KR20070043262A

KR20070043262A - 케미컬 저장 장치

Info

Publication number: KR20070043262A
Application number: KR1020050099326A
Authority: KR
Inventors: 김기천
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2005-10-20
Filing date: 2005-10-20
Publication date: 2007-04-25

Abstract

본 발명은 케미컬 저장 장치에 관한 것으로, 사용된 세정수를 저장하는 세정수 탱크와, 그 세정수 탱크에 저장된 세정수에 정량의 케미컬을 공급하는 케미컬 공급부와, 상기 세정수 탱크에 저장된 세정수와 케미컬을 순환시키는 순환펌프를 포함하는 케미컬 저장 장치에 있어서, 상기 세정수 탱크 내에 공급된 세정수에서 발생하는 기포를 세정수 탱크의 일부영역에 가두고, 그 기포를 공기와 세정수로 분리하는 기포분리기재를 더 포함하여 구성된다. 이와 같이 구성된 본 발명은 세정수를 저장하는 세정수 탱크의 일부영역에서 기포를 가둬두며, 그 가둬진 기포를 공기와 세정수로 분리하는 수단을 구비하여, 대량의 기포가 유입되는 경우에도 세정수의 양을 정확하게 측정할 수 있게 됨으로써, 정확한 농도로 케미컬을 혼합할 수 있으며, 세정수의 양에 따라 히터를 정확하게 제어할 수 있는 효과가 있다.

Description

케미컬 저장 장치{Chemical tank}

도 1은 종래 케미컬 저장 장치의 단면 모식도이다.

도 2는 종래 케미컬 저장 장치에서 기포에 의해 수위의 측정오류가 발생하는 예의 모식도이다.

도 3은 본 발명에 따른 케미컬 저장 장치 일실시예의 단면모식도이다.

도 4는 본 발명에 적용된 기포분리기재의 일실시 사시도이다.

도 5는 본 발명에 따른 케미컬 저장 장치 다른 실시예의 단면모식도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

11:세정수 탱크 12:세정수 유입관

13:케미컬 탱크 14:케미컬 유입관

15:밸브 16:히터

17:순환펌프 18:배기구

19:기포 20:기포분리기재

21:그물망 22:격벽

본 발명은 저장 장치에 관한 것으로, 특히 사용된 세정수를 회수하여 저장할 때 발생하는 기포에 의한 오작동을 방지할 수 있는 케미컬 저장 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 디스플레이 패널의 습식 세정장비에는 대량의 탈이온수가 사용된다. 상기 탈이온수에는 소정 농도비로 케미컬(chemical)이 혼합되며 이를 통상 세정수라 칭한다. 상기 세정수를 이용하여 이송되는 평판 디스프레이 패널의 표면의 이물을 제거한다.

이와 같이 세정에 사용된 세정수는 습식세정장치 하부에 마련된 저장 탱크로 회수되어 재사용될 수 있으며, 이와 같은 종래 케미컬 저장 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 케미컬 저장 장치의 단면 모식도이다.

이를 참조하면, 종래 케미컬 저장 탱크는 세정장치에서 사용된 세정수를 세정수 유입관(2)을 통해 유입받아 저장하는 세정수 탱크(1)와, 케미컬을 저장하는 케미컬 탱크(3)와, 상기 케미컬 탱크(3)에 저장된 케미컬을 세정수 탱크(1)로 유입시키는 케미컬 유입관(4)과, 상기 케미컬 유입관(4)을 통해 유입되는 케미컬의 양을 제어하는 밸브(5)와, 상기 세정수 탱크(1)의 저면에서 저장된 세정수를 가열하는 히터(6)와, 상기 저장된 세정수를 순환시키는 순환펌프(7)와, 상기 세정수 탱크 (1)에 저장된 세정수의 높이를 측정하는 다수의 레벨센서(LS1~LS4)와, 세정수 탱크(1)에서 발생되는 공기를 유출하는 배기구(8)를 포함하여 구성된다.

