KR20060050066A - 전기 광학 장치, 실장 구조체 및 전자 기기 - Google Patents

전기 광학 장치, 실장 구조체 및 전자 기기 Download PDF

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KR20060050066A
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신이치 고바야시
아츠나리 츠다
후사시 기무라
사키코 미야가와
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세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 신호 감쇠가 최대한 억제된, 기판 상에 실장된 반도체 소자와 배선 기판이 접속하여 이루어지는 실장 구조체, 신호 감쇠가 최대한 억제된 표시 특성이 양호한 전기 광학 장치, 그 전기 광학 장치를 이용한 전자 기기를 제공하는 것이다. 전기 광학 물질을 유지하는 기판(20)과, 기판(20) 상에 마련된 기판측 제 1 배선 및 기판측 제 2 배선(25)과, 기판(20) 상에 배치된 반도체 소자(30)와, 반도체 소자(30)의 기판쪽 면에 마련된 제 1 입력용 범프 및 제 2 입력용 범프와, 반도체 소자(30)의 기판(20)쪽 면에 마련되어, 기판측 제 1 배선과 접속되는 출력용 범프와, 기판(20) 상에 실장된 베이스 기재(41)와, 베이스 기재(41)에 마련되어, 제 1 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 제 1 배선(42a)과, 베이스 기재(41)에 마련되어, 기판측 제 2 배선(25)을 거쳐서 상기 제 2 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 제 2 배선(42b)을 구비한다.

Description

전기 광학 장치, 실장 구조체 및 전자 기기{ELECTROOPTICAL DEVICE, MOUNTING STRUCTURE, AND ELECTRONIC APPARATUS}
도 1은 실시예 1에 따른 액정 장치의 개략 사시도,
도 2는 도 1의 선 A-A'로 절단한 액정 장치의 개략 단면도,
도 3은 실시예 1에 따른 액정 장치의 개략 회로 구성도,
도 4는 실시예 1에 따른 플렉서블 배선 기판의 부분 확대도이며 개략 사시도,
도 5는 실시예 1에 따른 액정 장치의 부분 개략 사시도,
도 6은 도 5에 대응하는 평면도,
도 7은 도 6의 선 B-B', C-C'로 각각 절단한 액정 장치의 부분 단면도,
도 8은 실시예 1에 따른 액정 장치의 제조 공정도,
도 9는 실시예 2 및 실시예 3에 따른 액정 장치의 개략 사시도,
도 10은 실시예 2에 따른 플렉서블 배선 기판의 부분 확대도이며 개략 사시도,
도 11은 실시예 2에 따른 액정 장치의 부분 개략 사시도,
도 12는 도 11에 대응하는 평면도,
도 13은 도 12의 선 D-D', E-E'로 각각 절단한 액정 장치의 부분 단면도,
도 14는 실시예 2에 따른 액정 장치의 제조 공정도,
도 15는 실시예 3에 따른 플렉서블 배선 기판의 부분 확대도이며 개략 사시도,
도 16은 실시예 3에 따른 액정 장치의 부분 개략 사시도,
도 17은 도 16에 대응하는 평면도,
도 18은 도 17의 선 F-F', G-G'로 각각 절단한 액정 장치의 부분 단면도,
도 19는 실시예 3에 따른 액정 장치의 제조 공정도,
도 20은 구동용 IC의 실장면의 개략 평면도,
도 21은 플렉서블 배선 기판의 변형예를 나타내는 부분 확대도이며 개략 사시도,
도 22는 실시예에 따른 전자 기기의 표시 제어계의 전체 구성을 나타내는 개략 구성도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1, 101, 201 : 액정 장치 20 : 어레이 기판
25 : 입력용 배선 26, 26' : 출력용 배선
30, 130 : 구동용 IC 30a, 130a : 구동용 IC의 실장면
31, 131 : 출력용 범프 32a, 132a : 제 1 입력용 범프
32b, 132b, 132c : 제 2 입력용 범프
41, 141, 241, 341 : 베이스 기재
42a, 142a, 242a, 342a : 제 1 배선
42a' : 돌출부
42b, 142b, 242b, 242c, 342c : 제 2 배선
51 : ACF 60 : 액정
79 : 그라운드 신호 141a, 241a : 제 1 면
141b, 241b : 제 2 면 141c, 241c : 본체 부분
141d, 241d : 돌출부 150, 250 : 중첩부
300 : 전자 기기
본 발명은, 기판 상에 실장된 반도체 소자와 배선 기판이 전기적으로 접속되는 실장 구조체, 그 실장 구조체를 이용한 전기 광학 장치, 그 전기 광학 장치를 이용한 전자 기기에 관한 것이다.
전기 광학 장치, 예컨대 COG(Chip on Glass) 방식의 액정 장치는, 한 쌍의 기판 사이에 액정을 봉입한 액정 패널과, 액정 패널의 기판 상에 실장된 반도체 소자와, 당해 반도체 소자와 전기적으로 접속되는 플렉서블 배선 기판과, 액정 패널에 대하여 플렉서블 배선 기판 및 반도체 소자를 거쳐서 신호를 공급하는 회로 기판을 갖고 있다. 액정 패널의 기판 상에는, 표시 영역 내에 마련되는 전극과, 당 해 전극과 반도체 소자를 전기적으로 접속하는 접속 배선과, 반도체 소자와 플렉서블 배선 기판을 전기적으로 접속하는 입력용 배선이 마련된다. 전극에는, 회로 기판으로부터, 플렉서블 배선 기판, 입력용 배선, 반도체 소자, 그리고 접속 배선을 거쳐서, 신호가 입력된다(예컨대, 특허 문헌 1 참조).
[특허 문헌 1] 일본국 특허 공개 평성 2001-154601호 공보(단락[0026]∼[0028], 도 1, 도 2)
그러나, 상술한 바와 같은 구성의 액정 장치에 있어서는, 플렉서블 배선 기판으로부터 전극에 대하여 입력되는 신호는, 기판 상에 마련된 입력용 배선을 거쳐서 입력되게 된다. 이 때문에 입력용 배선의 배선 저항에 의해 신호가 감쇠하여, 표시 특성이 열화된다는 문제가 있었다.
본 발명은, 상술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 신호 감쇠가 최대한 억제된, 기판 상에 실장된 반도체 소자와 배선 기판이 접속하여 이루어지는 실장 구조체, 신호 감쇠가 최대한 억제되어, 표시 특성이 양호한 전기 광학 장치, 그 전기 광학 장치를 이용한 전자 기기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 전기 광학 장치는, 전기 광학 물질을 유지하는 기판과, 상기 기판 상에 마련된 기판측 제 1 배선 및 기판측 제 2 배 선과, 상기 기판 상에 배치된 반도체 소자와, 상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련된 제 1 입력용 범프 및 제 2 입력용 범프와, 상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련되어, 상기 기판측 제 1 배선과 접속되는 출력용 범프와, 상기 기판 상에 실장된 베이스 기재와, 상기 베이스 기재에 마련되어, 상기 제 1 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 제 1 배선과, 상기 베이스 기재에 마련되어, 상기 기판측 제 2 배선을 거쳐서 상기 제 2 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 제 2 배선을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명과 같은 구성에 의하면, 베이스 기재에 마련되는 제 1 배선은, 기판 상에 마련된 기판측 제 2 배선을 거치지 않고 제 1 입력용 범프에 전기적으로 접속하기 때문에, 제 1 입력용 범프를 거쳐서 반도체 소자에 입력되는 신호는, 기판 상에 마련되는 기판측 제 2 배선의 배선 저항에 의한 신호의 감쇠가 없다. 따라서, 전기 광학 장치에 대하여 입력되는 화상 신호의 감쇠가 최대한 억제되어 있기 때문에, 양호한 표시 특성을 갖는 전기 광학 장치를 얻을 수 있다. 또한, 제 1 배선을 거쳐서 입력되는 신호에 있어서는, 기판 상의 기판측 제 2 배선으로 인한 임피던스에 대해서는 고려할 필요가 없기 때문에, 회로 전체의 임피던스 정합을 용이하고 또한 확실하게 취할 수 있다. 또한, 베이스 기재에 마련되는 배선의 일부인 제 1 배선을 거의 직접 제 1 입력용 범프에 전기적으로 접속시키고, 나머지의 배선인 제 2 배선을 기판 상에 마련되는 기판측 제 2 배선을 거쳐서 전기적으로 접속시킴으로써, 신호의 감쇠가 최대한 억제되고 표시 특성이 좋고, 또한 소형화가 가능한 전기 광학 장치를 얻을 수 있다. 즉, 일반적으로, 반도체 소자의 범프간 피치는, 베이 스 기재에 마련되는 배선간 피치보다 좁게 되어 있기 때문에, 예컨대, 베이스 기재에 마련되는 모든 배선을, 본 발명의 제 1 배선과 같이 기판 상에 마련되는 기판측 제 2 배선을 거치지 않고, 반도체 소자의 입력용 범프와 전기적으로 접속하고자 하면, 범프간 피치를 넓게 잡을 필요가 있어, 반도체 소자의 크기가 커져, 결과적으로 액정 장치가 커져 버린다. 이에 대하여, 본 발명에 있어서는, 베이스 기재에 마련되는 배선의 일부만(제 1 배선)을, 기판 상의 기판측 제 2 배선을 거치지 않고 제 1 입력용 범프와 전기적으로 접속하고, 다른 배선(제 2 배선)은 종래와 같이 기판 상의 기판측 제 2 배선을 거쳐서 제 2 입력용 범프에 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 예컨대 제 2 배선에 전기적으로 접속되는 기판측 제 2 배선을 평면적으로 굴곡하는 패턴 형상으로 하는 것에 의해, 반도체 소자의 크기를 크게하지 않고, 범프간 피치가 좁은 반도체 소자에 대하여도 문제 없이 베이스 기재에 마련되는 배선과 반도체 소자의 입력용 범프를 전기적으로 접속할 수 있다. 그리고, 예컨대, 기판 상에 마련되는 기판측 제 2 배선의 배선 저항에 의한 신호의 감쇠가 현저히 나타내는 고속 신호를 제 1 배선에 입력하는 경우, 기판 상에 마련되는 기판측 제 2 배선의 배선 저항에 의한 신호 감쇠의 문제가 없기 때문에, 감쇠가 최대한 억제된 고속 신호를 반도체 소자에 대하여 입력할 수 있다. 또한, 기판 상에 마련되는 기판측 제 2 배선의 배선 저항에 의한 신호의 감쇠가 크게 문제가 되지 않는 저속 신호를 제 2 배선에 입력함으로써, 제 2 배선과 전기적으로 접속되는 기판측 제 2 배선의 형상을 굴곡하는 패턴 형상으로 하는 등으로 기판측 제 2 배선이 마련되는 영역을 작게 할 수 있어, 전기 광학 장치의 소형화를 실현할 수 있다. 따라 서, 베이스 기재에 마련되는 배선을 거쳐서 입력되는 신호의 감쇠가 최대한 억제된 표시 특성이 좋고, 소형화가 가능한 전기 광학 장치를 얻을 수 있다. 또한, 기판측 제 2 배선에는 그라운드 배선도 포함된다.
또한, 상기 제 1 배선은, 상기 베이스 기재로부터 돌출되어 있는 돌출부를 갖고, 당해 돌출부에서 상기 제 1 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 한다.
이와 같이, 제 1 배선을 베이스 기재로부터 돌출되게 하는 형상으로 할 수 있다.
또한, 상기 베이스 기재는, 상기 기판과 평면적으로 겹치는 중첩부를 갖고, 상기 제 1 배선은, 상기 중첩부의 상기 기판쪽과는 반대쪽에 마련되어, 상기 중첩부 상에서 상기 제 1 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 제 1 배선은 베이스 기재로부터 돌출되지 않고 베이스 기재에 마련되기 때문에, 베이스 기재로부터 돌출하여 제 1 배선을 마련하는 경우와 비교하여, 제 1 배선이 꺾이기 어려워 단선하기 어렵다. 따라서, 제 1 배선의 단선에 의한 전기 광학 장치의 표시 특성의 열화를 방지할 수 있다.
또한, 상기 제 2 배선은 상기 중첩부의 상기 기판측에 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 베이스 기재의 양면에 각각 제 1 배선, 제 2 배선이 마련되기 때문에, 한 면에만 배선을 마련하는 경우와 비교하여, 같은 크기의 베이스 기재에 대하여 보다 많은 배선을 마련할 수 있어, 결과적으로 배선 기판 전체의 크기를 작게 할 수 있다.
