KR102054045B1 - 고분자 수지 화합물 및 이를 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물 - Google Patents

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Abstract

본 명세서는 고분자 수지 화합물 및 이를 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.

Description

고분자 수지 화합물 및 이를 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물{POLYMER RESION COMPOUND AND PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION FOR BLACK BANK}
본 명세서는 고분자 수지 화합물 및 이를 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.
OLED는 자기 발광형 표시 장치로서, 발광을 위한 백라이트(backlight)가 필요 없고 시야각이 넓을 뿐 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 표시 장치로 주목을 받고 있다. 이와 같은 OLED 소자의 발광체 부분의 구성은, 일반적으로 투명기판, 투명 전극층, 유기 발광층, 금속 전극층 및 필요에 따라 전극상에 절연막과 격벽을 포함한다.
상기 절연막으로서는 종래 산화실리콘이나 질화실리콘 등의 무기재료나 폴리이미드(polyimide)등의 유기재료가 사용되어 왔으며, 통상적인 무기, 유기재료를 이용하여 상기 절연막을 형성하는 경우, 일반적으로 기판에 포토레지스트(photoresist, 이하 "PR"이라고 함)를 도포하고, 노광, PR현상, 에칭(etching) 및 PR제거를 실시하는 다단계 공정이 필요하여 생산비용이 증가하게 된다. 이러한 문제를 해결하기 위해서 감광성 폴리이미드 등의 감광성 폴리머 등이 절연막(투명뱅크)으로 사용되었다. 그러나 이러한 절연막 투명하여 차광성을 갖지 않기 때문에 금속 전극의 외광 반사에 의한 시인성이 떨어지는 문제점을 가지고 있다. 특히 태양광에 노출된 실외에서는 외광 반사 때문에 상대적인 휘도와 콘트라스트비가 급격히 감소한다.
종래 OLED의 대부분은 이러한 콘트라스트비의 저하 문제를 해결하기 위해서 기판의 표면에 편광판(polarizing film)을 사용하여 외광 반사에 의한 콘트라스트 저하를 줄이고 있다. 그러나 편광판을 사용하는 것은 유기 발광층에서 발생되는 광의 일부를 차단하므로 휘도 저하를 막을 수는 없다.
OLED의 절연막에 블랙 뱅크를 적용하면 기존 폴리이미드 절연막에서 없었던 차광성을 가질 수 있어 외광 반사를 줄일 수 있으며, 편광판을 사용하지 않아도 되기에 원가 절감은 물론, 휘도 저하의 우려도 없다.
특히, 모바일용 블랙 뱅크 개발에 있어서 좁은 슬릿 마스크를 이용한 홀(hole) 패턴을 구현하는 기술이 중요한데, 홀 패턴은 OLED 구조에 있어 anode 로 active area 가 된다. 이러한 홀 패턴에 잔사가 있으면 소자 수명이 줄어들며, 직진성이 좋지 못하면 시인성이 나빠진다. 종래의 카도계 바인더를 이용하면 직진성이 떨어지고 홀에 잔사가 발생하는 문제점이 있다.
따라서, 당 기술분야에서는 홀 잔사 및 직진성이 개선된 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물에 대한 연구 및 개발이 계속 요구되고 있다.
한국 특허 출원 공개 제2009-0004054호
본 명세서는 고분자 수지 화합물 및 이를 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 제공하고자 한다.
본 명세서는 하기 화학식 1의 반복단위를 포함하는 고분자 수지 화합물을 제공한다.
[화학식 1]
Figure 112017021736809-pat00001
상기 화학식 1에서,
A1 및 A2는 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 카바메이트기; 또는 히드록시기이며,
상기 A1 및 A2 중 어느 하나가 히드록시기인 경우, 나머지는 치환 또는 비치환된 카바메이트기이고,
Y1 및 Y2는 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기; 치환 또는 비치환된 에틸렌 옥사이드기; 또는 치환 또는 비치환된 프로필렌 옥사이드기이며,
Z는 치환 또는 비치환된 2가의 알킬기; 치환 또는 비치환된 2가의 시클로헥산; 치환 또는 비치환된 2가의 시클로헥신; 또는 치환 또는 비치환된 2가의 벤젠이고,
R1 내지 R10은 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소; 중수소; 할로겐기; 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬기; 치환 또는 비치환된 탄소수 3 내지 10의 시클로알킬기; 치환 또는 비치환된 실릴기; 치환 또는 비치환된 포스핀옥사이드기; 치환 또는 비치환된 아릴기; 또는 치환 또는 비치환된 헤테로고리기이며,
r1 내지 r4는 각각 독립적으로 1 내지 4의 정수이고,
r1 내지 r4가 각각 2 이상인 경우, 괄호 내의 구조는 각각 서로 같거나 상이하며,
n은 2 내지 5,000이고,
n이 2 이상인 경우, 괄호 내의 구조는 서로 같거나 상이하다.
또한, 본 명세서는 상기 고분자 수지 화합물, 모노머, 광개시제, 착색제 및 용매를 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 제공한다.
또한, 본 명세서는 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 포함하는 블랙 뱅크를 제공한다.
또한, 본 명세서는 1) 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 기판상에 도포하는 단계; 2) 상기 도포된 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계; 및 3) 패터닝된 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 경화시키는 단계를 포함하는 블랙 뱅크의 제조 방법을 제공한다.
본 명세서의 일 실시상태에 따른 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물은 화학식 1로 표시되는 고분자 수지 화합물을 포함함으로써, 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 포함하는 블랙 뱅크를 OLED의 절연막에 적용하는 경우, 차광성을 가질 수 있어 외광 반사를 줄일 수 있으며, 휘도 저하를 개선시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기 감광성 수지 조성물은 화학식 1로 표시되는 고분자 수지 화합물을 포함함으로써, 모바일용 블랙 뱅크의 성능을 향상시키기 위한 좁은 슬릿을 이용한 홀(hole) 패턴 구현시, 홀 잔사 및 직진성을 개선시킬 수 있음은 물론, 모바일용 블랙 뱅크의 소자 수명 및 시인성도 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 명세서의 실시예 1의 직진성 및 현상 마진 특성을 나타낸 것이다.
도 2는 본 명세서의 실시예 2의 직진성 및 현상 마진 특성을 나타낸 것이다.
도 3은 본 명세서의 비교예 1의 직진성 및 현상 마진 특성을 나타낸 것이다.
도 4는 본 명세서의 비교예 2의 직진성 및 현상 마진 특성을 나타낸 것이다.
도 5는 본 명세서의 비교예 3의 직진성 및 현상 마진 특성을 나타낸 것이다.
도 6은 본 명세서의 실시예 1, 실시예 2 및 비교예 1 내지 3의 잔사 평가를 결과를 나타낸 것이다.
도 7은 본 명세서의 비교예 3의 뜯김 평가 결과를 나타낸 것이다.
이하, 본 명세서에 대하여 더욱 상세하게 설명한다.
본 명세서는 상기 화학식 1로 표시되는 고분자 수지 화합물을 제공한다.
상기 화학식 1의 고분자 수지 화합물은 코어구조의 플루오렌 구조에 의하여 현상성, 접착성 및 감광성 수지 조성물의 안정성이 뛰어난 특성이 있으며, A1 및 A2의 위치에 카바메이트 치환기를 도입함으로써, 도입하지 않은 경우에 비하여 직진성이 뛰어나고 홀 잔사가 개선되는 효과가 있다.
본 명세서에서 치환기의 예시들은 아래에서 설명하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 명세서에 있어서,
Figure 112017021736809-pat00002
는 연결되는 부위를 의미한다.
상기 "치환"이라는 용어는 화합물의 탄소 원자에 결합된 수소 원자가 다른 치환기로 바뀌는 것을 의미하며, 치환되는 위치는 수소 원자가 치환되는 위치 즉, 치환기가 치환 가능한 위치라면 한정하지 않으며, 2 이상 치환되는 경우, 2 이상의 치환기는 서로 같거나 상이할 수 있다.
