TWI611990B - 感光性樹脂積層體輥、感光性樹脂積層體輥之製造方法、感光性樹脂積層體輥之捆包方法、環狀片材及膜輥 - Google Patents

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Abstract

本發明係提供一種於解捆時可自感光性樹脂積層體輥端面簡單地去除異物之感光性樹脂積層體輥。該感光性樹脂積層體輥係將感光性樹脂積層體捲取於卷芯上而成為輥狀、且以與經捲取之感光性樹脂積層體之端面接觸之方式配置輥端面保護構件者，且輥端面保護構件於與輥端面接觸之側具有黏著劑組合物，感光性樹脂積層體至少包含支持層、及積層於支持層上之感光性樹脂層。

Description

感光性樹脂積層體輥、感光性樹脂積層體輥之製造方法、感光性樹脂積層體輥之捆包方法、環狀片材及膜輥
本發明係關於一種感光性樹脂積層體輥。
先前，作為感光性元件之捆包，揭示有若干之態樣。例如揭示有為了保護輥端面而配置有端面保護構件之捆包(專利文獻1)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2005-41537號公報
本發明所欲解決之問題在於提供一種於解捆時可自感光性樹脂積層體輥端面簡單地去除異物之感光性樹脂積層體輥。
上述課題可藉由本發明之以下之構成而解決。即，本發明係如下所述：
[1]
一種感光性樹脂積層體輥，其係將感光性樹脂積層體捲取於卷芯上而成為輥狀、且以與經捲取之感光性樹脂積層體之端面接觸之方式配置有輥端面保護構件者，且上述輥端面保護構件於與輥端面接觸之側具有黏著劑組合物， 上述感光性樹脂積層體至少包含支持層、及積層於該支持層上之感光性樹脂層。
[2]
如[1]之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：藉由遮光片材進行包覆。
[3]
如[2]之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：上述遮光片材為筒狀。
[4]
如[1]至[3]中任一項之感光性樹脂積層體輥，其中上述卷芯之長度長於上述感光性樹脂積層體之寬度，上述輥端面保護構件係配備於捲取成輥狀之感光性樹脂積層體之端面之環狀片材，且插通上述卷芯之伸出部而配備該環狀片材。
[5]
如[4]之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：上述環狀片材之內徑為卷芯之外徑之1~1.1倍。
[6]
如[4]或[5]之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：於將上述環狀片材以使其一半存在於空中之方式設置於水平伸出之平板上，將上述環狀片材之存在於空中之部分中距離平板最遠之上述環狀片材之前端、與平板之與上述環狀片材接觸之側之面的距離設為彎折距離H(mm)，將上述環狀片材之外徑之一半設為R(mm)時，H/R為0.06~0.59。
[7]
如[1]至[6]中任一項之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：上述端面保護構件與低密度聚乙烯膜之接著力為5gf/inch~250gf/inch。
[8]
如[1]至[7]中任一項之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：上述輥端面保護構件之基材為無揚塵紙、低揚塵紙、合成紙、或將紙與樹脂基材貼合而成者。
[9]
如[1]至[8]中任一項之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：上述感光性樹脂層為包含如下感光性樹脂組合物之層，該感光性樹脂組合物包含含有羧基之鹼溶性高分子、加成聚合性單體、光聚合起始劑。
[10]
如[9]之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：上述含有羧基之鹼溶性高分子為使苯乙烯或其衍生物共聚合而成者。
[11]
如[9]或[10]之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：上述加成聚合性單體包含雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物。
[12]
如[9]至[11]中任一項之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：上述光聚合起始劑包含六芳基聯咪唑或其衍生物。
[13]
如[1]至[12]中任一項之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：上述黏著劑組合物包含丙烯酸系樹脂。
[14]
如[1]至[13]中任一項之感光性樹脂積層體輥，其特徵在於：上述黏著劑組合物含有黏著劑與粒子，該粒子之50質量%以上為具有該黏著劑組合物之塗佈厚度之80~120%之直徑者，且該粒子之含量相對於黏著劑100重量份為5重量份至30重量份。
[15]
一種感光性樹脂積層體輥之製造方法，其特徵在於：其係將感光性樹脂積層體捲取於卷芯上而成為輥狀、且以與經捲取之感光性樹脂積層體之端面接觸之方式配備輥端面保護構件的感光性樹脂積層體輥之製造方法，且該卷芯之長度長於該感光性樹脂積層體之寬度，該感光性樹脂積層體至少包含支持層、及積層於該支持層上之感光性樹脂層，該輥端面保護構件係於與輥端面接觸之側具有黏著劑組合物，以一體或被分割成複數個部分之狀態配備於捲取成輥狀之感光性樹脂積層體之端面，且配備於捲取成輥狀之感光性樹脂積層體之端面後內徑為卷芯之外徑之1~1.1倍的環狀片材。
[16]
如[15]之感光性樹脂積層體輥之製造方法，其特徵在於：上述環狀片材之內徑為上述卷芯之外徑之1.001~1.1倍，且插通上述卷芯之伸出部而配備。
[17]
如[15]或[16]之感光性樹脂積層體輥之製造方法，其特徵在於：於將上述環狀片材以使其一半存在於空中之方式設置於水平伸出之平板上，將上述環狀片材之存在於空中之部分中距離平板最遠之上述環狀片材之前端、與平板之與上述環狀片材接觸之側之面的距離設為彎折距離H(mm)，將上述環狀片材之外徑之一半設為R(mm)時，H/R為0.06~0.59。
[18]
如[15]至[17]中任一項之感光性樹脂積層體輥之製造方法，其特徵在於：上述環狀片材與低密度聚乙烯膜之接著力為5gf/inch~250 gf/inch。
[19]
一種感光性樹脂積層體輥之捆包方法，其特徵在於：利用如[15]至[18]中任一項之方法製造感光性樹脂積層體輥，進而藉由筒狀之遮光片材進行包覆。
[20]
一種環狀片材，其係將膜捲取於卷芯上而成為輥狀之膜輥用者，且上述卷芯之長度長於上述膜之寬度，上述環狀片材之內徑為卷芯之外徑之1~1.1倍，且上述環狀片材接觸於上述經捲取之膜之端面，於與該端面接觸之側具有黏著劑組合物，且插通上述卷芯之伸出部而配備於膜輥上。
