TWI685908B - 卸膜裝置及其應用之作業設備 - Google Patents

Abstract

一種卸膜裝置，包含承置機構及卸膜機構，該承置機構係於基座設有至少一承置部件，以承置一具膠膜之載框模組，該卸膜機構係於承置機構之上方設有架置器，並於架置器裝配至少一卸膜驅動源，以驅動具至少一卸膜部件之卸膜具作第一方向位移，使得卸膜具之卸膜部件沖壓該載框模組之膠膜脫離框架 ，進而自動化卸除載框模組之膠膜，達到提升卸膜便利性及生產效能之實用效益。

Description

卸膜裝置及其應用之作業設備

本發明係提供一種自動化卸除載框模組之膠膜，進而提升卸膜便利性及生產效能之卸膜裝置。

在現今，載框模組係廣泛應用於承置電子元件執行預設作業，例如載框模組可承置一片晶圓執行切割作業，亦或承置複數個電子元件執行濺鍍作業；以載框模組承置複數個電子元件為例，請參閱第１圖，該載框模組１０包含框架１１及膠膜１２，該框架１１係具有中空孔洞１１１，並於底面貼覆有膠膜１２，該膠膜１２係以頂面近外部之第一貼合部１２１貼合於框架１１之底面，再以相對於框架１１之中空孔洞１１１位置的第二貼合部１２２，以供黏附複數個電子元件１３，工作人員即可將一具有複數個電子元件１３之載框模組１０搬運至濺鍍作業設備而執行濺鍍作業。

然，電子元件１３於完成濺鍍作業後，工作人員為了於膠膜１２之第二貼合部１２２取下電子元件１３，必須利用ＵＶ燈（圖未示出）照射膠膜１２之第二貼合部１２２，以大幅降低第二貼合部１２２之黏著力，再以人工方式將膠膜１２上之電子元件１３逐一取出，並放置於收料盤（圖未示出）收置以利出廠。

惟，載框模組１０之膠膜１２經濺鍍作業後，膠膜１２之第二貼合部１２２已喪失黏著力，而無法繼續黏附下一批待濺鍍之電子元件，工作人員必須以人工方式將膠膜１２由框架１１底面撕除更新，但因膠膜１２貼合於框架１１底面之第一貼合部１２１仍具有黏著力，導致工作人員必須費力耗時將膠膜１２之第一貼合部１２１由框架１１底面撕除，方可卸除膠膜１２，不僅人工卸膜作業不便，更無法提高生產效能。

本發明之目的一，係提供一種卸膜裝置，包含承置機構及卸膜機構，該承置機構係於基座設有至少一承置部件，以承置一具膠膜之載框模組，該卸膜機構係於承置機構之上方設有架置器，並於架置器裝配至少一卸膜驅動源，以驅動具至少一卸膜部件之卸膜具作第一方向位移，使得卸膜具之卸膜部件沖壓該載框模組之膠膜脫離框架，進而自動化卸除載框模組之膠膜，達到提升卸膜便利性及生產效能之實用效益。

本發明之目的二，係提供一種卸膜裝置，其中，該卸膜機構之卸膜具係設有多段式卸膜部件，以利作多段式沖壓載框模組之膠膜脫離框架，而有效防止載框模組之框架受損，達到提高使用效能之實用效益。

本發明之目的三，係提供一種卸膜裝置，其中，該卸膜裝置更包含載送機構，以自動化輸入至少一待卸膜之載框模組至承置機構，而供卸膜機構卸除膠膜，再輸出已卸膜之載框模組，進而自動化輸送載框模組，達到提高生產效能之實用效益。

本發明之目的四，係提供一種卸膜裝置，其中，該卸膜裝置更包含定位機構，以定位載送機構上之載框模組，而利於執行預設作業（如卸膜作業或取出電子元件作業），達到提升使用效能之實用效益。

本發明之目的五，係提供一種應用卸膜裝置之作業設備，包含機台、置框裝置、卸膜裝置及中央控制裝置，該置框裝置係裝配於機台，並設有至少一置框器，以容置載框模組；本發明卸膜裝置係裝配於機台，並包含承置機構、卸膜機構及載送機構，該載送機構係設有載送器及至少一移框器，載送器係載送載框模組，移框器係於置框裝置與載送器之間載送待卸膜之載框模組 ，承置機構及卸膜機構係自動化卸除載框模組之膠膜；該中央控制裝置係用以控制及整合各裝置作動，以執行自動化作業，達到提升作業效能之實用效益。

本發明之目的六，係提供一種應用卸膜裝置之作業設備，包含機台、置框裝置、卸膜裝置、置料裝置及中央控制裝置，該置框裝置係裝配於機台，並設有至少一置框器，以容置載框模組，該置料裝置係設有至少一置料器 ，以收置電子元件；本發明卸膜裝置係裝配於機台，並包含承置機構、卸膜機構及載送機構，該載送機構係設有載送器、至少一移框器及至少一移料器，載送器係載送載框模組，移框器係於置框裝置與載送器之間載送待卸膜之載框模組，移料器係於置料裝置與載框模組之間移載電子元件，該承置機構及卸膜機構係自動化卸除載框模組之膠膜；該中央控制裝置係用以控制及整合各裝置作動，以執行自動化作業，達到提升作業效能之實用效益。

為使　貴審查委員對本發明作更進一步之瞭解，茲舉一較佳實施例並配合圖式，詳述如後：

請參閱第２、３圖，係本發明卸膜裝置２０之第一實施例，其包含承置機構２１及卸膜機構２２，更包含載送機構２３及定位機構２４，以及於承置機構２１之下方裝配一收膜器２５，以收置膠膜，於本實施例中，卸膜裝置２０之各元件的配置方向及作動方向係以第一方向為Ｚ方向，第二方向為Ｙ方向及第三方向為Ｘ方向。

該承置機構２１係設有基座２１１，並於基座２１１設有至少一承置部件２１２，更進一步，承置部件２１２可為基座２１１之頂面，或為可獨立位移作動之部件，於本實施例中，承置機構２１係於二呈Ｙ方向配置之第一固定架２１３裝配基座２１１，基座２１１之內部開設有一貫穿頂面及底面之通孔２１４，並於通孔２１４之外周側配置複數個作第一方向位移之承置部件２１２，承置部件２１２係由壓缸驅動位移，以供帶動一具框架及膠膜之載框模組（圖未示出）作Ｚ方向位移。

該卸膜機構２２係於承置機構２１之上方裝配架置器２２１，並於架置器２２１裝配至少一卸膜驅動源，以驅動具有至少一卸膜部件之卸膜具作第一方向位移，使卸膜具之卸膜部件沖壓該載框模組之膠膜脫離框架；更進一步，架置器２２１係設有至少一架體，若為複數個架體，複數個架體可採鎖固方式組裝，亦或使位於上方之架體可作開啟或蓋閤之動作；於本實施例中，架置器２２１包含第一架體２２１１及第二架體２２１２，第一架體２２１１係固設於承置機構２１之二呈Ｘ方向配置的第二固定架２１５上，第二架體２２１２則裝配於第一架體２２１１上方，以供裝配卸膜驅動源，更進一步，卸膜驅動源可為壓缸或線性馬達，亦或包含馬達及傳動具，於本實施例中，係於第二架體２２１２裝配複數個為壓缸之第一卸膜驅動源２２２１、第二卸膜驅動源２２２２及第三卸膜驅動源２２２３，更進一步，卸膜具可利用底部之水平平面作為卸膜部件，亦或卸膜具可於底部設有斜度，以形成複數段之卸膜部件，亦或卸膜具包含複數個獨立作動之卸膜部件，前述方式均可使卸膜具作一次式或多段式沖壓載框模組之膠膜；於本實施例中，卸膜具包含第一卸膜部件２２３１、第二卸膜部件２２３２及第三卸膜部件２２３３，第一卸膜部件２２３１、第二卸膜部件２２３２分別由位於外側之第一卸膜驅動源２２２１及第二卸膜驅動源２２２２驅動作Ｚ方向位移，第三卸膜部件２２３３則由位於中間位置之第三卸膜驅動源２２２３驅動作Ｚ方向位移，第一卸膜部件２２３１及第二卸膜部件２２３２可同步作第一段沖壓該載框模組之膠膜二側部位，第三卸膜部件２２３３則接續作第二段沖壓該膠膜之中間部位，以作多段式沖壓膠膜；再者，卸膜具係於卸膜部件之底部設有至少一頂沖件，於本實施例中 ，係於第一卸膜部件２２３１及第二卸膜部件２２３２之底部近外側分別設置複數個第一頂沖件２２３４及第二頂沖件２２３５，以及於第三卸膜部件２２３３之底部設置複數個第三頂沖件２２３６，由於第一頂沖件２２３４、第二頂沖件２２３５及第三頂沖件２２３６係為斜塊設計，而可減少與膠膜之接觸面積，利用複數個第一頂沖件２２３４、第二頂沖件２２３５及第三頂沖件２２３６有效防止卸膜具黏附膠膜。

