CN113793823B - 一种双模式的固晶机自动上料机构 - Google Patents

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Abstract

本发明属于半导体固晶设备技术领域，具体是一种双模式的固晶机自动上料机构，包括吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构。同现有技术相比，通过将叠片台、送料轨道集成在推料盒机构上，可以不用拆除机构即可实现两种上料模式切换，选择基板叠放上料时，将送料轨道从推料盒机构下抽出，基板叠放在叠片台上，吸料机构将基板运至送料轨道上料，其余机构进入等待模式，选择料盒上料时，将送料轨道收回推料盒机构下，料盒放在叠片台上，推料盒机构将料盒推至升降机构上，推片机构与升降机构配合进行上料，卸载料盒时，升降机构将料盒降至收料盒机构水平位置，收料盒机构回收料盒。

Description

一种双模式的固晶机自动上料机构
技术领域
本发明属于半导体固晶设备技术领域，具体是一种双模式的固晶机自动上料机构。
背景技术
固晶机基板上料方式一般分为两种，一种是将基板放入料盒上料，一种是基板叠放上料。传统固晶机上料机构需要分别配置，切换模式需要将原有机构拆除重新安装机构才能实现，因而只能实现单一模式上料，灵活性不足，给实际生产带来不便，阻碍生产进程，不利于产业化大生产。
因此，需要设计一种不用拆除机构即可实现两种上料模式切换的上料机构，集成度高，通用性强，节省换料时间，提高作业效率。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足，提供了一种双模式的固晶机自动上料机构，可以不用拆除机构即可实现两种上料模式切换。
为达到上述目的，本发明是一种双模式的固晶机自动上料机构，包括吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构，吸料机构设置在叠片台上方，叠片台设置在推料盒机构上侧，推料盒机构的装载推杆穿过叠片台的长腰孔，送料轨道设置在推料盒机构下侧，升降机构位于推料盒机构的一侧，推片机构设置在升降机构的一侧，收料盒机构设置在升降机构前侧，收料盒机构的卸载推杆底板位于升降机构的料盒拖爪下方，送料轨道下侧、升降机构上部均设有料盒定位机构，推料盒机构包括装载平台、装载推杆、装载推杆底板、导向轴、同步带一、带轮、马达，导向轴设置在装载平台下方，导向轴两端与装载平台采用连接板连接，导向轴两端设有带轮，导向轴一端设有马达，马达与导向轴一端的带轮连接，导向轴两端的带轮之间采用同步带一连接，装载推杆底板与导向轴采用连接件一连接，连接件一套设在导向轴上，装载推杆底板与同步带一固定，装载推杆设置在装载推杆底板前端，装载推杆穿过装载平台，送料轨道包括送料轨道本体、底板、送片夹、送片夹马达、送片夹带轮、同步带二、送片夹导轨、送片轨道伸缩传感器、轨道材料检测传感器，送料轨道本体与底板活动连接，送片夹马达设置在底板一端，送片夹带轮设置在底板两端，送片夹马达与底板一端的送片夹带轮连接，底板两端的送片夹带轮采用同步带二连接，送片夹设置在底板前侧，送片夹与送片夹导轨连接，送片夹与同步带二采用连接件二连接，送片轨道伸缩传感器设置在推料盒机构下表面，轨道材料检测传感器设置在送料轨道本体上表面，收料盒机构包括卸载平台、卸载推杆、卸载推杆底板、卸载底板、卸载电机、卸载同步带、卸载同步轮、推杆到位点传感器、料盒满传感器，卸载底板设置在卸载平台下方，卸载电机设置在卸载底板的一端，卸载底板的两端设有卸载同步轮，卸载电机与卸载底板的一端卸载同步轮连接，卸载底板的两端的卸载同步轮采用卸载同步带连接，卸载推杆底板与卸载底板采用连接件三连接，卸载推杆底板与卸载同步带固定，卸载推杆设置在卸载推杆底板前端，推杆到位点传感器设置在卸载底板后侧，料盒满传感器设置在卸载平台后侧，升降机构包括升降台、料盒拖爪、升降台驱动机构、料盒到位传感器、料盒工作位传感器，料盒拖爪与升降台前侧连接，升降台驱动机构与升降台后侧连接，料盒到位传感器、料盒工作位传感器设置在升降台一侧，料盒到位传感器位于料盒工作位传感器上方，料盒工作位传感器与推片机构平行；
吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构按如下步骤运行：
步骤S1，送片轨道伸缩传感器检测送片轨道是否抽出，如是，则进入基板叠放上料模式，继续执行步骤 S2a，如否，则进入料盒上料模式，继续执行步骤S2b，
步骤S2a，吸料机构移动到叠片台上方，吸料Z轴机构带动吸头下降将叠片台上的基板吸取，料片传感器实时检测基板是否被吸头吸取，如是，则继续执行步骤S3a，如否，则重新执行步骤S2a，
步骤S3a，金属检测传感器判断吸取物品是否为基板，如是，则继续执行步骤S4a，如否，则继续执行步骤S4c，
步骤S4a，吸料机构将基板运至送料轨道，轨道材料检测传感器检测料片是否放置到位，如是，则继续执行步骤S5a，如否停机报警，
步骤S4c包括：吸料机构移动至丢弃隔纸位置，吸料机构下降至丢弃隔纸高度后，真空电磁阀关闭真空将隔纸丢弃，重新执行步骤S2a，步骤S5a，送片夹马达通过同步带二带动送片夹搬运基板输送至轨道内部；
步骤S2b，升降机构将料盒拖爪上升至取料位置，推料盒机构推动料盒前进，将料盒运至料盒拖爪上触发料盒到位传感器，继续执行步骤S3b，
步骤S3b，升降机构上部的料盒定位机构弹出，带动料盒Y向移动至用户设定料盒下降位置，升降机构上部的料盒定位机构收回，料盒拖爪托举料盒下降，至设定料盒第一卡槽与轨道齐平位，继续执行步骤S4b，
步骤S4b，送料轨道下方的料盒定位机构弹出，X向钳制料盒，料盒工作位传感器感应料盒是否到位，如是，则继续执行步骤S5b，如否停机报警，
步骤S5b，推片机构将框架从料盒中推送至轨道内部，送料轨道下方的料盒定位机构收回，料盒拖爪下降至下一卡槽，料盒工作位传感器检测料盒下一卡槽是否到位，如是，则重新执行步骤S4b，如否，则继续执行步骤S6b，
步骤S6b，料盒拖爪至收料盒机构水平位置，卸载推杆推动料盒Y向移动至推杆到位点传感器感应到卸载推杆到位，料盒托爪自动返回料盒托爪接料位置，卸载推杆自动返回卸载推杆接料位置，料盒满传感器检测收料盒机构是否堆满，如是，则提示用户收取料盒。
所述的吸料机构包括调节架、吸头、料片传感器、金属检测传感器、吸料Y轴机构、吸料Z轴机构、Z轴滑块、吸头保护传感器、真空电磁阀，吸料Z轴机构设置在吸料Y轴机构的一侧，调节架的上侧与吸料Z轴机构采用Z轴滑块连接，吸头设置在调节架底面，真空电磁阀设置在吸料Y轴机构的上，真空电磁阀与吸头采用气管连接，料片传感器、金属检测传感器设置在调节架上，吸头保护传感器设置在吸料Z轴机构上，吸头保护传感器位于Z轴滑块上方。
所述的调节架底部设有至少1个吸头。
所述的推片机构包括推片杆、推片杆原点传感器、固定板、导轨、推片带轮、同步带三、推片电机，固定板两端设有推片带轮，固定板一端设有推片电机，推片电机与固定板一端的推片带轮连接，固定板两端的推片带轮之间采用同步带三连接，导轨设置在固定板上侧，同步带三与导轨采用滑块连接，推片杆的后端与导轨采用滑块连接，推片杆原点传感器设置在固定板后侧。
所述的料盒定位机构包括料盒定位气缸、料盒定位块，料盒定位气缸与料盒定位块连接。
