JP2006278365A - 液処理装置及びそのプログラム並びにその記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 処理槽10内に循環供給される薬液(DHF,EG)の混合液からなる処理液であるエッチング液Eでエッチング処理する液処理装置において、各薬液を処理槽内に貯留された処理液に補充する薬液補充手段40,50と各薬液補充手段をそれぞれ構成する補充管路43,53に介設される開閉弁V2〜V5と、各補充管路に介設されて所定量の薬液を供給する薬液供給ポンプP1,P2と、各薬液の処理槽への補充タイミングを記憶し、この記憶された情報に基づいて各開閉手段及び各薬液供給手段に動作信号を伝達する制御コンピュータ70とを具備する。制御コンピュータを、処理液の排液後に、処理槽内に複数の薬液を供給して処理液を作成する処理液交換工程後の経過時間毎に、各薬液毎に補充のタイミングを可変設定可能に形成する。
【選択図】 図1
Description
20 循環管路
21 エッチング液供給ノズル(処理液供給ノズル)
22 温調用ヒータ
30 排出手段
40 DHF補充手段(薬液補充手段)
41 DHFタンク
42 DHF供給管路
43 DHF補充管路(薬液補充管路)
50 EG補充手段(薬液補充手段)
51 EGタンク
52 EG供給管路
53 EG補充管路(薬液補充管路)
70 制御コンピュータ
70a CPU(制御手段)
70b 入出力部
70c 表示部
70d 記録媒体
V2〜V5 開閉弁(開閉手段)
P0 循環ポンプ
P1 DHF供給ポンプ(薬液供給手段)
P2 EG供給ポンプ(薬液供給手段)
W 半導体ウエハ(被処理体)
E エッチング液(処理液)
Claims (12)
- 処理槽内の複数の薬液の混合液からなる処理液で被処理体を処理する液処理装置であって、
上記各薬液を上記処理槽内に貯留された処理液に補充する薬液補充手段と、
上記各薬液補充手段をそれぞれ構成する補充管路に介設される開閉手段と、
上記各補充管路に介設されて所定量の薬液を供給する薬液供給手段と、
上記各薬液の処理槽への補充タイミングを記憶し、この記憶された情報に基づいて上記各開閉手段及び各薬液供給手段に動作信号を伝達する制御コンピュータとを具備してなり、
上記制御コンピュータを、上記処理液の排液後に、上記処理槽内に複数の薬液を供給して上記処理液を作成する処理液交換工程後の経過時間毎に、各薬液毎に補充のタイミングを可変設定可能に形成してなる、ことを特徴とする液処理装置。 - 処理槽内の複数の薬液の混合液からなる処理液で被処理体を処理する液処理装置であって、
上記各薬液を上記処理槽内に貯留された処理液に補充する薬液補充手段と、
上記各薬液補充手段をそれぞれ構成する補充管路に介設される開閉手段と、
上記各補充管路に介設されて所定量の薬液を供給する薬液供給手段と、
上記各薬液の処理槽への補充タイミングを記憶し、この記憶された情報に基づいて上記各開閉手段及び各薬液供給手段に動作信号を伝達する制御手段と、を具備してなり、
上記制御コンピュータを、上記処理液の排液後に、上記処理槽内に複数の薬液を供給して上記処理液を作成する処理液交換工程後の経過時間毎に、各薬液毎に補充のタイミングを可変設定可能にするために制御コンピュータに処理レシピを作成するための処理レシピ入力画面を表示するように形成してなる、ことを特徴とする液処理装置。 - 請求項1又は2記載の液処理装置において、
上記制御コンピュータは、更に薬液の補充時の補充量を可変に設定可能に形成される、ことを特徴とする液処理装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の液処理装置において、
上記制御コンピュータは、更に被処理体を1回処理する毎に補充量の設定を可変可能に形成される、ことを特徴とする液処理装置。 - 処理槽内の複数の薬液の混合液からなる処理液で被処理体を処理する液処理装置の制御コンピュータにより実行することが可能なプログラムであって、
上記制御コンピュータを、
上記処理液の排液後に、上記処理槽内に複数の薬液を供給して上記処理液を作成する処理液交換工程後の経過時間毎に、各薬液毎に補充のタイミングを可変設定可能に機能させる、ことを特徴とするプログラム。 - 処理槽内の複数の薬液の混合液からなる処理液で被処理体を処理する液処理装置の制御コンピュータにより実行することが可能なプログラムであって、
上記制御コンピュータを、
上記処理液の排液後に、上記処理槽内に複数の薬液を供給して上記処理液を作成する処理液交換工程後の経過時間毎に、各薬液毎に補充のタイミングを可変設定可能にするために制御コンピュータに処理レシピを作成するための処理レシピ入力画面を表示するように機能させる、ことを特徴とするプログラム。 - 請求項5又は6記載のプログラムにおいて、
上記制御コンピュータを、更に薬液の補充時の補充量を可変に設定可能に機能させる、ことを特徴とするプログラム。 - 請求項5ないし7のいずれかに記載のプログラムにおいて、
上記制御コンピュータを、更に被処理体を1回処理する毎に補充量の設定を可変可能に機能させる、ことを特徴とするプログラム。 - 処理槽内の複数の薬液の混合液からなる処理液で被処理体を処理する液処理装置の制御コンピュータにより実行することが可能なプログラムが記録された記録媒体であって、
上記制御コンピュータを、
上記処理液の排液後に、上記処理槽内に複数の薬液を供給して上記処理液を作成する処理液交換工程後の経過時間毎に、各薬液毎に補充のタイミングを可変設定可能に機能させるプログラムを記録した、ことを特徴とする記録媒体。 - 処理槽内の複数の薬液の混合液からなる処理液で被処理体を処理する液処理装置の制御コンピュータにより実行することが可能なプログラムが記録された記録媒体であって、
上記制御コンピュータを、
上記処理液の排液後に、上記処理槽内に複数の薬液を供給して上記処理液を作成する処理液交換工程後の経過時間毎に、各薬液毎に補充のタイミングを可変設定可能にするために制御コンピュータに処理レシピを作成するための処理レシピ入力画面を表示するように機能させるプログラムを記録した、ことを特徴とする記録媒体。 - 請求項9又は10記載の記録媒体において、
上記制御コンピュータを、更に薬液の補充時の補充量を可変に設定可能に機能させるプログラムを記録した、ことを特徴とする記録媒体。 - 請求項9ないし11のいずれかに記載の記録媒体において、
上記制御コンピュータを、更に被処理体を1回処理する毎に補充量の設定を可変可能に機能させるプログラムを記録した、ことを特徴とする記録媒体。
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