[21]
如[20]之環狀片材，其中上述膜為感光性樹脂積層體。
[22]
如[20]或[21]之環狀片材，其特徵在於：於將上述環狀片材以使其一半存在於空中之方式設置於水平伸出之平板上，將上述環狀片材之存在於空中之部分中距離平板最遠之上述環狀片材之前端、與平板之與上述環狀片材接觸之側之面的距離設為彎折距離H(mm)，將上述環狀片材之外徑之一半設為R(mm)時，H/R為0.06~0.59。
[23]
如[20]至[22]中任一項之環狀片材，其特徵在於：與低密度聚乙烯膜之接著力為5gf/inch~250gf/inch。
[24]
如[20]至[23]中任一項之環狀片材，其特徵在於：具有為無揚塵紙、低揚塵紙、或將紙與樹脂基材貼合而成者之基材。
[25]
如[21]至[24]中任一項之環狀片材，其特徵在於：上述感光性樹脂層為包含如下感光性樹脂組合物之層，該感光性樹脂組合物包含含有羧基之鹼溶性高分子、加成聚合性單體、光聚合起始劑。
[26]
如[25]之環狀片材，其特徵在於：上述含有羧基之鹼溶性高分子為使苯乙烯或其衍生物共聚合而成者。
[27]
如[25]或[26]之環狀片材，其特徵在於：上述加成聚合性單體包含雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物。
[28]
如[25]至[27]中任一項之環狀片材，其特徵在於：上述光聚合起始劑包含六芳基聯咪唑或其衍生物。
[29]
如[20]至[28]中任一項之環狀片材，其特徵在於：上述黏著劑組合物包含丙烯酸系樹脂。
[30]
如[20]至[29]中任一項之環狀片材，其特徵在於：上述黏著劑組合物含有黏著劑與粒子，該粒子之50質量%以上為具有該黏著劑組合物之塗佈厚度之80~120%之直徑者，且該粒子之含量相對於黏著劑100重量份為5重量份至30重量份。
[31]
一種膜輥，其係藉由遮光片材進行包覆且配備有如[20]至[30]中任一項之環狀片材。
若使用本發明之感光性樹脂積層體輥，則於解捆時可自感光性 樹脂積層體輥端面簡單地去除異物。
1‧‧‧感光性樹脂積層體
2‧‧‧卷芯
3‧‧‧輥端面保護構件(環狀片材)
4‧‧‧支持層
5‧‧‧感光性樹脂層
6‧‧‧保護層
7‧‧‧平板
8‧‧‧固定構件
9‧‧‧遮光片材
10‧‧‧感光性樹脂積層體輥
H‧‧‧彎折距離
R‧‧‧環狀片材之外徑之一半
圖1係將感光性樹脂積層體捲取於卷芯上而成為輥狀、且以與經捲取之感光性樹脂積層體之端面接觸之方式配置有輥端面保護構件的感光性樹脂積層體輥之一態樣之概略圖。
圖2係表示彎折距離H與環狀片材之外徑之一半R之圖。
圖3表示藉由筒狀之遮光片材進行包覆之感光性樹脂積層體輥之一態樣之概略圖。
以下詳細地說明用以實施本發明之最佳之形態(以下簡記為「實施形態」)。再者，本發明並不限定於以下之實施形態，可於其主旨之範圍內進行各種變形而實施。
感光性樹脂積層體輥係將長條狀(帶狀)之感光性樹脂積層體沿其長度方向捲取於卷芯上、且以與經捲取之感光性樹脂積層體之端面(上述帶狀之感光性樹脂積層體之寬度方向端部側)接觸之方式配置有輥端面保護構件的感光性樹脂積層體輥。
圖1表示上述感光性樹脂積層體輥10之一態樣之概略圖。此處，感光性樹脂積層體1包含支持層4、積層於該支持層上之感光性樹脂層5、及隨意之保護層6，該積層體1被捲取於卷芯2上。並且，以與該經捲取之感光性樹脂積層體之兩端面接觸之方式配置有輥端面保護構件3。此處，輥端面保護構件3係表現為環狀片材之形態。
(感光性樹脂積層體)
感光性樹脂積層體至少包含支持層、及積層於該支持層上之感光性樹脂層，較佳為進而包含積層於感光性樹脂層上之保護層。感光性樹脂積層體亦包含稱為乾膜抗蝕劑、乾膜光阻之感光性膜。
支持層只要為支持感光性樹脂層者即可。作為所使用之支持 層，較佳為使自曝光光源放射之光透過之透明者。作為上述支持層，可舉出：聚對苯二甲酸乙二酯膜、聚乙烯醇膜、聚氯乙烯膜、氯乙烯共聚物膜、聚偏二氯乙烯膜、偏二氯乙烯共聚合膜、聚甲基丙烯酸甲酯共聚物膜、聚苯乙烯膜、聚丙烯腈膜、苯乙烯共聚物膜、聚醯胺膜、纖維素衍生物膜等。該等膜亦可使用視需要經延伸者。就解像度之觀點而言，較佳為霧值為5以下之膜。更佳為霧值3以下，進而較佳為霧值2.5以下，進而更佳為霧值1以下。關於支持層之厚度，較薄者於圖像形成性及經濟性之方面有利，但就需要維持感光性樹脂組合物層之塗佈時之熱收縮等而言，可較佳地使用10~30μm者。例如可舉出：杜邦帝人薄膜(Teijin Dupont Films)(股)製造之GR19、GR16，三菱樹脂(股)製造之R310-16、R340G16，東麗聚酯薄膜(TORAY Polyester Film)(股)製造之FB40(膜厚16μm)、FB60(膜厚16μm)等。
保護層由於與感光性樹脂層之密接力充分小於支持層，因此可容易地剝離。例如可較佳地使用聚乙烯膜、及聚丙烯膜、延伸聚丙烯膜等作為保護層。又，可使用日本專利特開昭59-202457號公報所揭示之剝離性優異之膜。保護層之膜厚較佳為10~100μm，更佳為10~50μm。例如可舉出TAMAPOLY(股)製造之GF-18、GF-818、GF-858等。
感光性樹脂層可將感光性樹脂組合物塗佈於支持層上並加以乾燥而進行積層。感光性樹脂層之厚度較佳為5~100μm，更佳之上限為50μm。感光性樹脂層之厚度越接近5μm，解像度越提高，越接近100μm，膜強度越提高，因此可根據用途適當選擇。
作為製造感光性樹脂積層體之方法，可採用先前已知之方法。例如將用於感光性樹脂層之感光性樹脂組合物與溶劑進行混合而準備感光性樹脂組合物調和液，使用棒式塗佈機或輥式塗佈機將上述調和液塗佈於支持層上並使之乾燥，而於支持層上積層包含該感光性樹脂 組合物之感光性樹脂層。感光性樹脂組合物調和液較佳為於25℃下以成為500~4000mPa．秒之方式添加溶劑而進行調和。就感光性樹脂組合物調和液黏度、乾燥性、殘存溶劑量、塗佈性、發泡性之觀點而言，溶劑可適當選用甲基乙基酮、丙酮、乙醇、甲醇、丙醇、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、甲苯等。繼而，於該感光性樹脂層上積層保護層，藉此可製作感光性樹脂積層體。
感光性樹脂積層體係以長條狀捲取於卷芯上而成為輥狀加以使用。捲取長度並無特別限定，就輥之重量與易操作性之觀點而言，較佳為320m以下。由於若可利用1根感光性樹脂積層體輥進行層壓之基材較多則效率良好，故而就生產性之觀點而言，捲取長度較佳為100m以上。
(卷芯)
