CN113479619A - 一种芯片缓存机构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及生产自动化设备技术领域，公开了一种芯片缓存机构，用于对承载于芯片载具的芯片进行存储，所述芯片缓存机构包括平台安装板、设置在所述平台安装板上的料匣升降组件、接料输送线和推料组件；所述料匣升降组件用于缓存芯片载具，并带动其进行升降运动；所述接料输送线用于输送流入的芯片载具，并将芯片载具输送至所述料匣升降组件的料匣口；所述推料组件用于将所述料匣口处的芯片载具，推入所述料匣升降组件内进行缓存。本发明能够实现自动存储芯片，提高生产效率，提高自动化程度。

Description

一种芯片缓存机构

技术领域

本发明涉及生产自动化设备技术领域，更具体的说，特别涉及一种芯片缓存机构。

背景技术

芯片在使用前需要确定每个芯片的品质等级和性能，需要经过多次的检测及按品质等级进行分选。现有的芯片检测设备是单机使用，并采用人工进行上下料，其周转采用弹匣式周转盒，而每次的检测及分选时间都会比较长，需要很多人力。为减少人力，提高设备的自动化程度，需要把各检测单机组合成一条生产线，并配合机械手取放料，所以要进行缓存机构存储部分芯片来配合产线设备，便于后工序使用。同时也避免在前序机构不能使用时，可以人工把整盒单匣式周转盒放入，为后序工序设备供料，不需要停线，避免产生损失。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术存在的技术问题，提供一种芯片缓存机构，能够实现自动存储芯片，提高了生产效率和自动化程度。

为了解决以上提出的问题，本发明采用的技术方案为：

一种芯片缓存机构，用于对承载于芯片载具的芯片进行存储，所述芯片缓存机构包括平台安装板、设置在所述平台安装板上的料匣升降组件、接料输送线和推料组件；

所述料匣升降组件用于缓存芯片载具，并带动芯片载具进行升降运动；

所述接料输送线用于承接芯片载具，并将芯片载具输送至所述料匣升降组件的料匣口；

所述推料组件用于将所述料匣口处的芯片载具，推入所述料匣升降组件内进行缓存。

进一步的，所述料匣升降组件包括设置在所述平台安装板上的电机升降座、相对设置在电机升降座上的步进马达和缓存料匣，所述步进马达丝杆的端部穿过电机升降座并与缓存料匣位置相对应。

进一步的，所述电机升降座上设置有护板和弹簧压件，两者之间设置所述缓存料匣；所述电机升降座上设置连接所述弹簧压件的传动轴。

进一步的，所述电机升降座上设置起导向作用的导向轴，所述导向轴的端部穿过所述电机升降座并连接有顶升支撑板，所述顶升支撑板位于所述护板一侧。

进一步的，所述接料输送线包括设置在平台安装板的传送带安装板、设置在所述传送带安装板上的滚轮组件，所述滚轮组件上设置有输送带；所述传送带安装板上设置连接滚轮轴的步进电机，驱动输送带传送带动滚轮组件输送芯片载具。

进一步的，所述传送带安装板通过支撑板设置在平台安装板上；所述支撑板和平台安装板之间设置有滑动配合的移动板和滑道。

进一步的，所述推料组件包括电机推料底板、设置在电机推料底板上的直线导轨、与所述直线导轨滑动配合的螺母座，所述螺母座上设置丝杆步进电机，所述丝杆步进电机连接有推杆板；所述螺母座上设置有连接推杆板的气缸。

进一步的，所述缓存机构还包括用于对芯片夹具进行定位并使其落入芯片载具中的定位组件，所述定位组件包括气缸座、设置在气缸座上的定位气缸，所述定位气缸上设置顶板，所述顶板上设置用于定位芯片夹具的定位销；所述顶板上设置用于连接真空气管的有第一快速接头。

进一步的，所述缓存机构还包括用于将芯片载具阻挡的阻挡组件，所述阻挡组件包括阻挡气缸座、设置在所述阻挡气缸座上的阻挡气缸，所述阻挡气缸上设置阻挡芯片夹具的挡块。

进一步的，所述缓存机构还包括用于将芯片载具压紧的压紧组件，所述压紧组件包括压紧气缸座、设置在压紧气缸座上的压紧气缸，所述压紧气缸连接用于压紧芯片载具的侧推板。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

