KR102033694B1 - 기판 처리 시스템 - Google Patents

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요하임 마이
마르코 케르
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마이어 버거 (저머니) 게엠베하
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Abstract

본 발명은 기판 처리 시스템에 관한 것으로, 상기 기판 처리 시스템은 상기 기판 처리 시스템을 채움(charging) 및 방출(discharging)하기 위한 적어도 하나의 기판 채움 및 방출 영역, 적어도 하나의 기판, 적어도 하나의 배기 가능한 처리 챔버, 적어도 하나의 캐리어 이송 영역에서 적어도 하나의 지지 이송 장치를 이용하여 상기 적어도 하나의 기판을 상기 적어도 하나의 처리 챔버에 이송할 수 있는 적어도 하나의 지지(support) 장치를 포함하고, 또한, 상기 적어도 하나의 처리 챔버와 상기 지지 이송 영역 사이에 배열된 적어도 하나의 기밀 폐쇄 장치 및 상기 기판 채움 및 방출 영역과 상기 지지 이송 영역 사이의 적어도 하나의 기밀 폐쇄 장치를 포함한다. 본 발명의 목적은 높은 처리 순도로 인한 고품질의 기판 처리를 수행하고 또한 큰 기판 처리량으로 인한 대량 생산에도 적합한 기판 처리 시스템을 제공하는 데에 있다. 상기 목적은, 상기 기판 채움 및 방출 영역과 상기 지지 이송 영역 사이에, 상기 기판 채움 및 방출 영역에 제공될 수 있는 적어도 하나의 기판 카세트로부터 상기 적어도 하나의 기판을 전달하기 위한 기판 전달 장치를 갖는 기판 전달 영역이 제공되고, 상기 기판 카세트에서 기판들이 상기 기판 카세트의 서로 다른 수평 카세트 면들(planes)에 배열될 수 있고, 상기 기판 카세트 상에 수평 지지 면에 상기 적어도 하나의 기판을 유지시키는데 이용되는 적어도 하나의 지지 장치가 제공되는 것을 특징으로 하는, 상술한 타입의 기판 처리 시스템에 의해 달성된다. 상기 기판 전달 영역은 기판 채움 및 방출 영역에 대해, 그리고 또한 캐리어 이송 영역에 대해서도 기밀 방식으로 폐쇄될 수 있다.

Description

기판 처리 시스템{Substrate treatment system}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 상기 기판 처리 장치는 상기 기판 처리 장치에 적어도 하나의 기판을 로딩 및 언로딩 하기 위한 적어도 하나의 기판 로딩 및 언로딩 영역, 적어도 하나의 배기 가능한 처리 챔버, 적어도 하나의 캐리어 장치로서, 상기 적어도 하나의 캐리어 장치를 이용하여 상기 적어도 하나의 기판이 적어도 하나의 캐리어 이송 영역에서 상기 적어도 하나의 처리 챔버로 적어도 하나의 캐리어 이송 장치를 이용하여 이송 가능한 적어도 하나의 캐리어 장치, 및 상기 기판 로딩 및 언로딩 영역 및 상기 캐리어 이송 영역 사이의 적어도 하나의 기밀 폐쇄 장치뿐만 아니라 상기 적어도 하나의 처리 챔버 및 상기 캐리어 이송 영역 사이의 적어도 하나의 기밀 폐쇄 장치를 포함한다.
종래 기술에 따르면, 인라인(in-line) 코팅 장치들은 예를 들어, 솔라 셀들(solar cells)의 대량 생산을 위해 사용된 것으로 알려졌다. 코팅을 위해, 수많은, 예를 들어, 42개의 솔라 셀 웨이퍼들이 캐리어 장치 상에 일 레벨로 배치되고, 이러한 장치를 통한 연속적인 처리 동안 인라인 장치에서 코팅된다. 그렇게 함으로써, 단일 처리 영역들이 예를 들어, 가스 커튼들(gas curtains)에 의해 서로 절연된다. 솔라 셀 기술에서의 이러한 발달은 예를 들어, 기판 처리 장치들에서 처리 순도(process purity)에 관한 장치들의 기술에 대한 증가된 요구들을 자주 유도한다. 이것은 통상적인 인라인 장치들로 이러한 증가하는 요구들을 충족시켜야 하는 문제가 있다.
또한, 서로 다른 타입들의 기판 처리 장치들도 순도에 대한 증가된 요구들을 충족시키는 최신 기술에서 잘 알려져 있다. 이러한 기판 처리 장치들의 하나의 타입은 마이크로 전자 공학 산업에서 알려진 수직 배치 오픈(vertical batch oven)이다. 보트(boat)는 배치 오븐에서 기판들에 대해 캐리어 장치로서 이용된다. 복수의 기판들, 예를 들어, 150개의 웨이퍼들이 보트 안으로 제공된다. 보트에서, 기판들은 서로 서로 평행하게 위치해있다. 일부 배치 오븐들에서, 보트는 보트 이송 메커니즘에 의해 보트 이송 공간(room)에서 수평으로 그리고 수직으로 이동 가능하고, 스토브 파이프(stove pipe)라고도 지칭되는 처리 챔버에 삽입 가능하다. 그렇게 함으로써, 처리 챔버는 일부 오븐들에서 진공 밀봉 폐쇄(vacuum-tight closed)된다. 일부 배치 오븐들은 기판 로딩 및 언로딩 영역과 보트 이송 공간 사이에 기밀 폐쇄(gas-tight closing) 장치들을 제공한다. 배치 오븐들의 문제가 있는 특징은 배치 오븐들이 열 처리에만 규칙적으로 적합하고, 플라즈마 강화(plasma-enhanced) 기판 처리에는 적합하지 않다는 점이다. 더욱이, 보트 내의 웨이퍼 스택(wafer stack)은 상대적으로 긴 가열 및 냉각 시간들이 수용될 수 있도록 높은 열 용량(thermal mass)을 갖는다.
다른 타입의 장치는 국제특허출원 WO 2011/148924 A1에 공지되어 있다. 이러한 타입의 장치에서, 여섯 개의 웨이퍼들이 웨이퍼 캐리어 상에서 수직으로(upright) 서로 서로 평행하게 배열된다. 이러한 웨이퍼 캐리어는 배기된 웨이퍼 캐리어-이송 공간에 의해 락 챔버(lock chamber)로부터 사각 형상의 코팅 챔버들로 이송된다. 플라즈마 강화 층 퇴적들이 코팅 챔버들에서 수행된다. 이러한 장치의 문제가 있는 특징은 다른 문제들 중에서, 상기 장치가 하나의 챔버에서 동시에 오직 여섯 개의 기판들만을 처리할 수 있고, 이에 따라, 상대적으로 낮은 생산 속도만이 도달 가능하다는 점이다.
따라서, 본 발명의 목적은 높은 처리 순도의 공급으로 고 품질의 기판 처리를 허용하고, 이에 따라, 그 높은 기판 출력(output)으로 인해 대량 생산에 적합한 기판 처리 장치를 제안하는 데에 있다.
상기 목적은, 기판 로딩 및 기판 언로딩 영역이, 상기 기판 로딩 및 언로딩 영역에 제공 가능한 적어도 하나의 기판 카세트로부터 적어도 하나의 캐리어 장치 상으로 적어도 하나의 기판을 전달하기 위한 적어도 하나의 기판 전달 장치를 구비한 기판 전달 영역에 의해 캐리어 이송 영역에 연결되고, 상기 기판 카세트에서 기판들은 상기 기판 카세트의 서로 다른 수평 카세트 레벨들에 배열 가능하며, 상기 적어도 하나의 캐리어 장치(7)에서 상기 적어도 하나의 기판은 수평 캐리어 레벨에 홀딩 가능하고(holdable), 상기 기판 전달 영역은 상기 기판 로딩 및 언로딩 영역에 대해 기밀 폐쇄 가능한 것을 특징으로 하는 먼저 정의된 타입의 기판 처리 장치에 의해 해결된다.
본 발명의 기판 처리 장치는 또한 기판 로딩 및 언로딩 영역을 포함하고, 기판 로딩 및 언로딩 영역에서/영역으로부터 기판 카세트들이 유입되고 방출될 수 있다. 그렇게 함으로써, 기판 로딩 및 언로딩 영역은 로딩뿐만 아니라 언로딩을 위해 제공될 수 있다. 그러나, 분리된 여러 기판 로딩 및 언로딩 영역들도 제공될 수 있는데, 예를 들어, 기판 로딩 영역은 인라인 장치의 시작 부분에 제공되고, 기판 언로딩 영역은 인라인 장치의 끝 부분에 제공된다. 기판 카세트들에서, 여러 평평한 기판들이 수평 위치에서 서로 다른 카세트 레벨들에 서로 평행하게 배열된다.
기판 전달 영역은 기판 로딩 및 언로딩 영역에 연결된다. 그렇게 함으로써, 기판 로딩 및 언로딩 영역과 기판 전달 영역 사이의 기밀 폐쇄가 제공되어, 분위기 내의 불순물들에 대한 배리어(barrier)의 역할을 하고, 처리 챔버들에 불순물들이 이송되는 것을 방지하며, 이로써, 기판 처리 장치에서 향상된 순도를 제공한다.
기판 전달 영역에서, 기판 카세트의 기판들은 캐리어 이송 영역에 제공된 캐리어 장치 상으로 전달되거나, 또는 캐리어 장치에서 기판 카세트 내로 전달된다. 기판의 사이즈에 따라, 서로 다른 개수의 기판들이 캐리어 장치 상에 배치될 수 있다. 예외적으로 큰 기판들의 극단적인 경우들에서, 5 데시미터(decimeter) 이상의 치수를 가진, 하나의 기판만이 캐리어 장치 상에 제공될 수 있다.
기판 전달 영역과 기판 로딩 및 언로딩 영역 사이의 기밀 폐쇄에 의해, 기판 전달 영역은 기판 로딩 및 언로딩 영역과 캐리어 이송 영역 사이에서 일종의 잠금 장치(locking device)를 포함한다. 더욱이, 기밀 폐쇄는 기판 로딩 및 언로딩 영역에 존재하는 압력과 다른 압력에서 기판 전달 영역의 동작을 허용한다. 이러한 방법의 서로 다른 측정들이 기판 전달 영역에서 실현될 수 있고, 이것은 기판 처리 장치에서 순도를 더욱 향상시킬 수 있다. 예를 들어, 린싱(rinsing) 사이클들이 기판 전달 영역에서 처리될 수 있다.
본 발명의 기판 처리 장치의 유익한 실시예에서, 기판 전달 영역은 비활성 가스로 충전 가능하다. 제한된(defined) 그리고 청결한 분위기가 비활성 가스 충전에 의해 기판 전달 영역에 제공되고, 이것은 사용된 비활성 가스의 순도에 의해 주로 정의된다. 기판들의 표면 변화들은 비활성 가스의 화학적 비활성에 의해 방지될 수 있다. 예를 들어, 고품질의 표면 특성들, 예를 들어, 전하 캐리어들의 긴 수명의 면에서 측정 가능한 표면 특성들이 이에 따라 도달될 수 있다. 그러나, 다른 실시예에서, 기판 전달 영역은 진공 또는 형성(forming) 가스와 같은 반응성 가스로 충전될 수도 있다.
본 발명의 기판 처리 장치의 특별히 바람직한 실시예에서, 캐리어 장치는 기판 캐리어 라인들 및 기판 캐리어 칼럼들에서 캐리어 레벨에 배열된 기판 네스트들(nests)을 포함하고, 캐리어 장치는 기판 캐리어 라인들 방향으로 그리고/또는 기판 캐리어 칼럼들 방향으로 이동 가능하다. 특히 정사각형(square) 기판들의 광범위한 사용으로, 캐리어 장치의 이용 가능한 영역은 라인들 및 칼럼들의 배열로 인해 잘 사용될 수 있고, 이에 따라, 높은 생산성이 도달 가능하다. 라인들 및 칼럼들에서의 선형적 배열은, 기판들에 대한 기판 전달 영역에 제공된 이송 메커니즘들이, 기판 캐리어 라인들 및 기판 캐리어 칼럼들 내의 기판 네스트들에 각각 도달하기 위해, 쉽게 구조화될 수 있도록 특히 단순하다. 기판 캐리어 라인들 및 기판 캐리어 칼럼들의 직교 배열은, 기판 캐리어 라인들 방향으로의 그리고/또는 기판 캐리어 칼럼들 방향으로의 선형적 움직임들을 위해 바람직하게 제공된 직사각형 캐리어 장치들을 필요로 한다. 인라인 장치들에서, 기판 캐리어 이송은 기판 캐리어 라인들의 방향 또는 기판 캐리어 칼럼들의 방향의 일 방향으로만 규칙적으로 이루어진다. 클러스터(cluster) 장치들에서, 여러 처리 모듈들이 기판 캐리어 라인들의 방향 및 기판 캐리어 칼럼들의 방향으로 기판 전달 영역 주변에 제공되는 지점에서, 캐리어 장치는 기판 캐리어 라인들의 방향 및 기판 캐리어 칼럼들의 방향의 두 방향들로 이동 가능하다. 기판 네스트들은 캐리어 장치가 움직일 때 기판들이 위치를 벗어나지 않도록, 기판들의 측면 홀딩(lateral holding)을 이용해서 캐리어 장치 상에서 기판들의 안전한 위치를 보장한다.
본 발명의 기판 처리 장치의 유익한 실시예에 따르면, 기판 전달 장치는 캐리어 장치에 평행하고 캐리어 이송 영역 상부의, 제공 가능한 기판 로딩 레벨을 포함하고, 상기 기판 로딩 레벨로부터 캐리어 장치는 라인 별로 또는 칼럼 별로 기판들을 완전히 장착 가능하다. 상기 기판 로딩 레벨은 수평으로 배향되고 캐리어 장치 위에 제공된다. 기판 캐리어 레벨은 캐리어 장치 상의 정확한 위치에 기판들의 배열 및 저장소(depot)를 제공하는 편리한 수단이다. 캐리어 장치의 단순하고 빠른 로딩은 기판 로딩 레벨로부터 가능하다.
본 발명의 기판 처리 장치의 편리한 실시예에 따르면, 기판 전달 장치는 적어도 하나의 전달 브릿지(bridge) 또는 전달 암(arm)을 포함하고, 전달 브릿지 또는 전달 암은 상기 기판 캐리어 라인 또는 기판 캐리어 칼럼에 적어도 하나의 기판을 로딩 및 언로딩하기 위해, 캐리어 장치의 적어도 하나의 기판 캐리어 라인 또는 기판 캐리어 칼럼에 대해 평행하게 연장된다. 전달 브릿지 또는 전달 암은 바람직하게는 기판 캐리어 레벨에 제공되거나, 또는 기판 캐리어 레벨에 유입 가능하고 기판 캐리어 레벨로부터 방출 가능하다. 전달 브릿지 또는 전달 암을 이용함으로써, 기판 전달 장치를 이용하여 모든 기판 네스트들에 도달할 수 있다. 캐리어 장치의 모든 기판 캐리어 라인들 또는 기판 캐리어 칼럼들이 전달 브릿지 또는 전달 암에 의해 연속적으로 접근될 수 있거나, 또는 몇몇 기판 전달 브릿지들 또는 전달 암들이 캐리어 장치의 몇몇 기판 캐리어 라인들 또는 기판 캐리어 칼럼들에서 평행하게 사용될 수 있다. 서로 다른 기판 캐리어 라인들 또는 기판 캐리어 칼럼들 어드레싱(addressing)은 다양한 방법으로 이루어질 수 있다. 특히 유익한 일 예에서, 캐리어 장치의 추가적인 기판 캐리어 라인들 또는 기판 캐리어 칼럼들을 로딩 및 언로딩하기 위해 전달 브릿지 또는 전달 암은 기판 캐리어 라인의 방향을 따라, 그리고/또는 기판 캐리어 칼럼의 방향을 따라 이동 가능하다.
바람직하게는, 기판 전달 장치는 예를 들어, 초음파 강화 치머만 쉴프 핸들링 장치 (ultrasound-enhanced Zimmermann-Schilp-handling device)와 같은 적어도 하나의 비 접촉 기판 핸들링 장치를 포함한다. 이러한 기판 핸들링 장치들은 심지어 극도로 얇은 기판들도 기판들의 낮은 균열 위험으로 신뢰성 있게 핸들링할 수 있는 핸들링 장치들이다. 그렇게 함으로써, 기판들은 예를 들어, 그 무게로 인해, 또는 예를 들어, 낮은 압력 흡입(pressure suction)에 의해, 기판 핸들링 장치에 대한 스페이서(spacer)의 역할을 하는, 초음파에 의해 생성된 가스 쿠션(cushion)에 대해 압력을 받을 수 있다. 비 접촉 작동 원리로 인하여, 유익하게도, 기판들 상에 핸들러 자국들이 나타나지 않는다. 또한, 이러한 기판 핸들링 장치들을 이용하여 높은 전달 시간(transfer times)이 실현 가능하다. 예를 들어, 정전기 그리퍼들(electrostatic grippers)과 같은 다른 핸들링 장치들과 반대로, 본원에서 제안된 비 접촉 기판 핸들링 장치들은 진공에서 작동되지 않고, 이러한 핸들러들의 동작 원리를 기초로 하여 가스 쿠션들을 형성하기 위한 높은 가스 밀도를 필요로 한다. 요구되는 가스 밀도는 예를 들어, 대기압(atmospheric pressure)으로 주어진다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따라, 기판 전달 장치를 이용하여, 각각의 최상위(uppermost) 카세트의 제한된 언로딩 및 리턴(return)을 위해 기판 카세트가 리프트(lift) 시스템과 연결된 경우, 기판들은 기판 카세트로부터 특히 적절하게 방출될 수 있고, 다시 기판 카세트에 삽입될 수 있다.
본 발명의 기판 처리 장치의 다른 실시예는 적어도 두 개의 캐리어 장치 레벨들을 포함하고, 캐리어 장치 레벨들에서 위치한 캐리어 장치들은 서로 독립적으로 이동 가능하다. 여러 캐리어 장치 레벨들의 존재로 인해, 기판 처리 장치의 생산성이 향상된다. 단일 캐리어 장치 레벨들은 여러 기판 처리 레벨들을 이끌 수 있다. 그러나, 여러 캐리어 장치 레벨들도 예를 들어, 로지스틱 원인들로 인해, 기판 처리 장치의 캐리어 이송 영역에만 제공될 수 있다. 양 방향 캐리어 장치 로지스틱들을 이용하여, 그리고 여러 캐리어 장치 레벨들의 존재로 인해, 하나의 캐리어 장치가 다른 캐리어 장치에 양보할(give way) 수 있고, 이에 따라, 캐리어 장치들이 기판 처리 장치에서 긴 홀딩 시간없이 이동될 수 있다.
