KR20070040296A - 처리 시스템, 처리액 공급 방법 및 처리액 공급 프로그램을기록한 컴퓨터 판독가능한 기록 매체 - Google Patents

처리 시스템, 처리액 공급 방법 및 처리액 공급 프로그램을기록한 컴퓨터 판독가능한 기록 매체 Download PDF

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Abstract

본 발명은 복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 조합조에서 조합함으로써, 소정 농도의 처리액을 생성하고, 이 처리액을 공급조에 저류하며, 이 공급조로부터 처리액 토출구에 처리액을 공급하는 처리 시스템에 있어서, 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하고, 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단한 경우에, 조합조로부터 공급조에 처리액을 보충하거나 혹은 원액 공급원으로부터 원액을 직접 보충하거나 하여, 처리액의 농도를 유지하는 것을 목적으로 한다.

Description

처리 시스템, 처리액 공급 방법 및 처리액 공급 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독가능한 기록 매체{PROCESSING SYSTEM, TREATMENT LIQUID SUPPLY METHOD AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM HAVING TREATMENT LIQUID SUPPLY PROGRAM}
도 1은 본 발명에 따른 처리 시스템의 레이아웃을 도시한 평면도.
도 2는 도 1에 도시한 처리 시스템의 측면도.
도 3은 처리액 공급 장치의 구성을 도시한 블록도.
도 4는 처리액 공급 프로그램의 흐름도.
도 5a는 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 조합조로부터 공급조에 처리액을 추가적으로 보내는 경우에 있어서의, 처리액의 농도 변화를 모식적으로 도시하는 설명도이며, 도 5b는 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 원액 공급원으로부터 공급조에 원액을 직접 보내는 경우에 있어서의 처리액의 농도 변화를 모식적으로 도시한 설명도.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 액 처리 장치 2 : 웨이퍼
3 : 기판 세정 장치 4 : 처리액 공급 장치
5 : 기판 반입출 유닛 6 : 기판 반송 유닛
7 : 기판 교환 유닛 8 : 주 반송 유닛
9, 10, 11, 12 : 기판 세정 유닛 15 : 전장 유닛
16 : 기계 제어 유닛 17 : 필터 팬 유닛
18 : 캐리어 19 : 공급원
20 : 칭량기 21 : 조합조
22 : 공급원 23 : 칭량기
24 : 공급조 25 : 왕로측 연결 파이프
26 : 처리액 토출구 27 : 복로측 연결 파이프
28 : 폐액 파이프 29 : 폐액 파이프
30 : 보충 파이프 31 : 제어 수단
32 : 제어 수단 33 : 기억 수단
34 : 처리액 공급 프로그램 V1∼V13 : 개폐 밸브
P1, P2 : 펌프
S1∼S15 : 레벨 센서
S16 : 농도 센서
H : 히터
본 발명은 처리 시스템, 처리액 공급 방법 및 처리액 공급 프로그램에 관한 것이다.
종래로부터, 반도체 부품이나 플랫 디스플레이나 전자 부품 등의 제조를 행할 때에, 처리 시스템에 의해, 반도체 웨이퍼나 액정 기판이나 디스크형 기억 매체 등의 피처리체에 대하여 세정이나 에칭 등을 행하는 공정이 마련되어 있었다.
이 종래의 처리 시스템은 처리액에 의해 피처리체에 대한 처리를 행하기 위한 기판 처리 장치와, 처리액을 생성하여 기판 처리 장치에 공급하는 처리액 공급 장치를 구비하고 있다. 여기서, 기판 처리 장치는 처리액 토출구로부터 토출된 처리액으로 피처리체를 세정하거나 건조하거나 하는 각종 처리를 피처리체에 실시하도록 되어 있다. 처리 시스템에 있어서, 처리액 공급 장치 및 기판 처리 장치는 일체적으로 또는 별개의 부재로 설치되어 있다.
처리액 공급 장치는 약액이나 순수 등의 원액을 저류(貯留)하는 복수의 원액 공급원과, 칭량기를 통해 각각의 원액 공급원에 접속된 조합조와, 조합조에 접속된 공급조를 갖고 있다. 또한, 처리액 공급 장치의 공급조는 기판 처리 장치의 처리액 토출구에 접속되어 있다(예컨대, 특허 문헌 1 참조).
그리고, 종래의 처리 시스템에서는 처리액 공급 장치에 있어서, 각각의 원액공급원에 저류(貯留)된 각 원액을 칭량기로 칭량하여 조합조에 공급하고, 이 조합조에서 복수의 원액을 조합함으로써 소정 농도의 처리액을 생성하며, 이 처리액을 공급조에 일단 저류해 두고, 필요에 따라 공급조로부터 처리액을 기판 처리 장치의 처리액 토출로에 공급하도록 되어 있다. 그 후, 기판 처리 장치에 있어서, 처리액 토출구로부터 토출한 처리액을 이용하여 피처리체에 대한 처리를 행하고 있다.
여기서, 종래의 처리 시스템에서는 장시간의 처리 동작 등에 의해 공급조에 저류된 처리액의 농도가 저하한 경우에는 그대로 처리액을 사용하여 피처리체에 대한 처리를 행하여도 원하는 처리 효과를 얻을 수 없을 우려가 있다. 이 때문에, 이러한 경우에는 경보에 의해 오페레이터에 통지하는 동시에, 처리 동작을 정지하고, 공급조에 저류된 처리액을 전부 폐기하며, 그 후, 새롭게 조합조에서 조합한 소정 농도의 처리액을 공급조에 다시 보충하도록 하고 있었다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 평성 제9-260330호 공보
그러나, 상기 종래의 처리 시스템에서는 공급조에 저류된 처리액의 농도가 저하한 경우에, 처리 동작을 정지하는 동시에, 공급조에 저류된 상기 처리액을 전부 폐기하고, 새롭게 조합조에서 조합한 소정 농도의 처리액을 공급조에 다시 보충하도록 하고 있었기 때문에, 처리액의 농도 저하시마다, 처리액이 조합되어 공급조에 보충될 때까지의 사이 처리 동작을 중단해야하고, 피처리체에 대한 처리에 필요한 전체의 시간이 길어지며, 처리 시스템의 스루풋의 저하를 초래할 우려가 있었다.
또한, 종래의 처리 시스템에서는 농도가 저하한 처리액을 전부 폐기하였기 때문에, 처리액의 무익함이 증대하고, 약액이나 순수 등의 원액의 소비량이 증대하여, 처리에 필요한 운전 비용의 증대를 초래할 우려가 있었다.
본 발명은 이러한 점을 고려하여 이루어진 것이며, 처리액에 농도 변화가 생겨도 처리 동작이 중단되는 경우가 없고, 처리 공정의 스루풋을 향상시킬 수 있으며, 또한, 처리액을 폐기하는 횟수를 저감시킬 수 있고, 이 때문에 운전 비용을 저 감할 수 있는 처리 시스템 및 처리액 공급 방법 및 처리액 공급 프로그램을 제공하는 것을 목적으로 한다.
제1 발명은 복수의 원액 공급원과, 상기 각 원액 공급원으로부터 각각 원액이 공급되고, 이들의 원액을 조합하여 소정 농도의 처리액을 생성하는 조합조와, 상기 조합조에 접속되고, 상기 조합조로부터 보내진 처리액을 저류하는 공급조와, 상기 조합조와 상기 공급조 사이에 설치되며, 상기 조합조로부터 상기 공급조에의 처리액의 흐름을 조정하는 처리액 공급 조정 밸브와, 상기 공급조로부터 처리액이 공급되고, 피처리체에 대하여 이 처리액의 토출을 행하는 처리액 토출구와, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 판단 수단과, 상기 판단 수단에 의해 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액을 추가적으로 보내도록 상기 처리액 공급 조정 밸브의 제어를 행하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 처리 시스템이다.
이러한 처리 시스템에 있어서는 상기 공급조 내의 처리액의 농도를 계측하는 농도 센서를 더 구비하고, 상기 판단 수단은 상기 농도 센서에 의해 계측된 처리액의 농도에 기초하여 이 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부의 판단을 행하는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리 시스템에 있어서는 상기 판단 수단은 상기 처리액 공급 조정 밸브가 상기 조합조로부터 상기 공급조에의 처리액의 흐름을 정지시킨 시점으 로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단하는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리 시스템에 있어서는, 상기 공급조는 상기 공급조에 저류되는 처리액의 액면 레벨이 소정 레벨에 도달하였을 때에 이것을 검출하는 레벨 센서를 갖고, 상기 판단 수단에 의해 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 공급조 내의 처리액을 소정량만큼 배출하는 동시에, 상기 제어 수단이 처리액의 액면 레벨이 소정 레벨에 도달한 것이 상기 레벨 센서에 의해 검출될 때까지 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액을 보내도록 상기 처리액 공급 조정 밸브의 제어를 행하도록 되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리 시스템에 있어서는, 상기 원액 공급원과 상기 공급조를 접속하는 원액 공급 라인과, 상기 원액 공급 라인에 설치되고, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에의 원액의 흐름을 조정하는 원액 공급 조정 밸브를 더 구비하며, 상기 제어 수단은 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액이 추가적으로 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 직접 보내도록 상기 원액 공급 조정 밸브의 제어를 행하도록 되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리 시스템에 있어서는, 상기 조합조에 있어서 처리액의 생성이 행해진 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내도록 되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리 시스템에 있어서는, 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액이 추가적으로 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내도록 되어 있는 것이 바람직하다.
제2 발명은 복수의 원액 공급원과, 상기 각 원액 공급원으로부터 각각 원액이 공급되고, 이들의 원액을 조합하여 소정 농도의 처리액을 생성하는 조합조와, 상기 조합조에 접속되며, 상기 조합조로부터 보내진 처리액을 저류하는 동시에, 원액 공급 라인을 통해 상기 원액 공급원에도 접속되는 공급조와, 상기 원액 공급 라인에 설치되고, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에의 원액의 흐름을 조정하는 원액 공급 조절 밸브와, 상기 공급조로부터 처리액이 공급되고, 피처리체에 대하여 이 처리액의 토출을 행하는 처리액 토출구와, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 판단 수단과, 상기 판단 수단에 의해 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 직접 보내도록 상기 원액 공급 조정 밸브의 제어를 행하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 처리 시스템이다.
이러한 처리 시스템에 있어서는 상기 공급조 내의 처리액의 농도를 계측하는 농도 센서를 더 구비하고, 상기 판단 수단은 상기 농도 센서에 의해 계측된 처리액의 농도에 기초하여 이 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부의 판단을 행하는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리 시스템에 있어서는 상기 조합조와 상기 공급조 사이에 설 치되고, 상기 조합조로부터 상기 공급조에의 처리액의 흐름을 조정하는 처리액 공급 조정 밸브를 더 구비하며, 상기 판단 수단은 상기 처리액 공급 조정 밸브가 상기 조합조로부터 상기 공급조에의 처리액의 흐름을 정지시킨 시점으로부터의 경과시간, 또는 상기 원액 공급 조정 밸브가 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에의 원액의 흐름을 정지시킨 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단하는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리 시스템에 있어서는 상기 공급조는 상기 공급조에 저류되는 처리액의 액면 레벨이 소정 레벨에 도달하였을 때에 이것을 검출하는 레벨 센서를 갖고, 상기 판단 수단에 의해 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 공급조 내의 처리액을 소정량만큼 배출하는 동시에, 상기 제어 수단이 처리액의 액면 레벨이 소정 레벨에 도달한 것이 상기 레벨 센서에 의해 검출될 때까지 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 보내도록 상기 원액 공급 조정 밸브의 제어를 행하도록 되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리 시스템에 있어서는, 상기 판단 수단에 의해 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 공급조 내의 처리액을 소정량만큼 배출하는 동시에, 상기 제어 수단이 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 보내도록 상기 원액 공급 조정 밸브의 제어를 행하도록 되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리 시스템에 있어서는 상기 조합조에 있어서 처리액의 생성 이 행해진 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내도록 되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리 시스템에 있어서는 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액이 직접 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내도록 되어 있는 것이 바람직하다.
제3 발명은 조합조에 있어서 복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 조합하여 소정 농도의 처리액을 생성하는 단계와, 상기 조합조로부터 처리액을 공급조에 공급하여 이 공급조에 처리액을 저류시키는 단계와, 상기 공급조로부터 처리액을 처리액 토출구에 공급하고, 상기 처리액 토출구에 있어서 피처리체에 대하여 처리액의 토출을 행하는 단계와, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 단계와, 상기 공급조 내의 처래액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액을 추가적으로 보내는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법이다.
이러한 처리액 공급 방법에 있어서는, 상기 공급조 내의 처리액의 농도를 계측하는 농도 센서를 준비하는 단계를 더 구비하고, 상기 농도 센서에 의해 계측된 처리액의 농도에 기초하여 이 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부의 판단을 행하는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리액 공급 방법에 있어서는 상기 조합조로부터 상기 공급조 에의 처리액의 흐름을 정지시킨 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리액 공급 방법에 있어서는 상기 공급조 내의 처리액에 농도변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 공급조 내의 처리액을 소정량만큼 배출하는 동시에, 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액을 추가적으로 보내는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리액 공급 방법에 있어서는 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액이 추가적으로 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 직접 보내는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리액 공급 방법에 있어서는 상기 조합조에 있어서 처리액의 생성이 행해진 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리액 공급 방법에 있어서는, 상기 조합조로부터 상기 공급 조에 처리액이 추가적으로 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내는 것이 바람직하다.
제4 발명은 조합조에 있어서 복수의 원액 공급원으로부터 각각 공급되는 원액을 조합하여 소정 농도의 처리액을 생성하는 단계와, 상기 조합조로부터 처리액 을 공급조에 공급하여 이 공급조에 처리액을 저류시키는 단계와, 상기 공급조로부터 처리액을 처리액 토출구에 공급하고, 상기 처리액 토출구에 있어서 피처리체에 대하여 처리액의 토출을 행하는 단계와, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 단계와, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 직접 보내는 단계를 구비한 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법이다.
이러한 처리액 공급 방법에 있어서는 상기 공급조 내의 처리액의 농도를 계측하는 농도 센서를 준비하는 단계를 더 구비하고, 상기 농도 센서에 의해 계측된 처리액의 농도에 기초하여 이 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부의 판단을 행하는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리액 공급 방법에 있어서는 상기 조합조로부터 상기 공급조에의 처리액의 흐름을 정지시킨 시점으로부터의 경과 시간, 또는 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에의 원액의 흐름을 정지시킨 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리액 공급 방법에 있어서는 상기 공급조 내의 처리액에 농도변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 공급조 내의 처리액을 소정량만큼 배출하는 동시에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 직접 보내는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리액 공급 방법에 있어서는 상기 조합조에 있어서 처리액의 생성이 행해진 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 처리액 공급 방법에 있어서는, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액이 직접 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내는 것이 바람직하다.
제5 발명은 복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 조합조에서 조합함으로써 소정 농도의 처리액을 생성하고, 이 처리액을 공급조에 저류하며, 상기 공급조로부터 처리액 토출구에 처리액을 공급하는 처리 유닛에, 처리액의 공급 동작을 실행시키는 컴퓨터 상에서 동작하고, 처리 유닛을 제어하기 위한 처리액 공급 프로그램이 기억된 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체로서, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 단계와, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액을 추가적으로 보내는 단계가 행해지도록 컴퓨터에 처리 유닛을 제어시키는 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체.
제6 발명은 복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 조합조에서 조합함으로써 소정 농도의 처리액을 생성하고, 이 처리액을 공급조에 저류하며, 상기 공급조로부터 처리액 토출로에 처리액을 공급하는 처리 유닛에, 처리액의 공급 동작을 실행시키는 컴퓨터 상에서 동작하고, 처리 유닛을 제어하기 위한 처리액 공급 프로그램이 기억된 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체로서, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 단계와, 상기 조합조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 처리액을 직접 보내는 단계가 행해지도록 컴퓨터에 처리 유닛을 제어시키는 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체.
그리고, 본 발명에서는 이하에 기재하는 효과를 발휘한다.
즉, 본 발명에서는 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단된 경우에, 조합조로부터 공급조에 처리액을 보충하는 것으로 하고 있기 때문에, 처리액에 농도 변화가 생겨도 처리 동작이 중단되는 경우가 없어지며, 처리 공정의 스루풋을 향상시킬 수 있다. 또한, 처리액에 농도 변화가 생겨도 처리액의 보충에 의해 처리액의 농도를 소정의 농도 범위로 계속해서 유지할 수 있기 때문에, 처리액을 폐기하는 횟수를 저감시킬 수 있고, 처리 시스템의 운전 비용을 저감할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 원액 공급원을 공급조에 직접 접속하고, 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단된 경우에, 원액 공급액으로부터 공급조에 원액을 직접 보충하는 것으로 하고 있기 때문에, 처리액에 농도 변화가 생겨도 처리 동작이 중단되는 경우가 없어지며, 처리 공정의 스루풋을 향상시킬 수 있다. 또한, 처리액에 농도 변화가 생겨도 원액의 보충에 의해 처리액의 농도를 소정의 농도 범위에 장시간에 걸쳐 계속해서 유지할 수 있기 때문에, 처리 시스템의 운전 비용을 저감할 수 있다.
특히, 공급조 내의 처리액의 농도 변화를 처리액의 농도를 계측하는 농도 센 서의 검출값에 기초하여 판단하는 것으로 하고 있기 때문에, 처리액의 농도 변화를 정확히 판단할 수 있다.
혹은 공급조 내의 처리액의 농도 변화를 조합조로부터 공급조에 처리액을 저류 혹은 보충한 후의 경과 시간, 또는 원액 공급원으로부터 공급조에 원액을 직접 보충한 후의 경과 시간에 기초하여 판단하는 것으로 하고 있기 때문에, 처리액의 농도 변화를 농도 센서를 이용하지 않고 간편하게 판단할 수 있다.
또한, 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단된 경우에, 공급조 내의 처리액을 소정량만큼 배출하고, 그 후, 공급조에 처리액 또는 원액을 보충하는 것으로 하고 있기 때문에, 처리액 또는 원액의 보충에 의한 처리액의 농도 개선의 정도를 크게 할 수 있다.
또한, 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단된 경우에는 조합조로부터 공급조에 처리액을 보충하고, 게다가, 이 공급조에의 처리액의 보충을 소정 횟수 이상 행한 경우에는, 원액 공급원으로부터 공급조에 원액을 직접 보충하는 것으로 하고 있기 때문에, 조합조로부터 공급조에의 처리액의 보충을 반복함으로써 처리액의 농도 개선의 정도가 작아져도 원액의 직접적인 보충에 의해 처리액 농도 개선의 정도를 크게 할 수 있고, 처리액의 농도를 소정의 농도 범위에 장시간에 걸쳐 계속해서 유지할 수 있다.
또한, 조합조에서 처리액을 생성한 후에 소정 시간이 경과한 경우나, 공급조에의 보충을 소정 횟수 이상 행한 경우에, 조합조 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 새롭게 조합조에서 처리액을 생성하여 공급조에 이 새로운 처리액을 저류시키 도록 하고 있기 때문에, 처리액의 농도를 소정의 농도 범위에 장시간에 걸쳐 계속해서 유지할 수 있다.
이하에, 본 발명에 따른 처리 시스템, 이 처리 시스템에 이용되는 처리액 공급 방법 및 이 처리 시스템에 대하여 처리액 공급 동작을 실행시키기 위한 처리액 공급 프로그램의 구체적인 구성에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 처리 시스템(1)은 피처리체로서의 웨이퍼(2)에 대하여 세정이나 건조 등의 각종 처리를 실시하기 위한 기판 세정 장치(3)와, 이 기판 세정 장치(3)에 소정 농도의 처리액(세정액)을 공급하기 위한 처리액 공급 장치(4)를 구비하고 있다. 또한, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같은 처리 시스템(1)에서는 기판 세정 장치(3)와 처리액 공급 장치(4)를 별개의 부재로 구성하고 있지만, 이들의 기판 세정 장치(3)와 처리액 공급 장치(4)를 일체적으로 구성할 수도 있다.
우선, 기판 세정 장치(3)의 구성에 대해서 설명하면, 기판 세정 장치(3)는 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이, 웨이퍼(2)를 반입 및 반출하기 위한 기판 반출 유닛(5)과, 이 기판 반출 유닛(5)의 후방부에 배치된 웨이퍼(2)를 1장씩 반송하기 위한 기판 반송 유닛(6)을 구비하고 있다. 또한, 이 기판 반송 유닛(6)의 후방부에 웨이퍼(2)의 교환을 행하기 위한 기판 교환 유닛(7)을 배치하고, 이 기판 교환 유닛(7)의 후방부에 웨이퍼(2)를 기판 세정 장치(3)의 내부에서 반송하기 위한 주반송 유닛(8)을 배치하고 있다. 이 주반송 유닛(8)의 한쪽 측부에는 웨이퍼(2)의 처리를 행하기 위한 기판 세정 유닛(9, 10, 11, 12)을 상하 및 전후에 2개씩 병 행하여 배치하는 동시에(도 2 참조), 상기 주반송 유닛(8)의 다른 쪽 측부에 전장 유닛(15)과 기계 제어 유닛(16)을 병행하여 배치하고 있다. 그리고, 이들 각 유닛(7∼16)의 상부에는 필터 팬 유닛(17)이 배치되어 있다.
기판 세정 장치(3)에 있어서, 예컨대, 기판 반입출 유닛(5)에 적재된 복수개의 웨이퍼(2)를 적재한 캐리어(18)로부터 웨이퍼(2)를 한 장씩 기판 반송 유닛(6)에서 취출하여 기판 교환 유닛(7)에 반송한다. 그 후, 주반송 유닛(8)에 의해 기판 교환 유닛(7)으로부터 웨이퍼(2)를 각 기판 세정 유닛(9, 10, 11, 12)에 반송하고, 이 기판 세정 유닛(9, 10, 11, 12)에서 웨이퍼(2)에 대한 세정 및 건조를 행한다. 그 후, 주반송 유닛(8)에 의해 웨이퍼(2)를 기판 교환 유닛(7)에 반송하고, 기판 반송 유닛(6)에 의해 웨이퍼(2)를 기판 교환 유닛(7)으로부터 기판 반출 유닛(5)의 캐리어(18)에 반출하도록 하고 있다.
다음에, 처리액 공급 장치(4)의 구성에 대해서 설명한다. 처리액 공급 장치(4)에 있어서, 도 3에 도시하는 바와 같이, 순수를 공급하는 순수 공급원(19)에 개폐 밸브(V1)를 통해 칭량기(20)가 연통 연결되어 있다. 이 칭량기(20)에 개폐 밸브(V2)를 통해 조합조(21)가 연통 연결되어 있다. 또한, 소정 농도의 약액을 공급하는 약액 공급원(22)에 개폐 밸브(V3)를 통해 칭량기(23)가 연통 연결되어 있다. 이 칭량기(23)에 개폐 밸브(V4)를 통해 전술한 조합조(21)가 연통 연결되어 있다. 또한, 각 공급원(19, 22)으로부터 공급되는 액체(원액)의 조합은 약액과 순수의 조합에 한정되지 않고, 복수 종류의 약액의 조합이라도 좋다. 또한, 각 공급원(19, 22)은 순수나 소정 농도의 약액을 공급하는 것이면 좋고, 처리 시스템(1) 케이스의 외부에 배치된 탱크라도 좋으며, 또한, 처리 시스템(1) 케이스의 내부에 배치된 저류조라도 좋다.
각 칭량기(20, 23)의 내부에는 액면을 검출하기 위한 레벨 센서(S1∼S8)가 부착되어 있다. 이들의 레벨 센서(S1∼S8) 중 가장 하측에 부착된 레벨 센서(S1, S5)는 각 칭량기(20, 23)에 있어서의 하한 수면을 검출하는 것이고, 가장 상측에 부착된 레벨 센서(S4, S8)는 각 칭량기(20, 23)에 있어서의 상한 수면을 검출하는 것이다. 또한, 이들의 레벨 센서(S1, S4, S5, S8) 사이에 부착된 레벨 센서(S2, S3, S6, S7)는 각각 소정량의 순수나 약액을 칭량하기 위해 사용되는 것이다.
또한, 각 칭량기(20, 23)에는 폐액용 개폐 밸브(V5, V6)가 접속되어 있다.
여기서, 개폐 밸브(V5, V6)를 폐색한 상태에서 개폐 밸브(V1, V3)를 개방함으로써, 각 칭량기(20, 23)에 대하여 각 공급원(19, 22)으로부터 순수 또는 약액이 공급된다. 그 후, 레벨 센서(S3, S7)(S2, S6)에 의한 검출이 ON 상태가 된 후에 개폐 밸브(V5, V6)를 개방하는 동시에 개폐 밸브(V1, V3)를 폐색하고, 그 후, 레벨 센서(S3, S7)(S2, S6)에 의한 검출이 OFF 상태가 된 시점에서 개폐 밸브(V5, V6)를 폐색한다. 이와 같이 하여, 각 칭량기(20, 23)에서의 칭량을 행하고 있다. 또한, 칭량하는 수량에 따라 상기한 칭량 공정과 조합조(21)에의 공급 공정을 반복하여 행하여도 좋다. 또한, 각 칭량기(20, 23)에 대해서 레벨 센서(S3, S7)(S2, S6)에 의한 검출이 ON 상태가 된 후에 소정 시간이 경과하여도 레벨 센서(S3, S7)(S2, S6)에 의한 검출이 OFF 상태가 되지 않는 경우에는, 이들의 칭량기(20, 23)가 이상이 있다고 판단되도록 되어 있다.
또한, 조합조(21)의 내부에는 액면을 검출하기 위한 레벨 센서(S9, S10, S11)가 부착되어 있다. 이들의 레벨 센서(S9, S10, S11) 중 가장 하측에 부착된 레벨 센서(S9)는 조합조(21)에 있어서의 하한 수면을 검출하는 것이고, 가장 상측에 부착된 레벨 센서(S11)는 조합조(21)에 있어서의 상한 수면을 검출하는 것이며, 또한, 이들의 레벨 센서(S9, S11)의 사이에 부착된 레벨 센서(S10)는 순수를 칭량하기 위해 사용되는 것이다.
이와 같이, 처리액 공급 장치(4)에 있어서, 개폐 밸브(V2)를 개방함으로써 칭량기(20)에 의해 칭량된 소정량의 순수를 조합조(21)에 공급하고, 또한, 개폐 밸브(V4)를 개방함으로써 칭량기(23)로 칭량된 소정량의 약액을 조합조(21)에 공급하도록 되어 있다. 또한, 순수의 공급은 칭량기(20)로 칭량하지 않고, 조합조(21)의 레벨 센서(S10)에 의한 검출이 ON 상태가 될 때까지 개폐 밸브(V2)를 개방함으로써 소정량의 순수를 공급하도록 하여도 좋다.
또한, 처리액 공급 장치(4)에 있어서, 조합조(21)에 펌프(P1)가 연통 연결되어 있으며, 개폐 밸브(V7)를 통해 이 펌프(P1)에 조합조(21)가 다시 연통 연결되어 순환 라인이 형성되어 있다. 또한, 펌프(P1)에 개폐 밸브(V8)를 통해 공급조(24)가 접속되어 있다.
공급조(24)의 내부에는 액면을 검출하기 위한 레벨 센서(S12∼S15)가 부착되어 있다. 이들의 레벨 센서(S12∼S15) 중 가장 하측에 부착된 레벨 센서(S12)는 공급조(24)에 있어서의 하한 수면을 검출하는 것이고, 가장 상측에 부착된 레벨 센서(S15)는 공급조(24)에 있어서의 상한 수면을 검출하는 것이다. 또한, 이들의 레 벨 센서(S12, S15) 사이에 부착된 레벨 센서(제1 레벨 센서)(S13)는 공급조(24)에 항상 저류되는 처리액의 액면을 검출하는 것이며, 이 레벨 센서(S13)보다도 상측에 부착된 레벨 센서(S14)(제2 레벨 센서)는 공급조(24)에 뒤에서 보충되는 처리액의 액면을 검출하는 것이다.
여기서, 처리액 공급 장치(4)에 있어서, 개폐 밸브(V7)를 개방하는 동시에 개폐 밸브(V8)를 폐색한 상태에서 펌프(T1)를 구동함으로써, 조합조(21)에 공급된 약액과 순수을 순환 혼합하여 처리액을 생성하고 있다. 한편, 개폐 밸브(V7)를 폐색하는 동시에 개폐 밸브(V8)를 개방한 상태에서 펌프(P1)를 구동함으로써, 조합조(21)에서 생성된 처리액을 공급조(24)에 공급하도록 하고 있다.
또한, 처리액 공급 장치(4)에 있어서, 공급조(24)에 펌프(P2)를 연통 연결하는 동시에, 처리액의 농도를 계측하는 농도 센서(S16)를 이 펌프(P2)에 연통 연결하고 있다. 또한, 히터(H)를 통해 이 농도 센서(S16)에 왕로측 연결 파이프(25)의 시단부가 연통 연결되어 있다. 이 왕로측 연결 파이프(25)의 종단부에는 개폐 밸브(V9)를 통해 기판 세정 장치(3)의 각 기판 세정 유닛(9, 10, 11, 12)에 설치된 각 처리액 토출구(세정 노즐)(26)가 접속되어 있다. 또한, 왕로측 연결 파이프(25)는 기판 세정 장치(3)의 내부에 있어서 중도부에서 분기하고, 분기 부분에 복로측 연결 파이프(27)의 시단부가 연통 연결되어 있다. 이 복로측 연결 파이프(27)의 종단부에는 개폐 밸브(V10)를 통해 공급조(24)가 연통 연결되어 있다. 이것에 의해, 처리액 공급 장치(4)에 있어서, 개폐 밸브(V9)를 개방하는 동시에 개폐 밸브(V10)를 폐색한 상태로 펌프(P2)를 구동시킴으로써, 공급조(24)에 저류된 처리액을 처리액 토출구(26)로부터 토출시킨다. 한편, 개폐 밸브(V9)를 폐색하는 동시에 개폐 밸브(V10)를 개방한 상태로 펌프(P2)를 구동시킴으로써, 공급조(24)에 저류된 처리액을 순환시키는 동시에 히터(H)에 의해 처리액을 적온으로 유지하도록 하고 있다.
또한, 처리액 공급 장치(4)에 있어서, 개폐 밸브(V11)를 통해 조합조(21)에 폐액 밸브(28)를 연통 연결시키는 동시에, 개폐 밸브(V12)를 통해 공급조(24)에 폐액 파이프(29)를 연통 연결시키고 있다. 이것에 의해, 처리액 공급 장치(4)에 있어서, 개폐 밸브(V11)를 개방함으로써, 조합조(21)에 저류된 처리액을 폐액 파이프(28)로부터 외부에 폐기할 수 있다. 또한, 개폐 밸브(V12)를 개방함으로써, 공급조(24)에 저류된 처리액을 폐액 파이프(29)로부터 외부에 폐기할 수 있다.
또한, 처리액 공급 장치(4)에 있어서, 약액 공급원(22)에 연통 연결된 칭량기(23)에, 보충 파이프(30)의 시단부를 연통 연결시키는 동시에, 개폐 밸브(V13)를 통해 이 보충 파이프(30)의 종단부를 공급조(24)에 연통 연결시키고 있으며, 이와 같이 하여 약액 공급원(22)과 공급조(24)를 보충 파이프(30)에 의해 직접적으로 연통 연결시키고 있다. 이것에 의해, 처리액 공급 장치(4)에 있어서, 개폐 밸브(V13)를 개방함으로써, 조합조(21)를 통하지 않고, 약액 공급원(22)에 저류된 약액을 보충 파이프(30)로부터 공급조(24)에 직접 보충할 수 있도록 하고 있다. 또한, 약액 공급원(22)에만 한정되지 않고 순수 공급원(19)도 공급조(24)에 직접적으로 접속하여도 좋다.
또한, 처리액 공급 장치(4)는 제어 수단(31)을 내장하고 있으며, 이 제어 수 단(31)에는 개폐 밸브(V1∼V13), 펌프(P1, P2), 레벨 센서(S1∼S15), 농도 센서(S16), 히터(H)가 각각 전기적으로 접속되어 있다. 이것에 의해, 처리액 공급 장치(4)는 제어 수단(31)에 의해 처리액 공급 장치(4)는 제어 수단(31)에 의해 개폐 밸브(V1∼V3), 펌프(P1, P2), 레벨 센서(S1∼S15), 농도 센서(S16), 히터(H)를 구동 제어할 수 있도록 되어 있다. 이 제어 수단(31)은 기판 세정 장치(3)에 내장된 제어 수단(32)과 상호 통신 가능하게 접속되어 있다. 또한, 제어 수단(31)은 상기한 바와 같이 기판 세정 장치(3)에 내장된 제어 수단(32)과는 별개의 부재로서 형성하여도 좋고, 또한, 일체적으로 형성하여도 좋다.
