JP4515269B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態における基板処理装置1の構成の一例を示す図である。基板処理装置1は、複数の基板に対して一度に基板処理を行う、いわゆる「バッチ式」の装置である。図1に示すように、基板処理装置1は、主として、処理槽10と、外槽20と、処理槽10および外槽20のそれぞれから排出された処理液を再度処理槽10に供給させるために使用される配管51a、51b、52、61、62と、対応する配管に設けられており配管51a、51b、52、61、62を流れる処理液の流路を設定するバルブ42、47、56a、56b、57、66と、を備える。
図2は、本実施の形態における処理液の液交換処理を説明するためのタイミングチャートである。また、図3ないし図7は、液交換処理における処理液の流路を説明するための図である。ここでは、図2ないし図7を参照しつつ、本実施の形態の液交換処理の手順について説明する。
図8は、従来の液交換処理を説明するためのタイミングチャートである。ここでは、本実施の形態と液交換処理と従来の液交換処理とを比較する。
= {T1+T2+T3+(T7’+T6’)+T5}
−{T1+T2 +(T3 +T6 )+T5}
= T3+(T7’−T3)+(T6’−T6) ・・・ 数1
ここで、本実施の形態の内−内循環処理および温調処理は、処理液が処理槽10から外槽20に溢れ出す前の段階で開始されるため、T7’>T3、T6’>T6となる。すなわち、本実施の形態の液交換処理では、処理液の循環処理を開始するタイミング、および温調処理を開始するタイミングを、従来の液交換処理と比較して早くすることができる。また、上述のように、硫酸(処理液)投入時間T4と、硫酸(処理液)温調時間T5とは、それぞれの液交換処理において同一時間となる。したがって、ΔT>0となるため、本実施の形態の液交換処理は従来のものと比較して処理時間を短縮できる。
以上のように、本実施の形態の基板処理装置1は、処理槽10に貯留される処理液を交換する際において、外槽20に回収された処理液(例えば、純水)を排出する処理と、新たな処理液(例えば、硫酸)を処理槽10に供給する処理とを並行して実行できる。また、新た処理液が処理槽10から外槽20に溢れ出す前の段階において循環処理(内−内循環処理)が実行されて、温調部63による温調処理を実行できる。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
10 処理槽
13、23 レベルセンサ
17 処理液ノズル
20 外槽
40、45 供給ノズル
41 硫酸供給源
42、47、56a、56b、57、66 バルブ
43、48 流量計
44、49 配管
46 純水供給源
51a、51b 分岐排出管
52 共通排出管
53 ポンプ
59 排液ドレイン
61 供給管
62 分岐供給管
63 温調部
90 制御部
W 基板
Claims (5)
- 基板に対して処理を行う基板処理装置であって、
処理液を貯留する処理槽と、
前記処理槽に処理液を供給する第1供給部と、
前記処理槽の外側に設けられ、前記処理槽から溢れた処理液を回収する外槽と、
前記処理槽に貯留された処理液を排出する第1排出管と、
前記第1排出管に設けられる第1バルブと、
前記外槽に貯留された処理液を排出する第2排出管と、
前記第2排出管に設けられる第2バルブと、
前記第1排出管および前記第2排出管のそれぞれと接続されており、前記第1排出管および前記第2排出管を介して排出された処理液を排出する共通排出管と、
前記第1排出管および前記第2排出管を介して排出された処理液を前記処理槽へ供給する第2供給部と、
前記共通排出管と前記第2供給部と接続される供給管と、
前記供給管に設けられる第3バルブと、
前記供給管に設けられ、前記供給管を流通する処理液を温調する温調部と、
前記共通排出管において前記供給管が接続されている位置より下流側の位置に設けられる第4バルブと、
前記第1供給部からの処理液の供給と、前記第1バルブ、前記第2バルブ、前記第3バルブ、および前記第4バルブの開閉動作とを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記第1バルブ、前記第3バルブ、および前記第4バルブを開にさせ、前記第2バルブを閉にさせて前記処理槽に貯留された第1処理液を前記第1排出管および前記共通排出管を介して排出させるとともに、前記供給管に残留する第1処理液を前記供給管および前記共通排出管を介して排出させ、
前記第1供給部から前記処理槽へ第2処理液を供給させつつ、前記第2バルブを開にさせ、前記第1バルブ及び前記第3バルブを閉にさせて前記外槽に貯留された第1処理液を前記第2排出管および前記共通排出管を介して排出させ、
前記第1供給部から前記処理槽へ第2処理液を供給させつつ、前記第1バルブおよび前記第3バルブを開にさせ、前記第2バルブ及び前記第4バルブを閉にさせて前記処理槽に貯留された第2処理液を前記第1排出管、前記共通排出管、および前記供給管を介して前記第2供給部から前記処理槽へ循環させる第1循環処理を行わせ、
前記外槽に回収される第2処理液の回収量に基づいて、前記第1循環処理を停止させ、前記第1供給部から前記処理槽へ第2処理液を供給させつつ、前記第2バルブおよび前記第3バルブを開にさせ、前記第1バルブ及び前記第4バルブを閉にさせて前記外槽に回収された第2処理液を前記第2排出管、前記共通排出管、および前記供給管を介して前記第2供給部から前記処理槽へ循環させる第2循環処理を行わせることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記制御部は、前記処理槽内に貯留された第2処理液の貯留量に基づいて、前記第1の循環処理および前記温調部の動作のそれぞれを開始することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記制御部は、前記第1の循環処理が開始された後に、前記温調部の動作を開始することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記外槽における第2処理液の回収量を検出する回収量検出センサ、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2ないし請求項4のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記処理槽における第2処理液の貯留量を検出する貯留量検出センサ、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。
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