기본적으로, 본 발명의 기판 처리 장치는 또한 상기 여러 캐리어 장치 레벨들 옆에 여러 로딩 및 언로딩 레벨들도 포함할 수 있다.
기판 처리 장치의 단일 캐리어 장치 레벨들이 적어도 하나의 캐리어 장치 리프트에 의해 서로 연결될 때에 특히 편리하다. 적어도 하나의 캐리어 장치는 캐리어 장치 리프트를 이용하여 기판 처리 장치의 다른 캐리어 장치 레벨로 이동될 수 있다.
만약 상술된 여러 캐리어 장치 레벨들이 기판 처리 장치에서 양보하기 위해 오직 제공된다면, 캐리어 장치 리프트가 캐리어 장치 이송 레벨 옆에 적어도 하나의 추가적인 캐리어 장치 레벨을 포함할 경우 더 유익하다.
그렇게 함으로써, 일 캐리어 장치는 일시적으로 캐리어 장치 리프트 상에 저장될 수 있고, 반면 다른 캐리어 장치는 이송된다. 다른 실시예에서는, 메인 캐리어 장치 레벨 및 적어도 하나의 상부 캐리어 장치 레벨 및 하부 캐리어 장치 레벨인, 적어도 세 개의 캐리어 장치 레벨들이 있다.
다른 실시예에 따르면, 본 발명의 기판 처리 장치는 캐리어 이송 영역에 연결되고 서로의 위에 적층된 적어도 두 개의 처리 챔버들을 포함한다. 기판 처리 장치의 생산 성능은 서로에 대해 적층된 처리 챔버들에 의해 예를 들어 두 배로, 증가될 수 있다. 그렇게 함으로써, 기판 처리 장치의 비용들이 하나의 레벨에만 배열된 처리 챔버들을 가진 기판 처리 장치에 비하면, 생산 성능보다는 적게 증가한다. 그렇게 함으로써, 캐리어 이송 영역은 모든 처리 챔버들이 캐리어 장치들에 대해 도달 가능한 방식으로 형성된다.
본 발명의 기판 처리 장치의 유익한 실시예에서, 기판 로딩 및 언로딩 영역은 카세트 저장부를 포함하고, 카세트 저장부에서, 필요한 경우 적어도 하나의 기판 카세트가 제공 가능하고 기판 전달 장치에 연결 가능하다. 기판 카세트들 및 캐리어 장치의 용량(capacity)은 항상 정수 비율인 것은 아니다. 예를 들어, 기판 카세트들은 25개의 웨이퍼들을 수용 가능한 용량을 갖고, 캐리어 장치는 24개의 웨이퍼들을 수용 가능한 용량을 가지고, 다시 말해, 두 번째 기판 카세트는 캐리어 장치 상으로 완전히 언로딩될 수 없다. 그리하여, 두 번째 기판 카세트에 남아 있는 기판들을 카세트 저장부에 일시적으로 저장하고, 카세트 저장부로부터 다른 캐리어 장치에 상기 기판들을 언로딩하는 것이 편리하다. 예를 들어, 일 면에서 개방 가능한 통상적인 기판 카세트가 제공될 수 있고, 기판 전달 장치에 연결될 수 있다. 다른 실시예에서, 특수 저장 카세트(special store cassette)가 카세트 저장부 내에 제공될 수도 있다. 특수 저장 카세트는 예를 들어, 기판 카세트와 달리, 기판 이송을 위해 두 면들에서 개방되는 이점을 가질 수 있다.
카세트 저장부가 배기 가능하고, 그리고/또는 비활성 가스로 충전 가능할 때에 특히 유익하다. 기판들은 생산 처리 동안에 카세트 저장부에 일시적으로 저장된다. 그렇게 함으로써, 카세트 저장부들에서 기판들의 변화가 관찰될 수 있다. 이러한 결과들은 카세트 저장부들에 비활성 가스를 충전시키거나 비활성 가스를 배기시키거나 카세트 저장부들을 배기 또는 비활성 가스 충전 단계들로 린싱(rinsing)함으로써 억제되거나 최소화될 수 있다.
본 발명의 기판 처리 장치의 다른 건설적인 실시예에서, 캐리어 이송 영역은 적어도 하나의 템퍼링 장치를, 다시 말해, 적어도 하나의 가열 및/또는 냉각 장치를 포함한다. 가열 및/또는 냉각은 기판들의 온도 균일성을 향상시키기 위해, 그리고/또는 기판 가열 또는 냉각 속도를 향상시키기 위해 제공될 수 있다.
본 발명의 기판 처리 장치의 다른 선택에 따르면, 기판 처리 장치는 기판 터닝(turning) 장치를 포함한다. 기판 처리 장치에서, 기판들의 두 면의 코팅은 예를 들어 가능하고, 코팅들은 표준화된 처리 챔버들에서 기판 일 면부터 제공된다. 기판들은 제안된 기판 터닝 장치를 이용함으로써 터닝될 수 있고, 이에 따라, 기판들의 전면 또는 후면이 코팅 챔버들의 처리 면으로 터닝된다.
본 발명의 기판 처리 장치의 다른 실시예에 따르면, 기판 터닝 장치는 기판 카세트 회전 장치이다. 단일 기판들의 터닝은 실제로는 상대적으로 복잡하다. 기판 터닝은 제안된 실시예를 통해 더욱 용이하게 구현될 수 있는데, 여기서, 기판들은 처음에는 기판 카세트들로 이송되고, 이어서 완성된 기판 카세트들이 터닝되고, 그 뒤에 기판들이 다시 이송된다.
본 발명의 기판 처리 장치의 다른 실시예에서, 캐리어 장치에서 다른 캐리어 장치로 적어도 하나의 기판을 전달하기 위한 기판 전달 스테이션이 기판 처리 장치의 적어도 두 개의 캐리어 이송 영역들 사이에 제공된다. 본 실시예에서, 기판 이송은 기판 전달 스테이션을 이용하여 부분적으로 이루어지는데, 여기서, 기판들은 장치의 서로 다른 부분들에서 서로 다른 캐리어 장치들 상에서 처리된다. 이것은 예를 들어, 하나의 처리 챔버에 일 캐리어 장치가 요구될 때에 편리하며, 이것은 상기 처리 챔버에서 기판 처리에 의해 영향을 받는다.
본 발명의 기판 처리 장치가 기판 크랙 검출 및/또는 기판 크랙 처분 장치를 포함하는 경우 특히 유용하다. 이러한 기판 크랙 처리 장치들은 예를 들어, 단순한 기판 크랙 추출 또는 특수 그래버 장치들(special grabber devices)을 가진 로봇식의 암들(robotic arms)일 수 있다. 기판 크랙들이 완전히 방지될 수는 없지만, 기판 크랙들이 낮은 가능성으로 발생한다. 그러나, 특정 환경들에서, 기판 크랙이 기판 처리 장치에서 생산 처리를 상당히 방해할 수 있고, 특정 환경들 하에서 생산에 있어서 심각한 손실을 야기할 수 있다. 제안된 기판 크랙 검출 및 기판 크랙 처분 장치에 의해, 기판 크랙을 자동으로 검출하고 그 결과들을 처리하는 것이 가능하다. 이것은 기판 크랙의 결과들을 더욱 빠르게 바로잡기 위해서 오직 하나의 기판 크랙 검출 또는 오직 하나의 기판 크랙 처분 장치가 제공될 때에 이미 유익하다.
본 발명의 기판 처리 장치의 특별한 실시예에서, 처리 챔버들 중 적어도 하나가 캐리어 장치에 의해, 처리 챔버가 제공되는 처리 모듈에 대해 물리적으로 잠금 가능하다(loackable). 이 경우에, 캐리어 장치는 처리 챔버의 벽, 바닥 또는 측벽을 형성한다. 이것은 캐리어 이송 장치를 이용하여, 처리 챔버에 이송될 수 있고 또한 처리 챔버로부터 멀리 이송될 수 있는 캐리어 장치에 의해 성취된다.
바람직하게는, 상기 장치는 처리 챔버의 바닥을 형성한다. 그렇게 함으로써, 캐리어 장치는 처리 챔버를 둘러싸는 처리 모듈에 대한 처리 챔버의 적절한 물리적 폐쇄를 얻기 위하여, 캐리어 이송 장치를 이용하여 처리 챔버 아래의 영역으로 이동될 수 있고, 그 결과로 허브 장치를 이용하여 처리 챔버에 대해 수직으로 밀어 올려질 수 있다.
롤러 이송 시스템은 캐리어 이송 장치로서 유익하게 이용될 수 있다. 대안적인 캐리어 이송 장치는 예를 들어, 선형 모터 이송 시스템들, 포크(fork) 이송 시스템들 등이다.
적어도 하나의 처리 챔버는, 본 발명에 따라, 기판들의 처리를 위해 하나 또는 다수의 장치들을 포함한다. 바람직한 처리 장치들은 플라즈마의 생성을 위한 장치들을 포함한다. 이러한 장치는 예를 들어, 가스 샤워로서 제공되는, 평면형의 HF-전극일 수 있다. 이 경우에, 캐리어 장치는 바람직하게는 평행 판 배열의 카운터 전극을 형성한다. 본 발명의 구현된 처리 챔버들은 일반적으로, 기판 처리뿐만 아니라 사용된 처리 장치들의 동작을 위해 필요한, 펌프 커넥션들, 전기적 공급 커넥션들, 가스 공급 커넥션들 및 템퍼링 장치들의 공급을 위한 커넥션들 등과 같은 모든 미디어 공급 커넥션들을 각각 갖는다.
본 발명의 기판 처리 장치의 다른 가능한 실시예에 따르면, 상기 기판 처리 장치는 각각 적어도 하나의 처리 챔버를 갖는 적어도 하나의 처리 모듈을 포함하고, 여기서, 전달 모듈이 적어도 하나의 처리 모듈과 캐리어 이송 영역 사이에 각각 제공되고, 전달 모듈은 처리 모듈 및 캐리어 이송 영역에 대해 기밀 폐쇄 가능하다. 따라서, 처리 모듈에서 후속 처리를 위해, 전달 모듈에 기판들을 최적으로 준비하는 것이 가능하다. 더욱이, 처리 모듈에서 이미 처리된 기판들은 전달 모듈 내의 캐리어 이송 영역에서 조건들에 적절하게 조정될 수 있다. 그 결과, 적절한 분위기 또는 진공 및/또는 적절한 온도가 전달 모듈에서 조정될 수 있다.
이러한 전달 모듈들은 캐리어 장치들에 대해 적어도 두 개의 레벨들이 전달 모듈에 제공되는 경우에 특히 효과적으로 사용될 수 있다. 이러한 방식으로, 통상적으로 각각의 상부에 적층되는 서로 다른 레벨들에서, 캐리어 장치는 예를 들어, 전달 모듈의 다른 레벨에서, 추가적인 캐리어 장치가 처리 모듈 내로의 이송을 위해 준비되는 동안, 인접한 처리 모듈로부터 동시에 또는 지연되어 이송될 수 있다.
다른 실시예에서, 본 발명의 기판 처리 장치는 각각 적어도 하나의 처리 챔버를 갖는 적어도 두 개의 처리 모듈들을 포함하고, 여기서, 자신의 캐리어 장치는 각 처리 모듈에 할당된다. 바람직하게는, 캐리어 이송 영역은 그렇게 함으로써, 다른 캐리어 장치들 상으로 처리 모듈들에 대한 분리 영역 및 기판들에 대한 교환 영역을 각각 형성한다.
본 발명의 바람직한 실시예들, 그들의 배열, 기능 및 이점들은 도면들을 기초로 이하에서 설명될 것이다.
도 1은 세 개의 처리 모듈들을 가진 본 발명의 기판 처리 장치의 일 실시예를 평면도에서 개략적으로 도시한다.
도 2는 본 발명의 기판 처리 장치의 다른 실시예의 횡단면을 개략적으로 도시한다.
도 3은 인라인 장치로 제공된, 네 개의 처리 모듈들을 가진 본 발명의 기판 처리 장치의 변형예를 평면도에서 개략적으로 도시한다.
도 4는 네 개의 처리 모듈들을 가진 본 발명의 기판 처리 장치의 다른 실시예를 평면도에서 개략적으로 도시한다.
도 5는 네 개의 처리 모듈들을 가진 본 발명의 기판 처리 장치의 다른 예를 평면도에서 개략적으로 도시한다.
도 6은 네 개의 멀티 챔버 처리 모듈들을 가진 본 발명의 기판 처리 장치의 다른 실시예를 평면도에서 개략적으로 도시한다.
도 7은 본 발명의 기판 처리 장치에 적용 가능한 멀티 챔버 처리 모듈의 횡단면을 개략적으로 도시한다.
도 8은 본 발명에 이용 가능한 멀티 챔버 처리 모듈의 다른 실시예의 횡단면을 개략적으로 도시한다.
도 9는 멀티 챔버 처리 모듈을 가진 본 발명의 기판 처리 장치의 횡단면을 개략적으로 도시한다.
도 10은 본 발명의 기판 처리 장치의 다른 변형예의 횡단면을 개략적으로 도시한다.
도 11은 본 발명의 기판 처리 장치의 일 실시예의 횡단면을 개략적으로 도시한다.
도 12는 본 발명의 기판 처리 장치의 일 실시예를 평면도에서 높은 구성 레벨로(in a high configuration level) 개략적으로 도시한다.
도 13은 처리 모듈들의 선형 시퀀스들을 가진 본 발명의 기판 처리 장치의 일 실시예를 평면도에서 개략적으로 도시한다.
도 14는 처리 모듈들의 선형 시퀀스들을 가진 본 발명의 다른 기판 처리 장치를 평면도에서 개략적으로 도시한다.
도 15는 본 발명의 기판 처리 장치의 다른 실시예를 평면도에서 개략적으로 도시한다.
도 16은 클러스터 기판 처리 장치로서의 일 실시예에서 본 발명의 다른 기판 처리 장치를 평면도에서 개략적으로 도시한다.
도 17은 클러스터 기판 처리 장치로서의 일 실시예에서 본 발명의 다른 기판 처리 장치를 평면도에서 개략적으로 도시한다.
도 18은 여덟 개의 처리 모듈들을 가진 본 발명의 기판 처리 장치의 변형예를 평면도에서 개략적으로 도시한다.
도 1은 본 발명의 기판 처리 장치(1)의 일 실시예의 평면도를 개략적으로 도시한다. 여기서, 기판들(3)은 기판 카세트들(casettes)(13)에서 기판 로딩 및 언로딩(loading and unloading) 영역(2)을 통해 기판 처리 장치(1) 내로 먼저 유입되고, 그리고 처리 후에, 기판들(3)은 기판 처리 장치(1)로부터 제거된다. 기판 로딩 및 언로딩 영역(2)은 기밀 폐쇄 장치(gas-tight closure device)(10)에 의해 기판 로딩 및 언로딩 영역(2)에서 분리 가능한 기판 전달(transfer) 영역(11)이 뒤따른다. 기판 전달 영역(11)에서, 기판 전달 장치(12)를 이용하여, 캐리어 이송 영역(8)에 위치한 캐리어 장치(7)와 기판 카세트(13) 사이에서 기판들(3)의 전달이 제공된다.
도 1에 도시된 실시예에서, 캐리어 장치(7)는 소위, 그 안에 기판들(3)이 배치되는 기판 네스트들(nests)을 가진 캐리어이다. 이러한 기판 네스트들은 기판 캐리어 라인들 및 기판 캐리어 칼럼들에 제공된다. 현재 다섯 개의 기판 네스트들을 가진 기판 캐리어 라인은 기판 전달 장치(12)에 의해 동작 가능하고(operatable), 기판들(3)은 기판 캐리어 라인 방향(X)으로 기판 네스트들에 이송된다. 그 결과, 기판 전달 장치(12)는 캐리어 장치(7)의 기판 캐리어 라인에 평행하게 캐리어 장치(7) 위에 배열된 전달 브릿지(bridge)(16) 또는 대응하는 전달 암(arm)을 포함하고, 전달 브릿지(16)를 따라 기판들(3)이 각각의 기판 네스트들에 이송될 수 있다. 모든 기판 캐리어 라인들에 로딩하기 위해, 기판 전달 장치(12)는 기판 캐리어 칼럼 방향(Y)으로 이동 가능하다.
도 1에 도시된 실시예에서, 기판 전달 장치(12)는 비 접촉(non-contact) 기판 핸들링 장치(17)를 포함하고, 비 접촉 기판 핸들링 장치(17)를 이용하여 기판들(3)을 기판 카세트(13)로부터 접촉 없이 가져올 수 있고, 전달 브릿지(16)에 의해 캐리어 장치(7) 상에 기판들(3)을 배치될 수 있다. 예를 들어, 초음파 강화 치머만 쉴프 핸들링 장치(ultrasound-enhanced Zimmermann-Schilp-handling device)가 이러한 기판 핸들링 장치(17)로서 적합하다. 그러나, 다른 적절한 기판 핸들링 장치들도 캐리어 장치(7)에 기판들(3)을 각각 로딩하고 캐리어 장치(7)로부터 기판들을(3)을 언로딩하기 위해 이용될 수 있다.
전달 암 또는 전달 브릿지(16)는 대신에 기밀 폐쇄 장치(10)의 영역에서 끊어질 수 있고, 그 자신의 모션 드라이브(motion drive)를 가질 수 있고, 그에 따라, 기판 이송은 폐쇄 장치(10)를 가로질러 제공된다. 다른 변형예에서, 전달 암 또는 전달 브릿지(16)는 폐쇄 장치(10)의 개방 이후에 캐리어 이송 영역(9) 내로만 이동된다. 또 다른 변형예에서, 캐리어 이송 영역(9)과 기판 전달 영역(11) 사이의 폐쇄 장치(10)는 생략될 수 있다.
캐리어 장치(7)는 제시된 본 실시예에서 캐리어 이송 영역(9)에 제공된 세 개의 처리 모듈들(4)의 각각으로 이동될 수 있다. 처리 모듈들(4)은 캐리어 이송 영역(9)을 통해 움직이는 캐리어 장치(7)에 대해 캐리어 이송 장치(8) 옆에 적어도 하나의 처리 챔버(5)를 각각 포함한다. 예를 들어, 각 처리 챔버(5)에서 서로 다른 코팅이 이루어질 수 있다.
각 처리 모듈(4)에 그 자신의 캐리어 장치(7)가 제공될 수 있다. 예를 들어, 기판 처리 장치(1)의 다른 처리 모듈들(4)에서 처리들이 이루어질 경우, 거기에서 캐리어 장치(7) 그 자체에 의해 불순물들의 확산이 방지되지 않을 수 있는 이점이 있다. 예를 들어, 도판트들의 추가를 갖는 제1 코팅이 제1 프로세스 모듈(4)에 제공되고, 이어지는 처리 단계에서 도핑된 층이 다른 처리 모듈(4)에 퇴적될 경우 문제가 있을 수 있다. 또한, 캐리어 이송 영역(9)은 다른 캐리어 장치들(7) 상에서 기판들(3)의 교환 영역 및 처리 모듈들(4)의 분리 영역으로써의 역할을 각각 동시에 한다. 또한, 단일 캐리어 장치들(7)이 서로 다른 온도들을 가질 수 있다.
기판 처리 장치(1)는 카세트 회전(rotating) 장치(15)와 연결된 기판 전달 영역(11)을 더 포함하고, 카세트 회전 장치(15)를 이용해 기판 카세트(13)는 예를 들어, 기판들(3)이 기판들(3)의 전면의 코팅 이후에 돌려질(turned) 수 있고, 그 뒤에, 기판들의 후면 상에 코팅이 이루어질 수 있도록, 회전될 수 있다.
캐리어 이송 영역(9)은 기밀 폐쇄 장치(10)에 의해 처리 모듈들(4)로부터 각각 분리될 수 있다. 이런 방식으로, 처리 모듈들(4)은 기판 전달 영역(11)과 다른 압력에서 동작할 수 있다.
도 2는 본 발명의 기판 처리 장치(1A)의 다른 변형예의 횡단면을 개략적으로 도시한다. 그에 따라, 동일한 참조 부호들은 상술된 도 1의 기판 처리 장치(1)에서 각각 유사한 구성 요소들과 동일하고, 이러한 맥락에서, 상술된 내용에 대한 참조가 이루어진다. 동일한 내용은 다른 그림들의 설명에 적용된다.
도 2에 도시된 실시예의 기판 로딩 및 언로딩 영역(2)에 기판 카세트(13)가 제공된다. 기판 카세트(13)의 입력 이후에, 기판 로딩 및 언로딩 영역(2)에서 배기(evacuation)를 통해 청결하고 제한된(defined) 분위기(atmosphere)가 생성된다. 기판 로딩 및 언로딩 영역(2)에서 충분한 청결도(cleanliness)가 도달되면, 기밀 폐쇄 장치(10)는 개방되고 기판 카세트(13)는 기판 전달 영역(11)으로 전달된다. 기판 전달 영역(11)에서, 기판들(3)은 기판 전달 장치(12)를 이용해 기판 카세트(13)로부터 캐리어 이송 영역(9)에 있는 캐리어 장치(7) 상으로 전달된다.
도 2에 도시된 실시예에서, 기판 전달 장치(12)는 전달 브릿지(16)에서 가이딩된(guided), 비 접촉, 초음파 강화 기판 핸들링 장치(17)를 포함한다. 기판 핸들링 장치(17)는 상술된 바와 같이, 비 접촉식으로, 그리고, 작은 힘으로 기판들(3)을 잡을(grab) 수 있다. 그렇게 함으로써, 예를 들어, 언더 압력 채널들에서(in under pressure channels) 언더 압력에 의해 양력(lifting force)이 생성될 수 있다. 기판 핸들링 장치(17)로의 비 접촉 이송을 위해 필요한 거리는 초음파로 생성된 가스 쿠션(ultrasound-produced gas cushion)에 의해 보장된다. 도시된 기판 핸들링 장치(17)는 원칙적으로 진공 하에서는 작동하지 않고, 증가된 압력, 예를 들어, 대기압에서만 작동한다. 기판 핸들링 장치(17)는 기판들(3) 상에 어떠한 동작 자국들(operating imprints)도 남기지 않으므로, 이에 따라, 순도에 대한 높은 요구들이 존재하는, 기판들의 양 면들 상에 기능적 표면들(functional surfaces)을 갖는 핸들링 기판들(3)에 대해 적합하다. 이것은, 각각의 최상위(respective uppermost) 기판(3)의 제한된 로딩 또는 언로딩을 위해 기판 카세트(13)가 도면에 예시되지 않은 리프트 시스템(lift system)에 연결되는 경우 유용하다.
로딩된 캐리어 장치(7)는 캐리어 이송 장치(8)에 의해 캐리어 이송 영역(9)에서 처리 모듈(4)에 이송된다. 거기에서, 캐리어 장치(7)는 또한 캐리어 이송 장치(8)를 이용하여, 기판들의 처리가 제공되는 처리 챔버(5)에 이동된다. 여기서, 캐리어 이송 장치(8)에 대한 일 예로서, 롤러 이송 시스템(roller transport system)이 이용된다.
도시된 실시예에서, 캐리어 장치(7)는 처리 모듈(4)에서 캐리어 이송 영역(8)으로부터 허브(hub) 장치(14)에 의해 리프팅되고, 처리 챔버(5)의 바닥으로 이용된다. 처리 챔버(5)가 폐쇄된 경우의 캐리어 장치(7)의 위치는 도 2의 처리 모듈(4)에서 점선으로 도시되었다. 기판들(3)은 처리 챔버(5)에서 기판들(3)의 처리 이후에 로딩 절차와 반대로 언로딩된다.
도 3은 네 개의 처리 모듈들(4)을 포함하는, 본 발명의 기판 처리 장치(1B)의 더 발달된 버전을 개략적으로 도시한다. 기판 처리 장치(1B)는 인라인 장치로서 제공되고, 기판 처리 장치(1B)에서 기판 카세트들(13)은 도면의 왼쪽에 로딩된다. 그 뒤에, 기판들(3)은 기판 처리 장치(1B)를 통해 움직인다. 최종적으로, 처리된 기판들(3)을 가진 기판 카세트들(13)이 도면의 오른쪽에서 언로딩된다.
두 개의 캐리어 장치들(7)이 기판 처리 장치(1B)의 기판 전달 영역(11)에 제공될 수 있다. 두 캐리어 장치들(7) 사이에서뿐만 아니라 기판 카세트(13)와 캐리어 장치(7) 사이에서도 기판 전달 장치들(12)에 의해 기판 이송이 가능하다. 두 캐리어 이송 영역들(9) 사이에서, 기판 카세트 회전 장치(15')가 제공되고, 기판 카세트 회전 장치(15')에서, 세 개의 기판 카세트들(13)이 본 예시에 도시된 바와 같이 동시에 회전될 수 있고, 이에 따라, 기판의 일면이 거꾸로 뒤집어지거나 또는 반대로 뒤집어질 수 있다.
또한, 도 3의 기판 처리 장치(1B)는 기판 크랙 검출부들(crack detectors)(20)을 포함하고, 기판 크랙 검출부들(20)에 의해, 손상된 기판들(3)이 선택적으로 식별될 수 있다. 크랙 위험에 처한(crack-endangered) 또는 깨진 기판(3)이 검출되면, 이러한 손상된 기판(3)은, 생산 프로세스가 조금만 변경되도록, 현재의 기판 크랙 흡인(suctioning)을 이용하여 즉시 제거될 수 있다. 두 개의 카세트 저장부들(stores)(19)이 기판 로딩 및 언로딩 영역들(2)에 각각 제공된다. 기판들(3)은 카세트 저장부들(19)에 일시적으로 저장될 수 있고, 이것은, 예를 들어, 기판 카세트들(13) 및 캐리어 장치들(9)의 불균등한 용량(capacities)로 인해 초래된다.
도 4는 네 개의 처리 모듈들(4)을 가진 본 발명의 기판 처리 장치(1C)의 다른 실시예를 평면도에서 개략적으로 도시한다. 도 4의 변형예에서, 기판 처리 장치(1C)는 서로 분리된 두 개의 캐리어 이송 영역들(9)을 포함하고, 상기 캐리어 이송 영역들(9)에서, 한 처리 모듈(4)은 기판 캐리어 라인 방향(X)으로 제공되고 다른 처리 모듈(4)은 기판 캐리어 칼럼 방향(Y)으로 제공된다. 캐리어 장치(7)는 기판 전달 장치(12)를 이용하여 기판들(3)을 각각 로딩할 수 있고, 캐리어 이송 영역들(9)에 각각 제공된다. 도시된 예시에서, 기판 전달 영역(11)이 제공되는데, 기판 전달 영역(11)에서, 기판 전달 장치들(12)의 전달 브릿지(16)는, 캐리어 장치(7)의 모든 기판 네스트들에 기판들(3)을 각각 로딩하고 기판 네스트들로부터 기판들(3)을 언로딩하기 위하여, 캐리어 장치들의 기판 캐리어 칼럼 방향(Y)으로 이동 가능하다.
그렇게 함으로써, 기판들(3)을 가진 캐리어 장치(7)는 기판 처리 장치(1C) 내의 두 처리 모듈들(4)에서 잇따라서 처리되거나, 또는 펜듈럼(pendulum) 모드로 움직이는 두 개의 캐리어 장치들(7)이 제공되는데, 여기서, 처리 모듈(4)에서 캐리어 장치(7) 상에 로딩된 기판들(3)의 처리 및 다른 캐리어 장치(7) 상의 전달 동작이 동시에 제공된다.
도 4의 기판 처리 장치(1C)의 기판들(3)은 먼저 기판 로딩 영역(2')으로 유입된다. 이 단계에서, 기판들(3)은 여전히 기판 카세트(13)에 있는데, 기판 카세트(13)에서 기판들(3)은 기판 카세트(13)의 서로 다른 수평 카세트 레벨들에 제공된다. 이어서, 기판 카세트(13)는 기밀 폐쇄 가능한 락(lock)을 통해 움직인 후에, 기판 전달 영역(11)으로 유입되는데, 기판 카세트(13)는 도 4에서 화살표들로 표시된 기판 캐리어 칼럼 방향(Y)을 따라 이동 가능하다. 그렇게 함으로써, 기판 카세트(13)에 위치한 기판들(3)은 기판 전달 장치(12)를 이용하여, 그리고 전달 브릿지(16)를 이용하여 캐리어 장치들(7) 상으로 분배된다. 이어서, 기판들(3)을 가진 적어도 하나의 캐리어 장치(7)는 예를 들어, 도 2에 도시된 캐리어 이송 장치(8)를 이용하여, 처리 모듈들(4) 중 하나에 유입되어, 그 안의 처리 챔버들 중 하나에서 처리될 것이다. 처리는 예를 들어, 층 퇴적일 수 있으나, 그러나, 플라즈마 처리, 에칭 단계, 온도 처리 및/또는 다른 적절한 처리 단계일 수도 있다.
예를 들어, 기판 처리 장치(1C)의 왼쪽에 도시된 두 개의 처리 모듈들(4)에서 기판의 일 면의 처리가 끝나면, 기판들(3)은 두 개의 캐리어 이송 영역들(9) 사이에 있는 기판 카세트 회전 장치(15)를 이용하여 돌려진다(turned). 그 뒤에, 도 4의 오른쪽에 도시된 다른 두 개의 처리 모듈들(4)에서 기판의 두 번째 면의 처리가 수행된다. 마지막으로, 기판들(3)은 기판 카세트(13)로 전달되고, 기판 처리 장치(1C)의, 도 4의 오른쪽에 도시된, 기판 언로딩 영역(2")으로부터 언로딩된다.
도 5는 네 개의 처리 모듈들(4)을 가진 본 발명의 기판 처리 장치(1D)의 또 다른 실시예를 평면도에서 도시한다. 두 개의 처리 모듈들(4)은 캐리어 이송 영역(9)의 양 면들 상에서, 기판 처리 장치(1D)에서 기판 캐리어 라인들에 평행하게 각각 배열된다. 이러한 처리 모듈들(4) 중 두 개는 기판들(3)의 전면 코팅을 위해 제공되고, 다른 두 개의 처리 모듈들(4)은 기판 카세트 회전 장치(15')에서 기판들(3)이 돌려진 후에 후면 코팅을 위해 제공된다.
기판 처리 장치(1D)는 인라인 장치가 아니고, 기판들(3)은 단일 기판 로딩 및 언로딩 영역(2)을 통해 로딩되고 언로딩된다. 그렇게 함으로써, 상술된 실시예들과 유사하게, 기판들(3)은 먼저 기판 카세트(13)에서 기판 처리 장치(1D)에 유입되고, 이어서, 기판 전달 장치들(12)을 이용하여 기판 카세트(13)로부터 적어도 하나의 캐리어 장치(7) 상에 적용된다. 캐리어 장치(7)의 도움으로, 캐리어 장치(7) 상에 놓여있는 기판들(3)은 이어서 처리 모듈들(4) 중 하나에 유입되어, 그 안의 처리 챔버들 중 하나에서 처리될 것이다. 기판들이 처리된 후에, 대응하는 캐리어 장치(7)는 사용된 캐리어 이송 장치를 이용하여 처리 모듈(4) 밖으로 이송된다. 그 후에, 각 캐리어 장치(7)는, 예를 들어, 다시 캐리어 이송 장치를 이용하여, 캐리어 이송 영역(9)의 다른 면에 위치한 처리 모듈(4)로 이송될 수 있다. 또한, 다른 처리 모듈(4)은 도 5에 도시되지 않은 처리 챔버에 제공되고, 처리 챔버에서, 기판들(3)은 다른 처리 단계에 유입될 수 있다. 기판들(3)의 처리 이후에, 기판들(3)은 다시 캐리어 장치(7) 상에 놓여서 캐리어 이송 영역(9)으로 이송되고, 예를 들어, 기판 전달 장치들(12)을 이용하여 대응하는 기판 카세트들(13)에 다시 유입될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 두 개의 캐리어 이송 영역들(9) 사이의 기판 전달 스테이션(station)(29)은 하나의 캐리어 장치(7)에서 다른 캐리어 장치(7)로 기판들(3)을 전달하기 위하여 제공될 수 있다. 기판 전달 스테이션(29)은 상술된 기판 전달 장치(12)와 유사하게 구조화될 수 있고, 이에 따라, 캐리어 장치(7)로부터 기판들(3)을 비 접촉으로 가져올 수 있고, 캐리어 장치들(7) 위의 전달 암 또는 전달 브릿지(16')를 따라 이동할 수 있고, 이어서, 기판들(3)을 캐리어 장치(7) 상으로 적용시킬 수 있다.
네 개의 처리 모듈들(4)의 높은 생산 속도에 대응하여, 기판 전달 영역(11) 내의 두 개의 캐리어 장치들(7)의 각각에 대해, 두 개의 평행하는 동작 기판 전달 장치들(12)이 기판 처리 장치(1D)에 제공된다.
도 6은 네 개의 멀티 챔버 처리 모듈들(6)을 포함하는, 본 발명의 기판 처리 장치(1E)의 다른 선택의 평면도를 도시한다. 두 개의 처리 챔버들(5)은 멀티 챔버 처리 모듈들(6)의 각각에서 수직으로 적층된다. 본 발명의 다른 도시되지 않은 실시예들에서, 두 개 이상의 수직으로 적층된 처리 챔버들(5)이 멀티 챔버 처리 모듈들(6)에 각각의 상부에 제공될 수 있다. 더욱이, 도 6에 도시된 단일 멀티 챔버 처리 모듈들(6)은 또한, 상술된 도면들에 도시된 바와 같이 단순한 처리 모듈들(5)에 의해 대체될 수도 있다.
전달 모듈(18)은 캐리어 이송 영역들(9)과 멀티 챔버 처리 모듈들(6) 사이에 각각 제공된다. 전달 모듈(18)은 한편으로는, 진공 밀봉 게이트들 또는 폐쇄 장치들(vacuum-tight gates or closure devices)에 의해, 수반된 멀티 챔버 처리 모듈(6)로부터 분리되고, 다른 한 편으로는, 캐리어 이송 영역(9)으로부터 각각 분리된다. 예를 들어, 멀티 챔버 처리 모듈에서 처리되어야 하거나 이미 처리된 기판들(3)의 가열 또는 냉각이 전달 모듈(18) 내에서 제공될 수 있다. 더욱이, 전달 모듈(18)에서 적절한 분위기가 조절되어야 한다. 전달 모듈(18)은 배기 가능할 수 있다.
도 6에 도시되지 않은 캐리어 장치 리프트가 전달 모듈(18) 내에 제공될 수 있고, 이를 이용하여, 각각의 캐리어 장치(7)를 멀티 챔버 처리 모듈(6) 내의 각 처리 챔버(5)에 대응하는 일 레벨에 가지고 올 수 있고, 상기 일 레벨에서, 캐리어 장치(7)에서 놓여있는 기판들(3)이 처리될 것이다. 또한, 캐리어 장치(7)는 캐리어 장치 리프트를 이용하여 다른 레벨로 전달될 수도 있고, 다른 레벨에서, 각 캐리어 장치(7)는 예를 들어, 다른 캐리어 장치 레벨 상에 이송되는 지난(past) 다른 캐리어 장치(7)로 이동될 수 있다.
도 7은 예를 들어, 도 6의 실시예에서 사용될 수 있는 멀티 챔버 처리 모듈(6)의 횡단면을 개략적으로 도시한다. 제시된 실시예에서, 멀티 챔버 처리 모듈(6)은 두 개의 수직으로 적층된 처리 챔버들(5)을 포함한다. 도시되지 않은 다른 실시예들에서, 멀티 챔버 처리 모듈(6)은 두 개 이상의 처리 챔버들(5)을 포함할 수 있다.
도 7에 도시된 처리 챔버들(5)의 캐리어 장치(7)는 처리 챔버(5)의 바닥의 역할을 한다. 도 7의 상부 캐리어 장치(7)는 이송 중에 나타나고, 롤러 이송 시스템이 캐리어 이송 장치(8)에 이용된다. 본 상태에서, 상부 처리 챔버(5)의 바닥이 누락되고, 상부 처리 챔버(5)는 처리 모듈(6)을 향해 개방된다. 그러나, 하부 캐리어 장치(7)는 허브 장치(14)에 의해 하부 처리 챔버에 대해 압력을 받음으로써 하부 처리 챔버(5)를 폐쇄한다. 멀티 챔버 처리 모듈(6)은 기판 처리 장치(1E)의 이웃하는 모듈들 및 그 환경에 대해 폐쇄 가능한, 폐쇄 가능 챔버이다.
도 8은 도 6의 기판 처리 장치(1E)에 적용 가능한 다른 멀티 챔버 처리 모듈(6')의 횡단면을 개략적으로 도시한다. 처리 모듈(6')은 도 7에 도시된 처리 모듈(6)과 달리, 처리 챔버들(5) 각각에 대해 폐쇄 가능한 절연 챔버(25)를 포함한다. 폐쇄 가능한 절연 챔버(25)는 예를 들어, 외부 분위기로부터 처리 챔버(5)의 보다 나은 열적 및 화학적 디커플링(decoupling)을 위해 추가적인 절연 단계로서 제공될 수 있다. 다른 실시예에서, 절연 챔버(25)는 처리 챔버(5)의 세정 처리를 위한 보조 장치로서 제공될 수도 있는데, 절연 챔버(25)에서 하부 캐리어 장치(7)는, 처리 챔버(5)가 개방될 때에 폐쇄된 절연 챔버(25)에서 에칭 플라즈마로 세정된다. 캐리어 장치(7)의 하부 위치에서, 캐리어 장치(7)의 에지 영역들은 또한 폐쇄된 처리 챔버(5)와 달리 세정된다. 절연 챔버(25)는 그렇게 함으로써 처리 모듈(6')로 세정 가스들이 확장되는 것을 예방한다.
처리 챔버들(5)은 그렇게 함으로써, 플라즈마의 생성을 위한 바람직하게는 하나 또는 여러 장치들을 포함한다. 이러한 바람직한 장치는 예를 들어, 가스 샤워(gas shower)로서 제공되는 평면형 RF 전극일 수 있다. 이 경우에, 캐리어 장치(7)는 평행 판 배열(parallel plate arrangement)의 카운터(counter) 전극을 형성한다. 또한, 처리 챔버들(5)은 펌프 커넥션들(pump connections), 전기 공급 커넥션들, 가스 공급 커넥션들 및 템퍼링 용 장치들(devices for tempering)과 같은 모든 필요한 미디어 공급 커넥션들을 제공한다.
도 9는 멀티 챔버 처리 모듈(6)을 가진 본 발명의 기판 처리 장치(1E)의 횡단면을 개략적으로 도시한다. 멀티 챔버 처리 모듈(6)은 예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이 형성될 수 있다. 상술된 내용들에 대한 참조가 이루어진다. 도 9에서, 전달 모듈(18)의 일 실시예가 더욱 상세하게 도시되었다. 도시된 전달 모듈(18)에서, 드래프트된(drafted) 이송 롤러들(26)에 의해 표시된 두 개의 이송 레벨들이 캐리어 장치들(7)에 대해 제공된다. 캐리어 장치들(7)은 전달 모듈(18) 내의 두 이송 레벨들로부터 멀티 챔버 처리 모듈(6)의 두 이송 레벨들로 이송될 수 있다. 캐리어 장치들(7)은 두 이송 레벨들 사이에서 캐리어 장치 리프트(28)를 이용하여 이동될 수 있다. 그렇게 함으로써, 이송 롤러들(26)은 캐리어 장치(7)의 리프팅 움직임을 위해 필요한 공간을 만들기 위하여, 그들의 중심선들의 방향으로 이동될 수 있다. 전달 모듈(18)은 캐리어 장치(7)의 가열 및/또는 냉각을 위하여, 예를 들어, 가열 판(heating plate), 방사열(radiation heating) 및/또는 냉각부와 같은 적어도 하나의 가열 및/또는 냉각 장치를 더 포함한다. 전달 모듈(18)은 캐리어 이송 영역(9)에 관련되고, 이에 따라, 기판 전달 영역(11)과 멀티 챔버 처리 모듈(6) 사이에 커넥션을 제공한다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 기판 처리 장치들(1F, 1G)의 횡단면을 개략적으로 도시한다. 기판 처리 장치들(1F, 1G)은 처리 챔버(5)를 각각 포함하는 처리 모듈들(4)을 포함한다. 기판 처리 장치(1G)는 기판 처리 장치(1F)와 달리, 처리 챔버(5)의 포함을 위해 절연 챔버(25)를 포함한다. 두 기판 처리 장치들(1F, 1G)은 도시된 이송 롤러들(26)에 의해 표시된 하나의 이송 레벨만을 갖는 전달 모듈(18')을 각각 포함한다. 두 개의 캐리어 장치들(7)의 핸들링을 위하여 전달 모듈들(18')이 제공된다. 일 캐리어 장치(7)가 이송 레벨에 위치하는 반면 두 번째 캐리어 장치(7)는 캐리어 장치 리프트(28) 상에 일시적으로 저장될 수 있다. 일시적인 저장에 의해, 캐리어 이송 영역(9)에서 캐리어 장치들(7)의 지연(latencies)을 감소시킬 수 있다. 일반적으로, 캐리어 장치 리프트(28)에서 다른 스팟들(spots)은 임시 저장부로서 제공될 수 있다.
도 12는 여덟 개의 멀티 챔버 처리 모듈들(6)을 포함하는 본 발명의 다른 기판 처리 장치(1H)를 개략적으로 도시한다. 기판 처리 장치(1H)는 이에 따른 16개의 처리 챔버들을 포함하고, 대응하는 높은 생산 출력을 제공한다. 캐리어 이송 영역들(9)은 이러한 기판 처리 장치(1H)에서 높은 로지스틱 요구들(logistic requirements)을 충족시키기 위하여, 도시된 실시예에서 네 개의 기판 전달 장치들(12) 각각에 연결된다.
도 13에서, 본 발명의 기판 처리 장치(1I)의 다른 실시예가 평면도에서 개략적으로 도시된다. 기판 처리 장치(1I)는 전달 모듈(18'), 처리 모듈(4') 및 처리 모듈(4)의 두 개의 선형적인 인라인 배열들을 포함한다. 처리 모듈(4')에는 캐리어 장치들(7)의 위한 통과를 위한 폐쇄 가능한 채널들이 두 면들에 제공된다. 처리 모듈들(4', 4)의 선형적인 인라인 배열은 본 발명의 기판 처리 장치들의 발전을 위한 상대적으로 단순한 기회이다. 처리 모듈들(4, 4')의 선형적인 인라인 배열을 이용하는 경우에 고려되어야 하는 불이익은 캐리어 장치들(7)을 이용할 때에 증가된 로지스틱 수고(logistic effort)이다.
캐리어 장치들(7)에 대한 여러 레벨들이 전달 모듈들(18, 18') 내에 제공되는 경우 유익하다. 그리하여, 여러 캐리어 장치들(7)이 락킹 처리에서 분위기와 진공 사이에서 동시에 또는 잇따라서 교환될 수 있고, 그렇게 함으로써, 전달 모듈들(18, 18')의 발생하는 환기 또는 배기의 횟수를 감소시킬 수 있다.
처리 모듈들(4')의 선형적인 인라인 배열을 가진 본 발명의 다른 기판 처리 장치(1J)가 도 14에 도시되었다. 기판 처리 장치(1J)는 외부 처리 모듈들(4')과 연결된, 캐리어 장치 저장부들(23)에 의해 기판 처리 장치(1J)에 비해 더 발달되었다. 캐리어 장치 저장부들(23)은 캐리어 장치들(7)을 일시적으로 저장할 수 있고, 그렇게 함으로써, 캐리어 장치들(7)을 이송할 때에 로지스틱 지연을 줄일 수 있다.
본 발명의 기판 처리 장치(1K)의 다른 실시예가 도 15에서 평면도로 개략적으로 도시되었다. 본 발명의 기판 처리 장치들의 다른 실시예들은 기판 처리 장치(1K)를 기초로 예시된다. 기판 전달 장치(12)는 전달 브릿지로써가 아닌, 전달 로봇(robot)(24)의 형태로 제공된다. 전달 로봇(24)은 캐리어 장치(7) 상의 모든 기판들(3)에 도달하는 회전 가능하고 선형적으로 확장 가능한 로봇식의 암(robotic arm)을 포함한다. 더욱이, 기판 처리 장치(1K)는 캐리어 장치들(7)에 대한 버퍼 및 캐리어 장치 리프트(28)를 포함하는 두 개의 전달 모듈들(18")을 포함한다. 전달 모듈(18")은 기판 캐리어 라인 방향(X)뿐만 아니라 기판 캐리어 칼럼 방향(Y)으로 캐리어 장치들(7)의 이송을 가능하게 한다. 기판 처리 장치(1K)에는 전달 모듈(18")에 두 개의 처리 모듈들(4)이 기판 칼럼 방향(Y)으로 제공된다. 그러나, 캐리어 이송 영역들(9)은 기판 캐리어 라인 방향(X)을 따라 전달 모듈들(18")에 제공된다. 또한, 처리 모듈들(4)은 멀티 챔버 처리 모듈들로서 제공될 수 있다. 본 실시예는 전달 모듈들(18")과 결합하여 본 발명의 기판 처리 장치들의 후술되는 변형예들에 일반적으로 적용될 수 있다.
또한, 예를 들어, 기판 출력을 향상시키기 위하여, 또는 기판 크랙 제거를 위하여 추가적인 로봇들이 캐리어 이송 영역들(9)에 이용될 때에 유익하다.
본 발명의 기판 처리 장치들(1L, 1M)의 다른 실시예들이 도 16 및 도 17에서 평면도로 개략적으로 도시되었다. 기판 처리 장치(1L)는 캐리어 장치 저장부(23)가 캐리어 이송 영역(9)에 직접 연결되는 실시예를 도시한다. 그러나, 기판 처리 장치(1M)은 캐리어 장치 저장부(23)를 전달 모듈(18")에 연결하는 선택을 도시한다.
도 18은 본 발명의 다른 기판 처리 장치(1N)를 평면도에서 개략적으로 도시한다. 기판 처리 장치(1N)는 기판 처리 장치(1N)를 통해 기판들(3)의 인라인 방향으로 가로지르는 상대적으로 좁은 너비를 포함한다. 기판 캐리어 칼럼 방향(Y)으로 처리 모듈들(4)을 전달 모듈들(18")에 배열함으로써 좁은 너비가 달성된다.
예시된 실시예들은 본 발명의 기판 처리 장치들(1, 1A 내지 1N)이 다른 많은 방법들로 제공될 수 있다는 점을 보여준다. 도시된 실시예들 가운데에, 본 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 명세서의 상세한 설명 및 본인의 노하우를 기초로 제공할 수 있는 도시되지 않은 다른 실시예들 또는 도시된 실시예들의 결합들이 가능하다.