該載送機構２３係設有至少一載送器，以自動化輸入至少一待卸膜之載框模組至承置機構２１，而供卸膜機構２２卸除膠膜，再輸出已卸膜之載框模組；於本實施例中，載送器係設有一為馬達２３１之載送驅動源，以驅動二位於第二固定架２１５且為皮帶輪組２３２之載送具，二皮帶輪組２３２係將載框模組依序輸送至入框區、取料區、卸膜區及出框區，若載框模組上具有電子元件，則可於取料區供移料器（圖未示出）執行取料作業，再將載框模組輸送至卸膜區，以供卸膜機構２２執行卸膜作業。

該定位機構２４係設有至少一定位件，以定位載框模組，而利於執行預設作業（如卸膜作業或取出電子元件作業），於本實施例中，係於卸膜機構２２之第二側設置作第三方向位移之第一定位件２４１，以抵擋該皮帶輪組２３２輸送至卸膜機構２２下方之載框模組，使載框模組於卸膜區準確進行卸膜作業；另定位機構２４係於皮帶輪組２３２之第二側設有第二定位件２４２及第三定位件２４３，第二定位件２４２係抵擋已卸膜之載框模組，第三定位件２４３則作第三方向位移推移已卸膜之載框模組靠抵於第二定位件２４２ ，以於出框區定位已卸膜之載框模組；又定位機構２４係於皮帶輪組２３２之第一側設有第四定位件２４４、第五定位件２４５及第六定位件２４６，第四定位件２４４係抵擋待卸膜之載框模組，第五定位件２４５則作第三方向位移推移待卸膜之載框模組靠抵於第四定位件２４４，第六定位件２４６則作第一方向位移壓抵待卸膜之載框模組，以於取料區定位載框模組。

請參閱第４圖，該待卸膜之載框模組３０包含框架３１及膠膜３２，於執行卸膜作業，卸膜裝置２０係以載送機構２３之馬達２３１驅動皮帶輪組２３２，令皮帶輪組２３２輸送位於入框區之待卸膜載框模組３０作Ｘ方向位移至取料區，若載框模組３０之膠膜３２上具有電子元件，卸膜裝置２０係以定位機構２４之第四定位件２４４、第五定位件２４５及第六定位件２４６於取料區定位載框模組３０，以供移料器（圖未示出）取料，若載框模組３０之膠膜３２上並無電子元件，則皮帶輪組２３２係將待卸膜之載框模組３０輸送至卸膜區。

請參閱第５、６圖，當載送機構２３之皮帶輪組２３２將待卸膜之載框模組３０輸送至卸膜區，並令載框模組３０位於承置機構２１的承置部件２１２及卸膜機構２２的卸膜具之間，承置機構２１係以複數個承置部件２１２作Ｚ方向向上位移頂升承置皮帶輪組２３２上之載框模組３０，並使載框模組３０之框架３１頂抵於卸膜機構２２之第一架體２２１１底部而定位。

