KR20010012597A - 집적 회로 식별 방법 및 장치 - Google Patents

집적 회로 식별 방법 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20010012597A
KR20010012597A KR1019997010556A KR19997010556A KR20010012597A KR 20010012597 A KR20010012597 A KR 20010012597A KR 1019997010556 A KR1019997010556 A KR 1019997010556A KR 19997010556 A KR19997010556 A KR 19997010556A KR 20010012597 A KR20010012597 A KR 20010012597A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
identification
integrated circuit
optical
identification code
identification information
Prior art date
Application number
KR1019997010556A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100839003B1 (ko
Inventor
레란드알. 네빌
Original Assignee
린치 마이클 엘.
마이크론 테크놀로지 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 린치 마이클 엘., 마이크론 테크놀로지 인코포레이티드 filed Critical 린치 마이클 엘.
Publication of KR20010012597A publication Critical patent/KR20010012597A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100839003B1 publication Critical patent/KR100839003B1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/544Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67282Marking devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/544Marks applied to semiconductor devices or parts
    • H01L2223/54413Marks applied to semiconductor devices or parts comprising digital information, e.g. bar codes, data matrix
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/544Marks applied to semiconductor devices or parts
    • H01L2223/54473Marks applied to semiconductor devices or parts for use after dicing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/544Marks applied to semiconductor devices or parts
    • H01L2223/54473Marks applied to semiconductor devices or parts for use after dicing
    • H01L2223/5448Located on chip prior to dicing and remaining on chip after dicing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/544Marks applied to semiconductor devices or parts
    • H01L2223/54473Marks applied to semiconductor devices or parts for use after dicing
    • H01L2223/54486Located on package parts, e.g. encapsulation, leads, package substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

집적 회로 및 그 집적 회로의 식별 방법에 대해 기술하고 있다. 집적 회로(10)는 전자 식별 정보를 저장하기 위한 프로그램가능 식별 회로(12)를 포함한다. 상기 집적 회로는 또한 식별 회로에 저장된 전자 식별 정보에 대응되는 기계식 판독가능 광식별 코드(15)를 표시하는 광식별 마크(14)를 포함한다. 광식별 코드로 엔코딩된 데이터는 전자 식별 정보의 것과 동일할 수도 있다. 또한, 룩업 테이블 또는 기타 다른 상관 수단이 전자 식별 정보와 광식별 코드를 관련시키도록 채용될 수도 있다. 상기 집적 회로는 하우징(20)에 패키지화되어 있고 또다른 광식별 마크(14B)가 상기 하우징의 외측 표면상에 배치된다. 이 제 2 광식별 마크는 집적 회로에서 광식별 마크에 의해 표시된 광식별 코드 및/또는 식별 회로에 저장된 전자 식별 정보와 동일하거나 상관되어지는 기계식 판독가능 광식별 코드(14A)를 표시한다. 따라서, 제조중 및 제조후에 개개의 집적 회로들의 식별이 편리해지고 추적이 용이해진다.