卷芯有時亦稱為芯。其形狀並無特別限定，可為圓筒狀，亦可為圓柱狀。感光性樹脂積層體係作為蝕刻或電鍍阻劑、進而永久圖案而用於電子材料，因此較佳為實施有不會揚塵之處理者，較佳為塑膠樹脂製。塑膠樹脂之素材較佳為較輕、強度優異、不會揚塵者。可使用聚丙烯(PP)樹脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)樹脂、尼龍樹脂、聚氯乙烯樹脂等，較佳為ABS樹脂。卷芯之直徑並無特別限定，於將感光性樹脂積層體輥安裝於貼合機之情形時，較佳為2~5英吋、更佳為3英吋之直徑以可安裝於裝置上。卷芯之長度(於使用圓筒狀、或圓柱狀之卷芯之情形時為其軸方向長度)與感光性樹脂積層體之寬度相比，可相同或亦可較短，但較佳為大於感光性樹脂積層體之寬度之長度以於捲取感光性樹脂積層體時可於兩側確保適度之伸出部。由於可以插通該伸出部之方式安裝環狀片材，故而較佳。又，亦可於該伸出部嵌合稱為芯座(core holder)之軸承，並以懸吊狀態進行保管以使感光性樹脂積層體輥不會移動。
(輥端面保護構件)
輥端面保護構件係以與經捲取之感光性樹脂積層體之端面接觸之方式配置。其形狀並無特別限定，只要為以一定之面積接觸於端面而被覆保護輥端面之至少一部分者則無妨，其中，較佳為以與經捲取之感光性樹脂積層體之端面接觸之方式插通卷芯之伸出部而配置的環狀片材。進而，較佳為具有可實質上覆蓋感光性樹脂積層體輥之幾乎整個端面之大小之寬度的環狀。輥端面保護構件可僅用於經捲取之感光性樹脂積層體之一端，較佳為用於兩端。
於輥端面保護構件為環狀片材之情形時，其環內徑較佳為略大於卷芯之外徑以可插通卷芯而使用。又，藉由使環狀片材之中心與卷芯之中心略微偏離，而環狀片材之外周自捲取成輥狀之感光性樹脂積層體之外周略微露出。藉此易於卸除環狀片材，因此較佳為略大於卷芯之外徑。具體而言，環內徑為卷芯之外徑之1.001倍以上時，於安裝時不會緊貼於卷芯上，故而較佳。更佳為1.005倍以上，進而較佳為1.01倍以上。就保護整個輥端面、去除異物之觀點而言，環內徑較佳為卷芯之外徑之1.1倍以下，更佳為1.05倍以下，進而較佳為1.03倍以下。
環外徑較佳為捲取成輥狀之感光性樹脂積層體之外徑之0.99倍以上、更佳為1倍以上以可覆蓋感光性樹脂積層體輥之端面。又，就抑制附著於包覆感光性樹脂積層體輥之遮光性圓筒狀管等捆包材之觀點而言，環外徑較佳為感光性樹脂積層體輥之外徑之1.1倍以下，更佳為1.05倍以下，進而較佳為1.03倍以下。
輥端面保護構件之基材可舉出：聚酯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚苯硫醚、聚丙烯、尼龍，分別未經延伸、經延伸、經雙軸延伸者；以及低密度聚乙烯、高密度聚乙烯、硬質聚氯乙烯、軟質聚氯乙烯、塞璐芬(cellophane)、乙酸酯、三乙酸纖維素、聚苯乙烯、聚碳酸 酯、聚醯亞胺等塑膠樹脂；以及經防揚塵處理之紙、經防揚塵處理之道林紙、無塵紙；以及將紙與上述塑膠樹脂貼合而成者、合成紙等。感光性樹脂積層體係作為蝕刻或電鍍阻劑、進而永久圖案而用於電子材料，因此較佳為實施有不會揚塵之處理者。就靜電之產生較少、對端面之追隨性良好且異物去除性優異且安裝性亦優異之觀點而言，基材較佳為將經防揚塵處理之紙、經防揚塵處理之道林紙、無塵紙、及將紙與上述塑膠樹脂貼合而成者、合成紙作為素材。合成紙較佳為以聚丙烯為主原料者。
於基材為經防揚塵處理之紙、經防揚塵處理之道林紙、無塵紙、及將紙與上述塑膠樹脂貼合而成者之情形時，基材之厚度較佳為50~500μm。就安裝性之觀點而言，較佳為50μm以上，就對端面之追隨性、異物去除性之觀點而言，較佳為500μm以下。更佳為60~200μm，進而較佳為60~150μm。
關於輥端面保護構件，就脫模性、防污性之觀點而言，表面亦可經壓紋加工。輥端面保護構件於與感光性樹脂積層體輥之端面接觸之側具有黏著劑組合物。輥端面保護構件較佳為俯視為圓形之環狀片材。
上述環狀片材較佳為於將上述環狀片材以使其一半存在於空中之方式設置於水平伸出之平板上，將上述環狀片材之存在於空中之部分中距離平板最遠之上述環狀片材之前端、與平板之與上述環狀片材接觸之側之面的距離設為彎折距離H(mm)，將上述環狀片材之外徑之一半設為R(mm)時，H/R為0.06~0.59。就環狀片材之輥端面安裝性之觀點而言，較佳為0.59以下。更佳為0.5以下，進而較佳為0.45以下。就對輥端面之追隨性與異物去除性之觀點而言，較佳為0.06以上。更佳為0.1以上，進而較佳為0.15以上。
彎折距離H之測定方法如下所述。首先，如圖2所示般於實質上 沿水平方向(與鉛垂方向垂直之方向)伸出之實質性之平板7上設置環狀片材3。此時使具備黏著劑之面朝上以使環狀片材3不會貼附於平板7。以使環狀片材3之一半存在於空中、亦即使環狀片材3之中心達至存在於平板之端部之實質上直線狀之端邊上的方式固定環狀片材。固定時，亦可利用如圖2所示之固定構件8進行固定。此時，使環狀片材3不要受到重力以外之影響而翹曲或彎折。利用L字型規尺對環狀片材之存在於空中之部分(自端部露出之部分)中距離平板之端邊最遠之環狀片材之前端、與平板之與環狀片材接觸之面所形成之假想面的鉛垂方向距離進行測定。測定地點設為靜岡縣富士市。
(黏著劑組合物)
黏著劑組合物可以剝離輥端面保護構件時於感光性樹脂膜端面無糊劑殘留，且剝離輥端面保護構件時於輥端面保護構件無感光性樹脂之附著的方式選用公知之黏著劑組合物。
其中，就異物去除性與脫模性之觀點而言，較佳為包含丙烯酸系樹脂。進而，就可高度兼具異物去除性與脫模性之觀點而言，較佳為如下情形：感光性樹脂組合物為包含含有羧基之鹼溶性高分子、加成聚合性單體、光聚合起始劑之感光性樹脂組合物，且黏著劑組合物包含丙烯酸系樹脂。
黏著劑組合物較佳為含有粒子，較佳為該粒子之50質量%以上為具有該黏著劑組合物之塗佈厚度之80~120%之直徑者，且該粒子之含量相對於黏著劑100重量份為5重量份至30重量份。再者，粒子之直徑係藉由顯微鏡觀察，針對任意100個粒子觀察其最大直徑，算出其平均值。
關於粒子之直徑，就脫模性之觀點而言，較佳為80%以上，就黏著性之觀點而言，較佳為120%以下。更佳為90~110%，進而較佳為100%。
粒子通常於理論上可為單一粒度者，但實際上大多難以獲得。較佳為粒度分佈儘可能較窄、即具有陡峭之粒度曲線者。
較佳為黏著劑總量之50質量%以上為該黏著劑之塗佈厚度之80~120%之直徑。就脫模性與黏著性之平衡性之觀點而言，更佳為70質量%以上，進而較佳為80質量%以上。
粒子之含量較佳為相對於黏著劑100重量份為5重量份至30重量份。就貼附之情形時的空氣之泡之逃逸性之觀點而言，較佳為5重量份以上，就接著性之觀點而言，較佳為30以下。更佳為10重量份至25重量份。於粒子之材質為玻璃之情形時，較佳為15~30重量份，於塑膠製之情形時，較佳為5~25重量份。
粒子之材質較佳為塑膠、無機材。作為塑膠，可舉出：聚甲基丙烯酸酯系、聚甲基丙烯酸乙二酯系、聚苯乙烯系、聚苯乙烯丙烯酸系、聚乙烯系、聚丙烯系、聚苯乙烯-丁二烯系、聚苯乙烯-二乙烯苯系、聚胺基甲酸酯系、聚苯并胍胺系、三聚氰胺系。作為無機材，可舉出：玻璃、二氧化矽(矽酸鹽礦物)、碳酸鈣。
黏著劑之接著力可藉由降低組合物整體之軟化溫度或提高樹脂成分之極性而提高。
作為端面保護構件與低密度聚乙烯膜之接著力，就異物去除性與安裝性之觀點而言，較佳為5gf/inch~250gf/inch，更佳為50gf/inch~240gf/inch。
再者，該接著力係以如下方式進行測定。即，利用手壓輥於端面保護構件之形成有黏著劑組合物之層之面貼附低密度聚乙烯膜(LDPE)片材。低密度聚乙烯膜係使用TAMAPOLY股份有限公司製造之GF-858。切割成寬度1inch、長度15cm之短條狀，於相對濕度50%、23℃下進行11小時之調濕。利用Orientec股份有限公司製造之Tensilon RTM-500於荷重元1kg下以拉伸速度100mm/min進行拉伸試 驗。此時，以Tensilon之下部夾緊(固定)樣品之端面保護構件，以拉伸部夾緊(固定)低密度聚乙烯膜，進行拉伸試驗。拉伸試驗中，於伸長10mm至50mm之區間取荷重之積分平均值，取試驗次數2次之平均值，將其設為接著性之值。
(感光性樹脂積層體輥之製造方法)
就抑制異物之附著與輸送時之感光之觀點而言，感光性樹脂積層體輥較佳為利用遮光片材進行包覆。遮光片材亦可稱為遮光性膜。遮光片材可以將其捲繞於感光性樹脂積層體輥上之方式進行包覆。如圖3所示，於遮光片材9為筒狀之情形時，可藉由將感光性樹脂輥1插入筒內而進行包覆，因此較佳。進而，於筒之長度長於感光性樹脂積層體輥1之卷芯2之情形時，如圖3所示，可藉由將長於卷芯2之部分折入卷芯內部而進一步抑制異物之附著與感光，因此較佳。
就可保護感光性樹脂積層體輥免受例如來自與輕量之掉落物之接觸或與捆包容器之輕微接觸之損傷之觀點而言，遮光片材較佳為聚乙烯製。關於膜厚，就維持適度之強度、抑制針孔之觀點而言，較佳為10μm以上，就操作性之觀點而言，較佳為300μm以下。更佳為20~200μm，進而較佳為30~130μm。為了提高遮光性，較佳為黑色。
感光性樹脂積層體輥較佳為藉由形成有如與上述卷芯嵌合之凸部之稱為芯座之一對構件懸吊地固定。藉由以懸吊之方式進行固定，而可防止於輸送時感光性樹脂積層體與捆包容器之底面壁面接觸。作為芯座，例如可舉出日本專利特開2004-42952及日本專利特開2003-89477中記載者。
於利用遮光片材包覆感光性樹脂積層體輥之情形時，若將遮光片材之長於卷芯之部分折入卷芯內，以隔著該折入部分之方式進而安裝芯座，則可抑制異物之附著與感光，因此較佳。
(感光性樹脂組合物)
感光性樹脂組合物較佳為包含(a)含有羧基之鹼溶性高分子、(b)加成聚合性單體、(c)光聚合起始劑。
就於將環狀片材自輥端面剝離時輥端面之糊劑殘留較少、感光性樹脂組合物於環狀片材上之附著亦變少之觀點而言，感光性樹脂組合物較佳為包含上述(a)~(c)。
(a)含有羧基之鹼溶性高分子
(a)含有羧基之鹼溶性高分子較佳為將含α,β-不飽和羧基之單體作為聚合成分，鹼溶性高分子之酸當量為100~600，且重量平均分子量為5,000~500,000。含有羧基之鹼溶性高分子中之羧基係用以使感光性樹脂組合物對包含鹼性水溶液之顯影液或剝離液具有顯影性或剝離性所必需。所謂酸當量，係指其中具有1當量之羧基之鹼溶性高分子之質量。酸當量之更佳之下限為250，又，更佳之上限為450。關於(a)含有羧基之鹼溶性高分子之酸當量，就耐顯影性提高、解像度及密接性提高之方面，進而就確保與溶劑或感光性樹脂組合物中之其他成分、尤其是後述(b)加成聚合性單體的相溶性之觀點而言，較佳為100以上，就顯影性及剝離性提高之方面而言，較佳為600以下。酸當量之測定係使用平沼產業(股)製造之平沼自動滴定裝置(COM-555)，使用0.1mol/L之氫氧化鈉，藉由電位差滴定法而進行。
(a)含有羧基之鹼溶性高分子之重量平均分子量較佳為5,000~500,000。關於重量平均分子量，就將感光性樹脂積層體之厚度維持為均勻且獲得對顯影液之耐性之觀點，進而就抑制邊緣熔融之方面而言，較佳為5,000以上，又，就維持顯影性之觀點而言，較佳為500,000以下。所謂邊緣熔融，係指於將感光性樹脂積層體捲取成輥狀之情形時感光性樹脂組合物自輥端面滲出的現象。存在所滲出之感光性樹脂組合物於輥狀態下經由支持層保護層而與自鄰接之另一層感光性樹脂層所滲出之感光性樹脂組合物黏連的情況。存在黏連之感光 性樹脂組合物、即邊緣熔融之感光性樹脂組合物於解開輥狀之感光性樹脂積層體而層壓時自端面剝離而成為抗蝕劑碎片飛散的情況。若抗蝕劑碎片附著於層壓後之基板，則其會再次附著於曝光用之掩膜，經曝光而硬化，於負型抗蝕劑之情形時遮擋曝光，導致圖案之缺損。
更佳為(a)含有羧基之鹼溶性高分子之重量平均分子量之下限為20,000，(a)含有羧基之鹼溶性高分子之重量平均分子量之上限為250,000。本說明書中之所謂重量平均分子量，意指藉由凝膠滲透層析法(GPC)使用聚苯乙烯(昭和電工(股)製造之Shodex STANDARD SM-105)之校準曲線所測得之重量平均分子量。
(a)含有羧基之鹼溶性高分子之重量平均分子量可使用日本分光(股)製造之凝膠滲透層析儀，於以下之條件下進行測定：示差折射儀：RI-1530
泵：PU-1580
除氣器：DG-980-50
管柱烘箱：CO-1560
管柱：依序為KF-8025、KF-806M×2、KF-807
溶離液：THF(tetrahydrofuran，四氫呋喃)。
(a)含有羧基之鹼溶性高分子較佳為包含選自後述第一或第二單體中之1種以上之單體作為成分之(共)聚合物。
第一單體為分子中具有1個聚合性不飽和基之羧酸或酸酐。例如可舉出：(甲基)丙烯酸、反丁烯二酸、桂皮酸、丁烯酸、伊康酸、順丁烯二酸酐、順丁烯二酸半酯。其中，尤佳為(甲基)丙烯酸。
第二單體為非酸性且分子中具有至少1個聚合性不飽和基之單體。例如可舉出：(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲 基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸苄酯、乙酸乙烯酯等乙烯醇之酯類、(甲基)丙烯腈、苯乙烯、及可聚合之苯乙烯衍生物。其中，較佳為(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、苯乙烯、及(甲基)丙烯酸苄酯，就解像度之觀點而言，尤佳為使用苯乙烯。
(a)含有羧基之鹼溶性高分子較佳為藉由如下方式合成：於混合上述單體並利用溶劑、例如丙酮、甲基乙基酮、或異丙醇進行稀釋而成之溶液中添加適量之自由基聚合起始劑、例如過氧化苯甲醯、偶氮異丁腈，進行加熱攪拌。亦存在一面將混合物之一部分滴入反應液一面進行合成之情況。亦存在反應結束後進而添加溶劑而調整為所期望之濃度之情況。作為合成手段，除溶液聚合以外，亦可使用塊狀聚合、懸浮聚合、或乳化聚合。
尤佳之(a)含有羧基之鹼溶性高分子係第一單體與第二單體之共聚合比率為第一單體為10~60質量%、第二單體為40~90質量%者，進而更佳為第一單體為15~35質量%、第二單體為65~85質量%。
作為(a)含有羧基之鹼溶性高分子之更具體之例，可舉出：包含甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸及苯乙烯作為共聚合成分之聚合物，包含甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸及丙烯酸正丁酯作為共聚合成分之聚合物，及包含甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸甲酯及丙烯酸2-乙基己酯作為共聚合成分之聚合物等。
感光性樹脂組合物中之(a)含有羧基之鹼溶性高分子之含量係以感光性樹脂組合物之總固形物成分為基準而為20~90質量%之範圍，較佳為40~60質量%。關於(a)含有羧基之鹼溶性高分子之含量，就維持感光性樹脂組合物之鹼性顯影性，且藉由曝光、顯影所形成之抗蝕圖案具有作為抗蝕劑之特性、例如於蓋孔、蝕刻及各種鍍敷步驟中具有充分之耐性的觀點而言，較佳為20質量%以上，就硬化前之感光性 樹脂組合物、硬化後抗蝕圖案具有充分之柔軟性之觀點而言，較佳為90質量%以下。
(b)加成聚合性單體
(b)加成聚合性單體為分子內具有至少1個可聚合之乙烯性不飽和鍵之化合物。乙烯性不飽和鍵較佳為末端乙烯性不飽和基。進而就高解像性、邊緣熔融性及蓋孔性之觀點而言，作為(b)加成聚合性單體，較佳為使用至少1種雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物。
於本說明書中，所謂雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物，係指具有(甲基)丙烯醯基或源自(甲基)丙烯醯基之碳-碳不飽和雙鍵與源自雙酚A之-C6H4-C(CH3)2-C6H4-基的化合物。作為具體例，可舉出：於雙酚A之兩端分別加成平均2單元之環氧乙烷而成之聚乙二醇之二甲基丙烯酸酯(新中村化學工業(股)製造之NK Ester BPE-200)或於雙酚A之兩端分別加成平均5單元之環氧乙烷而成之聚乙二醇之二甲基丙烯酸酯(新中村化學工業(股)製造之NK Ester BPE-500)、於雙酚A之兩端分別加成平均6單元之環氧乙烷與平均2單元之環氧丙烷而成之聚伸烷基二醇之二甲基丙烯酸酯、於雙酚A之兩端分別加成平均15單元之環氧乙烷與平均2單元之環氧丙烷而成之聚伸烷基二醇之二甲基丙烯酸酯。
作為(b)加成聚合性單體，除上述化合物以外，亦可使用具有至少1個乙烯性不飽和基之既知之化合物。例如可舉出：4-壬基苯基七乙二醇二丙二醇丙烯酸酯、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、苯氧基六乙二醇丙烯酸酯、鄰苯二甲酸酐與丙烯酸2-羥基丙酯之半酯化合物與環氧丙烷之反應物(日本觸媒化學製造之商品名OE-A 200)、4-正辛基苯氧基五丙二醇丙烯酸酯、1,6-己二醇(甲基)丙烯酸酯、1,4-環己二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯等聚氧伸烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-二 (對羥基苯基)丙烷二(甲基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三縮水甘油醚三(甲基)丙烯酸酯、2,2-雙(4-甲基丙烯醯氧基五乙氧基苯基)丙烷、六亞甲基二異氰酸酯與九丙二醇單甲基丙烯酸酯之胺基甲酸酯化物等含有胺基甲酸酯基之多官能基(甲基)丙烯酸酯、異三聚氰酸酯化合物之多官能(甲基)丙烯酸酯等。該等可單獨使用，亦可將2種以上併用，亦可與雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物併用。
感光性樹脂組合物中之(b)加成聚合性單體之含量係以感光性樹脂組合物之總固形物成分為基準而為5~75質量%之範圍，更佳為15~70質量%。關於(b)加成聚合性單體之含量，就解像性、密接性及銅線之形成性之觀點而言，為5質量%以上，就硬化膜之柔軟性之觀點而言，為75質量%以下。
(c)光聚合起始劑
作為(c)光聚合起始劑，可適當使用通常用作感光性樹脂之光聚合起始劑者，可尤佳地使用六芳基雙咪唑(以下亦稱為三芳基咪唑基二聚物)。
作為三芳基咪唑基二聚物，例如可舉出：2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑基二聚物(以下亦稱為「2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基-1,1'-雙咪唑」)、2,2',5-三-(鄰氯苯基)-4-(3,4-二甲氧基苯基)-4',5'-二苯基咪唑基二聚物、2,4-雙-(鄰氯苯基)-5-(3,4-二甲氧基苯基)-二苯基咪唑基二聚物、2,4,5-三-(鄰氯苯基)-二苯基咪唑基二聚物、2-(鄰氯苯基)-雙-4,5-(3,4-二甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2-氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2,3-二氟甲基苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2,4-二氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3- 甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2,5-二氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2,6-二氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2,3,4-三氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2,3,5-三氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2,3,6-三氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2,4,5-三氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2,4,6-三氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2,3,4,5-四氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、2,2'-雙-(2,3,4,6-四氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物、及2,2'-雙-(2,3,4,5,6-五氟苯基)-4,4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑基二聚物。
尤其是2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑基二聚物為對解像性或硬化抗蝕膜之強度具有較高之效果的光聚合起始劑，可較佳地使用。該等可單獨使用，或者亦可將2種以上組合而使用。又，亦可與下述吖啶化合物、吡唑啉化合物等一併使用。
於較佳之實施形態中，使用吖啶化合物或吡唑啉化合物作為(c)光聚合起始劑。作為吖啶化合物，可舉出：吖啶、9-苯基吖啶、9-(4-甲苯基)吖啶、9-(4-甲氧基苯基)吖啶、9-(4-羥基苯基)吖啶、9-乙基吖啶、9-氯乙基吖啶、9-甲氧基吖啶、9-乙氧基吖啶、9-(4-甲基苯基)吖啶、9-(4-乙基苯基)吖啶、9-(4-正丙基苯基)吖啶、9-(4-正丁基苯基)吖啶、9-(4-第三丁基苯基)吖啶、9-(4-乙氧基苯基)吖啶、9-(4-乙醯基苯基)吖啶、9-(4-二甲胺基苯基)吖啶、9-(4-氯苯基)吖啶、 9-(4-溴苯基)吖啶、9-(3-甲基苯基)吖啶、9-(3-第三丁基苯基)吖啶、9-(3-乙醯基苯基)吖啶、9-(3-二甲胺基苯基)吖啶、9-(3-二乙胺基苯基)吖啶、9-(3-氯苯基)吖啶、9-(3-溴苯基)吖啶、9-(2-吡啶基)吖啶、9-(3-吡啶基)吖啶、9-(4-吡啶基)吖啶。其中，較理想的是9-苯基吖啶。
作為吡唑啉化合物，較佳為1-苯基-3-(4-第三丁基-苯乙烯基)-5-(4-第三丁基-苯基)-吡唑啉、1-(4-(苯并
Figure TWI611990BD00001
唑-2-基)苯基)-3-(4-第三丁基-苯乙烯基)-5-(4-第三丁基-苯基)-吡唑啉、1-苯基-3-(4-聯苯基)-5-(4-第三丁基-苯基)-吡唑啉、1-苯基-3-(4-聯苯基)-5-(4-第三辛基-苯基)-吡唑啉。
作為上述以外之光聚合起始劑，例如可舉出：2-乙基蒽醌、八乙基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2，3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、1,4-萘醌、9,10-菲醌、2-甲基-1,4-萘醌、2,3-二甲基蒽醌、及3-氯-2-甲基蒽醌等醌類，二苯甲酮、米其勒酮[4,4'-雙(二甲胺基)二苯甲酮]、及4,4'-雙(二乙胺基)二苯甲酮等芳香族酮類，安息香、安息香乙醚、安息香苯醚、甲基安息香、及乙基安息香等安息香醚類，苯偶醯二甲基縮酮、苯偶醯二乙基縮酮、9-氧硫
Figure TWI611990BD00002
類與烷基胺基苯甲酸之組合、1-苯基-1,2-丙二酮-2-O-安息香肟、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(O-乙氧基羰基)肟等肟酯類。
再者，作為上述9-氧硫
Figure TWI611990BD00003
類與烷基胺基苯甲酸之組合，例如可舉出：乙基-9-氧硫
Figure TWI611990BD00004
與二甲胺基苯甲酸乙酯之組合、2-氯-9-氧硫
Figure TWI611990BD00005
與二甲胺基苯甲酸乙酯之組合、及異丙基-9-氧硫
Figure TWI611990BD00006
與二甲胺基苯甲酸乙酯之組合。又，亦可使用N-芳基胺基酸。作為N-芳基胺基酸之例，可舉出：N-苯基甘胺酸、N-甲基-N-苯基甘胺酸、N-乙基-N-苯基甘胺酸等。其中，尤佳為N-苯基甘胺酸。
感光性樹脂組合物中之(c)光聚合起始劑之含量係以感光性樹脂組合物之總固形物成分為基準而為0.01~30質量%之範圍，更佳之下限為0.05質量%，進而更佳之下限為0.1質量%，更佳之上限為15質量%，進而更佳之上限為10質量%。關於(c)光聚合起始劑之含量，就於藉由曝光之光聚合時獲得充分之感度之觀點而言，為0.01質量%以上，就於光聚合時使光充分地透至感光性樹脂組合物之底面(即距離光源較遠之部分)、獲得良好之解像性及密接性之觀點而言，為30質量%以下。
(e)其他添加劑
感光性樹脂組合物除上述(a)~(c)之成分以外亦可含有各種添加劑。具體而言，例如包含染料、顏料等著色物質。作為上述著色物質，例如可舉出：酞菁綠、結晶紫、甲基橙、尼祿藍2B、維多利亞藍、孔雀綠、鹼性藍20、鑽石綠等。
於含有上述著色物質之情形時，著色物質之添加量較佳為以感光性樹脂組合物之總固形物成分為基準而為0.001~1質量%。於著色物質之添加量為0.001質量%以上時，有操作性提高之效果，於為1質量%以下時，有維持保存穩定性之效果。
又，亦可使感光性樹脂組合物中含有發色劑以可藉由曝光而賦予可見影像。作為上述發色系染料，可舉出：隱色染料、或熒烷染料與鹵素化合物之組合。
例如，作為隱色染料，可舉出：三(4-二甲胺基-2-甲基苯基)甲烷[隱色結晶紫]、三(4-二甲胺基-2-甲基苯基)甲烷[隱色孔雀綠]、及熒烷染料。其中，於使用隱色結晶紫之情形時，對比度良好，故而較佳。
作為上述鹵素化合物，可舉出：溴戊烷、溴異戊烷、溴異丁烷、二溴乙烷、二苯溴代甲烷、二溴甲苯、二溴甲烷、三溴甲基苯基 碸、四溴化碳、磷酸三(2,3-二溴丙基)酯、三氯乙醯胺、碘戊烷、碘異丁烷、1,1,1-三氯-2,2-雙(對氯苯基)乙烷、六氯乙烷、氯化三
Figure TWI611990BD00007
化合物等。
於含有該等染料之情形時，感光性樹脂組合物中之染料之含量較佳為以感光性樹脂組合物之總固形物成分為基準而分別為0.1~10質量%。
進而，為了提高感光性樹脂組合物之熱穩定性及保存穩定性，較佳為使感光性樹脂組合物含有選自由自由基聚合抑制劑、或苯并三唑類及羧基苯并三唑類所組成之群中之至少1種以上之化合物。
作為上述自由基聚合抑制劑，例如可舉出：對甲氧基苯酚、對苯二酚、鄰苯三酚、萘胺、第三丁基兒茶酚、氯化亞銅、2,6-二第三丁基對甲酚、2,2'-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,2'-亞甲基雙(4-乙基-6-第三丁基苯酚)、亞硝基苯基羥基胺鋁鹽、二苯基亞硝基胺。
作為苯并三唑類，例如可舉出：1,2,3-苯并三唑、1-氯-1,2,3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)胺基亞甲基-1,2,3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)胺基亞甲基-1,2,3-甲苯基三唑、雙(N-2-羥基乙基)胺基亞甲基-1,2,3-苯并三唑。
作為羧基苯并三唑類，例如可舉出：4-羧基-1,2,3-苯并三唑、5-羧基-1,2,3-苯并三唑、(N,N-二丁基胺基)羧基苯并三唑、N-(N,N-二-2-乙基己基)胺基亞甲基羧基苯并三唑、N-(N,N-二-2-羥基乙基)胺基亞甲基羧基苯并三唑、N-(N,N-二-2-乙基己基)胺基伸乙基羧基苯并三唑。
自由基聚合抑制劑、苯并三唑類、及/或羧基苯并三唑類之合計添加量係以感光性樹脂組合物之總固形物成分為基準而較佳為0.001~3質量%，更佳之下限為0.05質量%，更佳之上限為1質量%。關於 該合計添加量，就對感光性樹脂組合物賦予保存穩定性之觀點而言，較佳為0.001質量%以上，就維持感度之觀點而言，較佳為3質量%以下。
感光性樹脂組合物中視需要亦可含有其他塑化劑。作為上述塑化劑，例如可舉出使雙酚A進行聚環氧烷改性而成之化合物。
除此以外，例如亦可使用聚氧乙烯山梨醇酐肉桂酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐油酸酯等山梨醇酐衍生物、聚乙二醇、聚丙二醇等聚伸烷基二醇類、鄰苯二甲酸二乙酯等鄰苯二甲酸酯類、鄰甲苯磺醯胺、對甲苯磺醯胺、檸檬酸三丁酯、檸檬酸三乙酯、乙醯基檸檬酸三乙酯、乙醯基檸檬酸三正丙酯、乙醯基檸檬酸三正丁酯等塑化劑。尤佳為使用山梨醇酐衍生物及聚伸烷基二醇類。
感光性樹脂組合物中之塑化劑之含量較佳為以感光性樹脂組合物之總固形物成分為基準而為1~50質量%，更佳之下限為3質量%，更佳之上限為30質量%。就抑制顯影時間之延遲、對硬化膜賦予柔軟性之觀點而言，較佳為1質量%以上，又，就抑制硬化不足或冷流之觀點而言，較佳為50質量%以下。
[實施例]
以下，於實施例中更具體地進行說明，但並不限定於此。
首先說明實施例及比較例之評價用樣品之製作方法，繼而揭示針對所獲得之樣品之評價方法及其評價結果。此處，使用環狀片材作為輥端面保護構件。
(實施例1~12、比較例1) 1.評價用樣品之製作
實施例及比較例中之評價用樣品係以如下方式製作。
<感光性樹脂積層體之製作>
將下述表1所示之組合物1(其中，各成分之數字表示以固形物成 分計之調配量(質量份)。表1中之略號係基於表2)及溶劑充分地攪拌、混合而製成感光性樹脂組合物調和液，準備厚度16μm之聚對苯二甲酸乙二酯膜(三菱樹脂(股)製造之R310)作為支持體，使用模具塗佈機於該聚對苯二甲酸乙二酯膜之表面均勻地塗佈感光性樹脂組合物調和液並加以乾燥而形成感光性樹脂層。感光性樹脂層之厚度為15μm。繼而，於感光性樹脂層之未積層聚對苯二甲酸乙二酯膜之表面上貼合厚度33μm之聚乙烯膜(TAMAPOLY(股)製造之GF-858)作為保護層而獲得感光性樹脂積層體1。
又，於上述感光性樹脂積層體1中，將組合物1設為組合物2~6，除此以外，以與感光性樹脂積層體1相同之方式進行製作，獲得感光性樹脂積層體2~6。於上述感光性樹脂積層體1中，將組合物1設為組合物7~10，並將感光性樹脂層之厚度設為10μm，除此以外，以與感光性樹脂積層體1相同之方式進行製作，獲得感光性樹脂積層體7~10。
<感光性樹脂積層體輥之製作>
環狀片材係使用表3~表5所示之片材。環狀片材之包含丙烯酸系樹脂之黏著劑組合物於無特別說明之情形時，直接使用Elleair Tack NS80/SBG85S/再剝離(Elleair Texel股份有限公司製造)之黏著劑組合物。
關於樣品F及G，黏著劑組合物係以如下方式進行調整。即，以按照固形物成分比計成為45：55及40：60之方式調配表2記載之B-1及M-8，以乾燥後之膜厚成為15μm之方式塗佈於基材上並加以乾燥而調整。
將感光性樹脂積層體1切割成寬度495mm之長條，於內徑77mm、外徑88mm、長度530mm之ABS樹脂製卷芯(芯)上捲繞300m。捲繞成輥狀之感光性樹脂積層體之外徑為180mm。
使捲繞於芯上而成為輥狀之感光性樹脂積層體保持於以另一端經固定且可保持為水平之方式設計之棒狀不鏽鋼製支架座上。
利用外周500mm、長度800mm、厚度80μm之圓筒形遮光性聚乙烯管包覆成為輥狀之感光性樹脂積層體。
將上述利用遮光性聚乙烯管包覆之輥狀感光性樹脂積層體自支架座上卸除，將輥設置於設計為寬度330mm高度100mm且上部彎曲成凹狀而可將輥固定之軟墊上。
將遮光性聚乙烯管之一端回折而使輥狀感光性樹脂積層體之端面露出，安裝環狀片材。另一端亦以相同之方式安裝環狀片材，而製成感光性樹脂積層體輥1。
將遮光性聚乙烯管折入芯內，安裝於設計為中心部為凸狀且與芯嵌合之芯座上，將感光性樹脂輥1捆包。
2.評價基準
以下述評價項目與評價基準評價感光性樹脂積層體輥並標註等級。將評價結果示於表3~5。
(1)異物去除性
自感光性樹脂積層體輥剝離環狀片材，確認異物是否附著於環狀片材上。如下述般標註等級。
○：異物附著於環狀片材上。於輥端面貼附剝離另一黏著帶，無法確認到異物之附著。
△：異物附著於環狀片材上，但於輥端面貼附剝離另一黏著帶，結果於該黏著帶上亦確認到異物之附著。
×：異物未附著於環狀片材上。若於輥端面貼附剝離另一黏著帶，則確認到異物之附著。
(2)環狀片材安裝性
如上述<感光性樹脂積層體輥之製作>所記載般製作輥，如下 述般對將環狀膜安裝於輥端面時之安裝性標註等級。
○：可簡單地安裝環狀片材。貼附於輥端面時可無褶皺地貼附。
△：環狀片材緊貼於支架座或卷芯，安裝需要時間。貼附於輥端面時，一部分產生褶皺或進入空氣。
×：環狀片材緊貼於支架座或卷芯，安裝需要時間。於將貼附於不理想之部位之環狀片材剝離並再次貼附時，環狀片材伸長變形或破裂，難以貼附於輥端面。
(3)環狀片材之包裝材貼附性
如上述<感光性樹脂積層體輥之製作>所記載般製作輥後，將其解捆。觀察是否解捆後亦與安裝時同樣地環狀片材安裝於端面，如下述般標註等級。
○：與安裝時同樣地安裝。
△：解捆時環狀片材貼附於遮光性圓筒形聚乙烯片材，且存在一部分自端面剝離之部位。
×：解捆時環狀片材貼附於遮光性圓筒形聚乙烯片材，與遮光性圓筒形聚乙烯片材一併剝離。
(4)環狀片材之去除性
如上述<感光性樹脂積層體輥之製作>所記載般製作輥後，將其解捆，用戴有樹脂製手套之手剝離環狀片材。如下述般對剝離時之作業性標註等級。
○：環狀片材可於5秒以內容易地剝離。
△：環狀片材之剝離需要5秒以上之時間。
(5)異物個數
如上述<感光性樹脂積層體輥之製作>所記載般製作14根輥狀之感光性樹脂積層體。自所有輥之端面去除異物，於該14根之中使異物任意地附著於輥端面上合計4處。其後，對所有輥安裝環狀片材並 剝離，計數輥端面上所附著之異物。
Figure TWI611990BD00008
Figure TWI611990BD00009
Figure TWI611990BD00010
Figure TWI611990BD00011
Figure TWI611990BD00012
將感光性樹脂積層體1設為感光性樹脂積層體2~6，並且使用樣品B作為環狀片材，除此以外，以與感光性樹脂積層體輥1相同之方式製作感光性樹脂積層體輥，將其設為感光性樹脂積層體輥2~6。使用感光性樹脂輥2~6進行(1)~(5)之評價，結果獲得與使用感光性樹脂積層體輥1之情形相同之結果。
