 롤 단면으로부터 간단하게 이물질을 제거할 수 있다.

도 1 은, 감광성 수지 적층체가 권심에 롤상으로 권취되어 있고, 롤 단면 보호 부재가, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 배치되어 있는 감광성 수지 적층체 롤의 일 양태의 개략도이다.
도 2 는, 절곡 거리 H 와, 링상 시트의 외경의 반 R 을 나타내는 도면이다.
도 3 은, 통형상의 차광 시트에 의해 덮여 있는 감광성 수지 적층체 롤의 일 양태의 개략도를 나타낸다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태 (이하, 「실시형태」 라고 약기한다.) 에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은, 이하의 실시형태로 한정되는 것이 아니고, 그 요지의 범위 내에서 여러 가지 변형하여 실시할 수 있다.

감광성 수지 적층체 롤은, 장척상 (띠형상) 의 감광성 수지 적층체가 그 길이 방향으로 권심에 권취되어 있고, 롤 단면 보호 부재가, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면 (상기 띠형상의 감광성 수지 적층체의 폭방향 단부측) 에 접촉하도록 배치된 감광성 수지 적층체 롤이다.

도 1 은, 이와 같은 감광성 수지 적층체 롤 (10) 의 일 양태의 개략도를 나타내고 있다. 여기서는, 감광성 수지 적층체 (1) 는, 지지층 (4), 당해 지지층에 적층되는 감광성 수지층 (5), 및 수의(隨意)의 보호층 (6) 을 포함하고, 이 적층체 (1) 가 권심 (2) 에 권취되어 있다. 그리고, 이 권취된 감광성 수지 적층체의 양방의 단면에 접촉하여 롤 단면 보호 부재 (3) 가 배치되어 있다. 여기서는, 롤 단면 보호 부재 (3) 는, 링상 시트로서 나타내고 있다.

(감광성 수지 적층체)

감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 당해 지지층 상에 적층되는 감광성 수지층을 포함하고, 바람직하게는 추가로, 감광성 수지층 상에 적층되는 보호층을 포함한다. 드라이 필름 레지스트, 드라이 필름 포토레지스트로 불리는 감광성 필름도 감광성 수지 적층체에 포함된다.

지지층은, 감광성 수지층을 지지하는 것이면 된다. 사용되는 지지층으로서는, 노광 광원으로부터 방사되는 광을 투과하는 투명한 것이 바람직하다. 이와 같은 지지층으로서는, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름, 폴리비닐알코올 필름, 폴리염화비닐 필름, 염화비닐 공중합체 필름, 폴리염화비닐리덴 필름, 염화비닐리덴 공중합 필름, 폴리메타크릴산메틸 공중합체 필름, 폴리스티렌 필름, 폴리아크릴로니트릴 필름, 스티렌 공중합체 필름, 폴리아미드 필름, 셀룰로오스 유도체 필름 등을 들 수 있다. 이들의 필름은, 필요에 따라 연신된 것도 사용 가능하다. 해상도의 관점에서 헤이즈치가 5 이하의 필름이 바람직하다. 헤이즈치 3 이하가 보다 바람직하고, 헤이즈치 2.5 이하가 더욱 바람직하고, 헤이즈치 1 이하가 보다 더 바람직하다. 지지층의 두께는, 얇은 것이 화상 형성성 및 경제성의 면에서 유리하지만, 감광성 수지 조성물층의 도공 시의 열수축을 유지할 필요 등에서, 10 ∼ 30 ㎛ 의 것이 바람직하게 사용된다. 예를 들어, 테이진 듀퐁 필름 (주) 제조 GR19, GR16, 미츠비시 수지 (주) 제조 R310-16, R340G16, 토오레 폴리에스테르 필름 (주) 제조 FB40 (16 ㎛ 막두께), FB60 (16 ㎛ 막두께) 등을 들 수 있다.

보호층은, 감광성 수지층과의 밀착력에 대해, 지지층보다 보호층이 충분히 작기 때문에 용이하게 박리할 수 있다. 예를 들어, 폴리에틸렌 필름, 및 폴리프로필렌 필름, 연신 폴리프로필렌 필름 등을 보호층으로서 바람직하게 사용할 수 있다. 또, 일본 공개특허공보 소59-202457호에 개시되어 있는 박리성이 우수한 필름을 사용할 수 있다. 보호층의 막두께는 10 ∼ 100 ㎛ 가 바람직하고, 10 ∼ 50 ㎛ 가 보다 바람직하다. 예를 들어, 타마폴리 (주) 제조 GF-18, GF-818, GF-858 등을 들 수 있다.

감광성 수지층은, 감광성 수지 조성물을 지지층에 도포, 건조시켜 적층할 수 있다. 감광성 수지층의 두께는, 바람직하게는, 5 ∼ 100 ㎛ 이며, 보다 바람직한 상한은 50 ㎛ 이다. 감광성 수지층의 두께가 5 ㎛ 에 가까워질수록, 해상도는 향상되고, 100 ㎛ 에 가까워질수록, 막 강도가 향상되므로, 용도에 따라 적절히 선택할 수 있다.

감광성 수지 적층체를 제조하는 방법으로서는, 종래 알려져 있는 방법을 채용할 수 있다. 예를 들어, 감광성 수지층에 사용하는 감광성 수지 조성물을, 용제와 혼합하여 감광성 수지 조성물 조합액으로서 준비해 두고, 지지층에 바 코터 또는 롤 코터를 사용하여 도포하여 건조시키고, 지지층 상에 그 감광성 수지 조성물로 이루어지는 감광성 수지층을 적층한다. 감광성 수지 조성물 조합액은 25 ℃ 에서 500 ∼ 4000 mPa·초가 되도록 용제를 첨가하여 조합하는 것이 바람직하다. 용제에는, 메틸에틸케톤, 아세톤, 에탄올, 메탄올, 프로판올, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 톨루엔, 등을 감광성 수지 조성물 조합액 점도, 건조성, 잔존 용매량, 도공성, 발포성의 관점에서 적절히 선택하여 사용할 수 있다. 이어서, 그 감광성 수지층 상에 보호층을 적층함으로써 감광성 수지 적층체를 제작할 수 있다.

감광성 수지 적층체는 장척상으로 권심에 권취되어 롤상으로 되어 사용된다. 감는 길이는, 특별히 한정되지 않지만, 롤의 중량과 취급의 용이함의 관점에서 320 m 이하가 바람직하다. 1 개의 감광성 수지 적층체 롤로 라미네이트할 수 있는 기재가 많으면 효율이 좋기 때문에, 생산성의 관점에서 감는 길이는 100 m 이상이 바람직하다.

(권심)

권심은, 코어라고도 불리는 경우가 있다. 그 형상은 특별히 한정되지 않지만, 원통상이거나, 원주상이어도 된다. 감광성 수지 적층체는 에칭 또는 도금 레지스트, 나아가서는 영구 패턴으로서 전자 재료에 사용되기 때문에, 발진하지 않는 처리가 실시된 것이 바람직하고, 플라스틱 수지제가 바람직하다. 플라스틱 수지의 소재는, 가볍고, 강도가 우수하고, 발진하지 않는 것이 바람직하다. 폴리프로필렌 (PP) 수지, 아크릴로니트릴부타디엔스티렌 (ABS) 수지, 나일론 수지, 폴리염화비닐 수지 등이 사용 가능하고, ABS 수지가 바람직하다. 권심의 직경은 특별히 한정되지 않지만, 감광성 수지 적층체 롤이 라미네이터에 장착되는 경우에, 장치에 장착되도록, 바람직하게는 2 ∼ 5 인치, 보다 바람직하게는 3 인치의 직경이다. 권심의 길이 (원통상, 또는 원주상의 권심을 사용하는 경우에는 그 축방향 길이) 는, 감광성 수지 적층체의 폭과 대비하여 동일하거나, 혹은 짧아도 되지만, 감광성 수지 적층체를 권취했을 때에 양측에 적당한 돌출부를 확보할 수 있도록, 감광성 수지 적층체의 폭보다 큰 길이인 것이 바람직하다. 이 돌출부에 삽입 통과하도록 링상 시트가 장착되기 때문에 바람직하다. 또 이 돌출부에 코어 홀더라고 불리는 베어링을 끼워 맞추고, 감광성 수지 적층체 롤이 이동하지 않도록, 공중에 매달린 상태로 보관할 수도 있다.