그리고, 처리액 공급 장치(4)에 있어서, 예컨대 프로그램 기억 매체로 이루어지는 기억 수단(33)이 제어 수단(31)에 접속되어 있으며, 이 기억 수단(33)의 프로그램 기억 매체에, 처리액의 공급 동작을 실행하기 위한 처리액 공급 프로그램(34)이 저장되어 있다. 처리액 공급 장치(4)는 이 처리액 공급 프로그램(34)에 따라 기판 세정 장치(3)에 처리액을 공급하고, 기판 세정 장치(3)의 처리액 토출구(26)로부터 처리액을 토출시키도록 되어 있다. 여기서, 프로그램 기억 매체에서는 처리액 공급 장치(4)에 내장되는 것 혹은 처리액 공급 장치(4)에 설치된 판독 장치에 착탈 가능하게 장착되어 이 판독 장치에 있어서 판독 가능한 것이 이용된다. 가장 전형적인 예에 있어서는 프로그램 기억 매체는 처리 시스템(1) 메이커의 서비스맨에 의해 처리액 공급 프로그램(34)이 인스톨된 하드디스크 드라이브이다. 다른 예에 있어서는 프로그램 기억 매체는 처리액 공급 프로그램(34)이 기록된 CD-ROM 또는 DVD-RQM과 같은 리무버블 디스크이며, 이와 같은 리무버블 디스크는 처리 액 공급 장치(4)에 설치된 광학적 판독 장치에 의해 판독된다. 프로그램 기억 매체는 RAM(random access memory) 또는 ROM(read only memory) 중 어느 하나의 형식이어도 좋고, 또한 프로그램 기억 매체는 카세트식의 ROM과 같은 것이어도 좋다. 요컨대, 컴퓨터의 기술 분야에서 알려져 있는 임의의 것을 프로그램 기억 매체로서 이용하는 것이 가능하다.
처리액 공급 프로그램(34)은 도 4에 도시하는 흐름도에 따라 상기 구성의 처리 시스템(1)의 처리액 공급 장치(4)에 대하여 처리액의 공급 동작을 실행시키고 있다.
즉, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 우선, 각종 초기 설정을 행한 후에, 순수 공급원(19)으로부터 조합조(21)에 순수를 공급한다(순수 공급 단계 S1).
구체적으로는, 제어 수단(31)이 개폐 밸브(V2, V5)를 폐색 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V1)를 개방 상태로 하여, 순수 공급원(19)으로부터 순수를 칭량기(20)에 공급한다. 그 후, 레벨 센서(S3)에 의한 검출이 ON 상태가 된 후에 개폐 밸브(V5)를 개방 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V1)를 폐색 상태로 한다. 그 후, 레벨 센서(S3)에 의한 검출이 OFF 상태가 된 시점에서 개폐 밸브(V5)를 폐색하여, 칭량기(20)에 소정량의 순수를 저류한다. 그 후, 개폐 밸브(V2)를 개방 상태로 한다. 이것에 의해, 칭량기(20)로 칭량된 소정량의 순수가 순수 공급원(19)으로부터 조합조(21)에 공급된다. 그 후, 제어 수단(31)은 개폐 밸브(V2)를 폐색 상태로 복귀한다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 약액 공급원(22)으로부터 조합 조(21)에 약액을 공급한다(약액 공급 단계 S2).
구체적으로는 제어 수단(31)이 개폐 밸브(V4, V6)를 폐색 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V3)를 개방 상태로 하여, 약액 공급원(22)으로부터 약액을 칭량기(23)에 공급한다. 그 후, 레벨 센서(S7)에 의한 검출이 ON 상태가 된 후에 개폐 밸브(6)를 개방 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V3)를 폐색 상태로 한다. 그 후, 레벨 센서(S7)에 의한 검출이 OFF 상태가 된 시점에서 개폐 밸브(V6)를 폐색하여, 칭량기(23)에 소정량의 약액을 저류한다. 그 후, 개폐 밸브(V4)를 개방 상태로 한다. 이것에 의해, 칭량기(23)로 칭량된 소정량의 약액이 약액 공급원(22)으로부터 조합조(21)에 공급된다. 그 후, 제어 수단(31)은 개폐 밸브(V4)를 폐색 상태로 복귀한다.
또한, 상기 순수 공급 단계 S1과 약액 공급 단계 S2는 약액의 종류에 따라 실행하는 순서를 역으로 하여도 좋다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 조합조(21)에서 약액과 순수를 혼합하여 처리액을 생성한다(처리액 생성 단계 S3).
구체적으로는, 제어 수단(31)이 개폐 펄프(V7)를 개방 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V8)를 폐색 상태로 하여 펌프(P1)를 구동한다. 이것에 의해, 조합조(21)에 공급된 약액 및 순수가 펌프(P1)와 개폐 밸브(V7)를 통해 순환 혼합되고, 소정 농도의 처리액이 생성된다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 조합조(21)에서 조합한 처리액을 공급조(24)에 조류한다(처리액 저류 단계 S4).
구체적으로는 제어 수단(31)이 개폐 밸브(V7)를 폐색 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V8)를 개방 상태로 하여 펌프(P1)를 구동한다. 그 후, 레벨 센서(S13)에 의한 검출이 ON 상태가 된 시점에서 개폐 밸브(8)를 폐색 상태로 한다. 이것에 의해 조합조(21)에서 생성된 처리액이 공급조(24)에 공급된다. 그 후, 제어 수단(31)은 개폐 펄프(V7)를 개방 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V8)를 폐색 상태로 하여 펌프(P1)를 구동하고, 조합조(21)에 저류된 처리액을 순환 혼합해 둔다. 또한, 항상 처리액을 순환 혼합해 두어도 좋으며, 또한, 정기적으로 처리액을 순환 혼합하도록 하여도 좋다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 기판 세정 장치(3)의 처리액 토출구(26)로부터 처리액을 토출할 필요가 있는지 여부를 판단한다(처리액 토출 판단 단계 S5).
구체적으로는, 제어 수단(31)이 제어 수단(32)으로부터 처리액의 토출을 지시하는 신호를 수신한 경우에는 처리액 토출구(26)로부터 처리액을 토출할 필요가 있다고 판단한다. 한편, 제어 수단(31)이 제어 수단(32)으로부터 처리액의 토출을 지시하는 신호를 수신하지 않는 경우에는, 처리액 토출구(26)로부터 처리액을 토출할 필요가 없다고 판단한다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 상기 처리액 토출 판단 단계(S5)에서 처리액을 토출할 필요가 있다고 판단된 경우에는, 공급조(24)로부터 처리액 토출구(26)에 처리액을 공급하고, 처리액 토출구(26)로부터 처리액을 토출하고(처리액 공급 단계 S6), 그 후, 다음 단계 S7로 향한다. 한편, 상기 처리액 토출 판단 단계 S5에서 처리액을 토출할 필요가 없다고 판단된 경우에는, 처리액 공급 단계 S 6을 실행하지 않고 다음 단계 S7로 향한다.
구체적으로는 제어 수단(31)이 개폐 밸브(V9)를 개방 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V10)를 폐색 상태로 하여 펌프(P2)를 구동한다. 이것에 의해, 공급조(24)에 저류된 처리액이 처리액 토출구(26)에 공급되고, 처리액 토출구(26)로부터 웨이퍼(2)를 향해 처리액이 토출된다. 그 후, 제어 수단(31)은 개폐 밸브(V7)를 폐색 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V8)를 개방 상태로 하여 펌프(P1)를 구동하고, 그 후, 레벨 센서(S13)에 의한 검출이 ON 상태가 된 시점에서 개폐 밸브(V8)를 폐색 상태로 한다. 그 후, 개폐 밸브(V9)를 폐색 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V10)를 개방 상태로 하여 펌프(P2)를 구동하고, 공급조(24)에 저류된 처리액을 순환시켜 두며, 히터(H)에 의해 처리액을 적온으로 유지해 둔다. 또한, 항상 처리액을 순환시켜도 좋고, 또한, 정기적으로 처리액을 순환하도록 하여도 좋다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 공급조(24)에 저류된 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단한다(농도 변화 판단 단계 S7).
구체적으로는, 제어 수단(31)이 농도 센서(S16)의 검출값에 기초하여 공급조(24)에 저류된 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단한다. 즉, 제어 수단(31)은 농도 센서(S16)의 검출값이 미리 설정한 농도 범위 내인 경우에는 처리액에 농도 변화가 생기지 않았다고 판단하고, 한편, 농도 센서(S16)의 검출값이 미리 설정한 농도 범위 밖인 경우에는 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단한다. 또한, 처리액의 농도 변화는 약액의 종류에 의해 농도가 상승하는 경우도 농도가 하강하 는 경우도 있다.
이와 같이, 농도 변화 판단 단계 S7에서는 농도 센서(S16)의 검출값에 기초하여 공급조(24)에 저류된 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하고 있기 때문에, 처리액의 농도 변화를 정확히 판단할 수 있다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 상기 농도 변화 판단 단계 S7에서 공급조(24)에 저류된 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단된 경우에는 공급조(24)에 저류된 처리액의 농도를 개선하고(처리액 농도 개선 단계 S8), 그 후, 다음 단계 S9로 향한다. 한편, 상기 농도 변화 판단 단계 S7에서 공급조(24)에 저류된 처리액에 농도 변화가 생기지 않았다고 판단된 경우에는 처리액 농도 개선단계 S8을 실행하지 않고 상기 처리액 토출 판단 단계 S5로 복귀한다.