將感光性樹脂積層體1設為感光性樹脂積層體7~10，並且使用樣品B作為環狀片材，將外徑180mm設為外徑176mm，除此以外， 以與感光性樹脂積層體輥1相同之方式製作感光性樹脂積層體輥，將其設為感光性樹脂積層體輥7~10。捲取成輥狀之感光性樹脂積層體之外徑為176mm。使用感光性樹脂輥7~10進行(1)~(5)之評價，結果獲得與使用感光性樹脂積層體輥1之情形相同之結果。
[產業上之可利用性]
上述感光性樹脂積層體輥於解捆時可容易地去除異物，因此可用於精密機器、電子材料之加工，亦可用作組入精密機器、電子材料中之永久圖案。
1‧‧‧感光性樹脂積層體
2‧‧‧卷芯
3‧‧‧輥端面保護構件(環狀片材)
4‧‧‧支持層
5‧‧‧感光性樹脂層
6‧‧‧保護層
10‧‧‧感光性樹脂積層體輥

Claims (29)

  1. 一種感光性樹脂積層體輥，其係將感光性樹脂積層體捲取於卷芯上而成為輥狀、且以與經捲取之感光性樹脂積層體之端面接觸之方式配置輥端面保護構件者，且上述輥端面保護構件於與輥端面接觸之側具有黏著劑組合物，上述感光性樹脂積層體至少包含支持層、及積層於該支持層上之感光性樹脂層，上述卷芯之長度長於上述感光性樹脂積層體之寬度，上述輥端面保護構件係配備於捲取成輥狀之感光性樹脂積層體之端面之環狀片材，且插通上述卷芯之伸出部而配備該環狀片材，上述輥端面保護構件被上述卷芯插通，上述環狀片材之內徑為卷芯之外徑之1~1.1倍。
  2. 如請求項1之感光性樹脂積層體輥，其係藉由遮光片材進行包覆。
  3. 如請求項2之感光性樹脂積層體輥，其中上述遮光片材為筒狀。
  4. 如請求項1之感光性樹脂積層體輥，其中於將上述環狀片材以使其一半存在於空中之方式設置於水平伸出之平板上，將上述環狀片材之存在於空中之部分中距離平板最遠之上述環狀片材之前端、與平板之與上述環狀片材接觸之側之面的距離設為彎折距離H(mm)，將上述環狀片材之外徑之一半設為R(mm)時，H/R為0.06~0.59。
  5. 如請求項1至4中任一項之感光性樹脂積層體輥，其中上述端面 保護構件與低密度聚乙烯膜之接著力為5gf/inch~250gf/inch。
  6. 如請求項1至4中任一項之感光性樹脂積層體輥，其中上述輥端面保護構件之基材為無揚塵紙、低揚塵紙、合成紙、或將紙與樹脂基材貼合而成者。
  7. 如請求項1至4中任一項之感光性樹脂積層體輥，其中上述感光性樹脂層為包含感光性樹脂組合物之層，該感光性樹脂組合物包含含有羧基之鹼溶性高分子、加成聚合性單體、光聚合起始劑。
  8. 如請求項7之感光性樹脂積層體輥，其中上述含有羧基之鹼溶性高分子為使苯乙烯或其衍生物共聚合而成者。
  9. 如請求項7之感光性樹脂積層體輥，其中上述加成聚合性單體包含雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物。
  10. 如請求項7之感光性樹脂積層體輥，其中上述光聚合起始劑包含六芳基聯咪唑或其衍生物。
  11. 如請求項1至4中任一項之感光性樹脂積層體輥，其中上述黏著劑組合物包含丙烯酸系樹脂。
  12. 如請求項1至4中任一項之感光性樹脂積層體輥，其中上述黏著劑組合物含有黏著劑與粒子，該粒子之50質量%以上為具有該黏著劑組合物之塗佈厚度之80~120%之直徑者，且該粒子之含量相對於黏著劑100重量份為5重量份至30重量份。
  13. 一種感光性樹脂積層體輥之製造方法，其特徵在於：其係將感光性樹脂積層體捲取於卷芯上而成為輥狀、且以與經捲取之感光性樹脂積層體之端面接觸之方式配備輥端面保護構件的感光性樹脂積層體輥之製造方法，且該卷芯之長度長於該感光性樹脂積層體之寬度，該感光性樹脂積層體至少包含支持層、及積層於該支持層上 之感光性樹脂層，該輥端面保護構件係於與輥端面接觸之側具有黏著劑組合物，上述輥端面保護構件被上述卷芯插通，以一體或被分割成複數個部分之狀態配備於捲取成輥狀之感光性樹脂積層體之端面，且配備於捲取成輥狀之感光性樹脂積層體之端面後內徑為卷芯之外徑之1~1.1倍的環狀片材。
  14. 如請求項13之感光性樹脂積層體輥之製造方法，其中上述環狀片材之內徑為上述卷芯之外徑之1.001~1.1倍，且插通上述卷芯之伸出部而配備。
  15. 如請求項13或14之感光性樹脂積層體輥之製造方法，其中於將上述環狀片材以使其一半存在於空中之方式設置於水平伸出之平板上，將上述環狀片材之存在於空中之部分中距離平板最遠之上述環狀片材之前端、與平板之與上述環狀片材接觸之側之面的距離設為彎折距離H(mm)，將上述環狀片材之外徑之一半設為R(mm)時，H/R為0.06~0.59。
  16. 如請求項13或14之感光性樹脂積層體輥之製造方法，其中上述環狀片材與低密度聚乙烯膜之接著力為5gf/inch~250gf/inch。
  17. 一種感光性樹脂積層體輥之捆包方法，其特徵在於：利用如請求項13至16中任一項之方法製造感光性樹脂積層體輥，進而藉由筒狀之遮光片材進行包覆。
  18. 一種環狀片材，其係將膜捲取於卷芯上而成為輥狀之膜輥用者，且上述卷芯之長度長於上述膜之寬度，上述環狀片材之內徑為卷芯之外徑之1~1.1倍，上述環狀片材被上述卷芯插通，且 上述環狀片材接觸於上述經捲取之膜之端面，於與該端面接觸之側具有黏著劑組合物，且插通上述卷芯之伸出部而配備於膜輥上。
  19. 如請求項18之環狀片材，其中上述膜為感光性樹脂積層體。
  20. 如請求項18或19之環狀片材，其中於將上述環狀片材以使其一半存在於空中之方式設置於水平伸出之平板上，將上述環狀片材之存在於空中之部分中距離平板最遠之上述環狀片材之前端、與平板之與上述環狀片材接觸之側之面的距離設為彎折距離H(mm)，將上述環狀片材之外徑之一半設為R(mm)時，H/R為0.06~0.59。
  21. 如請求項18或19之環狀片材，其與低密度聚乙烯膜之接著力為5gf/inch~250gf/inch。
  22. 如請求項18或19之環狀片材，其具有為無揚塵紙、低揚塵紙、合成紙、或將紙與樹脂基材貼合而成者之基材。
  23. 如請求項19之環狀片材，其中上述感光性樹脂層為包含感光性樹脂組合物之層，該感光性樹脂組合物包含含有羧基之鹼溶性高分子、加成聚合性單體、光聚合起始劑。
  24. 如請求項23之環狀片材，其中上述含有羧基之鹼溶性高分子為使苯乙烯或其衍生物共聚合而成者。
  25. 如請求項23之環狀片材，其中上述加成聚合性單體包含雙酚A系(甲基)丙烯酸酯化合物。
  26. 如請求項23之環狀片材，其中上述光聚合起始劑包含六芳基聯咪唑或其衍生物。
  27. 如請求項18或19之環狀片材，其中上述黏著劑組合物包含丙烯酸系樹脂。
  28. 如請求項18或19之環狀片材，其中上述黏著劑組合物含有黏著 劑與粒子，該粒子之50質量%以上為具有該黏著劑組合物之塗佈厚度之80~120%之直徑者，且該粒子之含量相對於黏著劑100重量份為5重量份至30重量份。
  29. 一種膜輥，其係藉由遮光片材進行包覆且配備有如請求項18至28中任一項之環狀片材。
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