JP2003011289A

JP2003011289A - 積層フィルム及びプリント配線板の製造法

Info

Publication number: JP2003011289A
Application number: JP2001195144A
Authority: JP
Inventors: Hakusei Kimura; 伯世木村; Kyoko Ozawa; 恭子小澤
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date: 2001-06-27
Filing date: 2001-06-27
Publication date: 2003-01-15

Abstract

(57)【要約】【課題】基板への追従性が良好で、解像性及びレジス
トパターン形状に優れ、プリント配線板の製造にあたり
作業効率を向上させることが期待できる積層フィルムを
提供する。【解決手段】第一のフィルムと感光性樹脂組成物層と
第二のフィルムとを積層した積層フィルムであって、
（１）第一のフィルムが、その両面に、各々１種以上の
滑剤を均一に含有し、その一の面に含まれる滑剤の個数
密度が、他の面に含まれる滑剤の個数密度の１．５〜５
００倍であり、（２）滑剤を含む第一のフィルムの８０
℃における単位幅あたりのフィルム長手方向の５％伸び
荷重が、３．９２×１０^-2〜８．８３×１０^-1N／mm
（４〜９０gf／mm）であり、（３）第二のフィルムに含
まれる直径８０μm以上のフィッシュアイの個数が１０
個／m²以下である、ことを特徴とする積層フィルム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層フィルム並び
にそれを用いたプリント配線板の製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層フィルムは、プリント配線板を製造
する際、めっき又はエッチング用のレジスト膜を形成す
るために用いられる。積層フィルムは、通常、図２
（ａ）に示すように、支持層（ベースフィルム）１２の
上に、感光性樹脂組成物を塗布乾燥して感光性樹脂組成
物層１３とし、次いで、感光性樹脂組成物層１３の上に
被覆層（保護フィルム）１４を支持層１２と反対側に積
層して構成される。ここで感光性樹脂組成物層１３と支
持層１２とを積層したものを転移層１５という。

【０００３】積層フィルムを用いたプリント配線板の製
造は、通常、以下の工程で行われる。まず、積層フィル
ム１１から被覆層１４を剥離し、感光性樹脂組成物層１
３を基板１６側に向けて、基板１６の上に転移層１５を
載せ、その後、支持層１２側から加熱ロールにより、転
移層１５をラミネートする。ラミネート後の基板１６の
断面は、図２（ｂ）のようになる。

【０００４】次に、ラミネート後の基板の支持層１２上
にネガマスクを置き、このネガマスクを介して、露光用
の光線を照射し感光性樹脂組成物層１３を露光する。露
光後、ネガマスクを取外し、さらに支持層１２を剥離
し、現像を行い、このネガマスクと同じパターンを持つ
感光性樹脂組成物層１３が得られる。この感光性樹脂組
成物層１３をレジスト膜として、次のめっき工程又はエ
ッチング工程を行い、プリント配線板を得る。

【０００５】近年、プリント配線板の配線の高密度化が
進んでおり、積層フィルムには、高い解像性が要求され
ている。高解像性を有する積層フィルムを得るために
は、感光性樹脂組成物層の薄膜化が効果的であるが、以
下の問題があった。

【０００６】従来、感光性樹脂組成物層は、紫外線等を
照射すると照射箇所の物性が変化する感光性樹脂組成物
により形成され、使用目的に応じて好適な組成物が選択
されていたが、一般にその厚みは、例えば、２５μm、
３３μm、４０μm、又は５０μmであった。高解像性を
得るために、この厚みを薄くしようとすると、上記のプ
リント配線板の製造工程で、基板に積層フィルムの転移
層をラミネートする際に、基材の表面凹凸へ追従する感
光性樹脂組成物層量が減少することになり、基板と転移
層との未接着部分が多くなり、充分な製造歩留まりが得
られないという問題があった。

【０００７】また、従来、支持層は、感光性樹脂組成物
を塗布・乾燥する際の熱、テンションに対する耐性を確
保するため、ある程度の厚み、引張強度が必要であり、
そのために８０℃における単位幅あたりのフィルム長手
方向の５％伸び荷重（以下、Ｌ５値と称する）が９．８
×１０^-1N／mm（１００gf／mm）以上で、また、厚さは
２０μm程度のフィルム（例えば、ポリエチレンテレフ
タレート（ＰＥＴ）のフィルム）が用いられていた。し
かし、この厚み及び硬さにより、転移層全体の柔軟性が
不充分となり、ラミネートすべき基板の表面の凹凸に転
移層が追従し難いという問題があった。一方、支持層の
厚みを薄くしたり、より柔らかくしようとすると、一般
に支持層のフィルムは、ロール状にして保管されること
が多いため、保管時に、支持層のフィルムにしわや変形
が生じ、支持層の上に感光性樹脂組成物を塗布する工程
で、感光性樹脂組成物層の膜厚精度が劣化し積層フィル
ム製造時の歩留り悪化や、積層フィルムの密着性、解像
性等の特性変動を招くこととなった。支持層のこれらの
問題は、感光性樹脂組成物層を薄膜化する際に、顕著に
表れる可能性がある。

【０００８】さらに、従来、被覆層としては、ポリオレ
フィンフィルム等が用いられてきたが、一般にこれらの
フィルム中には、製造過程で生じるフィッシュアイとよ
ばれる未溶解及び熱劣化物が含まれている。フィッシュ
アイの大きさは、一般に直径（φ）が３０〜６００μm
で、フィルム表面から２〜４０μmの高さで突き出て凸
部を形成しており、感光性樹脂組成物層の上に被覆層を
積層する際に、凸部が感光性樹脂組成物層に転写し、凹
みを生じさせる。この結果、ラミネート後の基板上にエ
アーボイド（基板と感光性樹脂組成物層との間の空隙）
が発生し、次工程である露光、現像、エッチングの像形
成において、パターン欠けや断線の原因となるという問
題があった。特に、エアーボイドは、感光性樹脂組成物
層の膜厚が薄いほど発生しやすいため、この問題は、感
光性樹脂組成物層を薄膜化する際に、顕著に表れる可能
性がある。

【０００９】上記の問題を解決するため様々な方法が提
案されている。例えば、基板に水を塗布したのち、積層
フィルムを積層する方法が記載されているが（特開昭５
７−２１８９０号公報及び特開昭５７−２１８９１号公
報）、この方法は、水の薄い層の付着に先立ち、基板表
面の清浄操作が必要であるため、作業効率に劣り、ま
た、小径スルーホール等がある場合、スルーホール中に
溜まった水分と感光性樹脂組成物層とが反応し、現像性
を低下させるといった欠点があった。

【００１０】基板に液状の樹脂を積層して接着中間層を
形成した後、積層フィルムを積層する方法も提案されて
いるが（特開昭５２−１５４３６３号公報）、この方法
には、小径スルーホールの現像性やレジスト膜の剥離性
の低下、及び液状樹脂塗布によるコスト増加といった欠
点があった。

【００１１】また、真空ラミネーターを用いて減圧下に
積層する方法も知られているが（特公昭５３−３１６７
０号公報及び特開昭５１−６３７０２号公報）、この方
法は、装置が高価であり、減圧状態にするのに時間がか
かるため、主として導体形成後に用いる永久マスクのラ
ミネートに利用され、通常の回路形成には使用されるこ
とが少ないものであった。

【００１２】さらに、支持層に滑剤を含有させる方法も
提案されている（特開２００１−４２５１６号公報）。
この方法は、支持層を２層構造にし、片方の層にのみ滑
剤を含有させることにより、レジストパターン形状を向
上させ、かつ、支持層のフィルムの巻き取り時の滑り
（以下、巻き取り性という）を滑らかにするとともに、
フィルム面間の接触面積を減少させ、保管時のしわや変
形の発生といった問題を解決するものである。しかし、
支持層のフィルムをロール状に巻き取る際、及び巻き取
り後の保管時に、フィルムにしわや変形が生じやすいた
め、感光性樹脂組成物層の膜厚精度が劣化し、積層フィ
ルム製造時の歩留り水準の低さ、積層フィルムの密着
性、解像性等の特性変動の発生といった問題があり、支
持層のフィルムに対し巻き取り性の一段の向上が求めら
れていた。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、基板
への追従性が良好で、解像性及びレジストパターン形状
に優れる積層フィルムを、生産コストを上昇させずに提
供することにある。具体的には、本発明は、積層フィル
ムの第一のフィルム（従来の支持層にあたる）に柔軟性
を付与することにより、基板への追従性が向上でき、ま
た、解像性及びレジストパターン形状が向上できるとと
もに、第一のフィルムの両面に滑剤を含有させることに
より、第一のフィルムの巻き取り性を改善でき、積層フ
ィルムの特性を維持しつつ、製造時の歩留りの向上を図
ることができる積層フィルムを提供するものである。

【００１４】さらに、本発明は、積層フィルムのエアー
ボイド発生数の低減をも実現し、プリント配線板のパタ
ーンかけ及び断線を低減することができる積層フィルム
を提供するものである。