(롤 단면 보호 부재)

롤 단면 보호 부재는, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 배치된다. 그 형상으로서는 특별히 한정되지 않고, 일정한 면적으로 단면에 접촉하여 롤 단면의 적어도 일부를 피복 보호하는 것이면 지장이 없지만, 그 중에서도, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 배치되는 링상 시트인 것이 바람직하다. 또한, 감광성 수지 적층체 롤의 단면의 거의 전체를 실질적으로 덮을 수 있는 크기의 폭을 가진 링상인 것이 바람직하다. 롤 단면 보호 부재는, 권취된 감광성 수지 적층체의 일단에만 사용해도 되지만, 바람직하게는 양단에 사용한다.

롤 단면 보호 부재가 링상 시트인 경우에, 그 링 내경은, 권심에 삽입 통과하여 사용할 수 있도록, 권심의 외경보다 약간 큰 것이 바람직하다. 또, 링상 시트의 중심과 권심의 중심이 약간 어긋남으로써, 링상 시트의 외주가 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 외주로부터 약간 비어져 나온다. 이것에 의해 링상 시트의 떼어내기가 용이해지는 점에서 권심의 외경보다 약간 큰 것이 바람직하다. 구체적으로는, 링 내경은 권심의 외경의 1.001 배 이상이 장착 시에 권심에의 들러붙음이 없어 바람직하다. 보다 바람직하게는 1.005 배 이상이며, 더욱 바람직하게는 1.01 배 이상이다. 롤 단면 전체를 보호하고, 이물질을 제거하는 관점에서, 링 내경은 권심의 외경의 1.1 배 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.05 배 이하이며, 더욱 바람직하게는 1.03 배 이하이다.

링 외경은, 감광성 수지 적층체 롤의 단면을 덮을 수 있도록, 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 외경의 0.99 배 이상이 바람직하고, 1 배 이상이 보다 바람직하다. 또, 감광성 수지 적층체 롤을 덮는 차광성의 원통상 튜브 등의 곤포재에의 부착을 억제하는 관점에서, 링 외경은 감광성 수지 적층체 롤의 외경의 1.1 배 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.05 배 이하이며, 더욱 바람직하게는 1.03 배 이하이다.

롤 단면 보호 부재의 기재는, 폴리에스테르, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리페닐렌설파이드, 폴리프로필렌, 나일론, 각각 무연신, 연신, 2 축 연신한 것, 그리고, 저밀도 폴리에틸렌, 고밀도 폴리에틸렌, 경질 폴리염화비닐, 연질 폴리염화비닐, 셀로판, 아세테이트, 셀룰로오스트리아세테이트, 폴리스티렌, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 등의 플라스틱 수지, 그리고, 발진 방지 처리된 종이, 발진 방지 처리된 상질지, 크린 페이퍼, 그리고, 종이와 상기 플라스틱 수지를 첩합한 것, 합성지 등을 들 수 있다. 감광성 수지 적층체는, 에칭 또는 도금 레지스트, 나아가서는 영구 패턴으로서 전자 재료에 사용되기 때문에, 발진하지 않는 처리가 실시된 것이 바람직하다. 정전기의 발생이 적고, 단면으로의 추종성이 양호하고 이물질 제거성이 우수하고 또한 장착성도 우수하다는 관점에서, 기재는 발진 방지 처리된 종이, 발진 방지 처리된 상질지, 크린 페이퍼, 그리고, 종이와 상기 플라스틱 수지를 첩합한 것, 합성지가 소재로서 바람직하다. 합성지는 폴리프로필렌을 주원료로 하고 있는 것이 바람직하다.

기재가 발진 방지 처리된 종이, 발진 방지 처리된 상질지, 크린 페이퍼, 그리고, 종이와 상기 플라스틱 수지를 첩합한 것인 경우, 기재의 두께는 50 ∼ 500 ㎛ 가 바람직하다. 장착성의 관점에서 50 ㎛ 이상이 바람직하고, 단면으로의 추종성, 이물질 제거성의 관점에서 500 ㎛ 이하가 바람직하다. 보다 바람직하게는 60 ∼ 200 ㎛, 더욱 바람직하게는 60 ∼ 150 ㎛ 이다.

롤 단면 보호 부재는, 이형성, 방오성의 관점에서 표면이 엠보스 가공되어 있어도 된다. 롤 단면 보호 부재는, 감광성 수지 적층체 롤의 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 갖는다. 롤 단면 보호 부재는, 평면에서 보아 원형상의 링상 시트인 것이 바람직하다.

상기 링상 시트는, 수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것이 바람직하다. 링상 시트의 롤 단면 장착성의 관점에서 0.59 이하가 바람직하다. 보다 바람직하게는, 0.5 이하이며, 더욱 바람직하게는 0.45 이하이다. 롤 단면으로의 추종성과 이물질 제거성의 관점에서 0.06 이상이 바람직하다. 보다 바람직하게는 0.1 이상, 더욱 바람직하게는 0.15 이상이다.

절곡 거리 H 의 측정 방법은 이하와 같다. 먼저, 도 2 에 나타내는 바와 같이 실질적으로 수평 방향 (연직 방향과 직행하는 방향) 으로 돌출한 실질적인 평판 (7) 상에 링상 시트 (3) 를 설치한다. 이 때 점착제를 구비한 면을 상향으로 하여 평판 (7) 에 첩부되지 않도록 한다. 링상 시트 (3) 의 반이 공중에 존재하도록, 즉, 평판의 단부에 존재하는 실질적으로 직선상의 단변 상에 링상 시트 (3) 의 중심이 오도록, 링상 시트를 고정시킨다. 고정할 때는, 도 2 에 나타내는 바와 같은 고정 부재 (8) 로 고정해도 된다. 이 때, 링상 시트 (3) 가 중력 이외의 영향을 받아, 휘거나 절곡되거나 하지 않도록 한다. 링상 시트의 공중에 존재하는 부분 (단부에서 비어져 나와 있는 부분) 에서, 평판의 단변으로부터 가장 떨어진 링상 시트의 선단과, 평판의 링상 시트와 접하는 면이 형성하는 가상면의 연직 방향 거리를 L 자형 자로 측정한다. 측정 장소는 시즈오카현 후지시로 한다.

(점착제 조성물)

점착제 조성물은, 롤 단면 보호 부재를 박리했을 때에 감광성 수지 필름 단면에 풀잔여물이 없고, 롤 단면 보호 부재를 박리했을 때에 롤 단면 보호 부재에 감광성 수지의 부착이 없도록 공지된 점착제 조성물을 선택하여 사용할 수 있다.

그 중에서도, 이물질 제거성과 이형성의 관점에서 아크릴계 수지를 함유하는 것이 바람직하다. 감광성 수지 조성물이, 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, 부가 중합성 모노머, 광 중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물이며, 점착제 조성물이 아크릴계 수지를 함유하는 경우, 이물질 제거성과 이형성을 고도로 양립할 수 있는 관점에서 더욱 바람직하다.

