KR102390564B1 - 테스트핸들러용 자세변환장치 및 테스트핸들러 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 테스트트레이의 자세를 변환시키는 자세변환장치 및 해당 자세변환장치가 적용된 핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따른 테스트핸들러용 자세변환장치는, 수직 상태에서 수평 상태로 회전하거나 수평 상태에서 수직 상태로 회전할 수 있는 설치프레임; 상기 설치프레임을 수직 상태에서 수평 상태로 회전시키거나 수평 상태에서 수직 상태로 회전시키는 회전원; 및 상기 설치프레임에 설치되고, 테스트트레이의 양단을 파지하기 위해 각각 적어도 2개의 파지홈을 가지며, 상호 마주보는 한 쌍의 파지블록; 을 포함한다. 그리고 본 발명에 따른 테스트핸들러는 상기한 자세변환장치를 포함한다.
본 발명에 따르면 자세변환장치에서 간단한 구성 추가 및 조작을 통해 테스트트레이의 순환 순서를 변경시킬 수 있기 때문에, 테스트핸들러의 구조 변경이나 크기의 증대를 최소화시키면서 언로딩 순서의 바뀜을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

테스트핸들러용 자세변환장치 및 테스트핸들러{ROTATEOR FOR TEST HANDLER AND TEST HANDLER}
본 발명은 테스터에 의한 반도체소자의 테스트를 지원하는 테스트핸들러에 관한 것으로, 특히 테스트트레이의 자세를 변환시키는 기술에 관한 것이다.
테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재하는 기기이다. 이러한 테스트핸들러는 다수의 반도체소자들을 함께 테스트하기 위해 다수의 반도체소자들이 적재될 수 있는 테스트트레이를 구비하며, 반도체소자들은 테스트트레이에 적재된 상태에서 테스트가 이루어진다.
테스트핸들러의 종류에 따라서는 테스트트레이가 수평인 상태에서 반도체소자들이 테스트되는 수평식 테스트핸들러와 테스트트레이가 수직인 상태에서 반도체소자들이 테스트되는 수직식 테스트핸들러가 있다. 본 발명은 수직식 테스트핸들러에 관한 것이다.
도 1은 수직식 테스트핸들러(100)에 대한 개념적인 평면도이다.
도 1에서 참조되는 바와 같이, 테스트핸들러(100)는 테스트트레이(TT), 제1 핸드(110), 제1 자세변환장치(120), 제1 챔버(130), 테스트챔버(140), 연결장치(150), 제2 챔버(160), 제2 자세변환장치(170) 및 제2 핸드(180)를 포함한다.
테스트트레이(TT)는 대한민국 공개특허 10-2007-0088010호 등에서 참조되는 바와 같이 반도체소자가 안착될 수 있는 복수의 인서트가 다소 유동 가능하게 설치되며, 다수의 이송장치(미도시)에 의해 정해진 폐쇄경로(C)를 따라 순환한다.
제1 핸드(110)는 고객트레이(CTn)에 적재되어 있는 테스트되어야 할 반도체소자들을 제1 위치(P1)에 있는 테스트트레이(TT)로 로딩(Loading)시킨다. 이러한 경우 제1 핸드(110)는 반도체소자들을 테스트트레이(TT)에 로딩시키는 로딩장치로서 기능하며, 제1 위치(P1)는 로딩위치(Loading Position)가 된다.
제1 자세변환장치(120)는 반도체소자들의 로딩이 완료된 테스트트레이(TT)를 수직 상태로 자세 변환시킨다. 여기서 제1 자세변환장치(120)에 의해 수직 상태로 자세 변환된 테스트트레이(TT)는 대한민국 특허등록공보 10-0648920에서 참조되는 바와 같이 수직 무브레일에 의해 하강된 후 제1 챔버(130) 내에서 후방으로 이송된다.
제1 챔버(130)는 수직 상태로 자세변환 된 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 반도체소자들을 테스트 환경조건에 따라 예열(豫熱) 또는 예냉(豫冷)시키기 위해 마련된다.
테스트챔버(140)는 제1 챔버(130)에서 예열 또는 예냉된 후 테스트위치(TP : Test Position)로 이송되어 온 수직 상태의 테스트트레이(TT)의 반도체소자들을 테스트하기 위해 마련된다.