1, 1A 내지 1N: 기판 처리 장치
2: 기판 로딩 및 언로딩 영역
3: 기판
4: 처리 모듈
5: 처리 챔버
6: 멀티 챔버 처리 모듈
7: 캐리어 장치
8: 기판 이송 영역
9: 캐리어 이송 영역
10: 기밀 폐쇄 장치
11: 기판 전달 영역
12: 기판 전달 장치
13: 기판 카세트
16: 전달 브릿지
17: 기판 핸들링 장치
18: 전달 모듈
20: 기판 크랙 검출부
21: 기판 크랙 처분 장치
24: 전달 로봇
26: 이송 롤러
28: 캐리어 장치 리프트
29: 기판 전달 스테이션

Claims (27)

  1. 기판 처리 장치(1, 1A 내지 1N)로서,
    상기 기판 처리 장치(1, 1A 내지 1N)에 기판들(3)을 로딩 및 언로딩하기 위한 적어도 하나의 기판 로딩 및 언로딩 영역(2);
    적어도 하나의 배기 가능한(evacuable) 처리 챔버(5);
    적어도 하나의 캐리어 이송(transport) 장치(8);
    적어도 하나의 캐리어 이송 영역(9)으로서, 상기 적어도 하나의 캐리어 이송 장치(8)는 상기 적어도 하나의 캐리어 이송 영역(9)을 통해 움직이는, 상기 적어도 하나의 캐리어 이송 영역(9);
    적어도 하나의 캐리어 장치(7)로서, 상기 적어도 하나의 캐리어 장치(7)를 구비하여 상기 기판들(3)이 상기 적어도 하나의 캐리어 이송 영역(9) 내의 상기 적어도 하나의 캐리어 이송 장치(8)에 의해 상기 적어도 하나의 배기 가능한 처리 챔버(5)로 이송되고, 상기 적어도 하나의 캐리어 장치(7)는 적어도 하나의 기판 캐리어 라인을 포함하는, 상기 적어도 하나의 캐리어 장치(7);
    상기 적어도 하나의 배기 가능한 처리 챔버(5)와 상기 적어도 하나의 캐리어 이송 영역(9) 사이에 배치된 적어도 하나의 제1 기밀 폐쇄 장치(gas-tight closing device)(10), 및 상기 적어도 하나의 기판 로딩 및 언로딩 영역(2)과 상기 적어도 하나의 캐리어 이송 영역(9) 사이에 배치된 적어도 하나의 제2 기밀 폐쇄 장치(10)를 포함하는 기밀 폐쇄 장치들(10);
    상기 기판들(3)을 포함하고(containing) 상기 적어도 하나의 기판 로딩 및 언로딩 영역(2)에 배치된 적어도 하나의 기판 카세트(13);
    적어도 하나의 기판 전달(transfer) 장치(12); 및
    기판 전달 영역(11)으로서, 상기 적어도 하나의 기판 로딩 및 언로딩 영역(2)은 상기 기판 전달 영역(11)에 의해 상기 적어도 하나의 캐리어 이송 영역(9)에 연결되고, 상기 적어도 하나의 기판 전달 장치(12)는 상기 적어도 하나의 기판 카세트(13)의 서로 다른 수평 카세트 레벨들의 상기 기판들(3)이 배치된 상기 적어도 하나의 기판 카세트(13)로부터 상기 기판들(3)이 수평 캐리어 레벨로 홀딩되는 상기 적어도 하나의 캐리어 장치(7) 상으로 상기 기판들을 전달하며, 상기 기판 전달 영역(11)은 상기 적어도 하나의 기판 로딩 및 언로딩 영역(2)에 대해 기밀 폐쇄 가능한, 상기 기판 전달 영역(11)을 포함하고,
    상기 적어도 하나의 기판 전달 장치(12)는 상기 적어도 하나의 캐리어 장치(7)의 상기 적어도 하나의 기판 캐리어 라인에 평행하게 연장되고, 상기 적어도 하나의 캐리어 장치(7) 위에 배치된 전달 브릿지(bridge)(16)를 포함하고,
    상기 기판 처리 장치(1, 1A 내지 1N)는, 상기 적어도 하나의 배기 가능한 처리 챔버(5)가 배치된 처리 모듈(4, 4', 6, 6')을 더 포함하며,
    상기 적어도 하나의 배기 가능한 처리 챔버(5) 중 적어도 하나는 상기 적어도 하나의 캐리어 장치(7)에 의해 상기 처리 모듈(4, 4', 6, 6')에 대해 물리적으로 폐쇄 가능하고,
    상기 적어도 하나의 캐리어 장치(7)는 상기 적어도 하나의 처리 챔버(5)의 바닥(bottom)을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판 전달 영역(11)은 비활성 가스로 충전 가능한(fillable) 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 캐리어 장치(7)는 기판 캐리어 라인들 및 기판 캐리어 칼럼들에서 상기 캐리어 레벨에 제공된 기판 네스트들(nests)을 포함하고,
    상기 캐리어 장치(7)는 상기 기판 캐리어 라인의 방향(X) 또는 상기 기판 캐리어 칼럼의 방향(Y)으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 캐리어 이송 장치(8)는 롤러 이송 시스템(roller transport system)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판 전달 장치(12)는 상기 캐리어 장치(7)에 평행하고, 상기 캐리어 이송 영역(9)의 위에 제공 가능한 기판 로딩 레벨을 포함하고, 상기 기판 로딩 레벨로부터 상기 캐리어 장치(7)는 라인 별로 또는 칼럼 별로 기판들(3)을 완전히 장착 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 전달 브릿지(16) 또는 전달 암(arm)은 상기 기판 캐리어 라인 또는 기판 캐리어 칼럼에 상기 기판들(3)을 로딩 및 언로딩하기 위해, 상기 캐리어 장치(7)의 상기 적어도 하나의 기판 캐리어 라인 또는 기판 캐리어 칼럼에 평행하게 연장되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 캐리어 장치(7)의 추가적인 기판 캐리어 라인들 또는 기판 캐리어 칼럼들을 로딩 및 언로딩하기 위해 상기 전달 브릿지(16) 또는 상기 전달 암은 기판 캐리어 칼럼 방향 또는 기판 캐리어 라인 방향을 따라 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 기판 전달 장치(12)는 적어도 하나의 비 접촉 기판 핸들링 장치(17)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 기판 핸들링 장치(17)는 초음파 강화된(ultrasound-enhanced) 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 기판 카세트(13)는 상기 적어도 하나의 기판 전달 장치(12)를 이용하여 각각의 최상위(uppermost) 기판(3)의 제한된(defined) 언로딩 및 리턴(return)을 위한 리프트 시스템(lift system)에 연결된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치(1)는 적어도 두 개의 캐리어 장치 레벨들을 포함하고,
    상기 캐리어 장치 레벨들에서 상기 캐리어 장치들(7)은 독립적으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 캐리어 장치 레벨들 중 적어도 두 개 사이에 하나의 캐리어 장치 리프트(28)가 제공되고, 상기 하나의 캐리어 장치 리프트(28)를 이용하여 적어도 하나의 캐리어 장치(7)가 다른 캐리어 장치 레벨로 움직일 수 있는(bringable) 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  13. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치(1, 1A 내지 1N)는 서로의 위에 적층되고, 상기 캐리어 이송 영역(9)과 연결되는 적어도 두 개의 처리 챔버들(5)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  14. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판 로딩 및 언로딩 영역(2)은 카세트 저장부(store)(19)를 포함하고, 상기 카세트 저장부(19)에서 적어도 하나의 기판 카세트(3)가 제공 가능하고, 상기 기판 전달 장치(12)와 연결 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 카세트 저장부(19)는 배기 가능하고, 또한 비활성 가스로 충전 가능한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  16. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 캐리어 이송 영역(9)은 적어도 하나의 템퍼링(tempering) 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  17. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치(1, 1A 내지 1N)는 기판 터닝(turning) 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 기판 터닝 장치는 기판 카세트 회전 장치(15)인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  19. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치(1, 1A 내지 1N)의 적어도 두 개의 캐리어 이송 영역들(9) 사이에서, 하나의 캐리어 장치(7)로부터 다른 캐리어 장치(7)로 적어도 하나의 기판(3)을 전달하기 위한 기판 전달 스테이션(station)(29)이 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  20. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치(1, 1A 내지 1N)는 기판 크랙(crack) 검출부(20)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  21. 삭제
  22. 삭제
  23. 제1항에 있어서,
    상기 처리 챔버(5)는 상기 캐리어 장치(7)와 함께 평행 판 배열(parallel plate arrangement)을 형성하고, 가스 샤워(gas shower)로써 제공되는 HF-전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  24. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 처리 모듈(4, 4', 6, 6')과 상기 캐리어 이송 영역(9) 사이에, 상기 처리 모듈(4, 4', 6, 6')에 대해 그리고 상기 캐리어 이송 영역(9)에 대해 기밀 폐쇄 가능한 전달 모듈(18, 18', 18")이 각각 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 전달 모듈(18, 18', 18")은 상기 캐리어 장치들(7)에 대해 적어도 두 개의 레벨들을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  26. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 처리 모듈(4, 4', 6, 6')은 적어도 두 개의 처리 모듈들(4, 4', 6, 6')을 포함하고, 각 처리 모듈(4, 4', 6, 6')은 그 자신의 캐리어 장치(7)에 할당된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 캐리어 이송 영역(9)은 서로 다른 캐리어 장치들(7) 상에 상기 처리 모듈들(4, 4', 6, 6')에 대한 분리 영역 및 기판들(3)에 대한 교환 영역을 각각 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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