본 명세서에서 "치환 또는 비치환된" 이라는 용어는 중수소; 할로겐기; 니트릴기; 니트로기; 알킬기; 시클로알킬기; 아민기; 아릴아민기; 실릴기; 포스핀옥사이드기; 아릴기; 및 N, O, S, Se 및 Si 원자 중 1개 이상을 포함하는 헤테로아릴기로 이루어진 군에서 선택된 1 또는 2 이상의 치환기로 치환되었거나 상기 예시된 치환기 중 2 이상의 치환기가 연결된 치환기로 치환되거나, 또는 어떠한 치환기도 갖지 않는 것을 의미한다.
본 명세서에 있어서, 할로겐기의 예로는 불소, 염소, 브롬, 또는 요오드가 있다.
본 명세서에 있어서, 알킬기는 직쇄 또는 분지쇄일 수 있고, 탄소수는 특별히 한정되지 않으나 1 내지 30인 것이 바람직하다. 구체적인 예로는 메틸, 에틸, 프로필, n-프로필, 이소프로필, 부틸, n-부틸, 이소부틸, tert-부틸, sec-부틸, 1-메틸-부틸, 1-에틸-부틸, 펜틸, n-펜틸, 이소펜틸, 네오펜틸, tert-펜틸, 헥실, n-헥실, 1-메틸펜틸, 2-메틸펜틸, 4-메틸-2-펜틸, 3,3-디메틸부틸, 2-에틸부틸, 헵틸, n-헵틸, 1-메틸헥실, 시클로펜틸메틸, 시클로헥실메틸, 옥틸, n-옥틸, tert-옥틸, 1-메틸헵틸, 2-에틸헥실, 2-프로필펜틸, n-노닐, 2,2-디메틸헵틸, 1-에틸-프로필, 1,1-디메틸-프로필, 이소헥실, 4-메틸헥실, 5-메틸헥실 등이 있으나, 이들에 한정되지 않는다.
본 명세서에 있어서, 시클로알킬기는 특별히 한정되지 않으나, 탄소수 3 내지 60인 것이 바람직하며, 구체적으로 시클로프로필, 시클로부틸, 시클로펜틸, 3-메틸시클로펜틸, 2,3-디메틸시클로펜틸, 시클로헥실, 3-메틸시클로헥실, 4-메틸시클로헥실, 2,3-디메틸시클로헥실, 3,4,5-트리메틸시클로헥실, 4-tert-부틸시클로헥실, 시클로헵틸, 시클로옥틸 등이 있으나, 이에 한정되지 않는다.
본 명세서에 있어서, 실릴기는 Si를 포함하고 상기 Si 원자가 라디칼로서 직접 연결되는 치환기이며, -SiR201R202R203로 표시되고, R201 내지 R203은 서로 같거나 상이하며, 각각 독립적으로 수소; 중수소; 할로겐기; 알킬기; 알케닐기; 알콕시기; 시클로알킬기; 아릴기; 및 헤테로고리기 중 적어도 하나로 이루어진 치환기일 수 있다. 실릴기의 구체적인 예로는 트리메틸실릴기, 트리에틸실릴기, t-부틸디메틸실릴기, 비닐디메틸실릴기, 프로필디메틸실릴기, 트리페닐실릴기, 디페닐실릴기, 페닐실릴기 등이 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 명세서에서 아릴기가 단환식 아릴기인 경우 탄소수는 특별히 한정되지 않으나, 탄소수 6 내지 30인 것이 바람직하다. 구체적으로, 단환식 아릴기로는 페닐기, 비페닐기, 터페닐기, 쿼터페닐기 등이 될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 아릴기가 다환식 아릴기인 경우 탄소수는 특별히 한정되지 않으나. 탄소수 6 내지 50인 것이 바람직하다. 구체적으로, 다환식 아릴기로는 나프틸기, 안트라세닐기, 페난트릴기, 파이레닐기, 페릴레닐기, 크라이세닐기, 플루오레닐기 등이 될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 명세서에 있어서, 상기 플루오레닐기는 치환될 수 있으며, 인접한 치환기들이 서로 결합하여 고리를 형성할 수 있다.
상기 플루오레닐기가 치환되는 경우,
Figure 112017021736809-pat00003
,
Figure 112017021736809-pat00004
,
Figure 112017021736809-pat00005
,
Figure 112017021736809-pat00006
,
Figure 112017021736809-pat00007
,
Figure 112017021736809-pat00008
등이 될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 명세서에 있어서, 헤테로아릴기는 이종원자로 N, O, S, Si 및 Se 중 1개 이상을 포함하는 헤테로고리기로서, 탄소수는 특별히 한정되지 않으나 탄소수 2 내지 60인 것이 바람직하다. 헤테로아릴기의 예로는 티오펜기, 퓨란기, 피롤기, 이미다졸기, 티아졸기, 옥사졸기, 옥사디아졸기, 트리아졸기, 피리딜기, 비피리딜기, 피리미딜기, 트리아진기, 아크리딜기, 피리다진기, 피라지닐기, 퀴놀리닐기, 퀴나졸린기, 퀴녹살리닐기, 프탈라지닐기, 피리도 피리미디닐기, 피리도 피라지닐기, 피라지노 피라지닐기, 이소퀴놀린기, 인돌기, 카바졸기, 벤즈옥사졸기, 벤즈이미다졸기, 벤조티아졸기, 벤조카바졸기, 벤조티오펜기, 디벤조티오펜기, 벤조퓨라닐기, 페난쓰롤린기(phenanthroline), 티아졸릴기, 이소옥사졸릴기, 옥사디아졸릴기, 티아디아졸릴기 및 디벤조퓨라닐기 등이 있으나, 이들에만 한정되는 것은 아니다.
본 명세서에 있어서, 포스핀옥사이드기는 구체적으로 디페닐포스핀옥사이드기, 디나프틸포스핀옥사이드 등이 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 명세서에 있어서, 알킬렌기는 알킬기에 결합 위치가 두 개 있는 것 즉 2가기를 의미한다. 이들은 각각 2가기인 것을 제외하고는 전술한 알킬기의 설명이 적용될 수 있다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 A1 및 A2는 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 카바메이트기 또는 히드록시기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 A1 및 A2 중 어느 하나가 히드록시기인 경우, 나머지는 치환 또는 비치환된 카바메이트기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 A1은 치환 또는 비치환된 카바메이트기이고, A2는 히드록시기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 A1은 히드록시기이고, A2는 치환 또는 비치환된 카바메이트기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 A1 및 A2는 치환 또는 비치환된 카바메이트기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Y1 및 Y2는 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기; 치환 또는 비치환된 에틸렌 옥사이드기; 또는 치환 또는 비치환된 프로필렌 옥사이드기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Y1 및 Y2는 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 메틸렌기, 치환 또는 비치환된 에틸렌기, 또는 치환 또는 비치환된 프로필렌기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Y1 및 Y2는 메틸렌기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Y1 및 Y2는 에틸렌기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Y1 및 Y2는 프로필렌기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Z는 치환 또는 비치환된 2가의 알킬기; 치환 또는 비치환된 2가의 시클로헥산; 치환 또는 비치환된 2가의 시클로헥신; 또는 치환 또는 비치환된 2가의 벤젠이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Z는 치환 또는 비치환된 시클로헥신이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Z는 시클로헥신이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, R1 내지 R10은 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소; 중수소; 할로겐기; 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬기; 치환 또는 비치환된 탄소수 3 내지 10의 시클로알킬기; 치환 또는 비치환된 실릴기; 치환 또는 비치환된 포스핀옥사이드기; 치환 또는 비치환된 아릴기; 또는 치환 또는 비치환된 헤테로고리기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, R1 내지 R10은 수소이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 카바메이트기는 하기 화학식 2로 표시될 수 있다.
[화학식 2]
Figure 112017021736809-pat00009
상기 화학식 2에 있어서,
Y3은 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기; 치환 또는 비치환된 에틸렌 옥사이드기; 또는 치환 또는 비치환된 프로필렌 옥사이드기이고,
R11 및 R14는 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소; 중수소; 할로겐기; 치환 또는 비치환된 알킬기; 치환 또는 비치환된 시클로알킬기; 치환 또는 비치환된 실릴기; 치환 또는 비치환된 포스핀옥사이드기; 치환 또는 비치환된 아릴기; 또는 치환 또는 비치환된 헤테로고리기이고,
R12 및 R13은 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 O; S; NR101; 또는 CR102R103이며,
상기 R101 내지 R103은 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소; 중수소; 치환 또는 비치환된 알킬기; 치환 또는 비치환된 시클로알킬기; 치환 또는 비치환된 아릴기; 또는 치환 또는 비치환된 헤테로고리기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 화학식 1은 하기 화학식 3으로 표시될 수 있다.
[화학식 3]
Figure 112017021736809-pat00010
상기 화학식 3에 있어서,
A1, A2, Y1, Y2, R1 내지 R10, r1 내지 r4 및 n에 대한 정의는 상기 화학식 1에서 정의한 바와 동일하다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 화학식 1은 하기 화학식 4 내지 6 중 어느 하나로 표시될 수 있다.
[화학식 4]
Figure 112017021736809-pat00011
[화학식 5]
Figure 112017021736809-pat00012
[화학식 6]
Figure 112017021736809-pat00013
상기 화학식 4 내지 6에 있어서,
Y1, Y2, R1 내지 R10 및 r1 내지 r4 및 n에 대한 정의는 상기 화학식 1에서 정의한 바와 동일하고,
Y3은 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기; 치환 또는 비치환된 에틸렌 옥사이드기; 또는 치환 또는 비치환된 프로필렌 옥사이드기이고,
R11, R14, R21 및 R24는 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소; 중수소; 할로겐기; 치환 또는 비치환된 알킬기; 치환 또는 비치환된 시클로알킬기; 치환 또는 비치환된 실릴기; 치환 또는 비치환된 포스핀옥사이드기; 치환 또는 비치환된 아릴기; 또는 치환 또는 비치환된 헤테로고리기이고,
R12, R13, R22 및 R23은 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 O; S; NR101; 또는 CR102R103이며,
상기 R101 내지 R103은 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소; 중수소; 치환 또는 비치환된 알킬기; 치환 또는 비치환된 시클로알킬기; 치환 또는 비치환된 아릴기; 또는 치환 또는 비치환된 헤테로고리기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Y3은 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 메틸렌기, 치환 또는 비치환된 에틸렌기, 또는 치환 또는 비치환된 프로필렌기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Y3은 메틸렌기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Y3은 에틸렌기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 Y3은 프로필렌기이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 R11 또는 R14는 수소이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 R12 또는 R13은 O이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 R12 또는 R13은 S이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 R12 또는 R13은 NR101이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 R12 또는 R13은 CR102R103이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 R101 내지 R103은 수소이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 화학식 1은 하기 구조들 중에서 선택되는 어느 하나이다.
Figure 112017021736809-pat00014
Figure 112017021736809-pat00015
Figure 112017021736809-pat00016
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 고분자 수지 화합물의 중량평균분자량은 1,000 내지 50,000이다. 바람직하게는, 1,000 내지 10,000이고, 더욱 바람직하게는 1, 000 내지 5,000이다.
고분자 수지 화합물의 평균분자량에 따라, 감광성 수지 조성물의 현상 속도가 달라지게 되는데, 상기 분자량이 1,000미만인 경우에는 현상속도가 빨라져 안정적인 패턴을 얻을 수 없고, 내열성이 악화되며, 상기 분자량이 50,000을 초과하는 경우에는 현상속도가 느리며 용액의 점도가 지나치게 증가하여 균일한 도포가 어렵다는 단점이 있다.
본 명세서는 상기 고분자 수지 화합물, 모노머, 광개시제, 착색제 및 용매를 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 제공한다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 고분자 수지 화합물의 함량은 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 1 내지 20 중량% 이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 모노머는 폴리에틸렌글리콜 모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌 글리콜 모노(메타)아크릴레이트, 페녹시에틸(메타)아크릴레이트 등의 단관능성 모노머 및 폴리에틸렌글리콜 (메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 (메타)아크릴레이트, 트리메틸올 에탄트리아크릴레이트, 트리메틸톨 프로판 트리아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 (메타)아크릴레이트, 펜타아크리리트리톨 헥사아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트(DPHA) 등의 다관능성 모노머로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
다관능성 모노머는 단관능성 모노머에 비하여 노광시 가교밀도가 증가하게 되어 패턴 구현에 좀 더 용이한 장점이 있다. 본 명세서의 블랙 뱅크의 경우 차광특성으로 인해 감소되는 경화성을 향상시켜주기 위하여 단관능성 모노머에 비하여 다관능성 모노머가 더욱 적합하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 다관능성 모노머는 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트(DPHA) 또는 상기 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트(DPHA)와 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트(DPHA)-4OH이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 모노머의 함량은 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 1 내지 10 중량%이다. 상기 모노머의 함량 범위를 벗어나는 경우, 현상성이 악화되어 패턴 구현이 어려워진다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 광개시제는 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 트리아진계 화합물 및 옥심계 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 광개시제의 함량은 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 0.1 내지 5 중량%이다. 상기 함량 범위일 때, 패턴 구현시 현상마진이 우수하여 홀 크기(CD)의 변화폭이 크지 않다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 착색제는 락탐계 블랙, 아닐린 블랙, 안트라퀴논계 흑색 안료, 페릴렌계 흑색 안료, 아조메틴계 흑색 안료 등의 각종 무기 안료 또는 유기 안료를 들 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 적색 안료, 청색 안료 및 녹색 안료 등의 유기 안료 및/또는 무기 안료의 혼합물을 사용할 수도 있다.
바람직한 유기 안료의 구체예로서는, 2-하이드록시-4-n-옥톡시벤조페논, 메틸-2-시아노아크릴레이트, 2,4-비스[2-하이드록시-4-부톡시페닐]-6-(2,4-디부톡시페닐)-1,3,5-트리아진, C. I. 피그먼트 블랙 1,6,7,12,20,31, C.I. 피그먼트 블루 15 ： 6, 피그먼트 레드 254, 피그먼트 그린 36, 피그먼트 옐로우 150 등을 들 수 있으며, 1 종을 단독으로 사용하거나 2 종 이상을 병용해도 된다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 착색제의 함량은 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 5 내지 15 중량%이다. 상기 착색제의 함량이 5 중량% 미만인 경우, 충분한 광학밀도가 확보되지 않고, 15 중량%를 초과하는 경우, 광학밀도는 쉽게 확보되더라도 패턴 공정성이 낮아진다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 용매는 알킬렌글리콜알킬에테르류, 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 알코올류, 솔벤트나프타류 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 알킬렌글리콜알킬에테르류, 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 및 알코올류로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상의 용매가 바람직하고, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸부틸에테르, 트리에틸렌글리콜메틸부틸에테르, 메틸 3-메톡시프로피오네이트, 에틸 3-에톡시 프로피오네트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트 및 2-프로판올로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 용매가 더욱 바람직하다.
구체적으로, 메틸-3-메톡시 프로피오네이트(144℃), 에틸렌글리콜 메틸에테르(125℃), 에틸렌글리콜 에틸에테르(135℃), 에틸렌글리콜 디에틸에테르(121℃), 디부틸에테르(140℃), 에틸피루베이트(144℃), 프로필렌글리콜 메틸에테르(121℃), 프로필렌글리콜 메틸에테르 아세테이트(146℃), n-부틸아세테이트(125℃), 이소부틸아세테이트(116℃), 아밀아세테이트(149℃), 이소아밀아세테이트(143℃), 부틸프로피오네이트(146℃), 이소아밀프로피오네이트(156℃), 에틸부티레이트(120℃), 프로필 부티레이트(143℃), 메틸-3-메톡시이소부티레이트(148℃), 메틸글리콜레이트(150℃), 메틸 락테이트(145℃), 에틸 락테이트(154℃), 메틸-2-히드록시이소부틸레이트(137℃),에틸에톡시아세테이트(156℃), 2-메톡시에틸아세테이트(145℃), 에틸렌글리콜메틸에테르아세테이트(145℃), 2-에톡시에틸아세테이트(156℃), 디부틸에테르(140℃), 시클로펜타논(131℃), 시클로헥사논(155℃), 2-헥사논(127℃), 3-헥사논(123℃), 5-메틸-2-헥사논(145℃), 2-헵타논(150℃), 3-헵타논(148℃), 4-헵타논(145℃), 2-메틸-3-헵타논(159℃), 1-메톡시-2-프로판올(118℃), 에틸-2-히드록시-프로피오네이트(154℃), 에틸-3-메톡시프로피오네이트(158℃), 2-메톡시 에틸에테르(162℃), 3-메톡시부틸아세테이트(170℃), 2-에톡시에틸 에테르(185℃),2-부톡시에탄올(171℃), 3-에톡시-프로판올(161℃), 디에틸렌글리콜도데실에테르(169℃), 디프로필렌글리콜메틸에테르(188℃), 2,6-디메틸-4-헵타논(169℃), 2-옥타논(173℃), 3-옥타논(168℃), 3-노나논(188℃), 5-노나논(187℃), 4-히드록시-4-메틸-2-펜타논(166℃), 2-메틸시클로헥사논(163℃), 3-메틸시클로헥사논(170℃), 4-메틸시클로헥사논(170℃), 2,6-디메틸시클로헥사논(175℃), 2,2,6-트리메틸시클로헥사논(179℃), 시클로햅타논(179℃), 헥실아세테이트(169℃), 아밀부티레이트(185℃), 이소프로필 락테이트(167℃), 부틸락테이트(186℃), 에틸-3-히드록시부티레이트(170℃), 에틸-3-에톡시프로피오네이트(170℃), 에틸-3-히드록시 부티레이트(180℃), 프로필-2-히드록시-프로피오네이트(169℃), 프로필렌글리콜디아세테이트(186℃), 프로필렌글리콜부틸에테르(170℃), 프로필렌글리콜 메틸에테르 프로피오네이트(160℃), 디에틸렌글리콜 디메틸에테르(162℃), 디에틸렌글리콜 디메틸에테르아세테이트(165℃), 디프로필렌글리콜메틸에테르(188℃), 디프로필렌글리콜디메틸에테르(171℃), 에틸렌글리콜부틸에테르(171℃), 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르(176℃), 디에틸렌글리콜메틸이소프로필에테르(179℃), 에틸렌글리콜디에틸에테르(189℃), 부틸부티레이트(165℃), 에틸-3-에톡시프로피오네이트(170℃), 디에틸렌글리콜모노메틸에테르(194℃), 4-에틸시클로헥사논(193℃), 2-부톡시에틸아세테이트(192℃), 디에틸렌글리콜모노에틸에테르(202℃), 부티롤락톤(204℃), 헥실부틸레이트(205℃), 디에틸렌글리콜메틸에테르아세테이트(209℃), 디에틸렌글리콜부틸메틸에테르(212℃), 트리프로필글리콜디메틸에테르(215℃), 트리에틸렌글리콜디메틸에테르(216℃), 에틸렌글리콜에틸에테르아세테이트(217℃), 디에틸렌글리콜부틸에테르아세테이트(245℃), 3-에폭시-1,2-프로판디올(222℃), 에틸-4-아세틸부틸레이트(222℃), 디에틸렌글리콜 모노부틸에테르(231℃), 트리프로필글리콜메틸에테르(242℃), 디에틸렌글리콜(245℃), 2-(2-부톡시에톡시)에틸아세테이트(245℃), 카테콜(245℃), 트리에틸렌글리콜메틸에테르(249℃), 디에틸렌글리콜디부틸에테르(256℃), 트리에틸렌글리콜에틸에테르(256℃), 디에틸렌글리콜모노헥틸에테르(260℃), 트리에틸렌글리콜부틸메틸에테르(261℃), 트리에틸렌글리콜부틸에테르(271℃), 트리프로필글리콜(273℃), 및 테트라에틸렌글리콜디메틸에테르(276℃) 로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 용매가 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 용매의 함량은 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 60 내지 90 중량%이다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물은 광가교증감제, 경화촉진제, 밀착촉진제, 접착력증강제, 계면활성제, 산화방지제, 열중합방지제, 자외선흡수제, 분산제 및 레벨링제로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 첨가제를 추가로 포함할 수 있다.
상기 광가교증감제는 벤조페논, 4,4-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2,4,6-트리 메틸아미노벤조페논, 메틸-o-벤조일벤조에이트, 3,3-디메틸-4-메톡시벤조페논, 3,3,4,4-테트라(t-부틸퍼옥시카 보닐)벤조페논 등의 벤조페논계 화합물; 9-플로레논, 2-크로로-9-프로레논, 2-메틸-9-플로레논 등의 플로레논계 화합물; 티옥산톤, 2,4-디에틸 티옥산톤, 2-클로로 티옥산톤, 1-클로로-4-프로필옥시 티옥산톤, 이소프로필티옥산톤, 디이소프로필티옥산톤 등의 티옥산톤계 화합물; 크산톤, 2-메틸크산톤 등의 크산톤계 화합물; 안트라퀴논, 2-메틸 안트라퀴논, 2-에틸 안트라퀴논, t-부틸 안트라퀴논, 2,6-디클로로-9,10- 안트라퀴논 등의 안트라퀴논계 화합물; 9-페닐아크리딘, 1,7-비스(9-아크리디닐)헵탄, 1,5-비스(9-아크리디닐펜탄), 1,3-비스(9-아크리디닐)프로판 등의 아크리딘계 화합물; 벤질, 1,7,7-트리메틸-비시클로[2,2,1]헵탄-2,3-디온, 9,10-펜안트 렌퀴논 등의 디카보닐 화합물; 2,4,6-트리메틸벤조일 디페닐포스핀 옥사이드, 비스(2,6-디메톡시벤조일)-2,4,4-트리메틸펜틸 포스핀 옥사이드 등의 포스핀 옥사이드계 화합물; 메틸-4-(디메틸아미노)벤조에이트, 에틸-4-(디 메틸아미노)벤조에이트, 2-n-부톡시에틸-4-(디메틸아미노)벤조에이트 등의 벤조에이트계 화합물; 2,5-비스(4-디 에틸아미노벤잘)시클로펜타논, 2,6-비스(4-디에틸아미노벤잘)시클로헥사논, 2,6-비스(4-디에틸아미노벤잘)-4-메 틸-시클로펜타논 등의 아미노 시너지스트; 3,3-카본닐비닐-7-(디에틸아미노)쿠마린, 3-(2-벤조티아졸일)-7-(디에틸아미노)쿠마린, 3-벤조일-7-(디에틸아미노)쿠마린, 3-벤조일-7-메톡시-쿠마린, 10,10-카르보닐비스[1,1,7,7-테트라메틸-2,3,6,7-테트라히드로-1H,5H,11H-C1]-벤조피라노[6,7,8-ij]-퀴놀리진-11-온 등의 쿠마린계 화합물; 4-디에틸아미노 칼콘, 4-아지드벤잘아세토페논 등의 칼콘 화합물; 및 2-벤조일메틸렌, 3-메틸-b-나프토 티아졸린으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있다.
상기 경화촉진제로는 2-머캅토벤조이미다졸, 2-머캅토벤조티아졸, 2-머캅토벤조옥사졸, 2,5-디머캅토-1,3,4-티아디아졸, 2-머캅토-4,6-디메틸아미노피리딘, 펜타에리스리톨-테트라키스(3-머캅토프로피오네이트), 펜타에리스 리톨-트리스(3-머캅토프로피오네이트), 펜타에리스리톨-테트라키스(2-머캅토아세테이트), 펜타에리스리톨-트리스(2-머캅토아세테이트), 트리메틸올프로판-트리스(2-머캅토아세테이트), 및 트리메틸올프로판-트리스(3-머캅토 프로피오네이트)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있다.
상기 밀착촉진제는 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)-실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에톡시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필 메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 및 3-머캅토프로필트리메톡시실란으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 것을 사용할 수 있다.
상기 접착력 증강제는 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)-실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에톡시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란, 및 3-머캅토프로필트리메톡시실란으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 사용할 수 있다. 또한, 이들에만 한정되지 않고 당 기술분야에 알려져 있는 접착력 증강제를 사용할 수도 있다.
상기 산화방지제는 2,2-티오비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 또는 2,6-g,t-부틸페놀 등을 사용할 수 있고, 상기 자외선 흡수제는 2-(3-t-부틸-5-메틸-2-히드록시페닐)-5-클로로-벤조트리아졸, 또는 알콕시 벤조페논 등을 사용할 수 있다.
상기 열중합방지제로는 예컨대 p-아니솔, 히드로퀴논, 피로카테콜(pyrocatechol), t-부틸카테콜(t-butyl catechol), N-니트로소페닐히드록시아민 암모늄염, N-니트로소페닐히드록시아민 알루미늄염 및 페노티아진 (phenothiazine)으로 이루어진 군으로부터 선택된 1 종 이상을 포함할 수 있으나, 이들로만 한정되는 것은 아니며 당 기술분야에 일반적으로 알려져 있는 것들을 포함할 수 있다.
상기 자외선흡수제, 분산제 및 레벨링제로는 당업계에서 일반적으로 쓰이는 것들이 모두 사용될 수 있다.
그 밖에, 상기 감광성 수지 조성물은 카본블랙 분산물, 기능성을 가지는 수지 바인더, 다관능성 모노머, 감방사선성 화합물, 및 그 밖의 첨가제로 이루어지는 군으로부터 1종 이상 선택되는 2차 첨가제를 추가로 포함할 수 있다.
본 명세서는 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 포함하는 블랙 뱅크를 제공한다.
본 명세서는 1) 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 기판상에 도포하는 단계; 2) 상기 도포된 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계; 및 3) 패터닝된 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 경화시키는 단계를 포함하는 블랙 뱅크의 제조 방법을 제공한다.
본 명세서의 일 실시상태에 있어서, 상기 도포된 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물의 현상시 사용하는 현상액은 테트라메틸암모늄히드록사이드(TMAH) 수용액이다.
본 명세서의 일 실시상태에 따른 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물은 종래의 블랙뱅크 개발은 KOH 현상액에 현상 가능한 감광성 수지 조성물과는 달리, TFT라인에서 사용하는 테트라메틸암모늄히드록사이드(TMAH) 현상액에서 패턴을 구현하는 것으로, 실제 디스플레이 패널을 제작하는 라인에서 기존의 현상방식을 그대로 사용할 수 있으므로 KOH 현상라인을 추가해야 하는 비용부담이 감소할 수 있다.
본 명세서에 따른 블랙 뱅크의 제조방법에 있어서, 상기 1) 단계는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 도포하는 단계로서, 예컨대 기판 상에 당 기술분야에 알려진 방법을 이용하여 도포할 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 감광성 수지 조성물을 도포하는 방법은 스프레이(spray)법, 롤(roll) 코팅법, 회전(spin) 코팅법, 바(bar)코팅법, 슬릿(slit) 코팅법 등을 이용할 수 있으나, 이에만 한정되는 것은 아니다.
이 때, 상기 기판은 금속, 종이, 유리, 플라스틱, 실리콘, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 방향족 폴리아미드, 폴리아미드이미드, 폴리이미드 등을 사용할 수 있으며, 이들 기판은 목적에 따라 실란 커플링제에 의한 약품 처리, 플라즈마 처리, 이온 플레이팅, 스퍼터링, 기상반응법, 진공 증착 등의 적절한 전처리를 실시할 수 있다.
또한, 상기 기판은 선택적으로 구동용 박막 트랜지스터가 올려져 있을 수 있으며, 인듐과 산화주석의 혼합물(ITO)이 스퍼터링되어 있을 수 있다.
본 명세서에 따른 블랙 뱅크의 제조방법에 있어서, 상기 2) 단계는 도포된 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 노광 및 현상하는 단계이다.
보다 구체적으로 설명하면, 프리베이크된 도포막을 소정의 패턴 마스크를 통해 자외선을 조사하고 알카리 수용액에 의해 현상하여 불필요한 부분을 제거하여 패턴을 형성할 수 있다. 이 때, 현상방법으로는 디핑(dipping)법, 샤워(shower)법, 및 퍼들(puddle)법 등을 제한 없이 적용할 수 있다. 현상시간은 30 내지 180초이다. 상기 현상액으로는 알칼리 수용액으로서 수산화나트륨, 수산화칼륨, 규산나트륨, 메트규산나트륨, 암모니아 등의 무기 알칼리류; 에틸아민, N-프로필아민 등의 1급 아민류; 디에틸아민, 디-n-프로필아민 등의 2급 아민류; 트리메닐아민, 메틸디에틸아민, 디메틸에틸아민 등의 3급 아민류; 디메틸에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 3급 알코올 아민류; 피롤, 피페리딘, n-메틸피페리딘, n-메틸피롤리딘, 1,8-디아자비시클로[5.4.0]-7-운데센, 1,5-디아자비시클로[4.3.0]-5-노넨 등의 환상 3급 아민류; 피리딘, 코리진, 루티딘, 퀴롤린 등의 방향족 3급 아민류; 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드 등의 4급 암모늄염의 수용액 등을 사용할 수 있다.
현상 후 유수세정을 약 10 내지 50초간 행하고 공기 또는 질소로 건조시킴으로써 패턴을 형성할 수 있다. 이 패턴을 핫플레이트(hot plate), 오븐(oven) 등의 가열장치를 이용하여 포스트베이크(post-bake)을 통해 완성된 감광재 패턴을 얻을 수 있다. 이 때 포스트베이크의 조건은 150 내지 230℃에서 10 내지 90분 정도 가열하는 것이 바람직하다.
본 명세서의 감광성 수지 조성물을 경화시키기 위한 광원으로는, 예컨대 파장이 250 내지 450nm의 광을 발산하는 수은 증기 아크(arc), 탄소 아크, Xe 아크 등이 있으나, 반드시 이에 국한되지는 않는다.
본 명세서에 따른 블랙 뱅크는 테트라메틸암모늄히드록사이드(TMAH) 현상액에 대한 적절한 현상성, 차광성 및 홀 형성이 용이한 장점이 있다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명하나, 하기의 실시예는 본 명세서를 예시하기 위한 것일 뿐이며 이들만으로 본 명세서의 범위를 한정하는 것은 아니다.
< 실시예 >
하기 실시예 1, 실시예 2 및 비교예 1 내지 6에 사용되는 바인더의 구조 및 합성법은 하기와 같다.
Figure 112017021736809-pat00017
Figure 112017021736809-pat00018
<중합체 A>
9,9-비스페놀플루오렌디글리시딜에테르 112g과 프탈산 63g을 325g의 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트와 함께 교반하였다. 반응기 내부에 질소를 흘려주며 반응기를 120℃로 가열하였다. 24시간 후 반응을 종료하고 중합체 A 를 얻었다. (Mw = 2,710 g/mol, 86 KOH mg/g)
<중합체 B1>
상기 중합체 A 150g에 2-아크릴로일옥시에틸이소시아네이트 4g과 프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트 9g을 넣고 80℃로 가열하였다. 19시간 후 반응을 종료하여 이중결합이 있는 중합체 B1을 얻었다. (B1: Mw = 2,840 g/mol, 81 KOH mg/g)
<중합체 B2>
상기 중합체 A 150g에 2-아크릴로일옥시에틸이소시아네이트 8g과 프로필렌글리콜 메틸 에테르 아세테이트 9g을 넣고 80℃로 가열하였다. 19시간 후 반응을 종료하여 이중결합이 있는 중합체 B2를 얻었다. (B2: Mw = 3,100, 75 KOH mg/g)
<중합체 C>
상기 중합체 A 150g에 4-메타크릴록시에틸트리멜리틱언하이드라이드(4-META) 9g과 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 17g을 넣고 80℃로 가열하였다. 19시간 후 반응을 종료하여 이중결합이 있는 중합체 C를 얻었다. (Mw = 3,150 g/mol, 93 KOH mg/g)
<중합체 D1>
상기 중합체 A 150g에 글리시딜 메틸메타크릴레이트 8g과 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 17g을 넣고 80℃로 가열하였다. 19시간 후 반응을 종료하여 이중결합이 있는 중합체 D1을 얻었다. (D1: Mw = 2,760 g/mol)
<중합체 D2>
상기 중합체 A 150g에 글리시딜 메틸메타크릴레이트 16g과 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 17g을 넣고 80℃로 가열하였다. 19시간 후 반응을 종료하여 이중결합이 있는 중합체 D2를 얻었다. (D2: Mw = 2,840 g/mol, 67 KOH mg/g)
<중합체 D3>
상기 중합체 A 150g에 글리시딜 메틸메타크릴레이트 40g과 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 17g을 넣고 80℃로 가열하였다. 19시간 후 반응을 종료하여 이중결합이 있는 중합체 D3을 얻었다. (D3: Mw = 2,890 g/mol, 44 KOH mg/g)
<중합체 E>
(9H-플루오렌-9,9-디일)비스(4,1-페닐렌비스(옥시)비스(2-히드록시프로판-3,1-diyl))디아크릴레이트 202 g, 이소포론디이소시아네이트 3-이소시아네토메 킬-3,5,5-트리메틸시클로헥실이소시아네이트 (에보닉사) 19g을 PGMEA 180g에 넣고 80℃에서 12시간 동안 교반 후 테트라히드로프탈릭 무수산 22.5g을 넣고 추가로 12시간 교반하여 중합체 E를 합성하였다 (Mw = 3,500 g/mol, 30 KOH mg/g)
<중합체 F>
(9H-플루오렌-9,9-디일)비스(4,1-페닐렌비스(옥시)비스(2-히드록시프로판-3,1-diyl))디아크릴레이트 200 g과 3,3,4,4-비페닐테트라카복실 무수산 16g을 PGMRA 180g에 넣고 80℃에서 15시간 교반 후, 테트라히드로프탈릭 무수산 30g을 추가로 12시간 교반하여 중합체 F를 합성하였다. (Mw = 3,700 g/mol, 100 KOH mg/g>
<중합체 G>
알드리치사(Cat No. 474576, 모노머 비율(mol%) 4-비닐페놀:메틸메타크릴레이트=75:25) 폴리(4-비닐페놀-co-메틸메타크릴레이트) 100g 을 PGMEA 900g 에 녹여 고형분 10% 중합체 G를 합성하였다. (Mw = 11,000 g/mol)
<중합체 H>
2,2'-비스-3-아미노-4-드록시페닐-헥사플루오루프로판 (320 g) 과 3,3',4,4'-옥시디프탈 무수산 (212 g)을 PGMEA (1180 g) 에 넣고 80℃에서 교반한 후, 감마-발레로락탐 (16 g), 트리매릭 무수산 (74 g), 트리에칠아민 (58 g)을 넣고 175℃에서 12시간 동안 교반시켰다 이 전구체에 2-아크릴로일옥시에틸이소시아네이트 (19 g)를 넣고 80℃에서 19시간동안 교반시켜 중합체 H 를 얻었다. (Mw = 5,200 g/mol, 이미드화도 = 92%)
< 실시예 1>
락탐 블랙 (BK-5108, Tokushiki사, 함량 16%) 400g, 알칼리 가용성 아크릴 바인더로 중합체 G (알드리치사, Mw=25,000) 120g 중합체 E 60g, 중합체 F 10g, 중합체 B1 80g, 다관능성 모노머로 디펜타에리트리톨 헥사 아크릴레이트 36g, 광중합개시제로 OXE-02 (바스프사) 4g, 밀착촉진제로 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란 5g, 레벨링제로 BYK-307 (알타나사) 2g, 용매로 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 43g 및 3-메톡시부틸아세테이트 240g을 혼합하였다.
그 다음 상기 혼합물을 5시간 동안 교반 하여 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
< 실시예 2>
락탐 블랙 (BK-5108, Tokushiki사, 함량 16%) 400g, 알칼리 가용성 아크릴바인더로 중합체 G (알드리치사, Mw=25,000) 120g, 중합체 B1 60g, 중합체 H 88g, 다관능성 모노머로 디펜타에리트리톨 헥사 아크릴레이트 38g, 광중합개시제로 OXE-02 (바스프사) 4g, 밀착촉진제로 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란 5g, 레벨링제로 BYK-307 (알타나사) 2g, 용매로 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 43g 및 3-메톡시부틸아세테이트 240g을 혼합하였다.
그 다음 상기 혼합물을 5시간 동안 교반 하여 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
< 비교예 1>
락탐 블랙 (BK-5108, Tokushiki사, 함량 16%) 400g, 알칼리 가용성 아크릴 바인더로 중합체 G (알드리치사, Mw=25,000) 120g, 중합체 E 60g, 중합체 F 10g, 중합체 A 80g, 다관능성 모노머로 디펜타에리트리톨 헥사 아크릴레이트 36g, 광중합개시제로 OXE-02 (바스프사) 4g, 밀착촉진제로 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란 5g, 레벨링제로 BYK-307 (알타나사) 2g, 용매로 프로필렌글리콜모노메틸테르아세테이트 43g 및 3-메톡시부틸아세테이트 240g을 혼합하였다.
그 다음 상기 혼합물을 5시간 동안 교반 하여 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
< 비교예 2>
락탐 블랙 (BK-5108, Tokushiki사, 함량 16%) 400g, 알칼리 가용성 아크릴바인더로 중합체 G (알드리치사, Mw=25,000) 120g, 중합체 E 60g, 중합체 F 10g, 중합체 B2 80g, 다관능성 모노머로 디펜타에리트리톨 헥사 아크릴레이트 36g, 광중합개시제로 OXE-02 (바스프사) 4g, 밀착촉진제로 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란 5g, 레벨링제로 BYK-307 (알타나사) 2g, 용매로 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 43g 및 3-메톡시부틸아세테이트 240g을 혼합하였다.
그 다음 상기 혼합물을 5시간 동안 교반 하여 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
< 비교예 3>
락탐 블랙 (BK-5108, Tokushiki사, 함량 16%) 400g, 알칼리 가용성 아크릴바인더로 중합체 G (알드리치사, Mw=25,000) 120g, 중합체 E 60g, 중합체 F 10g, 중합체 C 80g, 다관능성 모노머로 디펜타에리트리톨 헥사 아크릴레이트 36g, 광중합개시제로 OXE-02 (바스프사) 4g, 밀착촉진제로 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란 5g, 레벨링제로 BYK-307 (알타나사) 2g, 용매로 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 43g 및 3-메톡시부틸아세테이트 240g을 혼합하였다.
그 다음 상기 혼합물을 5시간 동안 교반 하여 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
< 비교예 4>
락탐 블랙 (BK-5108, Tokushiki사, 함량 16%) 400g, 알칼리 가용성 아크릴바인더로 중합체 G (알드리치사, Mw=25,000) 120g, 중합체 D1 78g, 중합체 H 80g, 다관능성 모노머로 디펜타에리트리톨 헥사 아크릴레이트 38g, 광중합개시제로 OXE-02 (바스프사) 4g, 밀착촉진제로 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란 5g, 레벨링제로 BYK-307 (알타나사) 2g, 용매로 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 33g 및 3-메톡시부틸아세테이트 240g을 혼합하였다.
그 다음 상기 혼합물을 5시간 동안 교반 하여 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
< 비교예 5>
락탐 블랙 (BK-5108, Tokushiki사, 함량 16%) 400g, 알칼리 가용성 아크릴바인더로 중합체 G (알드리치사, Mw=25,000) 120g, 중합체 D2 78g, 중합체 H 80g, 다관능성 모노머로 디펜타에리트리톨 헥사 아크릴레이트 38g, 광중합개시제로 OXE-02 (바스프사) 4g, 밀착촉진제로 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란 5g, 레벨링제로 BYK-307 (알타나사) 2g, 용매로 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 33g 및 3-메톡시부틸아세테이트 240g을 혼합하였다.
그 다음 상기 혼합물을 5시간 동안 교반 하여 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
< 비교예 6>
락탐 블랙 (BK-5108, Tokushiki사, 함량 16%) 400g, 알칼리 가용성 아크릴바인더로 중합체 G (알드리치사, Mw=25,000) 120g, 중합체 D3 78g, 중합체 H 80g, 다관능성 모노머로 디펜타에리트리톨 헥사 아크릴레이트 38g, 광중합개시제로 OXE-02 (바스프사) 4g, 밀착촉진제로 3-메타아크릴옥시프로필트리메톡시실란 5g, 레벨링제로 BYK-307 (알타나사) 2g, 용매로 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 33g 및 3-메톡시부틸아세테이트 240g을 혼합하였다.
그 다음 상기 혼합물을 5시간 동안 교반 하여 감광성 수지 조성물을 제조하였다.
상기 실시예 1, 실시예 2 및 비교예 1 내지 6으로 제조한 감광성 수지 조성물 용액을 ITO 박막이 증착된 유리기판에 스핀 코팅하고, 40 Pa까지 감압건조(VCD)를 진행하여 용매를 제거한 후 약 100℃로 2분 동안 전열 처리하여 도막을 형성하였다. 현상 밀착성을 보기 위해 포토마스크를 이용하여 고압수은 램프 하에서 80 mJ/㎠의 에너지로 노광시켰다. 상기 노광된 기판을 22℃의 온도에서 2.38%의 테트라메틸암모늄히드록사이드(TMAH) 수용액에서 퍼들 방식으로 현상한 후, 순수로 20초간 스핀&스프레이 방식으로 세정하고 건조시켜 230℃의 컨벡션 오븐에서 30분간 포스트베이크(post-bake)하여 두께 2.5㎛ 및 광학밀도 3.75의 기판을 제작하여, 하기의 실험예 1 내지 4를 진행하였다.
-현상시간: 2.38% TMAH 수용액으로 puddle 현상 하는 시간.
-Hole: 비노광부위로 현상액에 의해 씻겨져 나간 부분 양극(anode)
-직진성: 홀이 생성된 양쪽 측면부의 곧음 정도
-Taper: hole 형성 후 코팅된 면과 홀을 이루는 단면의 각도
-10㎛: 10㎛ 사이즈의 mask 비노광부로 현상 후 얻어지는 홀 패턴의 크기
-15㎛: 15㎛ 사이즈의 mask 비노광부로 현상 후 얻어지는 홀 패턴의 크기
< 실험예 1: 직진성 평가>
포스트베이크 후 수득한 필름은 막 두께가 약 2.5㎛로 비노광부위에 활성영역(active area = anode) 홀 패턴이 형성되어 있다. 홀 패턴 형성에 있어 홀 끝단이 마스크 모양대로 형성되었는지 홀을 이루고 있는 단면의 직진성을 주사전자현미경(SEM)을 통해 평가했다.
< 실험예 2: 현상마진 평가>
현상을 10초간격으로 하여 홀 패턴의 CD변화율을 평가했다.
도 1 내지 도 5는 실시예 1, 실시예 2 및 비교예 1 내지 3의 직진성 및 현상 마진 평가결과를 나타낸 것이다.
도 1은 실시예 1로 현상 후, 50°이내의 taper 각도로 홀이 형성되었음을 알 수 있다. 또한, 10㎛ 홀에서 현상시간이 10초씩 증가함에 따라 홀의 크기 변화가 약 0.16㎛ 정도로 우수한 현상마진을 가지고 있음을 알 수 있다.
도 2는 실시예 2로 현상 후, 50°이내의 taper 각도로 홀이 형성되었음을 알 수 있다. 또한, 홀의 절대적인 크기가 실시예1 보다는 크나 감도 조절로 해결할 수 있으며, 10㎛ 홀에서 현상시간이 10초씩 증가함에 따라 홀의 크기 변화가 약 0.16㎛ 정도로 형성되었음을 알 수 있다.
도 3은 비교예 1로 현상 후, 현상 110s에서 직진성이 실시예 1에 비하여 좋지 않음을 알 수 있다. 또한, 10㎛ 홀 패턴에서 현상시간이 10초씩 증가함에 따라 홀 패턴의 크기 변화가 약 0.40㎛ 로 실시예 1 및 2에 비하여 크다.
도 4는 비교예 2로 현상 후, 비교예 2는 홀 패턴 및 직진성이 좋지 않음을 알 수 있다. 또한, 10㎛ 홀에서 현상시간이 10초씩 증가함에 따라 홀의 크기 변화가 약 0.26㎛ 로 실시예 1 및 2에 비하여 크다.
도 5는 비교예 3으로 현상 후, 실시예 1은 본 명세서의 화학식 1의 A2가 카바메이트기인 B1이 포함되는데 반하여, 비교예 3의 중합체 C는 에스터 그룹으로 치환기가 연결되어 있다. 이 경우 직진성은 좋지만, 10㎛ 홀에서 현상시간이 10초씩 증가함에 따라 홀의 크기 변화가 약 1.99㎛ 정도로 실시예 1에 비하여 크므로, 현상 마진이 부족한 것을 알 수 있다.
< 실험예 3: 잔사 평가>
포스트베이크 후 수득한 필름은 막 두께가 약 2.5㎛로 비노광부위에 액티브 에어리어인 홀 패턴이 형성되어 있다. 상기 홀 패턴에 감광성 수지 조성물이 남아있는 지의 여부를 광학현미경을 통해 평가했다.
도 6은 실시예 1, 실시예 2 및 비교예 1 내지 3의 잔사 평가를 나타낸 것이다.
도 6에서, 실시예 1 및 2는 홀 내부에 잔사가 없고 육안으로 직진성이 좋은 것이 확인되는 반면, 비교예 1 및 3은 직진성은 있으나 잔사가 관찰되며, 비교예 2는 잔사는 없으나, 직진성이 좋지 않음을 확인할 수 있다.
< 실험예 4: 뜯김 평가>
현상직후 육안으로 전체 글라스의 뜯김 여부를 확인했다.
도 7은 비교예 4의 뜯김 평가 결과를 나타낸 것이다. 비교예 4 내지 6은 테트라메틸암모늄히드록사이드(TMAH) 현상액에 대하여 상용성이 떨어져 뜯기는 형태로 직진성 및 잔사 확인의 공정성 평가를 할 수 없음을 알 수 있다.
상기 실험예 1 내지 4의 평가 결과를 하기 표 2에 나타내었다.
Figure 112017021736809-pat00019
상기 표 2에서 보는 바와 같이, 본 명세서의 화학식 1의 반복단위를 갖는 고분자 수지 화합물을 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물은 종래의 비교예 1 및 2에 비하여 직진성이 우수함을 알 수 있다.
또한, 포스트베이크 후 수득한 필름의 비노광부위에 형성되는 액티브 에어리어인 홀 패턴은 ITO 박막이 있어 양극(anode)으로 사용되는데, 홀 패턴에 감광성 수지가 잔사로 남아있으면 불량화소, 휘도저하 및 소자수명저하의 원인이 된다. 상기 실시예 1 및 2는 종래의 비교예 1에 비하여 잔사가 남아 있지 않아, 불량화소, 휘도저하 및 소자수명저하를 방지하는데 우수한 효과가 있음을 알 수 있다.
또한, 테트라메틸암모튬히드록사이드(TMAH) 수용액을 이용해 퍼들(puddle) 방식으로 현상을 하는 경우, 유리기판에 도포된 감광성 수지 조성물이 현상액과 접촉하는데 시간차이가 발생하므로 안정적인 현상마진이 필요하다. 상기 실시예 1 및 2는 10초당 CD변화율이 0.16㎛에 불과해 비교예 1 내지 3에 비하여 현상마진이 안정적이므로 테트라메틸암모늄히드록사이드(TMAH) 내현상성에 우수한 효과가 있음을 알 수 있다.
또한, 감광성 수지 조성물은 조성물의 현상능력에 따라 현상시 뜯기는 형태의 박리가 나타날 수 있으며, 이 경우 올바른 패턴을 구현하기 힘들다. 따라서, ITO 박막이 증착된 기판에 대한 부착력이 좋아야 하며 테트라메틸암모늄히드록사이드(TMAH) 현상액에 대한 내현상성이 있어야 한다. 상기 실시예 1 및 2는 비교예 4 내지 6 에 비하여 뜯기는 현상 없이 패턴 구현이 잘 되는 것을 확인할 수 있다.
이상을 통해 본 명세서의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 발명의 범주에 속한다.

Claims (17)

  1. 하기 화학식 1의 반복단위를 포함하는 고분자 수지 화합물:
    [화학식 1]
    Figure 112017021736809-pat00020

    상기 화학식 1에서,
    A1 및 A2는 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 카바메이트기; 또는 히드록시기이며,
    상기 A1 및 A2 중 어느 하나가 히드록시기인 경우, 나머지는 치환 또는 비치환된 카바메이트기이고,
    Y1 및 Y2는 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기; 치환 또는 비치환된 에틸렌 옥사이드기; 또는 치환 또는 비치환된 프로필렌 옥사이드기이며,
    Z는 치환 또는 비치환된 2가의 알킬기; 치환 또는 비치환된 2가의 시클로헥산; 치환 또는 비치환된 2가의 시클로헥신; 또는 치환 또는 비치환된 2가의 벤젠이고,
    R1 내지 R10은 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소; 중수소; 할로겐기; 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬기; 치환 또는 비치환된 탄소수 3 내지 10의 시클로알킬기; 치환 또는 비치환된 실릴기; 치환 또는 비치환된 포스핀옥사이드기; 치환 또는 비치환된 아릴기; 또는 치환 또는 비치환된 헤테로고리기이며,
    r1 내지 r4는 각각 독립적으로 1 내지 4의 정수이고,
    r1 내지 r4가 각각 2 이상인 경우, 괄호 내의 구조는 각각 서로 같거나 상이하며,
    n은 2 내지 5,000이고,
    n이 2 이상인 경우, 괄호내의 구조는 서로 같거나 상이하다.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 카바메이트기는 하기 화학식 2로 표시되는 것인 고분자 수지 화합물:
    [화학식 2]
    Figure 112017021736809-pat00021

    상기 화학식 2에 있어서,
    Y3은 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기; 치환 또는 비치환된 에틸렌 옥사이드기; 또는 치환 또는 비치환된 프로필렌 옥사이드기이고,
    R11 및 R14는 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소; 중수소; 할로겐기; 치환 또는 비치환된 알킬기; 치환 또는 비치환된 시클로알킬기; 치환 또는 비치환된 실릴기; 치환 또는 비치환된 포스핀옥사이드기; 치환 또는 비치환된 아릴기; 또는 치환 또는 비치환된 헤테로고리기이고,
    R12 및 R13은 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 O; S; NR101; 또는 CR102R103이며,
    상기 R101 내지 R103은 수소; 중수소; 치환 또는 비치환된 알킬기; 치환 또는 비치환된 시클로알킬기; 치환 또는 비치환된 아릴기; 또는 치환 또는 비치환된 헤테로고리기이다.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 화학식 1은 하기 화학식 3으로 표시되는 것인 고분자 수지 화합물:
    [화학식 3]
    Figure 112017021736809-pat00022

    상기 화학식 3에 있어서,
    A1, A2, Y1, Y2, R1 내지 R10, r1 내지 r4 및 n에 대한 정의는 상기 화학식 1에서 정의한 바와 동일하다.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 화학식 1은 하기 화학식 4 내지 6 중 어느 하나로 표시되는 것인 고분자 수지 화합물:
    [화학식 4]
    Figure 112017021736809-pat00023

    [화학식 5]
    Figure 112017021736809-pat00024

    [화학식 6]
    Figure 112017021736809-pat00025

    상기 화학식 4 내지 6에 있어서,
    Y1, Y2, R1 내지 R10, r1 내지 r4 및 n에 대한 정의는 상기 화학식 1에서 정의한 바와 동일하고,
    Y3은 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 3의 알킬렌기; 치환 또는 비치환된 에틸렌 옥사이드기; 또는 치환 또는 비치환된 프로필렌 옥사이드기이고,
    R11, R14, R21 및 R24는 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소; 중수소; 할로겐기; 치환 또는 비치환된 알킬기; 치환 또는 비치환된 시클로알킬기; 치환 또는 비치환된 실릴기; 치환 또는 비치환된 포스핀옥사이드기; 치환 또는 비치환된 아릴기; 또는 치환 또는 비치환된 헤테로고리기이고,
    R12, R13, R22 및 R23은 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 O; S; NR101; 또는 CR102R103이며,
    상기 R101 내지 R103은 서로 같거나 상이하고, 각각 독립적으로 수소; 중수소; 치환 또는 비치환된 알킬기; 치환 또는 비치환된 시클로알킬기; 치환 또는 비치환된 아릴기; 또는 치환 또는 비치환된 헤테로고리기이다.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 고분자 수지 화합물의 중량평균분자량은 1,000 내지 50,000인 것인 고분자 수지 화합물.
  6. 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항의 고분자 수지 화합물, 모노머, 광개시제, 착색제 및 용매를 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물.
  7. 청구항 6에 있어서, 상기 고분자 수지 화합물의 함량은 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 1 내지 20 중량%인 것인 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물.
  8. 청구항 6에 있어서, 상기 모노머는 폴리에틸렌글리콜 모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌 글리콜 모노(메타)아크릴레이트, 페녹시에틸(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜 (메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 (메타)아크릴레이트, 트리메틸올 에탄트리아크릴레이트, 트리메틸톨 프로판 트리아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 (메타)아크릴레이트, 펜타아크리리트리톨 헥사아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트(DPHA)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물.
  9. 청구항 6에 있어서, 상기 모노머의 함량은 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 1 내지 10 중량%인 것인 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물.
  10. 청구항 6에 있어서, 상기 광개시제는 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 트리아진계 화합물 및 옥심계 화합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물.
  11. 청구항 6에 있어서, 상기 광개시제의 함량은 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 0.1 내지 5 중량%인 것인 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물.
  12. 청구항 6에 있어서, 상기 용매는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸부틸에테르, 트리에틸렌글리콜메틸부틸에테르, 메틸 3-메톡시프로피오네이트, 에틸 3-에톡시 프로피오네트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트 및 2-프로판올로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물.
  13. 청구항 6에 있어서, 상기 용매의 함량은 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물 총 중량을 기준으로 60 내지 90 중량%인 것인 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물.
  14. 청구항 6에 있어서, 상기 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물은 광가교증감제, 경화촉진제, 밀착촉진제, 접착력증강제, 계면활성제, 산화방지제, 열중합방지제, 자외선흡수제, 분산제 및 레벨링제로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 첨가제를 추가로 포함하는 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물.
  15. 청구항 6의 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물로 제조된 블랙 뱅크.
  16. 1) 청구항 6의 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 기판상에 도포하는 단계;
    2) 상기 도포된 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계; 및
    3) 패터닝된 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물을 경화시키는 단계를 포함하는 블랙 뱅크의 제조 방법.
  17. 청구항 16에 있어서, 2) 상기 도포된 블랙 뱅크용 감광성 수지 조성물의 현상시 사용하는 현상액은 테트라메틸암모늄히드록사이드(TMAH) 수용액인 것인 블랙 뱅크의 제조 방법.
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