미설명 부호 10은 세정수 탱크(1)에 저장된 세정수를 유출하기 위한 유출관이다.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 케미컬 저장 장치의 구성 및 작용을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 세정수 탱크(1)는 세정장비에서 사용된 세정수(탈이온수)가 세정수 유입관(2)을 통해 유입된다. 이때, 사용된 세정수는 기판으로 분사 및 회수를 할 때 공기를 포함하게 되며, 세정수 탱크(1)로 유입된 세정수는 다량의 기포(9)를 포함하고 있다.

상기 기포(9)는 레벨센서(LS1~LS4)에서 정확한 수위의 검출을 방해하는 요소가 된다.

도 2는 기포(9)에 의해 발생할 수 있는 수위 검출 오류를 설명하기 위한 모식도이다.

이를 참조하면, 실제 세정수의 수위는 레벨센서(LS2)에서 검출된 수위이나, 다량의 기포(9)에 의해 레벨센서(LS3)에서도 세정수의 수위가 검출될 수 있다. 이는 실제 세정수의 수위에 비하여 더 높은 수위의 세정수가 저장된 것으로 판단되며, 세정수 탱크(1)의 저장용량에 미치지 못하는 용량의 세정수를 저장한 경우에도 세정수 탱크(1)가 세정수로 가득찬 것으로 판단할 수 있다.

또한, 상기 세정수는 히터(6)에 의해 소정온도로 가열되며, 그 히터(6)는 저 장된 세정수가 없을 때나, 그 저장량이 매우 적을 때는 동작하지 않아야 한다. 그러나, 세정수의 양이 적을 때에도 기포(9)에 의해 가열을 해야 하는 양으로 판단될 수 있어 히터(6)의 동작 제어에도 어려움이 있다.

이와 같이 세정수가 세정수 탱크(1)에 저장된 상태에서 케미컬 탱크(3)에 저장된 케미컬이 밸브(5)에 의해 제어되어, 케미컬 유입관(4)을 통해 세정수 탱크(1)에 유입된다.

이때, 케미컬 탱크(3)에 저장된 케미컬은 상기 세정수와 일정한 비율로 혼합되어야 하나, 상기 기포(9)에 의해 세정수의 양을 정확하게 검출하지 못하게 되어 세정수와 케미컬의 정확한 농도의 혼합이 용이하지 않다.

상기와 같이 케미컬이 유입되면, 이 케미컬과 세정수를 고르게 혼합함과 아울러 균일한 온도를 유지하기 위하여 순환펌프(7)를 사용하여 상기 세정수 탱크(1)에 저장된 세정수 및 케미컬을 순환시킨다.

그러나, 세정수와 케미컬의 혼합된 상태에서 순환펌프(7)를 사용하여 순환시키면, 세정수와 케미컬이 균일한 비율로 섞이는데 까지 시간이 지연되며, 이는 세정수 탱크(1)에 세정수와 케미컬을 일정시간 동안 보관한 후 사용해야 하기 때문에 세정수를 필요로하는 공정이 지연될 수 있다.

또한, 세정수 탱크(1)에는 배기구(8)가 마련되어 기포(9)를 제거하고 있으나, 기포(9)의 양이 대량인 경우 기포(9)를 완전하게 제거할 수 없는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 세정수의 공급과정에서 발생되는 기포에 의한 영향을 제거할 수 있는 케미컬 저장 탱크를 제공함에 그 목적이 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 세정수와 케미컬을 보다 빠르게 혼합할 수 있는 케미컬 저장 탱크를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 사용된 세정수를 저장하는 세정수 탱크와, 그 세정수 탱크에 저장된 세정수에 정량의 케미컬을 공급하는 케미컬 공급부와, 상기 세정수 탱크에 저장된 세정수와 케미컬을 순환시키는 순환펌프를 포함하는 케미컬 저장 장치에 있어서, 상기 세정수 탱크 내에 공급된 세정수에서 발생하는 기포를 세정수 탱크의 일부영역에 가두고, 그 기포를 공기와 세정수로 분리하는 기포분리기재를 더 포함하여 구성된다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

<실시예 1>

도 3은 본 발명에 따른 케미컬 저장 장치의 일실시 단면 모식도이다.

이를 참조하면, 본 발명에 따른 케미컬 저장 장치 일실시예는 세정수를 세정수 유입관(12)을 통해 유입 받아 저장하는 세정수 탱크(11)와, 상기 세정수 유입관(12)을 통해 유입되는 세정수에 포함된 기포(19)를 세정수 탱크(11) 일부에 가두며, 망을 통해 기포(19)의 공기와 세정수를 분리하는 기포분리기재(20)와, 케미컬 을 저장하는 케미컬 탱크(13)와, 상기 케미컬 탱크(13)에 저장된 케미컬을 세정수 탱크(11)로 유입시키는 케미컬 유입관(14)과, 상기 케미컬 유입관(14)을 통해 유입되는 케미컬의 양을 제어하는 밸브(15)와, 상기 세정수 탱크(11)의 저면에서 저장된 세정수를 가열하는 히터(16)와, 상기 저장된 세정수를 순환시키는 순환펌프(17)와, 상기 세정수 탱크(11)에 저장된 세정수의 높이를 측정하는 다수의 레벨센서(LS1~LS4)와, 세정수 탱크(11)에서 발생되는 공기 및 상기 기포분리기재(20)에 의해 분리된 공기를 외부로 유출시키는 배기구(18)를 포함하여 구성된다.

미설명 부호 10은 저장된 세정수를 유출하기 위한 유출관이다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 케미컬 저장 장치 일실시예의 구성 및 작용을 보다 상세히 설명한다.

도 4는 상기 기포분리기재(20)의 일실시 사시도이다.

이를 참조하면 기포분리기재(20)는 세정수 탱크(11)의 허용 최고 수위 이상에 위치하는 그물망(21)과, 상기 그물망(21)을 지지함과 아울러 기포(19)를 세정수 탱크(11)의 일부에 가두는 격벽(22)으로 구성된다.

상기 기포분리기재(20)는 세정수 탱크(11)의 저면에서 소정거리 이격된 위치에서 세정수 탱크(11)의 내측면에 밀착 고정된다.

상기 구조의 기포분리기재(20)가 세정수 탱크(11) 내에 설치된 상태에서 세정수 유입관(12)을 통해 세정수가 유입되면 세정수에 포함된 기포(19)는 상기 기포분리기재(20)의 격벽(22)과 세정수 탱크(11)의 내면 일부가 이루는 영역 내에 가두어진다.

상기 기포분리기재(20)의 격벽(22)과 세정수 탱크(11)의 저면 이격거리는 세정수가 그 세정수 탱크(11) 내에서 순환할 수 있을 정도의 높이로 한다.

이처럼 세정수가 세정수 탱크(11)에 유입되는 과정에서 발생되는 기포(19)는 기포분리기재(20)의 격벽(22)에 의해 세정수 탱크(11)의 레벨센서(LS1~LS4)에 의해 수위가 측정되는 부분과는 분리되어 위치한다.

이에 따라 상기 세정수의 수위는 레벨센서(LS1~LS4)에 의해 정확하게 측정될 수 있으며, 따라서 케미컬 탱크(13)에 저장된 케미컬을 밸브(15)의 조절에 의하여 일정한 양을 상기 케미컬 유입관(14)을 통해 세정수 탱크(11)로 유입시킴으로써 세정수와 케미컬의 비를 일정하게 할 수 있다.

상기 히터(16)는 사용된 세정수와 케미컬이 혼합된 세정수를 일정한 온도로 가열함과 아울러 세정수 탱크(11) 내에서 순환하도록 하여 그 세정수와 케미컬을 균일하게 섞는 작용을 하며, 상기 순환펌프(17)는 세정수와 케미컬을 보다 균일하게 섞으며, 온도 분포를 균일하게 하는 작용을 한다.

상기 도 3에 도시한 바와 같이 세정수 탱크(11) 내에 저장되는 세정수가 최고 수위에 도달한 경우, 상기 기포(19)의 위치는 기포분리기재(20)의 그물망(21)의 측면에 위치하게 된다.

이와 같은 상태에서 배기구(18)에 의해 세정수 탱크(11) 내의 공기가 배기되면서 기포(19)는 그물망(21)에 걸려 공기와 세정수가 분리된다. 이때 분리된 공기는 상기 배기구(18)를 통해 외부로 배출되고, 분리된 세정수는 상기 기포분리기재(20)의 일면을 따라 낙하하여 수거된다.

상기와 같이 본 발명에 따른 케미컬 저장 장치는 세정수를 저장하는 세정수 탱크(11) 내의 일부영역에 기포(19)를 가두고, 그 기포(19)를 공기와 세정수로 분리할 수 있는 수단을 구비하여 기포(19)에 의하여 세정수의 양이 오검출되는 것을 방지할 수 있다. 또한 세정수에 혼합되는 케미컬을 정량화하여 공급함으로써 정확한 농도의 세정수를 공급할 수 있게 된다.

<실시예2>

도 5는 본 발명에 따른 케미컬 저장 장치 다른 실시예의 단면 모식도이다.

이를 참조하면, 본 발명에 따른 케미컬 저장 장치 다른 실시예는 상기 실시예 1의 구성에서 밸브(15)에 의해 정량으로 공급되는 케미컬이 순환펌프(17)의 출력관으로 공급되도록 구성된다.

이는 하나의 실시예이며, 상기 케미컬이 공급되는 케미컬 유입관(14)을 상기 순환펌프(17)의 입력관에 연결되도록 하여도 동일 또는 유사한 효과를 얻을 수 있다.

이와 같이 케미컬을 세정수 탱크(11)에 직접 공급하지 않고, 순환펌프(17)에 의해 순환되는 세정수와 혼합되도록 함으로써, 그 세정수와 케미컬을 보다 빠르고 균일하게 섞을 수 있게 된다.

이와 같이 세정수와 케미컬을 순환펌프(17)를 이용하여 빠르게 섞기 때문에 케미컬이 일정농도 혼합된 세정수를 이용하는 공정이 지연되는 것을 방지할 수 있게 된다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.

상기한 바와 같이 본 발명은 세정수를 저장하는 세정수 탱크의 일부영역에서 기포를 가둬두며, 그 가둬진 기포를 공기와 세정수로 분리하는 수단을 구비하여, 대량의 기포가 유입되는 경우에도 세정수의 양을 정확하게 측정할 수 있게 됨으로써, 정확한 농도로 케미컬을 혼합할 수 있으며, 세정수의 양에 따라 히터를 정확하게 제어할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 케미컬을 순환펌프를 통해 순환되는 세정수에 혼합시킴으로써, 세정수와 케미컬을 보다 빠른 속도로 균일하게 혼합할 수 있게 되어, 일정농도의 케미컬을 포함하는 세정수를 사용하는 공정의 지연을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims

사용된 세정수를 저장하는 세정수 탱크와, 그 세정수 탱크에 저장된 세정수에 정량의 케미컬을 공급하는 케미컬 공급부와, 상기 세정수 탱크에 저장된 세정수와 케미컬을 순환시키는 순환펌프를 포함하는 케미컬 저장 장치에 있어서,

상기 세정수 탱크 내에 공급된 세정수에서 발생하는 기포를 세정수 탱크의 일부영역에 가두고, 그 기포를 공기와 세정수로 분리하는 기포분리기재를 더 포함하는 케미컬 저장 장치.
제1항에 있어서,

상기 기포분리기재는 세정수 내에서 기포의 이동을 방지하는 격벽과;

상기 격벽의 상부 일부에 위치하며, 기포를 공기와 세정수로 분리하는 그물망을 포함하는 케미컬 저장 장치.
제2항에 있어서,

상기 격벽은 상기 세정수 탱크의 저면과는 세정수가 원활하게 순환될 수 있는 정도로 이격되는 것을 특징으로 하는 케미컬 저장 장치.
제2항에 있어서,

상기 그물망은 상기 세정수 탱크에 저장 가능한 세정수의 최고 수위 이상에 위치하는 것을 특징으로 하는 케미컬 저장 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 기포분리기재는 발생된 기포를 레벨센서가 감지할 수 없는 영역에 가두는 것을 특징으로 하는 케미컬 저장 장치.
제1항에 있어서,

상기 케미컬 공급부는 정량의 케미컬을 세정수 탱크에 직접 공급하는 것을 특징으로 하는 케미컬 저장 장치.
제1항에 있어서,

상기 케미컬 공급부는 정량의 케미컬을 순환펌프의 순환관에 공급하는 것을 특징으로 하는 케미컬 저장 장치.