또한, 상기 제 1 배선에는 고속 신호가 입력되는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 신호의 감쇠가 최대한 억제된 고속 신호가 입력되기 때문에, 표시 특성이 좋은 전기 광학 장치를 얻을 수 있다. 예컨대, 고속 신호가, 기판 상에 마련되는 기판측 제 2 배선을 거쳐서 반도체 소자에 입력되면, 기판측 제 2 배선의 배선 저항에 의해 신호가 감쇠되어, 양호한 표시 특성을 갖는 전기 광학 장치를 얻을 수 없는 우려가 있다. 이에 대하여, 고속 신호가 입력되는 제 1 배선을 기판 상에 마련되는 기판측 제 2 배선을 거치지 않고 반도체 소자의 입력용 범프에 전기적으로 접속되는 구성으로 하는 것에 의해, 신호의 감쇠가 최대한 억제되어, 표시 특성이 좋은 전기 광학 장치를 얻을 수 있다. 여기서, 고속 신호란, 소진폭의 작동 신호를 예로 하는 신호로 50㎒ 이상의 고주파의 신호를 가리킨다. 또한, 제 1 배선에는 고속 신호만이 입력되는 것이 바람직하지만, 베이스 기재에 마련되는 모든 배선을 기판측 제 2 배선을 거치지 않고서 접속할 수 있는 것이라면, 모든 배선을 기판측 제 2 배선을 거치지 않고서 반도체 소자와 접속시키더라도 좋다. 특히, 베이스 기재의 양면에 배선을 마련하는 구조라면, 베이스 기재의 소형화가 가능하기 때문에, 모든 배선을 기판측 제 2 배선을 거치지 않고서 접속하는 데 적합한다.
또한, 상기 제 1 입력용 범프는 상기 제 2 입력용 범프보다 높이가 낮은 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 입력용 범프와 배선의 전기적 접속 불량이 적고, 표 시 불량이 없는 전기 광학 장치를 얻을 수 있다. 제 1 배선과 이에 전기적으로 접속되는 제 1 입력용 범프가 접속되는 영역에서의 접속 구조와, 제 2 배선에 전기적으로 접속되는 기판측 제 2 배선과 제 2 입력용 범프가 접속되는 영역에서의 접속 구조는 다르다. 즉, 제 1 배선과 제 1 입력용 범프가 접속되는 영역에는 기판측 제 2 배선이 위치하지 않는 데 대하여, 기판측 제 2 배선과 제 2 입력용 범프가 접속되는 영역에는 기판측 제 2 배선이 위치한다. 따라서, 반도체 소자의 기판쪽 면과 기판면이 거의 평행이 되도록 반도체 소자를 배치하기 위해서는, 제 1 입력용 범프의 높이와 제 2 입력용 범프의 높이를 조정하는 것이 바람직하다. 여기서, 예컨대, 제 1 입력용 범프의 높이와 제 2 입력용 범프의 높이를 같게 하여, 기판의 제 2 입력용 범프에 대응한 위치에 두께 조정용의 층을 마련하는 것도 가능하지만, 이 경우, 이러한 두께 조정용의 층을 마련하는 공정이 별도로 필요해져, 제조 효율이 나쁘다. 또한, 제 1 입력용 범프의 높이와 제 2 입력용 범프의 높이를 같게 하여, 입력용 범프와, 제 1 배선 및 기판측 제 2 배선을, 도전성 접착재에 의해 접속할 때에, 반도체 소자의 기판쪽 면과 기판면이 거의 평행이 되도록 가압하여 반도체 소자를 배치하는 것도 가능하지만, 제 2 입력용 범프와 기판측 제 2 배선의 접속 불량이 발생해 버리는 경우가 있다. 이에 대하여, 미리, 제 1 입력용 범프와 제 2 입력용 범프에서는 베이스 기재에 마련되는 배선과의 접속 구조가 다른 것을 고려하여, 높이가 다른 제 1 입력용 범프 및 제 2 입력용 범프를 마련하는 것에 의해, 제조 효율이 좋고, 접속 불량에 의한 표시 불량이 없는 전기 광학 장치를 얻을 수 있다.
또한, 상기 제 1 배선은 적어도 상기 기판과 평면적으로 겹치는 부분에 있어서 직선적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 제 1 배선 자신의 배선 저항을 최소한으로 억제할 수 있어, 보다 감쇠가 적은 양호한 고속 신호를 반도체 소자에 대하여 입력할 수 있다.
또한, 상기 제 2 배선에는 그라운드 신호가 입력되는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 제 2 배선에 그라운드 신호가 입력되는 구성으로 해도 좋다. 그리고, 예컨대, 베이스 기재의 기판측에 그라운드 신호가 입력되는 제 2 배선을 마련하는 것은 임피던스 정합에 유효하다.
또한, 상기 베이스 기재는, 본체 부분으로부터 돌출된 돌출부를 갖고, 상기 제 1 배선은 상기 돌출부에 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 베이스 기재에 돌출부를 마련하고, 이 돌출부에 제 1 배선을 마련할 수 있다. 또한, 예컨대 베이스 기재의 돌출부 이외에 다른 배선을 마련하여, 이 배선을 기판측 제 2 배선을 거쳐서 제 2 입력용 범프와 전기적으로 접속시킬 수 있다. 이때, 제 1 배선과 이에 전기적으로 접속되는 제 1 입력용 범프가 접속되는 영역에서는 베이스 기재가 위치하는 데 대하여, 베이스 기재의 돌출 이외에 마련된 배선에 전기적으로 접속되는 기판측 제 2 배선과 제 2 입력용 범프가 접속되는 영역에서는 베이스 기재가 위치하지 않는다. 이와 같이 제 1 입력용 범프와 제 2 입력용 범프는, 베이스 기재에 마련되는 배선과의 접속 구조가 다르기 때문에, 반도체 소자의 기판쪽 면과 기판면이 거의 평행이 되도록 반도체 소자를 배치하기 위해 서, 제 1 배선과 전기적으로 접속되는 제 1 입력용 범프의 높이와, 그 이외의 제 2 입력용 범프의 높이를 조정하는 것이 바람직하다. 따라서, 베이스 기재의 돌출부 이외에 다른 배선을 마련하고, 그 배선을 기판측 제 2 배선을 거쳐서 제 2 입력용 범프와 접속되는 구성으로 하는 것에 의해, 베이스 기재와 반도체 소자가 평면적으로 겹치는 영역을 적게 할 수 있기 때문에, 그 만큼 제 1 배선과 전기적으로 접속되는 제 1 입력용 범프와 같게 높이를 조정할 필요가 있는 범프가 감소되어, 조정이 용이해진다.
본 발명의 다른 전기 광학 장치는, 전기 광학 물질을 유지하는 기판과, 상기 기판 상에 마련된 기판측 배선과, 상기 기판 상에 배치된 반도체 소자와, 상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련된 입력용 범프와, 상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련되어, 상기 기판측 배선과 접속되는 출력용 범프와, 상기 기판 상에 실장된 베이스 기재와, 상기 베이스 기재에 마련되어, 상기 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 배선을 구비하고, 상기 베이스 기재는 상기 기판과 평면적으로 겹치는 중첩부를 갖고, 상기 배선은 상기 중첩부의 상기 기판쪽과는 반대쪽에 마련되어, 상기 중첩부 상에서 상기 입력용 범프와 접속되는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 베이스 기재에 마련되는 배선은, 기판 상에 마련된 기판측 배선을 거치지 않고 입력용 범프에 전기적으로 접속하기 때문에, 입력용 범프를 거쳐서 반도체 소자에 입력되는 신호는, 기판 상에 마련되는 기판측 배선의 배선 저항에 의한 신호의 감쇠가 없다. 따라서, 전기 광학 장치에 대하여 입력되는 화상 신호의 감쇠가 최대한 억제되어 있기 때문에, 양호한 표시 특성을 갖는 전 기 광학 장치를 얻을 수 있다. 또한, 배선을 거쳐서 입력되는 신호에 있어서는, 기판 상의 기판측 배선으로 인한 임피던스에 대해서는 고려할 필요가 없기 때문에, 회로 전체의 임피던스 정합을 용이하고 또한 확실하게 취할 수 있다. 또한, 배선은 베이스 기재로부터 돌출되지 않고 베이스 기재에 마련되기 때문에, 베이스 기재로부터 돌출하여 마련되는 경우와 비교하여, 배선이 꺾이기 어려워 단선하기 어렵다. 따라서, 배선의 단선에 의한 전기 광학 장치의 표시 특성의 열화를 방지할 수 있다.
본 발명의 실장 구조체는, 기판과, 상기 기판 상에 마련된 기판측 배선과, 상기 기판 상에 배치된 반도체 소자와, 상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련된 입력용 범프와, 상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련되어, 상기 기판측 배선과 접속되는 출력용 범프와, 상기 기판 상에 실장된 베이스 기재와, 상기 베이스 기재에 마련되어, 상기 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 배선을 구비하고, 상기 베이스 기재는 상기 기판과 평면적으로 겹치는 중첩부를 갖고, 상기 배선은 상기 중첩부의 상기 기판쪽과는 반대쪽에 마련되어, 상기 중첩부 상에서 상기 입력용 범프와 접속되는 것을 특징으로 한다.
본 발명과 같은 구성에 의하면, 베이스 기재에 마련되는 배선은, 기판 상에 마련된 기판측 배선을 거치지 않고 입력용 범프에 전기적으로 접속하기 때문에, 입력용 범프를 거쳐서 반도체 소자에 입력되는 신호는, 기판 상에 마련되는 기판측 배선의 배선 저항에 의한 신호의 감쇠가 없다. 또한, 배선을 거쳐서 입력되는 신호에 있어서는, 기판 상의 기판측 배선으로 인한 임피던스에 대해서는 고려할 필요 가 없기 때문에, 회로 전체의 임피던스 정합을 용이하고 또한 확실하게 취할 수 있다. 또한, 배선은 베이스 기재로부터 돌출되지 않고 베이스 기재에 마련되기 때문에, 베이스 기재로부터 돌출하여 마련되는 경우와 비교하여, 배선이 꺾이기 어려워 단선하기 어렵다. 따라서, 배선의 단선에 의해서 신호 공급이 정지하는 경우가 드물다.
본 발명의 전자 기기는, 상술한 전기 광학 장치를 갖추는 것을 특징으로 한다.
본 발명과 같은 구성에 의하면, 표시 특성이 좋은 표시 화면을 갖는 전자 기기를 얻을 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면에 근거하여 설명한다. 또, 이하 실시예를 설명하는 데 있어서는, 전기 광학 장치로서 액정 장치를 예로 든다. 구체적으로는 COG 방식의 TFT(Thin Film Transistor)를 이용한 액티브 매트릭스형의 액정 장치에 대하여 설명하지만 이것으로 한정되는 것이 아니다. 또한, 이하의 도면에서는 각 구성을 알기 쉽게 하기 위해서, 실제의 구조와 각 구조에서의 축척이나 수 등이 다르다.
(실시예 1)
<전기 광학 장치의 구성>
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 전기 광학 장치로서의 액정 장치의 개략 사시도이다. 도 2는 도 1의 선 A-A'로 절단한 단면도이다. 도 3은 실시예 1에 따 른 액정 장치의 어레이 기판측에 형성된 각종 배선, 주변 회로 등의 개략 평면도이다.
도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이 액정 장치(1)는, 전기 광학 패널로서의 액정 패널(2)과, 액정 패널(2)을 사이에 유지하도록 마련된 한 쌍의 편광판(3)과, 액정 패널(2)에 전기적으로 접속된 플렉서블 배선 기판(40)과, 액정 패널(2)에 실장된 반도체 소자로서의 구동용 IC(30)와, 플렉서블 배선 기판(40)에 접속된 후술하는 회로 기판(도 3에서의 부호 70에 대응)을 구비하고 있다.
액정 패널(2)은, 밀봉재(61)에 의해 접착된 한 쌍의 유리 등의 절연 기판으로 이루어지는 대향 기판(10) 및 어레이 기판(20)을 갖고 있다. 한 쌍의 기판(10, 20)과 밀봉재(61)에 의해 둘러싸인 영역 내에는 전기 광학 물질, 예컨대, 90도 트위스트된 TN(Twisted Nematic) 액정(60)이 유지되어 있다.
대향 기판(10)에는, 플랫(평면) 형상의 투명한 ITO(Indium Tin Oxide)막으로 이루어지는 대향 전극(11)과, 이것을 피복하는 배향막(12)이 마련된다. 대향 전극(11)은, 어레이 기판(20)에 마련되어 있는 후술하는 접속 배선(26')과 전기적으로 접속되어 있다.
한편, 어레이 기판(20)에는, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이 X 방향으로 복수 배열되어 이루어지는 주사선(23)과, Y 방향에 복수 배열되어 이루어지는 데이터선(21)과, 이들 주사선(23) 및 데이터선(21)의 교차부마다 배치된 화소 전극(도시하지 않음)과, 데이터선(21)과 화소 전극 사이의 도통 상태 및 비도통 상태를 주사선(23)에 입력되는 주사 신호에 따라 제어하는 스위칭 소자로서의 TFT(24)가 마 련된다. 또한, 데이터선(21), TFT(24) 및 화소 전극을 피복하도록 배향막(22)이 마련된다.
또한, 도 1 및 도 2에 도시하는 바와 같이 어레이 기판(20)은 대향 기판(10)보다 돌출된 돌출부(20a)를 갖고 있다. 돌출부(20a)에는, 반도체 소자로서의 구동용 IC(30)가 배치되어 있다. 돌출부(20a)에는, 데이터선(21) 및 주사선(23)이 연장되어 이루어지는 기판측 제 1 배선으로서의 접속 배선(26), 대향 전극(11)과 전기적으로 접속되는 기판측 제 1 배선으로서의 접속 배선(26'), 플렉서블 배선 기판(40)의 제 2 배선(42b)과 전기적으로 접속되는 기판측 제 2 배선으로서의 입력용 배선(25)(후술)이 마련된다. 또한, 돌출부(20a)에서의, 구동용 IC(30), 어레이 기판(20) 및 플렉서블 배선 기판(40)의 접속 구조에 대해서는, 후술하는 실장 구조체의 구성에서, 상세히 설명한다.
도 3에 도시하는 바와 같이 구동용 IC(30)는, 주사선 구동 회로(33)와 데이터선 구동 회로(34)를 갖는다. 또한, 도 3에 있어서, 상술한 플렉서블 배선 기판(40)은 도시되어 있지 않지만, 플렉서블 배선 기판(40)은 회로 기판(70)과 구동용 IC(30) 사이에 위치하여, 양자를 전기적으로 접속되어 있다.
주사선 구동 회로(33)는 시프트 레지스터 회로(33a)를 갖는다. 주사선 구동 회로(33)에 대해서는, 외부 제어 회로를 갖는 회로 기판(70)으로부터, 전원(부전원 및 정전원)(75), 스타트 신호(76), 클럭 신호(기준 클럭 신호 및 반전 클럭 신호)(77)가 공급된다. 주사선 구동 회로(33)에서는, 회로 기판(70)으로부터 공급된 부전원 및 정전원을 전원으로서 이용하여, 스타트 신호(76)의 입력에 의해 시프트 레지스터 회로(33a)를 스타트시킨다. 그리고, 회로 기판(70)으로부터 공급되는 클럭 신호(77)에 근거하는 소정 타이밍으로, 접속 배선(26)을 거쳐서 주사선(23)에 주사 신호를 펄스식으로 선순차적으로로 인가된.
데이터선 구동 회로(34)는, 예컨대 샘플링 회로(34b)와 시프트 레지스터 회로(34a)를 갖는다. 데이터선 구동 회로(34)에 대해서는, 회로 기판(70)으로부터, 전원(부전원 및 정전원)(74), 스타트 신호(71), 클럭 신호(기준 클럭 신호 및 반전 클럭 신호)72, 화상 신호(73)가 공급된다. 샘플링 회로(34b)에서는, 회로 기판(70)으로부터 공급된 표시 내용에 따른 화상 신호(73)를 받아, 당해 데이터선(21)의 표시 내용에 상당하는 전압만을 샘플링하고 있다. 데이터선 구동 회로(34)로서는, 회로 기판(70)으로부터 공급된 부전원 및 정전원을 전원으로서 이용하여, 스타트 신호(71)의 입력에 의해 시프트 레지스터 회로(34a)를 스타트시킨다. 그리고, 회로 기판(70)으로부터 공급되는 클럭 신호(76)에 근거하여, 주사선 구동 회로(33)가 주사 신호를 인가하는 타이밍에 맞춰, 샘플링 회로(34b)에서 샘플링된 화상 신호가, 접속 배선(26)을 거쳐서 데이터선(21)에 공급된다.
또한, 도 3에 도시하는 바와 같이 대향 전극(11)과 전기적으로 접속되는 접속 배선(26')에는, 회로 기판(70)으로부터 공급되는 공통 전압(78)이 공급된다. 또한, 구동용 IC(30)에 대하여, 회로 기판(70)으로부터 공급되는 그라운드 신호(79)가 공급된다.
이상에 의해, 주사선(23)에 게이트 접속된 TFT(24)는 주사 신호의 공급에 따라 도통 상태로 되고, 화상 신호가 TFT(24)를 거쳐서 화소 전극에 공급되어 각 화 소에서의 화상 표시가 행하여진다.
여기서, 표시 화상의 고해상도화에 따라, 매우 높은 주파수의 화상 신호가 입력되게 되어 있다. 예컨대, XGA 표시 모드나 SXGA 표시 모드가 되면, 각각 화상 신호의 도트 주파수는, 약 65㎒, 약 135㎒가 되고, VGA 표시 모드에서의 도트 주파수(약 30㎒)를 훨씬 상회한다. 이에 대응하여, 특히 데이터선 구동 회로에 공급되는 데이터선측 기준 클럭 신호의 주파수도 매우 높아져 왔다. 데이터선 구동 회로(34)에 공급되는 스타트 신호(72), 주사선 구동 회로(33)에 공급되는 스타트 신호(76), 주사선 구동 회로(33)에 공급되는 클럭 신호(77)는, 저주파수의 신호인 저속 신호인 데 대하여, 데이터선측 기준 클럭 신호는 고주파수의 신호인 고속 신호이다. 또한, 여기서는, 설명을 생략하고 있지만, 시프트 레지스터 회로(34a)에서 순차적으로 출력되는 펄스의 폭을 제한하기 위한 인에이블 신호도 수평 주사 기간보다 짧은 주기를 가지는 고속 신호에 속한다.
<배선 기판의 구성>
다음에, 상술한 플렉서블 배선 기판(40)에 대하여 도 4를 이용하여 설명한다.
도 4는 도 1의 플렉서블 배선 기판(40)의 부분 확대도의 사시도이다.
도 4에 도시하는 바와 같이 플렉서블 배선 기판(40)은, 폴리이미드 등으로 이루어지는 가요성 기재인 베이스 기재(41)와, 베이스 기재(41)의 한쪽 면에 마련된 복수(여기서는 6개)의 제 1 배선(42a) 및 복수(여기서는 8개)의 제 2 배선(42b) 과, 제 1 배선(42a)의 일부와 제 2 배선(42b)의 일부를 피복하도록 베이스 기재(41) 상에 마련된 폴리이미드, 아크릴, 에폭시 등으로 이루어지는 보호층(43)을 갖는다. 배선(42a) 및(42b)의 두께는 약 20㎛, 베이스 기재(41)의 두께는 약 25㎛ 이다. 제 1 배선(42a) 및 제 2 배선(42b)은 모두 Cu(동)로 이루어진다. 제 1 배선(42a) 및 제 2 배선(42b)은 서로가 거의 평행하게 위치하고, 6개의 제 1 배선(42a)을 사이에 유지하도록, 그 양 쪽에 제 2 배선(42b)이 4개씩 배치되어 있다. 제 1 배선(42a)은 제 2 배선(42b)보다 길고, 그 긴 부분이 베이스 기재(41)로부터 돌출된 상태로 되어 있다. 제 1 배선(42a)의 돌출부(42a')는 직선적으로 형성되어 있다. 제 1 배선(42a)은 돌출부(42a')를 포함하는 일부 이외의 부분이 보호층(43)에 의해서 덮여 있다. 제 2 배선(42b)은 후술하는 입력용 배선과 접속되는 부분이 노출되고, 이 노출 부분 이외에는 보호층(43)에 의해서 거의 덮여 있다. 또, 플렉서블 배선 기판(40)은 구부릴 수 있다.
<실장 구조체의 구성>
다음에, 어레이 기판(20), 이것에 실장된 구동용 IC(30), 및 구동용 IC에 전기적으로 접속된 플렉서블 배선 기판(40)으로 이루어지는 실장 구조체에 대하여, 도 2, 도 5∼도 7 및 도 20(a)를 이용하여 설명한다. 이 실장 구조체는, 액정 장치(1)의 일부이다.
도 2에서의 돌출부(20a)의 구성은 후술하는 도 7(a)에 상당한다. 도 5는, 액정 장치(1)의 돌출부(20a)에서의, 어레이 기판(20), 구동용 IC(30) 및 플렉서블 배선 기판(40)의 접속 상태를 나타내는 개략 사시도이다. 도 5에서는, 도면을 보기 쉽게 하기 위해서, 플렉서블 배선 기판(40)의 보호층(43)의 도시, 구동용 IC(30)의 범프의 도시, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 접속 배선(26, 26')의 도시는 생략하고 있다. 도 6은 도 5에 대응하는 평면도이며, 여기서는 구동용 IC(30)의 출력용 범프에 접속되고, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 접속 배선(26, 26')을 도시하고 있다. 도 6에서도 보호층(43), 구동용 IC(30)의 범프의 도시는 생략하고 있다. 도 7(a)는 도 6의 선 B-B'로 절단한 단면도, 도 7(b)는 도 6의 선 C-C'로 절단한 단면도이다. 도 7에서는, 보호층(43) 및 범프에 관해서도 도시하고 있다. 도 20(a)는 구동용 IC(30)의 실장면측의 평면도로서, 범프의 배치를 나타내는 것이다.
도 20(a)에 도시하는 바와 같이 구동용 IC(30)의 어레이 기판(20)쪽 면인 실장면(30a)에는, 복수(여기서는 20)의 출력용 범프(31)와, 복수(여기서는 14)의 입력용 범프(32)가, 각각 1열씩 마련된다. 입력용 범프(32)는, 6개의 제 1 입력용 범프(32a)와, 8개의 제 2 입력용 범프(32b)로 이루어진다. 출력용 범프(31)는, 도 6에 나타내는 어레이 기판(20) 상에 마련된 접속 배선(26, 26')과 전기적으로 접속되는 것이다. 제 1 입력용 범프(32a)는, 도 6에 나타내는 플렉서블 배선 기판(40)의 베이스 기재(41)로부터 돌출된 제 1 배선(42a)과 전기적으로 접속되는 것이다. 제 2 입력용 범프(32b)는, 도 6에 나타내는 어레이 기판(20) 상에 마련된 입력용 배선(25)과 전기적으로 접속되는 것이다.
도 5, 도 6 및 도 7(a)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 배선 기판(40)의 제 1 배선(42a)은, 베이스 기재(41) 및 보호층(43)으로부터 돌출되고, 노출된 돌출부(42a')를 갖고 있다. 플렉서블 배선 기판(40)의 제 1 배선(42a)의 돌출부(42a')는, 도전성 접착재인 ACF(50)에 의해 어레이 기판(20)과 접착되어 있다. 또한, 제 1 배선(42a)이 위치하는 영역에서는, 플렉서블 배선 기판(40)과 어레이 기판(20)의 접착재로서 도전성은 필요없지만, 후술하는 바와 같이 제조상 ACF를 이용하는 쪽이 제조 효율이 좋다. 제 1 배선(42a)의 일 단부는, 구동용 IC(30)의 제 1 입력용 범프(32a)와 도전성 부재로서의 ACF(51)에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 즉, 제 1 배선(42a)의 길이를 제 2 배선(42b)보다 길게 연장시킴으로써, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 입력용 배선을 거치지 않고, 제 1 배선(42a)은 ACF(51)에 의해 구동용 IC(30)의 제 1 입력용 범프(32a)와 전기적으로 접속된다. 또한, 제 1 배선(42a)은 어레이 기판(20)과 평면적으로 겹치는 영역에서 구부러지지 않고 직선적으로 형성되어 있다.
한편, 도 5, 도 6 및 도 7(b)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 배선 기판(40)의 제 2 배선(42b)은, 그 일 단부가 보호층(43)에 덮이지 않고 노출된 상태로 되어 있다. 제 2 배선(42b)의 일 단부는 ACF(50)에 의해 어레이 기판(20) 상에 마련되어 있는 입력용 배선(25)의 일 단부와 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 이 입력용 배선(25)의 다른쪽 단부는, ACF(51)에 의해 구동용 IC(30)의 제 2 입력용 범프(32b)와 전기적으로 접속되어 있다.
본 실시예에서는, 제 1 입력용 범프(32a)의 높이를, 제 2 입력용 범프(32b) 및 출력용 범프(31)의 높이보다 낮아지도록 조정하고 있다. 이것은, 각각의 범프 에서 베이스 기재에 마련되는 배선과의 접속 구조가 다르기 때문이다. 즉, 제 2 입력용 범프(32b), 출력용 범프(31)는, 각각 어레이 기판(20) 상에 마련되어 있는 입력용 배선(25), 접속 배선(26, 26')과, ACF에 의해 접속되어 있다. 이에 대하여, 제 1 입력용 범프(32a)는, 어레이 기판(20) 상에 마련되어 있는 입력용 배선을 거치지 않고, 플렉서블 배선 기판(40)에 마련되어 있는 제 1 배선(42a)과 ACF(51)에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 이 때문에, 제 1 배선(42a)의 두께와 ACF(50)의 두께의 합으로부터 접속 배선(26)의 두께를 뺀만큼, 범프의 높이에 차이가 발생한다. 이와 같이, 제 1 입력용 범프(32a)의 높이를, 제 2 입력용 범프(32b) 및 출력용 범프(31)의 높이보다 낮게 함으로써, 제 1 입력용 범프(32a)와 제 1 배선(42a), 제 2 입력용 범프(32b)와 입력용 배선(25), 출력용 범프(31)와 접속 배선(26)의 전기적 접속 불량이 적고, 표시 불량이 없는 전기 광학 장치를 얻을 수 있다. 예컨대, 제 1 입력용 범프(32a)의 높이와 제 2 입력용 범프의 높이(32b)를 같게 하여, 제 2 입력용 범프(32b)에 대응하여 어레이 기판 상에 두께 조정용의 층을 마련하는 것도 가능하지만, 이 경우, 이러한 두께 조정용의 층을 마련하는 공정이 별도로 필요하여, 제조 효율이 나쁘다. 또한, 제 1 입력용 범프(32a)의 높이와 제 2 입력용 범프의 높이(32b)를 같게 하여, 제 1 입력용 범프(32a)와 제 1 배선(42a), 제 2 입력용 범프(32b)와 입력용 배선(25)을, 각각 ACF에 의해 접속할 때에, 반도체 소자의 실장면과 어레이 기판면이 거의 평행이 되도록 가압하여 반도체 소자를 배치하는 것도 가능하지만, 제 2 입력용 범프(32b)와 입력용 배선(25)의 접속 불량이 발생해 버리는 경우가 있다. 이에 대하여, 본 실시예에서는, 제 1 입력 용 범프와, 제 2 입력용 범프 및 출력용 범프로서는 배선과의 접속 구조가 다른 것을 고려하여, 미리 높이가 다른 제 1 입력용 범프(32a), 제 2 입력용 범프(32b) 및 출력용 범프(31)를 반도체 소자(30)에 마련하는 것에 의해, 제조 효율이 좋고, 접속 불량에 의한 표시 불량이 없는 전기 광학 장치를 얻을 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 베이스 기재에 마련하는 배선중 일부의 배선(제 1 배선)을 입력용 배선을 거치지 않고서 제 1 입력용 범프에 접속하고, 다른 배선(제 2 배선)을 입력용 배선을 거쳐서 제 2 입력용 범프에 접속하고 있다. 이에 따라, 높이를 조정하는 범프의 수를 줄일 수 있다. 즉, 본 실시예에서는, 상술한 바와 같이, 제 1 입력용 범프의 높이를, 범프와 베이스 기재에 마련되는 배선과의 접속 구조의 차이를 고려하여 조정하고 있지만, 베이스 기재에 마련되는 모든 배선을 입력용 배선을 거치지 않고서 범프에 접속하는 경우와 비교하여, 범프 높이를 조정해야 할 제 1 입력용 범프의 수가 줄어들기 때문에, 조정이 용이해진다.
제 1 배선(42a)에는, 예컨대 상술한 고속 신호인 데이터선측 기준 클럭 신호나 인에이블 신호 등이 공급된다. 또한, 제 2 배선(42b)에는, 예컨대 저속 신호인 데이터선 구동 회로에 공급되는 스타트 신호, 주사선 구동 회로에 공급되는 스타트 신호, 주사선 구동 회로에 공급되는 클럭 신호 등이 공급된다. 또한, 제 2 배선(42b)의 일부는 그라운드 배선으로서 이용되어, 그라운드 신호가 공급된다.
상술한 바와 같이, 플렉서블 배선 기판(40)의 제 1 배선(42a)은, 어레이 기판(20) 상에 마련된 입력용 배선(25)을 거치지 않고, 직접 제 1 입력용 범프(32a)와 ACF(51)에 의해 전기적으로 접속하기 때문에, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 입력용 배선(25)의 배선 저항에 의한 신호의 감쇠가 없다. 따라서, 이러한 실장 구조체를 갖는 액정 장치(1)는, 화상 신호의 감쇠가 최대한 억제되어 있기 때문에, 양호한 표시 특성을 갖는다. 또한, 어레이 기판(20) 상의 배선으로 인한 임피던스에 대해서는 고려할 필요가 없기 때문에, 회로 전체의 임피던스 정합을 용이하고 또한 확실하게 취할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 제 1 배선(42a)에 고속 신호가 입력되기 때문에, 고속 신호의 감쇠를 억제할 수 있고, 예컨대 고해상도의 액정 장치에서도 표시 특성이 좋은 액정 장치(1)를 얻을 수 있다. 또한, 이 제 1 배선(42a)은 상술한 바와 같이 직선적으로 형성되어 있기 때문에, 제 1 배선(42a) 자신의 배선 저항을 최대한 줄일 수 있어, 구동용 IC(30)의 제 1 입력용 범프(32a)에 대하여, 감쇠가 최대한 억제된 신호를 공급할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 제 1 배선(42a)에 대하여 고속 신호가, 제 2 배선(42b)에 대하여 저속 신호가 입력되기 때문에, 신호의 감쇠를 최대한 억제하고, 또한 실장 구조체의 소형화를 실현할 수 있다. 따라서, 플렉서블 배선 기판으로부터 입력되는 신호의 감쇠가 억제되기 때문에, 표시 특성이 좋다, 소형화가 가능한 액정 장치(1)를 얻을 수 있다. 즉, 구동용 IC(30)의 제 1 입력용 범프(32a)와 플렉서블 배선 기판(40)의 제 1 배선(42a), 제 2 입력용 범프(32b)와 플렉서블 배선 기판(40)의 제 2 배선(42b)은 각각 전기적으로 접속되는 것이지만, 일반적으로, 구동용 IC의 입력용 범프간 피치는, 플렉서블 배선 기판에 마련되는 배선간 피치보다 좁게 되어 있다. 이 때문에, 예컨대, 플렉서블 배선 기판에 마련되는 모든 배선을 제 1 배선과 같이 연장시켜, 어레이 기판 상에 마련되는 입력용 배선을 거치지 않고, 플렉서블 배선 기판의 배선과 구동용 IC의 입력용 범프를 ACF에 의해 전기적으로 접속하고자 하면, 입력용 범프간 피치를 넓게 잡을 필요가 있어, 구동용 IC의 크기가 커져 버린다. 그리고, 이와 같이 구동용 IC의 크기를 크게해 버리면, 기판 사이즈를 크게할 필요가 있어, 액정 장치가 커져 버린다고 하는 문제가 있다. 특히, 고해상도의 액정 장치에 있어서는, 예컨대 라우팅할 배선의 수도 많고, 라우팅 배선, 단자나 구동용 IC 등이 실장되는 돌출부의 면적을 넓힐 필요가 있어, 결과적으로 액정 장치 전체가 커져 버린다. 이에 대하여, 본 실시예에서는, 플렉서블 배선 기판(40)의 배선의 일부만(제 1 배선(42a))을 연장시켜, 이것을 어레이 기판(20) 상의 입력용 배선을 거치지 않고 제 1 입력용 범프(32a)와 전기적으로 접속하고, 다른 배선(제 2 배선(42b))은 종래와 같이 어레이 기판(20) 상의 입력용 배선(25)을 거쳐서 제 2 입력용 범프(32b)에 전기적으로 접속되어 있다. 이에 따라, 제 2 배선(42b)에 전기적으로 접속되는 입력용 배선(25)을 평면적으로 굴곡하는 형상으로 하는 것에 의해, 구동용 IC의 크기를 크게하지 않고, 입력용 범프간 피치가 좁은 구동용 IC에 대해서도 문제 없이 플렉서블 배선 기판의 배선과 구동용 IC의 입력용 범프를 전기적으로 접속할 수 있다. 그리고, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 입력용 배선(25)에 의한 배선 저항으로 인한 신호의 감쇠가 현저히 나타내는 고속 신호를, ACF(51)에 의해서만 제 1 입력용 범프(32a)에 전기적으로 접속되는 플렉서블 배선 기판(40)의 제 1 배선(42a)에 입력함으로써, 감쇠가 적은 신호를 구동용 IC(30)에 대하여 입력할 수 있다. 또한, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 입력 용 배선(25)의 배선 저항에 의한 신호의 감쇠가 크게 문제가 되지 않는 저속 신호를, ACF(50), 기판 상에 마련되는 입력용 배선(25) 및 ACF(51)에 의해 전기적으로 제 2 입력용 범프(32b)에 접속되는 플렉서블 배선 기판(40)의 제 2 배선(42b)에 입력한다. 이에 따라, 제 2 배선과 전기적으로 접속되는 입력용 배선은, 굴곡 형상으로 해도 신호의 감쇠가 크게 문제가 되지 않기 때문에, 입력용 배선을 굴곡 형상으로 하는 것에 의해 기판 사이즈의 소형화, 나아가서는 액정 장치의 소형화를 실현할 수 있다. 따라서, 신호의 감쇠를 최대한 억제하고, 또한 실장 구조체의 소형화를 실현할 수 있다. 그리고, 이러한 실장 구조체를 갖는 액정 장치(1)는, 플렉서블 배선 기판(40)으로부터 입력되는 신호의 감쇠가 억제되어 있기 때문에, 표시 특성이 좋고, 소형화가 가능하다.
<전기 광학 장치의 제조 방법>
다음에, 본 실시예에서의 액정 장치의 제조 방법에 대하여 도 8을 이용하여 설명한다.
도 8(a)∼(d)는 액정 장치의 제조 공정도이다. 도 8에 있어서, 좌측에는 도 7(a)에 상당하는 단면도, 우측에는 도 7(b)에 상당하는 단면도를 도시하고 있다.
우선, 플렉서블 배선 기판(40), 액정 패널(2) 및 구동용 IC(30)를 준비한다.
예컨대, 플렉서블 배선 기판(40)은 다음과 같이 제조할 수 있다. 우선, 동이 도금되어 있는 베이스 기재를 준비하고, 동을 소망하는 형상으로 패터닝하여 배선을 형성한다. 그 후, 베이스 기재의 일부를 에칭 등의 방법에 의해 제거함으로 써, 베이스 기재로부터 배선의 일부가 돌출된 형상을 얻는다. 그 후, 돌출부를 제외하는, 배선을 포함하는 베이스 기재 상에 보호층을 도포하여, 플렉서블 배선 기판(40)을 얻는다.
다음에, 도 8(a)에 도시하는 바와 같이 액정 패널(2)의 돌출부(20a)와, 후속 공정으로 액정 패널(2)에 실장되는 플렉서블 배선 기판(40)의 베이스 기재(41) 및 제 1 배선(42a)의 돌출부가 평면적으로 겹치는 영역에, 도전성 부재인 ACF(50)를 도포한다. 이 ACF(50)는, 입력용 배선(25)에 있어서, 어레이 기판(20)의 단부측의 일 단부 상에 도포된다. 이때, 후속 공정으로 접착되는 플렉서블 배선 기판(40)의 제 1 배선(42a)이 위치하는 영역에 도포되는 ACF(50)에는 도전성은 필요없고, 이 영역에 도포되는 ACF(50)는 단지 플렉서블 배선 기판(40)과 액정 패널(2)의 접착 강도를 높이기 위한 것일 뿐이다. 따라서, 플렉서블 배선 기판(40)의 제 1 배선(42a)이 위치하는 영역에 도포되는 ACF(50) 대신에 도전성이 없는 접착재를 도포하는 것도 가능하지만, 플렉서블 배선 기판(40)의 제 2 배선(42b)과 입력용 배선(25)을 전기적으로 접속하기 위해서 ACF(50)의 도포 공정은 필요하기 때문에, 이 공정과 동시에, 플렉서블 배선 기판(40)의 제 1 배선(42a)이 위치하는 영역에도 ACF(50)를 도포하고 있다.
다음에, 도 8(b)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 배선 기판(40)을 보호층(43)측이 액정 패널(2)의 어레이 기판(20)측에 위치하도록 마련하고, 플렉서블 배선 기판(40)과 액정 패널(2)을 접착한다. 이에 따라, ACF(50)에 의해 입력용 배선(25)과 제 2 배선(42b)은 전기적으로 접속된다. 또한, 플렉서블 배선 기판(40)의 제 1 배선(42a)이 마련되어 있는 영역에서는, 보호층(43) 및 제 1 배선(42a)과, 어레이 기판(20)이 ACF(50)에 의해서 접착된다.
다음에, 도 8(c)에 도시하는 바와 같이 제 1 배선(42a)의 베이스 기재(41)보다 돌출된 부분의 선단부, 입력용 배선(25)의 다른쪽 단부, 및 접속 배선(26, 26') 중 출력용 범프와 접속되는 쪽의 일 단부 상에 ACF(51)를 도포한다.
그 후, 도 8(d)에 도시하는 바와 같이 구동용 IC(30)를 실장한다. 이에 따라, 제 1 배선(42a)은, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 입력용 배선 등을 거치지 않고 ACF(51)만을 거쳐서, 제 1 입력용 범프(32a)에 전기적으로 접속된다. 제 2 배선(42b)은, ACF(50), 어레이 기판(20) 상에 마련된 입력용 배선(25), 및 ACF(51)에 의해, 제 2 입력용 범프(32b)에 전기적으로 접속된다. 또한, 출력용 범프(31)는 ACF(51)에 의해 접속 배선(26, 26')에 전기적으로 접속된다.
이 다음, 플렉서블 배선 기판(40)과 회로 기판(70)을 접속하고, 액정 패널(2)에 편광판(3)을 마련하여, 액정 장치(1)가 완성된다.
(실시예 2)
<전기 광학 장치의 구성>
도 9는 본 발명의 실시예 2에 따른 전기 광학 장치로서의 액정 장치의 개략 사시도이다.
본 실시예에서는, 실시예 1과 비교하여 플렉서블 배선 기판의 형상이 다르다는 점만 다르다. 그 밖의 동일한 점에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 여기서 는 설명을 생략하며, 다른 점에 대하여 주로 설명한다.
도 9에 도시하는 바와 같이 액정 장치(101)는, 전기 광학 패널로서의 액정 패널(2)과, 액정 패널(2)을 사이에 유지하도록 마련된 한 쌍의 편광판(3)과, 액정 패널(2)에 전기적으로 접속된 플렉서블 배선 기판(140)과, 액정 패널(2)에 실장된 구동용 IC(30)와, 플렉서블 배선 기판(140)에 접속된 회로 기판(도시하지 않음)을 구비하고 있다.
<배선 기판의 구성>
다음에, 상술한 플렉서블 배선 기판(140)에 대하여 도(10)을 이용하여 설명한다.
도(10)은 도 9의 플렉서블 배선 기판(140)의 부분 확대도의 사시도이다. 도(10)에서는 베이스 기재(141)에 마련되는 스루홀(141e)의 도시는 생략하고 있다.
도(10)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 배선 기판(140)은, 폴리이미드 등으로 이루어지는 가요성 기재인 대향하는 제 1 면(141a)과 제 2 면(141b)을 갖는 베이스 기재(141)와, 베이스 기재(141)의 제 1 면(141a)에 마련된 복수(여기서는 6개)의 Cu로 이루어지는 제 1 배선(142a) 및 복수(여기서는 8개)의 Cu로 이루어지는 제 2 배선(142b)과, 제 1 배선(142a)의 일부와 제 2 배선(142b)을 피복하도록 베이스 기재(141) 상에 마련된 폴리이미드, 아크릴, 에폭시 등으로 이루어지는 보호층(143)을 갖는다. 본 실시예에서는, 실시예 1과 같이, 제 1 배선(142a)은 제 2 배선(142b)보다 길게 되어 있고, 그 긴 부분의 일 단부는, 보호층(143)에 덮이지 않 고 노출된 상태로 되어 있다. 그리고, 이 제 1 배선(142a)의 보호층(143)이 덮이지 않은 일 단부가, 액정 장치(101)의 상태에서, 반도체 소자의 입력용 범프에 전기적으로 접속한다. 또한, 액정 장치(101)의 상태에서는, 플렉서블 배선 기판(140)의 베이스 기재(141)의 일부 영역과 반도체 소자(30)는 평면적으로 중첩되어 있다. 실시예 1에서의 플렉서블 배선 기판(40)은, 제 1 배선(42a)의 일부가 베이스 기재(41)보다 돌출된 형상으로 되어 있었지만, 본 실시예에서의 플렉서블 배선 기판(140)에서는, 제 1 배선(42a)이 돌출된 부분에도 대응하여 베이스 기재(41)가 마련된다. 이에 따라, 실시예 1에서의 플렉서블 배선 기판(40)과 비교하여, 제 1 배선(141a)이 꺾이기 어려워 단선되기 어려워져, 플렉서블 배선 기판(40)의 기계적 강도가 향상된다. 또한, 이러한 플렉서블 배선 기판(140)이 내장된 액정 장치(101)에서는, 제 1 배선(141a)의 단선에 의한 표시 불량의 발생이 적다.
베이스 기재(141)는, 하나가 큰 직사각형 형상의 본체 부분(141c)과, 이 본체 부분(141c)의 1변에서 돌출된 작은 직사각형 형상의 돌출부(141d)가 조합된 평면 형상을 갖고 있다. 본체 부분(141c)의 돌출부(141d)가 돌출되는 변와 직교하는 변에 거의 평행하게, 제 1 배선(142a) 및 제 2 배선(142b)이 마련된다. 제 1 배선(142a)은 본체 부분(141c) 및 돌출부(141d)에 마련되고, 제 2 배선(142b)은 본체 부분(141c)에 마련된다.
<실장 구조체의 구성>
다음에, 어레이 기판(20), 이에 배치된 구동용 IC(30), 및 구동용 IC에 전기 적으로 접속된 플렉서블 배선 기판(140)으로 이루어지는 실장 구조체에 대하여, 도 11∼도 13, 도 20(a)를 이용하여 설명한다.
도 11은, 액정 장치(101)의 돌출부(20a)에서의, 어레이 기판(20), 구동용 IC(30) 및 플렉서블 배선 기판(140)의 접속 상태를 나타내는 개략 사시도이다. 도 11에서는, 도면을 보기쉽게 하기 위해서, 플렉서블 배선 기판(140)의 보호층(143)의 도시, 구동용 IC(30)의 범프의 도시, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 접속 배선(26, 26')의 도시, 베이스 기재(141)에 마련되는 스루홀(141e)의 도시는 생략하고 있다. 도 12는 도 11에 대응하는 평면도이며, 여기서는 구동용 IC(30)의 출력용 범프에 접속되고, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 접속 배선(26, 26')을 도시하고 있다. 도 12에서는, 베이스 기재(141)에 마련되는 스루홀(141e)의 도시, 보호층(143)의 도시, 구동용 IC(30)의 범프의 도시는 생략하고 있다. 도 13(a)는 도 12의 선 D-D'로 절단한 단면도, 도 13(b)는 도 12의 선 E-E'로 절단한 단면도이다. 도 13에서는, 보호층(143), 스루홀(141e) 및 구동용 IC(30)의 범프에 관해서도 도시하고 있다. 도 20(a)는 구동용 IC(30)의 실장면측의 평면도로서, 범프의 배치를 나타내는 것이다.
도 20(a)에 도시하는 바와 같이 구동용 IC(30)의 어레이 기판쪽 면인 실장면(30a)에는, 복수(여기서는 20)의 출력용 범프(31)와, 복수(여기서는 14)의 입력용 범프(32)가, 각각 1열씩 마련된다. 입력용 범프(32)는, 6개의 제 1범프로서의 제 1 입력용 범프(32a)와, 8개의 제 2범프로서의 제 2 입력용 범프(32b)와로 이루어진다. 출력용 범프(31)는, 도 12에 나타내는 어레이 기판(20) 상에 마련된 접속 배 선(26, 26')과 전기적으로 접속되는 것이다. 제 1 입력용 범프(32a)는, 도 12에 나타내는 플렉서블 배선 기판(140)의 제 1 배선(142a)과 전기적으로 접속되는 것이다. 제 2 입력용 범프(32b)는, 도 12에 나타내는 어레이 기판(20) 상에 마련된 입력용 배선(25)과 전기적으로 접속되는 것이다.
도 11, 도 12 및 도 13(a)에 도시하는 바와 같이 베이스 기재(141)는, 어레이 기판(20)과 평면적으로 겹치는 중첩부(150)를 갖고 있다. 플렉서블 배선 기판(140)의 제 1 배선(142a)은, 중첩부(150)의 어레이 기판(20)측의 제 2 면(141b)과는 반대쪽의 제 1 면(141a)에 마련되고, 일부가 보호층(143)에 의해 덮이고, 제 1 입력용 범프(32a)와 접속되는 부분은 노출된 상태로 되어 있고, 베이스 기재(141)의 일부 영역과 반도체 소자(30)의 제 1 입력용 범프(32a)는 평면적으로 중첩되어 있다. 플렉서블 배선 기판(140)의 베이스 기재(141)는, 도전성 접착재인 ACF(50)에 의해 어레이 기판(20)과 접착되어 있다. 또한, 제 1 배선(142a)이 위치하는 영역에서는, 플렉서블 배선 기판(140)과 어레이 기판(20)의 접착재로서 도전성은 필요없지만, 후술하는 바와 같이 제조상 ACF를 이용한 쪽이 제조 효율이 좋다. 제 1 배선(142a)의 단부는, 구동용 IC(30)의 제 1 입력용 범프(32a)와 도전성 부재로서의 ACF(51)에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 본 실시예에서도, 제 1 배선(142a)의 길이를 제 2 배선(142b)보다 길게 연장시킴으로써, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 입력용 배선을 거치지 않고, 제 1 배선(142a)은, ACF(51)만을 거쳐서, 구동용 IC(30)의 제 1 입력용 범프(32a)와 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 제 1 배선(142a)은 어레이 기판(20)과 평면적으로 겹치는 영역에서 구부러지지 않고 직선적 으로 형성되어 있다.
한편, 도 11, 도 12 및 도 13(b)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 배선 기판(140)의 제 2 배선(142b)은, 베이스 기재(141) 및 보호층(143)에 의해 거의 덮힌 상태로 되어 있다. 제 2 배선(142b)의 단부는, 베이스 기재(141)에 마련된 스루홀(141e)을 거쳐서 ACF(50)에 의해서 어레이 기판(20) 상에 마련되어 있는 입력용 배선(25)의 일 단부와 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 이 입력용 배선(25)의 다른쪽 단부는, ACF(51)에 의해 구동용 IC(30)의 제 2 입력용 범프(32b)와 전기적으로 접속되어 있다.
본 실시예에서도, 제 1 입력용 범프(32a)의 높이를, 제 2 입력용 범프(32b) 및 출력용 범프(31)의 높이보다 낮게 되도록 조정하고 있다. 이것은, 각각의 범프에서 베이스 기재에 마련되는 배선과의 접속 구조가 다르기 때문이다. 즉, 제 1 배선(142a)과 이에 전기적으로 접속되는 제 1 입력용 범프(32a)가 접속되는 영역에서는 베이스 기재(141)가 위치하고, 입력용 배선(25)이 위치하지 않는다. 이에 대하여, 제 2 배선(142b)에 전기적으로 접속되는 입력용 배선(25)과 제 2 입력용 범프(32b)가 접속되는 영역, 출력용 범프(31)와 접속 배선(26)이 접속되는 영역에서는, 베이스 기재(141)가 위치하지 않고, 입력용 배선(25)이 위치하고 있다. 그래서, 실시예 1과 같이, 본 실시예에서도, 이러한 접속 구조의 차이를 고려하여, 범프의 높이를 조정하고 있다. 이에 따라, 실시예 1과 같이, 제조 효율적이 좋고, 접속 불량에 의한 표시 불량이 없는 전기 광학 장치를 얻을 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 제 1 배선(142a)의 두께와 ACF(50)의 두께와 베이스 기재(141)의 두께 의 합으로부터 접속 배선(26)의 두께를 뺀만큼만, 제 1 입력용 범프(32a)의 높이와, 제 2 입력용 범프(32b) 및 출력용 범프(31)의 높이가 다르다.
또한, 본 실시예에서는, 베이스 기재에 돌출부를 마련하고, 이 돌출부 및 본체 부분에 제 1 배선을 마련하여, 제 1 배선을 입력용 배선을 거치지 않고 제 1 입력용 범프와 전기적으로 접속하며, 돌출부 이외에 제 2 배선을 마련하여, 제 2 배선을 입력용 배선을 거쳐서 제 2 입력용 범프와 전기적으로 접속하고 있다. 이에 따라, 높이를 조정하는 범프의 수를 줄일 수 있다. 즉, 본 실시예에서는, 상술한 바와 같이, 제 1 입력용 범프의 높이를, 범프와 베이스 기재에 마련되는 배선과의 접속 구조의 차이를 고려하여 조정하고 있는 것이지만, 베이스 기재에 마련되는 모든 배선을 입력용 배선을 거치지 않고서 범프에 접속되는 경우와 비교하여, 범프 높이를 조정해야 할 제 1 입력용 범프의 수가 적어지기 때문에, 조정이 용이해진다.
실시예 1과 같이, 제 1 배선(142a)에는 상술한 고속 신호인 데이터선측 기준 클럭 신호나 인에이블 신호 등이 공급된다. 또한, 제 2 배선(142b)에는 저속 신호인 데이터선 구동 회로에 공급되는 스타트 신호, 주사선 구동 회로에 공급되는 스타트 신호, 주사선 구동 회로에 공급되는 클럭 신호, 그라운드 신호 등이 공급된다.
상술한 바와 같이, 플렉서블 배선 기판(140)의 제 1 배선(142a)은, 어레이 기판(20) 상에 마련된 입력용 배선을 거치지 않고, 직접 제 1 입력용 범프(32a)와 ACF(51)에 의해 전기적으로 접속되기 때문에, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 입력 용 배선의 배선 저항에 의한 신호 감쇠가 없다. 따라서, 이러한 실장 구조체를 갖는 액정 장치(101)는 양호한 표시 특성을 갖는다. 또한, 제 1 배선에 대하여 입력되는 신호에서는, 어레이 기판(20) 상의 입력용 배선으로 인한 임피던스에 대해서는 고려할 필요가 없기 때문에, 회로 전체의 임피던스 정합을 용이하고 또한 확실하게 취할 수 있다.
또한, 제 1 배선(142a)에 고속 신호가 입력되기 때문에, 고속 신호의 감쇠를 억제할 수 있어, 표시 특성이 좋은 액정 장치(101)를 얻을 수 있다. 또한, 이 제 1 배선(142a)은 상술한 바와 같이 직선적으로 형성되어 있기 때문에, 제 1 배선(142a) 자신의 배선 저항을 극력 작게 할 수 있어, 구동용 IC(30)의 제 1 입력용 범프(32a)에 대하여, 감쇠가 최대한 억제된 신호를 공급할 수 있다.
또한, 실시예 1과 같이, 제 1 배선(142a)에 대하여 고속 신호가, 제 2 배선(142b)에 대하여 저속 신호가 입력되기 때문에, 신호의 감쇠가 최대한 억제되어, 또한 실장 구조체의 소형화를 실현할 수 있다. 따라서, 플렉서블 배선 기판으로부터 입력되는 신호의 감쇠가 억제되어 있기 때문에, 표시 특성이 좋다, 소형화가 가능한 액정 장치(101)를 얻을 수 있다.
<전기 광학 장치의 제조 방법>
다음에, 본 실시예에서의 액정 장치의 제조 방법에 대하여 도 14를 이용하여 설명한다.
도 14(a)∼(d)는 액정 장치의 제조 공정도이다. 도 14에서, 좌측에는 도 13(a)에 상당하는 단면도, 우측에는 도 13(b)에 상당하는 단면도를 도시하고 있다.
우선, 기지의 방법에 의해, 플렉서블 배선 기판(140), 액정 패널(2) 및 구동용 IC(30)를 준비한다.
다음에, 도 14(a)에 도시하는 바와 같이 액정 패널(2)의 돌출부(20a)와, 후속 공정으로 액정 패널(2)에 접착하는 플렉서블 배선 기판(140)의 베이스 기재(141)가 평면적으로 겹치는 영역에, 도전성 부재인 ACF(50)를 도포한다. 이 ACF(50)는, 입력용 배선(25)에서, 어레이 기판(20)의 단부측의 일 단부 상에 도포된다. 이때, 후속 공정에서 접착되는 플렉서블 배선 기판(140)의 제 1 배선(142a)이 위치하는 영역에 도포되는 ACF(50)에 도전성은 필요없고, 이 영역에 도포되는 ACF(50)는 단지 플렉서블 배선 기판(140)과 액정 패널(2)의 접착 강도를 높이기 위한 것일 뿐이다. 따라서, 플렉서블 배선 기판(140)의 제 1 배선(142a)이 위치하는 영역에 도포되는 ACF(50) 대신에 도전성이 없는 접착재를 도포하는 것도 가능하지만, 플렉서블 배선 기판(140)의 제 2 배선(142b)과 입력용 배선(25)을 전기적으로 접속하기 위해서 ACF(50)의 도포 공정이 필요하기 때문에, 이 공정과 동시에 플렉서블 배선 기판(140)의 제 1 배선(142a)이 위치하는 영역에도 ACF(50)를 도포하고 있다.
다음에, 도 14(b)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 배선 기판(140)을 베이스 기재(141)가 액정 패널(2)의 어레이 기판(20)측에 위치하도록 마련하여, 플렉서블 배선 기판(140)과 액정 패널(2)을 접착한다. 이때, 베이스 기재(141)에 마련되어 있는 스루홀(141e) 내에 ACF(50)가 들어가, ACF(50)에 의해 입력용 배선(25)과 제 2 배선(142b)은 전기적으로 접속된다. 또한, 플렉서블 배선 기판(140)의 제 1 배선(142a)이 마련되어 있는 영역에서는, 베이스 기재(141)와 어레이 기판(20)이 ACF(50)에 의해서 접착된다.
다음에, 도 14(c)에 도시하는 바와 같이 제 1 배선(142a)의 선단부, 입력용 배선(25)의 다른쪽 단부, 및 접속 배선(26, 26')중 출력용 범프와 접속되는 쪽의 일 단부 상에, ACF(51)를 도포한다.
그 후, 도 14(d)에 도시하는 바와 같이 구동용 IC(30)를 실장한다. 이에 따라, 제 1 배선(142a)은, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 입력용 배선 등을 거치지 않고, ACF(51)만을 거쳐서, 제 1 입력용 범프(32a)에 전기적으로 접속된다. 제 2 배선(142b)은, ACF(50), 어레이 기판(20) 상에 마련된 입력용 배선(25), 및 ACF(51)에 의해, 제 2 입력용 범프(32b)에 전기적으로 접속된다. 또한, 출력용 범프(31)는 ACF(51)에 의해 접속 배선(26, 26')에 전기적으로 접속된다.
이 다음, 플렉서블 배선 기판(140)과 회로 기판을 접속하고, 액정 패널(2)에 편광판(3)을 마련하여, 액정 장치(101)가 완성된다.
(실시예 3)
<전기 광학 장치의 구성>
도 9는 본 발명의 실시예 3에 따른 전기 광학 장치로서의 액정 장치의 개략 사시도이다.
본 실시예에서는, 실시예 1 및 실시예 2와 비교하여 플렉서블 배선 기판의 구조가 다르다는 점에서만 다르다. 그 밖의 동일한 점에 대해서는, 동일한 부호를 부여하고, 여기서는 설명을 생략하며, 다른 점에 대하여 주로 설명한다. 또한, 실시예 2에서의 플렉서블 배선 기판과, 실시예 3에서의 플렉서블 배선 기판은 외형이 거의 동일하기 때문에, 실시예 3에 따른 액정 장치의 설명도로서, 실시예 2의 액정 장치의 설명 시에 든 도면과 동일한 도면을 들고 있다.
도 9에 도시하는 바와 같이 액정 장치(201)는, 전기 광학 패널로서의 액정 패널(2)과, 액정 패널(2)을 사이에 유지하도록 마련된 한 쌍의 편광판(3)과, 액정 패널(2)에 전기적으로 접속된 플렉서블 배선 기판(240)과, 액정 패널(2)에 실장된 구동용 IC(130)와, 플렉서블 배선 기판(240)에 접속된 회로 기판(도시하지 않음)을 구비하고 있다.
<배선 기판의 구성>
다음에, 상술한 플렉서블 배선 기판(240)에 대하여 도 15를 이용하여 설명한다.
도 15는 도 9의 플렉서블 배선 기판(240)의 부분 확대도의 사시도이다.
실시예 1 및 실시예 2에서의 플렉서블 배선 기판에서는 베이스 기재의 한 면에만 배선이 마련되었지만, 실시예 3에서의 플렉서블 배선 기판에서는 베이스 기재의 양면 각각에 배선이 마련된다.
도 15에 도시하는 바와 같이 플렉서블 배선 기판(240)은, 폴리이미드 등으로 이루어지는 가요성 기재인 대향하는 제 1 면(241a)과 제 2 면(241b)을 갖는 베이스 기재(241)와, 베이스 기재(241)의 제 1 면(241a)에 마련된 복수(여기서는 4개)의 Cu로 이루어지는 제 1 배선(242a)과, 베이스 기재(241)의 제 2 면(241b)에 마련된 복수(여기서는 10개)의 Cu로 이루어지는 제 2 배선(242b, 242c)과, 제 1 배선(242a)의 일부를 포함하는 베이스 기재(241)의 제 1 면(241a)의 일부를 피복하도록 마련된 폴리이미드, 아크릴, 에폭시 등으로 이루어지는 제 1 보호층(243a)과, 제 2 배선(242b)의 일부 및 제 2 배선(242c)의 일부를 포함하는 베이스 기재(241)의 제 2 면(241b)의 일부를 피복하도록 마련된 폴리이미드, 아크릴, 에폭시 등으로 이루어지는 제 2 보호층(243b)을 갖는다. 제 1 보호층(243a)은, 제 1 배선(242a)의 일 단부가 노출되도록 제 1 배선(242a)을 덮어 마련되어 있고, 이 일 단부가 액정 장치(201)의 상태에서 반도체 소자의 입력용 범프에 전기적으로 접속된다. 또한, 액정 장치(201)의 상태에서, 플렉서블 배선 기판(240)의 베이스 기재(241)의 일부 영역과 반도체 소자(130)는 평면적으로 중첩되어 있다. 베이스 기재(241)는, 하나의 큰 직사각형 형상의 본체 부분(241c)과, 이 본체 부분(241c)의 1변에서 돌출된 작은 직사각형 형상의 돌출부(241d)가 조합된 평면 형상을 갖고 있다. 본체 부분(241c)의 돌출부(241d)가 돌출되는 변와 직교하는 변에 거의 평행하게 제 1 배선(242a), 제 2 배선(242b, 242c)이 마련된다. 제 1 배선(242a) 및 제 2 배선(242c)은 본체 부분(241c) 및 돌출부(241d)에 마련되고, 제 2 배선(242b)은 본체 부분(241c)에 마련된다. 또한, 돌출부(241d)에서 제 1 배선(242a)은 직선적으로 형성되어 있다. 실시예 3에서의 플렉서블 배선 기판(240)에서는, 제 2 배선은 제 1 배선(242a)과 평면적으로 거의 겹치도록 마련된 제 2 배선(242c)과, 제 1 배선(242a) 과 평면적으로 겹치지 않도록 마련된 제 2 배선(242b)이 있다. 제 1 배선(242a)과 제 2 배선(242c)은 베이스 기재(241)에 의해 전기적으로 절연되어 있다. 이와 같이, 베이스 기재(241)의 양면에 배선을 마련하는 것에 의해, 한 면에 배선을 마련하는 경우와 비교하여, 베이스 기재 사이즈가 동일하더라도, 보다 많은 배선을 마련하는 것이 가능해진다.
<실장 구조체의 구성>
다음에, 어레이 기판(20), 이에 실장된 구동용 IC(130), 및 구동용 IC에 전기적으로 접속된 플렉서블 배선 기판(240)으로 이루어지는 실장 구조체에 대하여, 도 16∼도 18, 도 20(b)를 이용하여 설명한다.
도 16은, 액정 장치(201)의 돌출부(20a)에서의, 어레이 기판(20), 구동용 IC(130) 및 플렉서블 배선 기판(240)의 접속 상태를 나타내는 개략 사시도이다. 도 16에서는 도면을 보기 쉽게 하기 위해서, 플렉서블 배선 기판(240)의 보호층(243a, 243b)의 도시, 구동용 IC(130)의 범프의 도시, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 접속 배선(26, 26')의 도시는 생략하고 있다. 도 17은 도 16에 대응하는 평면도이며, 여기서는 구동용 IC(130)의 출력용 범프에 접속된다, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 접속 배선(26, 26')을 도시하고 있다. 도 17에서는, 보호층(243a, 243b), 구동용 IC(130)의 범프의 도시는 생략하고 있다. 도 18(a)는 도 17의 선 F-F'로 절단한 단면도, 도 18(b)는 도 17의 선 G-G'로 절단한 단면도이다. 도 18에서는, 보호층(243a, 243b), 구동용 IC(130)의 범프를 도시하고 있다. 도 20(b) 는 구동용 IC(130)의 실장면측의 평면도로서, 범프의 배치를 나타내는 것이다.
도 20(b)에 도시하는 바와 같이 구동용 IC(130)의 어레이 기판(20)쪽 면인 실장면(130a)에는, 복수(여기서는 16)의 출력용 범프(131)와, 복수(여기서는 14)의 입력용 범프(132)가 마련된다. 입력용 범프(132)는, 4개의 제 1범프로서의 제 1 입력용 범프(132a)와, 10의 제 2범프로서의 제 2 입력용 범프(132b, 132c)로 이루어진다. 4개의 제 1 입력용 범프(132a) 및 4개의 제 2 입력용 범프(132c)를 사이에 유지하도록, 그 양측에 3개씩 제 2 입력용 범프(132b)가 배치되어 있다. 제 1 입력용 범프(132a)와 제 2 입력용 범프(132c)는 서로 엇갈리게 마련되어 있다. 이와 같이 서로 엇갈리게 마련하는 것에 의해, 범프간 거리를 충분히 유지하면서 많은 범프를 마련할 수 있다. 또한, 여기서는, 서로 엇갈리게 제 1 입력용 범프(132a) 및 제 2 입력용 범프(132c)를 배치했지만, 이것으로 한정되는 것이 아니라, 예컨대, 2열에 제 1 입력용 범프(132a) 및 제 2 입력용 범프(132c)를 배치하더라도 좋다.
제 2 입력용 범프는, 제 1 입력용 범프(132a)에 대응하여 마련되어 있는 132c와, 제 1 입력용 범프(132a)와 대응하지 않고서 마련되어 있는 132b를 갖는다. 출력용 범프(131)는, 도 17에 나타내는 어레이 기판(20) 상에 마련된 접속 배선(26, 26')과 전기적으로 접속되는 것이다. 제 1 입력용 범프(132a)는, 도 17에 나타내는 플렉서블 배선 기판(240)의 제 1 배선(242a)과 전기적으로 접속되는 것이다. 제 2 입력용 범프(132b)는 도 17에 나타내는 어레이 기판(20) 상에 마련된, 제 2 배선(242b)과 전기적으로 접속되는 입력용 배선(25)과 전기적으로 접속되는 것이다. 제 2 입력용 범프(132c)는, 도 17에 나타내는 어레이 기판(20) 상에 마련된 제 2 배선(242c)과 전기적으로 접속되는 입력용 배선(25)과 전기적으로 접속되는 것이다.
도 16, 도 17 및 도 18(a)에 도시하는 바와 같이 베이스 기재(241)는, 어레이 기판(20)과 평면적으로 겹치는 중첩부(250)를 갖고 있다. 그리고, 플렉서블 배선 기판(240)의 제 1 배선(242a)은, 중첩부(250)의 어레이 기판(20)측의 제 2 면(241b)과는 반대쪽의 제 1 면(241a) 상에 배치되고, 일부가 제 1 보호층(243a)에 의해 덮이고, 제 1 입력용 범프(132a)와 접속되는 부분은 노출된 상태로 되어 있다. 제 1 배선(242a)의 일 단부는, 구동용 IC(130)의 제 1 입력용 범프(132a)와 도전성 부재로서의 ACF(51)에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 제 1 배선(242a)의 길이를 제 2 배선(242b)보다 길게 연장시키고, 또한 제 1 배선(242a)이 제 1 입력용 범프(132a) 측에 노출되어 위치하도록 플렉서블 배선 기판(240)을 마련하는 것에 의해, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 입력용 배선을 거치지 않고, 제 1 배선(242a)은 ACF(51)만으로 구동용 IC(30)의 제 1 입력용 범프(132a)와 전기적으로 접속된다. 제 1 배선(242a)은 어레이 기판(20)과 평면적으로 겹치는 영역에서 구부러지지 않고 직선적으로 형성되어 있다. 또한, 플렉서블 배선 기판(240)의 제 2 배선(242c)은, 베이스 기재(241)의 제 2 면(241b) 상에 배치되고, 그 일부가 제 2 보호층(243b)에 의해 덮이며, 입력용 배선(25)과 접속되는 부분이 노출된 상태로 되어 있다. 제 2 배선(242c)의 일 단부는, ACF(50)에 의해서, 어레이 기판(20) 상에 마련되어 있는 입력용 배선(25)의 일 단부와 전기적으로 접속되어 있다. 그리 고, 이 입력용 배선(25)의 다른쪽 단부는, ACF(51)에 의해서 구동용 IC(130)의 제 2 입력용 범프(132c)와 전기적으로 접속되어 있다. 플렉서블 배선 기판(240)의 제 2 배선(242c)의 일부는, 접착재인 ACF(50)에 의해 어레이 기판(20)과 접착되어 있다. 또한, 제 2 배선(242c)과 어레이 기판(20)의 접착에 도전성은 필요없지만, 후술하는 바와 같이 제조상 ACF를 이용한 쪽이 제조 효율이 좋다. 플렉서블 배선 기판(240)의 베이스 기재(241)의 일부 영역과 반도체 소자(130)의 제 1 입력용 범프(132a)는 평면적으로 중첩되어 있다.
한편, 도 16, 도 17 및 도 18(b)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 배선 기판(240)의 제 2 배선(242b)는, 베이스 기재(241)의 제 2 면(241b) 상에 배치되어, 그 일부가 제 2 보호층(243b)에 의해 덮이며, 입력용 배선(25)과 접속되는 부분이 노출된 상태로 되어 있다. 제 2 배선(242b)의 일 단부는, ACF(50)에 의해서, 어레이 기판(20) 상에 마련되어 있는 입력용 배선(25)의 일 단부와 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 이 입력용 배선(25)의 다른쪽 단부는, ACF(51)에 의해서 구동용 IC(130)의 제 2 입력용 범프(132b)와 전기적으로 접속되어 있다.
여기서는, 제 1 입력용 범프(132a)의 높이를, 제 2 입력용 범프(132b, 132c), 그리고 출력용 범프(31)의 높이보다, 낮게 되도록 조정하고 있다. 이것은, 각각의 범프에서 베이스 기재에 마련되는 배선과의 접속 구조가 다르기 때문이다. 즉, 제 1 배선(242a)과 이에 전기적으로 접속되는 제 1 입력용 범프(132a)가 접속되는 영역에서는, 제 1 배선(242a), 베이스 기재(241) 및 제 2 배선(242c)이 위치한다. 이에 대하여, 제 2 배선(242b, 242c)에 전기적으로 접속되는 입력용 배선 (25)과 제 2 입력용 범프(132b, 132c)가 접속되는 영역, 접속 배선(26)과 출력용 범프(131)가 접속되는 영역에서는, 제 1 배선(242a), 베이스 기재(241) 및 제 2 배선(242c)이 위치하지 않는다. 그래서, 실시예 1과 같이, 본 실시예에서도, 이러한 접속 구조의 차이를 고려하여, 범프의 높이를 조정하고 있다. 이에 따라, 실시예 1과 같이, 제조 효율적이 좋고, 접속 불량에 의한 표시 불량이 없는 전기 광학 장치를 얻을 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 제 1 배선(242a), 베이스 기재(241) 및 제 2 배선(242c) 각각의 두께의 합만큼만, 제 1 입력용 범프(132a)의 높이와, 제 2 입력용 범프(132b, 132c), 그리고 출력용 범프(131)의 높이가 다르다.
또한, 본 실시예에서는, 베이스 기재에 마련하는 배선중 일부의 배선(제 1 배선)을 입력용 배선을 거치지 않고서 제 1 입력용 범프에 접속하고, 다른 배선(제 2 배선)을 입력용 배선을 거쳐서 제 2 입력용 범프에 접속하고 있다. 이에 따라, 높이를 조정하는 범프의 수를 줄일 수 있다. 즉, 본 실시예에서는, 상술한 바와 같이, 제 1 입력용 범프의 높이를, 범프와 베이스 기재에 마련되는 배선과의 접속 구조의 차이를 고려하여 조정하고 있지만, 베이스 기재에 마련되는 모든 배선을 입력용 배선을 거치지 않고서 범프에 접속되는 경우와 비교하여, 범프 높이를 조정해야 할 제 1 입력용 범프의 수가 줄어들기 때문에, 조정이 용이해진다.
제 1 배선(242a)에는, 상술한 고속 신호인 데이터선측 기준 클럭 신호나 인에이블 신호 등이 공급된다. 또한, 제 2 배선(242b, 242c)에는, 저속 신호인 데이터선 구동 회로에 공급되는 스타트 신호, 주사선 구동 회로에 공급되는 스타트 신호, 주사선 구동 회로에 공급되는 클럭 신호, 그라운드 신호 등이 공급된다. 또 한, 그라운드 신호가 입력되는 제 2 배선은, 베이스 기재(241)의 어레이 기판측(241b)에 마련하는 것에 의해, 임피던스 정합에 유효하다.
상술한 바와 같이, 플렉서블 배선 기판(240)의 제 1 배선(242a)은, 어레이 기판(20) 상에 마련된 배선을 거치지 않고, 직접 제 1 입력용 범프(132a)와 ACF(51)에 의해 전기적으로 접속되기 때문에, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 입력용 배선의 배선 저항에 의한 신호의 감쇠가 없다. 따라서, 이러한 실장 구조체를 갖는 액정 장치(201)는 양호한 표시 특성을 갖는다. 또한, 제 1 배선(242a)에 대하여 입력되는 신호에서는, 어레이 기판(20) 상의 입력용 배선으로 인한 임피던스에 대해서는 고려할 필요가 없기 때문에, 회로 전체의 임피던스 정합을 용이하고 또한 확실하게 취할 수 있다. 또한, 플렉서블 배선 기판(240)의 제 2 배선(242c)과 전기적으로 접속되는 입력용 배선(25)은, 제 2 배선(242b)과 전기적으로 접속되는 입력용 배선(25)과 비교하여, 그 길이를 짧기 때문에, 어레이 기판(20) 상에서의 배선 저항에 의한 영향이 적고, 신호의 감쇠가 적다.
또한, 제 1 배선(242a)에 고속 신호가 입력되기 때문에, 고속 신호의 감쇠를 억제할 수 있고, 표시 특성이 좋은 액정 장치(1)를 얻을 수 있다. 또한, 이 제 1 배선(242a)은 상술한 바와 같이 직선적으로 형성되어 있기 때문에, 제 1 배선(242a) 자신의 배선 저항을 최대한 작게 할 수 있어, 구동용 IC(130)의 제 1 입력용 범프(132a)에 대하여, 감쇠가 최대한 억제된 신호를 공급할 수 있다.
또한, 실시예 1과 같이, 제 1 배선(242a)에 대하여 고속 신호가 입력되고, 제 2 배선(242b)에 대하여 저속 신호가 입력되기 때문에, 신호의 감쇠를 최대한 억 제하고, 또한 실장 구조체의 소형화를 실현할 수 있다. 따라서, 플렉서블 배선 기판으로부터 입력되는 신호의 감쇠가 억제되어 있기 때문에 표시 특성이 좋고, 소형화가 가능한 액정 장치(201)를 얻을 수 있다.
<전기 광학 장치의 제조 방법>
다음에, 본 실시예에서의 액정 장치의 제조 방법에 대하여 도 19를 이용하여 설명한다.
도 19(a)∼(d)는 액정 장치의 제조 공정도이다. 도 19에서, 좌측에는 도 18(a)에 상당하는 단면도, 우측에는 도 18(b)에 상당하는 단면도를 도시하고 있다.
우선, 기지의 방법에 의해, 플렉서블 배선 기판(240), 액정 패널(2) 및 구동용 IC(130)을 준비한다.
다음에, 도 19(a)에 도시하는 바와 같이 액정 패널(2)의 돌출부(20a)와, 후속 공정에서 액정 패널(2)에 접착하는 플렉서블 배선 기판(240)이 평면적으로 겹치는 영역에, 도전성 접착 부재인 ACF(50)를 도포한다. 이 ACF(50)는, 입력용 배선(25)에서, 어레이 기판(20)의 단부측의 일 단부 상, 및 제 2 배선(242b)과 어레이 기판(20)이 평면적으로 겹치는 영역에서의 제 2 배선(242b)의 입력용 배선(25)과 전기적으로 접속되는 일 단부와는 다른 다른쪽 단부 상에 도포된다.
다음에, 도 19(b)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 배선 기판(240)을 제 2 보호층(243b)이 액정 패널(2)의 어레이 기판(20)측에 위치하도록 마련하여, 플렉서블 배선 기판(240)과 액정 패널(2)을 접착한다. 이때, ACF(50)에 의해 입력용 배선 (25)과 제 2 배선(242b)은 전기적으로 접속된다. 또한, 제 2 배선(242c)과 입력용 배선(25)은 ACF(50)에 의해 전기적으로 접속된다.
다음에, 도 19(c)에 도시하는 바와 같이 제 1 배선(242a)의 선단부, 입력용 배선(25)의 다른쪽 단부, 및 접속 배선(26, 26')중 출력용 범프와 접속되는 쪽의 일 단부 상에, ACF(Anisotropic Conductive Film, 이방성 도전막)(51)를 도포한다.
그 후, 도 19(d)에 도시하는 바와 같이 구동용 IC(130)을 실장한다. 이에 따라, 제 1 배선(242a)은, 어레이 기판(20) 상에 마련되는 입력용 배선을 거치지 않고, ACF(51)만으로 제 1 입력용 범프(132a)에 전기적으로 접속된다. 제 2 배선(242b)은, ACF(50), 어레이 기판(20) 상에 마련된 입력용 배선(25), 및 ACF(51)에 의해, 제 2 입력용 범프(132b)에 전기적으로 접속된다. 제 2 배선(242c)은, ACF(50), 어레이 기판(20) 상에 마련된 입력용 배선(25), 및 ACF(51)에 의해, 제 2 입력용 범프(132c)에 전기적으로 접속된다. 또한, 출력용 범프(31)는 ACF(51)에 의해 접속 배선(26, 26')에 전기적으로 접속된다.
이 다음, 플렉서블 배선 기판(240)과 회로 기판을 접속하고, 액정 패널(2)에 편광판(3)을 마련하여, 액정 장치(201)가 완성된다.
상술한 각 실시예의 플렉서블 배선 기판에서, 평면적으로 보아 제 1 배선을 사이에 유지하도록, 제 1 배선의 양편에 제 2 배선을 마련하고 있었지만, 이것으로 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 21에 도시하는 바와 같이 제 1 배선의 한 쪽에만 제 2 배선이 위치하도록 하더라도 좋다.
도 21은 실시예 2에서의 플렉서블 배선 기판에 대응하는 변형예를 나타내는 사시도이다. 여기서는, 실시예 2에서의 플렉서블 배선 기판의 변형예를 도시했지만, 실시예 1 및 실시예 3에 나타내는 플렉서블 배선 기판에 관해서도 마찬가지로 제 1 배선 및 제 2 배선의 배치를 바꿀 수 있는 것은 말할 필요도 없다. 또한, 도 21에서는 베이스 기재(341)에 마련되는 스루홀의 도시를 생략하고 있다.
도 21에 도시하는 바와 같이 플렉서블 배선 기판(340)은, 폴리이미드 등으로 이루어지는 가요성 기재인 베이스 기재(341)와, 베이스 기재(341)의 한쪽의 면에 마련된 복수(여기서는 6개)의 Cu로 이루어지는 제 1 배선(342a) 및 복수(여기서는 8개)의 Cu로 이루어지는 제 2 배선(342b)과, 제 1 배선(342a)의 일부와 제 2 배선(342b)을 피복하도록 베이스 기재(341) 상에 마련된 보호층(343)을 갖는다. 복수의 제 1 배선(342a)에 인접하여, 그 한 쪽에 복수의 제 2 배선(342b)이 마련된다. 제 1 배선(342a)은 제 2 배선(342b)보다 길게 되어 있고, 그 긴 부분의 일 단부는 보호층(343)에 덮이지 않고, 노출된 상태로 되어 있다. 베이스 기재(341)는, 하나의 큰 직사각형과, 이 직사각형의 1변에서 돌출된 작은 직사각형이, 각각의 1변이 동일 직선상에 위치하도록 조합된 평면 형상을 갖고 있다. 큰 직사각형이 작은 직사각형이 돌출되는 변와 직교하는 변에 거의 평행하게, 제 1 배선(342a) 및 제 2 배선(342b)이 마련되어 있고, 제 1 배선(342a) 중 제 2 배선(342b)보다 길게 돌출된 부분이 작은 직사각형 부분에 마련된다.
(전자 기기)
다음에, 상술한 액정 장치(1)(101, 201)를 구비한 전자 기기에 대하여 설명 한다.
도 22는 본 실시예에 따른 전자 기기의 표시 제어계의 전체 구성을 나타내는 개략 구성도이다.
전자 기기(300)는, 표시 제어계로서 예컨대 도 22에 도시하는 바와 같이 액정 패널(2) 및 표시 제어 회로(390) 등을 구비하고, 그 표시 제어 회로(390)는 표시 정보 출력원(391), 표시 정보 처리 회로(392), 전원 회로(393) 및 타이밍 생성기(394) 등을 갖는다.
또한, 액정 패널(2) 상에는 그 표시 영역(G)을 구동하는 구동 회로(361)를 갖는다.
구동 회로(361)는 상술한 액정 장치(1)의 구동용 IC(33)에 상당하고, 제어 회로(390)는 회로 기판(60)에 상당한다.
표시 정보 출력원(391)은, ROM(Read Only Memory)이나 RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어지는 메모리와, 자기 기록 디스크나 광 기록 디스크 등으로 이루어지는 스토리지 유닛과, 디지털 화상 신호를 동조 출력하는 동조 회로를 구비하고 있다. 또한 표시 정보 출력원(391)은, 타이밍 생성기(394)에 의해서 생성된 각종 클럭 신호에 근거하여, 소정 포맷의 화상 신호 등의 형태로 표시 정보를 표시 정보 처리 회로(392)에 공급하도록 구성되어 있다.
또한, 표시 정보 처리 회로(392)는 직렬-병렬 변환 회로, 증폭·반전 회로, 로테이션 회로, 감마 보정 회로, 클램프 회로 등의 주지의 각종 회로를 구비하여, 입력된 표시 정보의 처리를 실행하고, 그 화상 정보를 클럭 신호 CLK와 동시에 구 동 회로(361)에 공급한다. 구동 회로(361)는, 주사선 구동 회로, 데이터선 구동 회로 및 검사 회로를 포함한다. 또한, 전원 회로(393)는, 상술한 각 구성요소에 각기 소정의 전압을 공급한다.
이러한 전자 기기(300)는, 신호의 감쇠가 최대한 억제되어 있기 때문에, 양호한 표시 화면을 갖는다.
구체적인 전자 기기로서는, 휴대 전화기나 퍼스널 컴퓨터 외에 액정 장치가 탑재된 터치 패널, 프로젝터, 액정 텔레비젼이나 뷰 파인더형, 모니터 직시형의 비디오 테이프 레코더, 카 네비게이션, 페이저, 전자 수첩, 전자 계산기, 워드 프로세서, 워크 스테이션, 화상 전화기, POS 단말 등을 들 수 있다. 그리고, 이들 각종 전자 기기의 표시부로서, 상술한 예컨대 액정 장치(1)(101, 201)가 적용 가능한 것은 말할 필요도 없다.
또, 본 발명의 실장 구조체, 전기 광학 장치 및 전자 기기는, 상술한 예로 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러가지로 변경하여 얻을 수 있는 것은 물론이다.
예컨대, 상술한 실장 구조체에서는, 전기 광학 패널로서의 액정 패널과 플렉서블 배선 기판의 접속 구조를 예로 들어 설명했지만, 전기 광학 패널과 플렉서블 배선 기판 사이를 접속하는 중개 기판을 마련하는 경우에도 적용할 수 있다. 이 경우, 중개 기판 또는 플렉서블 배선 기판이, 본 발명에서의 제 1 배선 및 제 2 배선이 마련되는 베이스 기재에 상당한다. 또한, 전기 광학 패널과 기판의 접속으로 한정되지 않고, 전기 광학 패널을 포함하지 않는 2장의 기판과의 접속에도 본 발명 을 적용할 수 있다. 또한, 예컨대, 상술한 전기 광학 장치는 모두 액정 패널을 갖는 액정 장치이지만, 무기 또는 유기 전계 발광 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, 전기 영동 디스플레이 장치, 전자 방출 소자를 이용한 장치(Field Emission Display, Surface-Conduction Electron-Emitter Display 등) 등의 각종 전기 광학 장치이더라도 좋다.
또한, 예컨대, 상술한 실시예에서는 TFT을 스위칭 소자로서 이용한 액티브 매트릭스형 액정 장치에 대하여 설명했지만, 다른 스위칭 소자를 이용한 액정 장치, 예컨대 박막 다이오드 소자를 이용한 액티브 매트릭스형의 액정 장치이더라도 좋다. 또한, 패시브형 액정 장치이더라도 좋다.
또한, 상술한 실시예에서는, 베이스 기재에 마련되는 배선중, 고속 신호가 입력되는 일부 배선(제 1 배선)이 기판 상의 입력용 배선을 거치지 않고 입력용 범프에 전기적으로 접속되고, 다른 배선(제 2 배선)이 기판 상의 입력용 배선을 거쳐서 입력용 범프에 전기적으로 접속되어 있었다. 이와 같이, 고속 신호가 입력되는 배선만을 입력용 배선을 거치지 않고 입력용 범프에 전기적으로 접속하는 것이 바람직하지만, 베이스 기재에 마련되는 모든 배선을 입력용 배선을 거치지 않고서 입력용 범프에 전기적으로 접속하는 것이 가능하면, 모든 배선을 입력용 배선을 거치지 않고서 입력용 범프에 전기적으로 접속하더라도 좋다. 특히, 상술한 실시예 3과 같이, 베이스 기재의 양면에 배선을 마련하는 구조라면, 모든 배선을 기판 상의 입력용 배선을 거치지 않고서 접속하는 데 적합하다.
상술한 본 발명에 의하면, 신호 감쇠가 최대한 억제되어 표시 특성이 양호한, 실장 구조체, 전기 광학 장치, 그 전기 광학 장치를 이용한 전자 기기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

Claims (12)

  1. 전기 광학 물질을 유지하는 기판과,
    상기 기판 상에 마련된 기판측 제 1 배선 및 기판측 제 2 배선과,
    상기 기판 상에 배치된 반도체 소자와,
    상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련된 제 1 입력용 범프 및 제 2 입력용 범프와,
    상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련되어, 상기 기판측 제 1 배선과 접속되는 출력용 범프와,
    상기 기판 상에 실장된 베이스 기재와,
    상기 베이스 기재에 마련되어, 상기 제 1 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 제 1 배선과,
    상기 베이스 기재에 마련되어, 상기 기판측 제 2 배선을 거쳐서 상기 제 2 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 제 2 배선
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 배선은 상기 베이스 기재로부터 돌출되어 있는 돌출부를 갖고, 당해 돌출부에서 상기 제 1 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 기재는 상기 기판과 평면적으로 겹치는 중첩부를 갖고,
    상기 제 1 배선은 상기 중첩부의 상기 기판쪽과는 반대쪽에 마련되어, 상기 중첩부 상에서 상기 제 1 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 배선은 상기 중첩부의 상기 기판측에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 배선에는 고속 신호가 입력되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 입력용 범프는 상기 제 2 입력용 범프보다 높이가 낮은 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 배선은 적어도 상기 기판과 평면적으로 겹치는 부분에서 직선적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2 배선에는 그라운드 신호가 입력되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  9. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 베이스 기재는 본체 부분으로부터 돌출된 돌출부를 갖고,
    상기 제 1 배선은 상기 돌출부에 마련되어 있는 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  10. 전기 광학 물질을 유지하는 기판과,
    상기 기판 상에 마련된 기판측 배선과,
    상기 기판 상에 배치된 반도체 소자와,
    상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련된 입력용 범프와,
    상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련되어, 상기 기판측 배선과 접속되는 출력용 범프와,
    상기 기판 상에 실장된 베이스 기재와,
    상기 베이스 기재에 마련되어, 상기 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 배선
    을 구비하고,
    상기 베이스 기재는 상기 기판과 평면적으로 겹치는 중첩부를 갖고,
    상기 배선은 상기 중첩부의 상기 기판쪽과는 반대쪽에 마련되며, 상기 중첩부 상에서 상기 입력용 범프와 접속되는 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  11. 기판과,
    상기 기판 상에 마련된 기판측 배선과,
    상기 기판 상에 배치된 반도체 소자와,
    상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련된 입력용 범프와,
    상기 반도체 소자의 상기 기판쪽 면에 마련되어, 상기 기판측 배선과 접속되는 출력용 범프와,
    상기 기판 상에 실장된 베이스 기재와,
    상기 베이스 기재에 마련되어, 상기 입력용 범프와 전기적으로 접속되는 배선
    을 구비하고,
    상기 베이스 기재는 상기 기판과 평면적으로 겹치는 중첩부를 갖고,
    상기 배선은 상기 중첩부의 상기 기판쪽과는 반대쪽에 마련되며, 상기 중첩부 상에서 상기 입력용 범프와 접속되는 것
    을 특징으로 하는 실장 구조체.
  12. 청구항 1 내지 4 및 청구항 10 중 어느 한 항에 기재된 전기 광학 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 기기.
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