Description

집적 회로 식별 방법 및 장치{Method and apparatus for identifying integrated circuits}
통상적으로, 단결정질 실리콘 또는 갈륨 아세나이드 등의 반도체 재료로된 하나의 웨이퍼상에는 다수의 동일한 집적 회로들이 설치된다. 집적 회로들중 하나의 집적 회로가 차지하는 웨이퍼의 부분를 다이(die)라 칭한다. 집적 회로의 제조 완료 이후에, 각 다이의 기능을 테스트하는 일련의 테스트(Probe로서 공지되어 있음)가 행해진다. 각 다이마다 모아진 테스트 데이터는 연속되는 어셈블리/패키지징 단계들에서 이용되어 적합하게 기능하는 다이만이 집적 회로 칩으로서 패키지화된다.
Probe 테스트에 이어서, 각각의 다이들은 서로 분리되고, 적합하게 기능하는 각각의 다이는 집적 회로 칩을 형성하도록 전기 리드를 갖는 패키지에 캡슐화된다(대개 플라스틱이나 세라믹으로). 이어서, 상기 칩들 각각에 대해 모아진 테스트 데이터에 따라 일련의 테스팅 작업이 각각의 집적 회로 칩마다 행하여진다.
적합한 다이 또는 다이들과 각종 테스트 결과들을 적합하게 상관시키기 위하여, 집적 회로 칩으로서 패키징되기 이전 및 패키징 이후에 각 다이들의 정확한 식별이 요구된다. 또한 집적 회로 칩의 제조를 완료한 이후에 이어서 특정 다이들의 식별 능력은 중요해진다. 예를 들어, 집적 회로 칩이 나중에 사용하는 도중에 뜻밖에 불량으로 되는 경우, 칩 제조자는 또다른 불량 가능성이 있는 칩들 및 그러한 칩들의 사용자들을 식별하고자 할 것이다.
오늘날 대다수의 집적 회로들은 대개는 Probe 테스트 동안 집적 회로 자체내에 프로그램되어 있는 전자적 판독가능 식별 정보를 제공한다. 또한, 칩 패키지들은 통상적으로 제조일, 제조국, 제품 유형 및 패키지 유형, 속도 및 다른 테스트 매개변수, 제조창 식별 기호 등의 몇몇 유용한 정보를 제공하는 잉크 또는 레이저로 스크립된 마크를 갖고 있다. 그러나, 칩 내의 특정 집적 회로를 고유하게 식별하는 정보가 전자적 판독가능 식별 정보에만 포함되어 있다.
전자적 판독가능 식별 정보는 집적 회로가 전기적으로 테스트되는 제조 공정 동안에만 대개 유용하다. 또한, 전자적 판독가능 식별 정보의 검색은 통상적으로 그 식별 정보를 액세스하기 위하여 집적 회로 칩과 반드시 물리적으로 접촉하게 되는 상대적으로 복잡한 반도체 테스트 장치에 의해 행해진다. 이러한 물리적 접촉이 발생하지 않는 다수의 제조 처리 공정이 존재하며, 따라서 각종 제조 공정들 내내 각각의 집적 회로 칩들의 추적가능한 식별은 매우 어렵다. 또한, 일단 제조업자가 반도체 회로 칩을 업자에게 넘기면 고유 식별 정보는 유용하지 않게 된다.
본 발명은 집적 회로에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 집적 회로에 대한 식별 정보에 대한 것이다.
도 1은 식별 회로 및 기계식 판독가능 광마크를 포함하는 집적 회로를 도시한 블록도.
도 2는 기계식 판독가능 광마크를 각각 갖고 있는 복수의 다이들을 포함하는 반도체 웨이퍼를 도시한 도면.
도 3은 기계식 판독가능 광마크를 갖고 있는 패키지화된 집적 회로 칩을 도시하는 도면.
집적 회로가 전자 식별 정보와 함께 프로그램되고 대응하는 기계식 판독가능 광식별 코드와 함께 마크되는 집적 회로 식별 방법이 제공된다. 집적 회로는 접착 라벨로 마크되어지거나, 레이저에 의해 기입되거나, 기계식 판독가능 광식별 코드를 표시하는 각종 적합한 방식들중 소정의 방식으로 마크된다. 집적 회로는 전자 식별 정보를 저장하도록 프로그램되는 복수의 프로그램가능 링크들을 포함하거나, 각종 적합한 불휘발성 데이터 저장용 적응형 회로들중 소정의 것을 포함한다.
상기 방법은 광식별 코드를 판독하는 단계 및 상기 코드를 대응하는 전자 식별 정보와 상관시키는 단계를 더 포함한다. 룩업 테이블 또는 다른 적당한 상관 수단이 상기 상관 단계를 행하기 위해 이용될 수도 있다. 또한, 광식별 코드는 전자 식별 정보와 동일한 데이터 값들을 엔코드할 수도 있다.
하기의 설명에 있어서는 본 발명의 실시예들을 완전히 이해할 수 있도록 하기 위하여 구체적으로 기술하기로 한다. 그러나, 당업자들은 이러한 상세한 설명이 없어도 본 발명을 실시하는데 전혀 무리가 없음은 명백하다. 기타 다른 예들에서, 공지된 회로들 및 구성들은 본 발명의 실시예들의 설명을 불필요하게 모호하게 하지 않도록 상세히 나타내지 않았다.
도 1은 종래의 방법이나 새로이 개발된 방법들에 의해 제조된 각종 집적 회로들중 소정의 어느 하나인 집적 회로(10)를 도시하고 있다. 집적 회로(10)는 집적 회로를 고유하게 식별하는 전자 식별 정보를 저장하기 위한, 프로그램가능 링크(13)들의 뱅크를 구비한 프로그램가능 식별 회로(12)를 포함한다. 식별 회로(12)는, 현재 널리 공지되어 있거나 또는 그로부터 유도될 수 있는, 그러한 목적에 적합한 다양한 회로들 중 어떠한 것도 될 수 있다. 프로그램가능한 링크들은 퓨즈, 안티퓨즈, 또는 현재 널리 공지되어 있거나 또는 그로부터 유도될 수 있는, 비휘발성 데이터 기억장치에 적합한 광범위한 회로 소자들 중 어떠한 것도 될 수 있다. 식별 회로(12)가 전자 식별 정보를 기억하도록 프로그램되는 방법은 물론, 그러한 정보가 식별 회로로부터 검색되는 방법은, 현재 널리 공지되어 있거나 또는 그로부터 유도될 수 있는, 그러한 목적을 위한 광범위한 방법들 중 어떠한 것도 될 수 있다. 예컨대, 본 명세서에 참고적으로 부가된 Ohri 등에게 허여된 미국특허번호 5,301,143은 예시적인 프로그램가능한 식별 회로(12) 및 상기 회로에 정보를 기억하거나 상기 회로로부터 정보를 검색하는 방법에 대하여 기술하고 있다.