연결장치(150)는 테스트챔버(140) 내의 테스트위치(TP)에 있는 수직 상태의 테스트트레이(TT)를 테스트챔버(140) 측에 결합되어 있는 테스터(TESTER) 측으로 밀어 테스트트레이(TT)의 인서트에 적재된 반도체소자들을 테스터의 테스트소켓에 전기적으로 연결시킨다.
제2 챔버(160)는 테스트챔버(140)로부터 이송되어 온 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 가열 또는 냉각된 반도체소자들을 상온(常溫) 또는 상온에 가깝게 회귀시키기 위해 마련된다. 그리고 테스트트레이(TT)는 수직 상태로 제2 챔버(160)의 내부에서 전방으로 이송된다.
제2 자세변환장치(170)는 제2 챔버(160)의 내부에서 이송이 종료된 수직 상태의 테스트트레이(TT)를 수평 상태로 자세 변환 시킨다. 여기서도 수직 무브레일에 의해 테스트트레이(TT)가 상승됨으로써 제2 자세변환장치(170)가 테스트트레이(TT)를 파지할 수 있게 된다.
제2 핸드(180)는 제2 위치(P2)로 온 수평 상태의 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 반도체소자들을 테스트 등급별로 분류하면서 빈 고객트레이(CTe)로 언로딩(Unloading)시킨다. 이러한 경우 제2 핸드(180)는 반도체소자들을 테스트트레이(TT)로부터 언로딩시키는 언로딩장치로서 기능하며, 제2 위치(P2)는 언로딩위치(Unloading Position)가 된다.
위와 같은 구성을 가지는 테스트핸들러(100)에서 테스트트레이(TT)는 제1 위치(P1), 테스트위치(TP) 및 제2 위치(P2)를 지나 다시 제1 위치(P1)로 이어지는 순환 경로(C)를 따라서 순환 이동한다.
그리고 근래에 본 출원인에 의해 새로이 제안된 테스트핸들러에서는, 테스트 모드에 따라서 테스트트레이(TT)가 순환 경로(C)의 역방향으로 순환 이동할 수도 있다. 이러한 경우, 제1 핸드(110)와 제2 핸드(160), 제1 챔버(120)와 제2 챔버(150)의 역할이 전환되며, 제2 위치(P2)가 로딩위치가 되고 제1 위치(P1)가 언로딩위치가 된다.
참고로, 도 1의 수직식 테스트핸들러(100)에서는 2개의 자세변환장치(120, 170)를 구비하고 있다. 그런데, 대한민국 공개특허공보 10-2008-0102088호에서와 같이 테스트핸들러에 하나의 자세변환장치(해당 공보에는 '로테이터'로 명칭됨)만을 구비할 수도 있다. 본 발명은 그러한 자세변환장치와 관계한다.
한편, 대한민국 공개특허공보 10-2009-0012667호(이하 '선행기술'이라 함)의 도 2를 참조하면 처리 용량을 늘이기 위해 테스트트레이가 상하 이단으로 배치된 상태에서 반도체소자의 테스트가 이루어지도록 하고 있다. 이러한 경우, 후순위의 테스트트레이보다 소크챔버에 먼저 진입한 선순위의 테스트트레이가 후순위의 테스트트레이보다 언로딩위치에 나중에 도착하게 된다. 일반적으로 선순위의 테스트트레이와 후순위의 테스트트레이가 동일한 랏(Lot)에 속한 반도체소자들을 적재하고 있다면 선순위의 테스트트레이와 후순위의 테스트트레이가 중간에서 순서가 바뀌더라도 문제가 되지는 않는다. 그러나 장비의 가동률을 높이기 위해 전(前) 랏과 후(後) 랏의 반도체소자들을 연속적으로 테스트할 경우에는 전 랏의 물량과 후 랏의 물량이 교체될 때 언로딩위치에 도달하는 테스트트레이의 순서가 바뀌기 때문에 서로 다른 랏의 물량이 섞이는 문제가 발생할 수 있다. 따라서 위의 선행기술을 참조하면, 순환 경로 상에서 전 랏의 마지막 물량이 적재된 테스트트레이를 대기시킨 후, 후 랏의 첫 번째 물량이 적재된 테스트트레이를 먼저 다음 공정으로 보내는 기술을 제안한 바 있다. 이를 통해 순서적으로 전 랏의 물량이 모두 언로딩된 후, 후 랏의 물량이 언로딩될 수 있게 되었다.
