KR101820815B1 - 물품 반송 설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 목적은, 구성의 간소화를 도모하면서, 급전선으로부터 물품 반송차(搬送車)로의 구동용 전력의 급전을 적절히 행할 수 있어, 제1 경로 및 제2 경로 중 어느 쪽의 경로라도 적절히 물품 반송차가 교차부를 통과할 수 있는 물품 반송 설비를 제공하는 것에 있다. 물품 반송 설비의 전환 장치는, 위치 변경 레일(27)을 제1 위치로 전환하여 제1 전환 상태로 전환 가능하고, 또한 위치 변경 레일(27)을 제2 위치로 전환하여 제2 전환 상태로 전환 가능하게 구성되며, 급전선(19)은, 제1 주행 레일(2a) 및 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)을 주행하는 물품 반송차(3)에 구동용 전력을 급전 가능하게 제1 주행 레일(2a)에 지지되고, 또한 제2 주행 레일(2b) 및 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)을 주행하는 물품 반송차(3)에 구동용 전력을 급전 가능하게 제2 주행 레일(2b)에 지지되어 있다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE CONVEYING EQUIPMENT}
본 발명은, 주행륜을 구비하고, 주행 경로를 따라 설치된 급전선으로부터 구동용 전력이 급전되어 주행 가능한 물품 반송차(搬送車)와, 상기 주행 경로로서 제1 경로와 제2 경로가 구비되고, 상기 제1 경로와 상기 제2 경로가 교차하는 교차부에는, 상기 제1 경로에 의해 물품 반송차를 통과시키는 제1 전환 상태와 상기 제2 경로에 의해 상기 물품 반송차를 통과시키는 제2 전환 상태로 전환 가능한 전환 수단이 구비된 물품 반송 설비에 관한 것이다.
이와 같은 물품 반송 설비에서는, 예를 들면, 급전선이, 주행 경로를 형성하는 주행 레일에 지지되어 있고, 물품 반송차에는, 급전선으로부터 무접촉으로 구동용 전력이 급전되는 수전부(受電部)가 구비되어 있다. 물품 반송차는, 급전선으로부터의 구동용 전력을 무접촉으로 수전부에 의해 수전하고, 그 수전한 구동용 전력을 사용하여 구동 장치 등을 작동시킴으로써, 주행 경로를 따라 주행하도록 구성되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
전술한 바와 같은 물품 반송 설비에서는, 주행 경로로서 복수의 경로가 구비되어 있지만, 예를 들면, 주행 경로로서 제1 경로와 제2 경로가 구비되는 동시에, 제1 경로와 제2 경로가 교차하는 교차부가 구비되어 있는 것이 있다. 이 교차부를 구비한 설비에서는, 제1 경로 및 제2 경로의 양쪽으로 물품 반송차가 교차부를 통과 가능하도록, 제1 경로에 의해 물품 반송차를 통과시키는 제1 전환 상태와 제2 경로에 의해 물품 반송차를 통과시키는 제2 전환 상태로 전환 가능한 전환 수단이 구비되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 2 참조).
이 제2 특허 문헌에 기재된 설비에서는, 제1 경로 및 제2 경로의 각각에 있어서 교차부에 연속하는 입구 부분 및 교차부로부터 연속하는 출구 부분의 각각에는, 물품 반송차에 구비된 주행륜을 안내 지지하는 주행 레일이 설치되어 있다. 교차부에는, 제1 경로에서의 입구 부분 및 출구 부분에 설치된 주행 레일에 연속하는 제1 위치와 제2 경로에서의 입구 부분 및 출구 부분에 설치된 주행 레일에 연속하는 제2 위치에 상하 축심(軸心) 주위에서 회전 가능한 주행 회전 레일이 설치되어 있다. 전환 수단은, 주행 회전 레일을 제1 위치로 전환함으로써 제1 전환 상태로 전환하고, 또한 주행 회전 레일을 제2 위치로 전환함으로써 제2 전환 상태로 전환하고 있다.
일본 공개특허 제2005―1830호 공보 일본 실용신안등록출원공개 1991―32602호 공보
전술한 교차부를 구비한 설비에서는, 상기 특허 문헌 2에 기재된 설비와 같이, 주행 회전 레일의 위치를 제1 위치와 제2 위치로 전환함으로써, 제1 경로에 의해 물품 반송차를 통과시키는 제1 전환 상태와 제2 경로에 의해 물품 반송차를 통과시키는 제2 전환 상태로 전환하고 있다. 이로써, 교차부에 있어서 제1 경로 및 제2 경로의 양쪽에서의 물품 반송차의 주행을 가능하게 하고 있지만, 교차부에 있어서 물품 반송차가 제1 경로나 제2 경로를 주행하기 위해서는, 급전선으로부터 물품 반송차에 구비된 수전부에 구동용 전력을 급전할 필요가 있다.
그래서, 상기 특허 문헌 1에 기재된 설비와 마찬가지로, 교차부를 통과할 때 주행륜을 안내 지지하는 주행 회전 레일에 급전선을 지지시키는 상태로 설치하는 것을 생각할 수 있다. 이 경우에는, 제1 전환 상태로 전환하여 제1 경로에 의해 교차부를 통과할 때, 제1 위치에 위치하는 주행 회전 레일에 지지된 급전선으로부터 물품 반송차의 수전부에 구동용 전력을 급전할 수 있고, 제2 전환 상태로 전환하여 제2 경로를 통과할 때도, 제2 위치에 위치하는 주행 회전 레일에 지지된 급전선으로부터 물품 반송차의 수전부에 구동용 전력을 급전할 수 있다.
그러나, 이 경우에는, 주행 회전 레일이 상하 축심 주위에서 회전함으로써, 주행 회전 레일의 위치가 제1 위치와 제2 위치로 전환되므로, 그 제1 위치와 제2 위치와의 사이에서의 주행 회전 레일의 회전의 방해가 되지 않도록, 주행 회전 레일에 급전선을 지지시키지 않으면 안된다. 따라서, 급전선을 지지시키기 위한 구성이 복잡하게 되어, 구성의 복잡화를 초래하게 된다.
본 발명은, 이러한 점에 착안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 구성의 간소화를 도모하면서, 급전선으로부터 물품 반송차로의 구동용 전력의 급전을 적절히 행할 수 있어, 제1 경로 및 제2 경로 중 어느 쪽의 경로라도 적절히 물품 반송차가 교차부를 통과할 수 있는 물품 반송 설비를 제공하는 점에 있다.
이 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 물품 반송 설비에 있어서는, 주행륜을 구비하고, 주행 경로를 따라 설치된 급전선으로부터 구동용 전력이 급전되어 주행 가능한 물품 반송차와, 상기 주행 경로로서 제1 경로와 제2 경로가 구비되고, 상기 제1 경로와 상기 제2 경로가 교차하는 교차부에는, 상기 제1 경로에 의해 물품 반송차를 통과시키는 제1 전환 상태와 상기 제2 경로에 의해 상기 물품 반송차를 통과시키는 제2 전환 상태로 전환 가능한 전환 수단이 구비된 물품 반송 설비에 있어서,
상기 제1 경로에 있어서 상기 교차부에 연속하는 입구 부분 및 상기 교차부로부터 연속하는 출구 부분의 각각에는, 상기 주행륜을 안내 지지하는 제1 주행 레일이 구비되고, 상기 제2 경로에 있어서 상기 교차부에 연속하는 입구 부분 및 상기 교차부로부터 연속하는 출구 부분의 각각에는, 상기 주행륜을 안내 지지하는 제2 주행 레일이 구비되고, 상기 교차부에는, 상기 제1 주행 레일에 연속하는 제1 위치와 상기 제2 주행 레일에 연속하는 제2 위치로 위치 변경 가능한 위치 변경 레일이 구비되고, 상기 전환 수단은, 상기 위치 변경 레일을 제1 위치로 전환함으로써 상기 제1 전환 상태로 전환 가능하고, 또한 상기 위치 변경 레일을 제2 위치로 전환함으로써 상기 제2 전환 상태로 전환하도록 구성되며, 상기 급전선은, 상기 제1 주행 레일 및 제1 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일을 주행하는 상기 물품 반송차에 구동용 전력을 급전하도록 상기 제1 주행 레일에 지지되고, 또한 상기 제2 주행 레일 및 제2 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일을 주행하는 상기 물품 반송차에 구동용 전력을 급전하도록 상기 제2 주행 레일에 지지되어 있다.
이와 같은 구성에 의하면, 전환 수단이 위치 변경 레일을 제1 위치로 전환하여 제1 전환 상태로 전환하면, 제1 주행 레일과 위치 변경 레일이 연속하는 상태로 된다. 이로써, 물품 반송차는, 주행륜이 제1 주행 레일과 위치 변경 레일에 걸쳐 안내 지지되어, 제1 주행 레일과 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하고, 제1 경로에 의해 교차부를 통과할 수 있다. 이 때, 급전선은, 제1 주행 레일 및 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차에 구동용 전력을 급전하도록 제1 주행 레일에 지지되어 있으므로, 물품 반송차는, 급전선으로부터 구동용 전력의 급전을 받을 수 있어, 그 구동용 전력을 사용하여 제1 주행 레일 및 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 적절히 주행할 수 있다.
또한, 전환 수단이 위치 변경 레일을 제2 위치로 전환하여 제2 전환 상태로 전환한 경우도, 제1 전환 상태로 전환한 경우와 마찬가지로, 제2 주행 레일과 위치 변경 레일이 연속하는 상태로 되어, 물품 반송차가, 제2 주행 레일과 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하고, 제2 경로에 의해 교차부를 통과할 수 있다. 이 때, 급전선은, 제2 주행 레일 및 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차에 구동용 전력을 급전하도록 제2 주행 레일에 지지되어 있으므로, 물품 반송차는, 급전선으로부터 구동용 전력의 급전을 받을 수 있어, 그 구동용 전력을 사용하여 제2 주행 레일 및 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 적절히 주행할 수 있다.
전술한 바와 같은, 급전선은, 제1 주행 레일 및 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차, 및 제2 주행 레일 및 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차에 대하여, 구동용 전력을 급전하는 것이지만, 급전선은, 위치 변경되는 위치 변경 레일이 아니고, 제1 주행 레일 및 제2 주행 레일에 지지되어 있다. 이로써, 예를 들면, 제1 주행 레일 및 제2 주행 레일에 급전선을 고정시키는 것만으로, 급전선을 지지할 수 있어, 급전선을 지지하는 지지 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 또한, 급전선을 적절한 위치에 배선할 때, 예를 들면, 제1 경로나 제2 경로에 의해 주행하는 물품 반송차의 수전부에 대한 적절한 위치에 급전선의 위치를 조정하고, 제1 주행 레일 및 제2 주행 레일에 급전선을 고정시키는 것만으로 되므로, 물품 반송차의 수전부 등에 대한 적절한 위치에 용이하게 급전선을 배선할 수 있다. 그리고, 제1 주행 레일 및 제2 주행 레일에 급전선이 고정되어 있으므로, 물품 반송차의 수전부 등에 대한 적절한 위치로부터 급전선이 벗어나 버리는 것을 방지할 수 있어, 급전선으로부터 물품 반송차로의 구동용 전력의 급전을 적절히 행할 수 있다.
