KR20070011372A - 시트 박리장치 및 박리방법 - Google Patents

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Abstract

시트(S)가 첩부된 웨이퍼(W)를 지지하는 박리용 테이블(11)과, 이 박리용 테이블(11)의 상방에 배치된 시트 박리유닛(12)을 구비하고, 당해 시트 박리유닛(12)과 박리용 테이블(11)을 상대적으로 이동시켜서 시트(S)가 박리 가능하게 설치된 박리장치(10)이며, 박리용 테이프(PT)의 지지 롤(20)과, 박리용 테이프(PT)를 시트(S)의 면에 접착시키는 제 1 및 제 2 롤(30, 31)과, 박리용 테이프(PT)의 권취 롤(21)을 구비한다. 제 2 롤(31)과 시트(S) 사이에 형성되는 간극(C)에 박리용 테이프(PT)를 절곡되도록 하여 초기 박리각도(α1)를 형성한 상태에서 박리를 행하고, 그 후에, 제 2 롤(31)의 직경에 따른 차기 박리각도(α2)로 시트(S)가 박리된다.
Figure 112006073583882-PCT00001
시트, 박리유닛, 박리용 테이프, 공급부, 권취부, 박리 헤드, 박리대상물, 시트 박리장치.

Description

시트 박리장치 및 박리방법{SHEET PEELING APPARATUS AND PEELING METHOD}
본 발명은 시트 박리장치 및 박리방법에 관한 것으로, 특히, 반도체 웨이퍼의 회로면에 첩부된 보호시트를 박리하는 것에 적합한 시트 박리장치 및 박리방법에 관한 것이다.
종래부터, 반도체 웨이퍼(이하, 단지, 「웨이퍼」라고 칭함)는, 극히 얇게 하는 연삭가공을 행할 때에, 회로면측에 보호시트를 첩부해 두는 것이 통상 행해지고 있고, 이 보호시트는 링 프레임에의 마운팅 공정 등을 종료한 후에 박리되는 것으로 되어 있다. 보호시트의 박리시에는, 웨이퍼가 대단히 얇기 때문에, 특별한 배려가 필요하게 되어 있다.
특허문헌 1 및 2에는, 전술한 보호시트의 박리장치 및 박리방법이 개시되어 있다. 동 문헌은, 복수의 롤을 조합함으로써 박리각도를 크게 확보하고, 웨이퍼의 면에 대해 가능한 한 평행한 방향으로 보호시트를 박리 가능하게 하여 웨이퍼의 균열 등을 방지하는 구성이 제안되어 있다.
특허문헌 1: 일본 특개2001-319906호 공보
특허문헌 2: 일본 특개2000-91281호 공보
그러나, 예를 들면 도 9에 도시되는 바와 같이, 칩의 회로면측에 전기적인 도통을 확보하기 위한 땜납 범프(이하, 「범프」라고 함)라고 칭하는 볼록부(100)가 회로면측에 형성된 웨이퍼(W)에 보호시트(S)가 첩부된 것을 박리의 대상물로 한 경우에 있어서, 특허문헌의 박리장치 및 박리방법에서는, 초기 박리각도(α1)가 180도에 근접한 각도이기 때문에, 웨이퍼(W)에 스트레스를 주지 않고 박리하는 것을 가능하게 하는 한편, 초기 박리각도(α1)를 최후까지 유지한 상태에서 보호시트(S)를 박리하는 구성으로 되어 있다. 그 때문에 볼록부(100) 사이에 보호시트(S)의 접착제(101)를 남기고 만다는 문제를 발생하게 된다.
또, 상기 특허문헌에 개시된 시트 박리장치에서는, 박리용의 롤이 웨이퍼의 면에 가압력을 부여한 상태에서 회전하면서 박리용 테이프를 첩부하고, 그 후 마찬가지로 웨이퍼면을 가압하면서 시트의 박리를 행하는 것이기 때문에, 시트의 박리저항과 가압력이 동시에 작용하게 되고, 이것이 웨이퍼에의 부하가 되어 당해 웨이퍼에 손상을 야기시킨다는 문제도 있다.
[발명의 목적]
본 발명은, 이러한 문제에 착목하여 안출된 것으로, 그 목적은, 시트를 박리할 때, 웨이퍼 등의 박리대상물에 깨짐 등이 발생하기 쉬운 초기의 박리각도를 특별히 설정하고, 그 후에 초기 박리각도보다도 작은 차기 박리각도를 유지하여 시트를 박리할 수 있게 하고, 범프 등의 볼록부가 존재하고 있는 경우의 접착제의 잔존을 회피할 수 있는 시트 박리장치 및 박리방법을 제공하는 것에 있다.
또, 본 발명의 다른 목적은, 시트를 박리함에 있어서, 웨이퍼 등의 박리대상물에의 부하를 최소한으로 억제하여 박리대상물 상의 시트를 박리할 수 있게 한 시트 박리장치 및 박리방법을 제공하는 것에 있다.
(발명을 해결하기 위한 수단)
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 시트가 첩부된 박리대상물을 지지하는 박리용 테이블과, 박리대상물의 면을 따라 상대적으로 이동 가능하게 설치된 시트 박리유닛을 구비하고, 당해 시트 박리유닛으로부터 풀려지는 박리용 테이프를 시트에 접착하여 권취함으로써 당해 시트가 박리 가능하게 설치된 박리장치에 있어서,
상기 박리유닛은, 박리용 테이프의 공급부와, 박리용 테이프의 권취부와, 이들 공급부 및 권취부 사이에 위치하는 박리 헤드를 구비하고,
상기 박리 헤드는, 상기 박리대상물의 단부위치에서 박리용 테이프를 반전하는 방향으로 절곡(折曲)시켜 박리방향을 박리대상물의 면을 따르게 하는 초기 박리각도를 형성하는 한편, 상기 절곡된 박리용 테이프의 권취로, 초기 박리각도보다도 작은 차기 박리각도를 형성하여 상기 보호 테이프를 박리한다고 하는 구성을 채택하고 있다.
또, 본 발명은, 시트가 첩부된 박리대상물을 지지하는 박리용 테이블과, 상기 박리대상물의 면을 따라 상대적으로 이동 가능하게 설치된 시트 박리유닛을 구비하고, 당해 시트 박리유닛으로부터 풀려지는 박리용 테이프를 시트에 접착하여 권취함으로써 당해 시트가 박리 가능하게 설치된 박리장치에 있어서,
상기 시트 박리유닛은 박리용 테이프의 공급부와, 박리용 테이프를 시트의 면에 접착시키는 제 1 롤과, 당해 제 1 롤이 시트에 접착하는 위치에서 당해 시트와의 사이에 간극을 형성하는 제 2 롤과, 상기 박리용 테이프의 권취부를 포함하고,
상기 제 1 롤과 제 2 롤 사이의 박리용 테이프를 부분적으로 느슨해지게 하여 제 2 롤과 시트 사이에서 박리용 테이프를 반전하는 방향으로 절곡시켜 초기 박리각도를 형성가능하게 하고,
상기 초기 박리각도로 시트를 박리한 후에, 상기 제 2 롤로 초기 박리각도보다도 작은 차기 박리각도로 시트를 박리 가능하게 한다, 라고 하는 구성을 채택하고 있다.
상기 시트 박리장치에 있어서, 상기 박리대상물은 반도체 웨이퍼이며, 상기 시트는 반도체 웨이퍼의 면을 보호하는 보호시트로 할 수 있다.
또한, 본 발명은 회로면에 범프를 구비하고 있음과 동시에, 당해 회로면에 시트가 첩부된 반도체 웨이퍼를 지지하는 박리용 테이블과, 이 박리용 테이블의 상방에 배치됨과 동시에, 상기 반도체 웨이퍼의 시트 첩부면을 따라 상대적으로 이동 가능하게 설치된 시트 박리유닛을 구비하고, 당해 시트 박리유닛으로부터 풀려지는 박리용 테이프를 시트에 접착하고 권취함으로써 당해 시트가 박리 가능하게 설치된 박리장치에 있어서,
상기 시트 박리유닛은 박리용 테이프의 공급부와, 박리용 테이프를 시트의 면에 접착시키는 제 1 롤과, 당해 제 1 롤이 시트에 접착하는 위치에서 시트와 사이에 간극을 형성하는 제 2 롤과, 상기 박리용 테이프의 권취부를 포함하고,
상기 제 1 롤과 제 2 롤 사이의 박리용 테이프를 부분적으로 느슨하게 하여 제 2 롤과 시트 사이에서 박리용 테이프를 반전하는 방향으로 절곡시켜 초기 박리각도를 형성가능하게 하고,
상기 초기 박리각도로 시트를 박리한 후에, 상기 제 2 롤로 초기 박리각도보다도 작은 차기 박리각도로 시트를 박리가능하게 한다, 라고 하는 구성을 채택하고 있다.
본 발명에서, 상기 박리 헤드와 상기 박리용 테이블의 상대거리를 조정하는 거리조정 장치를 더 포함하고,
상기 거리조정 장치는, 상기 박리 헤드가 시트를 박리대상물의 단부로부터 안쪽으로 향하는 초기 박리를 행할 때에, 상기 박리용 테이프를 시트에 첩부할 때와 대략 동일한 상대거리로 유지하는 한편, 초기 박리종료 후, 완전박리를 행하기까지의 동안에, 상기 상대거리를 확대하여 상기 박리 헤드를 박리대상물로부터 떨어지는 방향으로 유지한다, 라고 하는 구성을 채택할 수 있다.
또, 본 발명은, 박리대상물의 면에 첩부된 시트에 박리용 테이프를 접착하여 상기 시트를 박리하는 박리방법에 있어서,
상기 시트에 박리용 테이프를 접착함과 동시에, 당해 박리용 테이프를 박리대상물의 단부위치에서 반전하는 방향으로 절곡시켜 초기 박리각도를 형성하고,
상기 초기 박리각도로 시트의 단부를 박리대상물의 단부로부터 박리하고,
이어서, 상기 초기 박리각도보다도 작은 차기 박리각도를 유지하여 상기 시트를 박리한다, 라고 하는 방법을 채택하고 있다.
또, 상기 시트 박리방법에 있어서, 상기 박리대상물은 반도체 웨이퍼이며, 상기 시트는 반도체 웨이퍼의 면을 보호하는 보호시트로 할 수 있다.
또한, 본 발명은, 반도체 웨이퍼의 회로면에 범프가 형성됨과 동시에, 당해 회로면에 첩부된 시트에 박리용 테이프를 첩부하여 시트를 박리하는 박리방법에 있어서,
상기 박리용 테이프를 웨이퍼의 단부위치에 접착시키고,
박리용 테이프의 권취동작을 정지한 상태에서, 풀려지는 쪽의 박리용 테이프를 권취방향과는 반대쪽으로 인장력을 갖게 하고,
풀려지는 쪽의 박리용 테이프를 조금씩 풀어 박리용 테이프에 느슨함을 발생시키면서 당해 박리용 테이프를 반전하는 방향으로 절곡시켜 초기 박리각도를 형성하고,
이어서, 상기 초기 박리각도로 박리용 테이프를 권취하여 시트의 단부를 박리한 후,
상기 절곡된 부분을 권취하여 초기 박리각도보다도 작은 차기 박리각도로 상기 시트를 박리한다, 라고 하는 방법을 채택할 수 있다.
상기 박리방법에서, 상기 박리 헤드가 박리용 테이프를 시트에 첩부할 때에 박리대상물에 가압력을 부여하는 상대거리를 유지한 상태에서 상기 박리용 테이프를 권취하여 상기 시트의 초기 박리를 행한 후에,
상기 상대거리를 확대하여 상기 박리 헤드를 박리대상물로부터 떨어지게 한 상태에서, 상기 시트를 박리대상물로부터 완전하게 박리한다, 라고 하는 방법을 채택하면 된다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면, 초기 박리각도를 시트의 면을 가능한 한 따르는 각도로 하고, 그 후에 박리각도를 작게 하여 박리를 행하는 것이기 때문에, 시트가 첩부되어 있는 면에 범프 등의 볼록부가 존재하고 있는 경우에도, 당해 볼록부 사이에 접착제가 남지 않고 시트를 박리할 수 있다.
또, 박리대상물로부터 시트를 박리할 때에, 초기 박리 시에만 가압력이 부여되고, 그 후의 완전 박리에 이르기까지의 동안은, 박리대상물에의 가압력이 해제된 상태로 행할 수도 있다. 따라서, 가압력을 박리대상물에 대해 계속적으로 부여한 채 시트를 박리하는 경우에 비해 박리대상물에의 부하를 적게 할 수 있고, 이것에 의해 박리대상물이 웨이퍼 등의 부서지기 쉬운 부재이어도, 당해 박리대상물의 손상을 한층더 효과적으로 회피할 수 있다.
도 1은 시트 박리유닛의 개략 정면도,
도 2는 시트를 시트 박리유닛에서 박리하는 초기단계를 도시하는 개략 정면도,
도 3은 상기 시트가 박리되는 최종단계를 도시하는 개략정면도,
도 4는 (A)~(D)는 상기 시트 박리장치의 동작 설명도,
도 5는 (A)는 시트의 초기 박리각도와 차기 박리각도를 도시하는 단면도, (B)는 시트를 박리한 후의 범프 첩부 웨이퍼의 확대 단면도,
도 6은 변형예를 도시하는 시트 박리장치의 동작 도중을 도시하는 개략 정면도,
도 7은 웨이퍼로부터 시트를 완전하게 박리한 상태를 도시하는 변형예에 따른 시트 박리장치의 개략 정면도,
도 8은 (A)~(E)는 변형예에 따른 시트 박리장치의 동작 설명도,
도 9는 (A)는 범프 부착한 웨이퍼에 첩부된 시트를 박리하는 종래의 박리 장치로 박리하는 경우를 도시하는 개략적인 단면도, (B)는 도 9(A)의 일부 확대 단면도, (C)는 시트를 박리한 후의 상태를 도시하는 확대단면도,
(부호의 설명)
10 시트 박리장치 11 박리용 테이블
12 시트 박리유닛 22 박리 헤드
24 실린더(거리조정 장치) W 반도체 웨이퍼(박리대상물)
S 보호시트 PT 박리용 테이프
α1 초기 박리각도 α2 차기 박리각도
(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)
이하, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1에는, 본 실시형태에 따른 시트 박리장치의 개략 정면도가 도시되어 있다. 이 도면에서, 시트 박리장치(10)는 박리대상물로서의 웨이퍼(W)를 지지하는 박리용 테이블(11)과, 이 박리용 테이블(11)의 상부에 상대 배치된 시트 박리유 닛(12)을 구비하여 구성되어 있다.
상기 웨이퍼(W)는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 링 프레임(RF)에 마운팅 테이프(MT) 및 다이본딩 시트(DS)를 통하여 지지되어 있고, 당해 웨이퍼(W)의 회로면측(도 1 중 상면측)에 보호시트(S)가 첩부되어 있다. 이 보호시트(S)는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 실시형태에서는, 자외선경화형 접착제를 통하여 첩부되어 있다.
상기 박리용 테이블(11)은, 가이드 레일 등을 통하여 도 1 중 화살표 A방향으로 이동 가능하게 설치되어 있는 동시에, 상면측(웨이퍼 지지면측)에 다수의 흡착구멍을 설치하여 박리대상물인 웨이퍼(W)를 상기 마운팅 테이프(MT) 및 다이본딩 시트(DS)를 통하여 흡착지지 할 수 있도록 설치되어 있다. 또한, 흡착구멍을 설치하는 것 대신, 다공질 부재를 배치하여 웨이퍼(W)를 흡착지지 할 수 있도록 구성할 수도 있다.
상기 시트 박리유닛(12)은 박리용 테이블(11)에 지지된 웨이퍼(W)로부터 상기 보호시트(S)를 박리하는 것이다. 이 시트 박리유닛(12)은, 박리용 테이블(11)의 상방에 위치하여 박리용 테이프(PT)의 공급부를 구성하는 지지 롤(20)과, 판 형상의 프레임(F)의 영역 내에 설치됨과 동시에 박리용 테이프(PT)의 권취부를 구성하는 권취 롤(21)과, 박리용 테이프(PT)를 보호시트(S)의 단부에 소정의 가압력을 부여하여 접착함과 동시에, 접착된 박리용 테이프(PT)를 권취함으로써 보호시트(S)를 웨이퍼(W)로부터 박리하는 박리 헤드(22)와, 이 박리 헤드(22)를 박리용 테이블(11)에 대해 이간 접근시키는 방향으로 승강시키는 거리조정 장치로서의 실린 더(24)와, 박리 헤드(22)와 지지 롤(20) 사이에 설치된 가이드 롤(26)과, 박리용 테이프(PT)의 권취력을 부여하는 모터(M1)의 출력축에 고정된 구동 롤(27)과, 이 구동 롤(27)과의 사이에 박리용 테이프(PT)를 끼워 넣는 핀치 롤(29)과, 상기 권취 롤(21)을 권취방향으로 회전 구동하는 모터(M2)를 구비하여 구성되어 있다. 또한, 상기 지지 롤(20)은 모터(M3)의 출력축에 연결되어 있고, 이것에 의해, 박리용 테이프(PT)의 풀려지는 방향과는 역방향으로 회전력을 부여하여 박리용 테이프(PT)에 작은 텐션을 줄 수 있게 되어 있다. 본 실시형태에서는, 프레임(F)을 수평이동 시키지 않고 박리용 테이블(11)이 수평방향으로 이동하도록 설치되어 있는데, 프레임(F)을 박리용 테이블(11)에 대해 수평방향으로 상대적으로 이동 가능하게 형성해도 된다.
상기 박리 헤드(22)는, 헤드 본체(22A)와, 이 헤드 본체(22A)에 지지되어 박리용 테이프(PT)를 보호시트(S)의 단부 상면에 소정의 가압력을 부여하여 접착시키는 제 1 롤(30)과, 박리용 테이프(PT)가 통과가능한 간격을 두고 제 1 롤(30)의 횡방향으로 병설된 제 2 롤(31)과, 제 1 롤(30)의 상부에 배치된 제 3 롤(32)로 구성되어 있다. 제 2 롤(31)은 제 1 롤(30)보다도 작은 직경으로 설치되어 있고, 제 1 롤(30)에 감겨 걸친 박리용 테이프(PT)가 보호시트(S)에 접촉했을 때에, 보호시트(S)의 면에 대해 간극(C)(도 4(A) 참조)을 형성할 수 있는 높이 위치에 설치되고, 이것에 의해, 후술하는 초기 박리각도(α1)(도 4(C) 참조)를 형성한 상태에서, 보호시트(S)의 초기 박리를 행할 수 있게 되어 있다. 또, 제 3 롤(32)은 박리용 테이프(PT)를 안내하는 안내 롤로 되어 있다.
상기 거리조정 장치를 구성하는 실린더(24)는, 프레임(F)에 지지된 실린더 본체(35)와, 이 실린더 본체(35)로부터 하방으로 뻗어나옴과 동시에, 하단부에 상기 헤드 본체(22A)가 고정된 피스톤 로드(36)를 구비하여 구성되어 있다. 이 실린더(24)는, 박리 시에, 피스톤 로드(36)가 신장하여 제 1 롤(30)로 박리용 테이프(PT)를 보호시트(S)의 단부 상면에 가압 접착하도록 박리 헤드(22)와 박리용 테이블(11)의 상대거리를 유지하게 되어 있다.
다음에 본 실시형태에 따른 시트 박리방법에 대해 설명한다.
링 프레임(RF)에 다이본딩 시트(DS)를 통하여 마운팅 된 웨이퍼(W)는 미리 자외선조사 되어서 보호시트(S)의 자외선경화형 접착제가 경화된다. 그리고, 도 2 및 도 4(A)에 도시되는 바와 같이, 박리 헤드부(22)를 하강시켜서 제 1 롤(30)의 최하부와 웨이퍼(W)의 단부(WE)를 서로 접착시킨다. 그리고, 권취용 모터(M2)를 정지상태에 유지하는 한편, 지지 롤(20)은 박리용 테이프(PT)의 풀려지는 방향과는 반대의 방향으로 작은 힘으로 당해 박리용 테이프(PT)에 텐션을 부여하는 정도로 회전가압해 둔다.
박리 테이블(11)이 박리 헤드부(22)에 대해 도 4 중 우측으로 상대적으로 이동하고 박리용 테이프(PT)가 이것에 대응하여 풀려지게 되는데, 이 시점에서는 권취용 모터(M2)는 정지상태로 유지되어 있으므로, 박리용 테이프(PT)로 절곡 부분이 형성된다(도 4(B) 참조).
도 4(C)에 도시되는 바와 같이, 박리용 테이프(PT)에 형성되는 상기 절곡 부분을 간극(C)에 밀고 들어가게 하면, 초기 박리각도(α1)가 형성된다. 또한, 초기 박리각도(α1)를 확실하게 형성하기 위해서, 도 4(A)~(C)의 공정을 2~3회 반복해도 된다.
초기 박리각도(α1)가 형성되면, 모터(M1)가 구동하고, 제 1 롤(30)의 외주면을 박리용 테이프(PT)가 꼭 맞게 따르게 된다(도 4(D) 참조). 이렇게 하여 박리용 테이프(PT)가 제 1 롤(30)의 외주면을 꼭 맞게 따르는 상태에서, 당해 롤 직경에 의해 결정되는 차기 박리각도(α2)(도 5(A) 참조)를 유지하여 보호시트(S)가 웨이퍼(W)의 반대측의 단부까지 박리되게 된다(도 3 참조). 또한, 도 5에서는, 웨이퍼(W)의 회로면에 범프(B)가 형성된 경우를 도시하고 있고, 당해 범프(B) 상에 보호시트(S)가 설치되어 있는 경우에는, 범프(B) 사이에 존재하는 접착제(A)는, 상기 차기 박리각도(α2)에 의해 제거되도록 작용함으로써 웨이퍼(W) 상에 잔존시키지 않고 보호시트(S)에 부착시켜 박리할 수 있다. 또, 웨이퍼(W)에 범프가 존재하지 않는 경우이더라도, 초기 박리각도(α1)에서 박리가 개시되기 때문에, 그 후의 차기 박리각도(α2)가 초기 박리각도(α1)보다 작아져도 웨이퍼(W)에 균열 등을 생기게 하는 스트레스는 가해지지 않는다. 이것은, 웨이퍼와 같이 박판재료에 첩부된 시트를 박리하는 경우에, 초기의 박리각도가 가장 문제가 되는 것이며, 박리가 개시된 후의 차기 박리각도는 균열 등을 발생시키는 요인으로서는 낮은 것에 기인한다. 그 후, 초기단계에서 UV경화된 보호시트(S)가 시트 박리장치(10)에 의해 웨이퍼 회로면으로부터 박리된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 상기 실시형태에 의하면, 특히, 범프(B)를 구비한 회로면측에 첩부된 보호시트를 박리하는 경우이더라도, 초기의 박 리를 웨이퍼면 방향으로 가능한 한 따르게 하는 큰 박리각도로 행하여 웨이퍼에의 스트레스를 회피할 수 있고, 초기 박리가 완료된 후에, 상대적으로 각도를 작게 한 차기 박리각도(α2)로 보호시트를 박리함으로써, 범프(B) 사이에 존재하는 접착제(A)가 웨이퍼(W)의 면에 대해 대략 바로 위를 향하게 제거되는 박리력을 받고, 이것에 의해 범프(B) 사이에 보호시트(S)의 접착제(A)를 남기는 것도 방지할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있는데, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.
즉, 본 발명은 주로 특정한 실시형태에 관해 특별히 도시, 설명되어 있는데, 본 발명의 기술적 사상 및 목적의 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관하여, 필요에 따라서 당업자가 여러 변경을 부하할 수 있는 것이다.
예를 들면 상기 실시형태에서는, 제 1 롤(30)이 웨이퍼면에 접한 상태를 유지한 채 초기 박리로부터 완전박리까지를 행하는 구성으로 했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 6 내지 도 8에 도시되는 박리를 행할 수도 있다. 즉, 초기 박리시에, 실린더(35)의 피스톤 로드(36)가 신장하여 제 1 롤(30)로 박리용 테이프(PT)를 보호시트(S)의 단부 상면에 가압 접착하도록 박리 헤드(22)와 박리용 테이블(11)의 상대거리를 유지하는 한편, 초기 박리가 끝난 후의 완전박리에 이르기까지의 동안에 있어서는, 상기 상대거리를 확대하여 제 1 롤(30)을 웨이퍼(W)로부터 멀어지는 상방으로 이동시킨 상태를 유지하도록 하고, 이것에 의해, 차기 박리각도(α2)를 형성하여 박리를 행할 수 있다.
즉, 박리용 테이프(PT)가 제 1 롤(30)의 외주면을 꼭 맞게 따르는 상태가 되었을 때(도 8(D) 참조), 또는, 이 직전 상태에서, 상기 실린더(24)를 구동하여 박리 헤드(22)를 상승시키고, 제 1 롤(30)을 시트(S)로부터 멀어지도록 웨이퍼(W)로부터 상승한 위치로 유지할 수 있다. 이 상대거리 등에 의해 차기 박리각도(α2)(도 6, 도 8(E) 참조)가 형성되고, 당해 각도(α2)를 유지한 상태에서, 모터(M1)를 구동하면서 박리용 테이블(11)이 우측으로 이동함으로써, 보호시트(S)가 웨이퍼(W)의 면으로부터 완전하게 박리되게 된다(도 7 참조).
차기 박리각도(α2)에 의한 박리시에는, 제 1 롤(30)에 의한 가압력의 해제와 아울러 웨이퍼(W)에 균열 등을 생기게 하는 스트레스가 가해지지 않는다. 또한, 웨이퍼 회로면에 범프가 형성되어 있는 경우에는, 상기 차기 박리각도(α2)와, 제 1 롤(30)이 상승한 위치가 서로 작용하여, 범프간에 존재하는 접착제는, 상방으로 제거되는 것과 같은 작용을 보다 강하게 받고, 이것에 의해, 웨이퍼(W) 상에 접착제를 잔존 시키지 않고 보호시트(S)를 박리할 수 있다.
이러한 변형예를 채용한 경우에는, 가압력을 웨이퍼(W)에 대해 계속적으로 부여한 채 보호시트(S)를 박리하는 경우에 비해 웨이퍼(W)에의 부하를 적게 할 수 있게 된다. 따라서, 웨이퍼 등의 부서지기 쉬운 부재에 보호시트(S)가 첩부되어 당해 보호시트(S)를 웨이퍼(W)로부터 박리하는 경우이어도, 웨이퍼(W)의 손상을 회피하는 것이 가능하게 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 실린더(24)가 박리 헤드(22)의 위치를 상하방향 으로 조정하는 것으로 했는데, 박리용 테이블(11)을 상하로 이동시키는 실린더를 박리용 테이블(11)측에 형성해도 된다. 또한, 박리용 테이프(PT)는 연속된 띠형상의 것에 한하지 않고, 낱장 형상의 테이프를 사용할 수도 있다. 이 경우에는, 박리 헤드(22)에 낱장 형상의 박리용 테이프의 공급장치를 설치함으로써 대응할 수 있다.
또, 상기 실시형태에서의 박리 헤드(22)는, 도시 구성예에 한정되는 것은 아니고, 박리용 테이프(PT)를 절곡 동작을 시켜서 초기 박리각도를 형성하고, 그 후에, 차기 박리각도를 형성 가능하게 하는 구조이면 충분하다. 또, 초기 박리각도(α1)는 보호시트(S)를 웨이퍼(W) 등의 박리대상물의 단부로부터 박리할 때에, 당해 박리대상물에 균열 등의 손상을 주지 않는 범위에서 결정할 수 있는 것이며, 차기 박리각도(α2)는, 초기 박리각도(α1)보다도 작고, 접착제 등의 잔존을 최대한 없앨 수 있는 범위에서 결정할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 박리장치의 박리대상물로서는, 웨이퍼(W)에 한정되는 것은 아니고, 시트, 필름이 첩부된 박리대상물로부터 당해 시트 등을 박리하는 경우에도 적용할 수 있다.

Claims (9)

  1. 시트가 첩부된 박리대상물을 지지하는 박리용 테이블과, 박리대상물의 면을 따라 상대적으로 이동 가능하게 설치된 시트 박리유닛을 구비하고, 당해 시트 박리유닛으로부터 풀려지는 박리용 테이프를 시트에 접착하여 권취함으로써 당해 시트가 박리 가능하게 설치된 박리장치에 있어서,
    상기 박리유닛은, 박리용 테이프의 공급부와, 박리용 테이프의 권취부와, 이들 공급부 및 권취부 사이에 위치하는 박리 헤드를 구비하고,
    상기 박리 헤드는 상기 박리대상물의 단부위치에서 박리용 테이프를 반전하는 방향으로 절곡시켜 박리방향을 박리대상물의 면을 따르게 하는 초기 박리각도를 형성하는 한편, 상기 절곡된 박리용 테이프의 권취로, 초기 박리각도보다도 작은 차기 박리각도를 형성하여 상기 시트를 박리 가능하게 한 것을 특징으로 하는 시트 박리장치.
  2. 시트가 첩부된 박리대상물을 지지하는 박리용 테이블과, 상기 박리대상물의 면을 따라 상대적으로 이동 가능하게 설치된 시트 박리유닛을 구비하고, 당해 시트 박리유닛으로부터 풀려지는 박리용 테이프를 시트에 접착하여 권취함으로써 당해 시트가 박리 가능하게 설치된 박리장치에 있어서,
    상기 시트 박리유닛은, 박리용 테이프의 공급부와, 박리용 테이프를 시트의 면에 접착시키는 제 1 롤과, 당해 제 1 롤이 시트에 접착되는 위치에서 당해 시트 와의 사이에 간극을 형성하는 제 2 롤과, 상기 박리용 테이프의 권취부를 포함하고,
    상기 제 1 롤과 제 2 롤 사이의 박리용 테이프를 부분적으로 느슨하게 하여 제 2 롤과 시트 사이에서 박리용 테이프를 반전하는 방향으로 절곡시켜 초기 박리각도를 형성 가능하게 하고,
    상기 초기 박리각도로 시트를 박리한 후에, 상기 제 2 롤로 초기 박리각도보다도 작은 차기 박리각도로 시트를 박리 가능하게 한 것을 특징으로 하는 시트 박리장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 박리대상물은 반도체 웨이퍼이며, 상기 시트는 반도체 웨이퍼의 면을 보호하는 보호시트인 것을 특징으로 하는 시트 박리장치.
  4. 회로면에 범프를 구비하고 있는 동시에, 당해 회로면에 시트가 첩부된 반도체 웨이퍼를 지지하는 박리용 테이블과, 이 박리용 테이블의 상방에 배치됨과 동시에, 상기 반도체 웨이퍼의 시트 첩부면을 따라 상대적으로 이동 가능하게 설치된 시트 박리유닛을 구비하고, 당해 시트 박리유닛으로부터 풀려지는 박리용 테이프를 시트에 접착하여 권취함으로써 당해 시트가 박리 가능하게 설치된 박리장치에 있어서,
    상기 시트 박리유닛은, 박리용 테이프의 공급부와, 박리용 테이프를 시트의 면에 접착시키는 제 1 롤과, 당해 제 1 롤이 시트에 접착하는 위치에서 시트와의 사이에 간극을 형성하는 제 2 롤과, 상기 박리용 테이프의 권취부를 포함하고,
    상기 제 1 롤과 제 2 롤 사이의 박리용 테이프를 부분적으로 느슨하게 하여 제 2 롤과 시트와의 사이에서 박리용 테이프를 반전하는 방향으로 절곡시켜 초기 박리각도를 형성 가능하게 하고,
    상기 초기 박리각도로 시트를 박리한 후에, 상기 제 2 롤로 초기 박리각도보다도 작은 차기 박리각도로 시트를 박리 가능하게 한 것을 특징으로 하는 시트 박리장치.
  5. 제 1 항, 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 박리 헤드와 상기 박리용 테이블과의 상대거리를 조정하는 거리조정 장치를 더 포함하고,
    상기 거리조정 장치는, 상기 박리 헤드가 시트를 박리대상물의 단부로부터 안쪽을 향하는 초기 박리를 행할 때에, 상기 박리용 테이프를 시트에 첩부할 때와 대략 동일한 상대거리로 유지하는 한편, 초기 박리종료 후, 완전박리를 행하기까지의 동안에, 상기 상대거리를 확대하여 상기 박리 헤드를 박리대상물로부터 멀어지는 방향으로 유지하는 것을 특징으로 하는 시트 박리장치.
  6. 박리대상물의 면에 첩부된 시트에 박리용 테이프를 접착하여 상기 시트를 박리하는 박리방법에 있어서,
    상기 시트에 박리용 테이프를 접착함과 동시에, 당해 박리용 테이프를 박리 대상물의 단부위치에서 반전하는 방향으로 절곡시켜 초기 박리각도를 형성하고,
    상기 초기 박리각도로 시트의 단부를 박리대상물의 단부로부터 박리하고,
    이어서, 상기 초기 박리각도보다도 작은 차기 박리각도를 유지하여 상기 시트를 박리하는 것을 특징으로 하는 시트 박리방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 박리대상물은 반도체 웨이퍼이며, 상기 시트는 반도체 웨이퍼의 면을 보호하는 보호시트인 것을 특징으로 하는 시트 박리방법.
  8. 반도체 웨이퍼의 회로면에 범프가 형성됨과 동시에, 당해 회로면에 첩부된 시트에 박리용 테이프를 첩부하여 시트를 박리하는 박리방법에 있어서,
    상기 박리용 테이프를 웨이퍼의 단부위치에 접착시키고,
    박리용 테이프의 권취동작을 정지한 상태에서, 풀려지는 쪽의 박리용 테이프를 권취방향과는 반대쪽으로 인장력을 갖게 하고,
    풀려지는 쪽의 박리용 테이프를 조금씩 풀어 박리용 테이프에 느슨함을 발생시키면서 당해 박리용 테이프를 반전하는 방향으로 절곡시켜 초기 박리각도를 형성하고,
    이어서, 상기 초기 박리각도로 박리용 테이프를 권취하여 시트의 단부를 박리한 후,
    상기 절곡된 부분을 권취하여 초기 박리각도보다도 작은 차기 박리각도로 상기 시트를 박리하는 것을 특징으로 하는 시트 박리방법.
  9. 제 6 항, 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 박리 헤드가 박리용 테이프를 시트에 첩부할 때에 박리대상물에 가압력을 부여하는 상대거리를 유지한 상태에서 상기 박리용 테이프를 권취하여 상기 시트의 초기 박리를 행한 후에,
    상기 상대거리를 확대하여 상기 박리 헤드를 박리대상물로부터 멀어지게 한 상태에서, 상기 시트를 박리대상물로부터 완전하게 박리하는 것을 특징으로 하는 시트 박리방법.
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