本发明提供的芯片存储机构，通过设置料匣升降组件缓存芯片载具，并通过接料输送线输送流入的芯片载具以及放置有芯片夹具的芯片载具，由推料组件将芯片载具可靠地推入料匣升降组件中实现芯片可靠缓存，能够解决在自动化生产线上自动存储芯片的问题，并能够满足产线设备的节拍，能够实现自动存储芯片，并大大提高了机构的生产效率，也提高了自动化程度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明中的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1为本发明实施例芯片缓存机构的结构示意图。

图2为本发明实施例料匣升降组件的结构示意图。

图3为本发明实施例料匣升降组件中弹簧压件的结构示意图。

图4为本发明实施例接料输送线的结构示意图。

图5为本发明实施例推料组件的结构示意图。

图6为本发明实施例定位组件的结构示意图。

图7为本发明实施例阻挡组件的结构示意图。

图8为本发明实施例压紧组件的主视图。

图9为本发明实施例压紧组件的俯视图。

图10为本发明实施例检测传感器组件的示意图。

附图标记说明如下：1-平台安装板、2-检测传感器组件、3-料匣升降组件、4-接料输送线、5-推料组件、6-定位组件、7-阻挡组件、8-感器组件、31-电机升降座、32-步进马达、33-缓存料匣、34-丝杆连接板、35-导向轴、36-传动轴、37-安装板件、38-顶升支撑板、39-缓冲垫、310-护板、311-料匣盖板、312-弹簧压件、41-传送带安装板、42-支撑板、43-滚轮组件、44-步进电机、45-步进电机座、46-输送带、48-移动板、49-加强筋板、431-传动轮组、432-输料轮组、51-直线导轨、52-电机推料底板、53-电机安装板、54-丝杆步进电机、55-螺母座、57-推杆板、58-气缸、59-导柱、5101-第一推料传感器、5102-第二推料传感器、5103-第三推料传感器、513-轴承座、514-轴承、515-无油衬套、61-气缸座、62-顶板、63-定位销、64-第一快速接头、65-传感器、66-滑台气缸、71-挡块、72-阻挡气缸座、73-滑台气缸、74-第二快速接头、81-感器用导轨、82-感应片、83-光电传感器、91-压紧气缸座、92-侧推板、93-微型接头、94-压紧气缸、100-芯片夹具、200-芯片载具、101-滑道。

具体实施方式

除非另有定义，本文所使用的所有技术和科学术语与属于本发明技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本文在说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明，例如，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置，仅是便于描述，不能理解为对本技术方案的限制。

本发明的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；本发明的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。本发明的说明书和权利要求书及上述附图说明中，当元件被称为“固定于”或“安装于”或“设置于”或“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接位于该另一个元件上。例如，当一个元件被称为“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接连接到该另一个元件上。

此外，在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本发明的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。

本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

参阅图1所示，本发明实施例提供一种芯片缓存机构，用于承接并输送上一工序传输来的空芯片载具，在输送过程中，将含有芯片的芯片夹具上料至芯片载具内，并将芯片、芯片夹具及芯片载具三者整体进行输送并缓存，从而实现芯片缓存。

所述芯片缓存机构包括平台安装板1、设置在所述平台安装板1上的料匣升降组件3、接料输送线4和推料组件5。

所述料匣升降组件3用于缓存芯片载具200，并带动所述芯片载具200进行升降运动。

所述接料输送线4用于承接芯片载具200，并将放置有芯片夹具100的芯片载具200输送至所述料匣升降组件3的料匣口。

所述推料组件5用于将所述料匣口处的芯片载具200，推入所述料匣升降组件3内进行缓存。

本实施例中，图1中箭头所示为所述接料输送线4的输送方向即芯片载具的流动方向，所述接料输送线4的一端为上料端，另一端为下料端(即料匣口)，所述料匣升降组件3位于所述接料输送线4下料端的一侧即对应所述料匣口，所述推料组件5设置在所述接料输送线4的一侧。空芯片载具200由所述接料输送线4的上料端进行流入，所述接料输送线4对空芯片载具200进行承接并输送，在输送过程中，将含有芯片的芯片夹具100上料至空的芯片载具200上，所述接料输送线4对芯片、芯片夹具100和芯片载具200整体进行输送，待输送至所述接料输送线4的下料端时，由所述推料组件5将含有芯片的芯片载具200推入所述料匣升降组件3内进行缓存。

