JP7036089B2 - 搬送システム - Google Patents

Description

本発明は、搬送システムに関する。

レールに沿って走行する台車により物品を搬送する搬送システムが知られている。例えば特許文献１に記載されたシステムは、同一の水平面上に格子状に配置されたレール（走行レール）を備える。レールは、半導体製造工場等の工場の天井に敷設されている。

特開２０１８－１９３２２２号公報

上述したような搬送システムにおいて、例えば工場内の装置レイアウトを将来変更したり、装置を追加あるいは撤去したりする場合等を考慮し、簡易にレールを敷設できることが望まれる。

本発明は、簡易にレールを敷設することができる搬送システムを提供することを目的とする。

本発明に係る搬送システムでは、水平方向に沿って延び、格子状に配置されたレールと、レールを吊り下げるハンガーと、レールに沿って走行可能に設けられ、物品を搬送する台車と、を備え、レールは、第１方向に沿って延び、端部が第１方向に対向するように配置された一対の第１方向レールと、第１方向と交差する第２方向に沿って延び、端部が第２方向に対向するように配置された一対の第２方向レールと、一対の第１方向レールの端部の間で且つ一対の第２方向レールの端部の間に配置された交差部レールと、を有し、ハンガーは、一対の第１方向レールの端部のそれぞれと、一対の第２方向レールの端部のそれぞれと、交差部レールと、に連結されている。

この搬送システムでは、一対の第１方向レール、一対の第２方向レール及び交差部レールを、ハンガーにより連結しつつ吊り下げることができる。このようなハンガーを利用してレールを配置することで、簡易にレールを敷設することが可能となる。

本発明に係る搬送システムでは、台車は、レール上に接触する走行車輪、及びレールの下側で物品を保持する本体部を有し、交差部レールと第１方向レールの端部との間、及び、交差部レールと第２方向レールの端部との間には、走行車輪と本体部とを連結する連結部材が挿通可能な隙間が形成されていてもよい。これにより、物品をレールの下側で保持して搬送することができる。台車が物品をレールの上側で保持して搬送する場合に比べ、物品の積下ろしの際に、レールが邪魔をして積下ろし位置が制限されるのを抑制することができる。

本発明に係る搬送システムでは、ハンガーは、一対の第１方向レールの端部のそれぞれにおける走行車輪が接触しない非走行エリアと、一対の第２方向レールの端部のそれぞれにおける走行車輪が接触しない非走行エリアと、に立設され、走行車輪の高さ以上の高さの柱部と、複数の柱部の頂部に架け渡すように設けられた板部と、を含んでいてもよい。これにより、ハンガーは、レールを吊り下げる機能を発揮しながら、走行車輪の邪魔になることを抑制することが可能となる。

本発明に係る搬送システムでは、ハンガーは、下方から挿入された締結部材により一対の第１方向レールの端部のそれぞれと締結され、下方から挿入された締結部材により一対の第２方向レールの端部のそれぞれと締結されていてもよい。これにより、ハンガーにレールを容易に連結することができる。

本発明に係る搬送システムでは、レールの上方にて当該レールに沿って延び、格子状に配置され、天井に固定された中間部材を備え、中間部材は、第１方向レールの上方にて第１方向レールに沿って延びる一対の第１中間部材と、第２方向レールの上方にて第２方向レールに沿って延びる一対の第２中間部材と、を有し、一対の第１中間部材の端部及び一対の第２中間部材の端部を連結すると共に、ハンガーを支持するハンガー支持部材を更に備えていてもよい。このような構成では、中間部材を利用して、天井にハンガーを取り付けることが可能となる。また、第１方向レール及び第２方向レールの少なくとも何れかの撤去の際には、その上方の第１中間部材及び第２中間部材の少なくとも何れかを取り外せば足り、撤去後の第１方向レール及び第２方向レールの配置に合わせて新たな中間部材を用意する必要性を抑えることができる。

本発明に係る搬送システムでは、ハンガー支持部材は、鉛直方向を厚さ方向とする平板状を呈し、一対の第１中間部材及び一対の第２中間部材のそれぞれを連結する第１板部材と、鉛直方向を厚さ方向とする平板状を呈し、第１板部材の下方に配置され、一対の第１中間部材及び一対の第２中間部材のそれぞれを連結する第２板部材と、を含んでいてもよい。このような構成では、鉛直方向を厚さ方向とする２枚の板部材により、一対の第１中間部材及び一対の第２中間部材を連結すると共にハンガーを支持することができる。ハンガー支持部材の強度を、簡易な構成で高めることができる。

本発明に係る搬送システムでは、中間部材は、レースウェイであってもよい。これにより、中間部材としてのレースウェイを利用して、レール以外の種々の部材も天井に吊り下げることができる。

本発明によれば、簡易にレールを敷設することができる搬送システムを提供することが可能となる。

図１は、一実施形態に係る搬送システムを示す平面図である。 図２は、図１の搬送システムを示す正面図である。 図３（Ａ）は、図１の台車が走行方向を変更する動作の一例を示す平面図である。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の続きを示す平面図である。図３（Ｃ）は、図３（Ｂ）の続きを示す平面図である。 図４は、図１のレールの一部を示す斜視図である。 図５は、図１のレールの一部を示す正面図である。 図６は、図５のVI－VI線に沿う断面に対応する平面図である。 図７は、図４のVII－VII線に沿う断面図である。 図８（Ａ）は、図７の上部ジョイントプレートを示す平面図である。図８（Ｂ）は、図７のナットプレートを示す平面図である。図８（Ｃ）は、図７の下部ジョイントプレートを示す平面図である。図８（Ｄ）は、図７のスペーサを示す平面図である。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について詳細に説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系では、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。便宜上、ＸＹ平面における台車１００の走行方向であって一の直線方向をＹ方向と表記し、Ｙ方向に直交する方向をＸ方向と表記し、ＸＹ平面に垂直な鉛直方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向とし、矢印の方向と反対の方向が－方向として説明する。また、Ｚ方向を軸とする回転方向をθＺ方向と表記する。Ｘ方向が第１方向に対応し、Ｙ方向が第２方向に対応する。

図１は、一実施形態に係る搬送システムＳＹＳを示す平面図である。図２は、図１に示す搬送システムＳＹＳの正面図である。図１及び図２に示されるように、搬送システムＳＹＳは、例えば、半導体製造工場のクリーンルームにおいて、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ、あるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄなどの搬送容器Ｍを物品として搬送する有軌道台車システムである。搬送システムＳＹＳは、レールＲと、台車１００とを備える。

レールＲは、水平方向に沿って延び、格子状に配置されている。レールＲは、クリーンルーム等の建屋の天井付近に敷設されている。レールＲは、Ｚ方向を厚さ方向とする板状を呈する。レールＲは、第１方向レールＲ１と、第２方向レールＲ２と、交差部レールＲ３と、を有する。第１方向レールＲ１、第２方向レールＲ２及び交差部レールＲ３は、同一平面上に配置されている。

第１方向レールＲ１は、Ｘ方向に沿って延び、Ｘ方向に所定間隔をあけて配置されている。Ｘ方向に隣接する一対の第１方向レールＲ１は、その端部がＸ方向に対向するように配置されている。第２方向レールＲ２は、Ｙ方向に沿って延び、Ｙ方向に所定間隔をあけて配置されている。第２方向レールＲ２の長さは、第１方向レールＲ１の長さと同じである。第２方向レールＲ２は、Ｘ方向から見て、第１方向レールＲ１と重ならない位置に配置されている。第２方向レールＲ２は、Ｙ方向から見て、第１方向レールＲ１と重ならない位置に配置されている。Ｙ方向に隣接する一対の第２方向レールＲ２は、その端部がＹ方向に対向するように配置されている。

第１方向レールＲ１及び第２方向レールＲ２のそれぞれには、その延在方向に沿って延びる一対のリブ１０１が立設されている。第１方向レールＲ１及び第２方向レールＲ２上において、幅方向の両端から各リブ１０１までの領域が、後述する走行車輪２１及び補助車輪２２と接触する走行エリアである。第１方向レールＲ１及び第２方向レールＲ２上において、一対のリブ１０１の間の領域が、後述する走行車輪２１及び補助車輪２２と接触しない非走行エリア（走行エリア以外のエリア）である。

交差部レールＲ３は、Ｚ方向から見て矩形形状を呈する。交差部レールＲ３は、隣接する一対の第１方向レールＲ１の端部の間で、且つ、隣接する一対の第２方向レールＲ２の端部の間に配置されている。交差部レールＲ３の＋Ｘ側及び－Ｘ側のそれぞれには、第１方向レールＲ１が配置され、交差部レールＲ３の＋Ｙ側及び－Ｙ側のそれぞれには、第２方向レールＲ２が配置されている。交差部レールＲ３と第１方向レールＲ１の端部との間、及び、交差部レールＲ３と第２方向レールＲ２の端部との間には、隙間Ｓが形成されている。隙間Ｓは、台車１００が走行する際に、後述の連結部材３１が挿通可能な空間である。

台車１００は、本体部１０と、走行部２０と、連結部３０と、制御部４０と、を有する。台車１００は、レールＲに沿って走行可能に設けられた有軌道台車であり、搬送容器Ｍを搬送する。台車１００は、搬送システムＳＹＳにおいて、１台であることに限定されず、複数台が用いられてもよい。複数の台車１００のそれぞれによって搬送容器Ｍを搬送することにより、高密度な搬送が可能となる。

本体部１０は、レールＲの下方（－Ｚ側）に配置される。本体部１０は、レールＲの下側で搬送容器Ｍを保持する。本体部１０は、平面視で４つのコーナー部を有する矩形形状に形成される。本体部１０は、平面視で格子状のレールＲの一区画内に収まる寸法に形成される。このため、台車１００は、レールＲにおいて隣接する区間を走行する他の台車１００とすれ違うことが可能である。

図２に示されるように、本体部１０は、移載装置１２を有する。移載装置１２は、搬送容器Ｍを保持し、且つ、レールＲの下方の所定の載置箇所に対して搬送容器Ｍを移載可能である。移載装置１２は、搬送容器Ｍのフランジ部Ｍａを把持する把持部１３を備え、搬送容器Ｍを吊り下げて保持する。把持部１３は、複数のベルトあるいはロープなどの吊り下げ部材に接続される。移載装置１２は、この吊り下げ部材を不図示のホイストなどで繰り出しまたは巻き取ることにより把持部１３を昇降させ、レールＲの下方に配置された保管装置の棚部あるいは搬入搬出部、または加工装置等の搬入搬出部等との間で搬送容器Ｍの受け渡しを行う。

図１又は図２に示されるように、走行部２０は、走行車輪２１と、補助車輪２２とを有する。走行車輪２１は、本体部１０の４つのコーナー部にそれぞれ配置される。走行車輪２１は、レールＲ上に接触する。走行車輪２１の外径は、隙間Ｓの距離より大きく設定される。走行車輪２１は、後述する連結部３０に回転可能に支持される。走行車輪２１は、レールＲと接触する周面にゴム等が張り付けられて滑り止め加工が施されてもよい。

補助車輪２２は、走行車輪２１の走行方向の前後のそれぞれに１つずつ配置される。２つの補助車輪２２のそれぞれは、走行車輪２１と同様に、後述する連結部３０に回転可能に支持される。２つの補助車輪２２の回転軸は互いに平行であるが、互いに平行でなくてもよい。２つの補助車輪２２は、走行車輪２１の走行方向の前後に配置される。２つの補助車輪２２は、ともに走行車輪２１よりも内側に配置される。なお、補助車輪２２と走行車輪２１との間隔は、隙間Ｓの距離よりも大きく設定される。補助車輪２２は、走行車輪２１に比べて直径が小さい。このため、走行部２０の全長を短くすることができる。

連結部３０は、連結部材３１と、走行駆動部３２と、位置検出部３３と、旋回駆動部３４と、を有する。連結部材３１は、本体部１０の４つのコーナー部に１つずつ配置される。連結部材３１により、本体部１０と走行車輪２１及び補助車輪２２とが連結される。連結部材３１は、旋回軸ＡＸを中心としてθＺ方向に旋回可能に設けられる。連結部材３１が旋回することにより、走行車輪２１及び補助車輪２２は、θＺ方向に旋回して走行方向を変更することが可能である。

走行駆動部３２は、連結部材３１に取り付けられる。走行駆動部３２は、走行車輪２１を駆動する。走行駆動部３２は、本体部１０の４つのコーナー部のうち対角となる２つに配置された連結部材３１に装着される。従って、４つの走行車輪２１のうち走行駆動部３２によって駆動される２つの走行車輪２１が駆動輪となる。駆動輪を対角に配置することにより、一方が隙間Ｓにある場合でも他方がレールＲ上に位置するので、駆動力を継続的に発生させることができる。

走行駆動部３２は、例えば電動モータなどの駆動源３５と、伝達機構３６とを有する。駆動源３５の不図示の出力軸は、伝達機構３６を介して走行車輪２１の軸部に接続される。駆動源３５は、連結部材３１に固定される。したがって、駆動源３５は、連結部材３１の旋回時に一体となってθＺ方向に旋回する。駆動源３５は、平面視において、本体部１０の範囲内に収まるように配置される。これにより、駆動源３５が旋回した場合でも本体部１０から外側に突出するのを防止できる。また、２つの駆動源３５が、平面視で、本体部１０の中心点を基準として点対象に配置されるため、比較的重量が大きい駆動源３５を本体部１０にバランスよく配置できる。台車１００は、駆動源３５を駆動することにより、＋Ｙ方向だけでなく－Ｙ方向にも移動可能である。