점착제 조성물은, 입자를 함유하는 것이 바람직하고, 그 입자의 50 질량％ 이상은, 그 점착제 조성물의 도포 두께의 80 ∼ 120 ％ 의 직경을 갖는 것이며, 또한 그 입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부인 것이 바람직하다. 또한, 입자의 직경은 현미경 관찰에 의해, 임의의 100 개의 입자에 대해 그 최대 직경을 관찰하고, 그 평균치로서 산출했다.

입자의 직경은, 이형성의 관점에서 80 ％ 이상이 바람직하고, 120 ％ 이하가 점착성의 관점에서 바람직하다. 90 ∼ 110 ％ 가 보다 바람직하고, 100 ％ 가 더욱 바람직하다.

입자는 통상적으로, 단일의 입도인 것은 이론적으로 가능해도, 실제로는 입수 곤란한 경우가 많다. 가능한 한 입도 분포가 좁은, 즉 샤프한 입도 곡선을 갖는 것이 바람직하다.

점착제 전체량의 50 질량％ 이상은 그 점착제의 도포 두께의 80 ∼ 120 ％ 의 직경인 것이 바람직하다. 이형성과 점착성의 밸런스의 관점에서 70 질량％ 이상이 보다 바람직하고, 80 질량％ 이상이 더욱 바람직하다.

입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부가 바람직하다. 첩부한 경우에 공기 기포의 빠짐성의 관점에서 5 중량부 이상이 바람직하고, 접착성의 관점에서 30 이하가 바람직하다. 10 중량부 내지 25 중량부가 보다 바람직하다. 입자의 재질이 유리의 경우 15 ∼ 30 중량부가 바람직하고, 플라스틱제에서는 5 ∼ 25 중량부가 바람직하다.

입자의 재질은, 플라스틱, 무기재가 바람직하다. 플라스틱으로서는, 폴리메타크릴레이트계, 폴리에틸렌메타크릴레이트계, 폴리스티렌계, 폴리스티렌아크릴계, 폴리에틸렌계, 폴리프로필렌계, 폴리스티렌부타디엔계, 폴리스티렌디비닐벤젠계, 폴리우레탄계, 폴리벤조구아나민계, 멜라민계를 들 수 있다. 무기재로서는, 유리, 실리카 (규산염 광물), 탄산칼슘을 들 수 있다.

점착제의 접착력은, 조성물 전체의 연화 온도를 내리는 것이나 수지 성분의 극성을 올림으로써, 향상시킬 수 있다.

단면 보호 부재와 저밀도 폴리에틸렌 필름의 접착력으로서는, 이물질 제거성과 장착성의 관점에서, 바람직하게는 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 이며, 보다 바람직하게는 50 gf/inch ∼ 240 gf/inch 이다.

또한, 당해 접착력은, 다음과 같이 하여 측정된다. 즉, 단면 보호 부재의 점착제 조성물의 층이 형성되어 있는 면에 저밀도 폴리에틸렌 필름 (LDPE) 시트를 핸드 롤러로 첩부한다. 저밀도 폴리에틸렌 필름은 타마폴리 주식회사 제조 GF-858 을 사용한다. 폭 1 inch, 길이 15 cm 의 단책상으로 커트하고, 상대 습도 50 ％, 섭씨 23 도에서 11 시간 습도 조절한다. 주식회사 오리엔테크 제조 텐실론 RTM-500, 로드 셀 1 kg, 인장 속도 100 mm/min 으로 인장 시험한다. 이 때, 샘플의 단면 보호 부재를 텐실론의 하부에서 척 (고정) 하고, 저밀도 폴리에틸렌 필름을 인장부에서 척 (고정) 하여, 인장 시험한다. 인장 시험 중, 신장 10 mm 내지 50 mm 의 구간에서 하중의 적분 평균을 취하여, 시험 횟수 2 회의 평균을 취하고, 이것을 접착성의 값으로 한다.

(감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법)

감광성 수지 적층체 롤은, 이물질의 부착과 수송 시의 감광을 억제하는 관점에서 차광 시트로 덮는 것이 바람직하다. 차광 시트는 차광성 필름이라고 부를 수도 있다. 차광 시트는, 그것을 감광성 수지 적층체 롤에 감도록 하여 덮을 수 있다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 차광 시트 (9) 가 통형상인 경우, 감광성 수지 롤 (1) 을 통 내에 삽입함으로써 덮을 수 있으므로 바람직하다. 또한 통의 길이가 감광성 수지 적층체 롤 (1) 의 권심 (2) 보다 긴 경우, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 권심 (2) 보다 긴 부분을 권심 내부에 끼워넣음으로써, 이물질의 부착과 감광을 더욱 억제할 수 있기 때문에 바람직하다.

차광 시트는, 감광성 수지 적층체 롤을 예를 들어 경량의 낙하물과의 접촉이나 곤포 용기와의 경미한 접촉으로부터 보호할 수 있다는 관점에서 폴리에틸렌제가 바람직하다. 막두께는 적당한 강도를 유지하고, 핀홀을 억제하는 관점에서 10 ㎛ 이상이 바람직하고, 취급성의 관점에서 300 ㎛ 이하가 바람직하다. 보다 바람직하게는 20 ∼ 200 ㎛, 더욱 바람직하게는 30 ∼ 130 ㎛ 이다. 차광성을 높이기 위해 흑색이 바람직하다.

감광성 수지 적층체 롤은, 상기 권심과 끼워 맞추는 볼록부가 형성된 코어 홀더라고 불리는 1 쌍의 부재에 의해 공중에 매달아 고정시키는 것이 바람직하다. 공중에 매달아 고정시킴으로써, 수송 시에 감광성 수지 적층체가 곤포 용기의 바닥면 벽면과 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 코어 홀더로서는, 예를 들어 일본 공개특허공보 2004-42952 및 일본 공개특허공보 2003-89477 에 기재된 것을 들 수 있다.

차광 시트로 감광성 수지 적층체 롤을 덮는 경우, 차광 시트의 권심보다 긴 부분을 권심 내에 끼워넣고, 그 끼워넣은 부분을 사이에 두도록 하여 추가로 코어 홀더를 장착하면, 이물질의 부착과 감광을 억제할 수 있기 때문에 바람직하다.

(감광성 수지 조성물)

감광성 수지 조성물은, (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, (b) 부가 중합성 모노머, (c) 광 중합 개시제를 함유하는 것이 바람직하다.

링상 시트를 롤 단면으로부터 박리할 때에, 롤 단면의 풀잔여물이 적고, 링상 시트에의 감광성 수지 조성물의 부착도 적어지는 관점에서, 감광성 수지 조성물이 상기 (a) ∼ (c) 를 포함하는 것이 바람직하다.

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자는, α,β-불포화 카르복실기 함유 단량체를 중합 성분으로 하고 있고, 알칼리 가용성 고분자의 산 당량이 100 ∼ 600, 또한, 중량 평균 분자량이 5,000 ∼ 500,000 인 것이 바람직하다. 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자 중의 카르복실기는, 감광성 수지 조성물이 알칼리 수용액으로 이루어지는 현상액 또는 박리액에 대해, 현상성 또는 박리성을 갖기 때문에 필요하다. 산 당량이란, 그 중에 1 당량의 카르복실기를 갖는 알칼리 가용성 고분자의 질량을 말한다. 산 당량의 보다 바람직한 하한은 250 이며, 또 보다 바람직한 상한은 450 이다. (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 산 당량은, 현상 내성이 향상되고, 해상도 및 밀착성이 향상되는 점, 또한 용매 또는 감광성 수지 조성물 중의 다른 성분, 특히 후술하는 (b) 부가 중합성 모노머와의 상용성을 확보한다는 관점에서 100 이상이 바람직하고, 현상성 및 박리성이 향상되는 점에서 600 이하가 바람직하다. 산 당량의 측정은, 히라누마 산업 (주) 제조 히라누마 자동 적정 장치 (COM-555) 를 사용하여, 0.1 mol/ℓ 의 수산화나트륨을 사용하여 전위차 적정법에 의해 실시된다.