이상으로부터, 구성의 간소화를 도모하면서, 급전선으로부터 물품 반송차로의 구동용 전력의 급전을 적절히 행할 수 있어, 제1 경로 및 제2 경로 중 어느 쪽의 경로라도 적절히 물품 반송차가 교차부를 통과할 수 있는 물품 반송 설비를 실현할 수 있기에 이르렀다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비의 실시형태에서, 상기 급전선은, 평면에서 볼 때, 상기 제1 주행 레일측으로부터 제1 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일의 단부를 넘어 상기 위치 변경 레일 내로 연장 설치되는 상태로 상기 제1 주행 레일에 지지되어, 제1 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차에 구동용 전력을 급전 가능하고, 또한 상기 제2 주행 레일측으로부터 제2 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일의 단부를 넘어 상기 위치 변경 레일 내로 연장 설치되는 상태로 상기 제2 주행 레일에 지지되어, 제2 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차에 구동용 전력을 급전 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 급전선은, 평면에서 볼 때, 제1 주행 레일측으로부터 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일 내로 연장 설치되는 상태로 제1 주행 레일에 지지되어 있으므로, 제1 주행 레일에 의해 급전선을 지지할 수 있으면서, 그 급전선 중, 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일 내로 연장 설치되는 부위를, 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차의 수전부 등에 대하여 급전 가능해지는 적절한 위치에 존재시킬 수 있어, 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차에 구동용 전력을 급전할 수 있다. 또한, 급전선은, 평면에서 볼 때, 제2 주행 레일측으로부터 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일 내로 연장 설치되는 상태로 제2 주행 레일에 지지되어 있으므로, 제2 주행 레일에 의해 급전선을 지지할 수 있으면서, 그 급전선 중, 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일 내로 연장 설치되는 부위를, 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차의 수전부 등에 대하여 급전 가능해지는 적절한 위치에 존재시킬 수 있어, 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차에 구동용 전력을 급전할 수 있다. 따라서, 제1 주행 레일 및 제2 주행 레일에 의해 급전선을 지지하면서, 제1 위치라도 제2 위치라도 그 양 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차에 대하여, 구동용 전력의 급전을 적절히 행할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 물품 반송차에는, 상기 주행륜이 상기 물품 반송차의 가로 폭 방향으로 간격을 두고 좌우 한쌍 구비되고, 상기 제1 주행 레일, 상기 제2 주행 레일 및 상기 위치 변경 레일은, 좌우 한쌍의 상기 주행륜의 각각을 안내 지지하도록 좌우 한쌍 구비되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 제1 주행 레일, 제2 주행 레일 및 위치 변경 레일의 각각에 의해, 좌우 한쌍의 주행륜의 각각을 안내 지지하면서, 물품 반송차를 주행시킬 수 있다. 따라서, 물품 반송차는, 제1 경로에 의해 교차부를 통과할 때도, 제2 경로에 의해 교차부를 통과할 때도, 좌우 한쌍의 주행륜의 양쪽이 적절히 안내 지지되어, 안정된 주행을 행할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 급전선은, 좌우 한쌍의 상기 제1 주행 레일 및 좌우 한쌍의 상기 제2 주행 레일의 각각에 지지되는 상태로, 상기 물품 반송차의 가로 폭 방향으로 간격을 두고 좌우 한쌍 구비되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 급전선으로서, 좌우 한쌍의 급전선이 구비되어 있고, 그 좌우 한쌍의 급전선에 의해 물품 반송차로의 구동용 전력의 급전을 행할 수 있으므로, 예를 들면, 1개의 급전선에 의해 구동용 전력의 급전을 행하는 것보다, 원하는 전력량의 구동용 전력을 물품 반송차에 정확하게 급전하기 용이해진다. 그리고, 좌우 한쌍의 주행륜을 안내 지지된 좌우 한쌍의 제1 주행 레일 및 좌우 한쌍의 제2 주행 레일을 사용함으로써, 좌우 한쌍의 급전선을, 물품 반송차의 가로 폭 방향으로 간격을 두도록, 간단하고 용이하게 또한 적절히 배선시킬 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비 실시형태에 있어서는, 좌우 한쌍의 상기 제1 주행 레일과 좌우 한쌍의 상기 제2 주행 레일은, 서로 인접하는 상기 제1 주행 레일과 상기 제2 주행 레일이 직교하도록 설치되고, 상기 급전선은, 상기 제1 주행 레일측으로부터 제1 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일측으로 연장된 후 절곡되어 제2 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일측으로부터 상기 제2 주행 레일측으로 연장되는 절곡 부위를 4개소 구비하여 구성되며, 직교하는 상기 제1 주행 레일과 상기 제2 주행 레일의 각각에는, 상기 제1 주행 레일과 상기 제2 주행 레일에 걸쳐 설치되어 상기 급전선의 각 절곡 부위를 지지하는 전체적으로 직각으로 절곡된 급전선용 지지체가 구비되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 4개소의 절곡 부위의 각각이, 제1 주행 레일측으로부터 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일측으로 연장된 후, 절곡되어 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일측으로부터 제2 주행 레일측으로 연장되도록 배선된다. 이로써, 절곡 부위에 있어서 제1 주행 레일측으로부터 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일측으로 연장된 부분에서, 제1 주행 레일 및 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차에 대하여 구동용 전력의 급전을 행할 수 있는 동시에, 절곡 부위에 있어서 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일측으로부터 제2 주행 레일측으로 연장되는 부분에서, 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일 및 제2 주행 레일을 주행하는 물품 반송차에 대하여 구동용 전력의 급전을 행할 수 있다. 이와 같이 하여, 1개의 절곡 부위에 의해, 제1 경로에 의해 교차부를 통과하는 물품 반송차에 대하여 구동용 전력을 급전하기 위한 급전선의 일부와 제2 경로에 의해 교차부를 통과하는 물품 반송차에 대하여 구동용 전력을 급전하기 위한 급전선의 일부를 겸용할 수 있다. 그리고, 직교하는 제1 주행 레일과 제2 주행 레일의 각각에는, 전체적으로 직각으로 절곡된 급전선용 지지체가 구비되어 있고, 그 급전선용 지지체에 의해 각 절곡 부위를 지지할 수 있다. 이로써, 1개의 절곡 부위를 지지하기 위해, 1개의 급전선용 지지체를 구비하는 것만으로 되므로, 급전선을 지지하기 위한 지지 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 또한, 직교하는 제1 주행 레일과 제2 주행 레일의 각각에 대하여 1개씩 배선시키는 상태로 4개소의 절곡 부위를 양호한 밸런스로 배선할 수 있어, 그 양호한 밸런스로 배선된 각 절곡 부위에 의해, 제1 경로에 의해 교차부를 통과하는 물품 반송차라도, 제2 경로에 의해 교차부를 통과하는 물품 반송차라도, 그 양쪽에 양호한 밸런스로 적절히 구동용 전력을 급전할 수 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 물품 반송차에는, 상기 주행륜이 상기 물품 반송차의 전후 방향으로 간격을 두고 전후 한쌍 구비되고, 상기 위치 변경 레일은, 상기 물품 반송차의 주행 방향에서의 길이가, 전후 한쌍의 상기 주행륜의 간격보다 짧아지도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성에 의하면, 물품 반송차의 주행 방향에서의 위치 변경 레일의 길이는, 전후 한쌍의 주행륜의 간격보다 짧아지도록 구성되어 있으므로, 물품 반송차가 교차부를 통과할 때, 위치 변경 레일에 의해, 전후 한쌍의 주행륜의 양쪽을 동시에 안내 지지하는 것이 아니고, 전후 한쌍의 주행륜의 한쪽만을 위치 변경 레일에 의해 안내 지지하는 동시에, 다른 쪽을 제1 주행 레일 또는 제2 주행 레일에 의해 안내 지지할 수 있다. 따라서, 위치 변경 레일은, 제1 주행 레일이나 제2 주행 레일과 비교하여, 강한 강도가 요구되지 않아, 경량화나 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 따라서, 위치 변경 레일을 제1 위치와 제2 위치로 위치 변경시키기 위한 지지 구성 등에 대하여도, 간단한 구성을 채용할 수 있다.
도 1은 물품 반송 설비의 전체 평면도이다.
도 2는 물품 반송 설비의 일부의 측면도이다.
도 3은 주행 방향을 따른 방향에서의 물품 반송차의 단면도이다.
도 4는 교차부의 전체 개략을 나타낸 사시도이다.
도 5는 교차부의 전체 개략을 나타낸 평면도이다.
도 6은 제1 전환 상태로 전환했을 때의 교차부의 평면도이다.
도 7은 제2 전환 상태로 전환했을 때의 교차부의 평면도이다.
도 8은 도 5에서의 VIII―VIII 단면도이다.
도 9는 도 5에서의 IX―IX 단면도이다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.
이 물품 반송 설비는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 복수의 물품 처리부(1)를 경유하는 상태로 주행 레일(2)이 천정측에 설치되어 주행 경로 S가 형성되어 있고, 주행 경로 S를 따라 일방향으로 이동 가능한 천정 반송식의 물품 반송차(3)가 복수 설치되어 있다. 이 물품 반송 설비에서는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 반도체 기판이나 레티클(reticle) 등의 반송물을 수납한 용기를 물품(4)으로서, 물품 반송차(3)가 복수의 물품 처리부(1)의 사이에서 물품(4)을 반송하도록 구성되어 있다. 주행 레일(2)은, 주행 레일용 브래킷(5)에 의해 천정부에 고정 상태로 설치되어 있다.
물품 반송차(3)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품(4)을 현수(縣垂)한 상태로 파지(把持)하는 파지부(6)를 승강 가능하게 구비하고 있다. 파지부(6)는, 물품 반송차(3)가 정지한 상태에 있어서, 와이어(7)를 권취 또는 송출함으로써, 물품 반송차(3)에 근접시키는 상승 위치와 물품 반송차(3)보다 하방측에 설치된 물품 이송탑재용 스테이션(8)과의 사이에서 물품 이송탑재(transfer)를 행하는 하강 위치로 승강 가능하게 설치되어 있다. 와이어(7) 대신에, 예를 들면, 벨트를 이용하는 것도 가능하다.
또한, 도 2에서는, 파지부(6)가 상승 위치로부터 하강 위치로 하강하는 경우와, 파지부(6)를 하강 위치로부터 상승 위치로 상승시키는 경우를 나타내고 있다.
스테이션(8)은, 물품(4)을 탑재 지지하는 탑재대에 의해 구성되어 있다. 그리고, 스테이션(8)은, 물품 처리부(1)에 의해 소정의 처리를 행하는 물품(4)을 물품 반송차(3)로부터 수취하거나 또는 물품 처리부(1)에 의해 소정의 처리를 행한 물품(4)을 물품 반송차(3)에 건네기 위한 것이며, 복수의 물품 처리부(1)의 각각에 대응하여 배치되어 있다.
물품 반송차(3)는, 파지부(6)를 상승 위치에 위치시킨 상태에서 주행 레일(2)을 따라 이동하고, 복수의 스테이션(8) 중, 이송탑재 대상의 스테이션(8)에 대응하는 정지 위치에 정지한 상태로 상승 위치와 하강 위치와의 사이에서 파지부(6)를 승강시킴으로써, 스테이션(8)과의 사이에서 물품(4)의 수수(授受)(즉, 받아건넴)를 행하도록 구성되어 있다.
물품 반송차(3)는, 주행 레일(2) 상을 주행하는 주행 구동부(9)와, 주행 레일(2)의 아래쪽에 위치하도록 주행 구동부(9)에 현수 지지된 물품 지지부(10)를 구비하여 구성되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 주행 레일(2)은, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 간격을 두고 좌우 한쌍 형성되어 있고, 주행 구동부(9)에는, 구동 모터(11)에 의해 회전 구동되어 좌우 한쌍의 주행 레일(2) 각각의 수평으로 연장되는 상면(上面)을 전동(轉動)하는 주행륜(12)과, 좌우 한쌍의 주행 레일(2) 각각의 대향하는 상하 방향으로 연장되는 측면과 맞닿은 회전 가능한 주행 안내륜(13)이 설치되어 있다. 그리고, 주행륜(12)이 구동 모터(11)에 의해 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향을 따른 축심 주위에서 회전 구동하고, 상하 축심 주위에서 회전 가능한 주행 안내륜(13)이 좌우 한쌍의 주행 레일(2)에 의해 접촉 안내되는 것에 의해, 물품 반송차(3)가 주행 레일(2)에 안내되어 주행하도록 구성되어 있다.
여기서, 도 5에 나타낸 바와 같이, 주행륜(12)은, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향의 양 단부에 좌우 한쌍 설치되어 있고, 그 좌우 한쌍의 주행륜(12)이, 물품 반송차(3)의 전후 방향으로 간격을 두고 2개 형성되어 있고, 합계 4개의 주행륜(12)이 설치되어 있다. 주행 안내륜(13)은, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향의 양 단부에 2개씩 형성되어 있고, 이들 2개씩의 주행 안내륜(13)이, 물품 반송차(3)의 전후 방향으로 간격을 두고 2개 형성되어 있고, 합계 8개의 주행 안내륜(13)이 설치되어 있다.
도 3을 재차 참조하면, 물품 지지부(10)에는, 와이어(7)를 권취하여 승강용 모터(14)에 의해 회전 구동되는 회전 드럼(15)과, 와이어(7)에 의해 현수 지지된 파지부(6)가 설치되어 있다. 파지부(6)는, 물품(4)을 파지하는 파지 자세와 파지를 해제하는 파지 해제 자세로 파지용 모터(16)에 의해 전환 조작 가능한 파지구(17)를 구비하고 있다. 그리고, 승강용 모터(14)에 의해 회전 드럼(15)을 회전 구동시킴으로써, 파지부(6) 및 그에 의해 파지된 물품(4)이 승강 이동하고, 파지용 모터(16)에 의해 파지구(17)를 전환 조작함으로써 물품(4)을 파지하거나 또는 물품(4)에 대한 파지를 해제하도록 구성되어 있다.
물품 반송차(3)에는, 물품 반송차(3)의 전후 방향 및 가로 폭 방향의 중앙부에 수전 코일(18)이 설치되어 있고, 이 수전 코일(18)에 의해 급전선(19)으로부터의 구동용 전력의 급전을 받도록 구성되어 있다. 수전 코일(18)은, 물품 반송차(3)의 전후 방향에 따른 방향에서의 단면(斷面) 형상이, 수평으로 연장되는 상측 부분과, 이 상측 부분에 대하여 아래쪽에 위치하고 수평으로 연장되는 하측 부분과, 이들 상측 부분과 하측 부분의 각각의 중앙부를 연결하는 상하 방향으로 연장되는 부분을 가지는 형상으로 형성되어 있다. 급전선(19)은, 주행 레일(2)에 지지되는 상태로 좌우 한쌍 구비되어 있고, 좌우 한쌍의 급전선(19)이, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 간격을 둔 상태로 좌우 한쌍의 주행 레일(2)의 사이에 위치하도록 배선되어 있다. 그리고, 급전선(19)에 교류 전류를 통전함으로써 자계를 발생시키고, 이 자계에 의해 구동용 전력을 수전 코일(18)에 발생시켜, 무접촉 상태로 물품 반송차(3)로의 구동용 전력의 급전을 행하도록 구성되어 있다. 급전선(19)으로부터 수전 코일(18)에 구동용 전력을 급전함으로써, 물품 반송차(3)가 그 구동용 전력에 의해 주행 구동부(9)의 주행 및 파지부(6)의 승강 등을 행하게 되어 있다. 그리고, 급전선(19)으로부터 수전 코일(18)로의 급전을 적절하게 행하기 위해, 수전 코일(18)의 급전 가능 영역[수전 코일(18)에 있어서 상측 부분과 하측 부분에서 상하에 끼워넣어진 영역) 내에 급전선(19)을 위치시키도록, 급전선(19)의 설치 위치가 조정된 상태로 주행 레일(2)에 지지되어 있다.
이 물품 반송 설비에서는, 물품 반송차(3)가 주행하는 주행 경로 S는 주행 레일(2)에 의해 형성되어 있지만, 도 1에 나타낸 바와 같이, 주행 경로 S로서, 환형(環形)의 주경로(主經路)(20)와, 환형의 부경로(副經路)(21)와, 주경로(20)와 부경로(21)를 연결하여 물품 반송차(3)의 주경로(20)로부터 부경로(21)로의 분기 주행 및 부경로(21)로부터 주경로(20)로의 합류 주행을 가능하게 하는 연결 경로가 설치되어 있다.
주경로(20)는, 대향하여 배치된 한쌍의 직선 부분과 한쌍의 직선 부분의 각각의 종단부(終端部)와 시단부(始端部)를 연결하는 한쌍의 곡선 부분을 구비한 환형의 경로로서 구성되어 있다. 부경로(21)는, 주경로(20)의 외측에 있어서 주경로(20)에서의 물품 반송차(3)의 주행 방향으로 배열된 상태로 복수(도 1에서는 예를 들면, 3개) 형성되어 있고, 주경로(20)의 외측에 있어서 주경로(20)의 한쪽과 다른 쪽과의 양측에 설치되어 있다. 부경로(21)는, 주경로(20)에 대하여 한쪽에 설치된 부경로(21)와 주경로(20)에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로(21)가 주경로(20)를 사이에 두고 대향하는 위치에 설치되어 있다.
부경로(21)의 각각은, 복수의 스테이션(8)을 경유하는 상태로 주경로(20)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 직선 부분과 주경로(20)에 접근하는 방향으로 연장되는 직선 부분을 대향하는 위치에 배치하고 있다. 그리고, 부경로(21)의 각각은, 한쌍의 직선 부분과 한쌍의 직선 부분의 각각에서의 종단부와 시단부를 연결하는 한쌍의 곡선 부분을 구비한 환형으로 형성되어 있다. 부경로(21)의 경로 도중에는, 복수의 스테이션(8)의 각각과 물품 반송차(3)와의 사이에서 물품(4)을 이송탑재하기 위한 목표 정지 위치가 설정되어 있고, 물품 반송차(3)는, 그 목표 정지 위치에 정지한 상태에서 파지부(6)를 승강시켜 스테이션(8)과의 사이에서 물품(4)을 이송탑재하고 있다.
주경로(20)와 부경로(21)를 연결하는 연결 경로는, 복수의 부경로(21)의 각각에 대하여 설치되어 있고, 연결 경로는, 주경로(20)의 직선 부분으로부터 분기하여 주경로(20)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 부경로(21)의 직선 부분에 접속된 분기 경로와, 주경로(20)에 접근하는 방향으로 연장되는 부경로(21)의 직선 부분의 종단부로부터 주경로(20)에 합류하는 합류 경로로 구성되어 있다. 그리고, 주경로(20)에 있어서 분기 경로의 분기 개소(箇所)가 합류 경로의 합류 개소보다 물품 반송차(3)의 주행 방향의 상류측으로 되어 있다. 물품 반송차(3)가 주경로(20)로부터 부경로(21)로 분기 주행할 때, 주경로(20)에서의 주행 방향인 채 계속하여 부경로(21)를 따라 주행하게 되어 있다. 또한, 물품 반송차(3)가 부경로(21)로부터 주경로(20)로 합류 주행할 때, 부경로(21)에서의 주행 방향인 채 계속하여 주경로(20)를 따라 주행하게 되어 있다.
이 물품 반송 설비에서는, 물품 반송차(3)가, 주경로(20)를 주행하지 않고, 주경로(20)의 한쪽에 설치된 부경로(21)으로 다른 쪽에 설치된 부경로(21)와의 사이에서 주행 가능하도록, 주경로(20)의 한쪽에 설치된 부경로(21)으로 다른 쪽에 설치된 부경로(21)를 연결하는 부경로 간 연결 경로(22)가 연결 경로와는 별도로 설치되어 있다.
부경로 간 연결 경로(22)는, 그 일단부가 주경로(20)에 대하여 한쪽에 설치된 부경로(21)에 접속되고, 그 타단부가 주경로(20)에 대하여 다른 쪽에 설치된 부경로(21)에 접속되고, 그 도중 부분이 주경로(20)를 횡단하고 있다. 부경로 간 연결 경로(22)는, 주경로(20)를 사이에 두고 대향하는 위치에 설치된 부경로(21)끼리를 연결하는 직선형의 경로에 의해 구성되어 있다.
