KR20030004350A - 판독시 누설이 감소된 부트스트랩핑 증폭을 하는 능동픽셀센서 - Google Patents

판독시 누설이 감소된 부트스트랩핑 증폭을 하는 능동픽셀센서 Download PDF

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KR20030004350A
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Abstract

집적된 능동 픽셀센서 어레이는, 각각 행 선택 신호 공급원에 접속되는 복수의 행 선택라인; 각각 소스 폴로워 드레인 행 신호 공급원에 접속되는 복수의 소스 폴로워 드레인 행 라인; 복수의 열 출력라인; 리셋신호 공급원에 접속되는 리셋라인; 리셋 전위 공급원; 및 각각 어레이의 한 행 및 한 열과 관계되는 복수의 능동 픽셀센서로서, 제1 기준전위에 접속되는 제1 단자와 제2 단자를 포함하는 포토다이오드, 리셋 라인에 접속되는 게이트와 포토다이오드를 역 바이어스 시키도록 상기 리셋 전위에 접속되는 드레인과 포토다이오드의 제2 단자에 접속되는 소스를 포함하는 리셋 트랜지스터, 포토다이오드의 제2 단자에 접속되는 게이트와 해당 능동 픽셀센서가 관계되는 복수의 소스 폴로워 드레인 행 라인 가운데 하나와 접속되는 드레인과 소스를 포함하는 소스 폴로워 트랜지스터, 해당 능동 픽셀센서가 관계되는 복수의 행 선택라인 가운데 하나와 접속되는 게이트와 소스 폴로워 트랜지스터의 소스와 접속되는 드레인과 해당 능동 픽셀센서가 관계되는 복수의 열 출력라인 가운데 하나와 접속되는 소스를 포함한다.

Description

판독시 누설이 감소된 부트스트랩핑 증폭을 하는 능동 픽셀센서{ACTIVE PIXEL SENSOR WITH BOOTSTRAP AMPLIFICATION AND REDUCED LEAKAGE DURING READOUT}
본 출원은 미국특허출원 제09/492,104호(2000.2.14)의 우선권을 주장한다.
현재, CMOS 능동 픽셀센서의 분야에 있어서, 능동 픽셀센서의 감도, 잡음, 및 이득 특성이 주 관심사이다. 전형적으로, 능동 픽셀센서에 부딪히는 광자에 의해 생성되는 전하를 측정하는 능동 픽셀센서의 감도는, 능동 픽셀센서에 부딪히는 빛의 광자당 발생되는 전압, 즉 전하-전압 이득을 판정하는 것이 특징이다. 능동 픽셀센서의 판독용 증폭기는 실질적인 잡음원으로 대표되며, 종래 기술의 픽셀센서들의 설계시 절충관계를 요구하고 있다. 종래 기술의 능동 픽셀센서의 이득은 압축적이 바람직함에도, 대부분이 확장적이다.
능동 픽셀센서의 감도는 적어도 3가지 요소에 의해 판정된다. 첫번째 요소는 광자를 전자로 변환시킬 수 있는 능동 픽셀센서 내의 영역비에 관한 것이다.본 요소는 채움 계수(fill factor)로 알려져 있다. 영역의 증가는 발생 전하량의 증가를 가져온다. 능동 픽셀센서의 감도에 영향을 끼치는 두 번째 요소는 능동 픽셀센서에 의해 감지되는 전하를 축적할 수 있는 커패시턴스에 관한 것이다. 주어진 전하량에 대한 커패시터 상의 전압은 커패시터의 크기에 역비례함을 알 수 있다. 따라서, 동일한 전하량에 대하여 커패시턴스가 증가하는 경우 전압이 감소한다. 세번째 요소는 능동 픽셀센서의 판독용 증폭기의 이득이다. 종래 기술의 판독용 증폭기는 전형적으로 소스 폴로워(source follower)와 같은 형태의 트랜지스터이므로, 이득이 1 보다 작다.
능동 픽셀센서의 잡음원 중 하나는 판독용 트랜지스터의 문턱치의 변동에 의해 발생된다. 문턱치 변동량은 판독용 트랜지스터의 크기에 관계된다. 판독용 트랜지스터의 크기가 증가할수록, 문턱치 변동량, 즉 잡음량은 감소한다.
압축성의 비선형 이득에 있어서, 고광 레벨의 이득이 저광 레벨의 이득보다 낮다. 당업자에게 자명한 바와 같이, 고광 레벨보다 저광 레벨에서 더 큰 광자-전압 변환감도를 가질 것이 일반적으로 요구되는데, 이는 저광 레벨에서 신호대 잡음비를 증가시키고, 능동 픽셀센서의 사용가능한 동작범위가 증가되기 때문이다.
CMOS 능동 픽셀센서 기술에서 능동 픽셀센서가 내장 저장장치를 포함할 수 있거나, 포함하지 않을 수 있다. 도 1 및 도 3은 내장 저장장치가 있는, 그리고 내장 저장장치가 없는 전형적인 CMOS 능동 픽셀센서를 각각 나타낸다.
도 1의 능동 픽셀센서(10)에서, 전하를 수집하기 위해 채용된 포토다이오드(12)는, 접지로 나타낸 고정된 전위에 접속된 애노드, 및 MOS N채널리셋 트랜지스터(14)의 소스 및 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트에 접속된 캐소드를 포함한다. MOS N채널 리셋 트랜지스터(14)의 게이트는 리셋 라인에 접속되고, MOS N채널 리셋 트랜지스터(14)의 드레인은 기준 전압(Vref)에 접속된다. MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 드레인은 고정된 전위(Vcc)에 접속되고, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 소스은 MOS N채널 행 선택 트랜지스터(18)로 접속된다. MOS N채널 행 선택 트랜지스터(18)는 능동 픽셀센서(10)를 능동 픽셀 센서 어레이의 열 출력라인(22) 및 행 선택라인(20)으로 접속시킨다. 통상, 전압(Vref) 및 전압(Vcc)는 동일하다. 능동 픽셀센서(10)에서, 능동 픽셀센서(10)에 의해 감지되는 전하의 축적에 활용가능한 커패시턴스는 포토다이오드(12)의 커패시턴스 및 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 커패시턴스를 포함한다.