請參閱第７、８、９圖，該卸膜機構２２係以第一卸膜驅動源２２２１及第二卸膜驅動源２２２２驅動第一卸膜部件２２３１及第二卸膜部件２２３２作Ｚ方向向下位移，令第一卸膜部件２２３１之複數個第一頂沖件２２３４及第二卸膜部件２２３２之複數個第二頂沖件２２３５同步作第一段沖壓載框模組３０之膠膜３２二側部位，以使膠膜３２之二側部位先行脫離框架３１；接著卸膜機構２２係以第三卸膜驅動源２２２３驅動第三卸膜部件２２３３作Ｚ方向向下位移，令第三卸膜部件２２３３之複數個第三頂沖件２２３６作第二段沖壓膠膜３２之中間部位，使得膠膜３２完全脫離框架３１；膠膜３２則通過基座２１１之通孔２１４掉入於收膜器２５收置，該卸膜機構２２之第一卸膜驅動源２２２１、第二卸膜驅動源２２２２及第三卸膜驅動源２２２３則驅動第一卸膜部件２２３１、第二卸膜部件２２３２及第三卸膜部件２２３３作Ｚ方向向上位移復位，該承置機構２１之複數個承置部件２１２則承置已卸膜之載框模組３０作Ｚ方向向下位移，並置放於皮帶輪組２３２上。

請參閱第１０圖，載送機構２３之皮帶輪組２３２係將卸膜區之已卸膜載框模組３０作Ｘ方向載送至出框區，載框模組３０之框架３１即頂抵於第二定位件２４２，定位機構２４並以第三定位件２４３作Ｘ方向位移頂掣於框架３１，使框架３１定位於出框區之預設出框位置，以供移框器（圖未示出）準確移框收置，達到自動化卸膜而提高生產效能之實用效益。

請參閱第１１圖，係本發明卸膜機構２２之第二實施例，其與第一實施例之差異在於卸膜機構２２係以一第四卸膜驅動源２２４１驅動卸膜具 ，該卸膜具之底面具有斜度，並由一側部位朝向另一側部位逐漸向上傾斜，使得卸膜具之底面形成複數段之第四卸膜部件２２４２、第五卸膜部件２２４３及第六卸膜部件２２４４，以利作多段式沖壓膠膜；卸膜具另於第四卸膜部件２２４２、第五卸膜部件２２４３及第六卸膜部件２２４４分別設有第四頂沖件２２４５、第五頂沖件２２４６及第六頂沖件２２４７，以頂沖接觸膠膜，進而有效防止卸膜具黏附膠膜。

請參閱第２、３、１２圖，係本發明卸膜裝置２０之第一實施例應用於電子元件作業設備之示意圖，包含機台４０、置框裝置５０、卸膜裝置２０及中央控制裝置（圖未示出），更進一步，作業設備包含置料裝置６０；該置框裝置５０係裝配於機台４０，並設有至少一置框器，以容置載框模組３０，於本實施例中，置框裝置５０係設有第一置框器５１及第二置框器５２，第一置框器５１係容置至少一待卸膜之載框模組３０，載框模組３０之膠膜３２係承置第一電子元件７１及第二電子元件７２，第二置框器５２則容置已卸膜且具空框架３１之載框模組３０；該置料裝置６０係裝配於機台４０，並設有至少一置料器，以收置電子元件，於本實施例中，係設有第一置料器６１及第二置料器６２，第一置料器６１係承置第一電子元件７１， 第二置料器６２係承置第二電子元件７２；本發明卸膜裝置２０係裝配於機台４０，並包含承置機構２１、卸膜機構２２、載送機構２３及定位機構２４，其中，該載送機構２３另設置至少一移框器及至少一移料器，移框器係於置框裝置５０與載送器之間載送該載框模組３０，移料器係於置料裝置６０與載框模組３０之間移載電子元件，於本實施例中，該載送機構２３係以第一移框器２３３作Ｙ方向位移於置框裝置５０之第一置框器５１取出待卸膜之載框模組３０，再以第二移框器２３４作Ｚ方向位移承接第一移框器２３３上待卸膜之載框模組３０，並將待卸膜之載框模組３０移載至載送器之皮帶輪組２３２上，皮帶輪組２３２係將待卸膜之載框模組３０由入框區移載至取料區，定位機構２４係定位待卸膜之載框模組３０，該載送機構２３係以第一移料器２３５作Ｘ－Ｙ－Ｚ方向位移於待卸膜之載框模組３０取出第一電子元件７１，並移載至第一置料器６１收置，再以第二移料器２３６作Ｘ－Ｙ－Ｚ方向位移於待卸膜之載框模組３０取出第二電子元件７２，並移載至第二置料器６２收置，於完成取料作業後，定位機構２４解除對待卸膜載框模組３０之定位，皮帶輪組２３２將待卸膜之載框模組３０由取料區移載至卸膜區，該承置機構２１及卸膜機構２２係自動化卸除載框模組３０之膠膜３２，皮帶輪組２３２再將已卸膜之載框模組３０由卸膜區移載至出框區，該載送機構２３係以第三移框器２３７作Ｚ方向位移頂升承置皮帶輪組２３２上之已卸膜載框模組３０，再以第四移框器２３８作Ｙ方向位移取出第三移框器２３７上之已卸膜載框模組３０，並移載至置框裝置５０之第二置框器５２收置；中央控制裝置係用以控制及整合各裝置作動，以執行自動化作業，達到提升作業效能之實用效益。

［習知］

１０‧‧‧載框模組

１１‧‧‧框架

１１１‧‧‧中空孔洞

１２‧‧‧膠膜

１２１‧‧‧第一貼合部

１２２‧‧‧第二貼合部

１３‧‧‧電子元件

［本發明］

２０‧‧‧卸膜裝置

２１‧‧‧承置機構

２１１‧‧‧基座

２１２‧‧‧承置部件

２１３‧‧‧第一固定架

２１４‧‧‧通孔

２１５‧‧‧第二固定架

２２‧‧‧卸膜機構

２２１‧‧‧架置器

２２１１‧‧‧第一架體

２２１２‧‧‧第二架體

２２２１‧‧‧第一卸膜驅動源

２２２２‧‧‧第二卸膜驅動源

２２２３‧‧‧第三卸膜驅動源

２２３１‧‧‧第一卸膜部件

２２３２‧‧‧第二卸膜部件

２２３３‧‧‧第三卸膜部件

２２３４‧‧‧第一頂沖件

２２３５‧‧‧第二頂沖件

２２３６‧‧‧第三頂沖件

２２４１‧‧‧第四卸膜驅動源

２２４２‧‧‧第四卸膜部件

２２４３‧‧‧第五卸膜部件

２２４４‧‧‧第六卸膜部件

２２４５‧‧‧第四頂沖件

２２４６‧‧‧第五頂沖件

２２４７‧‧‧第六頂沖件

２３‧‧‧載送機構

２３１‧‧‧馬達

２３２‧‧‧皮帶輪組

２３３‧‧‧第一移框器

２３４‧‧‧第二移框器

２３５‧‧‧第一移料器

２３６‧‧‧第二移料器

２３７‧‧‧第三移框器

２３８‧‧‧第四移框器

２４‧‧‧定位機構

２４１‧‧‧第一定位件

２４２‧‧‧第二定位件

２４３‧‧‧第三定位件

２４４‧‧‧第四定位件

２４５‧‧‧第五定位件

２４６‧‧‧第六定位件

２５‧‧‧收膜器

３０‧‧‧載框模組

３１‧‧‧框架

３２‧‧‧膠膜

４０‧‧‧機台

５０‧‧‧置框裝置

５１‧‧‧第一置框器

５２‧‧‧第二置框器

６０‧‧‧置料裝置

６１‧‧‧第一置料器

６２‧‧‧第二置料器

７１‧‧‧第一電子元件

７２‧‧‧第二電子元件

第１圖：習知載框模組及電子元件之示意圖。 第２圖：本發明卸膜裝置第一實施例之俯視圖。 第３圖：本發明卸膜裝置第一實施例之局部示意圖。 第４圖：本發明卸膜裝置第一實施例之使用示意圖（一）。 第５圖：本發明卸膜裝置第一實施例之使用示意圖（二）。 第６圖：本發明卸膜裝置第一實施例之使用示意圖（三）。 第７圖：本發明卸膜裝置第一實施例之使用示意圖（四）。 第８圖：本發明卸膜裝置第一實施例之使用示意圖（五）。 第９圖：本發明卸膜裝置第一實施例之使用示意圖（六）。 第１０圖：本發明卸膜裝置第一實施例之使用示意圖（七）。 第１１圖：本發明卸膜機構第二實施例之示意圖。 第１２圖：本發明卸膜裝置第一實施例應用於作業設備之示意圖。

22‧‧‧卸膜機構

2221‧‧‧第一卸膜驅動源

2222‧‧‧第二卸膜驅動源

2231‧‧‧第一卸膜部件

2232‧‧‧第二卸膜部件

2234‧‧‧第一頂沖件

2235‧‧‧第二頂沖件

30‧‧‧載框模組

31‧‧‧框架

32‧‧‧膠膜

Claims (9)

1. 一種卸膜裝置，包含：承置機構：係設置至少一基座，並於該基座設有至少一承置部件，以承置一具膠膜之載框模組；卸膜機構：係於該承置機構之上方設有架置器，該架置器裝配至少一卸膜驅動源，該卸膜驅動源驅動具有至少一卸膜部件之卸膜具作第一方向位移，該卸膜具之卸膜部件卸除該載框模組之膠膜；其中，該卸膜機構之卸膜具係於底部設有斜度，以形成複數段卸膜部件，並由一卸膜驅動源驅動該卸膜具作第一方向位移。
2. 一種卸膜裝置，包含：承置機構：係設置至少一基座，並於該基座設有至少一承置部件，以承置一具膠膜之載框模組；卸膜機構：係於該承置機構之上方設有架置器，該架置器裝配至少一卸膜驅動源，該卸膜驅動源驅動具有至少一卸膜部件之卸膜具作第一方向位移，該卸膜具之卸膜部件卸除該載框模組之膠膜；其中，該卸膜機構之卸膜具包含複數個獨立作動之卸膜部件，並由複數個膜驅動源驅動該複數個卸膜部件位移。
3. 依申請專利範圍第1或2項所述之卸膜裝置，其中，該承置機構之基座係開設通孔。
4. 依申請專利範圍第1或2項所述之卸膜裝置，其中，該卸膜具係於該卸膜部件設有至少一頂沖件。
5. 依申請專利範圍第1或2項所述之卸膜裝置，更包含載送機構，該載送機構係設有至少一載送器，以輸送該載框模組。
6. 依申請專利範圍第5項所述之卸膜裝置，其中，該載送機構係設置至少一移框器，以移載該載框模組。
7. 依申請專利範圍第5項所述之卸膜裝置，其中，該載送機構係設置至少一移料器，以移載該載框模組上之電子元件。
8. 依申請專利範圍第5項所述之卸膜裝置，更包含定位機構，該定位機構係設有至少一定位器，以定位載框模組。
9. 一種應用卸膜裝置之作業設備，包含：機台；置框裝置：係裝配於該機台，並設有至少一置框器，以容置載框模組；至少一依申請專利範圍第6項所述之卸膜裝置：係裝配於該機台；中央控制裝置：係用以控制及整合各裝置作動，以執行自動化作業。

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