본 발명은 위와 같이 전 랏의 물량과 후 랏의 물량이 교체되는 시점 또는 필요에 의해 테스트트레이의 순환 순서를 바꾸어야 할 필요성이 있는 경우에 적용될 수 있는 자세변환장치에 일예에 관한 것이다.
본 발명의 제1 목적은 선순위의 테스트트레이와 후순위의 테스트트레이 간에 언로딩 순서가 바꾸는 순환 구조를 가지는 테스트핸들러에서, 선순위의 테스트트레이와 후순위의 테스트트레이 간의 순환 순서를 바꿈으로써 본래 선순위인 테스트트레이의 반도체소자들부터 언로딩될 수 있도록 하는 자세변환장치에 관한 기술을 제공하는 것이다.
더 나아가 본 발명의 제2 목적은 수직식 테스트핸들러에서 테스트트레이의 자세변환에 소요되는 시간을 줄일 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 자세변환장치는, 수직 상태에서 수평 상태로 회전하거나 수평 상태에서 수직 상태로 회전할 수 있는 설치프레임; 상기 설치프레임을 수직 상태에서 수평 상태로 회전시키거나 수평 상태에서 수직 상태로 회전시키는 회전원; 및 상기 설치프레임에 설치되고, 테스트트레이의 양단을 파지하기 위해 각각 적어도 2개의 파지홈을 가지며, 상호 마주보는 한 쌍의 파지블록; 을 포함한다.
상기 자세변환장치는 상기 한 쌍의 파지블록을 각각 승강시킴으로써 상기 테스트트레이를 파지하기 위한 상기 적어도 2개의 파지홈의 위치를 변경시키는 한 쌍의 승강기; 를 더 포함할 수 있다.
상기 자세변환장치는 상기 설치프레임이 수평 상태에서 수직 상태로 자세 변환할 시에 상기 적어도 2개의 파지홈 중 적어도 하나의 제1 파지홈 또는 제2 파지홈에 파지된 테스트트레이의 임의적인 이탈을 방지하기 위한 제1 이탈방지기; 및 상기 한 쌍의 승강기의 작동에 따라 상기 제1 파지홈 및 제2 파지홈의 위치가 변경되고, 상기 설치프레임이 수평 상태에서 수직 상태로 자세 변환할 시에 상기 제1 파지홈에 파지된 테스트트레이의 임의적인 이탈을 방지하기 위한 제2 이탈방지기; 를 포함할 수 있다.
상기 제2 이탈방지기는 상기 승강기의 작동 상태에 따라 상기 파지블록의 제1 파지홈 또는 제2 파지홈으로 진입하는 테스트트레이의 진입 간섭은 방지되면서 상기 승강기의 작동에 따라 위치가 변경된 상기 제1 파지홈에 파지된 테스트트레이의 이탈은 방지할 수 있는 위치에 구비되는 것이 바람직하다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러는, 로딩(Loading)위치, 테스트(Test)위치 및 언로딩(Unloading)위치를 거쳐 다시 로딩위치로 이어지는 일정한 순환 경로를 순환하며, 반도체소자가 안착될 수 있는 테스트트레이; 상기 테스트트레이가 로딩위치에 있을 때, 상기 테스트트레이로 반도체소자를 로딩시키는 로딩장치; 상기 로딩장치에 의한 반도체소자의 로딩이 완료된 후 테스트위치로 온 상기 테스트트레이에 있는 반도체소자를 테스터에 전기적으로 연결시키는 연결장치; 테스트가 완료된 후 테스트위치로부터 언로딩위치로 온 상기 테스트트레이로부터 반도체소자를 언로딩시키는 언로딩장치; 및 상기 테스트트레이의 순환 경로 상에서 수평 상태의 상기 테스트트레이를 수직 상태로 자세 변환시키거나 수직 상태의 상기 테스트트레이를 수평 상태로 자세 변환시키기 위해 마련되는 적어도 하나의 상기한 자세변환장치; 를 포함한다.