本发明同现有技术相比，通过将叠片台、送料轨道集成在推料盒机构上，可以不用拆除机构自动实现上料模式切换，选择基板叠放上料时，将送料轨道从推料盒机构下抽出，基板叠放在叠片台上，吸料机构将基板运至送料轨道上料，其余机构进入等待模式，选择料盒上料时，将送料轨道收回推料盒机构下，料盒放在叠片台上，推料盒机构将料盒推至升降机构上，推片机构进行上料，卸载料盒时，升降机构将料盒降至收料盒机构水平位置，收料盒机构回收料盒。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
图2为本发明吸料机构侧视图。
图3为本发明吸料机构结构示意图。
图4为本发明推料盒机构侧视图。
图5为本发明推料盒机构结构示意图。
图6为本发明推料盒机构与送料轨道连接示意图。
图7为本发明送料轨道仰视图。
图8为本发明推料盒机构与送料轨道俯视图。
图9 为本发明送料轨道结构示意图。
图10 为本发明升降机构结构示意图。
图11为本发明升降台立体图。
图12为本发明收料盒机构结构示意图。
图13为本发明收料盒机构的卸载平台结构示意图。
图14为本发明推片机构结构示意图。
具体实施方式
现结合附图对本发明做进一步描述。
如附图1、图4、图7、图10所示，本发明是一种双模式的固晶机自动上料机构，包括吸料机构1、推料盒机构2、叠片台3、送料轨道4、收料盒机构5、推片机构6、升降机构7、料盒定位机构8，吸料机构1设置在叠片台3上方，叠片台3设置在推料盒机构2上侧，推料盒机构2的装载推杆2-2穿过叠片台3的长腰孔，送料轨道4设置在推料盒机构2下侧，升降机构7位于推料盒机构2的一侧，推片机构6设置在升降机构7的一侧，收料盒机构5设置在升降机构7前侧，收料盒机构5的卸载推杆底板5-3位于升降机构7的料盒拖爪7-2下方，送料轨道4下侧、升降机构7上部均设有料盒定位机构8，结合图4~图8，推料盒机构2包括装载平台2-1、装载推杆2-2、装载推杆底板2-3、导向轴2-4、同步带一2-5、带轮2-6、马达2-7，导向轴2-4设置在装载平台2-1下方，导向轴2-4两端与装载平台2-1采用连接板2-8连接，导向轴2-4两端设有带轮2-6，导向轴2-4一端设有马达2-7，马达2-7与导向轴2-4一端的带轮2-6连接，导向轴2-4两端的带轮2-6之间采用同步带一2-5连接，装载推杆底板2-3与导向轴2-4采用连接件一连接，连接件一套设在导向轴2-4上，装载推杆底板2-3与同步带一2-5固定，装载推杆2-2设置在装载推杆底板2-3前端，装载推杆2-2穿过装载平台2-1，结合图6、图7、图9，送料轨道4包括送料轨道本体4-1、底板4-2、送片夹4-3、送片夹马达4-4、送片夹带轮4-5、同步带二4-6、送片夹导轨4-7、送片轨道伸缩传感器4-8、轨道材料检测传感器4-9，送料轨道本体4-1与底板4-2活动连接，送片夹马达4-4设置在底板4-2一端，送片夹带轮4-5设置在底板4-2两端，送片夹马达4-4与底板4-2一端的送片夹带轮4-5连接，底板4-2两端的送片夹带轮4-5采用同步带二4-6连接，送片夹4-3设置在底板4-2前侧，送片夹4-3与送片夹导轨4-7连接，送片夹4-3与同步带二4-6采用连接件二连接，送片轨道伸缩传感器4-8设置在推料盒机构2下表面，轨道材料检测传感器4-9设置在送料轨道本体4-1上表面，结合图12、图13，收料盒机构5包括卸载平台5-1、卸载推杆5-2、卸载推杆底板5-3、卸载底板5-4、卸载电机5-5、卸载同步带5-6、卸载同步轮5-7、推杆到位点传感器5-8、料盒满传感器5-9，卸载底板5-4设置在卸载平台5-1下方，卸载电机5-5设置在卸载底板5-4的一端，卸载底板5-4的两端设有卸载同步轮5-7，卸载电机5-5与卸载底板5-4的一端卸载同步轮5-7连接，卸载底板5-4的两端的卸载同步轮5-7采用卸载同步带5-6连接，卸载推杆底板5-3与卸载底板5-4采用连接件三连接，卸载推杆底板5-3与卸载同步带5-6固定，卸载推杆5-2设置