KR20080077815A - 블랙 매트릭스용 감광성 수지 조성물, 이에 의해 형성되는블랙 매트릭스 및 이를 포함하는 액정표시소자 - Google Patents

블랙 매트릭스용 감광성 수지 조성물, 이에 의해 형성되는블랙 매트릭스 및 이를 포함하는 액정표시소자 Download PDF

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Abstract

본 발명은 블랙 매트릭스(black matrix)용 감광성 수지 조성물, 이에 의해 형성되는 블랙 매트릭스 및 이를 포함하는 액정표시소자에 관한 것으로, 수지 바인더로서 플로렌계 수지 중합체를 포함하는 상기 BM용 감광성 수지 조성물은 감도 및 광학농도가 높고, 현상 접착성이 우수하다.
감광성 수지 조성물, 플로렌계 수지 중합체, 블랙 매트릭스, 액정표시소자

Description

블랙 매트릭스용 감광성 수지 조성물, 이에 의해 형성되는 블랙 매트릭스 및 이를 포함하는 액정표시소자{PHOTO―SENSITIVE RESIN COMPOSITION FOR BLACK MATRIX, BLACK MATRIX PRODUCED BY THE COMPOSITION AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY INCLUDING THE BLACK MATRIX}
도 1은 실시예 1의 BM용 감광성 수지 조성물로 제조한 블랙 매트릭스 패턴을 광학현미경으로 찍은 사진이다.
도 2는 비교예 1의 BM용 감광성 수지 조성물로 제조한 블랙 매트릭스 패턴을 광학현미경으로 찍은 사진이다.
본 발명은 액정표시소자(Liquid Crystal Displays; 이하 “LCD” 라고 함)의 블랙 매트릭스용 감광성 수지 조성물, 이에 의해 형성되는 블랙 매트릭스 및 이를 포함하는 액정표시소자에 관한 것이다. 보다 상세하게는 플로렌계 수지를 포함하여 고감도, 고광학밀도이면서 현상 접착성이 뛰어난 블랙 매트릭스용 수지 조성물에 관한 것이다.
LCD에서 요구되는 고화질, 고대비(high contrast) 특성을 만족하기 위해서는 차광성이 우수한 블랙 매트릭스 형성이 필요하다. 일반적으로 블랙 매트릭스에는 크롬 등의 금속막을 진공 증착하고 포토레지스트(photoresist, 이하 “PR 이라고 함)를 도포, 노광, PR 현상, 에칭(etching) 및 PR 제거를 실시하는 다단계 공정이 필요하다. 이를 이용한 블랙 매트릭스는 두께가 얇고 차광성이 높은 장점을 가지고 있지만 광 반사율이 높아 별도의 처리가 필요하고 다단계 공정을 거치기 때문에 생산비용이 증가할 뿐 아니라 금속 사용으로 인한 환경적인 문제도 유발하게 된다. 또한 IPS(In-Plain Switching)모드에서는 낮은 체적저항을 가지는 블랙 매트릭스가 요구되기 때문에 최근 수지 블랙 매트릭스가 널리 이용되고 있다. 수지 블랙 매트릭스는 차광재료, 바인더 수지, 다관능성 모노머, 광개시제, 용매 등으로 구성된다.
종래 수지 블랙 매트릭스가 충분한 차광특성을 가지기 위해서는 차광성 안료의 양이 충분해야만 하나 이러한 높은 농도의 차광성 안료의 사용은 감도 및 현상안정성을 저하시키는 주 원인이 되어왔다.
이러한 문제를 해결하기 위해서 블랙 매트릭스 골격을 이루는 여러 종류의 바인더 수지가 연구되어왔다. 예를 들어, 대한민국 특허공개 2003-0093514호에서는 반응성기를 가지는 아크릴계 바인더 사용이 제안되어 있고, 대한민국 특허공개 2005-0088119호에서는 카르복실기를 갖는 아크릴 코폴리머 바인더 수지 사용이 제안되어 있다. 특히 일본특개평 5-339356호, 일본특개평 8-278630호 및 대한민국특허공보 2000-55255호에서는 카도계 바인더수지를 사용하고 있는데 카도계 바인더 수지는 고감도이면서 내열성, 내화학성 등이 우수한 블랙 매트릭스 조성물이 가능 하여 현재 시장에서 주로 사용되고 있다. 하지만 기존의 카도계 바인더수지는 디올화합물과 산이무수물을 반응시켜 만들기 때문에 높은 분자량의 바인더 일수록 산가도 높아져 현상시 패턴 끝단의 과도한 탈락으로 인해 안정한 패턴을 얻기 어렵고 벌키(bulky)한 분자구조로 인하여 접착성이 떨어지는 문제점이 있어 왔다.
따라서, 본 발명은 상기 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 충분한 차광성을 가지면서도 감도가 우수하고, 현상 접착성이 뛰어난 BM용 감광성 수지 조성물, 이에 의해 형성되는 블랙 매트릭스 및 이를 포함하는 액정표시소자를 제공하는 것에 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 차광재료, 수지 바인더, 에틸렌성 불포화 이중결합을 가지는 다관능성 모노머, 광중합 개시제 및 용매를 포함하는 BM용 감광성 수지 조성물을 제공한다.
구체적으로, 본 발명에 따른 BM용 감광성 수지 조성물은, 조성물 전체 중량에 대하여,
a) 착색제를 포함하는 차광재료 1 내지 70 중량%;
b) 하기 화학식 1의 반복단위를 갖는 수지 바인더 1 내지 30 중량%;
c) 에틸렌성 불포화 이중결합을 가지는 다관능성 모노머 1 내지 30 중량%;
d) 광중합 개시제 1 내지 30 중량%; 및
e) 용매는 잔량으로 포함하는 것이 바람직하다.
Figure 112007015365191-PAT00001
상기 화학식 1에서,
X는 탄소 1~3의 알킬렌, 에틸렌 옥사이드 및 프로필렌 옥사이드로 이루어진 군에서 선택된 하나이며, Y는 사이클로헥산, 사이클로헥신, 벤젠 및 탄소 3~10인 알킬그룹으로 이루어진 군에서 선택된 하나이다.
예를 들어, 상기 화학식 1에서 X가 알킬이고, Y가 사이클로헥신일 때, 하기 화학식 2로 표시될 수 있다.
Figure 112007015365191-PAT00002
상기 BM용 감광성 수지 조성물의 차광재료에 포함되는 착색제는 흑색안료, 레드안료, 옐로우안료, 블루안료, 바이올렛안료 등의 유기안료에서 1종 또는 2종 이상을 사용할 수 있다. 예를 들어, 흑색안료로는 카본블랙, 티탄블랙 등이 있고, 상기 카본블랙의 예로는 SAF, ISAF, HAF, FEF, SRF, GPF 등을 포함하는 퍼니 스(furnace) 블랙; FT, MT 등을 포함하는 서멀(thermal) 블랙; 아세틸렌 블랙 등이 있다. 바람직하게, 차광성 및 경제성이 우수한 카본블랙 안료를 사용할 수 있다.
상기 차광재료는 BM용 감광성 수지 조성물 총 중량에 대하여 1 ~ 70 중량% 포함되는 것이 바람직하다. 상기 차광재료의 함량은 광학밀도(OD, optical density)에 영향을 미칠 수 있는데, 이에 따른 광학밀도는 높을수록 바람직하다. 따라서, 상기 차광재료의 함량이 낮으면 광학밀도가 낮게 되어 차광성에 바람직하지 않고, 함량이 높으면 높을수록 광학밀도에는 바람직하나 공정성에는 좋지 않다.
상기 BM용 감광성 수지 조성물에 포함되는 수지 바인더는 상기 화학식 1의 반복단위를 갖는 플로렌계 수지 중합체로서, 하기 화학식 3으로 표시되는 플로렌기를 포함하는 디에폭시 화합물; 및 페닐, 사이클로헥실 및 탄소 3~10의 알킬그룹 중 선택된 1개를 사이에 두고 양쪽에 액시드가 치환된 구조를 갖는 디액시드 화합물의 축합반응에 의해 제조될 수 있다.
Figure 112007015365191-PAT00003
상기 화학식 3에서,
X는 탄소 1~3의 알킬렌, 에틸렌 옥사이드 및 프로필렌 옥사이드 중에서 선택된 하나이다.
구체적으로, 상기 화학식 2에서 X가 에틸렌 옥사이드인 경우 하기 화학식 4 로 표시될 수 있다.
Figure 112007015365191-PAT00004
또한, 본 발명에 따른 플로렌계 수지 중합체에 포함되는 디액시드 화합물은, 페닐, 사이클로헥실 및 탄소 3~10의 알킬그룹 중 선택된 1개를 사이에 두고 양쪽에 액시드가 치환된 구조로서 하기 화합물들을 포함할 수 있으나, 패턴이 현상공정을 거치는 동안에 기판 위에 붙어 있는 성질인 현상접착성 향상을 위해 고리형기를 갖는 화합물을 가지는 것이 바람직하다.
예를 들어, 상기 디액시드 화합물로는 시스-4-사이클로헥신-1,2-디카복실산(cis-4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid). 시스-5-노보넨-엔도-2,3-디카르복실산, 숙신산, 이소프탈산, 프탈산, 1,2-시클로헥산디카르복실산, 1,2-페닐렌 디아세틱 액시드, 1,2-페닐렌 디옥시 디아세틱 액시드, 1,4-시클로헥산디카르복실산 등인 것이 바람직하고, 이들을 하기와 같은 화합물로 표시될 수 있다.
Figure 112007015365191-PAT00005
상기 플로렌계 수지 중합체는 1,000 ~ 50,000의 중량평균 분자량을 갖는 것이 바람직하고, BM용 감광성 수지 조성물 총 중량에 대하여 1 내지 30 중량% 포함되는 것이 바람직하다. 그 함량이 1 중량% 미만이면 형성된 필름의 접착성이 저하되고, 30 중량%를 초과하면 형성된 화상의 강도 및 감도가 저하되는 문제점이 있다.
본 발명의 BM용 감광성 수지 조성물의 알칼리 현상성을 향상시키기 위해, 상기 수지 바인더에 알칼리 가용성 수지 바인더를 추가로 혼합할 수 있다. 상기 알칼리 가용성 바인더로는 산기(acid functional group)를 포함하는 모노머와 이 모노머와 공중합할 수 있고 필름의 강도를 높여줄 수 있는 모노머와의 공중합에 의하여 형성된 공중합체를 사용할 수 있다. 또한, 상기 형성된 공중합체와 에폭시기를 함유한 에틸렌성 불포화 화합물과의 고분자 반응에 의하여 제조되는 고분자 화합물을 사용할 수도 있다
상기 산기를 포함하는 모노머의 비제한적인 예로는 (메타)아크릴산, 크로톤산, 이타콘산, 말레인산, 푸마린산, 모노메틸 말레인산, 이소프렌 술폰산, 스티렌 술폰산, 5-노보넨-2-카복실산 등이 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 이상을 사용할 수 있다.
상기 산기를 포함하는 모노머와 공중합할 수 있는 모노머의 비제한적인 예로는 스티렌, 클로로 스티렌, α-메틸 스티렌, 비닐톨루엔, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 디메틸아미노에틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, t-부틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메타)아크릴레이트, 이소보닐(메타)아크릴레이트, 2-페녹시에틸(메타)아크릴레이트, 테트라히드로퍼프릴(메타)아크릴레이트, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-클로로프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 디메틸아미노메틸(메타)아크릴레이트, 디에틸아미노(메타)아크릴레이트, 아실옥틸옥시-2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 에틸헥실 아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메타)아크릴레이트, 3-메톡시부틸(메타)아크릴레이트, 부톡시에틸(메타)아크릴레이트, 에톡시디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 메톡시트리프로필렌글리콜(메타)아크릴레이트, 메톡시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 페녹시디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, p-노닐 페녹시폴리프로필렌글리콜(메타)아크릴레이트, 테트라플루오로프로필(메타)아크릴레이트, 1,1,1,3,3,3-헥사플루오로이소프로필(메타)아크릴레이트, 옥타플루오로펜틸(메타)아크릴레이트, 헵타데카플루오로데실(메타)아크릴레이트, 트리브로모페닐(메타)아크릴레이트, β-(메타)아실올옥시에틸히드로겐 수시네이트, 메틸 α-히드록시메틸 아크릴레이트, 에틸 α-히드록시메틸 아크릴레이트, 프로필 α-히드록시메틸 아크릴레이트, 부틸 α-히드록시메틸 아크릴레이트, N-페닐말레이미드, N-(4-클로로페닐)말레이미드 등이 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 이상을 사용할 수 있다.
또한, 산기를 포함하는 모노머와 이 모노머와 공중합할 수 있는 모노머와의 공중합체와 고분자 반응을 할 수 있는 에폭시기를 함유한 에틸렌성 불포화 화합물의 비제한적인 예로는 글리시딜 (메타)아크릴레이트, 비닐 벤질글리시딜 에테르, 비닐 글리시딜 에테르, 알릴글리시딜 에테르, 4-메틸-4,5-에폭시펜텐, γ-글리시독시 프로필 트리메톡시실란, γ-글리시독시 프로필 메틸디에톡시실란, γ-글리시독시 프로필 트리에톡시 실란, 노보닐 유도체 등이 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 이상을 사용할 수 있다.
알칼리 가용성 수지 바인더로는 산가가 50 ~ 300 KOH㎎/g 인 것이 바람직하고, 1,000~200,000의 중량평균 분자량을 갖는 것이 바람직하다.
상기 BM용 감광성 수지 조성물에 포함되는 에틸렌성 불포화 이중결합을 가지는 다관능성 모노머의 비제한적인 예로는 폴리에틸렌 글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌 글리콜모노(메타)아크릴레이트, 페녹시에틸(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌 글리콜(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌 글리콜(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올 디아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 비스페놀A 디아크릴레이트, 노볼락에폭시 아크릴레이트, 트리메틸올 에탄 트리아크릴레이트, 트리메틸올 프로판 트리아크릴레이트, 네오펜틸 글리콜(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트, 펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 디아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트 등이 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 이상을 사용할 수 있다.
상기 에틸렌성 불포화 이중결합을 가지는 다관능성 모노머는 BM용 감광성 수지 조성물 총 중량에 대하여 1 내지 30 중량% 포함되는 것이 바람직하다. 그 함량이 1 중량% 미만이면 광감도나 블랙 매트릭스의 강도가 저하되고, 30 중량%를 초과하면 감광성 수지층의 점착성이 과도하여 블랙 매트릭스의 강도가 충분치 않고 현상시 패턴이 손실되는 문제점이 생겨 바람직하지 않다.
상기 BM용 감광성 수지 조성물에 포함되는 광중합 개시제는 빛에 의해 라디칼을 발생시키는 역할을 하며, 이러한 광중합 개시제의 비제한적인 예로는 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 트리아진계 화합물, 옥심계 화합물 등이 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있다. 또한, 상기 광중합 개시제는 감광성 수지 조성물 총 중량에 대하여 1 내지 30 중량%로 포함되는 것이 바람직하다.
상기 아세토페논계 화합물은 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온(DAROCURE 1173), 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온(DAROCURE 1116), 1-[4- (2-히드록시에톡시)-페닐]-2-히드록시-디-2-메틸-1-프로판-1-온(Irgacure 2959), 1-히드록시시클로헥실페닐케톤(IRGACURE 184), 디에톡시아세토페논(first DEAP), 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논(IRGACURE 651) 2,2-디에톡시-2-페닐아세토페논(UVATONE 8302), 2-메틸-(4-메틸티오)페닐-2-몰폴리노-1-프로판-1-온(IRGACURE907), 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-몰폴리노페닐)-부탄-1-온(IRGACURE369), 벤조인에틸 에테르, 벤조인이소부틸 에테르(esacure EB3), 벤조인부틸 에테르(BIPE) 등을 포함할 수 있다.
상기 비이미다졸계 화합물은 2,2-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐 비이미다졸, 2,2'-비스(o-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라키스(3,4,5-트리메톡시페닐)-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐 비이미다졸, 2,2'-비스(o-클로로페닐)-4,4,5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 등을 포함할 수 있다.
상기 트리아진계 화합물로는 3-{4-[2,4-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진-6-일]페닐티오}프로피오닉산, 1,1,1,3,3,3-헥사플로로이소프로필-3-{4-[2,4-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진-6-일]페닐티오}프로피오네이트, 에틸-2-{4-[2,4-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진-6-일]페닐티오}아세테이트, 2-에폭시에틸-2-{4-[2,4-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진-6-일]페닐티오}아세테이트, 시클로헥실-2-{4-[2,4-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진-6-일]페닐티오}아세테이트, 벤질-2-{4-[2,4-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진-6-일]페닐티오}아세테이트, 3-{클로로-4-[2,4-비 스(트리클로로메틸)-s-트리아진-6-일]페닐티오}프로피오닉산, 3-{4-[2,4-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진-6-일]페닐티오}프로피온아미드, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-p-메톡시스티릴-s-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(1-p-디메틸아미노페닐)-1,3,-부타디에닐-s-트리아진, 2-트리클로로메틸-4-아미노-6-p-메톡시스티릴-s-트리아진 등을 포함할 수 있다.
상기 옥심계 화합물은 일본 시바사의 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일]-1-(O-아세틸옥심)에탄온 (CGI-242), 1-[4-(페닐티올)페닐]-2-(O-벤조일옥심)-1,2- 옥탄디온 (CGI-124) 등을 포함할 수 있다.
상기 광중합 개시제는 보조성분으로 라디칼의 발생을 촉진시키는 BM용 감광성 수지 조성물 총 중량에 대하여 광가교 증감제 0.01 내지 5 중량%, 또는 경화를 촉진시키는 경화촉진제 0.01 내지 5 중량%를 추가로 포함할 수 있다.
상기 광가교 증감제로는 벤조페논, 4,4-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2,4,6-트리메틸아미노벤조페논, 메틸-o-벤조일벤조에이트, 3,3-디메틸-4-메톡시벤조페논, 3,3,4,4-테트라(t-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논 등의 벤조페논계 화합물; 9-플로레논, 2-클로로-9-플로레논, 2-메틸-9-플로레논 등의 플로레논계 화합물; 티옥산톤, 2,4-디에틸 티옥산톤, 2-클로로 티옥산톤, 1-클로로-4-프로필옥시 티옥산톤, 이소프로필티옥산톤, 디이소프로필티옥산톤 등의 티옥산톤계 화합물; 크산톤, 2-메틸크산톤 등의 크산톤계 화합물; 안트라퀴논, 2-메틸 안트라퀴논, 2-에틸 안트라퀴논, t-부틸 안트라퀴논, 2,6-디클로로-9,10-안트라퀴논 등의 안트라퀴논계 화합물; 9-페닐아크리딘, 1,7-비스(9-아크리디닐)헵탄, 1,5-비스(9-아크리디닐펜탄), 1,3-비스(9-아크리디닐)프로판 등의 아크리딘계 화합물; 벤질, 1,7,7-트리메틸-비시클로[2,2,1]헵탄-2,3-디온, 9,10-펜안트렌퀴논 등의 디카보닐계 화합물; 2,4,6-트리메틸벤조일 디페닐포스핀 옥사이드, 비스(2,6-디메톡시벤조일)-2,4,4-트리메틸펜틸 포스핀 옥사이드 등의 포스핀 옥사이드계 화합물; 2,5-비스(4-디에틸아미노벤잘)시클로펜타논, 2,6-비스(4-디에틸아미노벤잘)시클로헥사논, 2,6-비스(4-디에틸아미노벤잘)-4-메틸-시클로펜타논 등의 아미노 시너지스트; 3,3-카본닐비닐-7-(디에틸아미노)쿠마린, 3-(2-벤조티아졸일)-7-(디에틸아미노)쿠마린, 3-벤조일-7-(디에틸아미노)쿠마린, 3-벤조일-7-메톡시-쿠마린, 10,10-카르보닐비스[1,1,7,7-테트라메틸-2,3,6,7-테트라히드로-1H,5H,11H-C1]-벤조피라노[6,7,8-ij]-퀴놀리진-11-온 등의 쿠마린계 화합물; 4-디에틸아미노 칼콘, 4-아지드벤잘아세토페논 등의 칼콘 화합물; 2-벤조일메틸렌 및 3-메틸-b-나프토티아졸린 등이 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있다.
상기 경화촉진제로는 2-머캅토벤조이미다졸, 2-머캅토벤조티아졸, 2-머캅토벤조옥사졸, 2,5-디머캅토-1,3,4-티아디아졸, 2-머캅토-4,6-디메틸아미노피리딘, 펜타에리스리톨-테트라키스(3-머캅토프로피오네이트), 펜타에리스리톨-트리스(3-머캅토프로피오네이트), 펜타에리스리톨-테트라키스(2-머캅토아세테이트), 펜타에리스리톨-트리스(2-머캅토아세테이트), 트리메틸올프로판-트리스(2-머캅토아세테이트), 트리메틸올프로판-트리스(3-머캅토프로피오네이트) 등이 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있다.
상기 BM용 감광성 수지 조성물에 포함되는 용매는 용해성, 안료분산성, 도포 성 등을 고려할 때, 프로필렌글리콜 모노메틸 에테르, 에틸렌글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노에틸 에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 디메틸 에테르, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논, 2-히드록시에틸프로피오네이트, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 에틸-3-메톡시프로피오네이트, 메틸-3-에톡시프로피오네이트, 에틸-3-에톡시프로피오네이트, 부틸아세테이트, 아밀퍼메이트, 이소아밀아세테이트, 이소부틸아세테이트, 부틸프로피오네이트, 이소프로필부티레이트, 에틸부티레이트, 부틸부티레이트, 에틸피루베이트, γ-부티롤아세테이트 등이 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있다.
상기 용매는 잔량으로 BM용 감광성 수지 조성물에 포함될 수 있으며, 상기 BM용 감광성 수지 조성물에 포함되는 상기 성분들의 함량에 따라 용매의 함량을 달리할 수 있다. 예를 들어, 상기 용매는 BM용 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 10 중량% ~ 95 중량%를 사용할 수 있다.
상기 BM용 감광성 수지 조성물은 분산제, 밀착촉진제, 산화방지제, 자외선흡수제, 열중합방지제 및 레벨링제 중에서 선택된 1종 이상의 첨가제를 선택적으로 더 포함할 수 있으며, 이들은 당기술 분야에서 알려져 있는 물질이면 사용할 수 있다.
구체적으로, 상기 분산제는 미리 안료를 표면처리하는 형태로 안료에 내부 첨가시키는 방법 또는 안료에 외부 첨가시키는 방법으로 사용할 수 있다.
상기 분산제로는 고분자형, 비이온성, 음이온성, 또는 양이온성 분산제를 사 용할 수 있다. 이러한 분산제의 비제한적인 예로는 폴리알킬렌글리콜 및 이의 에스테르, 폴리옥시알킬렌 다가알콜, 에스테르알킬렌 옥사이드 부가물, 알코올알킬렌옥사이드 부가물, 설폰산 에스테르, 설폰산염, 카르복실산에스테르, 카르복실산염, 알킬아미드알킬렌옥사이드 부가물, 알킬아민 등을 포함할 수 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있다.
상기 밀착촉진제의 비제한적인 예로는 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)-실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에톡시 시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필 메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필 트리메톡시 실란, 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란 등을 포함할 수 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있다.
상기 산화방지제의 비제한적인 예로는 2,2-티오비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2,6-g,t-부틸페놀 등 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
상기 자외선흡수제의 비제한적인 예로는 2-(3-t-부틸-5-메틸-2-히드록시페닐)-5-클로로-벤조트리아졸, 알콕시 벤조페논 등 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
상기 열중합방지제의 비제한적인 예로는 히드로퀴논, p-메톡시페놀, 디-t-부틸-p-크레졸, 피로가롤, t-부틸카테콜, 벤조퀴논, 4,4-티오비스(3-메틸-6-t-부틸페 놀), 2,2-메틸렌비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2-머캅토이미다졸 등을 포함할 수 있으며, 이들 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 사용할 수 있다.
본 발명의 BM용 감광성 수지 조성물을 제조하는 방법으로는 먼저 차광재료로 사용될 수 있는 안료 분산액을 제조한다. 이때, 분산액 상태로 시판되는 안료를 이용하여 안료 분산액의 제조에 대치할 수 있다. 상기 안료 분산액에 상기 수지 바인더를 혼합하고, 에틸렌성 불포화 이중결합을 가지는 다관능성 모노머, 광중합 개시제 및 용매를 첨가하고 교반하여 BM용 감광성 수지 조성물을 제조할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 BM용 감광성 수지 조성물을 이용한 블랙 매트릭스를 제공한다. 상기 블랙 매트릭스는 다음과 같은 방법에 의해 형성될 수 있다.
상기 BM용 감광성 수지 조성물을 기판 표면에 도포하고 프리베이크(pre-bake)에 의해 용매를 제거함으로써 막을 형성할 수 있다. 상기 도포 방법으로는 스프레이(spray)법, 롤(roll)코팅법, 회전(spin)코팅법, 바(bar)코팅법, 슬릿(slit)코팅법 등의 방법을 사용할 수 있다. 프리베이크의 조건은 조성물의 배합 성분과 비율에 따라 다르지만, 통상 70~150℃에서 0.5~30분간 시행할 수 있다.
다음으로 프리베이크된 도포막을 소정의 패턴 마스크를 통해 자외선을 조사하고 알카리 수용액에 의해 현상하여 불필요한 부분을 제거하여 패턴을 형성한다. 현상방법으로는 디핑(dipping)법, 샤워(shower)법 등을 제한 없이 적용할 수 있다. 현상시간은 통상 30~180초 정도이다. 상기 현상액으로는 알칼리 수용액으로서 수산화나트륨, 수산화칼륨, 규산나트륨, 메트규산나트륨, 암모니아 등의 무기 알칼리류; 에틸아민, N-프로필아민 등의 1급 아민류; 디에틸아민, 디-n-프로필아민 등의 2급 아민류; 트리메닐아민, 메틸디에틸아민, 디메틸에틸아민 등의 3급 아민류; 디메틸에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 3급 알코올 아민류; 피롤, 피페리딘, n-메틸피페리딘, n-메틸피롤리딘, 1,8-디아자비시클로[5.4.0]-7-운데센, 1,5-디아자비시클로[4.3.0]-5-노넨 등의 환상 3급 아민류; 피리딘, 코리진, 루티딘, 퀴롤린 등의 방향족 3급 아민류; 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드 등의 4급 암모늄염의 수용액 등을 사용할 수 있다.
현상 후 유수세정을 약 30~90초간 행하고 공기 또는 질소로 건조시킴으로써 패턴을 형성한다. 이 패턴을 핫플레이트(hot plate), 오븐(oven) 등의 가열장치를 이용하여 포스트베이크(post-bake)을 통해 완성된 블랙 매트릭스를 얻을 수 있다. 이때 포스트베이크의 조건은 150~230℃에서 10~90분 정도 가열하는 것이 바람직하다.
완성된 블랙 매트릭스는 충분한 차광성을 가지며, 그 광학밀도(OD, Optical Density)는 두께 1.2㎛에서 3.5 이상이고, 더욱 바람직하게는 두께 1.2㎛에서 4.0 이상이다.
본 발명은 상기 블랙 매트릭스를 포함하는 컬러필터를 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 블랙 매트릭스를 포함하는 액정표시소자를 제공한다.
이하, 본 발명의 실시예를 통해 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인하여 한정되는 식으로 해석되어서는 안된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설 명하기 위해 제공되는 것이다.
<합성예 1>
9,9-비스페놀플루오렌디글리시딜에테르 122g과 4-사이클로헥신-1,2-디카르복실산 45g을 150g의 프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트와 함께 교반하였다. 반응기 내부에 산소를 흘려주며 반응기를 110℃로 가열하였다. 10시간 후 반응을 종료하고 200g의 반응용매를 추가하여 본 발명의 수지 바인더를 얻었다. (고형분 29.19 %, 산가 25, 분자량 13000)
<합성예 2>
9,9-비스페놀플루오렌디글리시딜에테르 124g과 프탈릭산 44g을 150g의 프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트와 함께 교반하였다. 반응기 내부에 산소를 흘려주며 반응기를 110℃로 가열하였다. 10시간 후 반응을 종료하고 200g의 반응용매를 추가하여 본 발명의 수지 바인더를 얻었다. (고형분 28.80 %, 산가 32, 분자량 10300)
<합성예 3>
9,9-비스페놀플루오렌디글리시딜에테르 107g과 5-노보넨-2,3-디카르복실산 42g을 150g의 프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트와 함께 교반하였다. 반응기 내부에 산소를 흘려주며 반응기를 110℃로 가열하였다. 10시간 후 반응을 종료하고 200g의 반응용매를 추가하여 본 발명의 수지 바인더를 얻었다. (고형분 31.65 %, 산가 25, 분자량 4000)
<합성예 4>
9,9-비스페놀플루오렌디글리시딜에테르 90g과 숙시닉산 30g을 180g의 프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트와 함께 교반하였다. 반응기 내부에 산소를 흘려주며 반응기를 110℃로 가열하였다. 10시간 후 반응을 종료하여 본 발명의 비교 예로 사용된 수지 바인더를 얻었다. (고형분 40.91 %, 산가 95, 분자량 2400)
하기 실시예 1의 중량부는 BM용 감광성 수지 조성물 1000 중량부를 기준으로 하였다.
<실시예 1> BM용 감광성 수지 조성물의 제조
카본 블랙 분산액(고형분으로 카본블랙 20중량%, 분산제 3중량%, 벤질(메타)아크릴레이트/(메타)아크릴산의 공중합체(몰비 70/30, Mw = 23,000) 4중량%, 프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트 73중량%) 375 중량부, 여기에 플로렌계 수지 바인더인 합성예 1의 수지 30 중량부(고형분 30중량%, 프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트 70중량%), 알칼리 가용성 수지 바인더로서 벤질(메타)아크릴레이트/(메타)아크릴산의 공중합체에 글리시딜 메타아크릴레이트가 부가된 중합체(몰비 73/19/8, Mw = 22,000) 60 중량부(고형분 30중량%, 프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트 70중량%), 모노머로 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 80 중량부(고형분 50중량%, 프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트 50중량%) 혼합하고, 광중합 개시제로서 2-벤질-2-(디메틸아미노)-1-(4-모폴리노페닐)부틸-1-온 4 중량부(상품명 Irgacure 369), 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일]-1-(O-아세틸옥심)에탄온 (상품명 CGI-242) 5 중량부, 2,2'-비스(o-클로로페닐)-4,4,5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 4 중량부, 4,4-비스(디에틸아미노)벤조페논 4 중량부, 및 머캅토 벤조티아졸 2 중량부를 혼합한 후, 첨가제로서 밀착촉진제인 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란 5 중량부 및 레벨링제 1 중량부를 혼합하고, 용매로서 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트 150 중량부, 3-메톡시 부틸 아세테이트 140 중량부, 디프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 140 중량부를 혼합하였다. 그 다음, 상기 혼합물을 5 시간 동안 교반하여 BM용 감광성 수지 조성물을 제조하였다. <실시예 2>
합성예 2를 사용한 플로렌계 수지 바인더를 사용한 것 이외에는 실시예 1과동일한 조성 및 방법으로 BM용 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
<실시예 3>
합성예 3를 사용한 플로렌계 수지 바인더를 사용한 것 이외에는 실시예 1과동일한 조성 및 방법으로 BM용 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
<실시예 4>
합성예 4를 사용한 플로렌계 바인더 수지를 사용한 것 이외에는 실시예 1에서와 동일한 조성 및 방법으로 BM용 감광성 수지 조성물을 제조하였다
<비교예 1>
플로렌계 수지 바인더 대신 벤질(메타)아크릴레이트/(메타)아크릴산의 공중합체(몰비 73/27, Mw = 23,000)를 사용한 것을 제외하고 상기 실시예 1과 동일한 조성으로 BM용 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
<실험예 1> 블랙 매트릭스 패턴의 형성
실시예 1 내지 3 및 비교예 1과 2에서 제조한 각각의 BM용 감광성 수지 조성 물 용액을 유리 위에 스핀 코팅하고, 약 110℃로 2분 동안 전열 처리하여 약 1.3 ㎛ 두께의 도막을 형성하였다. 그 다음, 실온에서 냉각한 후, 포토마스크를 이용하여 노광 갭(gap)을 100㎛로 하여 고압수은 램프 하에서 60 mJ/㎠의 에너지로 노광시켰다. 상기 노광된 기판을 25℃의 온도에서 0.04%의 KOH 수용액을 이용하여 스프레이 방식으로 현상한 후, 순수로 세정하고 건조시켜 220℃의 컨벡션 오븐에서 30분간 포스트베이크(post-bake)하여 블랙 매트릭스 패턴을 형성하였다.
감도 및 차광성 측정
상기 블랙 매트릭스 형성방법에서 막 두께 측정기를 이용하여 알칼리 현상전 두께를 측정하고 광량을 20mJ 부터 10mJ씩 순차적으로 증가시킨 후에 알칼리 수용액에 현상하였다. 그 후의 다시 두께를 측정하여 노광량별 잔막율을 측정하여 잔막율이 포화되는 최소 노광량을 얻어 표 1에 표시하였다. 또한, 광학농도계(Macbeth D200-Ⅱ)을 이용하여 OD치를 측정한 결과를 하기 표 1에 함께 표시하였다.
현상 접착성 측정
상기 감도평가에서 얻어진 최소 노광량을 조사하고 알칼리 수용액을 이용하여 일정시간 동안 현상하고 얻어지는 최소 패턴을 현상 시간에 따라 표 2에 표시 하였다.
두께 (㎛) 차광성(OD) 직진성 테이퍼 각도 감도(mJ/㎠)
실시예1 1.2 4.5 40도 이하 60
실시예2 1.2 4.5 50도 이하 60
실시예3 1.2 4.5 50도 이하 60
실시예4 1.2 4.5 70도 이하 60
비교예1 1.2 4.5 70도 이하 80
◎ : 아주 좋음, ○ : 좋음, △ : 보통, × : 나쁨
현상 시간에 따른 잔존 최소 패턴 크기(㎛)
60초 70 80 90
실시예1 3 4 7 10
실시예2 3 5 8 11
실시예3 4 6 9 13
실시예4 7 11 15 20
비교예1 8 11 16 25
상기와 같이 수득한 본 발명의 블랙 매트릭스 패턴은 막 두께가 1.2㎛로 패턴의 손실이 없고, 미 노광부의 오염이 없으며, 패턴의 직진성, 표면 평탄성이 매우 우수함을 광학현미경(OLYMPUS BX60F-3)으로 확인할 수 있다.
본 발명에 따른 BM용 감광성 수지 조성물은 상기 플로렌계 수지 중합체를 수지 바인더로서 사용하여 충분한 차광 특성을 가지고 안정한 패턴모양과 충분한 현상 마진을 가져서 공정성이 뛰어난 블랙 매트릭스를 형성할 수 있다.

Claims (13)

  1. a) 착색제를 포함하는 차광재료 1 내지 70 중량%;
    b) 하기 화학식 1의 반복단위를 갖는 수지 바인더 1 내지 30 중량%;
    c) 에틸렌성 불포화 이중결합을 가지는 다관능성 모노머 1 내지 30 중량%;
    d) 광중합 개시제 1 내지 30 중량%; 및
    e) 용매는 잔량으로 포함하는 것인 BM용 감광성 수지 조성물.
    [화학식 1]
    Figure 112007015365191-PAT00006
    상기 화학식 1에서,
    X는 탄소 1~3의 알킬렌, 에틸렌 옥사이드 및 프로필렌 옥사이드로 이루어진 군에서 선택된 하나이며, Y는 사이클로헥산, 사이클로헥신, 벤젠 및 탄소 3~10인 알킬그룹으로 이루어진 군에서 선택된 하나이다.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 착색제는 카본블랙 또는 티탄블랙을 포함하는 흑색안료, 레드안료, 옐로우안료, 블루안료 및 바이올렛안료로 이루어진 유기안료 중 선택된 1종 이상을 포함하는 것인 BM용 감광성 수지 조성물.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 수지 바인더는 하기 화학식 3으로 표시되는 플로렌기를 포함하는 디에폭시 화합물; 및 페닐, 사이클로헥실 및 탄소 3~10의 알킬그룹 중 선택된 1개를 사이에 두고 양쪽에 액시드가 치환된 구조를 갖는 디액시드 화합물의 축합반응에 의해 제조되는 것인 BM용 감광성 수지 조성물.
    [화학식 3]
    Figure 112007015365191-PAT00007
    상기 화학식 3에 있어서, X는 탄소 1~3의 알킬렌, 에틸렌 옥사이드 및 프로필렌 옥사이드 중에서 선택된 하나이다.
  4. 청구항 3에 있어서, 상기 수지 바인더에 산기를 포함하는 모노머와 이 모노머와 공중합할 수 있는 모노머와의 공중합체; 또는 상기 공중합체에 에폭시기를 함유한 에틸렌성 불포화 화합물이 결합되어 형성된 고분자 화합물을 포함하는 알칼리 가용성 수지 바인더를 더 추가하는 것인 BM용 감광성 수지 조성물.
  5. 청구항 4에 있어서, 상기 산기를 포함하는 모노머는 (메타)아크릴산, 크로톤산, 이타콘산, 말레인산, 푸마린산, 모노메틸 말레인산, 이소프렌 술폰산, 스티렌 술폰산 및 5-노보넨-2-카복실산 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물인 것인 BM용 감광성 수지 조성물.
  6. 청구항 4에 있어서, 상기 산기를 포함하는 모노머와 공중합할 수 있는 모노머는 스티렌, 클로로 스티렌, α-메틸 스티렌, 비닐톨루엔, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 디메틸아미노에틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, t-부틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메타)아크릴레이트, 이소보닐(메타)아크릴레이트, 2-페녹시에틸(메타)아크릴레이트, 테트라히드로퍼프릴(메타)아크릴레이트, 히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-클로로프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 디메틸아미노메틸(메타)아크릴레이트, 디에틸아미노(메타)아크릴레이트, 아실옥틸옥시-2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 에틸헥실 아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메타)아크릴레이트, 3-메톡시부틸(메타)아크릴레이트, 부톡시에틸(메타)아크릴레이트, 에톡시디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 메톡시트리프로필렌글리콜(메타)아크릴레이트, 메톡시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 페녹시디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, p-노닐페녹시폴리프로필렌글리콜(메타)아크릴레이트, 테트라플루오로프로필(메타)아크릴레이트, 1,1,1,3,3,3-헥사플루오로이소프로필(메타)아크릴레이트, 옥타플루오로펜 틸(메타)아크릴레이트, 헵타데카플루오로데실(메타)아크릴레이트, 트리브로모페닐(메타)아크릴레이트, β-(메타)아실올옥시에틸히드로겐 수시네이트, 메틸 α-히드록시메틸 아크릴레이트, 에틸 α-히드록시메틸 아크릴레이트, 프로필 α-히드록시메틸 아크릴레이트, 부틸 α-히드록시메틸 아크릴레이트, N-페닐말레이미드 및 N-(4-클로로페닐)말레이미드 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인 BM용 감광성 수지 조성물.
  7. 청구항 4에 있어서, 상기 알칼리 가용성 수지 바인더는 50 내지 300 KOH㎎/g의 산가를 갖고, 1,000 내지 200,000의 중량평균 분자량을 갖는 것인 BM용 감광성 수지 조성물.
  8. 청구항 1에 있어서, 상기 에틸렌성 불포화 이중결합을 가지는 다관능성 모노머는 폴리에틸렌 글리콜모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌 글리콜모노(메타)아크릴레이트, 페녹시에틸(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌 글리콜(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌 글리콜(메타)아크릴레이트, 1,4-부탄디올 디아크릴레이트, 1,6-헥산디올 디아크릴레이트, 비스페놀A 디아크릴레이트, 노볼락에폭시 아크릴레이트, 트리메틸올 에탄 트리아크릴레이트, 트리메틸올 프로판 트리아크릴레이트, 네오펜틸 글리콜(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨 테트라아크릴레이트, 펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 디아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 펜타아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레 이트중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것인 BM용 감광성 수지 조성물.
  9. 청구항 1에 있어서, BM용 감광성 수지 조성물은 광가교 증감제, 경화촉진제 분산제, 밀착촉진제, 산화방지제, 자외선흡수제, 열중합방지제 및 레벨링제 중에서 선택된 1종 이상을 추가로 포함하는 것인 BM용 감광성 수지 조성물.
  10. 청구항 1에 있어서, 상기 용매는 프로필렌글리콜 모노메틸 에테르, 에틸렌글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜 모노에틸 에테르 아세테이트, 디에틸렌글리콜 디메틸 에테르, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논, 2-히드록시에틸프로피오네이트, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 에틸-3-메톡시프로피오네이트, 메틸-3-에톡시프로피오네이트, 에틸-3-에톡시프로피오네이트, 부틸아세테이트, 아밀퍼메이트, 이소아밀아세테이트, 이소부틸아세테이트, 부틸프로피오네이트, 이소프로필부티레이트, 에틸부티레이트, 부틸부티레이트, 에틸피루베이트 및 γ-부티롤아세테이트 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 포함하는 것인 BM용 감광성 수지 조성물.
  11. 청구항 1 내지 10 중 어느 한 항의 BM용 감광성 수지 조성물에 의해 형성되는 것인 블랙 매트릭스.
  12. 청구항 11의 블랙 매트릭스를 포함하는 것인 컬러필터.
  13. 청구항 11의 블랙 매트릭스를 포함하는 것인 액정표시소자.
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