위와 같은 본 발명에 따르면 자세변환장치에서 간단한 구성 추가 및 조작을 통해 테스트트레이의 순환 순서를 변경시킬 수 있기 때문에, 테스트핸들러의 구조 변경을 최소화시키고 그 크기의 증대를 방지하면서 언로딩 순서의 바뀜을 방지할 수 있는 효과가 있다.
더 나아가 본 발명에 따르면 테스트트레이의 순서가 바뀌어도 관계없는 경우일지라도, 설치프레임의 1회 자세변환에 의해 2장의 테스트트레이를 한꺼번에 자세변환시킬 수 있기 때문에 물류의 흐름이 더욱 빨라질 수 있는 상승된 효과가 있다.
도 1은 일반적인 수직식 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 테스트핸들러에 적용되는 제1 자세변환장치에 대한 개략적인 사시도이다.
도 3은 도 2의 제1 자세변환장치에 대한 개념적인 측면도로서 선순위의 테스트트레이가 진입하기 전의 보여주고 있다.
도 4는 도 3의 상태에서 선순위의 테스트트레이가 진입한 후를 보여주고 있다.
도 5는 도 3의 상태에서 제1 이탈방지기가 작동하여 선순위의 테스트트레이에 대한 이탈을 방지하는 모습을 보여주고 있다.
도 6은 도 4의 상태에서 파지블록이 상승된 모습을 보여주고 있다.
도 7의 도6의 상태에서 후순위의 테스트트레이가 진입한 후를 보여주고 있다.
도 8은 도 7의 상태에서 제1 이탈방지기가 작동하여 후순위의 테스트트레이에 대한 이탈을 방지하는 모습을 보여주고 있다.
도 9는 도8의 상태에서 설치프레임이 수직 상태로 자세 변환된 모습을 보여주고 있다.
도 10은 수직 무브레일로 후순위의 테스트트레이를 받히는 모습을 보여주고 있다.
도 11은 수직 무브레일을 하강시킴으로써 후순위의 테스트트레이를 하강시킨 모습을 보여주고 있다.
이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다.
본 발명에 따른 테스트핸들러는 도 1에서와 같이, 테스트트레이(TT), 제1 핸드(110), 제1 자세변환장치(120), 제1 챔버(130), 테스트챔버(140), 연결장치(150), 제2 챔버(160), 제2 자세변환장치(170) 및 제2 핸드(180)를 모두 가지고 있다. 따라서 테스트트레이(TT), 제1 핸드(110), 제1 챔버(130), 테스트챔버(140), 연결장치(150), 제2 챔버(160), 제2 자세변환장치(170) 및 제2 핸드(180)와 관련하여 이미 앞에서 기술된 사항은 그 설명을 생략한다.
본 발명에서는 제1 자세변환장치(120)에 그 특징이 있다.
본 발명의 실시예에 따른 제1 자세변환장치(120)는 도 2에서와 같이 설치프레임(121), 회전원(122), 한 쌍의 파지블록(123a, 123b), 한 쌍의 승강기(124a, 124b), 제1 이탈방지기(125) 및 제2 이탈방지기(126)를 포함한다.
설치프레임(121)은 수직 상태에서 수평 상태로 회전하거나 수평 상태에서 수직 상태로 회전할 수 있다. 이를 위해 설치프레임(121)은 회전축(RS)에 의해 테스트핸들러의 뼈대를 이루는 벽면에 회전 가능하게 고정된다. 이러한 설치프레임(121)은 바닥판(121a) 및 한 쌍의 수직판(121b-1, 121b-2)을 포함한다.
바닥판(121a)에는 제1 이탈방지기(125) 등과 같은 필요한 구성품들이 설치된다.
한 쌍의 수직판(121b-1, 121b-2)은 바닥판(121a)의 양단에서 수직으로 세워지게 구비되며, 회전축(RS)과 결합된다. 이러한 수직판(121b-1, 121b-2)에는 한 쌍의 승강기(124a, 124b)와 제2 이탈방지기(126)가 설치된다.
회전원(122)은 수직판(121b-1, 121b-2)의 일 측(P1)을 밀거나 당김으로써 설치프레임(121)을 수평 상태에서 수직 상태로 회전시키거나 수직 상태에서 수평 상태로 회전시키며, 실린더나 모터로 구비될 수 있다. 여기서 회전원(122)의 구동력이 인가되는 수직판(121b-1, 121b-2)의 일 측(P1)은 회전축(RS)과 일정 간격(A)을 가지기 때문에 설치프레임(121)이 회전축(RS)을 회전 중심(O)으로 하여 회전할 수 있게 된다.
한 쌍의 파지블록(123a, 123b)은 각각 한 쌍의 수직판(121b-1, 121b-2)에 접하도록 설치프레임(121)에 설치되며, 승강 가능하게 구비된다. 이러한 한 쌍의 파지블록(123a, 123b)은 테스트트레이(TT)의 양단을 파지하기 위해 각각 2개의 파지홈(GS1, GS2/GS1', GS2')을 가진다. 이 때, 한 쌍의 파지블록(123a, 123b)은 상호 마주보게 구비되며, 서로 마주한 파지홈(GS1-GS1'/GS2-GS2')들을 통해 테스트트레이(TT)의 양단을 파지한다. 즉 설치프레임(121)이 수평인 상태를 기준으로, 한 쌍의 파지블록(123a/123b) 각각이 상측의 제1 파지홈과(GS1/GS1') 하측의 제2 파지홈(GS2/GS2')을 가지며, 제1 파지홈(GS1, GS1')들 간 또는 제2 파지홈(GS2, GS2')들을 통해 테스트트레이(TT)가 파지된다.
한 쌍의 승강기(124a, 124b)는 각각 한 쌍의 파지블록(123a, 123b) 각각을 승강시키며, 실린더나 모터로 구비될 수 있다. 따라서 한 쌍의 파지블록(123a, 123b)들이 가지는 2개의 파지홈(GS1, GS2/GS1', GS2')들도 상승되거나 하강되면서 그 위치가 변경된다.
제1 이탈방지기(125)는 설치프레임(121)이 수평 상태에서 수직 상태로 자세 변환할 시에 파지블록(123a, 123b)의 승강 상태에 따라서 제1 파지홈(GS1, GS1')에 파지된 테스트트레이(TT)의 임의적인 이탈을 방지하거나 제2 파지홈(GS2, GS2')에 파지된 테스트트레이(TT)의 임의적인 이탈을 방지한다. 이러한 제1 이탈방지기(125)는 이탈방지부재(125a) 및 회전기(125b)를 포함한다.
이탈방지부재(125a)는 회전 가능하게 구비되며, 회전 상태에 따라 테스트트레이(TT)의 일단을 지지하거나 지지를 해제한다.
회전기(125b)는 이탈방지부재(125a)를 정역 회전시키며, 실린더나 모터를 포함할 수 있다.
제2 이탈방지기(126)는 설치프레임(121)이 수평인 상태를 기준으로 파지블록(123a, 123b)이 상승한 상태에서, 설치프레임(121)이 수평 상태에서 수직 상태로 자세 변환할 시에 제1 파지홈(GS1, GS1')에 파지된 테스트트레이(TT)의 일단을 지지한다. 따라서 제1 파지홈(GS1, GS1')을 통해 파지된 테스트트레이(TT)의 이탈이 방지될 수 있다. 여기서 제2 이탈방지기(126)는 승강기(124a, 124b)의 작동 상태에 따라 제1 파지홈(GS1, GS1') 또는 제2 파지홈(GS2, GS2')으로 진입하는 테스트트레이(TT)의 진입 간섭은 방지하면서 승강기(124a, 124b)의 작동에 따라 위치가 변경된 제1 파지홈(GS1, GS1')에 파지된 테스트트레이(TT)의 이탈은 방지할 수 있는 위치에 구비되는 것이 바람직하다. 이를 위해 본 실시예에서는 수평 상태인 설치프레임(121)을 기준으로 파지블록(123a, 123b)이 상승하였을 때 상측의 제1 파지홈(GS1, GS1')이 위치하는 지점에서 테스트트레이(TT)의 일단을 지지할 수 있도록 일 측 수직판(121b-2)의 일단 상측에 설치된다.
계속하여 위와 같은 구성을 가지는 테스트핸들러의 주요 부위에 대한 작동에 대하여 설명한다.
도 3은 현재 선순위의 제1 테스트트레이(TT1)가 진입하기 전의 상태이다. 도 3의 상태에서는 파지블록(123a, 123b)이 하강된 상태에 있고 이탈방지부재(125a)는 제1 테스트트레이(TT1)의 진입을 허용하는 상태로 회전되어 있다. 도 3의 상태에서 도 4에서와 같이 제1 테스트트레이(TT1)가 상측의 제1 파지홈(GS1, GS1') 측으로 진입함으로써 제1 파지홈(GS1, GS1')들을 통해 파지블록(123a, 123b)에 파지될 수 있게 된다. 도 4에서와 같이 제1 테스트트레이(TT1)의 진입이 완료되면, 도 5에서와 같이 이탈방지부재(125a)가 제1 테스트트레이(TT1)의 일단을 지지하는 상태로 회전된다. 만일 테스트될 반도체소자들의 랏이 변경되는 등과 같이 테스트트레이(TT)들의 순환 순서를 변경할 이유가 없는 경우에는, 도 5의 상태에서 설치프레임(121)을 수직 상태로 자세 변환하여 수직 무브레일을 통해 제1 테스트트레이(TT1)를 하강시키면 된다. 그러나 랏이 변경되는 등과 같이 후순위의 제2 테스트트레이와 제1 테스트트레이(TT1)의 순환 순서를 변경할 필요가 있는 경우에는, 도 4의 상태에서 승강기(124a, 124b)가 작동하여 도 6에서와 같이 파지블록(123a, 123b)을 상승시킨다. 도 6의 상태에서는 파지블록(123a, 123b)과 함께 제1 파지홈(GS1, GS1')을 통해 파지된 제1 테스트트레이(TT1)가 상승함으로써, 제1 테스트트레이(TT1)의 일 단은 제2 이탈방지기(126)에 의해 일단이 지지되고, 제2 파지홈(GS2, GS2')은 제2 테스트트레이(TT2)의 진입을 허락할 수 있는 위치에 있게 된다. 도 6의 상태에서 제2 테스트트레이(TT2)가 제2 파지홈(GS2, GS2') 측으로 진입하면, 도 7과 같이 상측에 있는 제1 테스트트레이(TT1)의 하측에 제2 테스트트레이(TT2)가 위치하게 된다. 물론, 도 7의 상태 후에는 도 8에서와 같이 이탈방지부재(125b)가 제2 테스트트레이(TT2)의 일단을 지지하는 상태로 회전된다.
도 8과 같은 상태에서 회전원(122)이 동작하여, 도 9에서와 같이 설치프레임(121)을 수직 상태로 회전시킨다. 그리고 도 10에서와 같이 수직 무브레일(VM)이 제2 테스트트레이(TT2)를 받치면 이탈방지부재(125a)가 제2 테스트트레이(TT2)의 하강을 허락하는 상태로 회전한다. 이어서 수직 무브레일(VM)의 작동에 의해 제2 테스트트레이(TT2)가 하강하여 제2 파지홈(GS2, GS2')으로부터 벗어남으로써 도 11과 같은 상태로 된다. 그리고 도 11과 같은 상태에서 제2 테스트트레이(TT2)는 후방으로 이송된다. 이와 함께 승강기(124a, 124b)가 작동하여 제1 테스트트레이(TT1)를 하강위치로 이동시키고, 수직 무브레일(VM)을 이용해 제1 테스트트레이(TT1)를 하강시킨다. 물론, 실시하기에 따라서는 도 11의 상태에서 설치프레임(121)을 수평 상태로 되돌린 후 승강기(124a, 124b)를 작동시켜 제1 테스트트레이(TT1)를 하강시키고, 다시 설치프레임(121)을 수직 상태로 자세 변환한 다음 제1 테스트트레이(TT1)를 하강시키도록 구현될 수도 있다.
위와 같이 제1 자세변환기(120)의 간단한 구조 변경을 통해 제1 자세변환기(120) 내에서 선순위의 제1 테스트트레이(TT1)를 대기시키고, 후순위의 제2 테스트트레이(TT2)를 먼저 보낸다. 그리고 차후에 양 테스트트레이들(TT1, TT2)의 이동 순서가 다시 변경됨으로써 제1 테스트트레이(TT1)가 먼저 언로딩위치에 도착하고, 제2 테스트트레이(TT2)는 나중에 언로딩위치에 도착하게 된다.
한편, 본 실시예에서는 제1 자세변환장치(120)의 구조 변경을 통해 제1 자세변환장치(120)에서 테스트트레이들(TT1, TT2) 간의 이동 순서를 변경하고 있지만, 실시하기에 따라서는 제2 자세변환장치(170)에서 테스트트트레이들(TT1, TT2) 간의 이동 순서를 변경하는 것도 충분히 고려될 수 있다. 즉, 제1 자세변환장치(120)에서는 테스트트레이들(TT1, TT2)의 이동 순서를 변경함이 없이, 위에서 설명된 제1 자세변환장치(120)와 동일한 구조를 적용한 제2 자세변환장치(170)에서 제1 테스트트레이(TT1)와 제2 테스트트레이(TT1)의 이동 순서를 변경하는 것이다. 이러한 경우에도 제1 테스트트레이(TT1)가 제2 테스트트레이(TT2)보다 먼저 언로딩위치에 도착할 수 있게 된다.
더 나아가 테스트모드에 따라서 테스트트레이(TT)의 순환 방향을 정방향 또는 역방향으로 설정할 수 있는 테스트핸들러의 경우에는, 제1 자세변환장치(120)와 제2 자세변환장치(170)에 모두 본 발명에 따른 도 2의 자세변환장치를 적용할 수도 있고, 어느 일 측에만 도2의 자세변환장치를 적용할 수도 있다. 만일 어느 일 측에만 도 2의 자세변환장치를 적용한 경우에는 테스트트레이(TT)가 정방향 순환을 하는 제1 모드에서는 도 3 내지 도 11에 따른 순서로 테스트트레이(TT)들 간의 순서를 변경하고, 테스트트레이(TT)가 역방향 순환을 하는 제2 모드에서는 도 3 내지 도 11의 역순서로 테스트트레이(TT)들 간의 순서를 변경하도록 구현된다.
그리고 본 실시예에서는 자세변환장치가 2개의 테스트트레이를 함께 파지하는 예를 들었지만, 실시하기에 따라서는 각 파지블록마다 3개 이상의 파지홈을 구비시키고, 승강기를 스텝모터로 적용함으로써 자세변환장치가 3개 이상의 테스트트레이를 함께 파지하는 예도 얼마든지 고려될 수 있다. 이러한 경우에는 함께 파지할 수 있는 테스트트레이의 개수만큼 이탈방지기도 구비되는 것이 바람직할 것이다.
또한, 본 실시예에서는 파지블록이 승강됨으로써 선순위의 제1 테스트트레이를 대기시키도록 구현되고 있지만, 실시하기에 따라서는 파지블록의 승강 없이, 제1 테스트트레이와 후순위의 제2 테스트트레이를 공급하는 측의 공급 위치의 높이 변경을 통해서 제1 테스트트레이와 제2 테스트트레이를 자세변환장치로 공급하고, 수직 무브레일에 의한 하강 위치의 위치 변경을 통해서도 본 발명의 목적은 달성될 수 있다. 물론, 이러한 경우에는 제2 이탈방지기도 테스트트레이를 지지하거나 지지를 해제할 수 있도록 구성되어야 할 것이다.
물론, 본 발명에 따른 제1 자세변환장치에 관한 기술은 2개의 자세변환장치가 적용된 테스트핸들러나 1개의 자세변환장치가 적용된 테스트핸들러에 모두 적용될 수 있다.