【００１５】本発明の他の目的は、上記の積層フィルム
を使用することにより、高密度の配線を有するプリント
配線板を、作業性及び歩留まりよく製造する方法を提供
することである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、第一のフィル
ムの面上に感光性樹脂組成物層を積層し、その感光性樹
脂組成物層の第一のフィルムとは反対の面上に第二のフ
ィルムを積層した積層フィルムであって、（１）第一の
フィルムが、その一の面（以下、Ａ面という）及び他の
面（以下、Ｂ面という）に、各々１種以上の滑剤を均一
に含有し、一の面（Ａ面）に含まれる滑剤の個数密度
（個／cm²）が、他の面（Ｂ面）に含まれる滑剤の個数
密度の１．５〜５００倍であり、（２）滑剤を両面に含
む第一のフィルムの８０℃における単位幅あたりのフィ
ルム長手方向の５％伸び荷重が、３．９２×１０^-2〜
８．８３×１０^-1N／mm（４〜９０gf／mm）であり、
（３）第二のフィルム中に含まれる直径８０μm以上の
フィッシュアイの個数が１０個／m²以下である、ことを
特徴とする積層フィルムである。さらには、他の面（Ｂ
面）と感光性樹脂組成物層とが接する上記の積層フィル
ムであり、一の面（Ａ面）に含まれる滑剤の個数密度が
５００〜１，０００，０００（個／cm²）である上記の
積層フィルムである。また、一の面（Ａ面）及び他の面
（Ｂ面）に含まれる滑剤の平均粒径が、それぞれ０．０
５〜４μmである上記の積層フィルムである。

【００１７】また、本発明は、第一のフィルムの面上に
感光性樹脂組成物層を積層し、その感光性樹脂組成物層
の第一のフィルムとは反対の面上に第二のフィルムを積
層した積層フィルムであって、（１）第一のフィルム
が、一の層（以下、Ａ層という）と他の層（以下、Ｂ層
という）からなる２層構造を有し、一の層（Ａ層）及び
他の層（Ｂ層）に、各々１種以上の滑剤を均一に含有
し、滑剤を含む一の層（Ａ層）の総重量に対する一の層
（Ａ層）に含まれる滑剤の含有率（重量％）が、滑剤を
含む他の層（Ｂ層）の総重量に対する他の層（Ｂ層）に
含まれる滑剤の含有率の１．５〜５００倍であり、
（２）滑剤を両層に含む第一のフィルムの８０℃におけ
る単位幅あたりのフィルム長手方向の５％伸び荷重が、
３．９２×１０^-2〜８．８３×１０^-1N／mm（４〜９０g
f／mm）であり、（３）第二のフィルム中に含まれる直
径８０μm以上のフィッシュアイの個数が１０個／m²以
下である、ことを特徴とする積層フィルムである。さら
には、他の層（Ｂ層）が、感光性樹脂組成物層に接する
上記の積層フィルムであり、一の層（Ａ層）の滑剤の含
有率が、滑剤を含む一の層（Ａ層）の総重量に対して
０．０１〜５重量％であり、他の層（Ｂ層）の滑剤の含
有率が、滑剤を含む他の層（Ｂ層）の総重量に対して
０．００１〜０．５重量％である、上記の積層フィルム
である。また、一の層（Ａ層）及び他の層（Ｂ層）に含
まれる滑剤の平均粒径が、それぞれ０．０５〜４μmで
ある上記の積層フィルムである。

【００１８】さらに本発明は、上記の積層フィルムの第
二のフィルムを剥離した後、積層フィルムの感光性樹脂
組成物層と基板とが接するように、積層フィルムを基板
上にラミネートして、次いで、露光、現像することによ
り得られるプリント配線板の製造方法である。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。本発明は、第一のフィルムの面上に感光性樹脂組
成物層を積層し、その感光性樹脂組成物層の第一のフィ
ルムとは反対の面上に第二のフィルムを積層した積層フ
ィルムである。第一のフィルムは、従来の積層フィルム
の支持層にあたり、第二のフィルムは従来の被覆層にあ
たる。

【００２０】〔第一のフィルム〕本発明において、第一
のフィルムは、フィルムに滑剤を含有させたものであ
る。第一のフィルム（滑剤を含まない）は、滑剤を含め
た場合に、後述する特性を満足するものであれば、特に
限定されないが、例えば、単独重合ポリエステル、共重
合ポリエステル、ブレンドポリエステル（単独重合ポリ
エステル同士のブレンド、単独重合ポリエステルと共重
合ポリエステルとのブレンド、共重合ポリエステル同士
のブレンド等）等の材質のフィルム、ガスバリヤ層（例
えばポリ塩化ビニリデンコート等）を設けた無延伸ポリ
プロピレンフィルム、又は二軸延伸ポリプロピレンフィ
ルム等が好ましい。これらは、後述する特性を満足する
上に、無延伸ポリエチレン、無延伸ポリアミド等と比較
して、耐熱性、防湿性のバランスの点で優れている。耐
熱性が低いと、ラミネートの際の温度により溶融しやす
く、また、吸湿性が高いと、感光性樹脂組成物層と第一
のフィルムの接着力が増加し、現像前の第一のフィルム
の剥離が困難となりやすい。入手容易性の観点からは、
例えば、二軸延伸イソフタル酸共重合ポリエチレンテレ
フタレートフィルム、イソフタル酸共重合ポリエチレン
テレフタレートとポリブチレンテレフタレートとのブレ
ンドフィルム（二軸延伸）等が好ましい。

【００２１】本発明における第一のフィルム（滑剤を含
む）の厚みは、２〜３０μmであることが好ましく、５
〜２０μmがより好ましく、８〜１４μmが特に好まし
い。この厚みが、２μm未満ではラミネートする際に転
移層が伸びるという不具合が生じる傾向があり、３０μ
mを超えると露光用光線の屈折や散乱などが大きくなり
やすく解像性が低下する傾向がある上に、転移層の柔軟
性に欠け、ラミネートすべき対象の表面の凹凸への感光
性樹脂層の追従性が低下する傾向がある。

【００２２】本発明における第一のフィルムは、その一
の面（Ａ面）及び他の面（Ｂ面）に、各々１種以上の滑
剤を均一に含有し、Ａ面に含まれる滑剤の個数密度（Ａ
面の単位面積当たりに含まれる滑剤の個数とする。以下
も同様とする。）が、Ｂ面に含まれる滑剤の個数密度の
１．５〜５００倍であるものである。ここで、第一のフ
ィルムの両面（Ａ面及びＢ面）に滑剤を含ませるのは、
滑剤を含ませることにより、フィルムの表面に微妙な凹
凸が生じ、フィルムを巻き取りロール化する際に、表面
間の接触面積が減少し、滑り性が向上するからである。
すなわち、これにより、第一のフィルムをロール状に巻
き取る際、及び巻き取り後に保管する際に、しわや変形
が生じるのを防ぎ、第一のフィルム上に感光性樹脂組成
物を均一な膜厚で塗布することが可能になり、積層フィ
ルム製造時の歩留り低下や密着性、解像性等の積層フィ
ルムの特性変動を防止することができる。なお、第一の
フィルムの表面に含まれる滑剤とは、表面に滑剤のいず
れかの部分が接している滑剤をいう。また、滑剤は、均
一に含ませるが、これは第一のフィルムの表面に、凹凸
が平均的に生じるようにするためである。

【００２３】滑剤は、一方の面（Ａ面）に含まれる滑剤
の個数密度（個／cm²）が、他方の面（Ｂ面）に含まれ
る滑剤の個数密度の１．５〜５００倍であり、滑剤の個
数密度の小さいＢ面が、感光性樹脂組成物層に接するこ
とが好ましい。滑剤を含有させることにより、第一のフ
ィルム表面上に生じる凹凸が、感光性樹脂組成物層に与
える影響を小さくするためである。

【００２４】Ａ面及びＢ面に含まれる滑剤は、平均粒径
０．０５〜４μmであることが好ましく、０．１〜２μm
であることがより好ましい。滑剤の粒径が大きいと、滑
剤による影響（露光時の光線の散乱）等が顕著になり、
また表面の凹凸が感光性樹脂組成物層に転写し、解像
性、レジストパターン形状の悪化を招くからである。ま
た、滑剤の個数密度が高いと、同様に滑剤による影響等
が顕著になることから、第一のフィルムが含有する滑剤
の個数密度は、Ａ面が５００〜１，０００，０００（個
／cm²）、Ｂ面が５０〜１００，０００（個／cm²）であ
ることが好ましく、特にＡ面が５，０００〜１００，０
００（個／cm²）、Ｂ面が５００〜１０，０００（個／c
m²）であることが好ましい。

【００２５】さらに、第一のフィルムは、表面（Ａ面及
びＢ面）以外の部分、すなわち第一のフィルムの内部
に、露光時の光線の散乱を抑制する点から、プリント配
線板の製造にあたり、解像性、レジストパターン形状の
悪化を招かない範囲で、滑剤を含むことができる。

【００２６】また、本発明における第一のフィルムは、
一の層（Ａ層）と他の層（Ｂ層）からなる２層構造を有
し、Ａ層及びＢ層に、各々１種以上の滑剤を均一に含有
し、滑剤を含むＡ層の総重量に対するＡ層に含まれる滑
剤の含有率（Ａ層の総重量に対し、Ａ層に含まれる滑剤
の重量を百分率で表したものとする。以下も同様とす
る。）が、滑剤を含むＢ層の総重量に対するＢ層に含ま
れる滑剤の含有率の１．５〜５００倍であるものであ
る。さらに、Ａ層に含まれる滑剤の含有率が、Ａ層の総
重量に対して０．０１〜５重量％であり、Ｂ層に含まれ
る滑剤の含有率が、Ｂ層の総重量に対して０．００１〜
０．５重量％であることが、解像性、レジストパターン
形状の点から好ましい。上述したＢ面が感光性樹脂組成
物層と接することが好ましいのと同様の理由から、Ｂ層
が、感光性樹脂組成物層と接することが好ましく、Ａ層
とＢ層の滑剤含有量の差は、０．００９〜４．５重量％
で、Ａ層が多いことが好ましい。さらに、解像性、レジ
ストパターン形状の点から、第一のフィルムに対するＡ
層の厚みは、０．１〜８０％であることが好ましく、
０．１〜５０％であることがより好ましく、０．１〜１
０％であることが特に好ましい。また、Ａ層及びＢ層に
含まれる滑剤は、平均粒径０．０５〜４μmであること
が好ましく、０．１〜２μmであることがより好まし
い。