进一步的，所述缓存机构还包括定位组件6、阻挡组件7及压紧组件9，所述定位组件6用于对芯片夹具进行定位，并使其落入所述接料输送线4上的芯片载具中。所述阻挡组件7用于对流入的芯片载具进行阻挡，使芯片载具定位在指定位置，方便芯片夹具能够可靠放入芯片载具上。所述压紧组件9用于将芯片载具轻压住，保证芯片载具不会移动，也方便芯片夹具可靠地放入芯片载具上。

本发明实施例中，所述芯片设置在芯片夹具100上，而芯片夹具100设置在芯片载具200上，由上一工序传输来的芯片载具200通过所述接料输送线4输送至料匣升降组件3以进行芯片缓存。由上一工序流入的为空芯片载具，通过阻挡组件7和压紧组件9对芯片载具进行阻挡和压紧定位，并通过定位组件6对外部机械手夹取的含有芯片的芯片夹具100进行定位使其可靠落入芯片载具200内。通过定位组件6、阻挡组件7和压紧组件9将芯片夹具准确放置于芯片载具上，再通过接料输送线4进行输送至料匣升降组件3的料匣口，由推料组件5将放置有芯片的芯片载具准确无误地推入所述料匣升降组件3中，从而实现芯片缓存，整个机构的结构简单、功能可靠也易于实现。

参阅图2所示，所述料匣升降组件3包括设置在所述平台安装板1上的电机升降座31，所述电机升降座31的一个侧面上设置有用于放置芯片载具的缓存料匣33，其相对的另一侧面上设置有步进马达32，所述步进马达32丝杆的端部穿过电机升降座31与缓存料匣33位置相对应。

进一步的，所述电机升降座31上设置有护板310和弹簧压件37(参阅图3所示)，两者之间设置所述缓存料匣33。本发明实施例中，通过设置护板310，便于取放缓存料匣33时设置一个基准靠板，方便对其进行定位。通过设置弹簧压件37与所述护板310配合，可以更可靠地对缓存料匣33进行定位，通过弹性压住缓存料匣33也方便取放缓存料匣33。

进一步的，所述电机升降座31上设置与所述步进马达32丝杆平行的传动轴36，所述传动轴36的端部连接所述弹簧压件37。具体的，为了保证连接可靠，所述步进马达32丝杆的另一端部设置有丝杆连接板34，所述传动轴36的端部还设置连接丝杆连接板34的安装板件37。

进一步的，所述丝杆连接板34和电机升降座31之间还设置起导向作用的导向轴35，所述导向轴35和电机升降座31之间设置起缓冲作用的缓冲垫39。所述导向轴35的端部穿过所述电机升降座31，并设置有顶升支撑板38，所述顶升支撑板38位于所述护板310一侧，在导向轴35的作用下进行升降便于对护板310进行支撑。

进一步的，所述缓存料匣33上沿芯片载具200流入方向的相对侧面上活动设置有料匣盖板311，用于防止芯片载具200在周转时滑出缓存料匣33。本发明实施例中，由于所述缓存料匣33是可以替换的，因此在芯片载具200流入缓存料匣33内后，需要取走整个缓存料匣33时，插入料匣盖板311防止其滑出。

进一步的，所述电机升降座31上并位于所述传动轴36一侧设置感器组件8，用于提供限位信号即步进马达32停止转动的信号。所述感器组件8包括与所述传动轴36平行的感器用导轨81，所述感器用导轨81上设置有感应片82和光电传感器83。具体的，根据实际需要，所述感器用导轨81上设置多组感应片82和光电传感器83。