在卸载推杆底板5-3前端，推杆到位点传感器5-8设置在卸载底板5-4后侧，料盒满传感器5-9设置在卸载平台5-1后侧，结合图10、图11，升降机构7包括升降台7-1、料盒拖爪7-2、升降台驱动机构7-3、料盒到位传感器7-4、料盒工作位传感器7-5，料盒拖爪7-2与升降台7-1前侧连接，升降台驱动机构7-3与升降台后侧7-1连接，料盒到位传感器7-4、料盒工作位传感器7-5设置在升降台7-1一侧，料盒到位传感器7-4位于料盒工作位传感器7-5上方，料盒工作位传感器7-5与推片机构6平行；
吸料机构1、推料盒机构2、叠片台3、送料轨道4、收料盒机构5、推片机构6、升降机构7、料盒定位机构8按如下步骤运行：
步骤S1，送片轨道伸缩传感器4-8检测送片轨道4是否抽出，如是，则进入基板叠放上料模式，继续执行步骤 S2a，如否，则进入料盒上料模式，继续执行步骤S2b，
步骤S2a，吸料机构1移动到叠片台3上方，吸料Z轴机构1-6带动吸头1-2下降将叠片台3上的基板吸取，料片传感器1-3实时检测基板是否被吸头1-2吸取，如是，则继续执行步骤S3a，如否，则重新执行步骤S2a，
步骤S3a，金属检测传感器1-4判断吸取物品是否为基板，如是，则继续执行步骤S4a，如否，则继续执行步骤S4c，
步骤S4a，吸料机构1将基板运至送料轨道4，轨道材料检测传感器4-9检测料片是否放置到位，如是，则继续执行步骤S5a，如否停机报警，
步骤S4c，吸料机构1向移动至丢弃隔纸位置，吸料机构1下降至丢弃隔纸高度后，真空电磁阀1-9关闭真空将隔纸丢弃，重新执行步骤S2a，
步骤S5a，送片夹马达4-4通过同步带二4-6带动送片夹4-3搬运基板输送至轨道内部；
步骤S2b，升降机构7将料盒拖爪7-2上升至取料位置，推料盒机构2推动料盒前进，将料盒运至料盒拖爪7-2上触发料盒到位传感器7-4，继续执行步骤S3b，
步骤S3b，升降机构7上部的料盒定位机构8弹出，带动料盒Y向移动至用户设定料盒下降位置，升降机构7上部的料盒定位机构8收回，料盒拖爪7-2托举料盒下降，至设定料盒第一卡槽与轨道齐平位，继续执行步骤S4b，
步骤S4b，送料轨道4下方的料盒定位机构8弹出，X向钳制料盒，料盒工作位传感器7-5感应料盒是否到位，如是，则继续执行步骤S5b，如否停机报警，
步骤S5b，推片机构6将框架从料盒中推送至轨道内部，送料轨道4下方的料盒定位机构8收回，料盒拖爪7-2下降至下一卡槽，料盒工作位传感器7-5检测料盒下一卡槽是否到位，如是，则重新执行步骤S4b，如否，则继续执行步骤S6b，
步骤S6b，料盒拖爪7-2至收料盒机构5水平位置，卸载推杆5-2推动料盒Y向移动至推杆到位点传感器5-8感应到卸载推杆5-2到位，料盒托爪7-2自动返回料盒托爪7-2接料位置，卸载推杆5-2自动返回卸载推杆5-2接料位置，料盒满传感器5-9检测收料盒机构5是否堆满，如是，则提示用户收取料盒。
其中，如图2、图3所示，吸料机构1包括调节架1-1、吸头1-2、料片传感器1-3、金属检测传感器1-4、吸料Y轴机构1-5、吸料Z轴机构1-6、Z轴滑块1-7、吸头保护传感器1-8、真空电磁阀1-9，吸料Z轴机构1-6设置在吸料Y轴机构1-5的一侧，调节架1-1的上侧与吸料Z轴机构1-6采用Z轴滑块1-7连接，吸头1-2设置在调节架1-1底面，真空电磁阀1-9设置在吸料Y轴机构1-5的上，真空电磁阀1-9与吸头1-2采用气管连接，料片传感器1-3、金属检测传感器1-4设置在调节架1-1上，吸头保护传感器1-8设置在吸料Z轴机构1-6上，吸头保护传感器1-8位于Z轴滑块1-7上方，调节架1-1底部设有至少1个吸头1-2。
如图12所示，推片机构6包括推片杆6-1、推片杆原点传感器6-2、固定板6-3、导轨6-4、推片带轮6-5、同步带三6-6、推片电机6-7，固定板6-3两端设有推片带轮6-5，固定板6-3一端设有推片电机6-7，推片电机6-7与固定板6-3一端的推片带轮6-5连接，固定板6-3两端的推片带轮6-5之间采用同步带三6-6连接，导轨6-4设置在固定板6-3上侧，同步带三6-6与导轨6-4采用滑块连接，推片杆6-1的后端与导轨6-4采用滑块连接，推片杆原点传感器6-2设置在固定板6-3后侧。
如图7、图10所示，料盒定位机构8包括料盒定位气缸8-1、料盒定位块8-2，料盒定位气缸8-1与料盒定位块8-2连接。
实施例：选择基板叠放上料时，将送料轨道4从推料盒机构2下抽出，吸料机构1移动到叠片台3上方，吸料Z轴机构1-6带动吸头1-2下降将叠片台3上的基板吸取，料片传感器1-3实时检测基板是否被吸头1-2吸取，金属检测传感器1-4判断吸取物品是否为基板，如否，吸料机构1向移动至丢弃隔纸位置，吸料机构1下降至丢弃隔纸高度后，真空电磁阀1-9关闭真空将隔纸丢弃，后返回吸片位置进行下次吸片循环，如是，吸料机构1将基板运至送料轨道4，轨道材料检测传感器4-9检测到料片，送片夹马达4-4通过同步带二4-6带动送片夹4-3移动到接料位置，送片夹4-3搬运基板输送至轨道内部，当吸料机构1在吸料过程中被阻碍到运行时，吸头1-2被托起触发吸头保护传感器1-8报警停机；选择料盒上料时，将送片轨道4收回至推料盒机构2下方触发送片轨道伸缩传感器4-8，升降机构7将料盒拖爪7-2上升至取料位置，推料盒机构2推动料盒前进，将料盒运至料盒拖爪7-2上触发料盒到位传感器7-4，升降机构7上部的料盒定位机构8弹出，带动料盒Y向移动至用户设定料盒下降位置，升降机构7上部的料盒定位机构8收回，料盒拖爪7-2托举料盒下降，至设定料盒第一卡槽与轨道齐平位，送料轨道4下方的料盒定位机构8弹出，X向钳制料盒，料盒工作检传感器7-4感应料盒到位，推片机构6将框架从料盒中推送至轨道内部，送料轨道4下方的料盒定位机构8收回，推片机构6的推片杆6-1收回，并触发推片杆原点传感器6-2，料盒拖爪7-2下降至料盒下一卡槽位置，料盒工作位传感器7-5检测料盒下一卡槽是否到位，如到位推片机构6继续完成下次推片循环，如未到位，料盒拖爪7-2移动至收料盒机构5水平位置，卸载推杆5-2推动料盒X向移动至推杆到位点传感器5-8感应到卸载推杆5-2到位，料盒托爪7-2自动返回料盒托爪7-2接料位置，卸载推杆5-2自动返回卸载推杆5-2接料位置，料盒满传感器5-9检测收料盒机构5是否堆满，如是提示用户收取料盒。
因此采用本发明可以不用拆除机构即可实现两种上料模式切换，集成度高，通用性强，节省换料时间，提高作业效率。

Claims (5)

1.一种双模式的固晶机自动上料机构，包括吸料机构（1）、推料盒机构（2）、叠片台（3）、送料轨道（4）、收料盒机构（5）、推片机构（6）、升降机构（7）、料盒定位机构（8），其特征在于：吸料机构（1）设置在叠片台（3）上方，叠片台（3）设置在推料盒机构（2）上侧，推料盒机构（2）的装载推杆（2-2）穿过叠片台（3）的长腰孔，送料轨道（4）设置在推料盒机构（2）下侧，升降机构（7）位于推料盒机构（2）的一侧，推片机构（6）设置在升降机构（7）的一侧，收料盒机构（5）设置在升降机构（7）前侧，收料盒机构（5）的卸载推杆底板（5-3）位于升降机构（7）的料盒拖爪（7-2）下方，送料轨道（4）下侧、升降机构（7）上部均设有料盒定位机构（8），推料盒机构（2）包括装载平台（2-1）、装载推杆（2-2）、装载推杆底板（2-3）、导向轴（2-4）、同步带一（2-5）、带轮（2-6）、马达（2-7），导向轴（2-4）设置在装载平台（2-1）下方，导向轴（2-4）两端与装载平台（2-1）采用连接板（2-8）连接，导向轴（2-4）两端设有带轮（2-6），导向轴（2-4）一端设有马达（2-7），马达（2-7）与导向轴（2-4）一端的带轮（2-6）连接，导向轴（2-4）两端的带轮（2-6）之间采用同步带一（2-5）连接，装载推杆底板（2-3）与导向轴（2-4）采用连接件一连接，连接件一套设在导向轴（2-4）上，装载推杆底板（2-3）与同步带一（2-5）固定，装载推杆（2-2）设置在装载推杆底板（2-3）前端，装载推杆（2-2）穿过装载平台（2-1），送料轨道（4）包括送料轨道本体（4-1）、底板（4-2）、送片夹（4-3）、送片夹马达（4-4）、送片夹带轮（4-5）、同步带二（4-6）、送片夹导轨（4-7）、送片轨道伸缩传感器（4-8）、轨道材料检测传感器（4-9），送料轨道本体（4-1）与底板（4-2）活动连接，送片夹马达（4-4）设置在底板（4-2）一端，送片夹带轮（4-5）设置在底板（4-2）两端，送片夹马达（4-4）与底板（4-2）一端的送片夹带轮（4-5）连接，底板（4-2）两端的送片夹带轮（4-5）采用同步带二（4-6）连接，送片夹（4-3）设置在底板（4-2）前侧，送片夹（4-3）与送片夹导轨（4-7）连接，送片夹（4-3）与同步带二（4-6）采用连接件二连接，送片轨道伸缩传感器（4-8）设置在推料盒机构（2）下表面，轨道材料检测传感器（4-9）设置在送料轨道本体（4-1）上表面，收料盒机构（5）包括卸载平台（5-1）、卸载推杆（5-2）、卸载推杆底板（5-3）、卸载底板（5-4）、卸载电机（5-5）、卸载同步带（5-6）、卸载同步轮（5-7）、推杆到位点传感器（5-8）、料盒满传感器（5-9），卸载底板（5-4）设置在卸载平台（5-1）下方，卸载电机（5-5）设置在卸载底板（5-4）的一端，卸载底板（5-4）的两端设有卸载同步轮（5-7），卸载电机（5-5）与卸载底板（5-4）的一端卸载同步轮（5-7）连接，卸载底板（5-4）的两端的卸载同步轮（5-7）采用卸载同步带（5-6）连接，卸载推杆底板（5-3）与卸载底板（5-4）采用连接件三连接，卸载推杆底板（5-3）与卸载同步带（5-6）固定，卸载推杆（5-2）设置在卸载推杆底板（5-3）前端，推杆到位点传感器（5-8）设置在卸载底板（5-4）后侧，料盒满传感器（5-9）设置在卸载平台（5-1）后侧，升降机构（7）包括升降台（7-1）、料盒拖爪（7-2）、升降台驱动机构（7-3）、料盒到位传感器（7-4）、料盒工作位传感器（7-5），料盒拖爪（7-2）与升降台（7-1）前侧连接，升降台驱动机构（7-3）与升降台后侧（7-1）连接，料盒到位传感器（7-4）、料盒工作位传感器（7-5）设置在升降台（7-1）一侧，料盒到位传感器（7-4）位于料盒工作位传感器（7-5）上方，料盒工作位传感器（7-5）与推片机构（6）平行；
吸料机构（1）、推料盒机构（2）、叠片台（3）、送料轨道（4）、收料盒机构（5）、推片机构（6）、升降机构（7）、料盒定位机构（8）按如下步骤运行：
步骤S1，送片轨道伸缩传感器（4-8）检测送片轨道（4）是否抽出，如是，则进入基板叠放上料模式，继续执行步骤 S2a，如否，则进入料盒上料模式，继续执行步骤S2b，
步骤S2a，吸料机构（1）移动到叠片台（3）上方，吸料Z轴机构（1-6）带动吸头（1-2）下降将叠片台（3）上的基板吸取，料片传感器（1-3）实时检测基板是否被吸头（1-2）吸取，如是，则继续执行步骤S3a，如否，则重新执行步骤S2a，
步骤S3a，金属检测传感器（1-4）判断吸取物品是否为基板，如是，则继续执行步骤S4a，如否，则继续执行步骤S4c，
步骤S4a，吸料机构（1）将基板运至送料轨道（4），轨道材料检测传感器（4-9）检测料片是否放置到位，如是，则继续执行步骤S5a，如否停机报警，
步骤S4c，吸料机构（1）移动至丢弃隔纸位置，吸料机构（1）下降至丢弃隔纸高度后，真空电磁阀（1-9）关闭真空将隔纸丢弃，重新执行步骤S2a，
步骤S5a，送片夹马达（4-4）通过同步带二（4-6）带动送片夹（4-3）搬运基板输送至轨道内部；
步骤S2b，升降机构（7）将料盒拖爪（7-2）上升至取料位置，推料盒机构（2）推动料盒前进，将料盒运至料盒拖爪（7-2）上触发料盒到位传感器（7-4），继续执行步骤S3b，
步骤S3b，升降机构（7）上部的料盒定位机构（8）弹出，带动料盒Y向移动至用户设定料盒下降位置，升降机构（7）上部的料盒定位机构（8）收回，料盒拖爪（7-2）托举料盒下降，至设定料盒第一卡槽与轨道齐平位，继续执行步骤S4b，
步骤S4b，送料轨道（4）下方的料盒定位机构（8）弹出，X向钳制料盒，料盒工作位传感器（7-5）感应料盒是否到位，如是，则继续执行步骤S5b，如否停机报警，
步骤S5b，推片机构（6）将框架从料盒中推送至轨道内部，送料轨道（4）下方的料盒定位机构（8）收回，料盒拖爪（7-2）下降至下一卡槽，料盒工作位传感器（7-5）检测料盒下一卡槽是否到位，如是，则重新执行步骤S4b，如否，则继续执行步骤S6b，
步骤S6b，料盒拖爪（7-2）至收料盒机构（5）水平位置，卸载推杆（5-2）推动料盒Y向移动至推杆到位点传感器（5-8）感应到卸载推杆到位，料盒托爪（7-2）自动返回料盒托爪（7-2）接料位置，卸载推杆（5-2）自动返回卸载推杆（5-2）接料位置，料盒满传感器（5-9）检测收料盒机构（5）是否堆满，如是，则提示用户收取料盒。
2.根据权利要求1所述的一种双模式的固晶机自动上料机构，其特征在于：所述的吸料机构（1）包括调节架（1-1）、吸头（1-2）、料片传感器（1-3）、金属检测传感器（1-4）、吸料Y轴机构（1-5）、吸料Z轴机构（1-6）、Z轴滑块（1-7）、吸头保护传感器（1-8）、真空电磁阀（1-9），吸料Z轴机构（1-6）设置在吸料Y轴机构（1-5）的一侧，调节架（1-1）的上侧与吸料Z轴机构（1-6）采用Z轴滑块（1-7）连接，吸头（1-2）设置在调节架（1-1）底面，真空电磁阀（1-9）设置在吸料Y轴机构（1-5）的上，真空电磁阀（1-9）与吸头（1-2）采用气管连接，料片传感器（1-3）、金属检测传感器（1-4）设置在调节架（1-1）上，吸头保护传感器（1-8）设置在吸料Z轴机构（1-6）上，吸头保护传感器（1-8）位于Z轴滑块（1-7）上方。
3.根据权利要求2所述的一种双模式的固晶机自动上料机构，其特征在于：所述的调节架（1-1）底部设有至少1个吸头（1-2）。
4.根据权利要求1所述的一种双模式的固晶机自动上料机构，其特征在于：所述的推片机构（6）包括推片杆（6-1）、推片杆原点传感器（6-2）、固定板（6-3）、导轨（6-4）、推片带轮（6-5）、同步带三（6-6）、推片电机（6-7），固定板（6-3）两端设有推片带轮（6-5），固定板（6-3）一端设有推片电机（6-7），推片电机（6-7）与固定板（6-3）一端的推片带轮（6-5）连接，固定板（6-3）两端的推片带轮（6-5）之间采用同步带三（6-6）连接，导轨（6-4）设置在固定板（6-3）上侧，同步带三（6-6）与导轨（6-4）采用滑块连接，推片杆（6-1）的后端与导轨（6-4）采用滑块连接，推片杆原点传感器（6-2）设置在固定板（6-3）后侧。
5.根据权利要求1所述的一种双模式的固晶机自动上料机构，其特征在于：所述的料盒定位机构（8）包括料盒定位气缸（8-1）、料盒定位块（8-2），料盒定位气缸（8-1）与料盒定位块（8-2）连接。
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