집적 회로(10)는 또한 전산 판독가능한 광학 식별 마크(14)를 포함한다. 식별 마크(14)는 부착 라벨, 레이저-기입 마크, 또는 광범위한 적합한 마크들의 어떠한 것도 될 수 있다. 식별 마크(14)는 프로그램가능한 식별 회로(12)에 기억된 전자 식별 정보와 대응하는 광학 식별 코드(15)를 디스플레이한다. 광학 식별 코드(15)는, 현재 널리 공지되어 있거나 또는 그로부터 유도될 수 있는, 광범위한 전산 판독가능한 광학 식별 코드들의 어떠한 것도 될 수 있다. 광학 식별 코드(15)는, 현재 널리 공지되어 있거나 또는 그로부터 유도될 수 있는, 광범위한 방법들 중 어떠한 것도 될 수 있으며 광범위한 광학 코드 판독기들 중 대응하는 판독기들로 판독될 수 있다. 예컨대, 특정 광학 식별 코드 및 그 코드를 판독 및 디코딩하는 방법 및 장치는, 본 명세서에 참고적으로 부가된 Ackley 에게 허여된 미국특허번호 5,389,770 에 기술되어 있다.
도 2는 다수의 집적 회로들이 구성되어 있는 반도체 웨이퍼(16)를 도시하며, 이들 각각은 다수의 반도체 다이들(18) 중 대응하는 다이상에 있다. 다수의 광학 식별 마크들(14A) 중 대응하는 마크는 각각의 다이들(18) 위에 있으며, 이들 각각은 식별 회로(12)(도 1 참조)내에 기억된 전자 식별 정보에 대응하는 광학 식별 코드(15A)를 갖는다. 도 3은 다이들(18) 중 한 다이가 인캡슐레이트된 패키지화된 집적 회로칩(20)을 도시한다. 집적 회로(10)(도 1 및 도 2 참조)는 다수의 전기적 리드들(22)을 통하여 전기적으로 액세스될 수 있다. 패키지 칩(20)의 외부 표면은 식별 회로(12)(도 1 참조)내에 기억된 전자 식별 정보에 대응하는 광학 식별 코드(15B)를 갖는 광학 식별 마크(14B)로 마크된다. 별개의 참조 부호들이 도 1 내지 도 3의 광학 식별 마크들 및 코드들을 나타내는데 이용되었으며, 이는 다양한 동일하지 않은 식별 마크들 및 코드들이 다른 제조 처리 단계들에서 이용될 수 있음을 나타낸다.
대체로, 전자 식별 정보는 웨이퍼(16)에 포함된 다양한 다이들(18)의 프로브 검사 중에 식별 회로(12)에 프로그램된다. 하나 이상의 식별 마크들(14-14B)은 식별 회로(12)에 기억된 데이터와 일치하는 데이터를 인코딩하는 광학 식별 코드를 포함하도록 제작될 수 있다. 다시 말해서, 식별 회로(12)에 기억된 1 및 0 의 전기적으로 액세스가능한 패턴은 하나 이상의 식별 마크들(14-14B)에 인코딩된 1 및 0 의 광학적으로 액세스가능한 패턴과 동일하다. 대안적으로, 하나 이상의 식별 마크들(14-14B)은, 룩-업 테이블 또는 다른 종래의 상관 수단을 통하여, 식별 회로(12)에 기억된 특정 전자 식별 데이터와 상관될 수 있으며, 이는 동일한 데이터를 필요로 하는 것보다 유연한 접근이 된다.
당 기술 분야에 숙련된 사람들은 본 발명의 상술한 실시예에 의해 다수의 이점들이 달성될 수 있다는 것을 인정할 것이다. 종래에 있어, 집적 회로들은 전기적으로 액세스가능한 식별 정보와 사람이 눈으로 식별하도록 의도된 시각적 마크 정보 만을 포함하였다. 따라서, 개별 직접 회로들의 정확한 식별은 집적 회로가 전기적으로 액세스되는 제조 처리 동안에만 유효하였다. 이에 반하여, 본 발명은 전기적 식별 정보와 관련한 광학 식별 코드를 갖는 정보 마크들을 제공하며, 그에 따라 제조 처리 동안과 그 후에도 개별 집적 회로들의 편리하고 정확하며 확인 가능한 정보를 제공하게 된다. 또한, 집적 회로를 광학적으로 식별할 수 있는 능력은 물리적 접촉의 필요성을 없애며, 그에 따라 통상적인 기술로서 식별 데이터를 전기적으로 판독하는 작용에 의해 집적 회로에 대한 손상의 가능성을 최소화할 수 있다.
상술한 바와 같이, 광학 식별 마크들(14-14B)은 광범위한 마크들의 어떠한 것도 될 수 있으며, 광학 식별 정보를 인코딩하고 그러한 정보를 판독하는 방법 및 장치는 그러한 목적에 적합한 광범위한 방법들 및 장치들의 어떠한 것도 될 수 있다. 유사하게, 식별 회로(12)는 적절하게 적합되는 광범위한 회로들의 어떠한 것도 될 수 있으며, 그 회로에 전자 식별 정보를 프로그래밍하거나 그 회로로부터 전자 식별 정보를 검색하는 특정 방법들은 적절하게 적합되는 광범위한 방법들 중 어떠한 것도 될 수 있다. 전기적으로 액세스가능한 식별 정보 및 관련 전산 판독가능한 광학 식별 코드들의 조합은 집적 회로의 제조 처리에서는 물론 소비자에게 보내진 후에도 집적 회로의 트레이스를 가능하게 한다.
본 발명의 실시예들은 예시적인 취지로 기술되었으나, 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않고서 다양한 변경들이 이루어질 수 있을 것이다. 따라서, 다양한 변경들은 당연히 본 발명의 범위안에 포함되며, 본 발명은 첨부된 청구범위 외에는 제한되지 않는다.

Claims (18)

  1. 집적회로를 식별하는 방법에 있어서,
    집적회로를 전자 식별정보로 프로그래밍하는 단계와,
    집적회로를 상기 전자 식별정보에 대응하는 광학 식별코드로 표시하는 단계를 포함하는 집적회로 식별방법.
  2. 제1항에 있어서, 광학 식별코드를 판독하는 단계와,
    광학 식별코드를 대응하는 전자 식별정보와 관련시키는 단계를 더 포함하는 집적회로 식별방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 광학 식별코드를 대응하는 전자 식별정보와 관련시키는 단계에는 검사표를 액세스하는 단계를 포함하는 집적회로 식별방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 집적회로를 전자 식별정보로 프로그래밍하는 단계는 다수의 프로그래밍 가능한 링크들중 하나를 프로그래밍하는 단계를 포함하는 집적회로 식별방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 집적회로를 광학 식별코드로 표시하는 단계에는 상기 집적회로에 접착 라벨을 배치하는 단계를 포함하는 집적회로 식별방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 집적회로를 광학 식별코드로 표시하는 단계에는 상기 집적회로에 기호를 기입하는 단계를 포함하는 집적회로 식별방법.
  7. 집적회로를 식별하는 전기적으로 판독할 수 있는 식별코드를 저장하기 위한 프로그램 가능한 회로를 포함하는 집적회로로서, 상기 집적회로를 식별하는 방법에 있어서,
    상기 집적회로를 광학 식별코드로 표시하는 단계와,
    상기 광학 식별코드를 전기적으로 판독 가능한 식별코드와 관련시키는 단계를 포함하는 집적회로 식별방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 광학 식별코드를 전기적으로 판독 가능한 식별코드와 관련시키는 단계는,
    전기적으로 판독 가능한 식별코드를 판독하는 단계와,
    광학 식별코드를 판독하는 단계와,
    상기 판독한 전기적으로 판독 가능한 식별코드를 상기 판독한 광학 식별코드와 서로 관련시키는 단계를 포함하는 집적회로 식별방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 판독한 전기적으로 판독 가능한 식별코드를 상기 판독한 광학 식별코드와 서로 관련시키는 단계는 검사표를 작성하는 단계를 포함하는 집적회로 식별방법.
  10. 제7항에 있어서, 상기 광학 식별코드를 상기 전기적으로 판독 가능한 식별코드와 관련시키는 단계는 상기 광학 및 전기적으로 판독 가능한 식별코드들에 동일한 데이터를 부호화하는 단계를 포함하는 집적회로 식별방법.
  11. 집적회로에 있어서,
    식별 데이터를 저장할 수 있는 프로그램 가능한 식별회로와,
    상기 식별 데이터에 대응하는 정보를 부호화하는 광학 식별 마크를 포함하는 집적회로.
  12. 제11항에 있어서, 상기 프로그램 가능한 식별회로는 다수의 프로그램 가능한 링크들을 포함하는 집적회로.
  13. 제11항에 있어서, 상기 광학 식별 마크는 상기 식별 데이터와 동일한 정보를 부호화하는 집적회로.
  14. 집적 회로 칩에 있어서, 하우징과,
    상기 하우징내에 포함되고 식별 데이터를 저장할 수 있는 식별회로를 포함하는 집적회로와,
    상기 하우징의 외부표면에 배치되고, 상기 식별 데이터에 대응하는 식별 정보를 부호화하는 광학 마크를 포함하는 집적 회로 칩.
  15. 제14항에 있어서, 상기 하우징에 접속되고, 상기 집적회로와 하우징의 외부의 회로간에 전기적 접속을 제공하는데 적합한 전기적 접속부를 더 포함하는 집적 회로 칩.
  16. 제14항에 있어서, 상기 광학 마크는 제 1 식별정보를 부호화하는 제 1 광학 마크이며, 상기 하우징내에 포함되고 상기 식별 데이터에 대응하는 제 2 식별정보를 부호화하는 집적회로상에 제 2 광학 마크부를 더 포함하는 집적 회로 칩.
  17. 제16항에 있어서, 상기 식별 정보는 상기 제 2 식별 정보와 동일한 집적 회로 칩.
  18. 제14항에 있어서, 상기 식별 정보는 상기 식별 데이터와 동일한 것인 집적 회로 칩.
KR1019997010556A 1997-05-15 1998-05-15 집적 회로 식별 방법 및 장치 KR100839003B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/857,100 1997-05-15
US8/857,100 1997-05-15
US08/857,100 US5984190A (en) 1997-05-15 1997-05-15 Method and apparatus for identifying integrated circuits
PCT/US1998/010226 WO1998052226A1 (en) 1997-05-15 1998-05-15 Method and apparatus for identifying integrated circuits

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010012597A true KR20010012597A (ko) 2001-02-15
KR100839003B1 KR100839003B1 (ko) 2008-06-18

Family

ID=25325182

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019997010556A KR100839003B1 (ko) 1997-05-15 1998-05-15 집적 회로 식별 방법 및 장치

Country Status (7)

Country Link
US (2) US5984190A (ko)
EP (1) EP1004142A1 (ko)
JP (1) JP2001525993A (ko)
KR (1) KR100839003B1 (ko)
AU (1) AU7497898A (ko)
TW (1) TW392232B (ko)
WO (1) WO1998052226A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100934918B1 (ko) * 2004-12-13 2010-01-06 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 식별 코드를 갖는 반도체 칩, 그 칩의 제조 방법, 및반도체 칩 관리 시스템

Families Citing this family (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69722403T2 (de) * 1997-09-23 2004-01-15 St Microelectronics Srl Banknote mit einer integrierten Schaltung
US6659353B1 (en) * 1998-07-12 2003-12-09 Hitachi, Ltd. Method of checking authenticity of sheet with built-in electronic circuit chip
KR20010074753A (ko) * 1998-07-27 2001-08-09 외르겐 브로소프 보안 용지와, 그 보안 용지상에 기록된 문서의 진위를검사하기 위한 방법 및 장치
US6268228B1 (en) 1999-01-27 2001-07-31 International Business Machines Corporation Electrical mask identification of memory modules
US6161213A (en) * 1999-02-17 2000-12-12 Icid, Llc System for providing an integrated circuit with a unique identification
JP2001118232A (ja) * 1999-10-20 2001-04-27 Tdk Corp 記号読取方法および装置
US6731221B1 (en) * 1999-12-20 2004-05-04 Intel Corporation Electrically modifiable product labeling
US6693033B2 (en) 2000-02-10 2004-02-17 Motorola, Inc. Method of removing an amorphous oxide from a monocrystalline surface
AU2001272081A1 (en) * 2000-02-28 2001-09-03 Ericsson Inc. Integrated circuit package with device specific data storage
SG106050A1 (en) * 2000-03-13 2004-09-30 Megic Corp Method of manufacture and identification of semiconductor chip marked for identification with internal marking indicia and protection thereof by non-black layer and device produced thereby
US6432796B1 (en) 2000-06-28 2002-08-13 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for marking microelectronic dies and microelectronic devices
US6673692B2 (en) * 2000-06-28 2004-01-06 Micron Technology, Inc. Method and apparatus for marking microelectronic dies and microelectronic devices
DE10032128A1 (de) * 2000-07-05 2002-01-17 Giesecke & Devrient Gmbh Sicherheitspapier und daraus hergestelltes Wertdokument
US6555946B1 (en) 2000-07-24 2003-04-29 Motorola, Inc. Acoustic wave device and process for forming the same
DE10038998A1 (de) * 2000-08-10 2002-02-21 Bosch Gmbh Robert Halbleiterbauelement und Verfahren zur Identifizierung eines Halbleiterbauelementes
DE10044502A1 (de) * 2000-09-08 2002-04-04 Infineon Technologies Ag Verfahren und Markierung zum Kennzeichnen integrierter Schaltkreise
DE10045196C2 (de) * 2000-09-13 2002-12-05 Infineon Technologies Ag Maschinenlesbares Etikett
US6795743B1 (en) * 2000-09-18 2004-09-21 Dell Products L.P. Apparatus and method for electronically encoding an article with work-in-progress information
US6638838B1 (en) 2000-10-02 2003-10-28 Motorola, Inc. Semiconductor structure including a partially annealed layer and method of forming the same
US6673646B2 (en) 2001-02-28 2004-01-06 Motorola, Inc. Growth of compound semiconductor structures on patterned oxide films and process for fabricating same
US6709989B2 (en) 2001-06-21 2004-03-23 Motorola, Inc. Method for fabricating a semiconductor structure including a metal oxide interface with silicon
TW550724B (en) * 2001-06-27 2003-09-01 Shinko Electric Ind Co Wiring substrate having position information
US6646293B2 (en) 2001-07-18 2003-11-11 Motorola, Inc. Structure for fabricating high electron mobility transistors utilizing the formation of complaint substrates
US6693298B2 (en) 2001-07-20 2004-02-17 Motorola, Inc. Structure and method for fabricating epitaxial semiconductor on insulator (SOI) structures and devices utilizing the formation of a compliant substrate for materials used to form same
US6667196B2 (en) 2001-07-25 2003-12-23 Motorola, Inc. Method for real-time monitoring and controlling perovskite oxide film growth and semiconductor structure formed using the method
US6589856B2 (en) 2001-08-06 2003-07-08 Motorola, Inc. Method and apparatus for controlling anti-phase domains in semiconductor structures and devices
US6639249B2 (en) 2001-08-06 2003-10-28 Motorola, Inc. Structure and method for fabrication for a solid-state lighting device
US6673667B2 (en) 2001-08-15 2004-01-06 Motorola, Inc. Method for manufacturing a substantially integral monolithic apparatus including a plurality of semiconductor materials
JP3941620B2 (ja) * 2001-08-31 2007-07-04 株式会社デンソーウェーブ Idタグ内蔵電子機器
JP3870780B2 (ja) * 2001-12-21 2007-01-24 ヤマハ株式会社 半導体装置の製造方法
DE10216874A1 (de) * 2002-04-17 2003-07-10 Infineon Technologies Ag Verfahren zum Ablegen einer Information auf einem Halbleiter-Chip eines Wafers sowie Halbleiter-Chip
US7046536B2 (en) * 2002-05-29 2006-05-16 Micron Technology, Inc. Programable identification circuitry
JP3614418B2 (ja) * 2002-10-04 2005-01-26 株式会社Neomax 薄膜磁気ヘッド用基板およびその製造方法
DE10259049A1 (de) * 2002-12-17 2004-07-15 Infineon Technologies Ag Integriertes Halbleitermodul
US8316068B2 (en) 2004-06-04 2012-11-20 Telefonaktiebolaget Lm Ericsson (Publ) Memory compression
US20060055535A1 (en) * 2004-09-13 2006-03-16 Shoei-Lai Chen Method of building electronic label for electronic device
US7291507B2 (en) * 2004-09-23 2007-11-06 Pixim, Inc. Using a time invariant statistical process variable of a semiconductor chip as the chip identifier
JP2006351772A (ja) * 2005-06-15 2006-12-28 Fujifilm Holdings Corp 半導体チップの識別情報記録方法及び撮像装置
DE102006001601B4 (de) * 2006-01-11 2008-06-26 Infineon Technologies Ag Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterwafers mit Rückseitenidentifizierung
US8108700B2 (en) * 2009-03-10 2012-01-31 International Business Machines Corporation Power supply identification using a modified power good signal
US8415813B2 (en) 2011-06-15 2013-04-09 Truesense Imaging, Inc. Identification of dies on a semiconductor wafer
US8415175B2 (en) * 2011-06-15 2013-04-09 Truesense Imaging, Inc. Identification of dies on a semiconductor wafer
US9305664B2 (en) 2014-03-26 2016-04-05 Texas Instruments Incorporated Memory repair categorization tracking
DE112015003753T5 (de) 2014-08-14 2017-06-29 Octavo Systems Llc Verbessertes substrat für system-in-package (sip)-vorrichtungen
CN106663595B (zh) * 2014-09-01 2019-12-20 三菱电机株式会社 半导体装置及半导体芯片
WO2017040967A1 (en) 2015-09-04 2017-03-09 Octavo Systems Llc Improved system using system in package components
US20170221871A1 (en) * 2016-02-01 2017-08-03 Octavo Systems Llc Systems and methods for manufacturing electronic devices
US10079206B2 (en) 2016-10-27 2018-09-18 Mapper Lithography Ip B.V. Fabricating unique chips using a charged particle multi-beamlet lithography system
US10522472B2 (en) 2016-09-08 2019-12-31 Asml Netherlands B.V. Secure chips with serial numbers
US20180269091A1 (en) * 2017-03-16 2018-09-20 Elenion Technologies, Llc Chip identification system
US11032910B2 (en) 2017-05-01 2021-06-08 Octavo Systems Llc System-in-Package device ball map and layout optimization
US10470294B2 (en) 2017-05-01 2019-11-05 Octavo Systems Llc Reduction of passive components in system-in-package devices
US11416050B2 (en) 2017-05-08 2022-08-16 Octavo Systems Llc Component communications in system-in-package systems
US10714430B2 (en) 2017-07-21 2020-07-14 Octavo Systems Llc EMI shield for molded packages
US11276098B2 (en) * 2017-10-25 2022-03-15 Xilinx, Inc. Database lookup using a scannable code for part selection
KR20200011142A (ko) 2018-07-24 2020-02-03 삼성전기주식회사 통신 모듈 및 이의 제조방법

