JP2007133349A

JP2007133349A - 感光性フィルムロール

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Publication number: JP2007133349A
Application number: JP2006059846A
Authority: JP
Inventors: Kimihiro Yoshizako; 公博吉廻; Masanori Shindo; 正則進藤; Tatsuya Ichikawa; 立也市川
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date: 2005-10-14
Filing date: 2006-03-06
Publication date: 2007-05-31

Abstract

【課題】保護フィルムレス型の感光性フィルムを用い、エッジフュージョン発生時間が遅く、且つ、使用時に未露光部の現像残渣の発生を十分に抑制することが可能な保護フィルムレス型の感光性フィルムロールを提供すること。
【解決手段】支持フィルム１０上に第一感光性樹脂層１２及び第二感光性樹脂層１４を含む２層以上の層からなる感光性樹脂層２０を備え、且つ、前記感光性樹脂層２０上には保護フィルムを有しない感光性フィルム１００を巻芯１６にロール状に巻き取ってなる巻き取り体の側面を、ステップタブレットにおける光学濃度が０．０５の段を通して露光された前記感光性樹脂層が硬化し、且つ、光学濃度が０．０５を超える段を通して露光された前記感光性樹脂層が硬化しない光量の４分の１以下の光量の活性光線で露光してなることを特徴とする感光性フィルムロール。
【選択図】図２

Description

本発明は、感光性フィルムロールに関する。

従来、感光性フィルムは、透明な支持フィルム上に感光性樹脂組成物を塗布、乾燥し、保護フィルムを貼りあわせたサンドイッチ構造のものであった。通常、この感光性フィルムの長尺物は、紙管、木管、プラスチック管等の芯に巻き取った捲回物の形として保管、輸送などの取り扱いがなされている。

この感光性フィルムは、プリント配線板製造や、金属精密加工の分野で、微細な回路を形成するために用いられており、その使用方法としては、まず感光性フィルムの保護フィルムをはく離した後、感光性樹脂層が基材に直接触れるよう圧着（ラミネート）し、支持フィルム上にパターニングされたネガフィルムを密着し、活性光線（紫外線を用いることが多い）を照射（露光）し、次いで有機溶剤又はアルカリ水溶液を噴霧して不要部分を除去することでレジストパターンを形成（現像）し、その後塩化第二銅水溶液などを用いてエッチングする方法が一般的である。

感光性フィルムの支持フィルムとしては、一般的にＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム等のポリエステルフィルムが用いられ、保護フィルムとしてはＰＥ（ポリエチレン）フィルムなどのポリオレフィンフィルムが用いられている。

通常、保護フィルムは、ラミネート時に除去されるので、使用に際しては不要のものであり、ゴミとしての処理問題が生じる。さらに、保護フィルムの使用は、感光性フィルムの製造コストを高める要因ともなる。

また、保護フィルムとして用いられるポリオレフィンフィルムは、原材料を熱溶融し、混練、押出し、２軸延伸又はキャスティング法によって製造されており、一般的にポリオレフィンフィルムなどの保護フィルム中にはフィッシュアイとよばれる未溶解及び熱劣化物が含まれる。フィッシュアイは一般的に、直径が３０〜６００μｍの大きさで、フィルム表面から２〜４０μｍの高さで突き出ている。

このようなフィッシュアイが生じた保護フィルムを感光性樹脂層上に積層した場合、フィッシュアイの凸部が感光性樹脂層に転写されて感光性樹脂層に凹みが生じ、ラミネート後の基板上にエアーボイドが生じることとなる。このエアーボイドの生じやすさは、感光性樹脂層の膜厚と相関し、感光性樹脂層の膜厚が薄いほど発生しやすく、次工程である露光、現像、エッチングの像形成において、パターン欠けや断線の原因となる。

上記のように、保護フィルムの使用は種々の問題を誘発する要因となり、保護フィルムを有さない保護フィルムレス型の感光性フィルムが望まれている。このような保護フィルムレス型感光性フィルムとしては、これまでシリコン系又は非シリコン系の離型処理を施した支持フィルムと感光性樹脂層との二層構造のものが知られている（下記特許文献１〜３参照）。

上記特許文献１〜３に記載されている感光性フィルムは、捲回又は積み重ねたときに、感光性樹脂層が離型層を介して接触するので、感光性樹脂層同士が付着することなく、使用時の取り扱いが容易になる。しかしながら、離型処理を施した支持フィルムを用いた感光性フィルムは、これを離型層と感光性樹脂層とが接触した状態で保管した場合、離型層に含まれる成分が感光性樹脂層に移行（マイグレーション）するため、レジストパターンの密着性が低下するという問題が生じる。また、離型層として用いる材料が高コストであるため、感光性フィルム全体のコストも高くなるという問題があった。

また、この感光性フィルムの長尺物は、紙管、木管、プラスチック管等の芯に巻き取った捲回物の形（感光性フィルムロール）として通常保管するものの、ロール状に巻き取った感光性フィルムの側面（ロール端面）から感光性樹脂組成物が徐々に浸みだして、支持フィルム又は保護フィルムを超えて、隣接する感光性樹脂層と融着するエッジフュージョンと呼ばれる現象が発生する。

このエッジフュージョンは、保管温度、保管湿度、感光性フィルムにかかる圧力などにより、発生する時期に変化が生じる。エッジフュージョンが発生した感光性フィルムロールは、感光性フィルムを巻きほぐすと、上記融着部分から感光性樹脂組成物が飛び散り、ゴミとなる問題がある。

保護フィルムレス型の感光性フィルムロールの場合、感光性樹脂層は支持フィルム１層のみで隔てられているだけであり、ある感光性樹脂層の感光性樹脂組成物が隣接する感光性樹脂層の感光性樹脂組成物と融着する時間が、従来の保護フィルムを有する感光性フィルムロールよりも短くなるために、感光性フィルムロールの保管日数が短縮する問題があった。

このようなエッジフュージョンの発生日数を延ばす技術として、ロール状の感光性フィルムの側面を充分に硬化することが知られている（特許文献４参照）。通常感光性フィルムを基材にラミネートする場合に、感光性フィルムは基材の内側にラミネートされる場合が多い。感光性フィルムの側面を充分に硬化した場合、基材と感光性樹脂層との密着性が悪くなり基材へのラミネートが不可能となる又は現像しても硬化箇所で残渣が残る問題が発生する。
特開平０６−２３６０２６号公報特開平０９−２３０５８０号公報特開平１１−２３７７３２号公報特公昭５３−１９４０３号公報

近年、廃棄物による環境問題や、感光性フィルムのコスト削減等の要求から、機能面で割愛可能な保護フィルムや高価な離型処理済み支持フィルムを使用しないで済む感光性フィルムが強く望まれており、本発明の目的は、このような保護フィルムや離型処理済み支持フィルムを使用しないで済む保護フィルムレス型の感光性フィルムを用い、エッジフュージョン発生時間が遅く、詳しくは製品寿命が長く、且つ、使用時に未露光部の現像残渣の発生を十分に抑制することが可能な保護フィルムレス型の感光性フィルムロールを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は、支持フィルム上に第一感光性樹脂層及び第二感光性樹脂層を含む２層以上の層からなる感光性樹脂層を備え、且つ、上記感光性樹脂層上には保護フィルムを有しない感光性フィルムを巻芯にロール状に巻き取ってなる巻き取り体の側面を、ステップタブレットにおける光学濃度が０．０５の段を通して露光された上記感光性樹脂層が硬化し、且つ、光学濃度が０．０５を超える段を通して露光された上記感光性樹脂層が硬化しない光量の４分の１以下の光量の活性光線で露光してなることを特徴とする感光性フィルムロールを提供する。

かかる感光性フィルムロールは、保護フィルムレス型でありながら、上述した構成を有することにより、エッジフュージョン発生時間を十分に遅くして製品寿命を長くすることができ、且つ、使用時に未露光部の現像残渣の発生を十分に抑制することができる。

また、本発明の感光性フィルムロールにおいて、上記感光性樹脂層は、上記第一感光性樹脂層及び上記第二感光性樹脂層を含む２〜８の層を積層してなるものであることが好ましい。これにより、基板にラミネートした際の基板と感光性樹脂層との間のエアボイド発生をより十分に抑制でき、且つ、ロールからの巻きほぐしが容易になる傾向がある。

また、本発明の感光性フィルムロールにおいて、上記活性光線は、紫外線活性光線であることが好ましい。これにより、感光性樹脂層の硬化をより効率的に行うことが可能となる傾向がある。

また、本発明の感光性フィルムロールにおいて、上記感光性樹脂層は、上記支持フィルムの一面上に感光性樹脂組成物を塗布し乾燥してなる層であり、上記支持フィルムの上記一面と上記感光性樹脂層の上記一面に対向する対向面との間の接着力ＰＵ（単位：Ｎ／ｍ）、及び、上記支持フィルムにおける上記一面と反対側の反対支持面と上記感光性樹脂層における上記対向面と反対側の反対感光性樹脂面との間の接着力ＰＴ（単位：Ｎ／ｍ）が、下記式（Ｉ）で表される条件を満たすことが好ましい。
１．５≦（ＰＵ／ＰＴ）≦１０．０（Ｉ）

本発明の感光性フィルムロールにおいて、上記（ＰＵ／ＰＴ）の値が上記式（Ｉ）で表わされる条件を満たしていることにより、第二感光性樹脂層上に保護フィルムを有していなくても、ロールの形態で保管した後も良好に使用することが可能となる。

また、本発明の感光性フィルムロールにおいて、上記感光性樹脂層は、上記支持フィルムの一面と対向する対向面を有する上記第一感光性樹脂層と、上記感光性樹脂層における上記対向面と反対側の反対感光性樹脂面を有する上記第二感光性樹脂層とを含み、上記第一感光性樹脂層及び上記第二感光性樹脂層がそれぞれバインダーポリマーを含有し、上記第二感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーが、上記第一感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーよりも高いガラス転移温度（Ｔｇ）を有するものであることが好ましい。これにより、上記式（Ｉ）で表わされる条件をより確実に満たすことができ、保管後の本発明の感光性フィルムロールを良好に使用することが可能となる。

また、本発明の感光性フィルムロールにおいて、上記感光性樹脂層は、上記支持フィルムの一面と対向する対向面を有する上記第一感光性樹脂層と、上記感光性樹脂層における上記対向面と反対側の反対感光性樹脂面を有する上記第二感光性樹脂層とを含み、上記第一感光性樹脂層及び上記第二感光性樹脂層がそれぞれバインダーポリマーを含有し、上記第二感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーが、スチレン又はスチレン誘導体を共重合成分として含むものであることが好ましい。これにより、上記式（Ｉ）で表わされる条件をより確実に満たすことができ、保管後の本発明の感光性フィルムロールを良好に使用することが可能となる。

また、本発明の感光性フィルムロールにおいて、上記感光性樹脂層は、上記支持フィルムの一面と対向する対向面を有する上記第一感光性樹脂層と、上記感光性樹脂層における上記対向面と反対側の反対感光性樹脂面を有する上記第二感光性樹脂層とを含み、上記第一感光性樹脂層及び上記第二感光性樹脂層がそれぞれバインダーポリマーを含有し、上記第二感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーが、上記第一感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーよりも小さい重量平均分子量を有するものであることが好ましい。これにより、上記式（Ｉ）で表わされる条件をより確実に満たすことができ、保管後の本発明の感光性フィルムロールを良好に使用することが可能となる。

本発明の感光性フィルムロールによれば、保護フィルムレス型の感光性フィルムを用いているため、基板へのラミネート時のエアーボイド発生やゴミの排出を低減することができる。また、本発明の感光性フィルムロールは、保護フィルムレス型であることにより、巻き径を変えずに同質量でより長い製品を巻く事ができるため、ラミネート装置への感光性フィルムの取り付け作業の回数が減り、調整等によるロスが減り、歩留まりや生産性を向上させることができる。さらに、感光性フィルムロールのエッジフュージョンが発生する日数を遅延させることができるために、感光性フィルムロールの寿命を長くすることができる。さらにまた、本発明の感光性フィルムロールによれば、使用時に未露光部の現像残渣の発生を十分に抑制することができる。

以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明では、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

本発明の感光性フィルムロールを構成する感光性フィルムは、支持フィルム上に、第一感光性樹脂層及び第二感光性樹脂層の２層以上の層を含む感光性樹脂層を備えた感光性フィルムであって、上記感光性樹脂層上には保護フィルムを有さず、ロール状に巻き取り可能であることを特徴とするものである。

また、本発明の感光性フィルムロールは、上記感光性フィルムを巻芯に巻き取ってなる巻き取り体の側面（端面）を、ステップタブレットにおける光学濃度が０．０５の段を通して露光された上記感光性樹脂層（第一感光性樹脂層及び第二感光性樹脂層の両方）が硬化し、且つ、光学濃度が０．０５を超える段を通して露光された上記感光性樹脂層が硬化しない光量の４分の１以下の光量の活性光線で露光していることを特徴とするものである

ここで、図１は、本発明の感光性フィルムロールを構成する感光性フィルムの一例を示す模式断面図であり、図２は、図１に示す感光性フィルムを用いた本発明の感光性フィルムロールの好適な一実施形態を示す模式断面図である。まず、本発明の感光性フィルムロール１１０を構成する保護フィルムレス型の感光性フィルム１００について、図１を参照しつつ以下に詳しく説明する。

本発明における保護フィルムレス型感光性フィルム１００は、支持フィルム１０と、該支持フィルム１０の一面上に形成された第一感光性樹脂層（対向感光性樹脂層）１２と、該第一感光性樹脂層１２上に形成された第二感光性樹脂層（反対感光性樹脂層）１４とを備える構成を有している。ここで、第一感光性樹脂層１２及び第二感光性樹脂層１４の２層により感光性樹脂層２０が構成されている。

この感光性フィルム１００において、支持フィルム１０における第一感光性樹脂層１２が形成されている上記一面と感光性樹脂層２０の上記一面に対向する対向面（第一感光性樹脂層における支持フィルムに接する側の面）との間の接着力ＰＵ（単位：Ｎ／ｍ）、及び、支持フィルムにおける上記一面と反対側の反対支持面Ｆ１と感光性樹脂層２０における上記対向面と反対側の反対感光性樹脂面（第二感光性樹脂層における第一感光性樹脂層と接していない側の面）Ｆ２との間の接着力ＰＴ（単位：Ｎ／ｍ）が、下記式（Ｉ）で表される条件を満たしていることが好ましい。

１．５≦（ＰＵ／ＰＴ）≦１０．０（Ｉ）

感光性フィルム１００において、上記（ＰＵ／ＰＴ）の値が上記式（Ｉ）で表わされる条件を満たしていることにより、第二感光性樹脂層１４上に保護フィルムを有していなくても、感光性フィルム１００を例えばロール状に巻き取った状態や、シート状で積層した状態で保管した後も良好に使用することが可能となる。このとき、支持フィルム１０と第二感光性樹脂層１４とは接した状態となっているが、上記（ＰＵ／ＰＴ）の値が上記式（ＩＩ）で表わされる条件を満たしていることにより、感光性フィルム１００をロールから解く際には支持フィルム１０と第二感光性樹脂層１４との間で容易に解くことが可能となる。

また、支持フィルム１０は、上記感光性フィルム１００を基板上にラミネート後、又は紫外線照射後に第一感光性樹脂層１２から剥離する必要があり、第一感光性樹脂層１２と支持フィルム１０との間の接着力は、第一感光性樹脂層１２と第二感光性樹脂層１４との間の接着力よりも小さいことが好ましい。このように、感光性フィルム１００は、当該感光性フィルム１００を積層してなる感光性フィルム積層体として、感光性フィルム１００を巻芯にロール状に巻き取ってなる感光性フィルムロール１１０として好適に保管及び使用することができる。

ここで、上記効果をより十分に得る観点から、上記（ＰＵ／ＰＴ）の値は、次式（ＩＩ）で表わされる条件を満たしていることがより好ましく、次式（ＩＩＩ）で表わされる条件を満たしていることがさらに好ましく、次式（ＩＶ）で表わされる条件を満たしていることが特に好ましい。

２．０≦（ＰＵ／ＰＴ）≦８．０（ＩＩ）
２．５≦（ＰＵ／ＰＴ）≦７．０（ＩＩＩ）
３．０≦（ＰＵ／ＰＴ）≦６．０（ＩＶ）

支持フィルム１０における上記一面と第一感光性樹脂層１２における上記対向面との間の接着力ＰＵ（単位：Ｎ／ｍ）よりも、支持フィルム１０における上記反対支持面Ｆ１と第二感光性樹脂層１４における上記反対感光性樹脂面Ｆ２との間の接着力ＰＴ（単位：Ｎ／ｍ）を低くし、特に（ＰＵ／ＰＴ）の値が上記式（Ｉ）〜（ＩＶ）のいずれかで表わされる条件を満たすようにするための第一の方法としては、第二感光性樹脂層１４に含有されるバインダーポリマーのＴｇ（ガラス転移温度）が、第一感光性樹脂層１２に含有されるバインダーポリマーのＴｇよりも高くなるようにする方法が挙げられる。

第二感光性樹脂層１４に含有されるバインダーポリマーのＴｇと、第一感光性樹脂層１２に含有されるバインダーポリマーのＴｇの温度差は、５℃以上であることが好ましく、１０℃以上であることがより好ましく、１５℃以上であることがさらに好ましく、２０℃以上であることが特に好ましい。

本発明におけるバインダーポリマーのＴｇ（ガラス転移温度、単位：℃）は、下記式（Ｖ）から求めたものである。
Ｔｇ＝１／｛Σ（Ｗ_ｉ／Ｔｇ_ｉ）｝−２７３（Ｖ）

上記式（Ｖ）中、ｉはバインダーポリマーを構成する重合性単量体混合物中の各重合性単量体成分を示す添え字である。Ｗ_ｉは重合性単量体ｉの質量分率を、Ｔｇ_ｉは重合性単量体ｉの単独重合体のガラス転移温度（単位：Ｋ）をそれぞれ示す。

また、第二の方法としては、第二感光性樹脂層１４に含有されるバインダーポリマーを、スチレン又はスチレン誘導体を共重合成分として含むものとする方法が挙げられる。さらに、第三の方法としては、第二感光性樹脂層１４に含有されるバインダーポリマーを、第一感光性樹脂層１２に含有されるバインダーポリマーよりも小さい重量平均分子量を有するものとする方法が挙げられる。

本発明における感光性フィルムは、支持フィルム上に２つの層からなる感光性樹脂層を積層した構造又は支持フィルム上に３つ以上の層からなる感光性樹脂層を積層した構造を有することが好ましく、それにより、上述したような保護フィルムレス型の感光性フィルムを容易に構成することができる。

感光性樹脂層が２以上の層で構成される感光性フィルムにおいて、各々の感光性樹脂層は接していてもよく、２つの感光性樹脂層の間に感光性を有さない非感光性樹脂層を有していてもよい。例えば、感光性フィルムは、感光性樹脂層としての第一感光性樹脂層と、感光性樹脂層としての第二感光性樹脂層との間に、非感光性樹脂層としての第一中間層及び第二中間層を有していてもよい。この感光性フィルムにおいて、第一中間層及び第二中間層は、現像液に溶解する樹脂を用いたものが好ましい。中間層が溶解しないものを用いた場合、第一感光性樹脂層は現像できるが、第二感光性樹脂層が現像出来なくなる。

本発明における保護フィルムを有さない感光性フィルムは、支持フィルムと該支持フィルムに接触している第一感光性樹脂層との間の接着力ＰＵ（単位：Ｎ／ｍ）よりも、第一感光性樹脂層が設けられた面とは反対側の支持フィルムの面（反対支持面）と支持フィルムから複数層（ｎ層）積層した最上層の第二感光性樹脂層との間の接着力ＰＴ（単位：Ｎ／ｍ）を低くすることで、感光性フィルムをロール状に巻き取っても、ラミネート時に再びシート状に戻す際に、支持フィルムからの上記第二感光性樹脂層の剥離が容易となる。

また、このように感光性樹脂層がｎ層構造を有する場合においても、（ＰＵ／ＰＴ）の値が上記式（Ｉ）〜（ＩＶ）のいずれかで表わされる条件を満たすようにすることが好ましい。さらに、ＰＵよりもＰＴを低くする方法、特に、（ＰＵ／ＰＴ）の値が上記式（Ｉ）〜（ＩＶ）のいずれかで表わされる条件を満たすようにする方法としては、前述の第一〜第三の方法が挙げられる。なお、感光性樹脂層がｎ層構造を有する場合において、ｎは２〜８であることが好ましく、２〜５であることがより好ましく、２であることがさらに好ましい。

また、支持フィルムは、ｍ層積層したｍ層構造を有することが好ましく、さらに、表裏（上記一面とこれと反対側の反対支持面との２つの面）がほぼ同一の接着力を有することが好ましい。ここで、ｍは１〜５の整数であることが好ましい。かかる支持フィルムを用いることにより、感光性フィルムを構成する際に表裏どちらでも感光性樹脂層を形成することができる。また支持フィルムの再生利用が容易に可能となる。

さらに、支持フィルムの表裏両主面の最大表面粗さが３０００ｎｍ（３．０μｍ）以下であることが好ましく、２０００ｎｍ（２．０μｍ）以下であることがより好ましく、１０００ｎｍ（１．０μｍ）以下であることがさらに好ましい。これにより、支持フィルム上への感光性樹脂層の形成が容易になると共に、感光性フィルムをラミネートする際に、エアーボイドの発生を防止することができる。

本発明における保護フィルムレス型の感光性フィルムは、ロール状であっても、シート状であってもよい。但し、感光性フィルムの断面が、支持フィルム、第一感光性樹脂層、必要に応じて設けられる第一及び第二感光性樹脂層以外の１層以上の他の感光性樹脂層及び／又は１層以上の中間層、並びに、第二感光性樹脂層がこの順で繰返される構造であることが好ましい。

本発明における保護フィルムレス型の感光性フィルムは、感光性フィルムを基板にラミネートし、パターンマスクを介して、ＵＶなどの放射線等により露光を行った後、現像工程を経た際に、少なくとも本発明における感光性フィルムの上記基板に接する層（感光性樹脂層における支持フィルムから最も遠い側の層、好ましくは第二感光性樹脂層）が基板上にパターンとして残ることが好ましい。

基板の材質及び形状については、プリント配線板用、リードフレーム用、ディスプレイ用等により変わってもよい。また本発明における感光性フィルムは、サンドブラスト用マスクフィルム、カバーレイフィルム、ソルダーレジスト用フィルムとして用いることができる。

次に、上述した保護フィルムレス型の感光性フィルムの各構成要素について説明する。本発明で用いる支持フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド、ポリ塩化ビニル、ナイロン、ポリカーボネート、ポリエチレンセルローストリアセテート、塩化ビニルと塩化ビニリデンの共重合体、セロファン等のフィルムが挙げられる。

支持フィルムがｍ層（ｍは好ましくは１〜５の整数）積層したｍ層構造としては、ＰＥＴフィルムの少なくとも片側にＰＥＴフィルムを積層したもの、滑剤を混入させた滑剤混入フィルムからなるもの、滑剤を含まないか又は微量に含む無滑剤フィルムの両面に上記滑剤混入フィルムを形成してなるもの、接着剤又は帯電防止剤などを混入させた機能フィルムの両面にそれぞれ上記無滑剤フィルム及び上記滑剤混入フィルムを形成してなるもの、ナイロン系多層フィルム、ＰＥ系多層フィルム、超ハイガスバリヤフィルム、シリコーンコートフィルム、プラスチック金属複合材、アルミ蒸着フィルム、ナイロン／ＰＥＴ、ＰＰ／ＰＥＴ、ＰＥ／ＰＥＴ、ＰＥＴ／ＡＬ／ＰＥ、ＰＥＴ／ＡＬ／ＰＰ及びＰＥＴ／ポリオレフィン／ＡＬ／ＰＰ積層フィルム等があげられる。これらは、前述のように表裏同一の接着力を持つことが好ましい。

これらの支持フィルムは、後に感光性樹脂層から除去可能でなくてはならないため、除去が不可能となるような表面処理が施されたものであったり、材質であったりしてはならない。また、支持フィルムの表裏両面の最大表面粗さを３０００ｎｍ（３．０μｍ）以下にすることで、感光性樹脂層の塗布及び、本発明における感光性フィルムをラミネートする際、エアーボイドの発生を防止することができる。

これらの支持フィルムの厚みは、１〜１００μｍとすることが好ましく、４〜５０μｍとすることがより好ましく、８〜３０μｍとすることが特に好ましい。この厚みが１μｍ未満の場合、機械的強度が低下し、塗工時に感光性フィルムが破れるなどの問題が発生する傾向があり、１００μｍを超えると解像度が低下し、価格が高くなる傾向がある。

感光性樹脂層としては、公知のものが使用でき、例えば、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物からなるものなどが挙げられる。

上記（Ａ）バインダーポリマーとしては、例えば、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂等が挙げられる。これらの中でも良好なアルカリ現像性及び銅基板への密着性を得る観点から、アクリル系樹脂が好ましく用いられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。

上記（Ａ）バインダーポリマーは、例えば、重合性単量体をラジカル重合させることにより製造することができる。上記重合性単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｐ−エチルスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｐ−エトキシスチレン、ｐ−クロロスチレン、ｐ−ブロモスチレン等の重合可能なスチレン誘導体、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド、アクリロニトリル、ビニル−ｎ−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、α−ブロモ（メタ）アクリル酸、α−クロル（メタ）アクリル酸、β−フリル（メタ）アクリル酸、β−スチリル（メタ）アクリル酸、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマール酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸等が挙げられる。

上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。

上記（Ａ）バインダーポリマーは、アルカリ現像性の見地から、カルボキシル基を含有させることが好ましく、例えば、カルボキシル基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体をラジカル重合させることにより製造することができる。上記カルボキシル基を有する重合性単量体としては、メタクリル酸が好ましい。

なお、支持フィルム上に、複数の層からなる感光性樹脂層を有する場合、支持フィルムから最も離れた反対感光性樹脂層（第二感光性樹脂層）に含まれるバインダーポリマーには、支持フィルムとの接着力を低減できる観点から、スチレン又はスチレン誘導体を重合性単量体として含有させることが好ましい。

また、支持フィルムに塗布した第一感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーには、支持フィルムとの接着力を向上できる観点から、スチレン又はスチレン誘導体を重合性単量体として含有しないことが好ましい。

支持フィルムから最も離れた反対感光性樹脂層（第二感光性樹脂層）に含まれるバインダーポリマーを構成する重合性単量体中に、上記スチレン又はスチレン誘導体を共重合成分として０．１〜４５質量％含むことが好ましく、１〜４０質量％含むことがより好ましく、１．５〜３５質量％含むことがさらに好ましく、２〜３０質量％含むことが最も好ましい。この含有量が０．１質量％未満では、支持フィルムとの接着力を低減できなく又基板との密着性が劣る傾向があり、４５質量％を超えると、剥離片が大きくなり、剥離時間が長くなる傾向がある。

上記（Ａ）バインダーポリマーは、重量平均分子量が２０，０００〜２００，０００であることが好ましく、３０，０００〜１５０，０００であることがより好ましい。この重量平均分子量が２０，０００未満では耐現像液性及び膜強度が低下する傾向があり、２００，０００を超えると解像度が低下する傾向がある。

なお、支持フィルム上に、複数の層からなる感光性樹脂層を有する場合、支持フィルムから最も離れた反対感光性樹脂層（第二感光性樹脂層）に含まれるバインダーポリマーの重量平均分子量は、支持フィルムとの接着力を低減できる観点から、２０，０００〜１００，０００であることが好ましく、２５，０００〜８０，０００であることがより好ましく、３０，０００〜６０，０００であることがさらに好ましい。

また、支持フィルムに塗布した第一感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーの重量平均分子量は、支持フィルムとの接着力を向上できる観点から、４０，０００〜２００，０００であることが好ましく、５０，０００〜１５０，０００であることがより好ましく、６０，０００〜１００，０００であることがさらに好ましい。

これらのバインダーポリマーは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。２種類以上を組み合わせて使用する場合のバインダーポリマーとしては、例えば、異なる共重合成分からなる２種類以上のバインダーポリマー、異なる重量平均分子量の２種類以上のバインダーポリマー、異なる分散度の２種類以上のバインダーポリマーなどが挙げられる。

上記の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定され、標準ポリスチレンを用いて作成した検量線により換算されたものである。

上記（Ｂ）光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等のビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、グリシジル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させで得られる化合物、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー、ノニルフェノキシポリアルキレンオキシ（メタ）アクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β’−（メタ）アクリロイルオキシアルキル−ｏ−フタレート等のフタル酸系化合物、（メタ）アクリル酸アルキルエステル等が挙げられるが、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物又はウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物を必須成分とすることが好ましい。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

上記多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４であり、プロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレンポリプロピレングリコールグリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。

上記２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシオクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニル）プロパン等が挙げられ、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業株式会社製、製品名）として商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−１３００（新中村化学工業株式会社製、製品名）として商業的に入手可能である。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

上記２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

上記ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。

ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業株式会社製、製品名ＵＡ−１１等が挙げられる。また、ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業株式会社製、製品名ＵＡ−１３などが挙げられる。なお、ＥＯはエチレンオキサイドを示し、ＥＯ変性された化合物はエチレンオキシ基のブロック構造を有する。また、ＰＯはプロピレンオキサイドを示し、ＰＯ変性された化合物はプロピレンオキシ基のブロック構造を有する。

ノニルフェノキシポリアルキレンオキシ（メタ）アクリレートとしては、ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシポリエチレンオキシメタクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレンオキシメタクリレート、ブチルフェノキシポリエチレンオキシアクリレート、ブチルフェノキシポリエチレンオキシメタクリレート、ブチルフェノキシポリプロピレンオキシアクリレート、ブチルフェノキシポリプロピレンオキシメタクリレート等が挙げられる。

上記ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレートとしては、例えば、ノニルフェノキシテトラエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシペンタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシノナエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシデカエチレンオキシアクリレート、ノニルフェノキシウンデカエチレンオキシアクリレート等が挙げられる。

上記ノニルフェノキシポリエチレンオキシメタクリレートとしては、例えば、ノニルフェノキシテトラエチレンオキシメタクリレート、ノニルフェノキシペンタエチレンオキシメタクリレート、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシメタクリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシメタクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレンオキシメタクリレート、ノニルフェノキシノナエチレンオキシメタクリレート、ノニルフェノキシデカエチレンオキシメタクリレート、ノニルフェノキシウンデカエチレンオキシメタクリレート等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

上記（Ｃ）光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）等のＮ，Ｎ’−テトラアルキル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン、アルキルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体、Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物などが挙げられる。

また、２つの２，４，５−トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は同一で対象な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、密着性及び感度の見地からは、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体がより好ましい。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

上記（Ａ）バインダーポリマーの配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、４０〜８０質量部とすることが好ましい。この配合量が４０質量部未満では光硬化物が脆くなり易く、感光性樹脂層として用いた場合に、塗膜性が劣る傾向があり、８０質量部を超えると光感度が不充分となる傾向がある。

上記（Ｂ）光重合性化合物の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、２０〜６０質量部とすることが好ましい。この配合量が２０質量部未満では光感度が不充分となる傾向があり、６０質量部を超えると光硬化物が脆くなる傾向がある。

上記（Ｃ）光重合開始剤の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、０．１〜２０質量部であることが好ましい。この配合量が０．１質量部未満では光感度が不充分となる傾向があり、２０質量部を超えると露光の際に組成物の表面での吸収が増大して内部の光硬化が不充分となる傾向がある。

また、上記感光性樹脂組成物には、必要に応じて、分子内に少なくとも１つのカチオン重合可能な環状エーテル基を有する光重合性化合物、カチオン重合開始剤、マラカイトグリーン等の染料、トリブロモフェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤、ｐ−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔料、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤等を（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して各々０．０１〜２０質量部程度含有することができる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。

上記感光性樹脂組成物は、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解して固形分３０〜６０質量％程度の溶液として塗布することができる。

また、複数の層からなる感光性樹脂層の全体の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで１〜２００μｍであることが好ましく、１〜１００μｍであることがより好ましく、２〜５０μｍであることがさらに好ましく、３〜２５μｍであることが最も好ましい。この厚みが１μｍ未満では工業的に塗工困難な傾向があり、２００μｍを超える場合では感度が不十分となり、レジスト底部の光硬化性が悪化する傾向がある。

また、感光性樹脂層を多層とする場合、各々の感光性樹脂層は独立に、１〜７５μｍとすることが好ましく、１〜５０μｍとすることがより好ましく、１〜３５μｍとすることが更に好ましく、２〜２５μｍとすることがさらに好ましく、３〜１５μｍとすることが最も好ましい。

一般的に感光性樹脂層は、例えば、支持フィルム上に感光性樹脂組成物を塗布、乾燥することにより得られる。

上記塗布は、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ、スレーコータ等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、７０〜１５０℃、５〜３０分程度で行うことができる。さらに、感光性樹脂層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、２質量％以下とすることが好ましい。

多層の感光性樹脂層を塗布する場合は、上記の公知の方法により、同時塗工（多層塗工）又は逐次塗工で行うことができる。例えば、感光性樹脂層が２層の場合は、（イ）支持フィルム上に第一感光性樹脂層を積層した後、続いて、第二感光性樹脂層を積層する方法、（ロ）支持フィルム上に第一感光性樹脂層と第二感光性樹脂層とを同時に積層する方法、等が挙げられ、作業性の観点からは、（ロ）の方法が好ましい。また、多層構造を有する感光性樹脂層は、多層押出成形により同時に得られるものであってもよい。

また、感光性樹脂層が複数の層を有している場合において、少なくとも第一感光性樹脂層及び第二感光性樹脂層を有していれば、全ての層が感光性樹脂層である必要はなく、感光性を有さない非感光性樹脂層を有していてもよい。このとき、第一感光性樹脂層及び第二感光性樹脂層の配置は特に制限されないが、感光性フィルムにおける支持フィルムから最も遠い側に配置される反対の樹脂層（反対感光性樹脂層）が少なくとも感光性樹脂層（第二感光性樹脂層）であることが好ましい。

上記非感光性樹脂層は、現像液に溶解する樹脂を用いたものであれば特に制限はない。例えば、非感光性樹脂層は、カルボキシル基を有するポリマーを含み、光重合開始剤を含まない樹脂組成物より構成される。

本発明における保護フィルムレス型の感光性フィルムは、例えば、円筒状の巻芯に巻きとって貯蔵される。

本発明の感光性フィルムロールは、上述した感光性フィルムを巻芯にロール状に巻き取った後、得られる巻き取り体の側面を、ステップタブレットにおける光学濃度が０．０５の段を通して露光された上記感光性樹脂層が硬化し、且つ、光学濃度が０．０５を超える段を通して露光された上記感光性樹脂層が硬化しない光量の４分の１以下の光量の活性光線で露光してなるものであり、例えば図２に示すように、支持フィルム１０上に第一感光性樹脂層１２及び第二感光性樹脂層１４を備える感光性フィルム１００を巻芯１６にロール状に巻き取り、その側面を上記の条件で露光してなるものである。

ここで、円筒状の巻芯の材質としては、例えば、紙管、木管、プラスチック管又は金属管等が挙げられるが、巻き取り時の加圧に耐え得る観点から金属管が好ましい。上記巻芯の材質がプラスチックの場合、該プラスチックとしては、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体）等が挙げられる。

支持フィルム上に塗工した多層の感光性樹脂層を備えた感光性フィルムを芯に巻き取る方法としては、特に制限はないが、気泡の混入及び皺を低減できる観点から、以下に示す方法が好ましい。

感光性フィルムの巻取は、巻き軸幅方向に対して平行に配置された加圧ロールにより線状に巻き芯に対し圧力を掛ける。この圧力は、１００〜５００ｋｇ／ｍであることが好ましく、１５０〜４５０ｋｇ／ｍであることがより好ましく、２００〜４００ｋｇ／ｍであることがさらに好ましい。

上記加圧ロールの表面材質は弾性材料、特にゴムを用いることが好ましく、硬度は４０〜９０°であることが好ましい。感光性フィルムの巻き取り時の張力は、１０〜３０ｋｇ／ｍであることが好ましく、１２〜２５ｋｇ／ｍであることがより好ましく、１４〜２０ｋｇ／ｍであることが特に好ましい。ここで、巻き始めと巻き終わりでの感光性フィルムに対する張力を一定に保つよう巻き径に応じて張力の制御を行うことが好ましい。（一般的な保護フィルムを有する感光性フィルムの巻き取り時の上記接圧は、５０ｋｇ／ｍ以下であり、上記張力は１０ｋｇ／ｍ程度である。）

また、感光性フィルムを巻芯に巻き取る際、支持フィルムが１番外側になるように巻き取ることが好ましい。ロール状の感光性フィルムの端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設置することが好ましく、耐エッジフュージョンの見地から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。

また、梱包方法として、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。

本発明において保護フィルムレス型の感光性フィルムをロール状にする場合、活性光線で感光性フィルムの側面を露光することが良い。その光量は、ステップタブレットの光学濃度が０．０５を超えて硬化しない光量（ステップタブレットにおける光学濃度が０．０５の段を通して露光された上記感光性樹脂層が硬化し、且つ、光学濃度が０．０５を超える段を通して露光された上記感光性樹脂層が硬化しない光量）の４分の１以下の光量であることが好ましく、さらに好ましくは光学濃度が０．０２を超えて硬化しない光量（ステップタブレットにおける光学濃度が０．０２の段を通して露光された上記感光性樹脂層が硬化し、且つ、光学濃度が０．０２を超える段を通して露光された上記感光性樹脂層が硬化しない光量）の４分の１以下の光量である。また、光量は、光学濃度が０．０２を超えて硬化しない光量（ステップタブレットにおける光学濃度が０．０２の段を通して露光された上記感光性樹脂層が硬化し、且つ、光学濃度が０．０２を超える段を通して露光された上記感光性樹脂層が硬化しない光量）の２０分の１以上であることが好ましい。

また、活性光線としては３００〜４５０ｎｍの波長を有する光線（紫外線）が好ましい。

上記光量を設定する方法は、以下の通りである。まず、銅張積層板と感光性樹脂層とが接するように、本発明の感光性フィルムロールを構成する感光性フィルムを銅張積層板上にラミネートする。その後、上記感光性フィルムの支持フィルムの上にステップタブレット（日立４１段ステップタブレット、日立化成工業社製）を置き、活性光線を、ステップタブレットを通過して感光性樹脂層に到達するように照射する。次いで現像を行なった後、ステップタブレットの像を確認し、残存する最大段数を読み、その最大段数の光学濃度に応じて所定の光量を設定する。現像時間は、未露光の感光性樹脂層が現像により除去される時間の２倍とする。

感光性フィルムの側面を活性光線で露光する方法として、感光性フィルムの両端を露光しながら巻芯に巻き取ってもよく、巻き取り後に感光性フィルムの側面から露光してもよい。感光性フィルムの側面以外は、活性光線の照射を防ぐために遮光処置をすることが好ましい。ここで、活性光線を照射する幅は、感光性フィルムの側面から２０ｍｍ以内であることが好ましく、５ｍｍ以内であることがより好ましい。

上記感光性フィルムを用いて基板にパターンを製造するに際しては、上記感光性フィルムを７０〜１３０℃程度に加熱しながら回路形成用基板に０．１〜１ＭＰａ程度（１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ^２程度）の圧力で圧着することにより積層する方法などが挙げられ、減圧下で積層することが好ましい。積層される表面は、特に制限はないが、通常金属面である。

このようにして積層が完了した感光性フィルムは、ネガ又はポジマスクパターンを通して放射線（活性光線）が画像状に照射される。

上記活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光などを有効に放射するものが用いられる。支持フィルムが放射線（活性光線）に対して不透過の場合は、支持フィルムを剥離してから、ネガ又はポジマスクパターンを通して放射線（活性光線）を画像状に照射する。

次いで、露光後、感光性樹脂層上に支持フィルムが存在している場合には、支持フィルムを除去した後、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の現像液によるウエット現像、ドライ現像等で未露光部を除去して現像し、レジストパターンを製造することができる。上記アルカリ性水溶液としては、例えば、０．１〜５質量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５質量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１〜５質量％水酸化ナトリウムの希薄溶液等が挙げられる。上記アルカリ性水溶液のｐＨは９〜１１の範囲とすることが好ましく、その温度は、感光性樹脂層の現像性に合わせて調節される。

また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、有機溶剤等を混入させてもよい。上記現像の方式としては、例えば、ディップ方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等が挙げられる。

現像後の処理として、必要に応じて６０〜２５０℃程度の加熱又は０．２〜１０ｍＪ／ｃｍ^２程度の露光を行うことによりパターンをさらに硬化して用いてもよい。

現像後に行われる金属面のエッチングには、例えば、塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング溶液等を用いることができる。

本発明における感光性フィルムを用いてプリント配線板を製造する場合、現像されたレジストパターンをマスクとして、回路形成用基板の表面を、エッチング、めっき等の公知方法で処理する。

上記めっき法としては、例えば、銅めっき、はんだめっき、ニッケルめっき、金めっきなどがある。

次いで、レジストパターンは、例えば、現像に用いたアルカリ性水溶液よりさらに強アルカリ性の水溶液で剥離することができる。上記強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜１０質量％水酸化ナトリウム水溶液、１〜１０質量％水酸化カリウム水溶液等が用いられる。

上記剥離方式としては、例えば、浸漬方式、スプレー方式等が挙げられる。また、レジストパターンが形成されたプリント配線板は、多層プリント配線板でもよく、小径スルーホールを有していてもよい。

また、本発明の感光性フィルムロールを基板に上記条件でラミネート、露光した場合、露光後の感光性樹脂層と回路形成用基板（銅張り積層板）表面との間には、配線パターンの欠けや断線を低減できる観点から、８０μｍ以上のエアボイド数が少ないことが好ましい。実用上問題ないレベルのエアボイド数としては、１０個／ｍ^２であり、５個／ｍ^２であることが好ましく、０個／ｍ^２であることが最も好ましい。

以下、本発明の好適な実施例についてさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

表１及び表２に使用した感光性樹脂組成物の組成を示す。表１及び表２中の（Ａ）成分はポリマー成分であり、これらのポリマーは、メチルセルソルブ／トルエン＝６／４（重量比）の混合溶液で希釈され不揮発分４０重量％となるように混合した溶液として使用した。

なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。ＧＰＣの条件は、以下の通りである。

（ＧＰＣ条件）
ポンプ：日立Ｌ−６０００型［（株）日立製作所製］
カラム：ＧｅｌｐａｃｋＧＬ−Ｒ４２０＋ＧｅｌｐａｃｋＧＬ−Ｒ４３０＋ＧｅｌｐａｃｋＧＬ−Ｒ４４０（計３本）（以上、日立化成工業（株）製、商品名）
溶離液：テトラヒドロフラン
測定温度：２５℃
流量：２．０５ｍＬ／分
検出器：日立Ｌ−３３００型ＲＩ［（株）日立製作所製］

（感光性フィルムの作製）
上記第一感光性樹脂層の溶液（表１）と第二感光性樹脂層（表２）の溶液を同時塗工により、支持フィルムとしての１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）上に均一に塗布し、９０℃の熱風で１０分間乾燥させ感光性フィルムを得た。

第一感光性樹脂層と第二感光性樹脂層の厚みは、乾燥後の膜厚がそれぞれ１０μｍ及び１５μｍ（第一感光性樹脂層と第二感光性樹脂層の合計膜厚が２５μｍ）になるように塗工した。

（感光性フィルムの光量の測定）
銅箔（厚み３５μｍ）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工業株式会社製、商品名：ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、＃６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓（株）製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥した。得られた銅張り積層板を８０℃に加温し、その銅表面上に上記感光性フィルムを高温ラミネーター（日立化成工業（株）製、商品名：ＨＬＭ−３０００）を用いて温度１１０℃、圧力０．３ＭＰａ、ラミネート速度３ｍ／分でラミネートした。

次に、高圧水銀灯ランプを有する露光機ＨＭＷ−１２０１（オーク（株）製）を用いて、ネガとして日立４１段ステップタブレットを試験片の上に置いて露光した。光量が強すぎる場合には、ポリエチレンフィルムをステップタブレットの上に置いて調整した。

その後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液を感光性樹脂層の最少現像時間の２倍（ブレイクポイント５０％）の時間スプレーし、未露光部分を除去した後、銅張り積層板上に形成された光硬化膜のステップタブレットの段数を測定した。段数１段（光学濃度０．０５）が残存し、光学濃度０．０５を超える段数が残存しなかった光量は３．０ｍＪ／ｃｍ^２であった。

［実施例１〜２及び比較例１〜３］
（感光性フィルムロールの作製）
幅３００ｍｍの上記感光性フィルムを、３．５インチの円筒状の支管に、巻き軸幅方向に対して平行に配置された表面材質がゴム製の加圧ロールにより、支管に対し線状に２００ｋｇ／ｍの圧力を掛け、１５ｋｇ／ｍの張力で２００ｍ巻き取り、感光性フィルムロールを得た。得られた感光性フィルムロールは、外径が１２０ｍｍであり、気泡の混入及び皺もない良好なものであった。

（感光性フィルムの側面への活性光線露光）
得られた感光性フィルムロールの側面から、表３に示す光量で高圧水銀灯ランプの光（波長：３６５ｎｍ）を照射し、実施例１〜２及び比較例１〜２の感光性フィルムロールを作製した（側面以外の部分はブラックシートで覆った）。また、比較例３として、感光性フィルム側面から高圧水銀ランプを照射しない感光性フィルムロールも作製した。

（エッジフュージョンの評価）
実施例１〜２及び比較例１〜３の感光性フィルムロール全体をブラックシートで覆い、２０℃、６０％ＲＨで静置した。この状態でエッジフュージョンが発生するまで静置し、エッジフュージョンが発生するまでに経過した日数を評価した。

（感光性フィルムロール側面の現像残り評価）
実施例１〜２及び比較例１〜３の感光性フィルムロールについて、感光性フィルム側面に活性光線を照射した直後に、上述した感光性フィルムの光量の測定方法と同じ方法で、感光性フィルムを基材にラミネートし、現像した。露光は実施しなかった。また、感光性フィルムの側面が基材の内側にラミネートされるようにした。現像後に、現像残り（残渣）が発生しているか確認した。上記の各々についての評価結果を表３に示す。

表３に示すように、感光性フィルム側面に活性光線を照射すると、未照射の場合と比較してエッジフュージョン発生日数が長くなり、製品寿命が延びることが分かる。また、感光性フィルム側面に活性光線を０．４及び０．６ｍＪ／ｃｍ^２（段数１が硬化した光量の１３％及び２０％に相当）照射すると、現像残りが発生せず、回路形成において不具合が発生しないことが分かる。また０．８ｍＪ／ｃｍ^２以上（段数１が硬化した光量の２７％以上に相当）照射すると、現像残りが発生し、回路形成において不具合が発生することが分かる。

本発明の感光性フィルムロールを構成する感光性フィルムの一例を示す模式断面図である。本発明の感光性フィルムロールの好適な一実施形態を示す模式断面図である。

符号の説明

１０…支持フィルム、１２…第一感光性樹脂層、１４…第二感光性樹脂層、１６…巻芯、１００…感光性フィルム、１１０…感光性フィルムロール。

Claims

支持フィルム上に第一感光性樹脂層及び第二感光性樹脂層を含む２層以上の層からなる感光性樹脂層を備え、且つ、前記感光性樹脂層上には保護フィルムを有しない感光性フィルムを巻芯にロール状に巻き取ってなる巻き取り体の側面を、ステップタブレットにおける光学濃度が０．０５の段を通して露光された前記感光性樹脂層が硬化し、且つ、光学濃度が０．０５を超える段を通して露光された前記感光性樹脂層が硬化しない光量の４分の１以下の光量の活性光線で露光してなることを特徴とする感光性フィルムロール。
前記感光性樹脂層は、前記第一感光性樹脂層及び前記第二感光性樹脂層を含む２〜８の層を積層してなるものであることを特徴とする請求項１記載の感光性フィルムロール。
前記活性光線が、紫外線活性光線であることを特徴とする請求項１又は２記載の感光性フィルムロール。
前記感光性樹脂層が、前記支持フィルムの一面上に感光性樹脂組成物を塗布し乾燥してなる層であり、前記支持フィルムの前記一面と前記感光性樹脂層の前記一面に対向する対向面との間の接着力ＰＵ（単位：Ｎ／ｍ）、及び、前記支持フィルムにおける前記一面と反対側の反対支持面と前記感光性樹脂層における前記対向面と反対側の反対感光性樹脂面との間の接着力ＰＴ（単位：Ｎ／ｍ）が、下記式（Ｉ）で表される条件を満たすことを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載の感光性フィルムロール。
１．５≦（ＰＵ／ＰＴ）≦１０．０（Ｉ）
前記感光性樹脂層は、前記支持フィルムの一面と対向する対向面を有する前記第一感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層における前記対向面と反対側の反対感光性樹脂面を有する前記第二感光性樹脂層とを含み、前記第一感光性樹脂層及び前記第二感光性樹脂層がそれぞれバインダーポリマーを含有し、前記第二感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーが、前記第一感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーよりも高いガラス転移温度を有するものであることを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載の感光性フィルムロール。
前記感光性樹脂層は、前記支持フィルムの一面と対向する対向面を有する前記第一感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層における前記対向面と反対側の反対感光性樹脂面を有する前記第二感光性樹脂層とを含み、前記第一感光性樹脂層及び前記第二感光性樹脂層がそれぞれバインダーポリマーを含有し、前記第二感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーが、スチレン又はスチレン誘導体を共重合成分として含むものであることを特徴とする請求項１〜５のうちのいずれか一項に記載の感光性フィルムロール。
前記感光性樹脂層は、前記支持フィルムの一面と対向する対向面を有する前記第一感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層における前記対向面と反対側の反対感光性樹脂面を有する前記第二感光性樹脂層とを含み、前記第一感光性樹脂層及び前記第二感光性樹脂層がそれぞれバインダーポリマーを含有し、前記第二感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーが、前記第一感光性樹脂層に含有されるバインダーポリマーよりも小さい重量平均分子量を有するものであることを特徴とする請求項１〜６のうちのいずれか一項に記載の感光性フィルムロール。