일반적으로, 수행되는 능동 픽셀센서(10)의 동작은 당업자에게 자명할 것이다. 도 2는 능동 픽셀센서(10)의 동작을 나타내는 타이밍도이다. 먼저, 능동 픽셀센서(10)가 리셋단계 동안에 리셋신호(RESET)에 의해 리셋되고, MOS N채널 리셋 트랜지스터(14)를 턴온시켜, 포토다이오드(12)의 캐소드상에 전압(Vref)을 설정한다. 리셋신호(RESET)가 비활성화될 때(하이에서 로우로 전환될 때) 축적단계가 시작되고, 그 후 포토다이오드(12)의 캐소드에 광-유도 전자들이 수집되어, 리셋 단계동안 설정된 값(Vref)으로부터 해당 전압을 감소시킨다. 다음의 판독 단계 동안,행 선택신호(ROW SELECT)가 행 선택라인(20) 상에 활성화되어, MOS N채널 행 선택 트랜지스터(18)를 턴온시켜, 센싱을 위한 열 출력라인(22)상에 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 소스 전압을 설정한다. 포토다이오드(12)의 캐소드에 축적된 전하에 의해 형성된 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트의 전압은, 판독 기간동안 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 소스에 이어질 것임을 알 수 있다.
도 3은 내장 저장장치를 포함하는 CMOS 능동 픽셀센서(30)의 개략도이다. 도 1의 능동 픽셀센서(10)와 같이, 도 3의 픽셀센서(30)는 접지에 접속된 애노드 및 MOS N채널 리셋 트랜지스터(14)의 소스에 접속된 캐소드를 포함하는 포토다이오드(12)를 포함한다. MOS N채널 리셋 트랜지스터의 게이트는 리셋 라인에 접속되고, MOS N채널 리셋 트랜지스터(14)의 드레인은 전압(Vref)에 접속된다. 또한, 포토다이오드(12)의 캐소드는 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트에 접속된다. MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 드레인은 Vcc에 접속되고, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 소스는 MOS N채널 행 선택 트랜지스터(18)로 접속된다. 일반적으로, 전압(Vref) 및 전압(Vcc)는 서로 동일하다. 도 1의 능동 픽셀센서와 같이, MOS N채널 행 선택 트랜지스터(18)는 능동 픽셀센서(10)를 능동 픽셀센서 어레이의 열 출력라인(22) 및 행 선택라인(20)으로 접속시킨다. 도 3의 능동 픽셀센서(30)에서, 포토다이오드(12)의 캐소드는 MOS N채널 전송 트랜지스터(32)를 통해 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)로 접속된다. MOS N채널 전송 트랜지스터(32)의 게이트는 XFR 라인으로 접속되고, MOS N채널 전송 트랜지스터(32)의 드레인은 커패시터(34)의 제1판 및 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트로 접속된다.
도 3의 능동 픽셀센서(30)에서, 능동 픽셀센서(30)에 의해 감지된 전하의 축적에 활용가능한 커패시턴스는, 포토다이오드(12)의 커패시턴스, 저장 커패시터(34)의 커패시턴스, 및 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 커패시턴스를 포함한다. 그러나, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 드레인 전압이 높기 때문에, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 커패시턴스는 작아서, 일반적으로 바람직한 전하 저장소자가 아님을 알 수 있다.
도 4는 능동 픽셀센서(30)의 동작에 해당하는 타이밍도이다. 도 1의 능동 픽셀센서에서와 같이, 능동 픽셀센서(30)를 동작시키기 위해, MOS N채널 트랜지스터(14)가 먼저 리셋신호(RESET)에 의해 턴온되어, 포토다이오드(12)의 캐소드에 전압(Vref)을 설정한다. 또한, MOS N채널 전송 트랜지스터(32)가 이 때에 XFR 라인에 활성화되는 XFR 신호에 의해 턴온되어, 저장 커패시터(34)상에 전압(Vref)을 설정한다. 다음, MOS N채널 리셋 트랜지스터(14)가 턴오프되는 반면, MOS N채널 전송 트랜지스터(32)는 턴온을 유지하여, 포토다이오드(12)에 부딪히는 광자의 축적을 시작한다. MOS N채널 전송 트랜지스터(32)는 여전히 턴온되기 때문에, 저장 커패시터(34)는 축적하는 동안 포토다이오드(12)의 커패시턴스에 더해진다. 이는 전하 용량을 증가시켜, 저장장치 픽셀센서(30)의 강도범위(동작범위)를 증가시킨다. 축적 기간은 리셋신호(RESET)의 하강에지와 XFR 신호의 하강에지 사이의 기간이다. 축적 기간의 끝에서, MOS N채널 전송 트랜지스터(36)가 턴오프 된다. 이어지는 판독동작 단계에서, MOS N채널 행 선택 트랜지스터(18)가 턴온 되고, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 전압이 자신의 소스에 이어서 인가되어, 열 출력라인(22)상에 설정될 것이다.
양 능동 픽셀센서(10 및 30) 모두에 있어서, 채움 계수를 증가시키고 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 영역을 최소화하여 커패시턴스 영역을 줄임으로써, 감도를 증가시키기 위해 포토다이오드(12)에 제공되는 영역을 더 크게 할 수 있다. 그러나, 능동 픽셀센서(10 및 30)의 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 커패시턴스가 줄어드는 경우, 두 예 모두에서 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 잡음이 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 영역에 거의 역비례하는 양만큼 증가한다. 따라서, 두 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 영역이 감소되는 때에 잡음이 증가하고, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 영역이 증가하는 경우 잡음이 감소한다.
개별 소자로 저장 커패시터(34)를 포함하는 도 3의 능동 픽셀센서(30)의 경우에 있어서, 감도와 잡음 문제는 더욱 심각하다. 저장 커패시터(34)가 존재함으로 인해 감도는 감소되고, 채움 계수는 더 감소된다. 저장 커패시터(34)가 있음으로 인해 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 활용가능한 공간을 줄여 잡음이 증가되기 때문에, 더 작게 되어야 한다.