처리액 농도 개선 단계 S8에서는 조합조(21)로부터 공급조(24)에 처리액을 보충한다(처리액 보충 단계).
구체적으로는, 제어 수단(31)이 개폐 밸브(V7)를 폐색 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V8)를 개방 상태로 하여 펌프(P1)를 구동한다. 그 후, 레벨 센서(S14)에 의한 검출이 ON 상태가 된 시점에서 개폐 밸브(V8)를 폐색 상태로 한다. 이것에 의해, 조합조(21)에서 소정 농도로 조합된 처리액이 공급조(24)에 공급되기 때문에, 공급조(24)에 저류된 처리액의 농도가 개선된다. 그 후, 제어 수단(31)은 개폐 밸브(V7)를 개방 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V8)를 폐색 상태로 하여 펌프(P1)를 구동하고, 조합조(21)에 저류된 처리액을 다시 순환 혼합해 둔다.
이와 같이, 처리액 농도 개선 단계 S8을 실행함으로써 공급조(24)에 저류된 처리액의 농도가 개선되기 때문에, 처리액에 농도 변화가 생겨도 이어서 처리 동작을 계속할 수 있으므로, 처리 동작을 중단시키는 경우가 없어지며, 기판 처리 공정의 스루풋을 향상시킬 수 있다. 또한, 처리액에 농도 변화가 생겨도 처리액의 보충에 의해 처리액의 농도를 소정의 농도 범위로 계속해서 유지할 수 있기 때문에, 처리액을 폐기하지 않아도 좋게 되며, 기판 처리 공정에서의 운전 비용을 저감할 수 있다[도 5(a) 참조].
여기서, 처리액 농도 개선 단계 S8에 있어서는 조합조(21)로부터 공급조(24)에 처리액을 보충하기 전에, 개폐 밸브(V12)를 일정 시간 개방 상태로 하여, 공급조(24)에 저류된 처리액의 일부를 배출하고, 그 후, 레벨 센서(S13)에 의한 검출이 ON 상태가 될 때까지 처리액을 보충하도록 하여도 좋다.
이와 같이, 공급조(24) 내부의 처리액에 농도 변화가 생겼을 때에, 처리액을 소정량만큼 배출하고, 그 후, 공급조(24)에 처리액을 보충하는 것으로 한 경우에는, 처리액의 보충에 의한 처리액 농도 개선의 정도를 크게 할 수 있다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 미리 설정한 소정 시간 내에서, 상기 농도 변화 판단 단계 S7에 있어서 처리액의 농도 변화가 생겼다고 판단하여 조합조(21)로부터 공급조(24)에 처리액이 보충된 횟수가 몇 회인지를 계측(카운트)한다(보충 횟수 계측 단계 S9).
구체적으로는 제어 수단(31)은 카운터를 내장하고 있으며, 이 카운터에 의해 보충 횟수 계측 단계 S9를 실행할 때마다 카운트 수를 증가시켜 가는 동시에, 내장한 타이머를 이용하여, 미리 설정된 시간이 경과한 경우에는, 그 시점에서의 카운 터의 값을 소정 시간 내의 보충 횟수로서 기억 수단(33)에 저장하고, 그 후, 카운터를 리셋한다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 상기 보충 횟수 계측 단계 S9에서 계측된 횟수가 미리 설정된 소정 횟수 이상인지 여부를 판단한다(보충 횟수 판단 단계 S10).
구체적으로는 제어 수단(31)이 상기 보충 횟수 계측 단계 S9에 있어서 기억 수단(33)에 저장된 소정 시간 내의 보충 횟수와, 미리 설정해 둔 횟수를 비교한다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 상기 보충 횟수 판단 단계 S10에서 소정 시간 내에 처리액의 농도 변화가 소정 횟수 이상 계측되었다고 판단된 경우에는 처리액 농도 개선 단계 S8을 실행하여도 처리액의 농도를 소정의 농도 범위 내에 유지하는 것이 이미 곤란하다고 생각되기 때문에, 조합조(21)에 저류한 처리액을 폐기하고(조합조 폐액 단계 S11), 그 후, 다음 단계 S12∼단계 S14로 향한다. 한편, 상기 보충 횟수 판단 단계 S10에서 소정 시간 내에 처리액의 농도 변화가 소 정 횟수 이상 계측되었다고 판단되지 않은 경우에는, 상기 처리액 토출 판단 단계 S5로 복귀한다.
조합조 폐액 단계 S11에서는 구체적으로는 제어 수단(31)이 개폐 밸브(V11)를 개방 상태로 한다. 이것에 의해, 조합조(21)에 저류된 처리액이 폐액 파이프(28)로부터 외부로 폐기된다. 그 후, 제어 수단(31)은 개폐 밸브(V11)를 폐색 상태로 복귀한다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 새롭게 각 공급원(19, 22)으로부터 조합조(21)에 순수와 약액을 공급하여 조합조(21)에서 처리액의 조합을 행한다(신처리액 조합 단계 Sl2). 여기서는 상기한 순수 공급 단계 S1, 약액 공급 단계 S2 및 처리액 생성 단계 S3과 동일한 제어를 실행한다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 공급조(24)에 저류한 처리액을 폐기한다(공급조 폐액 단계 S13).
구체적으로는 제어 수단(31)이 개폐 밸브(V12)를 개방 상태로 한다. 이것에 의해, 공급조(24)에 저류된 처리액이 폐액 파이프(29)로부터 외부로 폐기된다. 그 후, 제어 수단(31)은 개폐 밸브(V12)를 폐색 상태로 복귀한다. 또한, 조합조 폐액 단계 S11과 공급조 폐액 단계 S13을 동시에 행하도록 하여도 좋다.
다음에, 처리액 공급 프로그램(34)에서는 새롭게 조합조(21)로부터 공급조(24)에 처리액을 보충하고(신처리액 보충 단계 S14), 그 후, 상기 처리액 토출 판단 단계 S5로 복귀한다. 신처리액 보충 단계 S14에서는 상기한 처리액 저류 단계 S4와 동일한 제어를 실행한다.
또한, 상기 보충 횟수 판단 단계 S10에서 소정 시간 내에 처리액의 농도 변화가 소정 횟수 이상 계측되었다고 판단된 경우에, 상기한 조합조 폐액 단계 S11과 신처리액 조합 단계 S12와 공급조 폐액 단계 S13과 신처리액 보충 단계 S14를 전부 실행하는 것이 바람직하지만, 이것에 한정되지 않고, 조합조 폐액 단계 S11과 신처리액 조합 단계 S12, 또는 공급조 폐액 단계 S13과 신처리액 보충 단계 S14 중 어느 하나를 선택적으로 실행하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 보충 횟수 판단 단계 S10에서는 소정의 시간을 설정하고, 이 소 정 시간 내에 농도 변화가 생긴 횟수로 판단하도록 하고 있지만, 이것에 한정되지 않으며, 특히 시간을 설정하지 않고 농도 변화가 생긴 횟수만큼 판단하도록 하여도 좋다.
또한, 처리액의 농도 변화가 생긴 횟수와는 관계없이, 조합조(21)에서 처리액을 생성한 후에 소정 시간(상기 보충 횟수 판단 단계 S10에서의 소정 시간보다도 긴 시간) 경과한 경우에는, 상기 조합조 폐액 단계 S11과 신처리액 조합 단계 S 12와 공급조 폐액 단계 S13과 신처리액 보충 단계 S14를 실행하여, 조합조(21) 및 공급조(24)의 내부 처리액을 폐기하고, 새롭게 조합조(21)에서 처리액을 생성하여 공급조(24)에 이 새로운 처리액을 저류시키도록 하여도 좋다.
이와 같이, 조합조(21)에서 처리액을 생성한 후에 소정 시간이 경과한 경우나, 공급조(24)에의 보충을 소정 횟수 이상 행한 경우나, 소정 시간 내에 공급조(24)에의 보충을 소정 횟수 이상 행한 경우에, 조합조(21) 및 공급조(24) 내부의 처리액을 폐기하고, 새롭게 조합조(21)에서 처리액을 생성하여 공급조(24)에 이 새로운 처리액을 저류시킴으로써, 처리액의 온도를 소정의 농도 범위에서 장시간에 걸쳐 계속해서 유지할 수 있다[도 5(a) 참조].
처리액 공급 프로그램(34)은 기본적으로는 상기한 구성으로 되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 특히, 처리액 농도 개선 단계 S8이나 농도 변화판단 단계 S7에서는 이하에 설명하는 구성으로 할 수도 있다.
즉, 상기 처리액 농도 개선 단계 S8에서는 조합조(21)로부터 공급조(24)에 처리액을 보충하는 처리액 보충 단계를 실행하도록 하고 있지만, 약액 공급원(22) 으로부터 공급조(24)에 약액의 원액을 직접 보충하는 원액 보충 단계를 실행하도록 하여도 좋다.
이 원액 보충 단계에서는 구체적으로는, 제어 수단(31)이 개폐 밸브(V4, V6)를 폐색 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V3)를 개방 상태로 하여, 약액 공급원(22)으로부터 약액을 칭량기(23)에 공급한다. 그 후, 레벨 센서(S6)에 의한 검출이 ON 상태가 된 후에 개폐 밸브(V6)를 개방 상태로 하는 동시에 개폐 밸브(V3)를 폐색 상태로 한다. 그 후, 레벨 센서(S6)에 의한 검출이 OFF 상태가 된 시점에서 개폐 밸브(V6)를 폐색하여, 칭량기(23)에 소정량의 약액을 저류시킨다. 그 후, 개폐 밸브(V13)를 개방 상태로 한다. 이것에 의해, 약액의 원액이 조합조(21)를 통하지 않고 보충 파이프(30)로부터 공급조(24)에 직접 보충된다. 그 후, 제어 수단(31)은 개폐 밸브(V13)를 폐색 상태로 복귀한다.
이와 같이, 상기 처리액 농도 개선 단계 S8에 있어서 약액 공급원(22)으로부터 공급조(24)에 약액의 원액을 직접 보충한 경우에도 공급조(24)에 저류된 처리액의 농도가 개선되기 때문에, 처리액에 농도 변화가 생겨도 이어서 처리 동작을 계속할 수 있다. 이 때문에, 처리 동작이 중단되는 경우가 없어지며, 처리 공정의 스루풋을 향상시킬 수 있다. 또한, 처리액에 농도 변화가 생겨도 원액의 보충에 의해 처리액의 농도를 소정의 농도 범위로 계속해서 유지할 수 있기 때문에, 처리액을 폐기하지 않아도 좋게 되며, 기판 처리 공정에서의 운전 비용을 저감할 수 있다[도 5(b) 참조].
특히, 상기 처리액 농도 개선 단계 S8에 있어서 약액 공급원(22)으로부터 공 급조(24)에 약액의 원액을 직접 보충한 경우[도 5(b) 참조]에는 조합조(21)로부터 공급조(24)에 처리액을 보충한 경우[도 5(a) 참조]에 비해서, 처리액의 농도를 대폭 개선할 수 있기 때문에, 보다 장시간에 걸쳐 처리액의 농도를 소정의 농도 범위로 계속해서 유지할 수 있다.
또한, 약액 공급원(22)으로부터 공급조(24)에 원액을 직접 보충하기 전에, 개폐 밸브(V12)를 일정 시간 개방 상태로 하여 공급조(24)에 저류된 처리액의 일부를 배출하도록 하여도 좋다. 이와 같이, 공급조(24) 내부의 처리액에 농도 변화가 생겼을 때에, 처리액을 소정량만큼 배출하고, 그 후, 공급조(24)에 원액을 직접 보충하는 것으로 한 경우에는 원액의 보충에 의한 처리액 농도 개선의 정도를 크게 할 수 있다.
또한, 상기 농도 변화 판단 단계 S7에서는 공급조(24)에 저류된 처리액에 농도 변화가 생겼는지를 판단할 때에, 농도 센서(S16)의 검출값에 기초하여 판단하고 있지만, 히터(H)에 의한 가열이나 자연 증발 등에 의해 처리액의 농도가 경시적으로 변화하는 특성을 갖고 있는 것을 이용하여, 조합조(21)로부터 공급조(24)에 처리액을 보충(처리액 저류 단계 S4나 처리액 보충 단계나 신처리액 보충 단계 S14를 실행)한 후의 경과 시간, 또는, 약액 공급원(22)으로부터 공급조(24)에 약액의 원액을 보충(원액 보충 단계를 실행)한 후의 경과 시간에 기초하여, 공급조(24)에 저류된 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하도록 하여도 좋다.
구체적으로는 제어 수단(31)에 내장된 타이머를 이용하여, 상기한 처리액 저류 단계 S4나 처리액 보충 단계나 신처리액 보충 단계 S14를 실행한 시점에서 타이 머를 리셋하는 동시에, 그 후의 경과 시간을 타이머로 계측한다. 그리고, 소정 시간이 경과한 경우에는 처리액의 농도 변화가 생긴 것을 추정하고, 처리액의 농도변화가 생긴 것으로 판단한다. 또한, 이 소정 시간의 설정을 행하는데 있어서, 처리액을 보충한 경우의 처리액의 농도 변화 특성을 미리 측정해 두고, 이 농도 변화 특성으로부터 소정 시간을 설정한다.
혹은, 제어 수단(31)에 내장된 타이머를 이용하여, 상기한 원액 보충 단계를 실행한 시점에서 타이머를 리셋하는 동시에, 그 후의 경과 시간을 타이머로 계측하고, 소정 시간이 경과한 경우에는 처리액의 농도 변화가 생긴 것을 추정하여 처리액의 농도 변화가 생긴 것으로 판단한다. 또한, 이 소정 시간의 설정을 행하는 데 있어서, 약액의 원액을 보충한 경우의 처리액의 농도 변화 특성을 미리 측정해 두고, 이 농도 변화 특성으로부터 소정 시간을 설정한다.
이와 같이, 조합조(21)로부터 공급조(24)에 처리액을 보충한 후의 경과 시간, 또는 약액 공급원(22)으로부터 공급조(24)에 약액의 원액을 보충한 후의 경과시간에 기초하여, 공급조(24)에 저류된 처리액의 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단한 경우에는, 처리액 공급 장치(4)에 농도 센서(S16)를 설치할 필요가 없어지며, 처리액 공급 장치(4)의 구성을 간략화할 수 있다. 이와 같이 하여, 농도 센서(S16)를 이용하지 않고 처리액의 농도 변화를 간편히 판단할 수 있다.
또한, 처리액 농도 개선 단계 S8에 있어서는 우선, 조합조(21)로부터 공급조(24)에 처리액을 보충하는 처리액 보충 단계를 실행하고, 그 후, 이 처리액 보충 단계를 소정 횟수 이상 실행한 경우에, 약액 공급원(22)으로부터 공급조(24)에 약 액의 원액을 직접 보충하는 원액 보충 단계를 실행하도록 하여도 좋다.
이것에 의해, 조합조(21)로부터 공급조(24)에의 처리액의 보충을 반복함으로써 처리액 농도 개선의 정도가 작아져도 원액의 직접 보충에 의해 처리액의 농도 개선의 정도를 크게 할 수 있고, 처리액의 농도를 소정의 농도 범위에 장시간에 걸쳐 계속해서 유지할 수 있다.
또한, 상기 실시예에 있어서는 원액 보충으로서 약액의 원액을 직접 보충하는 예를 나타내었지만, 처리액의 농도 변화가 약액 농도의 저하가 아니라 상승인 경우에는 순수를 직접 보충하도록 하여도 좋다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에서는 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단된 경우에, 조합조로부터 공급조에 처리액을 보충하는 것으로 하고 있기 때문에, 처리액에 농도 변화가 생겨도 처리 동작이 중단되는 경우가 없어지며, 처리 공정의 스루풋을 향상시킬 수 있다. 또한, 처리액에 농도 변화가 생겨도 처리액의 보충에 의해 처리액의 농도를 소정의 농도 범위로 계속해서 유지할 수 있기 때문에, 처리액을 폐기하는 횟수를 저감시킬 수 있고, 처리 시스템의 운전 비용을 저감할 수 있다.

Claims (29)

  1. 복수의 원액 공급원;
    상기 각 원액 공급원으로부터 각각 원액이 공급되고, 이들의 원액을 조합하여 소정 농도의 처리액을 생성하는 조합조;
    상기 조합조에 접속되어, 상기 조합조로부터 보내진 처리액을 저류(貯留)하는 공급조;
    상기 조합조와 상기 공급조 사이에 설치되고, 상기 조합조로부터 상기 공급조로의 처리액의 흐름을 조정하는 처리액 공급 조정 밸브;
    상기 공급조로부터 처리액이 공급되고, 피처리체에 대하여 이 처리액의 토출을 행하는 처리액 토출구;
    상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 판단 수단; 및
    상기 판단 수단에 의해 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액을 추가적으로 보내도록 상기 처리액 공급 조정 밸브의 제어를 행하는 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 공급조 내의 처리액의 농도를 계측하는 농도 센서를 더 구비하고,
    상기 판단 수단은 상기 농도 센서에 의해 계측된 처리액의 농도에 기초하여 이 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부의 판단을 행하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 판단 수단은 상기 처리액 공급 조정 밸브가 상기 조합조로부터 상기 조합조로의 처리액의 흐름을 정지시킨 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 공급조는 상기 공급조에 저류(貯留)되는 처리액의 액면 레벨이 소정 레벨에 도달하였을 때에 이것을 검출하는 레벨 센서를 갖고,
    상기 판단 수단에 의해 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 공급조 내의 처리액을 소정량만큼 배출하는 동시에, 상기 제어 수단이 처리액의 액면 레벨이 소정 레벨에 도달한 것이 상기 레벨 센서에 의해 검출되기까지 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액을 보내도록 상기 처리액 공급 조정 밸브의 제어를 행하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 원액 공급원과 상기 공급조를 접속하는 원액 공급 라인; 및
    상기 원액 공급 라인에 설치되고, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조로 의 원액의 흐름을 조정하는 원액 공급 조정 밸브를 더 구비하고,
    상기 제어 수단은 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액이 추가적으로 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 직접 보내도록 상기 원액 공급 조정 밸브의 제어를 행하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 조합조에 있어서 처리액의 생성이 행해진 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  7. 제1항에 있어서, 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액이 추가적으로 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내도록 되어 있는 특징으로 하는 처리 시스템.
  8. 복수의 원액 공급원;
    상기 각 원액 공급원으로부터 각각 원액이 공급되고, 이들의 원액을 조합하여 소정 농도의 처리액을 생성하는 조합조;
    상기 조합조에 접속되고, 상기 조합조로부터 보내진 처리액을 저류하는 동시 에, 원액 공급 라인을 통해 상기 원액 공급원에도 접속되는 공급조;
    상기 원액 공급 라인에 설치되고, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에의 원액의 흐름을 조정하는 원액 공급 조정 밸브;
    상기 공급조로부터 처리액이 공급되고, 피처리체에 대하여 이 처리액의 토출을 행하는 처리액 토출구;
    상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 판단 수단; 및
    상기 판단 수단에 의해 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 직접 보내도록 상기 원액 공급 조정 밸브의 제어를 행하는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 공급조 내의 처리액의 농도를 계측하는 농도 센서를 더 구비하고,
    상기 판단 수단은 상기 농도 센서에 의해 계측된 처리액의 농도에 기초하여 이 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부의 판단을 행하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  10. 제8항에 있어서, 상기 조합조와 상기 공급조 사이에 설치되고, 상기 조합조로부터 상기 공급조에의 처리액의 흐름을 조정하는 처리액 공급 조정 밸브를 더 구 비하며,
    상기 판단 수단은 상기 처리액 공급 조정 밸브가 상기 조합조로부터 상기 공급조에의 처리액의 흐름을 정지시킨 시점으로부터의 경과 시간, 또는 상기 원액 공급 조정 밸브가 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에의 원액의 흐름을 정지시킨 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단하는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  11. 제8항에 있어서, 상기 공급조는 상기 공급조에 저류되는 처리액의 액면 레벨이 소정 레벨에 도달하였을 때에 이것을 검출하는 레벨 센서를 갖고,
    상기 판단 수단에 의해 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 공급조 내의 처리액을 소정량만큼 배출하는 동시에, 상기 제어 수단이 처리액의 액면 레벨이 소정 레벨에 도달한 것이 상기 레벨 센서에 의해 검출될 때까지 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 보내도록 상기 원액 공급 조정 밸브의 제어를 행하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  12. 제8항에 있어서, 상기 판단 수단에 의해 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 공급조 내의 처리액을 소정량만큼 배출하는 동시에, 상기 제어 수단이 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 보내도록 상기 원액 공급 조정 밸브의 제어를 행하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  13. 제8항에 있어서, 상기 조합조에 있어서 처리액의 생성이 행해진 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  14. 제8항에 있어서, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액이 직접 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 처리 시스템.
  15. 조합조에 있어서, 복수의 원액 공급원으로부터 각각 공급되는 원액을 조합하여 소정 농도의 처리액을 생성하는 단계;
    상기 조합조로부터 처리액을 공급조에 공급하여 이 조합조에 처리액을 저류시키는 단계;
    상기 공급조로부터 처리액을 처리액 토출구에 공급하고, 상기 처리액 토출구에 있어서 피처리체에 대하여 처리액의 토출을 행하는 단계;
    상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액을 추가적으로 보내는 단계를 포함한 것을 특징으 로 하는 처리액 공급 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 공급조 내의 처리액의 농도를 계측하는 농도 센서를 준비하는 단계를 더 포함하고,
    상기 농도 센서에 의해 계측된 처리액의 농도에 기초하여 이 처리액에 농도변화가 생겼는지 여부의 판단을 행하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  17. 제15항에 있어서, 상기 조합조로부터 상기 공급조에의 처리액의 흐름을 정지시킨 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  18. 제15항에 있어서, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 공급조 내의 처리액을 소정량만큼 배출하는 동시에, 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액을 추가적으로 보내는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  19. 제15항에 있어서, 상기 조합조로부터 상기 조합조에 처리액이 추가적으로 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 직접 보내는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  20. 제15항에 있어서, 상기 조합조에 있어서 처리액의 생성이 행해진 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새로운 처리액을 생성하여 조합조에 새로운 처리액을 보내는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  21. 제15항에 있어서, 상기 조합조로부터 상기 공급조에 처리액이 추가적으로 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새로운 처리액을 보내는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  22. 조합조에 있어서 복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 조합하여 소정 농도의 처리액을 생성하는 단계;
    상기 조합조로부터 처리액을 공급조에 공급하여 이 공급조에 처리액을 저류시키는 단계;
    상기 공급조로부터 처리액을 처리액 토출구에 공급하고, 상기 처리액 토출구에 있어서 피처리체에 대하여 처리액의 토출을 행하는 단계;
    상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 직접보내는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  23. 제22항에 있어서, 상기 공급조 내의 처리액의 농도를 계측하는 농도 센서를 준비하는 단계를 더 포함하고,
    상기 농도 센서에 의해 계측된 처리액의 농도에 기초하여 이 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부의 판단을 행하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  24. 제22항에 있어서, 상기 조합조로부터 상기 공급조에의 처리액의 흐름을 정지시킨 시점으로부터의 경과 시간, 또는 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에의 원액의 흐름을 정지시킨 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  25. 제22항에 있어서, 상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 공급조 내의 처리액을 소정량만큼 배출하는 동시에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액을 직접 보내는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  26. 제22항에 있어서, 상기 조합조에 있어서 처리액의 생성이 행해진 시점으로부터의 경과 시간이 소정 시간에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에 새 로운 처리액을 보내는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  27. 제22항에 있어서, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 원액이 직접 보내지는 횟수가 소정 횟수에 도달하였을 때에, 상기 조합조 내 및 공급조 내의 처리액을 폐기하고, 상기 조합조에서 새롭게 처리액을 생성하여 상기 공급조에서 새로운 처리액을 보내는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 방법.
  28. 복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 조합조에서 조합함으로써 소정 농도의 처리액을 생성하고, 이 처리액을 공급조에 저류하며, 상기 공급조로부터 처리액 토출구에 처리액을 공급하는 처리 유닛에, 처리액의 공급 동작을 실행시키는 컴퓨터 상에서 동작하고 처리 유닛을 제어하기 위한 처리액 공급 프로그램이 기억된 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체로서,
    상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 단계;
    상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 조합조로부터 공급조에 처리액을 추가적으로 보내는 단계가 행해지도록 컴퓨터에 처리 유닛을 제어시키는 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체.
  29. 복수의 원액 공급원으로부터 공급되는 원액을 조합조에서 조합함으로써 소정 농도의 처리액을 생성하고, 이 처리액을 공급조에 저류하며, 상기 공급조로부터 처리액 토출구에 처리액을 공급하는 처리 유닛에, 처리액의 공급 동작을 실행시키는 컴퓨터 상에서 동작하고 처리 유닛을 제어하기 위한 처리액 공급 프로그램이 기억된 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체로서,
    상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 공급조 내의 처리액에 농도 변화가 생겼다고 판단되었을 때에, 상기 원액 공급원으로부터 상기 공급조에 처리액을 추가적으로 보내는 단계가 행해지도록 컴퓨터에 처리 유닛을 제어시키는 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체.
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