동일한 부경로(21)끼리를 연결하는 부경로 간 연결 경로(22)가 2개 설치되어 있다. 이로써, 2개의 부경로 간 연결 경로(22) 중 하나를, 주경로(20)에 대하여 한쪽(예를 들면, 도 1 중 좌측)의 부경로(21)로부터 다른 쪽(예를 들면, 도 1 중 우측)의 부경로(21)에 물품 반송차(3)를 주행시키기 위한 경로로 하고 있고, 또한 하나를 주경로(20)에 대하여 다른 쪽(예를 들면, 도 1 중 우측)의 부경로(21)로부터 한쪽(예를 들면, 도 1 중 좌측)의 부경로(21)에 물품 반송차(3)를 주행시키기 위한 경로로 하고 있다. 동일한 부경로(21)끼리를 연결하는 2개의 부경로 간 연결 경로(22)의 각각은, 시단측이 한쪽의 부경로(21)에 있어서 주경로(20)에 접근하는 방향으로 연장되는 직선 부분의 종단부에 접속되어 있고, 종단측이 다른 쪽의 부경로(21)에 있어서 주경로(20)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 직선 부분의 시단부에 접속되어 있다. 이로써, 도 1 중 화살표로 나타낸 바와 같이, 부경로 간 연결 경로(22)에 따라 한쪽의 부경로(21)로부터 다른 쪽의 부경로(21)로 물품 반송차(3)가 주행할 때, 한쪽의 부경로(21)에서의 주행 방향, 부경로 간 연결 경로(22)에서의 주행 방향, 및 다른 쪽의 부경로(21)에서의 주행 방향의 모든 것이 동일 방향으로 되어 있고, 부경로 간 연결 경로(22)에 따라 한쪽의 부경로(21)로부터 다른 쪽의 부경로(21)로 원활하게 주행할 수 있다.
부경로 간 연결 경로(22)는, 주경로(20)의 한쌍의 직선 부분의 각각과 직교하는 상태로 횡단하도록 형성되어 있고, 부경로 간 연결 경로(22)와 주경로(20)의 직선 부분과의 접속 개소가 교차부 K로 되어 있다.
복수의 물품 반송차(3)의 주행에 대해서는, 주행 경로 S의 전체에 걸쳐 복수의 물품 반송차(3)의 운행을 관리하는 설비 관리용 컴퓨터가 형성되어 있고, 물품 반송차(3)에는, 설비 관리용 컴퓨터로부터의 운행 지령 정보에 기초하여, 물품 반송차(3)의 작동을 제어하는 대차(臺車; carriage) 측 제어부가 설치되어 있다. 본 명세서에서의 컴퓨터 등의 제어부나 이하에 기재되는 운행 관리부 등은, 종래 기술에 속하는 것이며, CPU, 메모리, 통신 유닛 등을 가지고, 본 명세서에 기재되는 기능을 실행하기 위한 알고리즘이 메모리에 기억되어 있다.
도시는 생략하지만, 물품 반송차(3)에는, 주행 레일(2)의 측부(side) 등에 설치되어 각각의 스테이션(8)에 대응하는 목표 정지 위치를 나타내는 정지판을 검출하는 정지판 검출 센서, 주행 레일(2)의 측부 등에 설치된 주행 경로 S의 기준점으로부터의 위치(거리)를 나타내는 절대 위치판을 검출하는 절대 위치판 검출 센서, 물품 반송차(3)의 주행 거리를 검출하는 주행 거리 센서 등의 각종 센서가 설치되어 있다. 대차측 제어부는, 절대 위치판 검출 센서의 검출 정보, 및 절대 위치 검출판 검출 센서를 검출하고 나서의 주행 거리 센서의 검출 정보에 기초하여, 물품 반송차(3)의 현재 위치가 주행 경로 S 상의 어느 위치인지를 파악하고 있고, 그 현재 위치 정보와 복수의 물품 반송차(3) 중 어느 물품 반송차인지를 식별 가능한 대차 넘버 등의 대차 식별 정보를 무선 통신 등에 의해 설비 관리용 컴퓨터에 송신하고 있다.
설비 관리용 컴퓨터는, 각각의 대차측 제어부로부터의 현재 위치 정보와 대차 식별 정보로부터, 복수의 물품 반송차(3)의 각각의 현재 위치를 관리하면서, 복수의 물품 반송차(3)의 운행을 관리하고 있다. 설비 관리용 컴퓨터는, 복수의 물품 반송차(3) 중 1대의 반송 대상의 물품 반송차(3)를 선택하고, 그 선택한 물품 반송차(3)에 대하여, 복수의 스테이션(8) 중에서 반송원(搬送元) 및 반송선(搬送先)의 스테이션(8)을 지정한 상태에서 반송원의 스테이션(8)으로부터 반송선의 스테이션(8)으로 물품(4)을 반송하는 반송 지령을 운행 지령 정보로서 지령하도록 구성되어 있다. 또한, 설비 관리용 컴퓨터는, 반송원으로부터 반송선에 물품 반송차(3)를 주행시킬 때는, 예를 들면, 복수의 경로로부터 주행 거리가 가장 짧은 최단 경로를 선택해 두고, 그 선택한 최단 경로에 의해 물품 반송차(3)를 주행시키기 위한 운행 지령 정보를 지령하도록 구성되어 있다.
이로써, 반송 지령을 받은 물품 반송차(3)의 대차측 제어부는, 각종 센서의 검출 정보에 기초하여, 지정된 반송원의 스테이션(8)까지 주행하기 위해, 물품 반송차(3)의 주행을 제어하고, 파지부(6)의 승강 작동이나 파지부(6)의 전환 작동을 제어함으로써, 반송원의 스테이션(8)으로부터 물품(4)을 수취한다. 그 후, 대차측 제어부는, 각종 센서의 검출 정보에 기초하여, 지정된 반송원의 스테이션(8)까지 주행하기 위해, 물품 반송차(3)의 주행을 제어하고, 반송선의 스테이션(8)에 물품(4)을 건넨다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 주경로(20)의 직선 부분과 부경로 간 연결 경로(22)가 직교하여 교차하는 교차부 K(예를 들면, 도면 중 점선으로 둘러싼 부분)나, 어떤 경로와 다른 경로가 합류하는 합류부 등이 복수 형성되어 있고, 이 교차부 K나 합류부 등에서는, 물품 반송차(3)끼리의 충돌이 발생할 가능성이 있다. 그래서, 전술한 바와 같은, 주행 경로 S 상에서의 물품 반송차(3)의 운행에 대해서는, 기본적으로, 설비 관리용 컴퓨터가 관리하고 있지만, 교차부 K나 합류부 등에서는, 물품 반송차(3)끼리의 충돌을 방지하면서, 물품 반송차(3)를 주행시키도록 물품 반송차(3)의 운행을 관리하는 운행 관리부가, 설비 관리용 컴퓨터와는 별도로 설치되어 있다.
예를 들면, 물품 반송차(3)의 대차측 제어부는, 교차부 K나 합류부에 진입할 때, 그 바로 앞에서 운행 관리부에 대하여 진입을 허가할 것인지 여부의 문의를 행하고, 진입이 허가되었을 때만 교차부 K나 합류부에 진입하도록, 물품 반송차(3)의 주행을 제어하고 있다. 한편, 운행 관리부는, 대차측 제어부로부터 진입을 허가할 것인지 여부의 문의가 있으면, 교차부 K나 합류부에 있어서는 물품 반송차(3)의 1대만 진입을 허가하도록, 대차측 제어부에 대하여 운행 지령 정보를 지령한다.
〔교차부〕
전술한 바와 같은, 주경로(20)의 직선 부분과 부경로 간 연결 경로(22)와의 접속 개소가 교차부 K로 되어 있고, 이 교차부 K는, 주경로(20)(제1 경로에 상당함)으로 부경로 간 연결 경로(22)(제2 경로에 상당함)가 직교하여 교차하도록 구성되어 있다. 그리고, 본 발명에 관한 물품 반송 설비는, 이와 같은 교차부 K를 구비한 설비에 있어서, 구성의 간소화를 도모하면서, 급전선(19)으로부터 물품 반송차(3)로의 구동용 전력의 급전을 적절히 행함으로써, 물품 반송차(3)가 교차부 K에서의 주경로(20) 및 부경로 간 연결 경로(22)의 양쪽에서의 주행을 적절히 행할 수 있도록 구성되어 있다.
이하, 주경로(20)를 제1 경로라고 하고, 부경로 간 연결 경로(22)를 제2 경로라고 하여, 본 발명에 관한 물품 반송 설비에 대하여, 도 4 ~ 도 9에 기초하여 설명을 추가한다.
여기서, 도 4는 교차부 K의 전체 개략을 나타낸 사시도이며, 도 5는 교차부 K의 전체 개략을 나타낸 평면도이다. 그리고, 도 6은 주경로(20)에서 물품 반송차(3)를 통과시킬 때 상태를 나타낸 평면도이며, 도 7은 부경로 간 연결 경로(22)에서 물품 반송차(3)를 통과시킬 때 상태를 나타낸 평면도이다. 또한, 도 8은 도 5에서의 VIII―VIII 단면도이며, 도 9는 도 5에서의 IX―IX 단면도이다.
도 4 ~ 도 7에 나타낸 바와 같이, 주경로(20)에 있어서 교차부 K에 연속하는 주경로용 입구 부분(23) 및 교차부 K로부터 연속하는 주경로용 출구 부분(24), 및 부경로 간 연결 경로(22)에 있어서 교차부 K에 연속하는 부경로용 입구 부분(25) 및 교차부 K로부터 연속하는 부경로용 출구 부분(26)의 각각에는, 물품 반송차(3)에 구비된 주행륜(12)을 안내 지지하는 주행 레일(2)이 구비되어 있다. 도 5 ~ 도 7에서는, 주경로(20)를 도면 중 상하 방향을 따르는 경로로서 나타내고, 주경로(20)에서의 물품 반송차(3)의 주행 방향을 하방측으로부터 상방측을 향하는 방향으로 하고 있다. 그리고, 도 5 ~ 도 7에서는, 부경로 간 연결 경로(22)를 도면 중 좌우 방향을 따르는 경로로서 나타내고, 부경로 간 연결 경로(22)에서의 물품 반송차(3)의 주행 방향을 우측으로부터 좌측을 향하는 방향으로 하고 있다. 그리고, 주경로용 입구 부분(23) 및 부경로용 입구 부분(25)이 입구 부분에 상당하고, 주경로용 출구 부분(24) 및 부경로용 출구 부분(26)이 출구 부분에 상당한다.
주행 레일(2)에 대해서는, 주경로용 입구 부분(23) 및 주경로용 출구 부분(24)에 설치된 것을 주주행(主走行) 레일(2a)(제1 주행 레일에 상당함)이라 하고, 부경로용 입구 부분(25) 및 부경로용 출구 부분(26)에 설치된 것을 부주행(副走行) 레일(2b)(제2 주행 레일에 상당함)이라 하고 있다.
전술한 바와 같은, 주경로용 입구 부분(23) 및 주경로용 출구 부분(24)에는, 주주행 레일(2a)이 설치되고, 부경로용 입구 부분(25) 및 부경로용 출구 부분(26)에는, 부주행 레일(2b)이 설치되어 있지만, 교차부 K에는, 주주행 레일(2a) 또는 부주행 레일(2b)에 연속하는 위치 변경 레일(27)이 설치되어 있다. 이 위치 변경 레일(27)은, 주주행 레일(2a)에 연속하는 제1 위치(도 6 참조)와 부주행 레일(2b)에 연속하는 제2 위치(도 7 참조)에 상하 축심 주위에서 회전 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 위치 변경 레일(27)은, 주행 레일(2)과 마찬가지로, 도 9에 나타낸 바와 같이, 수평으로 연장되는 상면에서 주행륜(12)을 안내 지지하고, 또한 상하 방향으로 연장되는 측면에서 주행 안내륜(13)을 안내하도록 구성되어 있다.
이와 같이 하여, 본 발명에 관한 물품 반송 설비에서는, 물품 반송차(3)에 구비된 주행륜(12)을 안내 지지하기 위해, 주주행 레일(2a), 부주행 레일(2b), 위치 변경 레일(27)의 각각이 구비되어 있지만, 도 5에 나타낸 바와 같이, 주행륜(12)은, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 간격을 두고 좌우 한쌍 형성되어 있으므로, 그 좌우 한쌍의 주행륜(12)의 각각을 안내 지지하도록, 주주행 레일(2a), 부주행 레일(2b), 및 위치 변경 레일(27)의 각각도, 좌우 한쌍 설치되어 있다. 즉, 주경로용 입구 부분(23) 및 주경로용 출구 부분(24)에는, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 간격을 두고 좌우 한쌍의 주주행 레일(2a)이 형성되어 있고, 부경로용 입구 부분(25) 및 부경로용 출구 부분(26)에는, 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향으로 간격을 두고 좌우 한쌍의 부주행 레일(2b)이 설치되어 있다. 위치 변경 레일(27)도, 좌우 한쌍 형성되어 있고, 위치 변경 레일(27)이 제1 위치에 위치할 때는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 좌우 한쌍의 위치 변경 레일(27)의 각각이 좌우 한쌍의 주주행 레일(2a)의 각각에 연속되고, 위치 변경 레일(27)이 제2 위치에 위치할 때는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 좌우 한쌍의 위치 변경 레일(27)의 각각이 좌우 한쌍의 부주행 레일(2b)에 연속되도록 되어 있다.
위치 변경 레일(27)은, 평면에서 볼 때 원호형으로 형성되어 있고, 주주행 레일(2a) 및 부주행 레일(2b)은, 평면에서 볼 때 직선형으로 형성되어 있다. 그리고, 주주행 레일(2a) 및 부주행 레일(2b)에 있어서 교차부 K측의 단부에는, 위치 변경 레일(27)의 상하 축심 주위에서의 회전을 허용하면서, 주주행 레일(2a)과 위치 변경 레일(27)과의 사이의 간극을 최대한 작게 하기 위해, 위치 변경 레일(27)의 형상에 대응하는 원호형의 절결부(切缺部)가 형성되어 있다.
교차부 K에는, 도 4 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 복수의 현수구(懸垂具)(28)에 의해 천정에 현수 지지된 레일 지지체(29)가 설치되어 있고, 주주행 레일(2a) 및 부주행 레일(2b)이, 레일 지지체(29)에 고정되어 있다. 레일 지지체(29)는, 현수구(28)가 장착되는 판형의 상측 부위(29a)와, 그 상측 부위(29a)의 4 코너의 각각으로부터 하방측으로 연장되는 기둥형의 4개소의 하방측 연장 부위(29b)와, 이들 4개소의 하방측 연장 부위(29b)의 각각의 하단부로부터 수평 방향으로 연장되어 주주행 레일(2a)나 부주행 레일(2b)을 고정시키는 수평 연장 부위(29c)로 구성되어 있다. 수평 연장 부위(29c)는, 하방측 연장 부위(29b)의 하단에 대하여, 복수의 볼트나 다른 종래의 고정구에 의해 고정되어 있다. 그리고, 주주행 레일(2a) 및 부주행 레일(2b)은, 하방측 연장 부위(29b)끼리의 사이의 공간을 통해 레일 지지체(29)의 외부측으로부터 내부측으로 연장되도록 설치되어 있고, 좌우 한쌍의 주주행 레일(2a)과 좌우 한쌍의 부주행 레일(2b)이 직교하도록 설치되어 있다.
레일 지지체(29)는, 도 9에 나타낸 바와 같이, 회전 지지체(30)를 상하 축심 P 주위에서 회전 가능하게 지지하고 있고, 좌우 한쌍의 위치 변경 레일(27)이 회전 지지체(30)에 고정되어 있다. 회전 지지체(30)는, 좌우 한쌍의 위치 변경 레일(27)의 각각으로부터 상방측으로 연장되는 2개의 상방측 연장 부위(30a)와, 2개의 상방측 연장 부위(30a)의 상단부끼리를 연결하는 연결 부위(30b)로 구성되어 있다. 그리고, 연결 부위(30b)의 중앙부가 레일 지지체(29)의 상측 부위(29a)를 상하 방향으로 관통하고 있고, 회전 지지체(30)가, 연결 부위(30b)의 중앙부를 회전 축심 P로 하고, 그 회전 축심 P 주위에서 레일 지지체(29)에 대하여 회전 가능하게 설치되어 있다. 또한, 상방측 연장 부위(30a)의 각각에는, 잘못하여 물품 반송차(3)가 교차부 K에 진입해도, 그 물품 반송차(3)의 진입을 정지시키기 위한 스토퍼(33)(예를 들면, 수지제의 스토퍼)가 구비되어 있다.
레일 지지체(29)의 상측 부위(29a)의 상부에는, 액추에이터로서 기능하는 전동 또는 유압 실린더(31)와, 그 실린더(31)의 신축 작동과 회전 지지체(30)의 회전을 연계시키는 링크 기구(機構)(32)가 설치되어 있다. 즉, 도 6에서는, 실린더(31)가 수축 작동함으로써 링크 기구(32)에 의해 회전 지지체(30)를 회전 축심 P 주위에서 회전시켜, 위치 변경 레일(27)을 주주행 레일(2a)에 연속하는 제1 위치에 위치하게 하고 있다. 또한, 도 7에서는, 실린더(31)가 신장 작동함으로써 링크 기구(32)에 의해 회전 지지체(30)를 회전 축심 P 주위에서 회전시켜, 위치 변경 레일(27)을 부주행 레일(2b)에 연속하는 제2 위치에 위치하게 하고 있다.
이와 같이, 본 발명에 관한 물품 반송 설비에서는, 실린더(31), 링크 기구(32), 회전 지지체(30) 등에 의해, 위치 변경 레일(27)을 제1 위치로 전환하여 주경로(20)에서 물품 반송차(3)를 통과시키는 제1 전환 상태와, 위치 변경 레일(27)을 제2 위치로 전환하여 부경로 간 연결 경로(22)에서 물품 반송차(3)를 통과시키는 제2 전환 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다. 이로써, 전환 수단은, 실린더(31), 링크 기구(32), 회전 지지체(30) 등으로 구성되어 있다. 그리고, 전환 수단은, 교차부 K를 주경로(20)에서 물품 반송차(3)를 통과시킬 때는, 제1 전환 상태로 전환하고, 또한 교차부 K를 부경로 간 연결 경로(22)에서 물품 반송차(3)를 통과시킬 때는, 제2 전환 상태로 전환하도록 구성되어 있다. 전환 수단으로서, 회전 지지체(30)를 회전 축심 P 주위에서 회전시키기 위한 종래 기술에 속하는 다른 기구를 이용할 수 있다. 예를 들면, 축심 P를 형성하는 상하 방향의 축의 외측에 기어 톱니를 설치하고, 이 기어 톱니와 걸어맞추어지는 기어와 연결된 전동 모터를 가지는 구성을 이용할 수 있다. 다른 일례로서, 축심 P를 형성하는 상하 방향의 축에 풀리를 고정하고, 전동 모터에 의해 구동되는 다른 풀리를 설치하고, 이들 2개의 풀리를 벨트 또는 타이밍 벨트로 연동시키는 구성을 이용할 수 있다.
물품 반송차(3)가 교차부 K를 통과할 때는, 위치 변경 레일(27)이 물품 반송차(3)의 주행륜(12)을 안내 지지하는 것이지만, 이 때, 위치 변경 레일(27)이 받는 하중이 작아지도록 하고 있다. 즉, 도 5에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(3)의 주행 방향에서의 위치 변경 레일(27)의 길이 D1은, 전후 한쌍의 주행륜(12)의 간격 D2보다 짧아지도록 구성되어 있다. 이로써, 위치 변경 레일(27)에 의해, 전후 한쌍의 주행륜(12)의 양쪽을 동시에 안내 지지하지 않고, 전후 한쌍의 주행륜(12)의 한쪽만을 위치 변경 레일(27)에 의해 안내 지지하는 동시에, 다른 쪽을 주행 레일(2)에 의해 안내 지지하면서, 물품 반송차(3)가 교차부 K를 통과하게 되어 있다. 따라서, 위치 변경 레일(27)은, 주행 레일(2)과 비교하여, 강한 강도가 요구되지 않아, 경량화나 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 따라서, 위치 변경 레일(27)을 상하 축심 주위에서 회전시키기 위한 지지 구성 등에 대하여도, 간단한 구성을 채용할 수 있다.
전술한 바와 같이, 물품 반송차(3)에 대한 구동용 전력의 급전에 대해서는, 한쌍의 주행 레일(2)에 지지된 한쌍의 급전선(19)으로부터 물품 반송차(3)의 수전 코일(18)에 무접촉 상태로 구동용 전력을 급전하도록 구성되어 있다. 그리고, 물품 반송차(3)의 대차측 제어부는, 수전 코일(18)에 의해 수전한 구동용 전력을 사용하여 구동 모터(11)를 작동시킴으로써, 주행 경로 S를 따라 주행하게 되어 있다. 이와 같이, 물품 반송차(3)는, 급전선(19)으로부터의 구동용 전력의 급전을 받는 것에 의해, 주행 경로 S를 따라 주행하는 것이지만, 교차부 K에 있어서도, 급전선(19)으로부터의 구동용 전력의 급전을 받는 것에 의해, 주경로(20)에서 물품 반송차(3)를 통과시키거나, 또는 부경로 간 연결 경로(22)에서 물품 반송차(3)를 통과시키도록 하고 있다.
본 발명에 관한 물품 반송 설비에서는, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 교차부 K에서의 급전선(19)이, 주주행 레일(2a) 측으로부터 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27) 측으로 연장 설치되는 상태로 주주행 레일(2a)에 지지되어, 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)을 주행하는 물품 반송차(3)에 구동 전력을 급전 가능하게 구성되어 있다. 따라서, 이와 같이 배선된 급전선(19)에 의해, 주경로(20)에서 교차부 K를 통과하는 물품 반송차(3)에 대하여 구동용 전력의 급전을 행한다. 또한, 교차부 K에서의 급전선(19)은, 부주행 레일(2b) 측으로부터 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27) 측으로 연장 설치되는 상태로 부주행 레일(2b)에 지지되어, 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)을 주행하는 물품 반송차(3)에 구동 전력을 급전 가능하게 구성되어 있다. 따라서, 이와 같이 배선된 급전선(19)에 의해, 부경로 간 연결 경로(22)에서 교차부 K를 통과하는 물품 반송차(3)에 대하여 구동용 전력의 급전을 행한다.
이로써, 급전선(19)은, 회전 축심 P 주위에서 회전 가능한 위치 변경 레일(27)에 지지시키는 것이 아니라, 레일 지지체(29)에 고정된 주주행 레일(2a) 및 부주행 레일(2b)에 지지되어 있으므로, 급전선(19)을 주주행 레일(2a) 및 부주행 레일(2b)에 고정시키는 등의 간단한 지지 구성을 채용하는 것만으로 되어, 급전선(19)을 지지하기 위한 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
교차부 K에 있어서는, 급전선(19)이 주주행 레일(2a) 및 부주행 레일(2b)에 지지되어 있지만, 교차부 K에 배선되는 급전선(19)으로서는, 도 5 ~ 도 7에 나타낸 바와 같이, 제1 절곡 부위(19a), 제2 절곡 부위(19b), 제3 절곡 부위(19c), 제4 절곡 부위(19d)의 4개소의 절곡 부위가 구비되어 있으므로, 이 절곡 부위의 구성에 대하여 설명을 추가한다.
전술한 바와 같은, 좌우 한쌍의 주주행 레일(2a)과 좌우 한쌍의 부주행 레일(2b)은, 서로 인접하는 주주행 레일(2a)과 부주행 레일(2b)이 직교하도록 설치되어 있다. 그리고, 직교하는 주주행 레일(2a)과 부주행 레일(2b)와의 각각에는, 주주행 레일(2a)과 부주행 레일(2b)에 걸쳐 설치되어 급전선(19)의 각 절곡 부위(19a~19d)를 지지하는 직각형(즉, 전체적으로 직각으로 절곡된 형상)의 급전선용 지지체(34)가 구비되어 있다. 급전선용 지지체(34)로서, 제1 ~ 제4 급전선용 지지체(34a~34d)의 4개소가 구비되어 있고, 제1 ~ 제4 급전선용 지지체(34a~34d)의 각각이 절곡 부위(19a~19d)를 1개씩 고정 지지하도록 구성되어 있다. 또한, 제1 ~ 제4 급전선용 지지체(34a~34d)의 각각에서의 절곡 부위에는, 급전선(19)의 절곡 부위(19a~19d)를 덮은 상태로 커버(35)(도 9)가 구비되어 있다. 급전선용 지지체(34)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 주주행 레일(2a) 및 부주행 레일(2b)로부터 물품 반송차(3)의 가로 폭 방향의 내측으로 연장되는 판형으로 형성되어 있고, 그 연장 방향의 선단부에 급전선(19)의 절곡 부위(19a~19d)가 탑재 지지되어 있다.
도 5 ~ 도 7에 나타낸 바와 같이, 제1 급전선용 지지체(34a)는, 직교하는 주경로용 입구 부분(23)의 주주행 레일(2a)과 부경로용 입구 부분(25)의 부주행 레일(2b)에 걸쳐 설치되고, 제2 급전선용 지지체(34b)는, 직교하는 주경로용 입구 부분(23)의 주주행 레일(2a)과 부경로용 출구 부분(26)의 부주행 레일(2b)에 걸쳐 설치되어 있다. 그리고, 제1 급전선용 지지체(34a)가 제1 절곡 부위(19a)를 지지하고 있고, 제2 급전선용 지지체(34b)가 제2 절곡 부위(19b)를 지지하고 있다. 제3 급전선용 지지체(34c)는, 직교하는 주경로용 출구 부분(24)의 주주행 레일(2a)과 부경로용 입구 부분(25)의 부주행 레일(2b)에 걸쳐 설치되고, 제4 급전선용 지지체(34d)는, 직교하는 주경로용 출구 부분(24)의 주주행 레일(2a)과 부경로용 출구 부분(26)의 부주행 레일(2b)에 걸쳐 설치되어 있다. 그리고, 제3 급전선용 지지체(34c)가 제3 절곡 부위(19c)를 지지하고 있고, 제4 급전선용 지지체(34d)가 제4 절곡 부위(19d)를 지지하고 있다. 이로써, 급전선(19)은, 평면에서 볼 때, 주주행 레일(2a) 측으로부터 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)의 주행 방향에서의 단부를 넘어, 위치 변경 레일(27) 내로 연장 설치되는 상태로 주주행 레일(2a)에 지지되고, 부주행 레일(2b) 측으로부터 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)의 단부를 넘어 상기 위치 변경 레일(27) 내로 연장 설치되는 상태로 부주행 레일(2b)에 지지되어 있다.
그리고, 4개소의 절곡 부위(19a~19d)의 각각은, 주주행 레일(2a) 측으로부터 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27) 측으로 연장된 후, 절곡되어 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27) 측으로부터 부주행 레일(2b) 측으로 연장되는 절곡 상태로 배선되어 있다. 이와 같이 설치함으로써, 각 절곡 부위(19a~19d)에 있어서 주주행 레일(2a) 측으로부터 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27) 측으로 연장된 부분에서, 주주행 레일(2a) 및 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)을 주행하는 물품 반송차(3)에 대하여 구동용 전력의 급전을 행할 수 있는 동시에, 각 절곡 부위(19a~19d)에 있어서 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27) 측으로부터 부주행 레일(2b) 측으로 연장되는 부분에서, 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27) 및 부주행 레일(2b)을 주행하는 물품 반송차(3)에 대하여 구동용 전력의 급전을 행할 수 있다. 이와 같이 하여, 1개의 절곡 부위(19a~19d)에 의해, 주경로(20)에서 교차부 K를 통과하는 물품 반송차(3)에 대하여 구동용 전력을 급전하기 위한 급전선(19)의 일부와 부경로 간 연결 경로(22)에서 교차부 K를 통과하는 물품 반송차(3)에 대하여 구동용 전력을 급전하기 위한 급전선(19)의 일부를 겸용할 수 있다. 그리고, 절곡 부위(19a~19d) 중 하나를 지지하기 위해서는 1개의 급전선용 지지체(34)를 설치하는 것만으로 되므로, 급전선(19)을 지지하기 위한 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
4개소의 절곡 부위(19a~19d)는, 주경로(20)에서의 물품 반송차(3)의 주행 방향 및 부경로 간 연결 경로(22)에서의 물품 반송차(3)의 주행 방향의 양 방향에 있어서 대칭이 되도록 배선되어 있다. 이로써, 4개소의 절곡 부위(19a~19d)를 양호한 밸런스로 배선할 수 있어, 주경로(20)에서 교차부 K를 통과하는 물품 반송차(3)라도, 부경로 간 연결 경로(22)에서 교차부 K를 통과하는 물품 반송차(3)라도, 그 양쪽에 양호한 밸런스로 적절히 구동용 전력을 급전할 수 있다.
이하, 물품 반송차(3)가 교차부 K를 통과할 때의 동작에 대하여 설명을 추가한다.
먼저, 주경로(20)에서 물품 반송차(3)를 통과시킬 때에 대하여 설명하면, 도 6에 나타낸 바와 같이, 주경로(20)에서 물품 반송차(3)를 통과시킬 때는, 전환 수단이 제1 전환 상태로 전환하여 위치 변경 레일(27)을 제1 위치에 위치시킨다. 그리고, 물품 반송차(3)는, 주경로용 입구 부분(23)의 주주행 레일(2a)을 주행한 후, 주주행 레일(2a)로부터 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)로 갈아타고, 그 후, 위치 변경 레일(27)로부터 주경로용 출구 부분(24)의 주주행 레일(2a)로 갈아탄다.
물품 반송차(3)가 주경로용 입구 부분(23)의 주주행 레일(2a)을 주행할 때는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 절곡 부위(19a) 및 제2 절곡 부위(19b)로부터 물품 반송차(3)에 구동용 전력의 급전을 행한다. 이 때, 도 8에 나타낸 바와 같이, 수전 코일(18)의 급전 가능 영역[수전 코일(18)에 있어서 상측 부분과 하측 부분에서 상하로 끼워넣어진 영역] 내에, 제1 절곡 부위(19a) 및 제2 절곡 부위(19b)가 위치하게 되어, 제1 절곡 부위(19a) 및 제2 절곡 부위(19b)로부터 수전 코일(18)로의 구동용 전력의 급전을 적절히 행할 수 있다.
그 후, 물품 반송차(3)가 주주행 레일(2a)로부터 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)로 갈아타는 것이지만, 제1 절곡 부위(19a) 및 제2 절곡 부위(19b)가 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27) 측으로 연장되어 있으므로, 계속하여 제1 절곡 부위(19a) 및 제2 절곡 부위(19b)로부터 물품 반송차(3)에 구동용 전력의 급전을 적절히 행할 수 있다.
그리고, 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)의 주행 중 또는 그 위치 변경 레일(27)로부터 주경로용 출구 부분(24)의 주주행 레일(2a)로 갈아타는 도중에, 급전하는 절곡 부위가 제1 절곡 부위(19a) 및 제2 절곡 부위(19b)로부터 제3 절곡 부위(19c) 및 제4 절곡 부위(19d) 대신에, 제3 절곡 부위(19c) 및 제4 절곡 부위(19d)로부터 물품 반송차(3)에 구동용 전력의 급전을 행한다. 여기서, 제3 절곡 부위(19c) 및 제4 절곡 부위(19d)도, 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27) 측으로 연장되어 있으므로, 제1 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)의 주행 중 또는 그 위치 변경 레일(27)로부터 주경로용 출구 부분(24)의 주주행 레일(2a)로 갈아타는 도중의 물품 반송차(3)에 대하여, 구동용 전력의 급전을 적절히 행할 수 있다.
그 후, 물품 반송차(3)가 주경로용 출구 부분(24)의 주주행 레일(2a)로 갈아타 주행할 때는, 계속하여 제3 절곡 부위(19c) 및 제4 절곡 부위(19d)로부터 물품 반송차(3)에 구동용 전력의 급전을 적절히 행할 수 있다.
다음에, 부경로 간 연결 경로(22)에서 물품 반송차(3)를 통과시킬 때에 대하여 설명한다. 전술한 바와 같은, 4개소의 절곡 부위(19a~19d)는, 주경로(20)에서의 물품 반송차(3)의 주행 방향 및 부경로 간 연결 경로(22)에서의 물품 반송차(3)의 주행 방향의 양 방향에 있어서 대칭이 되도록 배선되어 있고, 물품 반송차(3)에 구동용 전력의 급전을 행하는 절곡 부위가 상이할뿐이므로, 생략하면서 설명한다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 부경로 간 연결 경로(22)에서 물품 반송차(3)를 통과시킬 때는, 전환 수단이 제2 전환 상태로 전환하여 위치 변경 레일(27)을 제2 위치에 위치시킨다. 그리고, 물품 반송차(3)는, 부경로용 입구 부분(25)의 부주행 레일(2b)을 주행한 후, 부주행 레일(2b)로부터 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27)로 갈아타고, 그 후, 위치 변경 레일(27)로부터 부경로용 출구 부분(26)의 부주행 레일(2b)로 갈아탄다. 따라서, 물품 반송차(3)로의 구동용 전력의 급전에 대해서는, 먼저, 제1 절곡 부위(19a) 및 제3 절곡 부위(19c)로부터 물품 반송차(3)에 구동용 전력의 급전을 행하고, 그 후, 제1 절곡 부위(19a) 및 제3 절곡 부위(19c)로부터 제2 절곡 부위(19b) 및 제4 절곡 부위(19d) 대신에 물품 반송차(3)에 구동용 전력의 급전을 행한다. 이 때에도, 4개소의 절곡 부위(19a~19d)의 각각은, 제2 위치에 위치하는 위치 변경 레일(27) 측으로 연장되어 있으므로, 물품 반송차(3)로의 구동용 전력의 급전을 적절히 행할 수 있다.
여기서, 주경로(20)에서 주행할 때도, 부경로 간 연결 경로(22)에서 주행할 때도, 물품 반송차(3)의 주행 방향에서 교차부 K의 중앙부에 의해 급전선(19)이 설치되어 있지 않은 부위가 존재하지만, 이 부위의 길이가 최대한 짧아지도록, 각 절곡 부위(19a~19d)가 물품 반송차(3)의 주행 방향으로 근접하여 설치되어 있다. 이로써, 주경로(20)에서 주행할 때도, 부경로 간 연결 경로(22)에서 주행할 때도, 물품 반송차(3)의 수전 코일(18)은, 교차부 K를 통과할뿐인 충분한 구동용 전력의 급전을 각 절곡 부위(19a~19d)로부터 받을 수 있다. 따라서, 각 절곡 부위(19a~19d)로부터 물품 반송차(3)로의 구동용 전력의 급전을 적절히 행할 수 있어, 물품 반송차(3)가 교차부 K에서의 주경로(20) 및 부경로 간 연결 경로(22)의 양쪽에서의 주행을 적절히 행할 수 있다.
〔다른 실시형태〕
(1) 상기 실시형태에서는, 주경로(20)와 부경로 간 연결 경로(22)가 교차하는 교차부 K에 대하여 예시하고 있지만, 어떤 경로와 다른 경로가 교차하는 교차부의 각각에 대하여, 본 발명에 관한 물품 반송 설비를 적용할 수 있다.
상기 실시형태에서는, 주경로(20)와 부경로 간 연결 경로(22)가 교차하는 교차부에, 주경로(20)로부터 분기하여 부경로(21)에 접속된 곡선형의 분기 경로와 부경로(21)로부터 주경로(20)에 합류하는 곡선형의 합류 경로가 구비되어 있다. 이와 같은 곡선형의 분기 경로나 곡선형의 합류 경로가 구비된 교차부에 한정되지 않고, 곡선형의 주행 경로를 가지고 있지 않은 2개의 주행 경로가 직교하여 교차하는 교차부에 있어서, 본 발명에 관한 물품 반송 설비를 적용할 수 있다. 예를 들면, 도 1의 일점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 부경로(21)와 직교하여 교차하는 루프형의 주행 경로 S를 설치하고, 부경로(21)와 루프형의 주행 경로 S(도면 중 일점 쇄선으로 나타낸 주행 경로)가 교차하는 교차부를, 곡선형의 주행 경로를 가지고 있지 않은 2개의 주행 경로가 직교하여 교차하는 교차부로서 구성하고, 이 교차부 K에 있어서, 본 발명에 관한 물품 반송 설비를 적용할 수 있다.
(2) 상기 실시형태에서는, 교차부 K로서, 주경로(20)와 부경로 간 연결 경로(22)가 직교하여 교차하는 교차부를 예시하고 있지만, 이와 같은 2개의 경로가 직교하여 교차하는 교차부에 한정되지 않고, 2개의 경로가 경사지게(즉, 90°보다 작은 각도로) 교차하는 교차부에 있어서도 실시할 수 있다. 또한, 교차부로서, 2개의 경로가 1개의 경로에 합류하는 교차부나, 1개의 경로로부터 2개의 경로로 분기하는 교차부로 할 수도 있다. 2개의 경로가 1개의 경로에 합류하는 교차부에서는, 제1 경로의 출구 부분과 제2 경로의 출구 부분이 공통의 출구 부분으로 되어, 1개의 경로로부터 2개의 경로로 분기하는 교차부에서는, 제1 경로의 입구 부분과 제2 경로의 입구 부분이 공통의 입구 부분으로 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 주행륜(12), 주행 레일(2), 위치 변경 레일(27), 급전선(19)의 각각을 좌우 한쌍 구비한 예를 나타냈으나, 예를 들면, 주행륜(12), 주행 레일(2), 위치 변경 레일(27)의 각각을 좌우 한쌍 구비하고, 급전선(19)만 1개 구비하여 행하는 것도 가능하며, 주행륜(12), 주행 레일(2), 위치 변경 레일(27), 급전선(19)의 수를 어떠한 수로 할 것인지는 적절하게 변경할 수 있다.
[산업 상의 이용 가능성]
본 발명에 의한 물품 반송 설비는, 예를 들면, 반도체 기판의 처리 설비 등에 이용할 수 있다.
2a: 제1 주행 레일(주주행 레일)
2b: 제2 주행 레일(부주행 레일)
3: 물품 반송차
12: 주행륜
19: 급전선
19a~19d: 절곡 부위
20: 제1 경로(주경로)
22: 제2 경로(부경로 간 연결 경로)
23: 제1 경로의 입구 부분(주경로용 입구 부분)
24: 제1 경로의 출구 부분(주경로용 출구 부분)
25: 제2 경로의 입구 부분(부경로용 입구 부분)
26: 제2 경로의 출구 부분(부경로용 출구 부분)
27: 위치 변경 레일
30: 전환 수단(회전 지지체)
31: 전환 수단(실린더)
32: 전환 수단(링크 기구)
34: 급전선용 지지체
K: 교차부
S: 주행 경로

Claims (6)

  1. 주행륜을 구비하고, 주행 경로를 따라 설치된 급전선으로부터 구동용 전력이 급전되어 주행 가능한 물품 반송차(搬送車)와, 상기 주행 경로로서 제1 경로와 제2 경로가 구비되고, 상기 제1 경로와 상기 제2 경로가 교차하는 교차부에는, 상기 제1 경로에 의해 물품 반송차를 통과시키는 제1 전환 상태와 상기 제2 경로에 의해 상기 물품 반송차를 통과시키는 제2 전환 상태로 전환 가능한 전환 수단이 구비된 물품 반송 설비로서,
    상기 제1 경로에 있어서 상기 교차부에 연속하는 입구 부분 및 상기 교차부로부터 연속하는 출구 부분의 각각에는, 상기 주행륜을 안내 지지하는 제1 주행 레일이 구비되고, 상기 제2 경로에 있어서 상기 교차부에 연속하는 입구 부분 및 상기 교차부로부터 연속하는 출구 부분의 각각에는, 상기 주행륜을 안내 지지하는 제2 주행 레일이 구비되고, 상기 교차부에는, 상기 제1 주행 레일에 연속하는 제1 위치와 상기 제2 주행 레일에 연속하는 제2 위치로 위치 변경 가능한 위치 변경 레일이 구비되고, 상기 전환 수단은, 상기 위치 변경 레일을 제1 위치로 전환함으로써 상기 제1 전환 상태로 전환하고, 또한 상기 위치 변경 레일을 제2 위치로 전환함으로써 상기 제2 전환 상태로 전환하도록 구성되며,
    상기 급전선은,
    상기 제1 주행 레일 및 제1 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일을 주행하는 상기 물품 반송차에 구동용 전력을 급전하도록 상기 제1 주행 레일에 지지되고, 또한 상기 제2 주행 레일 및 제2 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일을 주행하는 상기 물품 반송차에 구동용 전력을 급전하도록 상기 제2 주행 레일에 지지되어 있고, 또한
    평면에서 볼 때, 상기 제1 주행 레일측으로부터 제1 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일의 단부를 넘어 상기 위치 변경 레일 내로 연장 설치되는 상태로 상기 제1 주행 레일에 지지되어, 제1 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차에 구동용 전력을 급전 가능하고, 또한 상기 제2 주행 레일측으로부터 제2 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일의 단부를 넘어 상기 위치 변경 레일 내로 연장 설치되는 상태로 상기 제2 주행 레일에 지지되어, 제2 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일을 주행하는 물품 반송차에 구동용 전력을 급전 가능하게 구성되어 있는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 물품 반송차에는, 상기 주행륜이 상기 물품 반송차의 가로 폭 방향으로 간격을 두고 좌우 한쌍 구비되고, 상기 제1 주행 레일, 상기 제2 주행 레일 및 상기 위치 변경 레일은, 좌우 한쌍의 상기 주행륜의 각각을 안내 지지하도록 좌우 한쌍 구비되어 있는, 물품 반송 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 급전선은, 좌우 한쌍의 상기 제1 주행 레일 및 좌우 한쌍의 상기 제2 주행 레일의 각각에 지지되는 상태로, 상기 물품 반송차의 가로 폭 방향으로 간격을 두고 좌우 한쌍 구비되어 있는, 물품 반송 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    좌우 한쌍의 상기 제1 주행 레일과 좌우 한쌍의 상기 제2 주행 레일은, 서로 인접하는 상기 제1 주행 레일과 상기 제2 주행 레일이 직교하도록 설치되고, 상기 급전선은, 상기 제1 주행 레일측으로부터 제1 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일측으로 연장된 후, 절곡되어 제2 위치에 위치하는 상기 위치 변경 레일측으로부터 상기 제2 주행 레일측으로 연장되는 절곡 부위를 4개소 구비하여 구성되며, 직교하는 상기 제1 주행 레일과 상기 제2 주행 레일의 각각에는, 상기 제1 주행 레일과 상기 제2 주행 레일에 걸쳐 설치되어 상기 급전선의 각 절곡 부위를 지지하는 전체적으로 직각으로 절곡된 급전선용 지지체가 구비되어 있는, 물품 반송 설비.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 물품 반송차에는, 상기 주행륜이 상기 물품 반송차의 전후 방향으로 간격을 두고 전후 한쌍 구비되고, 상기 위치 변경 레일은, 상기 물품 반송차의 주행 방향에서의 길이가, 전후 한쌍의 상기 주행륜의 간격보다 짧아지도록 구성되어 있는, 물품 반송 설비.
  6. 삭제
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Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58103920A (ja) * 1981-12-16 1983-06-21 Sumitomo Light Metal Ind Ltd 金属二重管の製造法
JP5440870B2 (ja) * 2010-08-19 2014-03-12 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5310784B2 (ja) * 2011-05-16 2013-10-09 村田機械株式会社 有軌道台車システム
WO2013031630A1 (ja) * 2011-08-31 2013-03-07 三菱重工業株式会社 車両受渡装置及びこれを備えた軌道系交通システム
WO2014125845A1 (ja) * 2013-02-15 2014-08-21 村田機械株式会社 搬送システム
GB201310784D0 (en) 2013-06-17 2013-07-31 Ocado Ltd Systems and Methods for Order Processing
DE102014209378A1 (de) * 2014-05-16 2015-11-19 Siemens Aktiengesellschaft Transportvorrichtung zum Transport von Gütern
JP6168476B2 (ja) 2015-03-19 2017-07-26 村田機械株式会社 搬送台車と搬送台車システム
JP6358142B2 (ja) * 2015-03-26 2018-07-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6168477B2 (ja) * 2015-03-31 2017-07-26 村田機械株式会社 走行台車システム及び走行台車の走行方法
JP6278341B2 (ja) * 2015-04-06 2018-02-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6304122B2 (ja) * 2015-05-13 2018-04-04 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US10196214B2 (en) * 2015-08-14 2019-02-05 Murata Machinery, Ltd. Conveyor car system
JP6471651B2 (ja) * 2015-08-27 2019-02-20 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN105217288B (zh) * 2015-09-25 2017-07-04 四川科伦药业股份有限公司 一种新型用于夹持聚丙烯输液瓶的夹瓶机构
JP6477439B2 (ja) * 2015-11-17 2019-03-06 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US11476141B2 (en) * 2016-08-26 2022-10-18 Murata Machinery, Ltd. Rail-guided trolley system, and rail-guided trolley
JP6620707B2 (ja) * 2016-09-09 2019-12-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6690497B2 (ja) * 2016-10-28 2020-04-28 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP2018176950A (ja) * 2017-04-11 2018-11-15 村田機械株式会社 走行車システム
JP6963908B2 (ja) * 2017-05-09 2021-11-10 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP6881749B2 (ja) * 2017-05-23 2021-06-02 藤澤建機株式会社 移動かご付き栽培棚及び栽培棚用かご装置
DE102017113953B3 (de) * 2017-06-23 2018-10-31 Flexlink Ab Passive Transportvorrichtung zum Transportieren von Fördergut sowie Transportsystem, Verfahren sowie Steuerungsverfahren hierzu
CN107298291B (zh) * 2017-08-24 2019-04-16 新昌县麟耀建筑材料有限公司 一种石油管道生产线上位置转移装置
CN108622619B (zh) * 2018-05-23 2023-10-27 江苏晶隆科技有限公司 一种轨道运输转盘
CN110758974A (zh) * 2018-07-26 2020-02-07 北京京东振世信息技术有限公司 货物拣选传输装置、货物拣选系统及方法
CN109018958B (zh) * 2018-09-19 2020-02-21 苏州精濑光电有限公司 一种物料输送方法
US20210387654A1 (en) * 2018-10-29 2021-12-16 Murata Machinery, Ltd. Traveling vehicle system
CN109305525B (zh) * 2018-11-09 2020-08-07 上海悦麦智能设备有限公司 不等长式十字变轨机构
JP7070704B2 (ja) * 2018-11-28 2022-05-18 村田機械株式会社 走行車システム
CN110250761B (zh) * 2019-05-27 2020-12-15 烟台职业学院 智能化会计财务柜及其使用方法
JP7036089B2 (ja) * 2019-07-03 2022-03-15 村田機械株式会社 搬送システム
KR102049037B1 (ko) * 2019-07-29 2019-11-27 비앤에스(주) 주행 및 가이드 기능을 구비한 레일턴모듈 및 이를 이용한 팰릿이송시스템
JP7327790B2 (ja) * 2019-08-26 2023-08-16 学校法人立命館 移動体システム
JP7318811B2 (ja) * 2020-05-19 2023-08-01 村田機械株式会社 天井搬送システム
JP7283456B2 (ja) * 2020-09-09 2023-05-30 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7310838B2 (ja) * 2021-01-21 2023-07-19 株式会社ダイフク 物品搬送車
US20220348415A1 (en) * 2021-04-30 2022-11-03 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Automated material handling system (amhs) rail methodology
IL307895A (en) * 2021-06-03 2023-12-01 Murata Machinery Ltd A passenger car system, a single unit and a rail in a grid pattern
KR20230134904A (ko) * 2022-03-15 2023-09-22 현대무벡스 주식회사 물품 이송 장치
US20230348236A1 (en) * 2022-04-30 2023-11-02 Ronald C. Zimmerman Continuous container crane device
WO2024070310A1 (ja) * 2022-09-29 2024-04-04 村田機械株式会社 天井走行車システム
WO2024070301A1 (ja) * 2022-09-29 2024-04-04 村田機械株式会社 天井走行車システム
CN115458457B (zh) * 2022-10-18 2023-08-01 上海赢朔电子科技股份有限公司 一种高速高精共晶贴片机
CN116344423B (zh) * 2023-05-29 2023-08-11 上海新创达半导体设备技术有限公司 基于无线供电的物料搬运天车及其控制方法
CN117125609B (zh) * 2023-10-25 2024-01-30 上海果纳半导体技术有限公司 一种天车轨道和天车搬运系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002238102A (ja) 2001-02-07 2002-08-23 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP2005001830A (ja) * 2003-06-12 2005-01-06 Daifuku Co Ltd 搬送装置

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58154302A (ja) * 1982-03-08 1983-09-13 Imamura Seisakusho:Kk 交叉線路の電動自走台車用給電装置
JPS59176270U (ja) * 1983-05-13 1984-11-26 株式会社日立製作所 搬送設備におけるキヤリア脱落防止機構
JPH07426Y2 (ja) 1989-08-09 1995-01-11 株式会社椿本チエイン 交差レール自動切替装置
CA2128918C (en) * 1993-07-29 1999-09-21 Eiji Orisaka Conveying system and method for a production line
JP2834665B2 (ja) * 1994-03-14 1998-12-09 建設省九州地方建設局長 ダム堰堤内監査廊用走行装置
DE9406061U1 (de) * 1994-04-12 1995-08-10 Mts Modulare Transport Systeme Gmbh, Vomp Sortieranlage zum Sortieren von einzeln geförderten Gegenständen
DE19725644A1 (de) * 1997-06-18 1998-12-24 Alsthom Cge Alcatel Bahn für mittels Weichen verzweigte Schienenstränge
JP3906950B2 (ja) * 1998-02-03 2007-04-18 株式会社日立プラントテクノロジー 搬送台車の非接触給電装置
JPH11222130A (ja) * 1998-02-03 1999-08-17 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 搬送台車の補助駆動設備
JP2001128303A (ja) * 1999-10-28 2001-05-11 Murata Mach Ltd 有軌道台車システム
JP2001121993A (ja) * 1999-10-28 2001-05-08 Murata Mach Ltd 有軌道台車システム
US6629502B2 (en) * 2000-09-14 2003-10-07 Daifuku Co., Ltd. Conveyance system
JP3508130B2 (ja) * 2000-09-21 2004-03-22 村田機械株式会社 搬送システム
JP2003079074A (ja) * 2001-08-31 2003-03-14 Daifuku Co Ltd 搬送設備
JP4048409B2 (ja) * 2001-10-22 2008-02-20 株式会社ダイフク 搬送設備
US6655297B2 (en) * 2002-04-19 2003-12-02 Daifuku Co., Ltd. Transfer system using movable bodies
JP3981885B2 (ja) * 2003-05-20 2007-09-26 株式会社ダイフク 搬送装置
JP2005031873A (ja) * 2003-07-10 2005-02-03 Trecenti Technologies Inc 搬送システムおよび半導体製造システム
TWI291447B (en) * 2003-12-26 2007-12-21 Murata Machinery Ltd Track guided vehicle system
JP4702693B2 (ja) * 2004-02-12 2011-06-15 ムラテックオートメーション株式会社 搬送台車及び搬送装置
JP4148194B2 (ja) * 2004-07-22 2008-09-10 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP4720267B2 (ja) * 2005-04-14 2011-07-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4264840B2 (ja) * 2006-10-20 2009-05-20 村田機械株式会社 天井走行車
JP4366663B2 (ja) * 2007-06-28 2009-11-18 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP5686501B2 (ja) * 2009-03-27 2015-03-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5099454B2 (ja) * 2009-03-27 2012-12-19 株式会社ダイフク 交差部切換設備
US8272331B2 (en) * 2009-09-11 2012-09-25 Autran Corp. Automated transport system
JP5141987B2 (ja) * 2009-12-07 2013-02-13 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5440870B2 (ja) * 2010-08-19 2014-03-12 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5472209B2 (ja) * 2011-05-31 2014-04-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002238102A (ja) 2001-02-07 2002-08-23 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP2005001830A (ja) * 2003-06-12 2005-01-06 Daifuku Co Ltd 搬送装置

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