많은 픽셀센서들의 잡음성능에 있어서, 접합 누설전류가 지배적인 요소이다.픽셀센서의 크기가 감소됨에 따라, 접합 누설에서 전기장이 중요한 요소가 된다. 함께 계류중이며, 본 발명과 동일한 양수인에게 양수된 미국특허출원 제09/099,116호(1998년 6월 17일자 출원, 미국특허등록 제x,xxx,xxx호)에서는, 판독시에만 저장장치 노드들이 하이가 되도록 어레이 내의 모든 능동 픽셀센서를 전체적으로 동기시킴으로써 전기장을 줄였다. 이는 몇몇 장점을 제공하는 반면, 저장 픽셀센서들의 동작에서는 개선의 여지가 남아 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 능동 픽셀센서의 감도를 증가시키는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 능동 픽셀센서의 누설에 관련된 잡음을 감소시키는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 상대 광도가 증가함에 따라 능동 픽셀센서의 이득을 압축시키는 것이다.
본 발명은 능동 픽셀센서에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 감도를 개선시키고, 잡음을 감소시키도록, 능동 픽셀센서 내의 몇몇 트랜지스터의 바이어스를 가변시켜, 전하-전압 이득의 압축적인 비선형성을 제공하고, 판독시 픽셀들의 누설전류를 감소시킨 능동 픽셀센서에 관한 것이다.
도 1은 제1 종래 기술에 따른 능동 픽셀센서의 개략도.
도 2는 도 1에 도시된 능동 픽셀센서의 동작을 나타낸 타이밍도.
도 3은 제2 종래 기술에 따른 능동 픽셀센서의 개략도.
도 4는 도 3에 도시된 능동 픽셀센서의 동작을 나타낸 타이밍도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 능동 픽셀센서의 개략도.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 능동 픽셀센서의 개략도.
도 7은 도 5 또는 도 6의 능동 픽셀센서의 복수의 행들을 포함하는 어레이의 일부를 나타낸 블록도.
도 8은 도 5 또는 도 6에 도시된 능동 픽셀센서 어레이의 동작을 나타낸 타이밍도.
도 9는 본 발명에 따른 픽셀센서 어레이의 행 선택라인들의 상승시간을 제어하기 위해 채용될 수 있는 회로의 일례를 나타낸 개략도.
도 10은 본 발명에 따른 제1 실시예에서 축적 및 판독 기간동안 소스 폴로워 트랜지스터의 게이트, 드레인, 소스 및 백-게이트 전압을 나타낸 개략도.
도 11은 본 발명에 따른 제2 실시예에서 축적 및 판독 기간동안 소스 폴로워 트랜지스터의 게이트, 드레인, 소소, 및 백-게이트 전압을 나타낸 개략도.
도 12는 본 발명에 따른 제3 실시예에서 축적 및 판독 기간동안 소스 폴로워 트랜지스터의 게이트, 드레인, 소스, 및 백-게이트 전압을 나타낸 개략도.
도 13은 본 발명에 따라 상대 광도가 증가할 때 능동 픽셀센서의 이득의 압축성을 나타낸 그래프.
본 발명에 따르면, 채움 계수를 증가시키고, 소스 폴로워 트랜지스터를 더 크게 한 픽셀센서를 제공함으로써, 능동 픽셀센서의 감도가 증가되며, 잡음이 감소된다. 접합 누설전류의 전기장 성분을 최소화 하도록 설계된 모드에서 픽셀 센서를 동작시킴으로써 잡음 또한 감소된다. 능동 픽셀센서의 이득은 능동 픽셀센서의 상대광도가 증가함에 따라 압축적이다. 본 발명에 따른 능동 픽셀센서 어레이의 동작 모드에서, 어레이의 행 내의 소스 폴로워 트랜지스터들의 드레인은 행이 판독되는 경우에만 하이로 펄스된다.
본 발명의 제1 실시예에 따르면, 능동 픽셀센서는 고정된 전위원과 기준전압사이에 리셋 트랜지스터와 직렬로 접속되어 역 바이어스 된 포토다이오드를 포함한다. 리셋 트랜지스터의 게이트는 리셋 라인에 접속된다. 소스 폴로워 트랜지스터는 포토다이오드의 캐소드에 접속되는 게이트, 소스 출력 노드, 및 스위칭 가능한 전위에 접속되는 드레인을 포함한다.
본 발명의 제2 실시예에 따르면, 능동 픽셀센서는 고정된 전위원과 기준전압 사이에 리셋 트랜지스터와 직렬로 접속되어 역 바이어스 된 포토다이오드를 포함한다. 리셋 트랜지스터의 게이트는 리셋 라인과 접속된다. 전송 트랜지스터는 포토다이오드의 캐소드와 소스 폴로워 트랜지스터의 게이트 사이에 접속된다. 전송 트랜지스터의 게이트는 전송 라인에 접속된다. 소스 폴로워 트랜지스터는 소스 출력 노드 및 스위칭 가능한 전위에 접속되는 드레인을 포함한다.
본 발명에 따른 능동 픽셀센서 어레이의 동작방법에 따르면, 능동 픽셀센서의 축적 기간동안 능동 픽셀센서의 단일 행의 소스 폴로워 트랜지스터 드레인의 전압이 로우 레벨로 유지되며, 그 단일 행의 판독 기간 동안 행 선택신호와 동기하여 하이 레벨로 펄스된다. 본 발명에서 바람직하게는, 행 선택신호는 구동되는 열 라인들의 전압의 dV/dt 값을 제한하도록 상승시간이 제어되므로, 임의의 이미지에 따라 다른 소스 폴로워 드레인의 하이 레벨의 전압강하를 제한한다.
본 발명의 다음 설명은 단지 예시적인 것으로 절대 제한적인 것이 아님은 당업자에게 자명할 것이다. 본 발명의 다른 실시예들은 당업자에게 쉽게 제안될 수있을 것이다.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 능동 픽셀센서(50)의 제1 실시예가 행 선택라인과 열 출력라인에 접속되어 개략적으로 도시되었다. 도 5의 50으로 도시된 능동 픽셀센서는 도 1의 10으로 도시된 능동 픽셀센서와 유사하므로, 두 도면에서 해당 소자들에 동일한 참조번호들이 채용되었다. 따라서, 능동 픽셀센서(50)는 고정된 접지전위와 전압(Vref) 사이에 MOS N채널 리셋 트랜지스터(14)와 직렬로 접속되어 역 바이어스 된 포토다이오드(12)를 포함한다. MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(18)의 드레인이 고정된 드레인 공급전압(도 1의 Vcc) 대신 스위칭 가능한 공급전압(Vd)에 접속된다는 중요한 점에서, 도 3의 능동 픽셀센서(50)는 도 1의 능동 픽셀센서(10)와 다르다. 또한, 전압(Vref)은 종래 기술 보다 더 낮은 전압일 수 있다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 능동 픽셀센서(60)의 제2 실시예가 행 선택라인과 열 출력라인에 접속되어 개략적으로 도시되었다. MOS N채널 전송 트랜지스터(32)가 포토다이오드(12)의 캐소드와 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 사이에 접속된다는 것을 제외하면, 도 6의 실시예는 도 5의 실시예와 매우 유사하다. MOS N채널 전송 트랜지스터(32)의 게이트는 XFR 신호 라인에 접속된다.
본 발명의 픽셀센서(50 및 60)들은 픽셀 센서(50 또는 60)을 주로 보게 되는 어레이 환경에서 개선된 성능을 제공한다. 본 발명의 이러한 점은 도 5의 능동 픽셀센서의 복수 열을 포함하는 어레이의 일부를 나타낸 블록도인 도 7, 및픽셀센서(50) 어레이의 동작을 나타낸 타이밍도인 도 6을 참조하면 가장 쉽게 이해될 수 있다.
도 7의 어레이 부분은 단지 예시를 위해 2×2분할로 도시되었다. 본 발명의 실제 실시예에서 어레이 크기는 임의적이 될 수 있음이 당업자에게 자명할 것이다. 어레이 부분은 도 5의 50 또는 도 6의 60의 능동 픽셀센서 어느 것이라도 채용할 수 있다. 어레이 부분의 제1행은 능동 픽셀센서(50/60-1 및 50/60-2)를 포함한다. 어레이 부분의 제2행은 능동 픽셀센서(50/60-3 및 50/60-4)를 포함한다. 어레이 부분의 제1열은 능동 픽셀센서(50-1 및 50/60-3)를 포함한다. 어레이 부분의 제2열은 능동 픽셀센서(50/60-2 및 50/60-4)를 포함한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 공통 Vref라인이 어레이 내의 모든 능동 픽셀센서들에 대하여 사용된다. 또한, 공통 리셋 라인(64)이 어레이 내의 모든 능동 픽셀센서들에 대하여 사용된다. 또한, 공통 XFR 라인(66)이 어레이 내의 모든 능동 픽셀센서들에 대하여 사용된다. 제1 행 선택라인(20-1)은 어레이의 제1행 내의 모든 능동 픽셀센서들을 구동한다. 제2 행 선택라인(20-2)은 어레이의 제2행 내의 모든 능동 픽셀센서들을 구동한다. 어레이의 제1열의 모든 능동 픽셀센서의 출력들은 제1 열 출력라인(22-1) 상으로 구동된다. 어레이의 제2열의 모든 능동 픽셀센서들의 출력들은 제1 열 출력라인(22-2) 상으로 구동된다. 제1 Vd 라인(68-1)은 어레이의 제1행의 모든 능동 픽셀서들을 구동한다. 독립된 제2 Vd 선택라인(68-2)은 어레이의 제2행의 모든 능동 픽셀센서들을 구동한다. 어레이 부분이 도 6의 능동픽셀센서를 포함하는 경우, 추가의 글로벌 XFR 신호 라인이 어레이의 모든 능동 픽셀센서들로 접속된다.
제어회로(70)는 어레이의 동작을 제어하는데 사용되는 모든 신호들을 발생시키는데 사용된다. 당업자에게 자명한 바와 같이, 제어회로(70)는 클록 및 타이머와 같은 공지된 기능 블록, 펄스발생기, 행 디코더, 및 도 8에 도시된 모든 신호들을 발생시키기 위한 기타 종래의 논리회로들을 포함할 수 있다. 이러한 회로는 어레이의 크기에 따라 다를 것이다. 전체 회로의 특정한 형태는 본 발명의 일부로 사료되지 않으며, 본 발명의 특정 실시예에 사용하기 위한 특정한 회로의 형태는 당업자에게 평범한 과제이다.
도 8은 도 5 및 도6 모두에 도시된 형태의 능동 픽셀센서 어레이(72)의 동작을 나타낸 타이밍도이다. 능동 픽셀센서(50)의 동작에서, 어레이(60)의 모든 MOS N채널 리셋 트랜지스터(도 5의 14)를 턴온시키기 위해 리셋신호(RESET)가 먼저 하이레벨로 활성화되어, 리셋 기간동안 어레이의 모든 포토다이오드(도 5의 12)들의 캐소드들을 Vref로 설정한다. 리셋신호(RESET)가 비활성화되는 때에, 포토다이오드의 축적이 시작되고, 광-유도 전자들이 어레이의 모든 포토다이오드들의 캐소드 상에 모아진다. 광전하의 축적은 어레이 내의 포토다이오들의 캐소드 상의 전압을 값(Vref)에서부터 어레이내의 각 픽셀 위치에서의 광 레벨에 따라 감소시킨다. 능동 픽셀센서(60)의 동작은 능동 픽셀센서(50)와 동일하나, 글로벌 XFR 라인이 리셋신호(RESET)가 활성화 되기 전에 활성화되고, 광축적 기간의 끝에서 비활성화되는 추가적인 특색을 나타낸다.
도 8에 도시된 바와 같이, 글로벌 XFR 라인이 비활성화된 후에 판독 전의 축적 기간의 끝에서, 리셋신호(RESET)가 다시 하이로 활성화된다. 판독하는 동안, 각 행 선택라인상에서 행 선택 신호(ROW SELECT)가 한 번씩 활성화되어, 센싱을 위한 각 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터의 소스 상의 전압을 열의 출력라인들(22-1 및 22-2)에 설정하도록, 행의 모든 MOS N채널 선택 트랜지스터들을 턴온 시킬 것이다. 도 7을 참조하면, 각 행이 판독됨에 따라 그 행의 Vd 라인이 먼저 하이로 펄스되고, 이어서 그 행의 행 선택라인이 활성화됨을 알 수 있을 것이다. 다음, 행 선택라인이 비활성화되고, 이어서 Vd 라인상의 Vd 펄스가 끝난다. 자신의 관계되는 포토다이오드의 캐소드 상에 축적된 전하에 기인하는 각 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터의 게이트 상의 전압은 판독 기간동안 자신의 소스상의 전압으로 이어짐은 당업자에게 자명할 것이다.
본 발명의 일면에 따르면, 행 선택 신호들의 상승시간을 제어하는 것이 바람직하다. 이는 열 라인들로 흐르는 전류량을 제어하고, 어레이로부터 판독되고 있는 이미지의 줄무늬 잡음의 발생을 방지한다. 도 9를 참조하면, Vd 및 행 선택신호를 어레이 가운데 한 행으로 제공하기 위한 디코더 회로의 일례의 개략도를 나타내며, 본 발명에 따른 픽셀센서 어레이의 행 선택라인들의 상승시간을 제어하기 위해 채용될 수 있는 회로의 일례를 포함한다.
3개의 제어신호들이 도 9의 회로를 구동하기 위해 사용된다. 첫 번째 신호인 행 디코더 라인(72) 상의 행 디코더 출력신호는, 판독을 위해 개개의 행들을 선택하도록 어레이에서 사용되는 행 디코더 회로로부터의 출력이다. SFD 인에이블 라인(74) 상의 두 번째 신호는 AND 게이트(76)에서 라인(72)의 행 디코더 출력신호와 AND 연산되어 도 8의 타이밍도의 Vd-1 또는 Vd-2 신호 가운데 하나를 출력라인(78)상으로 발생시키는 인에이블 신호를 제공한다. 행 인에이블 라인(80)상의 세 번째 신호는 NAND 게이트(82)에서 라인(72)상의 행 디코더 출력신호와 NAND 연산된다. NAND 게이트(82)의 출력은 전류를 소모하는 인버터(84)를 구동하는데 사용된다. 전류를 소모하는 인버터(84)는 MOS P채널 트랜지스터(86) 및 MOS N채널 트랜지스터(88)로 형성된다. 인버터(84)는 게이트가 바이어스 전압원(Vpbias)에 접속된 P채널 MOS 바이어스 트랜지스터(90)를 통해 P채널 MOS 트랜지스터(86)의 소스 전압을 제공함으로써 전류를 소모한다. 전류를 소모하는 인버터(84)의 출력은 도 8의 타이밍도의 신호(ROW SELECT-1 또는 ROW SELECT-2) 중 하나를 생성한다. MOS P채널 트랜지스터(84)가 턴온되는 때, 인버터는 Ipbias와 같은 일정 전류를 전송할 것이다. 이러한 일정 전류는 ROW SELECT 라인(92)의 커패시턴스를 충전하기 때문에 선형의 램프 전압출력을 제공할 것이다.
어레이 내의 각 행의 AND 게이트(76)의 출력(Vd)은 개개의 열 라인 커패시턴스의 총합과 같은 전체 커패시턴스를 충전시켜야 한다. 극단적으로, 행의 모든 픽셀센서들이 고광 레벨에 노출되는 경우, 각 열은 낮은 전압으로 충전되어야 하지만, 행의 모든 픽셀센서들이 저광 레벨에 노출되는 경우, 각 열은 더 높은 전압으로 충전되어야 할 것이다. 저광 레벨 노출의 경우에, Vd 라인상에서 인출되는 총전류는 높게 될 것이다. 실제 축적된 어레이에 있어서 Vd 전압을 전송하는 금속라인은 전형적으로 1,000 오옴 정도의 저항을 갖고, AND 게이트(76)의 출력 임피던스는 더욱 높을 수도 있기 때문에, 특히 어레이가 구동해야 할 열 라인들을 2,000 개는 족히 가지는 점을 감안하면, 이는 잠재적으로 소스 폴로워의 드레인들에서 Vd 라인 전압을 떨어뜨릴 수 있고, 출력 신호레벨 에러를 유발할 수 있다. 본 발명은 이러한 면에서, 열 라인들에 접속된 판독용 트랜지스터들을 턴온시키는 신호의 상승시간을 제어함으로써 전체 전류가 제한된다.
구동되는 열 라인의 전체 커패시턴스는:
가 되며, 전체 전류(Itot)는:
가 되거나, 충전하는 동안 Vcol이 Vrow를 따르기 때문에, 그리고 행 선택라인 커패시턴스(Crow)는 열 라인 커패시턴스(Ccol)와 거의 동일하기 때문에:
이며, 이는 다음의 식과 등가이다.
2,000개의 행을 포함하는 어레이(N=2,000)에 있어서, 행 구동전류(Ipbias)는Itot(무시할 수 있는 전압강하에 해당하는 VSFD 구동전류) 보다 2,000 배 더 작아야 한다.
나타낸 바와 같이, 축적 기간동안 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의 드레인은 거의 접지전압인 제1 전압 레벨로 설정되며, 판독기간 동안은 바람직하게 Vref보다 더 큰 제 2 전압레벨로 설정된다. 이러한 바이어스 조건하에서, 능동 픽셀센서(50)의 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의 게이트는 전하 축적 기간 동안 큰 비선형 커패시터로 동작하며, 판독 기간 동안 작고 거의 선형인 커패시터로 동작한다.
MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 소스가 거의 접지로 설정되는 때에, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)가 턴온될 것이다. 이러한 소자들이 턴온되는 때에, 그 게이트들은 큰 커패시턴스를 제공한다. 축적하는 동안, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의 게이트 상의 큰 과도상태(on-state)의 커패시턴스들은 병렬로 접속되어서, 포토다이오드(12)의 커패시턴스에 더해진다. 이러한 증가된 커패시턴스는 축적 기간동안의 전하-전압 이득을 감소시킨다.
그러나, 판독 기간동안 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의 드레인이 하이로 되는 때에, 가변하는 공급전압(Vd)의 변화는 당업자에게 잘 알려진 "부트스트랩핑" 용량성 접합 효과를 통해 게이트 상의 전압을 상승시키고, 전술한 축적 기간동안 나타나는 전하-전압 이득의 감소는 전형적으로 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의 드레인이 하이로 되는 때에 부트스트랩핑 역학관계에 기인되는 증가된 판독 이득에 의해 보상될 것이다. 이러한 부트스트랩핑 효과는 출력신호 전압의 큰 동작 범위를 제공한다. 따라서, 본 발명에 따른 바이어스 구성은 능동 픽셀센서의 감도를 증가시킨다.
MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의 게이트는 판독하는 동안 더 높은 레벨로 상승되기 때문에, 종래 기술에서 사용되는 더 낮은 전압(Vref)이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 능동 픽셀센서를 사용하는 경우, 리셋신호(RESET)의 논리 하이 전압레벨이 감소될 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 종래 기술에 비하여 도 3에 도시된 저장 커패시터(34)가 능동 픽셀센서(60)에서 제거되었기 때문에, 포토다이오드(32) 영역을 확장함으로써 발생되는 광전하의 손실없이도, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16) 게이트의 큰 과도상태 커패시턴스 때문에, 능동 픽셀센서(60)의 감도가 증가될 수 있다.
MOS N채널 트랜지스터(16)들의 드레인으로의 가변 공급전압(Vd)을 상승시키고, 그 소스들은 상향 설정함으로써, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의 게이트 커패시턴스를 높은 커패시턴스에서 낮은 커패시턴스로 변화시키게 되고, 이는 능동 픽셀센서(50 및 60) 내의 전하 및 전압 값들의 재분배에 해당한다는 것이 자명할 것이다.
도 5의 능동 픽셀센서(50 및 60)의 판독 기간동안, 광-유도 전하는 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트상에 더 이상 유지될 수 없고, 그 대신 포토다이오드(12)의 커패시턴스에 유지된다. 순(net) 커패시턴스는 더 낮기 때문에, 전하-전압 이득은 더 높다. 부트스트랩핑 동작은 커패시턴스를 감소시켜 포토다이오드(12)상에서 더 높은 전압신호를 얻도록 하고, 소스 폴로워로 동작하는 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 이득에 따라 그 신호를 판독하는 것으로 보여질 수 있다.
도 6의 능동 픽셀센서(60)의 판독 기간동안, 부트스트랩핑 동작의 효과는 놀랍기도 하고 유익한 것이기도 하다. 축적 기간동안 전하를 축적시킨 후에, XFR 라인상의 제어신호에 의해 MOS N채널 전송 트랜지스터(32)가 턴오프 된다. 판독 기간동안 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 커패시턴스가 작아지는 때에, 광-유도 전하들이 재분배될 수 있는 영역은 작다. 즉, MOS N채널 전송 트랜지스터(32)의 드레인 단자 및 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 단자를 포함하는, 회로 노드의 관계된 부유 커패시턴스가 포토다이오드(12) 커패시턴스에 비하여 매우 작다. 이러한 크게 감소된 커패시턴스는 전하-전압 이득을 증가시키게 된다.
도 6의 실시예에서, 얻을 수 있는 전하-전압 이득의 제한값은, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 전압과 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)를 문턱치로 설정하기 위해 요구되는 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 백-게이트 전압 또는 기판 전압과의 선형조합(linear combination)에 의해 판정된다. 결과의 변환값은 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트의 저장 노드에서 포획되는 전하 신호의 선형함수에 가깝다.
열 출력라인과 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의 소스가 안정되는 경우, MOS N채널 판독용 트랜지스터(18)들은 문턱치에 가깝게 될 것이 자명할 것이다. 몸체 효과, k 를 고려한 소스들의 전압은 다음의 관계식으로 표현된다:
따라서, 두 미지수, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의 소스 전압과 게이트 전압은 선형 관계가 된다.
MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의 게이트상에서의 전하변환의 표현은, 조건값을 더 제공하며, 다음과 같다.
본 표현식에서, 선형 커패시턴스를 가정하면, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의 게이트 커패시턴스는 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16 및 40)가 하이로 될 때 주로 소스들로 접속되므로, 게이트-소스 커패시턴스(CGS)가 게이트-드레인 커패시턴스(CGD) 보다 월등하게 된다. 저장 노드의 부유 커패시턴스는 CS로 표현된다. 이러한 커패시턴스가 적당한 값일 수 있지만, 능동 픽셀(60)에서는 작을 수도 있다.
VD가 하이로 되기 전의 게이트 전압을 VGO라 정의하고, 죄종 게이트 전압을 VG라고 정의하면, VG=VGO+△VG가 되고, VD와 VS가 초기에 접지라고 가정하면, VS=△VS및 VD=△VD가 되므로, 부트스트랩핑 된 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)들의게이트 전압은 다음과 같이 표현될 수 있다:
따라서, 열의 출력 전압은 소스 전압으로 다음과 같이 표현될 수 있다:
이는 판독 기간동안 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트에 저장된 신호에서 열의 출력으로의 이득이 다음의 관계식으로 표현됨을 의미한다:
여기서, CGD및 CS의 근사치는 매우 작은 값을 유지한다.
포획된 전하를 열의 출력라인 상의 최종 전압으로 선형변환하는 것은 두 가지 유용한 결과를 포함한다. 첫째, MOS N채널 전송 트랜지스터(16)의 게이트에서의 더욱 큰 커패시턴스 값은 광전하의 조각들이 더 많이 포획된 것을 의미하여, 전하를 소모한 것이 아니라 포토다이오드(12) 자체를 충전한 것이므로, 이는 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트에서의 큰 커패시턴스 값이 전체 이득에 있어서 불리하기 보다는 유리한 효과를 갖는다는 것을 의미한다. 어떠한 용량성 부하를 추가하지 않고도 전형적으로 전체 이득은 포토다이오드(12)의 이득을 능가할 것이다. 따라서, 잡음을 감소시키기 위해 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(40) 크기를 증가시키는 것은, 실질적으로 이득을 감소시키지는 않을 것이다.
둘째, 포획된 전하를 출력전압으로 선형변환함으로써 다음과 같이 유용한 압축적 비선형성을 가져올 수 있다. 포토다이오드에 축적이 일어남에 따라, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 전압은 문턱치 전압 이하 어느 지점까지 하강할 것이며, 이 지점에서 게이트 커패시턴스는 하이에서 로우로 변화될 것이다. 그 이상의 광전하들은 포토다이오드(12) 커패시턴스에만 우선적으로 축적되게 되어, MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터(16)의 게이트 전압은 더욱 빨리 하강할 것이다. 축적 기간동안 이러한 전하-전압 변환점의 비선형성은 압축적이 아니라 확장적이지만, 그럼에도 불구하고 놀랍게도 전체 이득에 있어서는 변환점의 압축적인 비선형성을 가져온다. MOS N채널 전송 트랜지스터(32)가 턴오프 되는 때에, 고광 레벨에서 MOS N채널 전송 트랜지스터(32)의 저장장치 측에 저장된 전하의 비율이 감소되며, 이는 그 이상의 전하들이 대신에 포토다이오드(12)에 유지되기 때문이다. 따라서, 축적 기간동안 축적된 영상신호 전압은 확장적으로 응답하는데도, 저장된 전하의 선형적인 판독은 압축적으로 응답한다.
도 10, 도 11, 및 도 12를 참조하면, 축적 기간 및 판독 기간 동안 다른 광도에 대하여 MOS N채널 소스 폴로워 트랜지스터들에서 측정되는 전압의 예들이 도시되었다. 도 10, 도 11, 및 도 12에서, 광이 암에서 명으로 진행함에 따라 전압은 강도가 증가하는 조건에 해당한다.
도 10, 도 11, 및 도 12에 도시된 바와 같이, 축적 기간동안, 소스 폴로워 트랜지스터의 드레인 및 소스 양쪽 모두 접지상태이며, 종래와 같이 기판 또는 백-게이트 전위도 접지이다. 도 10, 도 11, 및 도 12에서, 축적 기간 끝에서의 소스폴로워 트랜지스터의 게이트 전압은 각각 1.5, 0.6, 및 0.2 볼트이다. 이 예에서 포토다이오드에 초기 설정되는 Vref는 1.5 볼트이기 때문에, 도 10의 소스 폴로워 트랜지스터의 게이트의 1.5 볼트는 도 11의 소스 폴로워 트랜지스터 게이트의 0.6 볼트 보다 더 어두운 조건에 해당하며, 도 12의 소스 폴로워 트랜지스터 게이트의 0.2 볼트는 도 11의 소스 폴로워 트랜지스터 게이트 0.6 볼트 보다 더 밝은 조건에 해당한다.
도 10, 도 11, 및 도 12에 도시된 판독 기간동안, 소스 폴로워 트랜지스터의 드레인 전압은 2 볼트 상승된다. 따라서, 소스 폴로워 트랜지스터 게이트 전압은 세가지 예 각각에서 증가되는 것을 볼 수 있다. 도 10에서, 판독 기간동안의 게이트 전압과 축적 기간 끝에서의 게이트 전압을 비교하면, 게이트 전압이 약 1.5 볼트에서 약 3.15 볼트로 된 것을 나타낸다. 도 11에서, 판독 기간동안의 게이트 전압과 축적 기간 끝에서의 게이트 전압을 비교하면, 게이트 전압이 약 0.6 볼트에서 약 0.9 볼트로 된 것을 나타낸다. 도 12에서, 판독 기간동안의 게이트 전압과 축적 기간 끝에서의 게이트 전압을 비교하면, 게이트 전압이 약 0.2 볼트에서 약 0.6 볼트로 된 것을 나타낸다. 이들 예에서의 게이트 전압 상승은 소스 폴로워 트랜지스터의 게이트와 드레인 사이의 용량성 접합에 기인하여 발생하는 부트스트랩핑 증폭의 결과이다. 이러한 증가는 게이트-드레인 오버랩 커패시턴스가 과대하지 않으면, 일반적으로 소스 폴로워 트랜지스터의 소스에서 증가되는 양 보다 적은 양이다.
도 10, 도 11, 및 도 12의 예에서, 전술한 kappa 값(κ)은 2/3이며, VTh는 0.6 볼트이다. 전술한 논의에 따르면, 출력 소스 전압은, 게이트-소스 전압(VGS)의 2/3 에, 벌크-소스 전압(VBS)의 1/3이 더해져 약 0.4 볼트가 될 것이다. 도 10, 도 11, 및 도 12에서, 판독 기간동안 소스 전압값으로 각각 1.7, 0.2, 및 거의 0 볼트를 제공한다.
도 13에서, 판독 및 축적 기간 동안의 게이트와 판독 기간동안의 소스에 대하여, 도 10, 도 11, 및 도 12의 광 조건을 다르게 하여 묘사된 전압이 도시되었다. 도 13에서, 본 발명에 따르면 상대 광도가 증가함에 따라 이득이 압축됨을 당업자는 쉽게 이해할 것이다. 이는 판독 기간동안의 게이트 전압(Vg) 그래프에서 영역 B와 영역 A를 비교함으로써 쉽게 알 수 있다. 영역 B의 기울기의 절대값은 영역 A의 기울기의 절대값 보다 작은 값을 갖도록, Vg 그래프의 영역 A는 제1 기울기를, Vg 그래프의 영역 B는 제2 기울기를 포함한다. 상대 광도가 증가함에 따라 Vg 그래프의 기울기가 이렇게 변화하는 것은 이득의 압축에 해당한다.
트랜지스터(도 6의 16)의 게이트 커패시턴스에 저장된 신호를 잠재적으로 떨어뜨리는 전하의 누설은 전송 트랜지스터(32)의 드레인의 접합 누설에서 지배적이다. 이러한 누설은 전압에 있어 매우 확장적인 함수가 되는 경항이 있기 때문에, 가능한 충분한 시간동안 로우 전압으로 유지하는 것이 유리하다. 그러므로, 본 발명에서는 주어진 시간에서 판독되는 한 행을 제외하고 부트스트랩핑 함으로써 전압을 상승시키지 않는다.
이상, 본 발명의 실시예와 적용예에 대해 기술하였으나, 당업자에게는 본 발명의 사상을 일탈하지 않으면서 전술한 실시예와 적용예와는 다른 더 많은 변형예가 가능함을 알 수 있다. 따라서, 본 발명은 실시예들에 제한되는 것이 아니라 첨부의 특허청구범위에 의해서만 한정되는 것으로 이해되어야 한다.

Claims (6)

  1. 복수의 행과 열로 배열되어 집적된 능동 픽셀센서 어레이로서,
    각각 상기 어레이의 한 행과 관계되고, 행 선택 신호 공급원에 접속되는 복수의 행 선택라인;
    각각 상기 어레이의 한 행과 관계되고, 소스 폴로워 드레인 행 신호 공급원에 접속되는 복수의 소스 폴로워 드레인 행 라인;
    각각 상기 어레이의 한 열과 관계되는 복수의 열 출력라인;
    리셋신호 공급원에 접속되는 리셋라인;
    리셋 전위 공급원; 및
    각각 어레이의 한 행 및 한 열과 관계되는 복수의 능동 픽셀센서 - 상기 능동 픽셀센서는 제1 기준전위에 접속되는 제1 단자 및 제2 단자를 포함하는 포토다이오드, 상기 리셋 라인에 접속되는 게이트와 상기 포토다이오드를 역 바이어스 시키도록 상기 리셋 전위에 접속되는 드레인과 상기 포토다이오드의 상기 제2 단자에 접속되는 소스를 포함하는 리셋 트랜지스터, 상기 포토다이오드의 상기 제2 단자에 접속되는 게이트와 해당 능동 픽셀센서가 관계되는 상기 복수의 소스 폴로워 드레인 행 라인 가운데 하나와 접속되는 드레인과 소스를 포함하는 소스 폴로워 트랜지스터, 해당 능동 픽셀센서가 관계되는 복수의 행 선택라인 가운데 하나와 접속되는 게이트와 상기 소스 폴로워 트랜지스터의 상기 소스와 접속되는 드레인과 해당 능동 픽셀센서가 관계되는 상기 복수의 열 출력라인 가운데 하나와 접속되는 소스를포함하는 행 선택 트랜지스터를 포함함 - 를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 픽셀센서 어레이.
  2. 복수의 행과 열로 배열되어 집적된 능동 픽셀센서 어레이로서,
    각각 상기 어레이의 한 행과 관계되고, 행 선택 신호 공급원에 접속되는 복수의 행 선택라인;
    각각 상기 어레이의 한 행과 관계되고, 소스 폴로워 드레인 행 신호 공급원에 접속되는 복수의 소스 폴로워 드레인 행 라인;
    각각 상기 어레이의 한 열과 관계되는 복수의 열 출력라인;
    리셋신호 공급원에 접속되는 리셋라인;
    전송신호의 공급원에 접속되는 전송 라인;
    리셋 전위 공급원; 및
    각각 상기 어레이의 한 행 및 한 열과 관계되는 복수의 능동 픽셀센서 - 상기 능동 픽셀센서는 제1 기준전위에 접속되는 제1 단자 및 제2 단자를 포함하는 포토다이오드, 상기 리셋 라인에 접속되는 게이트와 상기 포토다이오드를 역 바이어스 시키도록 상기 리셋 전위에 접속되는 드레인과 상기 포토다이오드의 상기 제2 단자에 접속되는 소스를 포함하는 리셋 트랜지스터, 상기 전송라인에 접속되는 게이트와 상기 포토다이오드의 상기 제2 단자에 접속되는 소스와 드레인을 포함하는 전송 트랜지스터, 상기 전송 트랜지스터의 상기 소스로 접속되는 게이트와 해당 능동 픽셀센서가 관계되는 상기 복수의 소스 폴로워 드레인 행 라인 중 하나에 접속되는 드레인과 소스를 포함하는 소스 폴로워 트랜지스터, 해당 능동 픽셀센서가 관계되는 상기 복수의 행 선택라인 가운데 하나와 접속되는 게이트와 상기 소스 폴로워 트랜지스터의 상기 소스와 접속되는 드레인과 해당 능동 픽셀센서가 관계되는 상기 복수의 열 출력라인 가운데 하나와 접속되는 소스를 포함하는 행 선택 트랜지스터를 포함함 - 를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 픽셀센서 어레이.
  3. 청구항 1 기재의 집적된 능동 픽셀센서 어레이의 동작 방법에 있어서,
    리셋 기간동안 상기 리셋 라인 상에 리셋신호를 활성화시키는 단계;
    축적 기간동안 상기 복수의 능동 픽셀센서 상에 광전하를 축적시키는 단계;
    판독하기 위한 행을 선택하고, 상기 선택된 행에 관계되는 상기 소스 폴로워 드레인 행 라인 가운데 하나를 활성화하고, 상기 선택된 행에 관계되는 상기 소스 폴로워 드레인 행 라인 가운데 상기 하나가 활성화되는 동안 상기 선택된 행과 관계되는 상기 행 선택라인 가운데 하나를 활성화시킴으로써, 상기 복수의 능동 픽셀센서로부터 한 번에 한 행씩 축적된 광전하를 나타내는 신호를 판독하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적된 능동 픽셀센서 어레이의 동작 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 선택된 행과 관계되는 상기 행 선택라인 가운데 하나를 활성화시키는 단계는 선택된 행에 관계되는 상기 행 선택라인 가운데 하나의 전압을 상승시간을 제어하여 상승시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 청구항 2 기재의 집적된 능동 픽셀센서 어레이의 동작 방법에 있어서,
    리셋 기간동안 상기 리셋 라인상의 리셋 신호를 활성화시키는 단계;
    상기 리셋 기간 및 축적 기간동안 상기 전송 라인상의 전송신호를 활성화시키는 단계;
    상기 축적 기간 동안 상기 복수의 능동 픽셀센서의 광전하를 축적시키는 단계;
    상기 전송 라인상의 상기 전송신호를 비활성화시키는 단계; 및
    판독하기 위한 행을 선택하고, 상기 선택된 행에 관계되는 상기 소스 폴로워 드레인 행 라인 가운데 하나를 활성화하고, 상기 선택된 행에 관계되는 상기 소스 폴로워 드레인 행 라인 가운데 상기 하나가 활성화되는 동안 상기 선택된 행과 관계되는 상기 행 선택라인 가운데 하나를 활성화시킴으로써, 상기 복수의 능동 픽셀센서로부터 한 번에 한 행씩 축적된 광전하를 나타내는 신호를 판독하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 집적된 능동 픽셀센서 어레이의 동작 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 선택된 행에 관계되는 상기 행 선택라인 가운데 하나를 활성화시키는 단계는 상기 선택된 행에 관계되는 상기 행 선택라인 가운데 상기 하나의 전압을 상승시간을 제어하여 상승시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
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