CN115458457B - 一种高速高精共晶贴片机 - Google Patents

一种高速高精共晶贴片机 Download PDF

Info

Publication number
CN115458457B
CN115458457B CN202211274049.7A CN202211274049A CN115458457B CN 115458457 B CN115458457 B CN 115458457B CN 202211274049 A CN202211274049 A CN 202211274049A CN 115458457 B CN115458457 B CN 115458457B
Authority
CN
China
Prior art keywords
loading
cylinder
material box
platform
driving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202211274049.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN115458457A (zh
Inventor
渠敬国
李波
彭清龙
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Yingshuo Electronic Technology Co ltd
Original Assignee
Shanghai Yingshuo Electronic Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Yingshuo Electronic Technology Co ltd filed Critical Shanghai Yingshuo Electronic Technology Co ltd
Priority to CN202211274049.7A priority Critical patent/CN115458457B/zh
Publication of CN115458457A publication Critical patent/CN115458457A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN115458457B publication Critical patent/CN115458457B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Abstract

本发明公开了一种高速高精共晶贴片机,属于半导体封装设备技术领域。包括上料部、晶圆模组、配置有料片传输轨道的料片传输模组、转塔邦头及下料部,上料部包括叠式载具上料模组以及料盒式装载上料模组(2)。通过本发明,叠式载具上料模组以及料盒式装载上料模组(2),更好的兼容了多种上料模式的同时,可搭配料片传输轨道完成全自动料片供给和排出工作。

Description

一种高速高精共晶贴片机
技术领域
本发明涉及一种高速高精共晶贴片机,属于半导体封装领域技术领域。
背景技术
半导体行业生产工艺流程更新迭代,共晶工艺对比银胶更有优势。成为了封装形式中另一种更好的选择。
而现有传统共晶贴片其上料模式比较单一,不能满足目前先进半导体封装设备对于料片上料的需求。
因此需要提出一种新的方案来解决这个问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于:提供一种高速高精共晶贴片机,它解决了现有技术中传统共晶贴片其上料模式比较单一,不能满足目前先进半导体封装设备对于料片上料的需求的问题。
本发明所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现:一种高速高精共晶贴片机,包括上料部、晶圆模组、配置有料片传输轨道的料片传输模组、转塔邦头及下料部,所述上料部包括叠式载具上料模组以及料盒式装载上料模组,
所述料盒式装载上料模组包括:
料盒,用于存放料片;
上料平台,用于放置料盒,
基准平台,用于使料盒与料片传输轨道对齐,
上料平台Y轴推杆马达,用于推动料盒在料片传输轨道上朝基准平台滑动,Y轴料盒基准马达,用于带动基准平台运动,
夹料盒气缸,设置于基准平台上,用于夹持料盒,
托举料盒Z轴马达,用于托举料盒且带动料盒Z向运动,
料盒定位气缸,用于带动料盒紧贴基准平台,
推料杆X轴马达,用于弹出并带动料盒内的料片X向运动,使料片进入料片传输轨道内部,
下料平台,设置于上料平台下方,用于放置料盒,
下料推杆Y轴马达,用于推动料盒进入下料平台内;
所述叠式载具上料模组包括:
料片放置平台,用于放置料片,
料片供给Z轴马达,用于带动料片放置平台运动至等待吸片位置,
吸片Y轴马达,一端设置有若干吸头,用于带动吸头Y向运动至设定吸片位置,
吸片Z轴马达,用于带动吸头Z向运动,
真空电磁阀,用于抽吸吸头内部的空气。
通过采用上述技术方案:通过配备一个叠式载具上料模组以及搭载料盒上料,一个料盒式下料模组,更好的兼容了多种上料模式的同时,可搭配料片传输轨道完成全自动料片供给和排出工作,从而更好的满足了目前半导体封装设备对于料片上料的需求。
本发明进一步设置为:还包括有自动供料模组,所述自动供料模组包括:
传送带,用于传送料片至料盒内,
装卸组件,用于安装和卸载料盒,
推料组件,设置于料盒一侧且用于推动料盒或料片运动;
装载小车,用于安装料盒或料片,
运输轨道,用于装载小车滑动且两侧分别开设有卸料槽,两个所述卸料槽内分别设置有卸料轨道一和卸料轨道二,
卸料组件,包括有用于驱动卸料轨道一和卸料轨道二转动并分别运动至上料平台和料片放置平台一侧的转运机构一和转运机构二,以及用于推动料盒运动的卸料气缸一和用于推动料片运动的卸料气缸二。
通过采用上述技术方案:通过自动供料模组自动对料片和料盒进行供料,使得工作人员不必人工运输料片和料盒,从而有效提高了工作效率。
本发明进一步设置为:所述装卸组件包括装卸平台,所述装卸平台表面设置有若干用于卡入料盒内部的滑杆,若干所述滑杆之间滑动有用于卡入料盒底部的滑板,所述装卸平台顶面设置有与滑板底部相连的推板气缸,所述装卸平台底部设置有用于驱动装卸平台上下滑动的装卸气缸。
本发明进一步设置为:所述推料组件包括推料气缸,所述推料气缸的活塞杆处固定有转动电机,所述转动电机的输出端固定有推块。
本发明进一步设置为:所述装载小车包括底板,所述底板顶面两侧均设置有定位块,两块所述定位块相对的一面上均开设有滑槽,所述滑槽内滑动有夹持块,所述滑槽内底壁与夹持块之间设置有若干弹性件,所述底板底部设置有两对车轮组,两对所述车轮组之间通过皮带相连,所述底板底部设置有驱动电机,所述驱动电机的输出端连接有位于皮带内部的驱动轮。
本发明进一步设置为:所述运输轨道包括料盒输送轨道及料片输送轨道,所述料盒输送轨道和料片输送轨道之间形成有重合部,所述重合部两端均设置有轨道切换件,所述料片输送轨道内设置有用于驱动切换件滑动的切换气缸。
本发明进一步设置为:所述转运机构一包括铰接在地面上的若干转运杆一,所述转运杆一的一端设置有与卸料轨道一相连的托运板一,所述转运杆一和托运板一底部相铰接,所述转运机构二包括若干铰接在地面上转运杆二,所述转运杆二的一端设置有与卸料轨道二相连的托运板二,所述转运杆二与托运板二底部相铰接,所述料盒输送轨道和料片输送轨道一侧分别铰接有转运气缸一和用于驱动转运杆二转动的转运气缸二,所述转运气缸一和转运气缸二的活塞杆分别与转运杆一和转运杆二铰接。
本发明进一步设置为:所述轨道切换件包括两块相对设置且横截面呈V形的切换板一和切换板二,所述切换板一和切换板二的一端分别与料盒输送轨道和料片输送轨道之间形成有用于车轮组通过的行驶腔一和行驶腔二,所述切换板一和切换板二另一端可在切换气缸的驱动下同步进行左右摆动。
本发明进一步设置为:所述托运板一和托运板二顶部分别设置有连接架一和连接架二,所述连接架一和连接架二顶部分别设置有压料气缸一和压料气缸二,所述压料气缸一和压料气缸二的活塞杆处分别设置有用于抵压装载小车顶面的压架一和压架二,所述卸料气缸一和卸料气缸二分别设置在压架一和压架二侧壁上且压架一和压架二输出上均设置有压板。
本发明的有益效果是:
1、通过配备一个叠式载具上料模组以及搭载料盒上料,一个料盒式下料模组,更好的兼容了多种上料模式的同时,可搭配料片传输轨道完成全自动料片供给和排出工作;
2、通过自动供料模组自动对料片和料盒进行供料,使得工作人员不必人工运输料片和料盒,从而有效提高了工作效率。
附图说明
图1为本发明中料盒的结构示意图;
图2为本发明的结构示意图;
图3为本发明中叠式载具上料模组的结构示意图一;
图4为本发明中叠式载具上料模组的结构示意图二;
图5为本发明中料盒式装载上料模组(2)的结构示意图一;
图6为本发明中料盒式装载上料模组(2)的结构示意图二;
图7为本发明中自动供料模组的结构示意图;
图8为本发明中装卸组件和料盒的结构示意图;
图9为本发明中推料组件和料盒的结构示意图;
图10为本发明中装载小车的结构示意图;
图11为本发明中运输轨道的结构示意图;
图12为图11中A处的放大结构示意图;
图13为本发明中卸料组件的结构示意图。
图中:1、料盒;11、容纳槽;12、固定槽;13、通孔;2、料盒式装载上料模组;21、上料平台;22、基准平台;23、上料平台Y轴推杆马达;24、Y轴料盒基准马达;25、夹料盒气缸;26、托举料盒Z轴马达;27、料盒定位气缸;28、推料杆X轴马达;29、下料平台;291、下料推杆Y轴马达;3、叠式载具上料模组;31、料片放置平台;32、料片供给Z轴马达;33、吸片Y轴马达;331、吸头;34、吸片Z轴马达;35、真空电磁阀;4、晶圆模组;5、料片传输模组;51、料片传输轨道;6、转塔邦头;7、下料部;8、自动供料模组;81、传送带;82、装卸组件;821、装卸平台;822、滑杆;823、滑板;824、推板气缸;825、装卸气缸;83、推料组件;831、推料气缸;832、转动电机;833、推块;84、装载小车;841、底板;842、定位块;843、滑槽;844、夹持块;8441、导向斜角;8442、限位块一;8443、卡槽;8444、限位块二;845、弹性件;846、车轮组;8461、车轮架;8462、转辊;8463、滚轮;8464、导向轮;8465、导向圆角;847、皮带;848、驱动电机;849、驱动轮;85、运输轨道;851、卸料槽;852、卸料轨道一;853、卸料轨道二;854、料盒输送轨道;855、料片输送轨道;856、重合部;857、轨道切换件;8571、切换板一;8572、切换板二;8573、行驶腔一;8574、行驶腔二;8575、贴合部一;8576、贴合部二;858、切换气缸;86、卸料组件;861、转运机构一;8611、转运杆一;8612、托运板一;8613、转运气缸一;8614、连接架一;8615、压料气缸一;8616、压架一;8617、压板;862、转运机构二;8621、转运杆二;8622、托运板二;8623、转运气缸二;8624、连接架二;8625、压料气缸二;8626、压架二;863、卸料气缸一;864、卸料气缸二。
具体实施方式
为了对本发明的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本发明。
如图2至图6所示,一种高速高精共晶贴片机,包括上料部、晶圆模组4、配置有料片传输轨道51的料片传输模组5、转塔邦头6及下料部7,上料部包括叠式载具上料模组3以及料盒式装载上料模组2,
料盒式装载上料模组2包括:
料盒1,用于存放料片,其中,如图1所示,料盒1内部开设有若干用于容纳料片的容纳槽11,底部沿长度方向开设有固定槽12,且固定槽12顶壁上开设有若干通孔13,
上料平台21,用于放置料盒1,
基准平台22,用于使料盒1与料片传输轨道51对齐,
上料平台Y轴推杆马达23,用于推动料盒1在料片传输轨道51上朝基准平台22滑动,
Y轴料盒基准马达24,用于带动基准平台22运动,
夹料盒气缸25,设置于基准平台22上,用于夹持料盒1,
托举料盒Z轴马达26,用于托举料盒1且带动料盒1Z向运动,
料盒定位气缸27,用于带动料盒1紧贴基准平台22,
推料杆X轴马达28,用于弹出并带动料盒1内的料片X向运动,使料片进入料片传输轨道51内部,
下料平台29,设置于上料平台21下方,用于放置料盒1,
下料推杆Y轴马达291,用于推动料盒1进入下料平台29内;
叠式载具上料模组3包括:
料片放置平台31,用于放置料片,
料片供给Z轴马达32,用于带动料片放置平台31运动至等待吸片位置,
吸片Y轴马达33,一端设置有若干吸头331,用于带动吸头331Y向运动至设定吸片位置,
吸片Z轴马达34,用于带动吸头331Z向运动,
真空电磁阀35,用于抽吸吸头331内部的空气。
工作流程:
料盒1上料:将料盒1放置于料盒1上料载具的上料平台21上方,上料平台Y轴推杆马达23推动料盒1前进,同时Y轴料盒基准马达24运动至接料位置。上料平台Y轴推杆马达23推动料盒1至基准平台22后,夹料盒气缸25弹出夹紧料盒1。Y轴料盒基准马达24带动料盒1移动至托举料盒Z轴马达26上方,夹料盒气缸25收回,托举料盒Z轴马达26下降至料盒1第一层料片供给位置。料盒定位气缸27弹出使料盒1紧贴基准平台22,后推料杆X轴马达28推出带动推料杆X向移动,推动料盒1内料片X向运动至料片传输轨道51内部,完成料片供给。料片供给完成后料盒1逐级下降并依次完成料盒1内所有料片的供给,后托举料盒Z轴马达26带动料盒1下降至下料平台29,下料推杆Y马达291将料盒1推送至料盒放置位置。
叠式上料:将料片放置在料片放置平台31上方,料片供给时,料片供给Z轴马达32带动料片Z向移动至等待吸片位置。吸片Y轴马达33带动吸头331Y向移动至设定吸片位置,后吸片Z轴马达34带动吸头331下降。吸头331接触至料片后真空电磁阀35打开,吸头331吸附料片,吸片Z轴马达34带动吸头331上升。吸片Y轴马达33带动吸头331移动至料片放置位置,吸片Z轴马达34带动吸头331下降至料片传输轨道51上方后真空释放。吸片Z轴马达34上升,完成叠式料片供给。
如图7所示,该共晶贴片机还包括自动供料模组8,自动供料模组8包括:
传送带81,用于传送料片至料盒1内,
装卸组件82,用于安装和卸载料盒1,
推料组件83,设置于料盒1一侧且用于推动料盒1或料片运动;
装载小车84,用于安装料盒1或料片,
运输轨道85,用于装载小车84滑动且两侧分别开设有卸料槽851,两个卸料槽851内分别设置有卸料轨道一852和卸料轨道二853,
卸料组件86,包括有用于驱动卸料轨道一852和卸料轨道二853转动并分别运动至上料平台21和料片放置平台31一侧的转运机构一861和转运机构二862,以及用于推动料盒1运动的卸料气缸一863和用于推动料片运动的卸料气缸二864。
如图8所示,装卸组件82包括装卸平台821,装卸平台821表面设置有若干用于卡入料盒1底部通孔13的滑杆822,若干滑杆822之间滑动有用于沿竖直方向卡入料盒1底部固定槽12的滑板823,装卸平台821顶面设置有与滑板823底部相连的推板气缸824,装卸平台821底部设置有用于驱动装卸平台821上下滑动的装卸气缸825。
在固定料盒1时,通过推板气缸824驱动滑板823向上运动至与滑杆822顶端平行,随后将滑板823卡入料盒1的固定槽12内,接着再通过推板气缸824驱动滑板823下降,使得滑杆822端部能卡入料盒1的通孔13内部,通过滑杆822对通孔13的限位,使得料盒1无法横向位移,而在需要驱动料盒1运动时,只需通过推板气缸824向上推动滑板823,使得滑板823将料盒1向上顶起并使得滑杆822脱离通孔13,即可使得料盒1在横向上没有限位,从而便于料盒1横向位移。
如图9所示,推料组件83包括设置在装卸平台821一侧的推料气缸831,推料气缸831的活塞杆处固定有转动电机832,转动电机832的输出端固定有推块833,推块833一端呈半圆形且可自由进入料盒1内部,另一端表面凸起且当需要推动料盒1移动时,该凸起端抵触在料盒1侧壁上。
其中,在需要推动料片时,通过转动电机832带动推块833转动,使得推块833的凸起端不再抵触料盒1侧壁,而进入料盒1内部,随后通过推料气缸831驱动推块833朝料片移动,从而能有效的将料片推出,在推出一个料片后,推板恢复原位,再通过装卸气缸825驱动料盒1下移,使得推板能继续横向顶出另一个料片;
而在需要推动料盒1时,只需解除滑杆822对料盒1的限位,再启动推料气缸831,使得推块833能抵触料盒1侧壁并推出料盒1。
如图10所示,装载小车84包括底板841,底板841顶面两侧均设置有定位块842,两块定位块842相对的一面上均开设有滑槽843,滑槽843内滑动有夹持块844,两块夹持块844相对设置,滑槽843内底壁与夹持块844之间设置有若干弹性件845,在本实施例中,弹性件845为压簧,底板841底部转动有两对车轮组846,两对车轮组846之间通过皮带847相连,底板841底部设置有驱动电机848,驱动电机848的输出端连接有位于皮带847内部的驱动轮849。
其中,车轮组846包括车轮架8461以及转动于皮带847内部的转辊8462,转辊8462两端设置有在运输轨道85顶面滚动的滚轮8463,两个滚轮8463相互靠近的一侧均设置有导向轮8464,两个导向轮8464相互远离的一面外周壁上开设有导向圆角8465。
夹持块844一端开设有导向斜角8441,另一端设置有横截面呈直角梯形的限位块一8442,两块限位块一8442的大头端位于远离夹持块844的一端。夹持块844内部还开设有用于料片卡入的卡槽8443,卡槽8443内部一端倾斜设置有限位块二8444。
在装载料盒1时,推料气缸831推动料盒1朝装载小车84运动,使得料盒1两侧能挤压两块夹持块844,并在导向斜角8441的导向作用下向外运动,从而使得弹性件845收缩并产生恢复原状的弹力,直至料盒1完全卡入两块夹持块844之间,且通过夹持块844一端限位块一8442的限位作用,使得料盒1在运输过程中不易继续位移;
在装载料片时,推料气缸831推动料片进入夹持块844的卡槽8443内部,且在导向斜角8441的导向作用下,夹持块844挤压弹性件845并使得弹性件845收缩产生弹力,且通过两块夹持块844和限位块二8444对料片的限位,使得料片在运输过程中不易滑落;
在料盒1或料片装载完成后,通过驱动电机848驱动驱动轮849运动,从而通过皮带847带动转辊8462以及滚轮8463在运输轨道85顶面滚动,其中导向轮8464的设置使得滚轮8463在滚动过程中不易自运输轨道85上滚落,而导向圆角8465的开设减少了导向轮8464与运输轨道85内壁的接触面积,提高了装载小车84的运动流畅性。
如图11和图12所示,运输轨道85包括料盒输送轨道854及料片输送轨道855,料盒输送轨道854和料片输送轨道855之间形成有重合部856,重合部856两端均设置有轨道切换件857,料片输送轨道855内设置有用于驱动切换件滑动的切换气缸858。
其中,轨道切换件857包括两块相对设置且横截面呈V形的切换板一8571和切换板二8572,切换板一8571和切换板二8572的一端分别与料盒输送轨道854和料片输送轨道855之间形成有用于车轮组846通过的行驶腔一8573和行驶腔二8574,切换板一8571和切换板二8572一端分别设置有贴合部一8575和贴合部二8576,其中,贴合部一8575呈圆弧形且与料片输送轨道855的轨迹重合,贴合部二8576呈竖直状且与料盒输送轨道854的轨迹重合,贴合部一8575和贴合部二8576底部均与切换气缸858相连,且可在切换气缸858的驱动下同步进行左右摆动以达到以下效果:
在运输料盒1时,切换气缸858驱动贴合部二8576和贴合部一8575朝靠近料片输送轨道855的方向运动,使得贴合部二8576一端贴合料片输送轨道855,贴合部一8575一端脱离料盒输送轨道854并形成有用于导向轮8464通过的通道,使得装载小车84的滚轮8463能分别在料盒输送轨道854顶面及切换板二8572顶面滚动,直至装载小车84靠近料片输送轨道855一侧的导向轮8464能通过行驶腔一8573,从而完整进入料盒输送轨道854内;
在运输料片时,切换气缸858驱动贴合部一8575和贴合部二8576朝靠近料盒输送轨道854的方向运动,使得贴合部一8575贴合料盒输送轨道854内壁,贴合部二8576一端脱离料片输送轨道855并形成有用于导向轮8464通过的通道,使得装载小车84的滚轮8463能分别在料片输送轨道855顶面及贴合部二8576顶面滚动,直至装载小车84靠近料片输送轨道855一侧的导向轮8464能在贴合部一8575的导向作用下通过行驶腔二8574内,从而完整进入料片输送轨道855内部。
如图13所示,转运机构一861包括铰接在地面上的若干转运杆一8611,转运杆一8611的一端设置有与卸料轨道一852相连的托运板一8612,转运杆一8611和托运板一8612底部相铰接,转运机构二862包括若干铰接在地面上转运杆二8621,转运杆二8621的一端设置有与卸料轨道二853相连的托运板二8622,转运杆二8621与托运板二8622底部相铰接,料盒输送轨道854和料片输送轨道855一侧分别铰接有转运气缸一8613和用于驱动转运杆二8621转动的转运气缸二8623,转运气缸一8613和转运气缸二8623的活塞杆分别与转运杆一8611和转运杆二8621铰接。
其中,托运板一8612和托运板二8622顶部分别设置有连接架一8614和连接架二8624,连接架一8614和连接架二8624顶部分别设置有压料气缸一8615和压料气缸二8625,压料气缸一8615和压料气缸二8625的活塞杆处分别设置有用于抵压装载小车84顶面的压架一8616和压架二8626,卸料气缸一863和卸料气缸二864分别设置在压架一8616和压架二8626侧壁上且卸料气缸一863和卸料气缸二864的输出轴上均设置有压板8617。
在装载小车84带动料盒1运输至卸料轨道一852处时,通过转运气缸一8613顶起若干转运杆一8611,从而带动托运板一8612和卸料轨道一852连同装载小车84和料盒1一同转动至上料平台21侧方位置,随后启动压料气缸一8615,带动压架一8616抵住装载小车84顶面,使其无法移动,再启动卸料气缸一863,使得卸料气缸一863的压板8617能将料盒1自装载小车84上推出,而在料盒1推出过程中,由于限位块一8442呈直角梯形且具有斜面,使得料盒1能顺畅的脱离装载小车84,从而完成料盒1的自动供料;
在装载小车84带动料片运输至卸料轨道二853处时,通过转运气缸二8623顶起若干转运杆二8621,从而带动托运板二8622和卸料轨道二853连同装载小车84和料片一同转动至料片放置平台31侧方位置,随后启动压料气缸二8625,带动压架二8626抵住装载小车84顶面,使其无法移动,再启动卸料气缸二864,使得卸料气缸二864的压板8617能将料片自装载小车84上推出,而在料片推出过程中,由于限位块二8444倾斜设置,使得料片能顺畅的脱离装载小车84,从而完成料片的自动供料;
而在装载小车84运输料盒1或料片结束后,驱动电机848再次启动并在切换气缸858的配合下,装载小车84能回到原始位置,继续接受料盒1或料片,从而完成该自动供料模组8的整体工作流程。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本领域的技术人员应当了解,本发明不受上述实施例的限制,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入本发明要求保护的范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种高速高精共晶贴片机,包括上料部、晶圆模组(4)、配置有料片传输轨道(51)的料片传输模组(5)、转塔邦头(6)及下料部(7),其特征在于:
所述上料部包括叠式载具上料模组(3)、料盒式装载上料模组(2)和自动供料模组(8),
所述料盒式装载上料模组(2)包括:
料盒(1),用于存放料片;
上料平台(21),用于放置料盒(1),
基准平台(22),用于使料盒(1)与料片传输轨道(51)对齐,
上料平台Y轴推杆马达(23),用于推动料盒(1)在料片传输轨道(51)上朝基准平台(22)滑动,
Y轴料盒(1)基准马达,用于带动基准平台(22)运动,
夹料盒(1)气缸,设置于基准平台(22)上,用于夹持料盒(1),
托举料盒Z轴马达(26),用于托举料盒(1)且带动料盒(1)Z向运动,
料盒定位气缸(27),用于带动料盒(1)紧贴基准平台(22),
推料杆X轴马达(28),用于弹出并带动料盒(1)内的料片X向运动,使料片进入料片传输轨道(51)内部,
下料平台(29),设置于上料平台(21)下方,用于放置料盒(1),
下料推杆Y轴马达(291),用于推动料盒(1)进入下料平台(29)内;
所述叠式载具上料模组(3)包括:
料片放置平台(31),用于放置料片,
料片供给Z轴马达(32),用于带动料片放置平台(31)运动至等待吸片位置,
吸片Y轴马达(33),一端设置有若干吸头(331),用于带动吸头(331)Y向运动至设定吸片位置,
吸片Z轴马达(34),用于带动吸头(331)Z向运动,
真空电磁阀(35),用于抽吸吸头(331)内部的空气;
所述自动供料模组(8)包括:
传送带(81),用于传送料片至料盒(1)内,
装卸组件(82),用于安装和卸载料盒(1),
推料组件(83),设置于料盒(1)一侧且用于推动料盒(1)或料片运动;
装载小车(84),用于安装料盒(1)或料片,
运输轨道(85),用于装载小车(84)滑动且两侧分别开设有卸料槽(851),两个所述卸料槽(851)内分别设置有用于对料盒式装载上料模组(2)供料的卸料轨道一(852)和用于对叠式载具上料模组(3)供料的卸料轨道二(853),
卸料组件(86),包括有用于驱动卸料轨道一(852)和卸料轨道二(853)转动并分别运动至上料平台(21)和料片放置平台(31)一侧的转运机构一(861)和转运机构二(862),以及用于推动料盒(1)运动的卸料气缸一(863)和用于推动料片运动的卸料气缸二(864);
其中,所述运输轨道(85)包括料盒输送轨道(854)及料片输送轨道(855),所述料盒输送轨道(854)和料片输送轨道(855)之间形成有重合部(856),所述重合部(856)两端均设置有轨道切换件(857),所述轨道切换件(857)用于左右滑动以切换装载小车(84)的滑动轨道,所述料片输送轨道(855)内设置有用于驱动切换件滑动的切换气缸(858);
所述轨道切换件(857)包括两块相对设置且横截面呈V形的切换板一(8571)和切换板二(8572),所述切换板一(8571)和切换板二(8572)的一端分别与料盒(1)输送轨道和料片输送轨道(855)之间形成有用于车轮组(846)通过的行驶腔一(8573)和行驶腔二(8574),所述切换板一(8571)和切换板二(8572)另一端可在切换气缸(858)的驱动下同步进行左右摆动。
2.根据权利要求1所述的一种高速高精共晶贴片机,其特征在于:所述装卸组件(82)包括装卸平台(821),所述装卸平台(821)表面设置有若干用于卡入料盒(1)内部的滑杆(822),若干所述滑杆(822)之间滑动有用于卡入料盒(1)底部的滑板(823),所述装卸平台(821)顶面设置有与滑板(823)底部相连的推板气缸(824),所述装卸平台(821)底部设置有用于驱动装卸平台(821)上下滑动的装卸气缸(825)。
3.根据权利要求1所述的一种高速高精共晶贴片机,其特征在于:所述推料组件(83)包括推料气缸(831),所述推料气缸(831)的活塞杆处固定有转动电机(832),所述转动电机(832)的输出端固定有推块(833)。
4.根据权利要求1所述的一种高速高精共晶贴片机,其特征在于:所述装载小车(84)包括底板(841),所述底板(841)顶面两侧均设置有定位块(842),两块所述定位块(842)相对的一面上均开设有滑槽(843),所述滑槽(843)内滑动有夹持块(844),所述滑槽(843)内底壁与夹持块(844)之间设置有若干弹性件(845),所述底板(841)底部设置有两对车轮组(846),两对所述车轮组(846)之间通过皮带(847)相连,所述底板(841)底部设置有驱动电机(848),所述驱动电机(848)的输出端连接有位于皮带(847)内部的驱动轮(849)。
5.根据权利要求1所述的一种高速高精共晶贴片机,其特征在于:所述转运机构一(861)包括铰接在地面上的若干转运杆一(8611),所述转运杆一(8611)的一端设置有与卸料轨道一(852)相连的托运板一(8612),所述转运杆一(8611)和托运板一(8612)底部相铰接,所述转运机构二(862)包括若干铰接在地面上转运杆二(8621),所述转运杆二(8621)的一端设置有与卸料轨道二(853)相连的托运板二(8622),所述转运杆二(8621)与托运板二(8622)底部相铰接,所述料盒(1)输送轨道和料片输送轨道(855)一侧分别铰接有转运气缸一(8613)和用于驱动转运杆二(8621)转动的转运气缸二(8623),所述转运气缸一(8613)和转运气缸二(8623)的活塞杆分别与转运杆一(8611)和转运杆二(8621)铰接。
6.根据权利要求5所述的一种高速高精共晶贴片机,其特征在于:所述托运板一(8612)和托运板二(8622)顶部分别设置有连接架一(8614)和连接架二(8624),所述连接架一(8614)和连接架二(8624)顶部分别设置有压料气缸一(8615)和压料气缸二(8625),所述压料气缸一(8615)和压料气缸二(8625)的活塞杆处分别设置有用于抵压装载小车(84)顶面的压架一(8616)和压架二(8626),所述卸料气缸一(863)和卸料气缸二(864)分别设置在压架一(8616)和压架二(8626)侧壁上且卸料气缸一(863)和卸料气缸二(864)的输出轴上均设置有压板(8617)。
CN202211274049.7A 2022-10-18 2022-10-18 一种高速高精共晶贴片机 Active CN115458457B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202211274049.7A CN115458457B (zh) 2022-10-18 2022-10-18 一种高速高精共晶贴片机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202211274049.7A CN115458457B (zh) 2022-10-18 2022-10-18 一种高速高精共晶贴片机

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN115458457A CN115458457A (zh) 2022-12-09
CN115458457B true CN115458457B (zh) 2023-08-01

Family

ID=84310005

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202211274049.7A Active CN115458457B (zh) 2022-10-18 2022-10-18 一种高速高精共晶贴片机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN115458457B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115621180B (zh) * 2022-12-20 2023-03-17 常州铭赛机器人科技股份有限公司 引线框架上料装置及其上料方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109360803A (zh) * 2018-11-16 2019-02-19 罗博特科智能科技股份有限公司 一种电池片料盒输送切换装置
CN209684654U (zh) * 2018-12-28 2019-11-26 罗博特科智能科技股份有限公司 一种电池片料盒切换装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4697974A (en) * 1986-01-24 1987-10-06 Trimedia Corporation Pallet-loading system
JP5440870B2 (ja) * 2010-08-19 2014-03-12 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN210403669U (zh) * 2019-08-30 2020-04-24 恩纳基智能科技无锡有限公司 多功能芯片拾取放置装置
CN210837682U (zh) * 2019-12-26 2020-06-23 深圳市微恒自动化设备有限公司 一种新型固晶机收料系统
CN212412011U (zh) * 2020-07-15 2021-01-26 深圳新益昌科技股份有限公司 自动合片机
CN113571456A (zh) * 2021-07-21 2021-10-29 华天科技(西安)有限公司 一种解决半导体封装行业ic芯片划伤的加工设备及加工方法
CN113793823B (zh) * 2021-09-06 2022-11-29 上海赢朔电子科技股份有限公司 一种双模式的固晶机自动上料机构
CN114038786A (zh) * 2021-11-25 2022-02-11 上海赢朔电子科技股份有限公司 一种高速高精度固晶机及其使用方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109360803A (zh) * 2018-11-16 2019-02-19 罗博特科智能科技股份有限公司 一种电池片料盒输送切换装置
CN209684654U (zh) * 2018-12-28 2019-11-26 罗博特科智能科技股份有限公司 一种电池片料盒切换装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN115458457A (zh) 2022-12-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100590787B1 (ko) 열교환기 조립장치
JPS6351223A (ja) 包装機械に用紙を送る搬送装置
CN115458457B (zh) 一种高速高精共晶贴片机
CN212831342U (zh) 下料装置
CN106659109B (zh) 一种多种板料复合整理装置
CN114735296A (zh) 一种烟草包装机异型烟输送装置
CN114426190B (zh) 触点摆放设备
CN110980236B (zh) 一种自动上卸料盒装置
CN212162301U (zh) 排插焊接设备
CN210150266U (zh) 一种芯板堆垛自动化设备
CN114348345A (zh) 一种机械手纸板上线机
CN111806758A (zh) 一种电路基板落料机构及落料方法
CN112811078A (zh) 一种输送定位装置及板件自动收取设备
JP3346071B2 (ja) 板材加工設備
CN112660833A (zh) 一种叠片式自动排片机
JPS60145000A (ja) 導体板用加工装置の導体板受渡し装置
CN111001723A (zh) 一种新型板料上下料装置
CN217099062U (zh) 折叠盒成型机的送料机构
CN218907883U (zh) 一种托盘上料机构
CN212638078U (zh) 一种扁平马达自动打包设备
CN219525581U (zh) 一种全自动对接生熟料升降料仓
CN214325470U (zh) 食品装盒出料装置
CN115009848B (zh) 一种自动出框下料方法以及自动出框下料设备
JP3331796B2 (ja) 板材ローダ
CN116534522B (zh) 一种型材焊接排料装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant