KR20080069446A - 테스트 트레이 및 그를 이용한 테스트 핸들러 장비 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 테스트 트레이를 순차적으로 이동시키면서 가열 또는 냉각하기 위한 제1챔버부;상기 제1챔버부로부터 테스트 트레이를 공급받아 테스트 트레이에 로딩된 반도체 소자를 테스트하는 테스트부;상기 테스트부로부터 테스트 트레이를 공급받고 공급받은 테스트 트레이를 순차적으로 이동시키면서 냉각 또는 가열하기 위한 제2챔버부; 및수직상태를 유지하면서 상기 제1챔버부, 테스트부 및 제2챔버부를 이동하는 테스트 트레이를 포함하여 이루어지며,상기 테스트 트레이는 상기 제1챔버부, 테스트부, 및 제2챔버부 사이를 가로 방향으로 이동가능하게 형성되는 동시에, 상기 제1챔버부, 테스트부, 및 제2챔버부 사이를 세로 방향으로 이동가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비.
- 제1항에 있어서,상기 테스트 트레이는 반도체 소자를 수용하기 위한 적어도 하나의 캐리어를 구비한 프레임, 및 상기 프레임의 외주면에 탈착가능하게 형성되는 이송기구를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비.
- 제2항에 있어서,상기 테스트 트레이의 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리부에 탈착가능하며 이송홈이 구비된 제1구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비.
- 제2항에 있어서,상기 테스트 트레이의 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리부에 탈착가능하며 이송턱이 구비된 제2구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비.
- 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 테스트 트레이의 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 변에 탈착가능하게 형성된 적어도 하나의 제1돌출부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비.
- 제5항에 있어서,상기 테스트 트레이의 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리에 탈착가능하게 형성되며 제2돌출부재를 구비한 제3구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러 장비.
- 반도체 소자를 수용하기 위한 적어도 하나의 캐리어를 구비한 프레임, 및상기 프레임의 외주면에 탈착가능하게 형성되는 이송기구를 포함하여 이루어지며, 테스트 핸들러 장비 내에서 수직 상태를 유지하면서 가로 방향 및 세로방향으로 이동가능한 테스트 트레이.
- 제7항에 있어서,상기 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리부에 탈착가능하며 이송홈이 구비된 제1구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
- 제7항에 있어서,상기 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리부에 탈착가능하며 이송턱이 구비된 제2구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
- 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 변에 탈착가능하게 형성된 적어도 하나의 제1돌출부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 트레이.
- 제10항에 있어서,상기 이송기구는 상기 프레임의 적어도 하나의 모서리에 탈착가능하게 형성되며 제2돌출부재를 구비한 제3구조물을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 테 스트 트레이.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070007178A KR100855203B1 (ko) | 2007-01-23 | 2007-01-23 | 테스트 트레이 및 그를 이용한 테스트 핸들러 장비 |
TW097101117A TWI366881B (en) | 2007-01-23 | 2008-01-11 | Test tray and handler using the test tray |
US12/017,730 US7583076B2 (en) | 2007-01-23 | 2008-01-22 | Test tray and handler using the test tray |
CN2008100041716A CN101231324B (zh) | 2007-01-23 | 2008-01-23 | 测试盘以及使用该测试盘的处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070007178A KR100855203B1 (ko) | 2007-01-23 | 2007-01-23 | 테스트 트레이 및 그를 이용한 테스트 핸들러 장비 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080069446A true KR20080069446A (ko) | 2008-07-28 |
KR100855203B1 KR100855203B1 (ko) | 2008-09-01 |
Family
ID=39640607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070007178A KR100855203B1 (ko) | 2007-01-23 | 2007-01-23 | 테스트 트레이 및 그를 이용한 테스트 핸들러 장비 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7583076B2 (ko) |
KR (1) | KR100855203B1 (ko) |
CN (1) | CN101231324B (ko) |
TW (1) | TWI366881B (ko) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101039858B1 (ko) * | 2009-05-29 | 2011-06-09 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 수납장치, 테스트 트레이, 및 테스트 핸들러 |
KR20110099556A (ko) * | 2010-03-02 | 2011-09-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 테스트장치 |
KR102021819B1 (ko) * | 2012-12-14 | 2019-09-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체 모듈 검사 시스템 |
KR102138794B1 (ko) * | 2013-03-18 | 2020-07-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 위치정렬트레이, 그를 이용하는 테스트 핸들러, 반도체 패키지 위치 정렬 방법, 그리고 그를 이용하는 반도체 패키지 테스트 방법 |
CN104101425A (zh) * | 2013-04-15 | 2014-10-15 | 镇江逸致仪器有限公司 | 具有常温检测与高温检测双夹具的巴条测试系统 |
DE102014114147B4 (de) * | 2014-09-29 | 2023-03-23 | Michael Keil | Prüfscheibensystem |
KR102390564B1 (ko) * | 2015-08-04 | 2022-04-27 | (주)테크윙 | 테스트핸들러용 자세변환장치 및 테스트핸들러 |
TWI614840B (zh) * | 2016-10-14 | 2018-02-11 | 電子元件之移載裝置及其應用之測試設備 | |
CN110146727B (zh) * | 2019-06-13 | 2021-05-11 | 浙江优众新材料科技有限公司 | 一种芯片测试装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0716178U (ja) * | 1993-08-25 | 1995-03-17 | 株式会社アドバンテスト | Icハンドラにおけるスペーシングフレーム |
WO1997005496A1 (fr) * | 1995-07-28 | 1997-02-13 | Advantest Corporation | Testeur de dispositif a semiconducteur et systeme de test de dispositif a semiconducteur comportant plusieurs testeurs |
TW379285B (en) * | 1997-07-02 | 2000-01-11 | Advantest Corp | Testing device for semiconductor components and the testing trays used in the testing apparatus |
KR100262269B1 (ko) * | 1998-04-25 | 2000-07-15 | 정문술 | 수평식 핸들러의 히팅챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치 |
TW432221B (en) * | 1998-05-29 | 2001-05-01 | Advantest Corp | Tray for electronic device, the transporting apparatus of tray for electronic device and testing apparatus for electronic device |
JP3567803B2 (ja) * | 1999-07-08 | 2004-09-22 | 日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社 | Icデバイスの試験装置 |
KR100376773B1 (ko) * | 2000-10-10 | 2003-03-19 | 미래산업 주식회사 | 핸들러용 인덱스장치 |
KR100380965B1 (ko) * | 2000-11-10 | 2003-04-26 | 미래산업 주식회사 | 모듈램 테스트 핸들러의 캐리어 이송장치 |
-
2007
- 2007-01-23 KR KR1020070007178A patent/KR100855203B1/ko active IP Right Grant
-
2008
- 2008-01-11 TW TW097101117A patent/TWI366881B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-01-22 US US12/017,730 patent/US7583076B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-01-23 CN CN2008100041716A patent/CN101231324B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7583076B2 (en) | 2009-09-01 |
KR100855203B1 (ko) | 2008-09-01 |
TWI366881B (en) | 2012-06-21 |
TW200901355A (en) | 2009-01-01 |
US20080174299A1 (en) | 2008-07-24 |
CN101231324B (zh) | 2012-01-25 |
CN101231324A (zh) | 2008-07-30 |
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FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
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