JP2006351772A - 半導体チップの識別情報記録方法及び撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 露光工程において、感光材が塗布されたウエハの上面に、回路パターンのレチクルが複数設けられたマスクを用いて複数ショットの露光を行なう際に、レチクルを識別するレチクル番号を一緒に露光する。その後、現像及びエッチングを行なうことにより、ウエハの最上部あるいは最上部に近いメタル層に凹状または凸状のレチクル番号が形成される。また、マーキング工程では、ウエハの下面に露光時のショット単位での識別を可能にする下面用識別情報を記録する。識別情報を上面と下面とに分けて記録することにより、記録可能な情報量が多くなる。また、ショット単位で識別情報を記録することにより、記録にかかる時間を短縮することができる。
【選択図】 図2
Description
これによれば、ウエハの上面と下面とに識別情報を記録することができるので、記録できる情報量を増やすことができる。
また、上面への記録にはマスクによる露光を用いたので、回路パターンの露光と同時に行なうことができ、半導体チップの製造工数が長くなることはない。
また、ウエハの下面への識別情報の記録は、露光のショット単位で行なうようにしたので、個々の半導体チップごとに識別情報を記録する場合に比べ、情報の記録にかかる時間を短縮することができる。そして、これらの識別情報により、個々の半導体チップを露光のショット単位、及びレチクル単位で識別することができ、識別性を向上させることができる。
また、開口は、イメージセンサチップの下面の識別情報が視認できる透明性を有する封止板により封止してもよい。これによれば、パッケージ内への異物や湿気等の侵入を防止することができる。
また、パッケージ自体を識別情報が視認可能な透明性を有する材質で形成しても、同様の効果を得ることができる。
8 レチクル番号
11 製品コード
12 製造コード
13 ショット位置コード
18 マスク
22 ウエハ
26a〜26I レチクル
33a〜33h ショット位置
38,39 バーコード
42 インクジェットヘッド
50 撮像装置
51 中空パッケージ
52,67 パッケージ本体
58 開口
59 識別情報
62 封止板
Claims (12)
- 感光材が塗布されたウエハの上面に、回路パターンのレチクルが複数設けられたマスクを用いて複数ショットの露光を行ない、現像して複数の回路パターンをウエハ上に形成するパターニング工程と、エッチング、イオン注入等を行なってウエハ上に複数の半導体回路を形成する回路形成工程と、ウエハをダイシングして個片化し、複数個の半導体チップを形成するダイシング工程とを経て形成される半導体チップであって、
前記各レチクルに対しレチクル単位での識別を可能にする上面用識別情報が設けられたマスクを用い、前記回路パターンとともに上面用識別情報をウエハに露光及び現像し、かつエッチングを行なって、該ウエハの最上部あるいは最上部に近いメタル層に上面用識別情報を記録する工程と、
前記ダイシング工程が行われる前のウエハの下面に対し、製品型番、ロット番号、ウエハ番号、ウエハ上のショット位置等の情報であって、露光時のショット単位での識別を可能にする下面用識別情報を記録する工程とを設けたことを特徴とする半導体チップの識別情報記録方法。 - 前記上面用識別情報及び下面用識別情報は、文字、数字または記号、あるいはこれらの組み合わせからなることを特徴とする請求項1記載の半導体チップの識別情報記録方法。
- 前記下面用識別情報は、異なる方向に沿って設けられた複数のバーコードからなることを特徴とする請求項1記載の半導体チップの識別情報記録方法。
- 前記下面用識別情報は、レーザーマーキング方式によって記録されることを特徴とする請求項1ないし3いずれか記載の半導体チップの識別情報記録方法。
- 前記下面用識別情報は、インクジェット方式によって記録されることを特徴とする請求項1ないし3いずれか記載の半導体チップの識別情報記録方法。
- 前記インクジェット方式で用いられるインクは、耐熱・耐水インクであることを特徴とする請求項5記載の半導体チップの識別情報記録方法。
- 前記半導体チップは、イメージセンサチップであることを特徴とする請求項1ないし6いずれか記載の半導体チップの識別情報記録方法。
- 前記イメージセンサチップは、CCD型イメージセンサチップであることを特徴とする請求項7記載の半導体チップの識別情報記録方法。
- 前記イメージセンサチップは、CMOS型イメージセンサチップであることを特徴とする請求項7記載の半導体チップの識別情報記録方法。
- 下面に識別情報が記録されたイメージセンサチップと、
このイメージセンサチップが収納されるチップ収納部が上面に設けられたパッケージ本体と、
パッケージ本体の下面とチップ収納部の底面との間に貫通して設けられ、イメージセンサチップの下面の識別情報が外部から視認できるようにする開口とを備えたことを特徴とする撮像装置。 - 前記開口は、イメージセンサチップの下面の識別情報が視認できる透明性を有する封止板により封止されていることを特徴とする請求項10記載の撮像装置。
- 下面に識別情報が記録されたイメージセンサチップと、
前記識別情報が視認可能な透明性を有する材質で形成され、前記イメージセンサチップが収納されるパッケージとを備えたことを特徴とする撮像装置。
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