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57122544A (en) * 1981-01-23 1982-07-30 Hitachi Ltd Semiconductor device
DE3138085A1 (de) * 1981-09-24 1983-04-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur kennzeichnung von randsystemen auf halbleiterscheiben bei der herstellung von halbleiterbauelementen, insbesondere von integrierten halbleiter-schaltkreisen
DE3226733A1 (de) * 1981-11-26 1983-07-07 Softelec S.A., 1400 Yverdon Integrierter schaltkreis
US4967381A (en) * 1985-04-30 1990-10-30 Prometrix Corporation Process control interface system for managing measurement data
JPH0793413B2 (ja) * 1987-03-09 1995-10-09 日本電気株式会社 半導体装置の製造方法
US4904853A (en) 1987-09-22 1990-02-27 Kabushiki Kaisha Astex Dual-function information-carrying sheet device
KR920007535B1 (ko) * 1990-05-23 1992-09-05 삼성전자 주식회사 식별회로를 구비한 반도체 집적회로 칩
DE4124833A1 (de) * 1990-07-28 1992-02-06 Christian Berg Etikettierungsbaustein fuer elektronische baugruppen
JPH0775028B2 (ja) * 1990-08-15 1995-08-09 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション バーコードによる基板のマーク方法、その方法によってマークされた基板及び識別情報を有する基板
US5129974A (en) 1990-08-23 1992-07-14 Colorcode Unlimited Corporation Microlabelling system and method of making thin labels
JPH07123101B2 (ja) * 1990-09-14 1995-12-25 株式会社東芝 半導体装置
JPH04199733A (ja) * 1990-11-29 1992-07-20 Tokyo Seimitsu Co Ltd 半導体チップの製造方法及びその装置
US5226118A (en) * 1991-01-29 1993-07-06 Prometrix Corporation Data analysis system and method for industrial process control systems
US5482008A (en) * 1991-09-13 1996-01-09 Stafford; Rodney A. Electronic animal identification system
US5434870A (en) * 1992-04-17 1995-07-18 Unisys Corporation Apparatus and method for verifying the authenticity of a circuit board
US5787174A (en) * 1992-06-17 1998-07-28 Micron Technology, Inc. Remote identification of integrated circuit
JP3659981B2 (ja) * 1992-07-09 2005-06-15 アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド ダイ特定情報に特徴付けられるダイ上の集積回路を含む装置
JPH0684730A (ja) * 1992-08-31 1994-03-25 Fujitsu Ltd 半導体装置の製造方法
US5313174A (en) * 1992-09-18 1994-05-17 Rockwell International Corporation 2:1 bandwidth, 4-way, combiner/splitter
US5301143A (en) * 1992-12-31 1994-04-05 Micron Semiconductor, Inc. Method for identifying a semiconductor die using an IC with programmable links
US5389770A (en) * 1993-01-22 1995-02-14 Intermec Corporation Method and apparatus for decoding unresolved bar code profiles
US5360747A (en) 1993-06-10 1994-11-01 Xilinx, Inc. Method of reducing dice testing with on-chip identification
US5801067A (en) 1993-10-27 1998-09-01 Ronald Shaw Method for recording and identifying integrated circuit chips and the like
JP2776247B2 (ja) * 1993-11-17 1998-07-16 日本電気株式会社 半導体集積回路及びその製造方法
US5420796A (en) * 1993-12-23 1995-05-30 Vlsi Technology, Inc. Method of inspecting planarity of wafer surface after etchback step in integrated circuit fabrication
US5511005A (en) * 1994-02-16 1996-04-23 Ade Corporation Wafer handling and processing system
US5446447A (en) * 1994-02-16 1995-08-29 Motorola, Inc. RF tagging system including RF tags with variable frequency resonant circuits
US5641164A (en) 1994-10-13 1997-06-24 The M2000 Group Inc. Talking trading cards
US5743801A (en) 1995-08-18 1998-04-28 Welander; Paul M. Collectable video sports card
US5742526A (en) 1996-01-03 1998-04-21 Micron Technology, Inc. Apparatus and method for identifying an integrated device
US5748731A (en) 1996-07-02 1998-05-05 Shepherd; Henry G. Electronic trading cards
US5949059A (en) * 1996-12-09 1999-09-07 International Business Machines Corporation Tamper evident labelling system with embedded storage device
US5927512A (en) * 1997-01-17 1999-07-27 Micron Technology, Inc. Method for sorting integrated circuit devices
US5962834A (en) * 1997-03-17 1999-10-05 Markman; Herbert L. Inventory tracking and management apparatus with multi-function encoding unit
ES2344741T3 (es) * 1998-08-14 2010-09-06 3M Innovative Properties Company Lector de rfid.

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100934918B1 (ko) * 2004-12-13 2010-01-06 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 식별 코드를 갖는 반도체 칩, 그 칩의 제조 방법, 및반도체 칩 관리 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
WO1998052226A1 (en) 1998-11-19
TW392232B (en) 2000-06-01
JP2001525993A (ja) 2001-12-11
US5984190A (en) 1999-11-16
KR100839003B1 (ko) 2008-06-18
EP1004142A1 (en) 2000-05-31
AU7497898A (en) 1998-12-08
USRE40623E1 (en) 2009-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100839003B1 (ko) 집적 회로 식별 방법 및 장치
US7502659B2 (en) Sorting a group of integrated circuit devices for those devices requiring special testing
JP3659981B2 (ja) ダイ特定情報に特徴付けられるダイ上の集積回路を含む装置
US7642551B2 (en) Wafer-level package having test terminal
KR19990006383A (ko) 반도체 장치 및 그 정보 관리 시스템
US6018686A (en) Electrically imprinting a semiconductor die with identifying information
KR20040004105A (ko) 집적 회로, 집적 회로의 제조 프로세스 및 집적 회로에대한 테스트 프로세스
US6830941B1 (en) Method and apparatus for identifying individual die during failure analysis
US5913020A (en) Method for using fuse identification codes for masking bad bits on single in-line memory modules
US5721741A (en) Memory test system
US6421287B1 (en) Method for controlling experimental inventory
JPH01212429A (ja) 半導体素子
KR19980020175A (ko) 릴(reel)형 인쇄회로기판
JP4127930B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法並びにその製造装置
JP3805188B2 (ja) 複合メモリモジュールおよびその選別方法
JPH0684730A (ja) 半導体装置の製造方法
JP3736525B2 (ja) 半導体集積回路装置および回路基板
US6662150B1 (en) Apparatus and method for recording and/or reading program history
US20220399271A1 (en) Semiconductor device with identification structure, method for manufacturing and tracing production information thereof
JP2003124365A (ja) 半導体集積回路チップ管理情報付与方法、半導体集積回路チップ管理情報管理方法、半導体集積回路チップ管理情報付与装置および管理情報を有する半導体集積回路チップ
JP4287258B2 (ja) Icカードの発行処理方法、およびicカード用icモジュール、icカード
KR100379093B1 (ko) 반도체패키지의마킹방법
KR20030023268A (ko) 다양한 아이디 정보를 저장할 수 있는 아이디 회로를포함하는 반도체 집적 회로
JP3663709B2 (ja) 集積回路の製造方法
JPH1187198A (ja) 製造情報を記憶する記憶部を有する半導体集積回路、半導体集積回路に製造状態を記録する方法、および、製造情報を記録した半導体集積回路を管理する方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
S901 Examination by remand of revocation
GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee