KR100898045B1 - 기판 처리 장치 및 그의 약액 공급 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 그의 약액 공급 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 내조와 외조를 구비하는 기판 처리 장치 및 그의 약액 공급 방법에 관한 것이다. 기판 처리 장치는 복수 개의 약액들을 공급하는 약액 공급 라인들 각각에 약액의 공급 용량을 실시간으로 측정하는 적산 유량계를 구비한다. 기판 처리 장치는 복수 개의 약액들을 외조로 공급하고, 적산 유량계로 측정된 공급 용량을 이용하여 순환 라인의 펌핑 동작이 가능한 상태가 되면, 외조로부터 내조로 약액을 순환한다. 따라서 본 발명에 의하면, 약액들을 외조로 공급함으로써, 약액 공급 및 순환에 따른 소요 시간을 단축시킬 수 있으며, 이로 인해 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
반도체 제조 설비, 기판 처리 장치, 내조, 외조, 순환 라인, 적산 유량계

Description

기판 처리 장치 및 그의 약액 공급 방법{SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS AND METHOD FOR SUPPLYING CHEMICAL OF THE SAME}
본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 내조와 외조를 구비하여, 복수 개의 약액들을 외조로 공급받아서 공정을 처리하는 내조로 약액들을 순환 및 공급하는 기판 처리 장치 및 그의 약액 공급 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 약액은 가공 조건 및 특성에 따라 하나의 공정에도 화학적 성질이 다른 여러 종류의 약액이 사용되고 있으며, 이러한 사용상의 특성으로 인하여 하나의 처리조 내에 필요로 하는 여러 종류의 약액을 선택적으로 공급하여 공정을 처리한다.
반도체 제조 공정 중 세정 및 식각 공정을 처리하는 기판 처리 장치는 복수 개의 약액들을 처리조로 공급받아서 혼합하고, 혼합된 약액을 공정 조건 예를 들어, 온도, 농도 및 혼합 비율 등이 적합한 상태일 때, 반도체 기판을 투입하여 공정을 처리한다. 이를 위해 기판 처리 장치는 처리조의 혼합된 약액이 공정 조건을 만족할 때까지 순환하여 약액의 온도, 농도 및 혼합 비율 등을 조절한다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 내조(2)와 외조(4)를 구비하여 공정 을 처리하는 처리조와, 내조(2)로 복수 개의 약액들을 공급하는 복수 개의 약액 공급 라인들(6) 및, 내조(2)와 외조(4) 사이에 연결되어 약액들을 순환하는 순환 라인(12)을 포함한다.
약액 공급 라인들(6)은 각각의 약액들의 공급 유량을 조절하는 복수 개의 밸브들(8)이 설치되고, 순환 라인(12)은 처리조(2, 4)의 약액이 공정 조건을 만족할 때까지 조절하기 위해, 약액을 순환시키는 펌프(14)와, 약액의 온도를 조절하는 히터(16) 및, 약액에 포함된 불순물을 제거하는 필터(18) 등이 설치된다. 또 순환 라인(12)은 약액의 농도를 조절하기 위해 농도계(미도시됨)를 더 구비할 수 있다.
따라서 기판 처리 장치(10)는 복수 개의 약액 공급 라인들(6)을 통해 내조(2)로 약액들을 공급하고, 공급된 약액들이 내조(2)로부터 외조(4)로 오버플로우(overflow)되어 채워진다. 그리고, 처리조(2, 4)에 설치되는 수위계 등의 센서(미도시됨)를 이용하여 펌핑 동작 가능한 레벨로 외조(4)에 약액이 채워질 때, 이를 판별하여 약액을 외조(4)로부터 내조(2)로 순환하여 약액의 온도, 농도 및 혼합 비율 등을 조절한다.
이러한 기판 처리 장치(10)는 내조(2)로 약액들을 공급하여, 내조(2)를 먼저 채운 상태에서 약액을 외조(4)로 오버플로우시키고, 외조(4)에 채워진 약액이 일정 레벨 상태일 때, 펌프(14)를 동작시켜서 약액들을 순환하고 공정 조건을 조절하므로, 약액을 순환하기 전까지의 처리 시간이 많이 소요된다.
또, 이러한 기판 처리 장치(10)는 각각의 약액 공급 라인들(6)의 공급 유량을 밸브(8)를 통해 조절하여 내조(2)로 약액들을 공급하고, 약액들의 혼합된 상태 에서 외조(4)의 레벨을 감지하여, 약액을 순환 및 조절하므로, 약액들의 정확한 혼합 비율을 파악하기가 어려울 뿐만 아니라, 혼합된 약액의 농도가 부정확하는 등의 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 복수 개의 약액들을 공급받아서 공정 조건에 적합한 약액을 신속하게 공급 및 순환하기 위한 기판 처리 장치 및 그의 약액 공급 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 내조 및 외조를 구비하고, 외조로 복수 개의 약액들을 동시에 공급하여 공정 조건에 적합하게 조절하도록 약액을 순환하는 기판 처리 장치 및 그의 약액 공급 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 기판 처리 장치는 복수 개의 약액들을 공급하는 복수 개의 약액 공급 라인들에 적산 유량계를 구비하고, 외조로 약액들을 공급하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 기판 처리 장치는 적산 유량계로부터 측정된 약액들의 공급 용량을 이용하여 외조로부터 내조로 약액을 순환하도록 제어한다.
본 발명의 기판 처리 장치는, 외조와 내조를 구비하는 처리조와; 상기 외조로 복수 개의 약액들을 공급하는 복수 개의 약액 공급 라인들과; 상기 약액 공급 라인들에 각각에 설치되어 약액들의 공급 용량을 실시간으로 측정하는 복수 개의 적산 유량계들과; 상기 외조로부터 상기 내조로 약액들을 순환하는 순환 라인 및; 상기 적산 유량계들로부터 약액들의 공급 용량을 판별하여, 상기 순환 라인으로 약액을 순환시키는 상태이면, 상기 외조로부터 상기 내조로 약액을 순환시켜서 상기 외조에 채워진 약액을 공정 조건에 적합하도록 조절하는 제어부를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 장치는; 상기 외조의 일측에 설치되어 상기 외조의 채워진 약액의 수위를 측정하는 레벨 센서를 더 포함하되; 상기 제어부는 상기 적산 유량계들로부터 측정된 상기 공급 용량들과, 상기 레벨 센서로부터 측정된 상기 수위를 이용하여 상기 순환 라인으로 약액을 순환시키는 상태를 판별한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 순환 라인은; 상기 약액을 순환시키는 상태가 되면, 상기 제어부의 제어를 받아서 상기 외조로부터 상기 내조로 약액을 순환시키는 펌프와, 상기 제어부의 제어를 받아서 상기 공정 조건에 적합하도록 상기 약액의 온도를 조절하는 히터 및; 상기 히터로부터 온도 조절된 상기 약액을 받아서, 불순물을 제거하여 상기 내조로 공급하는 필터를 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 약액을 순환시키는 상태는; 상기 적산 유량계의 상기 공급 용량 또는/및 상기 레벨 센서의 상기 수위를 이용하여 상기 펌프가 동작 가능한 상태일 때, 상기 약액을 순환시킨다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 내조 및 외조를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 공급 방법이 제공된다. 이 방법에 의하면, 복수 개의 약액들을 공급하는 복수 개의 약액 공급 라인들로부터 상기 외조로 약액들을 공급한다. 상기 약액 공급 라인들 각각에 설치된 적산 유량계로 상기 약액들의 공급 용량을 실시간으로 측정한다. 측정된 상기 공급 용량이 상기 외조에 저장된 약액을 순환하는 상태인지를 판별한다. 이어서 상기 공급 용량이 상기 외조에 저장된 약액을 순환하는 상태이면, 상기 외조로부터 상기 내조로 약액을 순환시킨다.
한 실시예에 있어서, 상기 약액을 순환시키는 것은; 상기 약액을 순환할 때, 상기 약액의 공정 조건에 적합하도록 온도를 조절한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 약액 공급 방법은; 상기 외조의 수위를 실시간으로 측정하여, 상기 공급 용량과 상기 수위를 이용하여 상기 외조에 저장된 약액을 순환 가능한 상태를 판별한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치는 복수 개의 약액 공급 라인들에 적산 유량계를 구비하여 외조로 약액들을 공급함으로써, 내조 보다 충진 속도가 빠르므로 신속한 약액 순환 및 공급이 가능하다.
따라서 본 발명의 기판 처리 장치는 신속하게 약액을 순환하여 공정 조건을 조절할 수 있으므로, 약액 교환 및 공급 등에 따른 소요 시간을 단축시키고, 이로 인해 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(100)는 세정 및 식각 공정을 처리하기 위하여, 외조(106)로 복수 개의 약액들을 직접 공급한다.
이를 위해 기판 처리 장치(100)는 내조(104) 및 외조(106)를 구비하는 처리조와, 복수 개의 약액 공급원(미도시됨)과 연결되어 외조(106)로 약액들을 각각 공급하는 복수 개의 약액 공급 라인들(108)과, 약액 공급 라인들(108) 각각에 설치되어 공급되는 약액의 공급 용량을 실시간으로 측정하는 복수 개의 적산 유량계(110, 112)들과, 외조(106)의 일측에 설치되어 채워진 약액의 수위를 측정하는 레벨 센서(114) 및, 기판 처리 장치(100)의 제반 동작을 제어하는 제어부(102)를 포함한다. 또 기판 처리 장치(100)는 외조(106)로부터 내조(104)로 약액을 순환하는 순환 라인(120)을 포함한다. 순환 라인(120)은 약액의 온도, 농도 및 혼합 비율 등의 공정 조건을 조절하기 위하여 약액을 외조(106)로부터 내조(104)로 순환시키는 펌프(122)와, 약액의 온도를 조절하는 히터(124) 및, 온도 조절된 약액에 포함된 불순물을 제거하여 약액을 내조로 공급하는 필터(126) 등이 설치된다.
약액 공급 라인들(108)은 각각 공급되는 약액의 유량 및 개폐를 조절하는 밸브(116, 118)가 설치되고, 적산 유량계(110, 112)에 의해 외조(106)로 동시에 공급되는 각각의 약액들의 공급 용량을 실시간으로 측정한다. 각각의 적산 유량계(110, 112)는 실시간으로 측정된 약액의 공급 용량 정보(MEASURE1, MEASURE2)를 제어부(102)로 전송한다.
레벨 센서(114)는 외조(106)에 채워진 약액의 수위를 실시간으로 감지하여 레벨 정보(LEVEL)를 제어부(102)로 전송한다.
그리고 제어부(102)는 예를 들어, 컨트롤러(controller), 프로그램어블 로직 컨트롤러(PLC) 또는 퍼스널 컴퓨터(PC) 등으로 구비되고, 적산 유량계(110, 112)들로부터 실시간으로 약액의 공급 용량 정보(MEASURE1, MEASURE2)를 받아서 약액의 혼합 비율을 판별한다. 또 제어부(102)는 적산 유량계(110, 112)에 의해 측정된 약액의 공급 용량 정보(MEASURE1, MEASURE2)와 함께, 레벨 센서(114)로부터 외조에 채워진 약액의 레벨 정보(LEVEL)를 실시간으로 받아서 약액들의 공급 상태에 따른 펌프 동작 가능한 상태를 판별한다. 예를 들어, 기판 처리 장치(100)는 초순수(DIW)와, 서로 다른 복수 개의 약액들을 공급받는 경우, 제어부(102)는 약액들 각각의 공급 용량을 적산 유량계(110, 112)를 이용하여 실시간으로 판별하지만, 초순수(DIW)는 적산 유량계를 이용하지 않고, 레벨 센서(114)에 의해 감지된 외조(106)의 수위에 대응하여 공급 용량을 판별한다.
또 제어부(102)는 적산 유량계(110, 112)를 통해 외조(106)로 공급되는 약액들의 공급 유량을 판별하여, 순환 라인(120)의 펌핑 동작 가능한 상태로 약액들이 공급되면, 외조(106)로부터 내조(104)로 약액을 순환하도록 펌프(122)를 제어(CYCLE)한다. 이 때, 제어부(102)는 적산 유량계(110, 112)로부터 측정된 공급 용량 정보(MEASURE1, MEASURE2)를 받아서 내부에 설정된 데이터와 비교하여 약액들의 혼합 비율을 판별하고, 그 결과, 공정 조건에 만족하지 않으면, 약액 공급 라인(108)의 밸브(116, 118)들의 개폐량을 각각 제어(CONTROL)하여 약액들의 유량을 조절한다. 또, 제어부(102)는 약액을 순환할 때, 히터(124)를 제어(HEAT)하여 순환되는 약액의 온도를 조절한다. 물론 순환 라인(120)은 히터(124)와 필터(126) 사이에 농도계(미도시됨)를 더 구비하고, 농도계로부터 측정된 약액의 농도를 판별하여, 약액의 농도를 조절하도록 약액 공급 라인(108)들의 밸브(116, 118)들을 제어하여 약액들을 보충할 수 있다.
따라서, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 복수 개의 약액들을 외조(106)로 직접 공급하고, 약액 공급 라인들(108)에 설치된 적산 유량계(110, 112)들을 통해 약액들의 공급 용량을 실시간으로 측정한다. 이어서 외조(106)로 일정 용량의 약액들이 공급되면, 바로 약액을 외조(106)로부터 내조(104)로 순환시킨다. 그러므로 내조로 약액을 충진하고, 내조로부터 외조로 약액을 오버플로우하여, 외조의 수위가 일정 레벨에 도달될 때, 약액을 순환하는 기존의 기판 처리 장치보다 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 외조(106)로 약액을 공급하므로 그 소요 시간이 단축된다.
그 결과, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 신속하게 약액의 공정 조건을 조절할 수 있으며, 약액 공급 및 순환 등에 따른 소요 시간을 줄임으로써, 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
그리고 도 3은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 약액 공급 수순을 도시한 흐름도이다. 이 실시예는, 기판 처리 장치가 초순수와 복수 개의 약액들을 외조로 공급하는 경우를 이용하여 설명한다. 따라서 약액들은 적산 유량계를 이용하여 실시간으로 공급 용량을 측정하고, 초순수는 적산 유량계를 이용하지 않고 외조의 수위를 감지하여 공급량을 판별한다.
도 3을 참조하면, 단계 S150에서 복수 개의 약액 공급 라인들(108)을 이용하 여 복수 개의 약액들을 외조(106)로 공급한다. 단계 S152에서 약액 공급 라인들(108) 각각에 구비되는 복수 개의 적산 유량계(110, 112)를 이용하여 각각의 약액들의 공급 용량을 실시간으로 측정한다. 단계 S154에서 제어부(102)는 적산 유량계(110, 112)들로부터 공급 유량 정보(MEASURE1, MEASURE2)를 받아서, 공정 조건(예를 들어, 약액들의 혼합 비율)에 적합하게 각각의 약액들의 공급량을 조절한다.
단계 S156에서 일정 시간이 경과되면, 외조(106)에 채워진 약액의 수위를 감지한다. 즉, 레벨 센서(114)를 이용하여 외조(106)로 공급된 약액의 레벨 정보(LEVEL)를 감지한다.
이어서 단계 S158에서 감지된 레벨 정보(LEVEL)가 약액을 순환하는 펌프 동작 가능한 레벨인지를 판별한다.
판별 결과, 펌프 동작 가능한 레벨이면, 이 수순은 단계 S160으로 진행하여 외조(106)의 약액을 내조(104)로 순환시키고, 공정 조건에 적합하도록 온도를 조절한다. 또 펌프 동작 가능한 레벨이 아니면, 이 수순은 단계 S156으로 진행하여 외조(106)로 약액들을 공급받아서 외조(106)의 수위를 실시간으로 감지하고, 단계 S158을 반복한다.
만약, 초순수를 제외한 복수 개의 약액들만을 외조(106)로 공급하는 경우라면, 단계 156 내지 단계 S158을 생략하고 적산 유량계(110, 112)로 측정된 공급 용량 정보(MEASURE1, MEASURE2)를 이용하여 펌프 동작 가능한 상태인지를 판별할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 약액들을 외조(106)로 공급한다. 그리고 외조(106)에 채워진 약액을 순환하기 위하여, 약액 공급 라인들(108) 각각에 적산 유량계(110, 112)를 구비하여, 약액들을 공급 용량을 실시간으로 측정한다. 따라서 약액들의 공급 용량이 순환 가능한 상태이면, 바로 약액을 외조(106)로부터 내조(104)로 순환한다.
이상에서, 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 일반적인 내조 및 외조를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 공급 및 순환을 위한 구성을 도시한 도면;
도 2는 본 발명에 따른 내조 및 외조를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 공급 및 순환을 위한 구성을 도시한 도면; 그리고
도 3은 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 약액 공급 수순을 도시한 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 기판 처리 장치 102 : 제어부
104 : 내조 106 : 외조
108 : 약액 공급 라인 110, 112 : 적산 유량계
114 : 레벨 센서 120 : 순환 라인

Claims (7)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 기판 처리 장치에 있어서:
    외조와 내조를 구비하는 처리조와;
    상기 외조로 복수 개의 약액들을 공급하는 복수 개의 약액 공급 라인들과;
    상기 약액 공급 라인들에 각각에 설치되어 약액들의 공급 용량을 실시간으로 측정하는 복수 개의 적산 유량계들과;
    상기 외조로부터 상기 내조로 약액들을 순환하는 순환 라인 및;
    상기 적산 유량계들로부터 약액들의 공급 용량을 판별하여, 상기 순환 라인으로 약액을 순환시키는 상태이면, 상기 외조로부터 상기 내조로 약액을 순환시켜서 상기 외조에 채워진 약액을 공정 조건에 적합하도록 조절하는 제어부를 포함하고;
    상기 순환 라인은;
    상기 약액을 순환시키는 상태가 되면, 상기 제어부의 제어를 받아서 상기 외조로부터 상기 내조로 약액을 순환시키는 펌프와, 상기 제어부의 제어를 받아서 상기 공정 조건에 적합하도록 상기 약액의 온도를 조절하는 히터 및, 상기 히터로부터 온도 조절된 상기 약액을 받아서, 불순물을 제거하여 상기 내조로 공급하는 필터를 포함하되;
    상기 약액을 순환시키는 상태는;
    상기 적산 유량계의 상기 공급 용량을 이용하여 상기 펌프가 동작 가능한 상태일 때, 상기 약액을 순환시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 기판 처리 장치에 있어서:
    외조와 내조를 구비하는 처리조와;
    상기 외조로 복수 개의 약액들을 공급하는 복수 개의 약액 공급 라인들과;
    상기 약액 공급 라인들에 각각에 설치되어 약액들의 공급 용량을 실시간으로 측정하는 복수 개의 적산 유량계들과;
    상기 외조로부터 상기 내조로 약액들을 순환하는 순환 라인 및;
    상기 적산 유량계들로부터 약액들의 공급 용량을 판별하여, 상기 순환 라인으로 약액을 순환시키는 상태이면, 상기 외조로부터 상기 내조로 약액을 순환시켜서 상기 외조에 채워진 약액을 공정 조건에 적합하도록 조절하는 제어부를 포함하고;
    상기 기판 처리 장치는 상기 외조의 일측에 설치되어 상기 외조의 채워진 약액의 수위를 측정하는 레벨 센서를 더 포함하고;
    상기 제어부는 상기 적산 유량계들로부터 측정된 상기 공급 용량들과, 상기 레벨 센서로부터 측정된 상기 수위를 이용하여 상기 순환 라인으로 약액을 순환시키는 상태를 판별하며;
    상기 순환 라인은 상기 약액을 순환시키는 상태가 되면, 상기 제어부의 제어를 받아서 상기 외조로부터 상기 내조로 약액을 순환시키는 펌프와, 상기 제어부의 제어를 받아서 상기 공정 조건에 적합하도록 상기 약액의 온도를 조절하는 히터 및, 상기 히터로부터 온도 조절된 상기 약액을 받아서, 불순물을 제거하여 상기 내조로 공급하는 필터를 포함하되;
    상기 약액을 순환시키는 상태는;
    상기 적산 유량계의 상기 공급 용량 및 상기 레벨 센서의 상기 수위를 이용하여 상기 펌프가 동작 가능한 상태일 때, 상기 약액을 순환시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 삭제
  6. 내조 및 외조를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 공급 방법에 있어서:
    복수 개의 약액들을 공급하는 복수 개의 약액 공급 라인들로부터 상기 외조로 약액들을 공급하고;
    상기 약액 공급 라인들 각각에 설치된 적산 유량계로 상기 약액들의 공급 용량을 실시간으로 측정하고;
    측정된 상기 공급 용량이 상기 외조에 저장된 약액을 순환하는 상태인지를 판별하고; 이어서
    상기 공급 용량이 상기 외조에 저장된 약액을 순환하는 상태이면, 상기 외조로부터 상기 내조로 약액을 순환시키되;
    상기 약액 공급 방법은;
    상기 외조의 수위를 실시간으로 측정하여, 상기 공급 용량과 상기 수위를 이용하여 상기 외조에 저장된 약액을 순환 가능한 상태를 판별하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 약액 공급 방법.
  7. 내조 및 외조를 구비하는 기판 처리 장치의 약액 공급 방법에 있어서:
    복수 개의 약액들을 공급하는 복수 개의 약액 공급 라인들로부터 상기 외조로 약액들을 공급하고;
    상기 약액 공급 라인들 각각에 설치된 적산 유량계로 상기 약액들의 공급 용량을 실시간으로 측정하고;
    측정된 상기 공급 용량이 상기 외조에 저장된 약액을 순환하는 상태인지를 판별하고; 이어서
    상기 공급 용량이 상기 외조에 저장된 약액을 순환하는 상태이면, 상기 외조로부터 상기 내조로 약액을 순환시키되;
    상기 약액을 순환시키는 것은 상기 약액을 순환할 때, 상기 약액의 공정 조건에 적합하도록 온도를 조절하며;
    상기 약액 공급 방법은;
    상기 외조의 수위를 실시간으로 측정하여, 상기 공급 용량과 상기 수위를 이용하여 상기 외조에 저장된 약액을 순환 가능한 상태를 판별하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 약액 공급 방법.
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