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 중량 평균 분자량은, 5,000 ∼ 500,000 이 바람직하다. 중량 평균 분자량은, 감광성 수지 적층체의 두께를 균일하게 유지하여 현상액에 대한 내성을 얻는다는 관점, 또한 에지 퓨즈가 억제되는 점에서 5,000 이상이 바람직하고, 또, 현상성을 유지한다는 관점에서 500,000 이하가 바람직하다. 에지 퓨즈란, 감광성 수지 적층체를 롤상으로 권취한 경우에 롤 단면으로부터 감광성 수지 조성물이 스며나오는 현상이다. 스며나온 감광성 수지 조성물은 롤 상태로 지지층 보호층을 개재하여 이웃하는 다른 층의 감광성 수지층으로부터 스며나온 감광성 수지 조성물과 유착되는 경우가 있다. 유착된 감광성 수지 조성물은, 즉 에지 퓨즈한 감광성 수지 조성물은, 롤상의 감광성 수지 적층체를 풀어 라미네이트할 때에 단면으로부터 박리하여 레지스트 칩이 되어 비산하는 경우가 있다. 레지스트 칩이 라미네이트 후의 기판에 부착되면, 그것이, 다음에 노광용의 마스크에 부착되고, 노광되어 경화되고, 네거티브 레지스트의 경우에는 노광을 차단하여, 패턴의 결손이 된다.

보다 바람직하게는, (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 중량 평균 분자량의 하한은, 20,000 이며, (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 중량 평균 분자량의 상한은 250,000 이다. 본 명세서에 있어서의 중량 평균 분자량이란, 겔 퍼미에이션 크로마토그래피 (GPC) 에 의해 폴리스티렌 (쇼와전공 (주) 제조 Shodex STANDARD SM-105) 의 검량선을 사용하여 측정한 중량 평균 분자량을 의미한다.

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 중량 평균 분자량은, 닛폰 분광 (주) 제조 겔 퍼미에이션 크로마토그래피를 사용하여, 이하의 조건으로 측정할 수 있다 ：

시차 굴절률계 ： RI-1530

펌프 ： PU-1580

디개서 ： DG-980-50

칼럼 오븐 ： CO-1560

칼럼 ： 차례로 KF-8025, KF-806M×2, KF-807

용리액 ： THF.

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자는, 후술하는 제 1 또는 제 2 단량체에서 선택된 1 종 이상의 단량체를 성분으로서 함유하는 (공) 중합체인 것이 바람직하다.

제 1 단량체는, 분자 중에 중합성 불포화기를 1 개 갖는 카르복실산 또는 산무수물이다. 예를 들어, (메트)아크릴산, 푸마르산, 계피산, 크로톤산, 이타콘산, 말레산 무수물, 말레산반에스테르를 들 수 있다. 그 중에서도, 특히 (메트)아크릴산이 바람직하다.

제 2 단량체는, 비산성이며, 또한 분자 중에 중합성 불포화기를 적어도 1 개 갖는 단량체이다. 예를 들어, 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, n-프로필(메트)아크릴레이트, 이소프로필(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, 이소부틸(메트)아크릴레이트, tert-부틸(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시프로필(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 아세트산비닐 등의 비닐알코올의 에스테르류, (메트)아크릴로니트릴, 스티렌, 및 중합 가능한 스티렌 유도체를 들 수 있다. 그 중에서도, 메틸(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, 스티렌, 및 벤질(메트)아크릴레이트가 바람직하고, 해상도의 관점에서 스티렌을 사용하는 것은 특히 바람직하다.

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자는, 상기의 단량체를 혼합하고, 용제, 예를 들어, 아세톤, 메틸에틸케톤, 또는 이소프로판올로 희석한 용액에, 라디칼 중합 개시제, 예를 들어, 과산화벤조일, 아조이소부티로니트릴을 적당량 첨가하고, 가열 교반함으로써 합성되는 것이 바람직하다. 혼합물의 일부를 반응액에 적하하면서 합성을 실시하는 경우도 있다. 반응 종료 후, 또한 용제를 첨가하여, 원하는 농도로 조정하는 경우도 있다. 합성 수단으로서는, 용액 중합 이외에, 괴상 중합, 현탁 중합, 또는 유화 중합을 사용해도 된다.

특히 바람직한 (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자는, 제 1 단량체와 제 2 단량체의 공중합 비율이, 제 1 단량체가 10 ∼ 60 질량％, 제 2 단량체가 40 ∼ 90 질량％ 인 것이며, 보다 더 바람직하게는 제 1 단량체가 15 ∼ 35 질량％, 제 2 단량체가 65 ∼ 85 질량％ 이다.

(a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 보다 구체적인 예로서는, 메타크릴산메틸, 메타크릴산 및 스티렌을 공중합 성분으로서 함유하는 중합체, 메타크릴산메틸, 메타크릴산 및 아크릴산n-부틸을 공중합 성분으로서 함유하는 중합체, 그리고 메타크릴산벤질, 메타크릴산메틸 및 아크릴산2-에틸헥실을 공중합 성분으로서 함유하는 중합체 등을 들 수 있다.

감광성 수지 조성물 중에 있어서의 (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 20 ∼ 90 질량％ 의 범위이며, 바람직하게는, 40 ∼ 60 질량％ 이다. (a) 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 알칼리 현상성을 유지하고, 노광, 현상에 의해 형성되는 레지스트 패턴이, 레지스트로서의 특성, 예를 들어, 텐팅, 에칭 및 각종 도금 공정에 있어서 충분한 내성을 갖는다는 관점에서 20 질량％ 이상이 바람직하고, 경화 전의 감광성 수지 조성물, 경화 후 레지스트 패턴이 충분한 유연성을 갖는다는 관점에서 90 질량％ 이하가 바람직하다.

(b) 부가 중합성 모노머

(b) 부가 중합성 모노머는, 분자 내에 적어도 1 개의 중합 가능한 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물이다. 에틸렌성 불포화 결합은, 말단 에틸렌성 불포화기인 것이 바람직하다. 또한 고해상성, 에지 퓨즈성 및 텐팅성의 관점에서, (b) 부가 중합성 모노머로서, 적어도 1 종의 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물을 사용하는 것이 바람직하다.

본 명세서에서는, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물이란, (메트)아크릴로일기 또는 (메트)아크릴로일기에서 유래하는 탄소탄소 불포화 이중 결합과 비스페놀 A 에서 유래하는 -C6H4-C(CH3)2-C6H4- 기를 갖는 화합물을 말한다. 구체예로서는, 비스페놀 A 의 양단에 각각 평균 2 단위의 에틸렌옥사이드를 부가한 폴리에틸렌글리콜의 디메타크릴레이트 (신나카무라 화학 공업 (주) 제조 NK 에스테르 BPE-200) 또는 비스페놀 A 의 양단에 각각 평균 5 단위의 에틸렌옥사이드를 부가한 폴리에틸렌글리콜의 디메타크릴레이트 (신나카무라 화학 공업 (주) 제조 NK 에스테르 BPE-500), 비스페놀 A 의 양단에 각각 평균 6 단위의 에틸렌옥사이드와 평균 2 단위의 프로필렌옥사이드를 부가한 폴리알킬렌글리콜의 디메타크릴레이트, 비스페놀 A 의 양단에 각각 평균 15 단위의 에틸렌옥사이드와 평균 2 단위의 프로필렌옥사이드를 부가한 폴리알킬렌글리콜의 디메타크릴레이트를 들 수 있다.