더 나아가 본 발명에서 설치프레임(121)이 수직으로 자세변환 된 상태에서 후순위의 테스트트레이를 후단으로 보내고, 설치프레임(121)이 수직인 상태 그대로 자세 변환 과정없이 선순위의 테스트트레이를 하강 위치로 이동시켜서 후단으로 보내는 경우에는 물류의 처리속도를 더 빠르게 할 수 있다. 이러한 경우에는 동일 랏에 대한 물량을 테스트하는 경우에도, 1회에 2장의 테스트트레이를 함께 자세변환시키기 때문에 물류 흐름 속도가 빨라질 수 있다.
위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
100 : 테스트핸들러
110 : 제1 핸드
120 : 제1 자세변환장치
121 : 설치프레임
122 : 회전원
123a : 제1 파지블록 123b : 제2 파지블록
GS1, GS1' : 제1 파지홈 GS2, GS2' : 제2 파지홈
124a, 124b : 승강기
125 : 제1 이탈방지기
126 : 제2 이탈방지기
150 : 연결장치
170 : 제2 자세변환장치
180 : 제2 핸드
TT : 테스트트레이
TT1 : 제1 테스트트레이 TT2 : 제2 테스트트레이

Claims (5)

  1. 수평 상태에서 수직 상태로 회전하거나 수직 상태에서 수평 상태로 회전할 수 있는 설치프레임;
    상기 설치프레임을 수평 상태에서 수직 상태로 회전시키거나 수직 상태에서 수평 상태로 회전시키는 회전원; 및
    상기 설치프레임에 설치되고, 적어도 2장 이상의 테스트트레이를 파지하기 위해 상호 마주보도록 구비되며, 각각 적어도 2개의 파지홈을 가지는 한 쌍의 파지블록; 및
    상기 한 쌍의 파지블록을 승강시킴으로써 상기 테스트트레이를 파지하기 위한 상기 적어도 2개의 파지홈의 위치를 변경시키는 승강기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 자세변환장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 설치프레임이 수평 상태에서 수직 상태로 자세 변환할 시에 상기 적어도 2개의 파지홈 중 적어도 하나의 제1 파지홈 또는 제2 파지홈에 파지된 테스트트레이의 임의적인 이탈을 방지하기 위한 제1 이탈방지기; 및
    상기 한 쌍의 승강기의 작동에 따라 상기 제1 파지홈 및 제2 파지홈의 위치가 변경되고, 상기 설치프레임이 수평 상태에서 수직 상태로 자세 변환할 시에 상기 제1 파지홈에 파지된 테스트트레이의 임의적인 이탈을 방지하기 위한 제2 이탈방지기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 자세변환장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 이탈방지기는 상기 승강기의 작동 상태에 따라 상기 제1 파지홈 또는 제2 파지홈으로 진입하는 테스트트레이의 진입 간섭은 방지되면서 상기 승강기의 작동에 따라 위치가 변경된 상기 제1 파지홈에 파지된 테스트트레이의 이탈은 방지할 수 있는 위치에 구비되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 자세변환장치.
  5. 로딩(Loading)위치, 테스트(Test)위치 및 언로딩(Unloading)위치를 거쳐 다시 로딩위치로 이어지는 일정한 순환 경로를 순환하며, 반도체소자가 안착될 수 있는 테스트트레이;
    상기 테스트트레이가 로딩위치에 있을 때, 상기 테스트트레이로 반도체소자를 로딩시키는 로딩장치;
    상기 로딩장치에 의한 반도체소자의 로딩이 완료된 후 테스트위치로 온 상기 테스트트레이에 있는 반도체소자를 테스터에 전기적으로 연결시키는 연결장치;
    테스트가 완료된 후 테스트위치로부터 언로딩위치로 온 상기 테스트트레이로부터 반도체소자를 언로딩시키는 언로딩장치; 및
    상기 테스트트레이의 순환 경로 상에서 수평 상태의 상기 테스트트레이를 수직 상태로 자세 변환시키거나 수직 상태의 상기 테스트트레이를 수평 상태로 자세 변환시키기 위해 마련되는 적어도 하나의 자세변환장치; 를 포함하고,
    상기 적어도 하나의 자세변환장치 중 하나의 자세변환장치는 제1 항, 제3 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 따른 자세변환장치인 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러.
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