本发明实施例中，所述电机升降座31上还设置有检测缓存料匣33是否放入及放平的检测传感器，从而保证整个料匣升降组件3工作的可靠性。

本发明实施例中，所述料匣升降组件3工作时，步进马达32工作带动丝杆上下移动，同时在导向轴35和传动轴36的带动下，弹性压件27和顶升支撑板38进行升降对缓存料匣33进行定位，丝杆支撑起流入缓存料匣33内，并能够带动缓存料匣33上升或下降一格芯片载具的距离，从而将芯片载具200缓存在缓存料匣33内。

参阅图4所示，所述接料输送线4包括相对设置的接料左输送线401、接料右输送线402，两者都包括传送带安装板41、设置在所述传送带安装板41上的滚轮组件43，所述滚轮组件43上设置有输送带46。所述传送带安装板41上还设置有步进电机座45并设置步进电机44，所述步进电机44连接滚轮组件43的驱动滚轮轴，驱动滚轮组件43上输送带46进行传送，并带动滚轮组件43输送芯片载具。

进一步的，所述传送带安装板41通过支撑板42设置在平台安装板1上。所述支撑板42和平台安装板1之间还设置有滑动配合的移动板48和滑道101(参阅图1中所示)，所述移动板48和所述支撑板42之间还设置加强筋板49，可以保证整个接料输送线4安装的稳定性。

进一步的，所述滚轮组件43包括相对设置在传送带安装板41上的传动轮组431和输料轮组432，所述传动轮组431上设置有输送带46，所述接料左输送线401和接料右输送线402两者上的输料轮组432相对设置，用于输送芯片载具。

本发明实施例中，所述步进电机44工作，驱动传动轮组431和输送带46传动，带动输料轮组432转动实现输送芯片载具200。通过移动板48和滑道101滑动配合，可以调整接料左输送线401和接料右输送线402之间的距离，即可以根据芯片载具的大小进行适应性调节。所述移动板48和滑道101可以根据实际需要设置一组或一组以上，可以保证整个机构工作的稳定性和可靠性。

参阅图5所示，所述推料组件5包括设置在传送带安装板41的电机推料底板52、设置在电机推料底板52上的直线导轨51、与所述直线导轨51滑动配合的螺母座55，所述螺母座55上设置电机安装板53并安装丝杆步进电机54。所述螺母座55上设置有气缸58，所述气缸58连接推杆板57并带动其进行平移。具体的，为了方便安装及保证连接可靠，所述螺母座55上设置有推块56，所述推块56上设置有气缸58和推杆板57，通过推块56使所述推杆板57和气缸58能够随螺母座55前进或后退，从而实现推杆板57推料的目的。

进一步的，为了保证所述气缸58带动推杆板57上下滑动的可靠和稳定性，两者之间设置有进行导向作用的导柱59，并设置有无油衬套515。

进一步的，为了保证丝杆步进电机54工作的可靠性，所述电机推料底板52上还设置有与所述丝杆步进电机54的丝杆配合的轴承座513和轴承514。

进一步的，所述电机推料底板52上并位于所述直线导轨51一侧还沿推杆板57推料方向设置有推料传感器组510。具体的，所述推料传感器组510包括检测芯片载具200推入缓存料匣33中到位的第一推料传感器5101、检测芯片载具推出缓存料匣33到位的第二推料传感器5102、以及检测推杆板57退回到位的第三推料传感器5102。

本发明实施例中，芯片载具200由所述接料输送线4的滚轮组件43输送至缓存料匣33的料匣口时，由于摩擦力的原因芯片载具并不会完全进入到缓存料匣33中，这时需要所述推料组件5工作将其推入缓存料匣33中。气缸58工作伸出推杆板57，丝杆步进电机54工作，带动螺母座55和推块56平移，进而驱动推杆板57平移并作用在芯片载具，将其推入缓存料匣33中。而当缓存料匣33存储满芯片载具200后，也通过推料组件5的推杆板57作用，将芯片载具200由缓存料匣33中推出进入下一工序。

参阅图6所示，所述定位组件6包括设置在所述传送带安装板41的气缸座61、设置在气缸座61上的定位气缸66，所述定位气缸66上设置顶板62，所述顶板62上设置用于定位芯片夹具100的定位销63。

进一步的，所述顶板62的侧面设置有用于连接真空气管的第一快速接头64，外部真空气路打开，并通过快速接头64作用在放入顶板62上的芯片夹具，可以将芯片夹具100吸住并达到将其放平整的目的。具体的，所述第一快速接头64对称设置有两个，可以更可靠地将芯片夹具100进行吸附，其数量可以根据实际需要进行增加或减少。

进一步的，所述顶板62的侧面设置有定位传感器65，用于检测顶板62上是否放入有芯片夹具100。

本发明实施例中，通过所述定位组件6将装有芯片的芯片夹具100进行定位，并将芯片夹具100可靠地放入芯片载具200上。通过定位气缸66伸出，带动顶板62进行平移，通过定位销63与放入顶板62上的芯片夹具100上定位孔配合进行定位。在定位传感器65检测到有芯片夹具100放入后，真空气路打开通过快速接头64吸住芯片夹具100，真空气路关闭后，芯片夹具100随着定位气缸66缩回，从而落入芯片载具200内。

参阅图7所示，所述阻挡组件7包括设置在所述传送带安装板41的阻挡气缸座72、设置在所述阻挡气缸座72上的阻挡气缸73，所述阻挡气缸73上设置阻挡芯片夹具100的挡块71。

进一步的，所述阻挡气缸座72上还设置第二快速接头74，用于为阻挡气缸73伸缩动作的进气排气连接压缩空气气路接口。通过所述阻挡组件7的阻挡气缸73工作时，阻挡气缸73伸出带动挡块71平移，从而挡住芯片载具200。

参阅图8和9所示，所述压紧组件9包括设置在所述传送带安装板41的压紧气缸座91、设置在压紧气缸座91上的压紧气缸94，所述压紧气缸94连接用于压紧芯片载具200的侧推板92。

进一步的，所述压紧气缸座91上还设置有微型接头93，用于为压紧气缸94伸缩动作的进气排气连接压缩空气气路接口。通过所述压紧组件9的压紧气缸94工作，其伸出侧推板92，从而压紧芯片载具200，防止芯片载具200移动。

本发明实施例提供的芯片缓存机构的工作过程如下：

参阅图10所示，所述平台安装板1上并沿芯片载具流动的方向(图1中箭头方向所示)依次设置检测传感器组件2，包括第一检测传感器组件1001～第五传感器组件1005。

当第一检测传感器组件1001检测到有芯片载具流入缓存机构时，阻挡组件7的阻挡气缸73就会伸出挡块71，准备挡住芯片载具；同时步进电机44就会启动驱动滚轮组件43带着芯片载具流入。第二传感器组件1002检测芯片载具中间是否是空的，如果不是空的，则步进电机44停止启动，发出报警信号并等待处理；如果是空的，则芯片载具继续流入到挡块71并被阻挡。

当第三传感器组件1003检测到芯片载具到达阻挡位置后，压紧组件9的压紧气缸94会伸出侧推板92，从而压紧芯片载具防止芯片载具移动。芯片载具被阻挡压紧后，定位组件6的定位气缸66伸出，通过定位销63将放入的芯片夹具(含有芯片)定位到顶板62上，并随着定位气缸66缩回的过程落入芯片载具中。定位气缸66缩回到位后，滑台气缸73就开始缩回放行，压紧气缸94也缩回侧推板92。

步进电机44启动驱动滚轮组件43继续带着芯片载具流入料匣口，当第四传感器组件1004检测到芯片载具已流过至没信号后。推料组件5的气缸58伸出推杆板57，丝杆步进电机54启动驱动丝杆带着推杆板57平移，将芯片载具推入到缓存料匣33中。

在第五传感器组件1005检测到芯片载具已流过即芯片载具已进入缓存料匣33内，同时推料组件5的第一推料传感器5101检测到位后，丝杆步进电机54启动反转，驱动丝杆带着推杆板57退回到第三推料传感器5103的位置，退回的过程中气缸58缩回推杆板57。同时料匣升降组件3的步进电机32启动驱动丝杆把缓存料匣33上升一层，推杆板57和步进电机32如此重复动作，推入一个芯片载具就上升一层，直到把缓存料匣33装满或者达到设定的数量，从而达到缓存芯片的目的。

当需要把缓存料匣33中的芯片载具取出时，下一工序对接的设备给出进料的信号，推料组件5的气缸58伸出推杆板57，丝杆步进电机54启动驱动丝杆带着推杆板57伸入缓存料匣33中，把芯片载具推出缓存料匣33。待推料组件5的第二推料传感器5102检测到位后，丝杆步进电机54启动反转，驱动丝杆带着推杆板57退回到第三推料传感器5103的位置，同时料匣升降组件3的步进电机32启动驱动丝杆把缓存料匣33下降一层，推杆板57和步进电机32如此重复动作，推出一个芯片载具就下降一层，直到把缓存料匣33中的芯片载具全部推出，达到缓存芯片并给下一工序设备送料的目的。

上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种芯片缓存机构，用于对承载于芯片载具的芯片进行存储，其特征在于：所述芯片缓存机构包括平台安装板、设置在所述平台安装板上的料匣升降组件、接料输送线和推料组件；

所述料匣升降组件用于缓存芯片载具，并带动芯片载具进行升降运动；

所述接料输送线用于承接芯片载具，并将芯片载具输送至所述料匣升降组件的料匣口；

所述推料组件用于将所述料匣口处的芯片载具，推入所述料匣升降组件内进行缓存。

2.根据权利要求1所述的芯片缓存机构，其特征在于：所述料匣升降组件包括设置在所述平台安装板上的电机升降座、相对设置在电机升降座上的步进马达和缓存料匣，所述步进马达丝杆的端部穿过电机升降座并与缓存料匣位置相对应。

3.根据权利要求2所述的芯片缓存机构，其特征在于：所述电机升降座上设置有护板和弹簧压件，两者之间设置所述缓存料匣；所述电机升降座上设置连接所述弹簧压件的传动轴。

4.根据权利要求3所述的芯片缓存机构，其特征在于：所述电机升降座上设置起导向作用的导向轴，所述导向轴的端部穿过所述电机升降座并连接有顶升支撑板，所述顶升支撑板位于所述护板一侧。

5.根据权利要求1所述的芯片缓存机构，其特征在于：所述接料输送线包括设置在平台安装板的传送带安装板、设置在所述传送带安装板上的滚轮组件，所述滚轮组件上设置有输送带；所述传送带安装板上设置连接滚轮轴的步进电机，驱动输送带传送带动滚轮组件输送芯片载具。

6.根据权利要求5所述的芯片缓存机构，其特征在于：所述传送带安装板通过支撑板设置在平台安装板上；所述支撑板和平台安装板之间设置有滑动配合的移动板和滑道。

7.根据权利要求1所述的芯片缓存机构，其特征在于：所述推料组件包括电机推料底板、设置在电机推料底板上的直线导轨、与所述直线导轨滑动配合的螺母座，所述螺母座上设置丝杆步进电机，所述丝杆步进电机连接有推杆板；所述螺母座上设置有连接推杆板的气缸。

8.根据权利要求1所述的芯片缓存机构，其特征在于：所述缓存机构还包括用于对芯片夹具进行定位并使其落入芯片载具中的定位组件，所述定位组件包括气缸座、设置在气缸座上的定位气缸，所述定位气缸上设置顶板，所述顶板上设置用于定位芯片夹具的定位销；所述顶板上设置用于连接真空气管的有第一快速接头。

9.根据权利要求1所述的芯片缓存机构，其特征在于：所述缓存机构还包括用于将芯片载具阻挡的阻挡组件，所述阻挡组件包括阻挡气缸座、设置在所述阻挡气缸座上的阻挡气缸，所述阻挡气缸上设置阻挡芯片夹具的挡块。

10.根据权利要求1所述的芯片缓存机构，其特征在于：所述缓存机构还包括用于将芯片载具压紧的压紧组件，所述压紧组件包括压紧气缸座、设置在压紧气缸座上的压紧气缸，所述压紧气缸连接用于压紧芯片载具的侧推板。

Images