【００２７】本発明において使用する滑剤は、上記の特
性を満足するものであれば、特に種類は限定されない
が、無機粒子、例えば、シリカ、カリオン、タルク、ア
ルミナ、リン酸カルシウム、二酸化チタン、炭酸カルシ
ウム、硫酸バリウム、フッ化カルシウム、フッ化リチウ
ム、ゼオライト、硫化モリブデン等；有機粒子、例え
ば、架橋高分子粒子、シュウ酸カルシウム等を使用する
ことができる。第一のフィルムの透明性の見地からは、
シリカ粒子が好ましい。これらは単独でも、又は２種類
以上を組み合わせても使用することができる。また、Ａ
面とＢ面、又はＡ層とＢ層に含まれる滑剤の種類は、同
一であっても、異なっていてもよい。

【００２８】なお、本発明の第一のフィルムにおいて、
滑剤は、例えば第一のフィルム（滑剤を含まない）の両
面に、滑剤を含む溶液を塗布し、乾燥させることにより
含有させることができる。また、滑剤の含有量の異なる
２枚以上のフィルムを積層して一体化したものを第一の
フィルムとして使用することもできる。

【００２９】本発明における第一のフィルム（滑剤を含
む）は、８０℃における単位幅あたりのフィルム長手方
向の５％伸び荷重（Ｌ５値）が、３．９２×１０^-2〜
８．８３×１０^-1N／mm（４〜９０gf／mm）であること
が必要であり、７．８５×１０^- ²〜８．８３×１０^-1N
／mm（８〜９０gf／mm）であることが好ましく、７．８
５×１０^-2〜５．８８×１０^-1N／mm（８〜６０gf／m
m）であることがより好ましく、７．８５×１０^-2〜
２．９４×１０^-1N／mm（８〜３０gf／mm）であること
が特に好ましい。Ｌ５値が３．９２×１０^-2N／mm（４g
f／mm）未満では、ラミネートする際に転移層が伸びて
膜厚が減少するという不具合が生じ、８．８３×１０^-1
N／mm（９０gf／mm）を超えると、ラミネートすべき対
象の表面の凹凸に対する感光性樹脂組成物層の追従性が
低下するという不具合が生じる。

【００３０】なお、本発明において、Ｌ５値は、テンシ
ロン万能型引張試験機に恒温槽を取りつけ８０℃にて１
０mm幅の短冊型試料をチャック間１０cm、引張速度１０
cm／分で引張試験を行い、試料が５％の伸びをした時の
荷重を試料の幅で除した値とする。

【００３１】本発明における第一のフィルム（滑剤を含
む）は、破断伸びが５０〜１０００％であることが好ま
しく、１００〜１０００％であることがより好ましく、
１００〜８００％であることが特に好ましく、１５０〜
６００％であることが極めて好ましく、１５０〜４００
％であることがとりわけ極めて好ましい。この破断伸び
が５０％未満では、ラミネートすべき対象の表面の凹凸
に対する感光性樹脂組成物層の追従性が低下する傾向が
あり、１０００％を超えると、ラミネートする際に転移
層が伸びて膜厚が減少するという不具合が生じる傾向が
ある。本発明において、破断伸びは、ＪＩＳＣ２３
１８に準拠して決められる。

【００３２】本発明における第一のフィルム（滑剤を含
む）は、酸素透過量が３．９５×１０^-3ミリリットル／
m²・２４ｈ・Pa（４００ml／m²・２４ｈ・atm）以下で
あることが好ましく、１．９７×１０^-3ミリリットル／
m²・２４ｈ・Pa（２００ml／m²・２４ｈ・atm）以下で
あることがより好ましく、９．８７×１０^-4ミリリット
ル／m²・２４ｈ・Pa（１００ml／m²・２４ｈ・atm）以
下であることが特に好ましい。この酸素透過量が、３．
９５×１０^-3ミリリットル／m²・２４ｈ・Pa（４００ml
／m²・２４ｈ・atm）を超えると、感光性樹脂組成物層
が酸素阻害を受けるため、露光時の感度低下、硬化レジ
スト膜の架橋密度低下等の問題が発生する傾向がある。
本発明において、酸素透過量は、ＪＩＳＺ１７０７
に準拠して決められる。

【００３３】本発明における第一のフィルム（滑剤を含
む）は、吸水率が５％以下であることが好ましく、１％
以下であることがより好ましく、０．５％以下であるこ
とが特に好ましい。この吸水率が５％を超えると、感光
性樹脂組成物層と第一のフィルムの接着力が増加し、現
像前の第一のフィルムの剥離が困難となる上、積層フィ
ルムの保存安定性も低下する傾向がある。本発明におい
て、吸水率は、ＪＩＳＫ７２０９に準拠して決められ
る。

【００３４】本発明における第一のフィルム（滑剤を含
む）は、ヘイズ（曇り度）が１０％以下であることが好
ましく、６％以下であることがより好ましく、４％以下
であることが特に好ましく、１％以下であることが極め
て好ましい。このヘイズが１０％を超えると、露光用光
線の透過率が減少すると同時に、屈折や散乱なども大き
くなるため、解像性が著しく悪化する傾向がある。本発
明において、ヘイズは、ＪＩＳＫ６７８２に準拠し
て決められる。

【００３５】本発明における第一のフィルム（滑剤を含
む）は、エレメンドルフ引裂強度が４４．１３N／cm
（４．５kgf／cm）以上であることが好ましく、４９．
０３N／cm（５kgf／cm）以上であることがより好まし
く、６８．６５N／cm（７kgf／cm）以上であることが特
に好ましい。上限は特に限定されないが、４９０．３N
／cm（５０kgf／cm）程度である。このエレメンドルフ
引裂強度が４４．１３N／cm（４．５kgf／cm）未満であ
ると、感光性樹脂組成物層から第一のフィルムを剥離す
る工程において、第一のフィルムが破れやすい傾向があ
る。本発明において、エレメンドルフ引裂強度は、ＪＩ
ＳＫ７１２８Ｂ法に準拠して決められる。

【００３６】本発明における第一のフィルム（滑剤を含
む）は、屈折率（Ｎ_x）、屈折率（Ｎ_y）が共に１．５５
以上であることが好ましく、１．６０以上であることが
より好ましく、１．６５以上であることが特に好まし
い。上限は特に限定されないが、３程度である。この屈
折率が１．５５より小さいと、露光時に入射する斜め光
線を垂直方向に矯正する性能が低下するため、解像性が
悪化する傾向がある。本発明において、屈折率
（Ｎ_x）、屈折率（Ｎ_y）は、ＪＩＳＫ７１０５に準
拠して決められる。

【００３７】〔感光性樹脂組成物層〕本発明における感
光性樹脂組成物層としては、公知の感光性樹脂組成物を
用いることができ、バインダーポリマー（Ａ）、光重合
開始剤（Ｂ）、及び分子内に少なくとも一つの重合可能
なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物（Ｃ）を
含む感光性樹脂組成物であることが好ましい。また、ア
ルカリ現像液で、現像できるものが好ましい。

【００３８】バインダーポリマー（Ａ）としては、例え
ば、スチレン系樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹
脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系
樹脂、フェノール系樹脂等を使用することができる。こ
れらは、単独で使用しても、又は２種以上を組み合わせ
て使用してもよい。

【００３９】上記バインダーポリマー（Ａ）は、例え
ば、重合性の単量体をラジカル重合させることにより、
製造することができる。なお、以下の記載において（メ
タ）アクリル酸とは、アクリル酸及びそれに対応するメ
タクリル酸を意味し、（メタ）アクリレートとは、アク
リレート及びそれに対応するメタクリレートを意味す
る。他のものについても同様である。

【００４０】上記の単量体としては、例えば、スチレン
及び重合可能なスチレン誘導体、例えばビニルトルエ
ン、α−位もしくは芳香族環において置換されているス
チレン（α−メチルスチレン等）；アクリルアミド類、
例えばジアセトンアクリルアミド等；アクリロニトリ
ル；ビニルアルコールのエステル類、例えばビニル−ｎ
−ブチルエーテル等；（メタ）アクリル酸エステル類、
例えば（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）
アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）
アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）ア
クリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アク
リル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロ
エチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラ
フルオロプロピル（メタ）アクリレート；（メタ）アク
リル酸類、例えば（メタ）アクリル酸、α−ブロモ（メ
タ）アクリル酸、α−クロル（メタ）アクリル酸、β−
フリル（メタ）アクリル酸、β−スチリル（メタ）アク
リル酸等；マレイン酸及びマレイン酸モノエステル類、
例えばマレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノ
メチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプ
ロピル等；フマル酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、
イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸等、が挙げら
れる。

【００４１】バインダーポリマー（Ａ）は、アルカリ現
像液による現像性の観点から、アクリル系樹脂を含むこ
とが好ましい。アクリル系の重合性単量体としての（メ
タ）アクリル酸アルキルエステルは、例えば、一般式
（Ｉ）：

【００４２】

【化１】

【００４３】（式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を示
し、Ｒ²は炭素数１〜１２のアルキル基を示す）で表さ
れる化合物及びこれらの化合物のアルキル基に水酸基、
エポキシ基、ハロゲン基等が置換した化合物等が挙げら
れる。これらは、単独で使用しても、又は２種以上を組
み合わせて使用してもよい。

【００４４】一般式（Ｉ）で表される単量体としては、
例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）
アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸プロピ
ルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メ
タ）アクリル酸ペンチルエステル、（メタ）アクリル酸
へキシルエステル、（メタ）アクリル酸ヘプチルエステ
ル、（メタ）アクリル酸オクチルエステル、（メタ）ア
クリル酸２−エチルヘキシルエステル、（メタ）アクリ
ル酸ノニルエステル、（メタ）アクリル酸デシルエステ
ル、（メタ）アクリル酸ウンデシルエステル、（メタ）
アクリル酸ドデシルエステル、等が挙げられる。

【００４５】また、バインダーポリマー（Ａ）は、やは
り、アルカリ現像液による現像性の観点から、カルボキ
シル基を含有させることが好ましく、例えば、メタクリ
ル酸等のカルボキシル基を有する重合性の単量体と、そ
の他の重合性単量体をラジカル重合させることにより製
造することが好ましい。さらに、バインダーポリマー
（Ａ）は、可とう性の観点から、スチレン又はスチレン
誘導体を重合性単量体として含有させることが好まし
い。

【００４６】これらのバインダーポリマー（Ａ）は、単
独で使用しても、又は２種以上を組み合わせて使用して
もよい。

【００４７】光重合開始剤（Ｂ）は、公知の光重合開始
剤を使用することができ、例えば、芳香族ケトン類、例
えば、ベンゾフェノン、４，４′−ビスジメチルアミノ
ベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、４，４′−ビスジ
エチルアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジ
メチルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノ
ン、フェナントレンキノン等；ベンゾインエーテル類、
例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチル
エーテル、ベンゾインフェニルエーテル等；ベンゾイン
類、例えば、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等；
ベンジル誘導体、例えば、ベンジルジメチルケタール
等；２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、例
えば、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量
体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−
メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール
二量体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フ
ェニルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシ
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、
２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフ
ェニルイミダゾール二量体等；アクリジン誘導体、例え
ば、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′
−アクリジニル）ヘプタン等、を使用することができ
る。これらは、単独で使用しても、又は２種以上を組み
合わせて使用してもよい。

【００４８】分子内に少なくとも一つの重合可能なエチ
レン性不飽和基を有する光重合性化合物（Ｃ）は、例え
ば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応
させて得られる化合物；グリシジル基含有化合物にα，
β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物；ウ
レタンモノマー；（メタ）アクリル酸アルキルエステ
ル；２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシ
ポリエトキシ）フェニル）プロパン；ノニルフェニルジ
オキシレン（メタ）アクリレート；ヒドロキシアルキル
−(メタ)アクリロイルオキシエチル−フタレート（例え
ば、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−（メ
タ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−
ヒドロキシエチル−β′−（メタ）アクリロイルオキシ
エチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−
β′−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレ
ート）等が挙げられる。上記のα，β−不飽和カルボン
酸としては、例えば、（メタ）アクリル酸等が挙げられ
る。

【００４９】上記の多価アルコールにα，β−不飽和カ
ルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例え
ば、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリ
コールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２
〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アク
リレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレ
ート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アク
リレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ（メ
タ）アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキ
シトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパン
テトラエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロ
ールプロパンペンタエトキシトリ（メタ）アクリレー
ト、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレー
ト等が挙げられる。

【００５０】上記のグリシジル基含有化合物にα，β−
不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物として
は、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエ
ーテルトリ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−
（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシ−プロピルオキ
シ）フェニル等が挙げられる。

【００５１】上記ウレタンモノマーとしては、例えば、
β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーと、イ
ソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシ
アネート、２，４−トルエンジイソシアネート又は１，
６−ヘキサメチレンジイソシアネート等との付加反応
物；トリス（（メタ）アクリロイルオキシテトラエチレ
ングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシア
ヌレート；ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート；
ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙
げられる。なお、ＥＯはエチレンオキサイドを示し、Ｅ
Ｏ変性された化合物はエチレンオキサイド基のブロック
構造を有する。また、ＰＯはプロピレンオキサイドを示
し、ＰＯ変性された化合物はプロピレンオキサイド基の
ブロック構造を有する。

【００５２】上記の（メタ）アクリル酸アルキルエステ
ルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステ
ル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アク
リル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチル
ヘキシルエステル等が挙げられる。

【００５３】上記の２，２−ビス（４−（（メタ）アク
リロイルオキシポリエトキシ）フェニル）プロパンとし
ては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロ
イルオキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−
ビス（４−（（メタ）アクリロイルオキシトリエトキ
シ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メ
タ）アクリロイルオキシペンタエトキシ）フェニル）プ
ロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロイルオ
キシデカエトキシ）フェニル）プロパン等が挙げられ、
２，２−ビス（４−（メタクリロイルオキシペンタエト
キシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−５００（新中村
化学工業（株）製、製品名）として商業的に入手可能で
ある。

【００５４】これらの光重合性化合物（Ｃ）は、単独で
使用しても、又は２種類以上を組み合わせて使用しても
よい。

【００５５】バインダーポリマー（Ａ）成分の配合量
は、バインダーポリマー（Ａ）成分及び光重合性化合物
（Ｃ）成分の合計量を１００重量部とした場合に、４０
〜８０重量部であることが好ましい。配合量がこの範囲
にあると、十分な塗膜性及び光硬化性を得ることができ
る。

【００５６】光重合開始剤（Ｂ）の配合量は、バインダ
ーポリマー（Ａ）成分及び光重合性化合物（Ｃ）成分の
合計量を１００重量部とした場合に、０．０１〜２０重
量部であることが好ましい。配合量がこの範囲にある
と、十分な感度を確保でき、また、露光の際に組成物の
表面での吸収が増大して内部の光硬化が不充分となるこ
ともない。

【００５７】光重合性化合物（Ｃ）成分の配合量は、バ
インダーポリマー（Ａ）成分及び光重合性化合物（Ｃ）
成分の合計量を１００重量部とした場合に、２０〜６０
重量部であることが好ましい。配合量がこの範囲にある
と、光硬化性が十分であり、塗膜性も良好である。

【００５８】また、本発明の感光性樹脂組成物は、必要
に応じて、染料（例えばマラカイトグリーン等）、光発
色剤（例えば、トリブロモフェニルスルホン、ロイコク
リスタルバイオレット等）、熱発色防止剤、可塑剤（例
えばｐ−トルエンスルホンアミド等）、顔料、充填剤、
消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング
剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、
熱架橋剤等の添加剤を、各々の添加剤が、バインダーポ
リマー（Ａ）成分及び光重合性化合物（Ｃ）成分の合計
量を１００重量部とした場合に、各々０．０１〜２０重
量部程度、含有させることができる。添加剤は、単独で
使用しても、又は２種類以上組み合わせて使用してもよ
い。

【００５９】本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じ
て、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチル
ケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエ
ン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコ
ールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤
に溶解して、固形分を含めた溶液の総重量に対する固形
分（不揮発性）が３０〜６０重量％程度の溶液として塗
布することができる。

【００６０】上記の感光性樹脂組成物を用いた感光性樹
脂組成物層の厚みは、用途により異なるが、生産性及び
細線形成性の観点から、乾燥後の厚みで１〜１００μm
であることが好ましく、３〜１００μmであることがよ
り好ましく、５〜１００μmであることが特に好まし
い。

【００６１】感光性樹脂組成物層の流動性は、基板等の
被着体への追従性、感光性樹脂組成物層の低変形性、低
エッジフュージョン性等の点から、５０〜５００μmで
あることが好ましく、１００〜３００μmであることが
より好ましく、１００〜２５０μmであることが特に好
ましい。流動性の調整は、感光性樹脂組成物層を構成す
る各成分の種類と配合量を調節することにより行うこと
ができる。本発明においては、流動性は、直径２０mm、
厚み２mmの感光性樹脂組成物層をサンプルとし、このサ
ンプルを平面の基板上に置いて、その上に直径５０mmの
円筒形の５kgの静荷重を加え、変形していく感光性樹脂
組成物層の１０秒後の厚み（Ｔ₁μm）と９００秒後の厚
み（Ｔ₂μm）を測定した時のＴ₁−Ｔ₂（μm）を用い
る。

【００６２】〔第二のフィルム〕本発明における第二の
フィルムは、フィルム中に含まれる直径８０μm以上の
フィッシュアイの個数が１０個／m²以下であるものであ
る。フィッシュアイの個数を１０個／m²以下とすること
により、エアーボイドの発生を低減させて、次工程であ
る露光、現像、エッチングの像形成において、パターン
欠けや断線を防ぐことができる。ここで、フィッシュア
イとは、材料を熱溶融して混練を行い、次いで押出し延
伸法又はキャスティング法によりフィルムを製造する際
に、材料の未溶解及び劣化物がフィルム中に取り込まれ
たものをいい、フィッシュアイの直径（φ）とは、最大
径を意味する。なお、フィッシュアイの大きさの測定
は、例えば、光学顕微鏡、接触型表面粗さ計、走査型電
子顕微鏡、非接触型表面粗さ計等で行うことができる。

【００６３】また、本発明において第二のフィルムは、
その表面粗さが、中心線平均粗さＲａが０．００５〜
０．０５μmであることが好ましく、０．０１〜０．０
３μmであることがより好ましい。表面粗さは、接触型
表面粗さ計を用いて測定することができる。

【００６４】本発明における第二のフィルムの厚みは特
に限定されないが、第二のフィルムをロール状に巻いた
際のサイズを考慮すると、５〜２００μmであることが
好ましく、１０〜１００μmがより好ましく、１０〜５
０μmが特に好ましい。

【００６５】本発明において使用されるフィッシュアイ
レベルの良好な第二のフィルムは、例えば、フィルムを
製造する際、原料樹脂を熱溶融後に濾過する等、フィル
ムの製造方法を変更することにより、製造することがで
きる。また、市販のポリプロピレンフィルム等を使用す
ることもでき、例えば、信越フィルム（株）製ＰＰ−タ
イプＰＴ；東レ（株）製トレファンＢＯ−２４００、Ｙ
Ｒ１２タイプ；王子製紙（株）製アルファンＥ２００シ
リーズ等が挙げられる。

【００６６】〔積層フィルム〕本発明の積層フィルム
は、第一のフィルムの面上に感光性樹脂組成物層を積層
し、感光性樹脂組成物層の第一のフィルムとは反対の面
上に第二のフィルムを積層した積層フィルムである。

【００６７】第一のフィルムと感光性樹脂組成物層との
間の接着力は、１８０°ピール強度が、９．８×１０^-3
N／cm（１gf／cm）〜９．８×１０^-1N／cm（１００gf／
cm）であることが好ましい。

【００６８】第二のフィルムと感光性樹脂組成物層の間
の接着力は、１８０°ピール強度が、１．９６×１０^-3
〜９．８０×１０^-2N／cm（０．２〜１０gf／cm）であ
ることが好ましい。接着力がこの範囲にあると、製造時
における第二のフィルムと感光性樹脂組成物層との貼り
合わせが容易で、かつ第二のフィルムの剥離もスムーズ
に行うことができる。

【００６９】なお、第一のフィルムの１８０°ピール強
度は、第二のフィルムのものよりも大きいことが好まし
い。すなわち、第一のフィルムと感光性樹脂組成物層と
の間の接着力が、第二のフィルムと感光性樹脂組成物層
との間の接着力よりも大きいことが好ましい。この場
合、第二のフィルムを剥離して、転移層を容易に形成す
ることができるからである。

【００７０】なお、本発明の積層フィルムは、感光性樹
脂組成物層、第一のフィルム及び第二のフィルムの他
に、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等
の中間層や保護層を有することができる。

【００７１】〔積層フィルムの製造方法〕本発明の積層
フィルムは、例えば、第一のフィルムのＢ面の上に、感
光性樹脂組成物を塗布し、次いで乾燥して感光性樹脂組
成物層とし、さらに感光性樹脂組成物層の上（すなわち
第一のフィルムとは反対側の面）に、第二のフィルムを
積層して製造することができる。

【００７２】また、本発明の積層フィルムは、第二のフ
ィルムの上に、感光性樹脂組成物を塗布し、次いで乾燥
して感光性樹脂組成物層とし、さらに感光性樹脂組成物
層の上（すなわち第二のフィルムとは反対側の面）に、
第一のフィルムを、感光性樹脂組成物層とＢ面が接する
ようにして積層して製造することもできる。

【００７３】本発明において第一のフィルムは、従来の
支持層で使用されるフィルムに比べて軟かいため、比較
的腰のある第二のフィルムを使用して、第二のフィルム
上に感光性樹脂組成物を塗布、乾燥する後者の方法が、
均一な感光性樹脂組成物層の形成ができる点で好まし
い。

【００７４】このようにして得られる本発明の積層フィ
ルムは、ロール状に巻いて保管することができる。

【００７５】〔プリント配線板の製造方法〕本発明のプ
リント配線板の製造方法は、本発明による積層フィルム
の第二のフィルムを剥離して、感光性樹脂組成物層と基
板とが接するように、転移層を基板上にラミネートし、
次いで、露光、現像することを特徴とする。

【００７６】以下、図１を用いて、本発明のプリント配
線板の製造方法の一例について詳述する。図１（ａ）に
おいて、積層フィルム１は、感光性樹脂組成物層３、第
一のフィルム２及び第二のフィルム４で構成され、転移
層５は、感光性樹脂組成物層３及び第一のフィルム２で
構成される。本発明における基板６としては、例えば、
銅、鉄、アルミニウム等の金属シート、ステンレス、４
２アロイ等の合金シート、銅張り積層板等が挙げられ
る。

【００７７】プリント配線板の製造にあたっては、まず
積層フィルム１から第二のフィルム４を剥離し、その
後、感光性樹脂組成物層３を基板６側に向けて、基板６
の上に転移層５を載せてラミネートする。ラミネート後
の基板６の断面は、図１（ｂ）のようになる。

【００７８】基板６上に積層フィルム１をラミネートす
る方法は、特に限定されないが、例えば、第一のフィル
ム側から、加熱可能なロールを備えたラミネーターを用
いてラミネートする方法等が挙げられる。通常、ラミネ
ート時の温度は、６０〜１５０℃（好ましくは８０〜１
３０℃）であり、圧力は、０．１〜１MPa（１〜１０kgf
／cm²）（好ましくは０．３〜０．７MPa（３〜７kgf／c
m²））であり、送り速度は、０．１〜１０m／分（好ま
しくは１〜５m／分）である。

【００７９】次に、ラミネート後の基板６を露光する。
本発明において、露光方法は、特に限定されないが、例
えば、第一のフィルム２上（第一のフィルムが剥離され
ている場合は感光性樹脂組成物層３上）に所定のパター
ンのネガマスクを載せ、このネガマスク上から超高圧水
銀ランプ等の光源を用いて活性光線を照射する方法、レ
ーザーを用いるＣＡＤにより活性光線をパターン状に照
射する方法等が挙げられる。

【００８０】その次に、第一のフィルムを除去し（第一
のフィルムが剥離されている場合はそのまま）露光後の
基板６を現像する。本発明において、現像とは、感光性
樹脂組成物層３を現像して、感光性樹脂組成物層３のレ
ジストパターンとしたい部分以外の部分（不要部）を除
去することをいう。

【００８１】現像の方法は、特に限定されないが、例え
ば、露光により生じた感光性樹脂組成物層３の露光部と
未露光部との現像液に対する溶解度差を利用するウェッ
ト現像法、露光部と未露光部との接着力差を利用するド
ライ現像法等が挙げられる。解像性の点からは、ウェッ
ト現像法が好ましく、その現像液は、特に限定されない
が、例えば、１，１，１，−トリクロロエタン等の有機
溶剤、１重量％炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ性溶
液等が挙げられる。ウェット現像法では、これらの現像
液を、露光した後の感光性樹脂組成物層３に接触させ、
露光部及び未露光部のどちらか一方を溶解又は剥離して
除去する。

【００８２】現像後、基板上にレジストパターンが形成
される。この後、常法により、エッチング、例えば、エ
ッチング液（塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカ
リエッチング溶液、過酸化水素系エッチング液等）によ
るエッチング、又はめっき、例えば、銅めっき（硫酸銅
めっき、ピロリン酸銅めっき等）、はんだめっき（ハイ
スローはんだめっき等）、ワット浴めっき（硫酸ニッケ
ル−塩化ニッケル浴めっき等）、ニッケルめっき（スル
ファミン酸ニッケルめっき等）若しくは金めっき（ハー
ド金めっき、ソフト金めっき等）を行い、次いでレジス
トパターンを、強アルカリ性の水溶液（１〜１０重量％
水酸化ナトリウム水溶液、１〜１０重量％水酸化カリウ
ム水溶液等）で剥離することにより、本発明におけるプ
リント配線板を得ることができる。

【００８３】

【実施例】以下、本発明を実施例によって説明するが、
本発明はこれに限定されるものではない。

【００８４】実施例及び比較例では、第一のフィルムに
ついての測定値は、以下により測定した。 −Ｌ５値（N／mm）（gf／mm）は、テンシロン万能型引
張試験機に恒温槽を取りつけ８０℃にて１０mm幅の短冊
型試料をチャック間１０cm、引張速度１０cm／分で引張
試験を行い、試料が５％の伸びを示した時の荷重を試料
の幅で除した値である。 −破断伸び（％）は、ＪＩＳＣ２３１８に準拠して
測定した値である。 −酸素透過量（ミリリットル／m²・２４ｈ・Pa）（ml／
m²・２４ｈ・atm）は、ＪＩＳＺ１７０７に準拠し
て測定した値である。 −吸水率（％）は、ＪＩＳＫ７２０９に準拠して測
定した値である。 −ヘイズ（％）は、ＪＩＳＫ６７８２に準拠して測
定した値である。 −エレメンドルフ引裂強度（N／cm）（kgf／cm）は、Ｊ
ＩＳＫ７１２８Ｂ法に準拠して測定した値である。 −屈折率（Ｎ_x、Ｎ_y）は、ＪＩＳＫ７１０５に準拠
して測定した値である。

【００８５】実施例及び比較例で、プリント配線板の作
製に使用した材料、機械等は、別のものであるという記
載がある場合を除き、以下を用いた。 −銅張積層板（厚み３５μmの銅箔を片面に積層したガ
ラスエポキシ基板）は、日立化成工業（株）製、商品名
ＭＣＬ−Ｅ６７−３５Ｓを用いた。 −研磨機は、三啓（株）製（＃６００相当のブラシを持
つ）を用いた。 −高温ラミネーターは、日立化成工業（株）製、ＨＬＭ
−３０００を用いた。 −露光機は、オーク製作所（株）製、型式ＨＭＷ−５９
０の水銀ショートアークランプを用いた。 −塩化第二銅エッチング液は、２ＮのＨＣｌ水溶液1リ
ットルあたり、２モルのＣｕＣｌ₂を溶解させた液を用
いた。 −レジストパターンの剥離液は、３重量％ＮａＯＨ水溶
液を用いた。

【００８６】〔感光性樹脂組成物層材料（Ｉ）の作製〕
実施例及び比較例では、感光性樹脂組成物層として、下
記の表１及び、表２に示す材料を配合した感光性樹脂組
成物層材料（Ｉ）を使用した。

【００８７】

【表１】

【００８８】

【表２】

【００８９】実施例１〔積層フィルムＡの作製〕第一のフィルムとして、Ａ層
とＢ層の２層構造を有する厚み１１μmの二軸延伸イソ
フタル酸共重合ポリエチレンテレフタレートフィルム
（帝人（株）製、ＨＫ１９−４（フィルムサンプル）を
用いた。フィルム（ＨＫ１９−４）は、Ａ層が、滑剤含
有率０．５重量％、滑剤の平均粒径０．５μmであり、
Ｂ層が、滑剤含有率０．０３重量％、滑剤の平均粒径
０．５μmであり、Ａ層の厚さ／Ｂ層の厚さ＝１μm／１
０μm、であった。フィルム（ＨＫ１９−４）は、Ｌ５
値５．３９×１０^-1N／mm（５５gf／mm）、破断伸び１
５０％、酸素透過量１．６８×１０^-3ミリリットル／m²
・２４ｈ・Pa（１７０ml／m²・２４ｈ・atm）、吸水率
０．３％、ヘイズ０．５％、エレメンドルフ引裂強度７
３．５５N／cm（７．５kgf／cm）、屈折率Ｎ_x１．６
４、Ｎ_y１．６４、であった。

【００９０】第二のフィルムとして、厚み３０μmの二
軸延伸ポリプロピレンフィルム（直径８０μm以上のフ
ィッシュアイ数が０個／m²：王子製紙（株）製、商品名
Ｅ−２００Ｈ）を用いた。

【００９１】上記の第二のフィルムの上に、感光性樹脂
組成物層材料（Ｉ）を、乾燥後の厚みが１５μmとなる
ように塗布し、８０℃で１０分間温風乾燥し、感光性樹
脂組成物層とした。次いで、上記の第一のフィルムを、
前記感光性樹脂組成物層に、感光性樹脂組成物層とＢ層
が接するように被覆して、積層フィルムＡを作製した。
得られた積層フィルムＡを、第一のフィルムが外側とな
るように巻き取った。

【００９２】〔解像性評価用基板の作製〕厚み３５μm
の銅箔を片面に積層したガラスエポキシ基板の銅表面
を、＃６００相当のブラシを持つ研磨機を用いて研磨
し、水洗後、空気流で乾燥して銅張積層板を得た。

【００９３】次いで、得られた銅張積層板を８０℃に加
温した後、高温ラミネーターを用いて、上記基板に、積
層フィルムＡの第二のフィルムを、ラミネーターの巻き
取りロールを使用して連続的に剥離して、感光性樹脂組
成物層を基板に向けて（第一のフィルム側をロールに触
れるようにして）ラミネートした。ラミネート速度は、
１．５m／分、ロール温度は１１０℃、ロールのシリン
ダー圧力は０．４MPa（４kgf／cm²）であった。

【００９４】ラミネート終了後、積層フィルムをラミネ
ートした基板を２３℃まで冷却した後、基板上の第一の
フィルムの上に、ネガマスク（ストーファー２１段ステ
ップタブレットと（ライン幅／スペース幅）が（４００
μm／６μm）〜（４００μm／４７μm）の配線パターン
を有するネガマスク）を密着させ、露光機を用い、スト
ーファー２１段ステップタブレットの現像後の残存ステ
ップ段数が６．０となるエネルギー量で露光した。

【００９５】次いで、銅張積層板から第一のフィルムを
除去し、３０℃の１重量％炭酸ナトリウム水溶液で２０
秒間スプレー現像し、基板上にレジストパターンを形成
した。

【００９６】〔凹凸追従性評価用基板の作製〕ネガマス
クとして（ライン幅／スペース幅）が（１０００μm／
４００μm）のものを用いたこと以外は、上記の〔解像
性評価用基板の作製〕と同様の方法で、レジストパター
ンの形成された銅張積層板を得た。次いで、得られた基
板を、３０℃の過硫酸アンモニウム水溶液（１００ｇ／
l）に１．２５〜１５分間浸漬した後、基板に４５℃、
スプレー圧力０．２Mpa（２kgf／cm²）の剥離液をスプ
レーし、レジストパターンを剥離し、凹み深さが１〜１
２μm、凹み幅が４００μmの銅張積層板を得た。

【００９７】その後、得られた銅張積層板を８０℃に加
温した後、高温ラミネーターを用いて、積層フィルムＡ
の第二のフィルムを剥離して、感光性樹脂組成物層を基
板に向けて（第一のフィルム側をロールに触れるように
して）ラミネートした。ラミネートロールの軸と基板の
傷の長さ方向は平行とし、ラミネート速度は、１．５m
／分、ロール温度は、１１０℃、ロールのシリンダー圧
力は、０．４Mpa（４kgf／cm²）であった。

【００９８】ラミネート終了後、積層フィルムをラミネ
ートした基板を２３℃まで冷却した後、基板上の第一の
フィルムの上に、（ライン幅／スペース幅）が（１００
μm／１００μm）のネガマスクを、基板の傷の長さ方向
と直角に交差する方向に置き、露光機を用い、ストーフ
ァー２１段ステップタブレットの現像後の残存ステップ
段数が６．０となるエネルギー量で露光した。

【００９９】次いで、銅張積層板から第一のフィルムを
除去し、３０℃の１重量％炭酸ナトリウム水溶液で２０
秒間スプレー現像し、基板上にレジストパターンを形成
した。

【０１００】その後、５０℃の塩化第二銅エッチング液
をスプレー圧力０．２Mpa（２kgf／cm²）で１００秒間
スプレーし、レジストで保護されていない部分の銅を溶
解した後、基板に４５℃、スプレー圧力０．２Mpa（２k
gf／cm²）の剥離液をスプレーし、レジストパターンを
剥離し、基板上に銅のラインが形成された、凹凸追従性
評価用基板を作製した。

【０１０１】〔ウェーブ追従性評価用基板の作製〕厚み
３５μmの銅箔を片面に積層したエポキシ基板（厚み
１．０mm）を、所定の凹凸を有した金型を備えたプレス
を用いてプレスすることにより、凹み深さが１〜１８μ
m、凹み幅が３００〜２０００μmの銅張積層板を得た。

【０１０２】次いで、〔解像性評価用基板の作製〕と同
様にして、上記で得られた銅張積層板の上に積層フィル
ムＡをラミネートした。

【０１０３】ラミネート終了後、積層フィルムをラミネ
ートした基板を２３℃まで冷却した後、基板上の第一の
フィルムの上に、ネガマスク（ストーファー２１段ステ
ップタブレットと（ライン幅／スペース幅）が（１００
μm／１００μm）の配線パターンを有するネガマスク）
を、凹み長さ方向と直角に交差する方向に密着させ、露
光機を用い、ストーファー２１段ステップタブレットの
現像後の残存ステップ段数が６．０となるエネルギー量
で露光した。

【０１０４】次いで、室温で１５分間放置した後、銅張
積層板から第一のフィルムを除去し、３０℃の１重量％
炭酸ナトリウム水溶液で２０秒間スプレー現像し、基板
上にレジストパターンを形成した。

【０１０５】その後、５０℃の塩化第二鉄エッチング液
（４５度ボーメ）を、スプレー圧力０．２Mpa（２kgf／
cm²）で１００秒間スプレーし、レジストで保護されて
いない部分の銅を溶解した後、４５℃の剥離液を、スプ
レー圧力０．２Mpa（２kgf／cm²）でスプレーし、基板
上に銅のラインが形成されたウェーブ追従性評価用基板
を作製した。

【０１０６】〔レジストパターン形状評価用基板の作
製〕ネガマスクとして（ライン幅／スペース幅）が（１
５μm／１５μm）のネガマスク（ガラスネガ）を用いた
こと、及びストーファー２１段ステップタブレットの現
像後の残存ステップ段数が５．０となるエネルギー量で
露光したこと以外は、〔解像性評価用基板〕と同様の方
法で、レジストパターンの形成された銅張積層板を得
て、〔レジストパターン形状評価用基板〕とした。

【０１０７】実施例２〔積層フィルムＢの作製〕実施例１において、第一のフ
ィルムに用いたＨＫ１９−４に代えて、２層構造を有す
る厚み１１μmのイソフタル酸共重合ポリエチレンテレ
フタレートフィルム（帝人（株）製、ＨＫ１９−２（フ
ィルムサンプル）を用いた以外は、実施例１と同様にし
て積層フィルムＢを作製し、得られた積層フィルムＢ
を、第一のフィルムが外側となるように巻き取った。フ
ィルム（ＨＫ１９−２）は、Ａ層が滑剤含有率０．３５
重量％、滑剤の平均粒径０．５μmであり、Ｂ層が、滑
剤含有率０．０５重量％、滑剤の平均粒径０．５μmで
あり、Ａ層の厚さ／Ｂ層の厚さ＝２μm／９μmであっ
た。フィルム（ＨＫ１９−２）は、Ｌ５値５．３９×１
０^-1N／mm（５５gf／mm）、破断伸び１５０％、酸素透
過量１．６８×１０^-3ミリリットル／m²・２４ｈ・Pa
（１７０ml／m²・２４ｈ・atm）、吸水率０．３％、ヘ
イズ１．５％、エレメンドルフ引裂強度７３．５５N／c
m（７．５kgf／cm）、屈折率Ｎ_x１．６４、Ｎ_y１．６
４、であった。

【０１０８】積層フィルムＡの代わりに、積層フィルム
Ｂを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、解像性
評価用基板、凹凸追従性評価用基板（〔解像性評価用基
板の作製〕と同様の方法で、レジストパターンの形成さ
れた銅張積層板を作製する際は、積層フィルムＡを使用
した。以下も同様とする。）、ウェーブ追従性評価用基
板、レジストパターン形状評価用基板を作製した。

【０１０９】実施例３〔積層フィルムＣの作製〕第一のフィルムとして、実施
例１で使用したＨＫ１９−４を用い、第二のフィルムと
して、厚み２０μmの二軸延伸ポリプロピレンフィルム
（直径８０μm以上のフィッシュアイ数が０個／m²：王
子製紙（株）製、商品名Ｅ−２００Ｃ）を用いた。前記
第一のフィルムの上に、感光性樹脂組成物層とＢ層が接
するように、感光性樹脂組成物層材料（Ｉ）を、乾燥後
の厚みが１５μmとなるように塗布し、８０℃で１０分
間温風乾燥し、感光性樹脂組成物層とした。次いで、前
記第二のフィルムを、前記感光性樹脂組成物層に被覆し
て、積層フィルムＣを作製した。得られた積層フィルム
Ｃを、第一のフィルムが外側となるように巻き取った。

【０１１０】積層フィルムＡの代わりに、積層フィルム
Ｃを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、解像性
評価用基板、凹凸追従性評価用基板、ウェーブ追従性評
価用基板、レジストパターン形状評価用基板を作製し
た。

【０１１１】比較例１〔積層フィルムＤの作製〕実施例３において、第二のフ
ィルムに用いたＥ−２００Ｃに代えて、厚み２５μmの
無延伸ポリエチレンフィルム（直径８０μm以上のフィ
ッシュアイ数が約１，０００個／m²：タマポリ（株）
製、商品名ＮＦ−１３）を用いた以外は、実施例３と同
様にして積層フィルムＤを作製し、得られた積層フィル
ムＤを、第一のフィルムが外側となるように巻き取っ
た。

【０１１２】積層フィルムＡの代わりに、積層フィルム
Ｄを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、解像性
評価用基板、凹凸追従性評価用基板、ウェーブ追従性評
価用基板、レジストパターン形状評価用基板を作製し
た。

【０１１３】比較例２〔積層フィルムＥの作製〕実施例１において、第一のフ
ィルムに用いたＨＫ１９−４に代えて、２層構造を有す
る厚み１１μmのイソフタル酸共重合ポリエチレンテレ
フタレートとポリブチレンテレフタレートとのブレンド
フィルム（二軸延伸、帝人（株）製、ＨＫ−１９（フィ
ルムサンプル））を用いた以外は、実施例１と同様にし
て積層フィルムＥを作製し、得られた積層フィルムＥ
を、第一のフィルムが外側となるように巻き取った。フ
ィルム（ＨＫ−１９）は、Ａ層が、滑剤含有率０．１重
量％、滑剤の平均粒径１μmであり、Ｂ層が、滑剤含有
率０重量％であり、Ａ層の厚さ／Ｂ層の厚さ＝３μm／
８μmであった。フィルム（ＨＫ−１９）は、Ｌ５値
１．９６×１０^-1N／mm（２０g／mm）、破断伸び１８０
％、酸素透過量１．２８×１０^-3ミリリットル／m²・２
４ｈ・Pa（１３０ミリリットル／m²・２４ｈ・atm）、
吸水率０．３％、ヘイズ０．９％、エレメンドルフ引裂
強度７４．５３N／cm（７．６kgf／cm）、屈折率Ｎ
_x１．６３、Ｎ_y１．６４）、であった。

【０１１４】積層フィルムＡの代わりに、積層フィルム
Ｅを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、解像性
評価用基板、凹凸追従性評価用基板、ウェーブ追従性評
価用基板、レジストパターン形状評価用基板を作製し
た。

【０１１５】比較例３〔積層フィルムＦの作製〕実施例１において、第一のフ
ィルムに用いたＨＫ１９−４に代えて、単層構造（滑剤
含有）の厚み１１μmの二軸延伸イソフタル酸共重合ポ
リエチレンテレフタレートフィルム（帝人（株）製、Ｈ
Ｋ−４（フィルムサンプル）を用いた以外は、実施例１
と同様にして積層フィルムＦを作製し、得られた積層フ
ィルムＦを、第一のフィルムが外側となるように巻き取
った。フィルム（ＨＫ−４）は、Ｌ５値５．３９×１０
^-1N／mm（５５gf／mm）、破断伸び１５０％、酸素透過
量１．６８×１０^-3ミリリットル／m²・２４ｈ・Pa（１
７０ml／m²・２４ｈ・atm）、吸水率０．３％、ヘイズ
４％、エレメンドルフ引裂強度７３．５５N／cm（７．
５kgf／cm）、屈折率Ｎ_x１．６４、Ｎ_y１．６４、であ
った。

【０１１６】積層フィルムＡの代わりに、積層フィルム
Ｆを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、解像性
評価用基板、凹凸追従性評価用基板、ウェーブ追従性評
価用基板、レジストパターン形状評価用基板を作製し
た。

【０１１７】比較例４〔積層フィルムＧの作製〕実施例３において、第一のフ
ィルムに用いたＨＫ１９−４に代えて、単層構造（滑剤
非含有）の厚み１１μmの二軸延伸ポリエチレンテレフ
タレートフィルム（帝人（株）製、ＨＫ−２０（フィル
ムサンプル））を用い、第二のフィルムに用いたＥ−２
００Ｃに代えて、厚み２５μmの無延伸ポリエチレンフ
ィルム（直径８０μm以上のフィッシュアイ数が約１，
０００個／m²：タマポリ（株）製、商品名ＮＦ−１３）
を用いた以外は、実施例３と同様にして積層フィルムＧ
を作製し、得られた積層フィルムＧを、第一のフィルム
が外側となるように巻き取った。フィルム（ＨＫ−２
０）は、Ｌ５値８．３４×１０^-1N／mm（８５gf／m
m）、破断伸び１１０％、酸素透過量１．２８×１０^-3
ミリリットル／m²・２４ｈ・Pa（１３０ml／m²・２４ｈ
・atm）、吸水率０．３％、ヘイズ０．３％、エレメン
ドルフ引裂強度３９．２３N／cm（４．０kgf／cm）、屈
折率Ｎ_x１．６５、Ｎ_y１．６６、であった。

【０１１８】積層フィルムＡの代わりに、積層フィルム
Ｇを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、解像性
評価用基板、凹凸追従性評価用基板、ウェーブ追従性評
価用基板、レジストパターン形状評価用基板を作製し
た。

【０１１９】比較例５〔積層フィルムＨの作製〕実施例３において、第一のフ
ィルムに用いたＨＫ１９−４に代えて、単層構造（滑剤
含有）の厚み１９μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタ
レートフィルム（帝人（株）製、商品名Ｇ２−１９）を
用い、第二のフィルムに用いたＥ−２００Ｃに代えて、
厚み２５μmの無延伸ポリエチレンフィルム（直径８０
μm以上のフィッシュアイ数が約１，０００個／m²：タ
マポリ（株）製、商品名ＮＦ−１３）を用いた以外は、
実施例３と同様にして、積層フィルムＨを作製した。得
られた積層フィルムＨを、第一のフィルムが外側となる
ように巻き取った。フィルム（Ｇ２−１９）は、Ｌ５値
１．４７N／mm（１５０gf／mm）、破断伸び１５０％、
酸素透過量８．８８×１０^-4ミリリットル／m²・２４ｈ
・Pa（９０ml／m²・２４ｈ・atm）、吸水率０．３％、
ヘイズ１．５％、エレメンドルフ引裂強度５８．８４N
／cm（６．０kgf／cm）、屈折率Ｎ_x１．６５、Ｎ_y１．
６６、であった。

【０１２０】積層フィルムＡの代わりに、積層フィルム
Ｈを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、解像性
評価用基板、凹凸追従性評価用基板、ウェーブ追従性評
価用基板、レジストパターン形状評価用基板を作製し
た。

【０１２１】実施例、及び比較例で得られた積層板、基
板の評価結果について、表３にまとめた。

【０１２２】

【表３】

【０１２３】解像性は、解像性評価用基板を用いて、得
られたレジストパターンの、現像残りのない最小スペー
ス幅の値を測定したものである。この値が小さいほど解
像性が優れたものである。

【０１２４】凹凸追従性は、凹凸追従性評価用基板を用
いて、銅ラインの断線が開始するスクラッチの深さ（μ
m）を測定したものである。この値が大きい程、凹凸追
従性に優れる。基板上にスクラッチがあり、その凹みに
積層フィルムが追従していない場合は、レジストと基板
との間に空隙が生じ、レジストと凹みの交点部分にエッ
チング液が染み込んで銅を溶解させるため、銅ラインの
接続が途切れ断線する。

【０１２５】ウェーブ追従性は、ウェーブ追従性評価用
基板を用いて、銅ラインの断線が開始する基板上の凹み
の深さ（μm）を測定したものである。この値が大きい
程、ウェーブ追従性に優れる。基板上に凹みがあり、そ
の凹みに積層フィルムが追従していない場合は、レジス
トと基板との間に空隙が生じ、レジストと凹みの交点部
分にエッチング液が染み込んで、銅ラインの接続が途切
れ断線する。

【０１２６】ピール破れ率は、解像性評価用基板の作製
と同様の方法で露光工程まで行った基板を用いて、第一
のフィルムを感光性樹脂組成物層から手作業により剥離
するテスト（ピールテスト）を、実施例及び比較例の基
板について１００回実施し、テストの際に剥離した又は
しようとしたフィルムに破れが発生した割合を測定した
ものである。この値が小さい程、第一のフィルムの感光
性樹脂組成物層からの剥離性に優れるため、作業性が良
好となる。

【０１２７】レジストパターン形状は、レジストパター
ン形状評価用基板を用いて、積層板の銅上のレジストパ
ターンの形状を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて
観察したものである。レジストパターンの欠けや断線の
発生がわかる。

【０１２８】エアーボイド発生数は、基板としてヤマハ
オーリンメタル（株）製、商品名Ｃ−７０２５（板厚
０．１５mm）を使用し、ネガマスクを使用せずに全面露
光した以外は、解像性評価基板の作製と同様の方法で露
光工程まで行った基板のエアーボイド発生数を、投影機
により測定したものである。エアーボイド発生数が少な
いほど、パターン欠けや断線が少ない。

【０１２９】第一のフィルムの巻外観は、ＨＫ１９−
４、ＨＫ１９−２、ＨＫ−１９、ＨＫ−４、ＨＫ−２
０、Ｇ２−１９のフィルムサンプル（フィルム幅：１３
００mm、巻長さ：３０００m）をフィルムメーカーより
入手し、巻外観を観察したものである。巻外観に問題が
有る場合、第一のフィルムに感光性樹脂組成物をコー
ティングする際に、感光性樹脂組成物層の膜厚精度が低
下する、第一のフィルムを感光性樹脂組成物層に貼合
わせる際に、しわが生じる、積層フィルムの長尺巻が
困難になる、といった問題が生じる。

【０１３０】本発明の積層フィルム（積層フィルムＡ〜
Ｃ）を用いた実施例１〜３は、解像性、追従性に優れ、
欠け・断線の原因となるエアーボイドの発生が抑制さ
れ、レジストパターン形状も良好である。さらに、第一
のフィルムの巻外観が良好であることから、積層フィル
ム製造時の歩留り低下や積層フィルムの特性変動を防止
できる。

【０１３１】一方、第二のフィルムが、フィッシュアイ
を含有する比較例１では、エアーボイドが発生し、レジ
ストパターン形状に劣る結果となった。第一のフィルム
が、２層構造ではあるが、１層にのみ滑剤を有する比較
例２では、第一のフィルムの巻外観においてしわがみら
れ、作業効率に劣る結果となった。第一のフィルムが単
層で滑剤を含む比較例３では、第一のフィルムの巻外観
は良好ではあるものの、滑剤によりヘイズが悪化し、解
像性がやや劣り、レジストパターン形状もやや劣る結果
となった。第一のフィルムに滑剤を含まず、第二のフィ
ルムがフィッシュアイを含有する比較例４では、解像性
以外の総ての特性が他の実施例及び比較例に劣る結果と
なった。第一のフィルムが単層で滑剤を含み、Ｌ５値が
１．４７（N／mm）と大きく、第二のフィルムがフィッ
シュアイを含有する比較例５では、解像性、追従性が劣
り、レジストパターン形状も劣る結果となった。

【０１３２】

【発明の効果】上記の結果より、本発明の要素を備えた
積層フィルムのみが、基板への追従性が良好で、解像性
及びレジストパターン形状に優れる積層フィルムを提供
することがわかる。さらに、本発明の積層フィルムは、
第一のフィルムの巻外観がよく、破損率も少ないことか
ら、プリント配線板の製造にあたり作業効率を向上させ
ることが期待できる。また、本発明は、新たな設備を必
要とせずに行うことができ、生産コストを増大させるこ
となく行うことができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本発明の積層フィルムの模式図の一例及
び（ｂ）基板上に本発明の積層フィルムがラミネートさ
れた状態の模式図の一例。

【図２】（ａ）従来の積層フィルムの模式図の一例及び
（ｂ）基板上に従来の積層フィルムがラミネートされた
状態の模式図の一例。

【符号の説明】

１積層フィルム２第一のフィルム３感光性樹脂組成物層４第二のフィルム５転移層６基板１１積層フィルム１２支持層１３感光性樹脂組成物層１４被覆層１５転移層１６基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 ＪＬ 3/18 3/18 ＤＦターム(参考） 2H025 AA02 AB11 AB15 AC01 AD01 BC32 BC42 CA01 CA28 CB14 CB16 DA02 DA19 DA20 EA08 FA03 FA17 4F100 AK01A AK01B AK01C AK07 AK12 AK25 AK42 AL01 AT00A AT00C CA13 CA19A CA19H CA30 EJ38 GB43 JB14B JK08A JK14C JL01 JL02 JL05 JL14C YY00A 5E339 AA02 AB02 BE13 CC01 CD01 CE11 CE16 CF01 CF02 CF15 GG02 5E343 AA12 AA33 CC62 CC63 DD21 ER16 ER18 FF12 GG01 GG08 GG11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第一のフィルムの面上に感光性樹脂組成
物層を積層し、前記感光性樹脂組成物層の前記第一のフ
ィルムとは反対の面上に第二のフィルムを積層した積層
フィルムであって、（１）前記第一のフィルムが、その
一の面及び他の面に、各々１種以上の滑剤を均一に含有
し、前記一の面に含まれる滑剤の個数密度が、前記他の
面に含まれる滑剤の個数密度の１．５〜５００倍であ
り、（２）滑剤を両面に含む前記第一のフィルムの８０
℃における単位幅あたりのフィルム長手方向の５％伸び
荷重が、３．９２×１０^-2〜８．８３×１０^-1N／mm
（４〜９０gf／mm）であり、（３）前記第二のフィルム
中に含まれる直径８０μm以上のフィッシュアイの個数
が１０個／m²以下である、ことを特徴とする積層フィル
ム。
【請求項２】前記第一の面に含まれる滑剤の個数密度
が、５００〜１，０００，０００（個／cm²）である、
請求項１記載の積層フィルム。
【請求項３】前記他の面と感光性樹脂組成物層とが接
する、請求項１又は２記載の積層フィルム。
【請求項４】第一のフィルムの面上に感光性樹脂組成
物層を積層し、前記感光性樹脂組成物層の前記第一のフ
ィルムとは反対の面上に第二のフィルムを積層した積層
フィルムであって、（１）前記第一のフィルムが、一の
層と他の層とからなる２層構造を有し、前記一の層及び
前記他の層に、各々１種以上の滑剤を均一に含有し、滑
剤を含む前記一の層の総重量に対する前記一の層に含ま
れる滑剤の含有率が、滑剤を含む前記他の層の総重量に
対する前記他の層に含まれる滑剤の含有率の１．５〜５
００倍であり、（２）滑剤を両層に含む前記第一のフィ
ルムの８０℃における単位幅あたりのフィルム長手方向
の５％伸び荷重が、３．９２×１０^-2〜８．８３×１０
^-1N／mm（４〜９０gf／mm）であり、（３）前記第二の
フィルム中に含まれる直径８０μm以上のフィッシュア
イの個数が１０個／m²以下である、ことを特徴とする積
層フィルム。
【請求項５】前記他の層と感光性樹脂組成物層とが接
する、請求項４記載の積層フィルム。
【請求項６】前記一の層の滑剤の含有率が、滑剤を含
む前記一の層の総重量に対して０．０１〜５重量％であ
り、前記他の層の滑剤の含有率が、滑剤を含む前記他の
層の総重量に対して０．００１〜０．５重量％である、
請求項４又は５記載の積層フィルム。
【請求項７】前記一の層の厚みが、前記第一のフィル
ムの厚みの０．１〜８０％である、請求項４〜６のいず
れか１項記載の積層フィルム。
【請求項８】前記滑剤の平均粒径が、それぞれ０．０
５〜４μmである、請求項１〜７のいずれか１項記載の
積層フィルム。
【請求項９】滑剤を含む前記第一のフィルムの長手方
向の破断伸びが、５０〜１０００％である、請求項１〜
８のいずれか１項記載の積層フィルム。
【請求項１０】滑剤を含む前記第一のフィルムの酸素
透過量が、３．９５×１０^-3ミリリットル／m²・２４ｈ
・Pa以下（４００ミリリットル／m²・２４ｈ・atm以
下）である、請求項１〜９のいずれか１項記載の積層フ
ィルム。
【請求項１１】滑剤を含む前記第一のフィルムの吸水
率が、５％以下である、請求項１〜１０のいずれか１項
記載の積層フィルム。
【請求項１２】滑剤を含む前記第一のフィルムのヘイ
ズが、１０％以下である、請求項１〜１１のいずれか１
項記載の積層フィルム。
【請求項１３】滑剤を含む前記第一のフィルムのエレ
メンドルフ引裂強度が、４４．１３N／cm以上（４．５k
gf／cm以上）である、請求項１〜１２のいずれか1項記
載の積層フィルム。
【請求項１４】前記第二のフィルムと前記感光性樹脂
組成物層の間の接着力が、前記第一のフィルムと前記感
光性樹脂組成物層の間の接着力よりも小さいものであ
る、請求項１〜１３のいずれか１項記載の積層フィル
ム。
【請求項１５】請求項１〜１４のいずれか１項記載の
積層フィルムを使用したプリント配線板の製造法であっ
て、前記積層フィルムの第二のフィルムを剥離して、前
記積層フィルムの感光性樹脂組成物層と基板とが接する
ように、前記積層フィルムを前記基板上にラミネートし
て、次いで、露光、現像することを特徴とするプリント
配線板の製造法。