(b) 부가 중합성 모노머로서, 상기의 화합물 이외에도 적어도 1 개의 에틸렌성 불포화기를 갖는 이미 알려진 화합물을 사용할 수 있다. 예를 들어, 4-노닐페닐헵타에틸렌글리콜디프로필렌글리콜아크릴레이트, 2-하이드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 페녹시헥사에틸렌글리콜아크릴레이트, 무수 프탈산과 2-하이드록시프로필아크릴레이트의 반에스테르 화합물과 프로필렌옥사이드의 반응물 (닛폰 촉매 화학 제조, 상품명 OE-A 200),

4-노르말옥틸페녹시펜타프로필렌글리콜아크릴레이트, 1,6-헥산디올(메트)아크릴레이트, 1,4-시클로헥산디올디(메트)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트 등의 폴리옥시알킬렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 2-디(p-하이드록시페닐)프로판디(메트)아크릴레이트, 글리세롤트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리글리시딜에테르트리(메트)아크릴레이트, 2,2-비스(4-메타크릴옥시펜타에톡시페닐)프로판, 헥사메틸렌디이소시아네이트와 노나프로필렌글리콜모노메타크릴레이트의 우레탄화물 등의 우레탄기를 함유하는 다관능기 (메트)아크릴레이트, 이소시아누르산에스테르 화합물의 다관능 (메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 사용하거나, 2 종류 이상 병용해도 되고, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물과 병용할 수도 있다.

감광성 수지 조성물 중의 (b) 부가 중합성 모노머의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 5 ∼ 75 질량％ 의 범위이며, 보다 바람직하게는, 15 ∼ 70 질량％ 이다. (b) 부가 중합성 모노머의 함유량은, 해상성, 밀착성 및 구리 라인의 형성성의 관점에서, 5 질량％ 이상이며, 경화막의 유연성의 관점에서, 75 질량％ 이하이다.

(c) 광 중합 개시제

(c) 광 중합 개시제로서는, 감광성 수지의 광 중합 개시제로서 통상적으로 사용되는 것을 적절히 사용할 수 있지만, 특히 헥사아릴비스이미다졸 (이하, 트리아릴이미다졸릴 2 량체라고도 한다.) 이 바람직하게 사용된다.

트리아릴이미다졸릴 2 량체로서는, 예를 들어, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 2 량체 (이하, 「2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,1'-비스이미다졸」 이라고도 한다.), 2,2',5-트리스(o-클로로페닐)-4-(3,4-디메톡시페닐)-4',5'-디페닐이미다졸릴 2 량체, 2,4-비스-(o-클로로페닐)-5-(3,4-디메톡시페닐)-디페닐이미다졸릴 2 량체,

2,4,5-트리스(o-클로로페닐)-디페닐이미다졸릴 2 량체, 2-(o-클로로페닐)-비스-4,5-(3,4-디메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2-플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,3-디플루오로메틸페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,4-디플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체,

2,2'-비스-(2,5-디플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,6-디플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,3,4-트리플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,3,5-트리플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체,

2,2'-비스-(2,3,6-트리플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,4,5-트리플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,4,6-트리플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체,

2,2'-비스-(2,3,4,5-테트라플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 2,2'-비스-(2,3,4,6-테트라플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체, 및 2,2'-비스-(2,3,4,5,6-펜타플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스-(3-메톡시페닐)-이미다졸릴 2 량체를 들 수 있다.

특히, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디페닐이미다졸릴 2 량체는 해상성 또는 경화 레지스트막의 강도에 대해 높은 효과를 갖는 광 중합 개시제이며, 바람직하게 사용된다. 이들은 단독으로 사용해도 되고 또는 2 종류 이상 조합하여 사용해도 된다. 또, 하기의 아크리딘 화합물, 피라졸린 화합물 등과 합하여 사용할 수도 있다.

바람직한 실시형태에서는, (c) 광 중합 개시제로서 아크리딘 화합물 또는 피라졸린 화합물이 사용된다. 아크리딘 화합물로서는, 아크리딘, 9-페닐아크리딘, 9-(4-톨릴)아크리딘, 9-(4-메톡시페닐)아크리딘, 9-(4-하이드록시페닐)아크리딘, 9-에틸아크리딘, 9-클로로에틸아크리딘, 9-메톡시아크리딘, 9-에톡시아크리딘,

9-(4-메틸페닐)아크리딘, 9-(4-에틸페닐)아크리딘, 9-(4-n-프로필페닐)아크리딘, 9-(4-n-부틸페닐)아크리딘, 9-(4-tert-부틸페닐)아크리딘, 9-(4-에톡시페닐)아크리딘, 9-(4-아세틸페닐)아크리딘, 9-(4-디메틸아미노페닐)아크리딘, 9-(4-클로로페닐)아크리딘,

9-(4-브로모페닐)아크리딘, 9-(3-메틸페닐)아크리딘, 9-(3-tert-부틸페닐)아크리딘, 9-(3-아세틸페닐)아크리딘, 9-(3-디메틸아미노페닐)아크리딘, 9-(3-디에틸아미노페닐)아크리딘, 9-(3-클로로페닐)아크리딘, 9-(3-브로모페닐)아크리딘, 9-(2-피리딜)아크리딘, 9-(3-피리딜)아크리딘, 9-(4-피리딜)아크리딘을 들 수 있다. 그 중에서도, 9-페닐아크리딘이 바람직하다.

피라졸린 화합물로서는, 1-페닐-3-(4-tert-부틸-스티릴)-5-(4-tert-부틸-페닐)-피라졸린, 1-(4-(벤조옥사졸-2-일)페닐)-3-(4-tert-부틸-스티릴)-5-(4-tert-부틸-페닐)-피라졸린, 1-페닐-3-(4-비페닐)-5-(4-tert-부틸-페닐)-피라졸린, 1-페닐-3-(4-비페닐)-5-(4-tert-옥틸-페닐)-피라졸린이 바람직하다.

상기 이외의 광 중합 개시제로서는, 예를 들어, 2-에틸안트라퀴논, 옥타에틸안트라퀴논, 1,2-벤즈안트라퀴논, 2,3-벤즈안트라퀴논, 2-페닐안트라퀴논, 2,3-디페닐안트라퀴논, 1-클로로안트라퀴논, 1,4-나프토퀴논, 9,10-페난트라퀴논, 2-메틸-1,4-나프토퀴논, 2,3-디메틸안트라퀴논, 및 3-클로로-2-메틸안트라퀴논 등의 퀴논류,

벤조페논, 미힐러케톤［4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논］, 및 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등의 방향족 케톤류, 벤조인, 벤조인에틸에테르, 벤조인페닐에테르, 메틸벤조인, 및 에틸벤조인 등의 벤조인에테르류,

벤질디메틸케탈, 벤질디에틸케탈, 티오크산톤류와 알킬아미노벤조산의 조합, 1-페닐-1,2-프로판디온-2-O-벤조인옥심, 1-페닐-1,2-프로판디온-2-(O-에톡시카르보닐)옥심 등의 옥심에스테르류를 들 수 있다.

또한, 상기 서술한 티오크산톤류와 알킬아미노벤조산의 조합으로서는, 예를 들어 에틸티오크산톤과 디메틸아미노벤조산에틸의 조합, 2-클로르티오크산톤과 디메틸아미노벤조산에틸의 조합, 및 이소프로필티오크산톤과 디메틸아미노벤조산에틸의 조합을 들 수 있다. 또, N-아릴아미노산을 사용해도 된다. N-아릴아미노산의 예로서는, N-페닐글리신, N-메틸-N-페닐글리신, N-에틸-N-페닐글리신 등을 들 수 있다. 그 중에서도, N-페닐글리신이 특히 바람직하다.

감광성 수지 조성물 중의 (c) 광 중합 개시제의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 0.01 ∼ 30 질량％ 의 범위이며, 보다 바람직한 하한은 0.05 질량％, 더욱 바람직한 하한은 0.1 질량％, 보다 바람직한 상한은 15 질량％, 더욱 바람직한 상한은 10 질량％ 이다. (c) 광 중합 개시제의 함유량은, 노광에 의한 광 중합 시에 충분한 감도를 얻는다는 관점에서 0.01 질량％ 이상이며, 광 중합 시에 감광성 수지 조성물의 저면 (즉 광원으로부터 먼 부분) 에까지 광을 충분히 투과시켜, 양호한 해상성 및 밀착성을 얻는다는 관점에서, 30 질량％ 이하이다.

(e) 그 밖의 첨가제

감광성 수지 조성물에는, 상기 (a) ∼ (c) 의 성분 외에 각종 첨가제를 함유시킬 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어 염료, 안료 등의 착색 물질이 함유된다. 이와 같은 착색 물질로서는, 예를 들어, 프탈로시아닌 그린, 크리스탈 바이올렛, 메틸 오렌지, 나일 블루 2B, 빅토리아 블루, 말라카이트 그린, 베이직 블루 20, 다이아몬드 그린 등을 들 수 있다.

상기 착색 물질을 함유하는 경우에는, 착색 물질의 첨가량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 0.001 ∼ 1 질량％ 인 것이 바람직하다. 착색 물질의 첨가량이, 0.001 질량％ 이상일 때는, 취급성 향상이라는 효과가 있고, 1 질량％ 이하일 때는, 보존 안정성을 유지한다는 효과가 있다.

또, 노광에 의해 가시상을 부여할 수 있도록, 감광성 수지 조성물 중에 발색제를 함유시켜도 된다. 이와 같은 발색계 염료로서는, 로이코 염료, 또는 플루오란 염료와 할로겐 화합물의 조합을 들 수 있다.

예를 들어, 로이코 염료로서는, 트리스(4-디메틸아미노-2-메틸페닐)메탄［로이코크리스탈 바이올렛］, 트리스(4-디메틸아미노-2-메틸페닐)메탄［로이코말라카이트 그린］, 및 플루오란 염료를 들 수 있다. 그 중에서도, 로이코크리스탈 바이올렛을 사용한 경우, 콘트라스트가 양호하여 바람직하다.

상기 할로겐 화합물로서는, 브롬화아밀, 브롬화이소아밀, 브롬화이소부틸렌, 브롬화에틸렌, 브롬화디페닐메틸, 브롬화벤잘, 브롬화메틸렌, 트리브로모메틸페닐술폰, 4 브롬화탄소, 트리스(2,3-디브로모프로필)포스페이트, 트리클로로아세트아미드, 요오드화아밀, 요오드화이소부틸, 1,1,1-트리클로로-2,2-비스(p-클로로페닐)에탄, 헥사클로로에탄, 클로르화트리아진 화합물 등을 들 수 있다.

이들의 염료를 함유하는 경우, 감광성 수지 조성물 중의 염료의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 각각 0.1 ∼ 10 질량％ 가 바람직하다.

또한, 감광성 수지 조성물의 열안정성 및 보존 안정성을 향상시키기 위해서, 라디칼 중합 금지제, 또는 벤조트리아졸류 및 카르복시벤조트리아졸류로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종 이상의 화합물을 감광성 수지 조성물에 함유시키는 것이 바람직하다.

이와 같은 라디칼 중합 금지제로서는, 예를 들어, p-메톡시페놀, 하이드로퀴논, 피로갈롤, 나프틸아민, tert-부틸카테콜, 염화 제 1 구리, 2,6-디-tert-부틸-p-크레졸, 2,2'-메틸렌비스(4-메틸-6-tert-부틸페놀), 2,2'-메틸렌비스(4-에틸-6-tert-부틸페놀), 니트로소페닐하이드록시아민알루미늄염, 디페닐니트로소아민을 들 수 있다.

벤조트리아졸류로서는, 예를 들어, 1,2,3-벤조트리아졸, 1-클로로-1,2,3-벤조트리아졸, 비스(N-2-에틸헥실)아미노메틸렌-1,2,3-벤조트리아졸, 비스(N-2-에틸헥실)아미노메틸렌-1,2,3-톨릴트리아졸, 비스(N-2-하이드록시에틸)아미노메틸렌-1,2,3-벤조트리아졸을 들 수 있다.

카르복시벤조트리아졸류로서는, 예를 들어, 4-카르복시-1,2,3-벤조트리아졸, 5-카르복시-1,2,3-벤조트리아졸, (N,N-디부틸아미노)카르복시벤조트리아졸, N-(N,N-디-2-에틸헥실)아미노메틸렌카르복시벤조트리아졸, N-(N,N-디-2-하이드록시에틸)아미노메틸렌카르복시벤조트리아졸, N-(N,N-디-2-에틸헥실)아미노에틸렌카르복시벤조트리아졸을 들 수 있다.

라디칼 중합 금지제, 벤조트리아졸류, 및/또는 카르복시벤조트리아졸류의 합계 첨가량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서, 바람직하게는 0.001 ∼ 3 질량％ 이며, 보다 바람직한 하한은 0.05 질량％, 보다 바람직한 상한은 1 질량％ 이다. 이 합계 첨가량은, 감광성 수지 조성물에 보존 안정성을 부여한다는 관점에서 0.001 질량％ 이상이 바람직하고, 감도를 유지한다는 관점에서 3 질량％ 이하가 바람직하다.

감광성 수지 조성물에는, 필요에 따라, 그 밖의 가소제를 함유시켜도 된다. 이와 같은 가소제로서는, 예를 들어, 비스페놀 A 를 폴리알킬렌옥사이드 변성한 화합물을 들 수 있다.

그 외에, 예를 들어, 폴리옥시에틸렌소르비탄라우레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄올레에이트 등의 소르비탄 유도체, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜 등의 폴리알킬렌글리콜류, 디에틸프탈레이트 등의 프탈산에스테르류, o-톨루엔술폰산아미드, p-톨루엔술폰산아미드, 시트르산트리부틸, 시트르산트리에틸, 아세틸시트르산트리에틸, 아세틸시트르산트리-n-프로필, 아세틸시트르산트리-n-부틸 등의 가소제를 사용할 수 있다. 특히 소르비탄 유도체 및 폴리알킬렌글리콜류를 사용하는 것이 바람직하다.

감광성 수지 조성물 중의 가소제의 함유량은, 감광성 수지 조성물의 전체 고형분을 기준으로서 1 ∼ 50 질량％ 인 것이 바람직하고, 보다 바람직한 하한은 3 질량％, 보다 바람직한 상한은 30 질량％ 이다. 현상 시간의 지연을 억제하고, 경화막에 유연성을 부여하는 관점에서 1 질량％ 이상이 바람직하고, 또 경화 부족 또는 콜드 플로우를 억제하는 관점에서 50 질량％ 이하가 바람직하다.

실시예

이하, 실시예에 있어서 더욱 구체적으로 설명하지만, 이것으로 한정되는 것은 아니다.

최초로 실시예 및 비교예의 평가용 샘플의 제작 방법을 설명하고, 이어서, 얻어진 샘플에 대한 평가 방법 및 그 평가 결과를 나타낸다. 여기서는, 롤 단면 보호 부재로서 링상 시트를 사용했다.

(실시예 1 ∼ 12, 비교예 1)

1. 평가용 샘플의 제작

실시예 및 비교예에 있어서의 평가용 샘플은 다음과 같이 하여 제작했다.

＜감광성 수지 적층체의 제작＞

하기 표 1 에 나타내는 조성물 1 (단, 각 성분의 숫자는 고형분으로서의 배합량 (질량부) 을 나타낸다. 표 1 중의 약호는 표 2 에 따른다.) 및 용매를 충분히 교반, 혼합하여 감광성 수지 조성물 조합액으로 하고, 지지체로서 16 ㎛ 두께의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 (미츠비시 수지 (주) 제조 R310) 을 준비하고, 이 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름의 표면에 감광성 수지 조성물 조합액을 다이코터를 사용하여 균일하게 도포, 건조시켜, 감광성 수지층을 형성했다. 감광성 수지층의 두께는 15 ㎛ 였다. 이어서, 감광성 수지층의, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 적층하고 있지 않은 표면 상에, 보호층으로서 33 ㎛ 두께의 폴리에틸렌 필름 (타마폴리 (주) 제조 GF-858) 을 첩합하여 감광성 수지 적층체 (1) 를 얻었다.

또, 상기 감광성 수지 적층체 (1) 에 있어서, 조성물 1 을 조성물 2 ∼ 6 으로 한 것 이외는, 감광성 수지 적층체 (1) 와 동일하게 제조하여, 감광성 수지 적층체 (2 ∼ 6) 를 얻었다. 상기 감광성 수지 적층체 (1) 에 있어서, 조성물 1 을 조성물 7 ∼ 10 으로 하고, 감광성 수지층의 두께를 10 ㎛ 로 한 것 이외는, 감광성 수지 적층체 (1) 와 동일하게 제조하여, 감광성 수지 적층체 (7 ∼ 10) 를 얻었다.

＜감광성 수지 적층체 롤의 제작＞

링상 시트는, 표 3 ∼ 표 5 에 나타내는 시트를 사용했다. 링상 시트의 아크릴 수지를 함유하는 점착제 조성물은, 특별히 설명이 없는 경우, 에리에루택크 NS80/SBG85S/재박리 (에리에루 탁셀 주식회사 제조) 의 점착제 조성물을 그대로 사용했다.

샘플 F 및 G 에 대해서는 점착제 조성물은 이하와 같이 하여 조정했다. 즉, 표 2 에 기재된 B-1 및 M-8 을 고형분비로 45 ： 55 및 40 ： 60 이 되도록 배합하여 기재에 건조 후의 막두께가 15 ㎛ 가 되도록 도포 건조시켜 조정했다.

감광성 수지 적층체 (1) 를 폭 495 mm 로 슬릿하고, 내경 77 mm, 외경 88 mm, 길이 530 mm 의 ABS 수지제 권심 (코어) 에 300 m 감았다. 롤상으로 감겨진 감광성 수지 적층체의 외경은 180 mm 였다.

타단이 고정되어 수평으로 유지할 수 있도록 설계된 봉상의 스테인리스제 락 홀더에, 코어에 감겨져 롤상이 된 감광성 수지 적층체를 유지시켰다.

외주 500 mm, 길이 800 mm, 두께 80 ㎛ 의 원통형 차광성 폴리에틸렌 튜브로 롤상이 된 감광성 수지 적층체를 덮었다.

상기 차광성 폴리에틸렌 튜브로 덮인 롤상의 감광성 수지 적층체를 락 홀더로부터 떼어내고, 폭 330 mm 높이 100 mm 상부가 오목 형상으로 만곡하여 롤을 고정할 수 있도록 설계된 쿠션 위에 롤을 설치했다.

차광성 폴리에틸렌 튜브의 일단을 되접고, 롤상 감광성 수지 적층체의 단면을 노출시켜, 링상 시트를 장착했다. 다른 일단도 동일하게 하여 링상 시트를 장착하여, 감광성 수지 적층체 롤 (1) 을 제조했다.

차광성 폴리에틸렌 튜브를 코어 내에 끼워넣고, 중심부가 볼록 형상으로 코어와 끼워 맞추도록 설계된 코어 홀더를 장착하여, 감광성 수지 롤 (1) 을 곤포했다.

2. 평가 기준

이하의 평가 항목과 평가 기준으로 감광성 수지 적층체 롤을 평가하여 순위매김했다. 평가 결과를 표 3 ∼ 5 에 나타낸다.

(1) 이물질 제거성

감광성 수지 적층체 롤로부터 링상 시트를 박리하고, 이물질이 링상 시트에 부착되어 있는지 확인했다. 이하와 같이 순위 매김했다.

○ ： 이물질이 링상 시트에 부착되어 있었다. 롤 단면에 다른 점착 테이프를 첩부하여 박리했지만 이물질의 부착은 확인할 수 없었다.

△ ： 이물질이 링상 시트에 부착되어 있었지만, 롤 단면에 다른 점착 테이프를 첩부하여 박리한 결과 이 점착 테이프에도 이물질의 부착이 확인되었다.

× ： 이물질이 링상 시트에 부착되어 있지 않았다. 롤 단면에 다른 점착 테이프를 첩부하여 박리하자 이물질의 부착이 확인되었다.

(2) 링상 시트 장착성

상기 ＜감광성 수지 적층체 롤의 제작＞ 에 기재된 바와 같이 롤을 제작하고, 링상 필름을 롤 단면에 장착할 때의 장착성을 이하와 같이 순위 매김했다.

○ ： 링상 시트를 간단히 장착할 수 있었다. 롤 단면에 첩부할 때 주름 없이 첩부할 수 있었다.

△ ： 락 홀더 또는 권심에 링상 시트가 첩부되어, 장착에 시간을 필요로 했다. 롤 단면에 첩부할 때, 일부 주름이 발생하거나 공기가 들어갔다.

× ： 락 홀더 또는 권심에 링상 시트가 첩부되어, 장착에 시간을 필요로 했다. 원하지 않는 지점에 첩부된 링상 시트를 박리하여 재차 첩부할 때에, 링상 시트가 신장하여 변형되어 버리거나 찢어져 버려, 롤 단면에의 첩부가 곤란했다.

(3) 링상 시트의 포장재 첩부성

상기 ＜감광성 수지 적층체 롤의 제작＞ 에 기재된 바와 같이 롤을 제작한 후, 이것을 풀었다. 풀은 후도 장착 시와 동일하게 링상 시트가 단면에 장착되어 있는지 관찰하고, 이하와 같이 순위 매김했다.

○ ： 장착 시와 동일하게 장착되어 있다.

△ ： 롤을 풀 때에 링상 시트가 차광성 원통형 폴리에틸렌 시트에 첩부되어, 일부 단면으로부터 박리되어 있는 지점이 있다.

× ： 롤을 풀 때에 링상 시트가 차광성 원통형 폴리에틸렌 시트에 첩부되어, 차광성 원통형 폴리에틸렌 시트와 함께 박리되어 있다.

(4) 링상 시트의 제거성

상기 ＜감광성 수지 적층체 롤의 제작＞ 에 기재된 바와 같이 롤을 제작한 후, 이것을 풀고, 수지제 장갑을 낀 손으로 링상 시트를 박리했다. 박리 시의 작업성을 이하와 같이 순위 매김했다.

○ ： 링상 시트를 5 초 이내에 용이하게 박리할 수 있다.

△ ： 링상 시트의 박리에 5 초 이상 시간을 필요로 한다.

(5) 이물질 개수

상기 ＜감광성 수지 적층체 롤의 제작＞ 에 기재된 바와 같이 롤상의 감광성 수지 적층체를 14 개 제작했다. 모든 롤의 단면으로부터 이물질을 제거하고, 이 14 개 중에서 랜덤하게 롤 단면에 합계 4 지점 이물질을 부착시켰다. 그 후, 모든 롤에 링상 시트 장착하여 박리하고, 롤 단면에 부착되어 있는 이물질을 카운트했다.

감광성 수지 적층체 (1) 를 감광성 수지 적층체 (2 ∼ 6) 로 하고, 링상 시트에 샘플 B 를 사용한 것 이외는, 감광성 수지 적층체 롤 (1) 과 마찬가지로 감광성 수지 적층체 롤을 제작하고, 이것을 감광성 수지 적층체 롤 (2 ∼ 6) 로 했다. 감광성 수지 롤 (2 ∼ 6) 을 사용하여 (1) ∼ (5) 의 평가를 실시한 결과 감광성 수지 적층체 롤 (1) 을 사용한 경우와 동일한 결과를 얻을 수 있었다.

감광성 수지 적층체 (1) 를 감광성 수지 적층체 (7 ∼ 10) 로 하고, 링상 시트에 샘플 B 를 사용하고, 외경 180 mm 를 외경 176 mm 로 한 것 이외는, 감광성 수지 적층체 롤 (1) 과 마찬가지로 감광성 수지 적층체 롤을 제작하고, 이것을 감광성 수지 적층체 롤 (7 ∼ 10) 로 했다. 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 외경은 176 mm 였다. 감광성 수지 롤 (7 ∼ 10) 을 사용하여 (1) ∼ (5) 의 평가를 실시한 결과 감광성 수지 적층체 롤 (1) 을 사용한 경우와 동일한 결과를 얻을 수 있었다.

산업상 이용가능성

상기 서술한 감광성 수지 적층체 롤은, 롤을 풀 때에 용이하게 이물질이 제거되므로 정밀 기기, 전자 재료의 가공에 유용하고, 정밀 기기, 전자 재료에 삽입되는 영구 패턴으로서도 유용하다.

1 : 감광성 수지 적층체
2 : 권심
3 : 롤 단면 보호 부재 (링상 시트)
4 : 지지층
5 : 감광성 수지층
6 : 보호층
7 : 평판
8 : 고정 부재
9 : 차광 시트
10 : 감광성 수지 적층체 롤

Claims

감광성 수지 적층체가 권심에 롤상으로 권취되어 있고,
롤 단면 보호 부재가, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 배치된 감광성 수지 적층체 롤로서,
상기 롤 단면 보호 부재는, 롤 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고,
상기 감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 당해 지지층에 적층되는 감광성 수지층을 포함하는,
감광성 수지 적층체 롤.
제 1 항에 있어서,
차광 시트에 의해 덮이는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
제 2 항에 있어서,
상기 차광 시트가 통형상인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 권심의 길이가 상기 감광성 수지 적층체의 폭보다 길고,
상기 롤 단면 보호 부재는 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 구비되는 링상 시트이며, 당해 링상 시트가 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 구비되는 감광성 수지 적층체 롤.
제 4 항에 있어서,
상기 링상 시트의 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 단면 보호 부재와 저밀도 폴리에틸렌 필름의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 롤 단면 보호 부재의 기재가, 무발진지, 저발진지, 합성지, 또는 종이와 수지 기재를 첩합하여 이루어지는 것인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 감광성 수지층이, 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, 부가 중합성 모노머, 광 중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물로 이루어지는 층인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
제 9 항에 있어서,
상기 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자가, 스티렌 또는 그 유도체를 공중합한 것인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
상기 부가 중합성 모노머가, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광 중합 개시제가, 헥사아릴비이미다졸 또는 그 유도체를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 점착제 조성물이, 아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 점착제 조성물이, 점착제와 입자를 함유하고, 그 입자의 50 질량％ 이상은, 그 점착제 조성물의 도포 두께의 80 ∼ 120 ％ 의 직경을 갖는 것이며, 또한 그 입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤.
감광성 수지 적층체를 권심에 롤상으로 권취하고, 롤 단면 보호 부재를, 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 접촉하도록 구비하는 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법으로서,
당해 권심의 길이가 당해 감광성 수지 적층체의 폭보다 길고,
당해 감광성 수지 적층체는, 적어도 지지층과, 당해 지지층에 적층되는 감광성 수지층을 포함하고,
당해 롤 단면 보호 부재는,
롤 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고,
롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 일체 또는 복수의 부분으로 분할된 상태로 구비되고, 롤상으로 권취된 감광성 수지 적층체의 단면에 구비된 후는 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배의 링상 시트인 것을 특징으로 하는,
감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.
제 15 항에 있어서,
상기 링상 시트의 내경이 상기 권심의 외경의 1.001 ∼ 1.1 배이며, 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.
제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.
제 15 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 링상 시트와 저밀도 폴리에틸렌 필름의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤의 제조 방법.
제 15 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 기재된 방법으로 감광성 수지 적층체 롤을 제조하고, 또한 통형상의 차광 시트에 의해 덮는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 적층체 롤의 곤포 방법.
필름이 권심에 롤상으로 권취되어 있는 필름 롤용의 링상 시트로서,
상기 권심의 길이는, 상기 필름의 폭보다 길고,
상기 링상 시트의 내경이 권심의 외경의 1 ∼ 1.1 배이며, 또한
상기 링상 시트는, 상기 권취된 필름의 단면에 접촉하고,
이 단면과 접촉하는 측에 점착제 조성물을 가지고 있고, 상기 권심의 돌출부를 삽입 통과하여 필름 롤에 구비되는,
링상 시트.
제 20 항에 있어서,
상기 필름은, 감광성 수지 적층체인 링상 시트.
제 20 항 또는 제 21 항에 있어서,
수평으로 돌출된 평판 상에, 상기 링상 시트를 그 반이 공중에 존재하도록 설치하고, 상기 링상 시트의 공중에 존재하는 부분에 있어서 평판으로부터 가장 떨어진 상기 링상 시트의 선단과, 평판의 상기 링상 시트와 접촉하고 있는 측의 면의 거리를 절곡 거리 H (mm) 로 하고, 상기 링상 시트의 외경의 반을 R (mm) 로 했을 때, H/R 이 0.06 ∼ 0.59 인 것을 특징으로 하는 링상 시트.
제 20 항 내지 제 22 항 중 어느 한 항에 있어서,
저밀도 폴리에틸렌 필름과의 접착력이, 5 gf/inch ∼ 250 gf/inch 인 것을 특징으로 하는 링상 시트.
제 20 항 내지 제 23 항 중 어느 한 항에 있어서,
무발진지, 저발진지, 합성지, 또는 종이와 수지 기재를 첩합하여 이루어지는 것인 기재를 갖는 것을 특징으로 하는 링상 시트.
제 21 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 감광성 수지층이, 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자, 부가 중합성 모노머, 광 중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물로 이루어지는 층인 것을 특징으로 하는 링상 시트.
제 25 항에 있어서,
상기 카르복실기를 함유하는 알칼리 가용성 고분자가, 스티렌 또는 그 유도체를 공중합한 것인 것을 특징으로 하는 링상 시트.
제 25 항 또는 제 26 항에 있어서,
상기 부가 중합성 모노머가, 비스페놀 A 계 (메트)아크릴레이트 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 링상 시트.
제 25 항 내지 제 27 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광 중합 개시제가, 헥사아릴비이미다졸 또는 그 유도체를 함유하는 것을 특징으로 하는 링상 시트.
제 20 항 내지 제 28 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 점착제 조성물이, 아크릴계 수지를 함유하는 것을 특징으로 하는 링상 시트.
제 20 항 내지 제 29 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 점착제 조성물이, 점착제와 입자를 함유하고, 그 입자의 50 질량％ 이상은, 그 점착제 조성물의 도포 두께의 80 ∼ 120 ％ 의 직경을 갖는 것이며, 또한 그 입자의 함유량은, 점착제 100 중량부에 대해 5 중량부 내지 30 중량부인 것을 특징으로 하는 링상 시트.
제 20 항 내지 제 30 항 중 어느 한 항에 있어서,
차광 시트에 의해 덮인 링상 시트를 구비한 필름 롤.