位置検出部３３は、連結部材３１に装着されている。位置検出部３３は、伝達機構３６を介して走行車輪２１と接続されており、走行車輪２１の回転量等を検出することにより、台車１００の位置を検出可能である。位置検出部３３は、４つの連結部材３１のうち、走行駆動部３２が設けられない他の２つの連結部材３１に装着されている。位置検出部３３は、例えば、走行車輪２１の軸部の回転量に基づいて走行車輪２１の走行距離（台車１００の位置）を検出する。位置検出部３３は、例えば、ロータリーエンコーダなどが用いられる。また、位置検出部３３は、駆動源３５の端部にも設けられている。駆動源３５に設けられる位置検出部３３は、駆動源３５の出力軸あるいは走行車輪２１の回転位置などを検出する。

位置検出部３３の検出結果は、例えば、制御部４０などに送られる。なお、制御部４０は、２つの位置検出部３３からの検出結果を互いに補完することにより、例えば１つの走行車輪２１が隙間Ｓに位置して回転しない場合であっても、他の走行車輪２１の位置検出部３３による検出結果を用いることで台車１００の位置を正確に検出することができる。

旋回駆動部３４は、連結部材３１ごとに本体部１０に設けられている。旋回駆動部３４は、電動モータなどの不図示の駆動源を有し、連結部材３１を旋回軸ＡＸ回りに旋回させる。旋回駆動部３４は、制御部４０により制御される。なお、旋回駆動部３４は、１つの旋回駆動部３４により複数の連結部材３１を旋回駆動する構成であってもよい。

制御部４０は、走行駆動部３２及び旋回駆動部３４などの上記各部の動作を統括的に制御する。制御部４０は、例えば本体部１０に設けられるが、本体部１０の外部に設けられてもよい。また、制御部４０は、外部の上位制御装置からの指示により各部の動作を制御してもよい。

次に、台車１００が走行方向を変更する場合について説明する。図３（Ａ）、図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）は、台車１００の走行方向を＋Ｙ方向から＋Ｘ方向に変更する動作を示す図である。台車１００は、図３（Ａ）に示されるように、＋Ｙ方向に走行して本体部１０がレールＲの一区画内に達した位置（本体部１０の４つのコーナー部が交差部レールＲ３に差し掛かった位置）で停止する。すなわち、制御部４０は、位置検出部３３からの位置情報に基づいて、上記した位置で走行駆動部３２の駆動を停止させる。このとき、４つの走行車輪２１は、いずれも第２方向レールＲ２上に接触した状態となっている。

図３（Ｂ）に示すように、制御部４０は、旋回駆動部３４を駆動して連結部３０を旋回させ、走行車輪２１及び補助車輪２２のそれぞれを旋回軸ＡＸを中心としてθＺ方向に旋回させる。このとき、対角にある走行車輪２１等は同一方向に旋回する。例えば、４つの走行車輪２１のうち、図示で左上の走行車輪２１等と、右下の走行車輪２１等は時計回りに旋回する。一方、図示で右上の走行車輪２１等と、左下の走行車輪２１等は反時計回りに旋回する。

図３（Ｃ）に示すように、制御部４０は、各走行車輪２１等がそれぞれθＺ方向に９０°旋回した後、旋回駆動部３４の駆動を停止させる。この状態で走行駆動部３２を駆動することにより、台車１００は、＋Ｘ方向に走行可能となる。なお、台車１００は、－Ｘ方向にも走行可能である。また、走行車輪２１等が旋回した場合でも本体部１０は旋回しない。したがって、台車１００がＹ方向に走行する場合又はＸ方向に走行する場合の何れであっても本体部１０の向きは変更されない。

図４は、レールＲの一部を示す斜視図である。図５は、レールＲの一部を示す正面図である。図６は、図５のVI－VI線に沿う断面に対応する平面図である。図７は、図４のVII－VII線に沿う断面図である。図８は、ハンガー支持部材１５０を構成する各部品を示す平面図である。図４、図５及び図７に示されるように、搬送システムＳＹＳは、ハンガー１１０、レースウェイ（天井に取り付けられる中間部材）１３０及びハンガー支持部材１５０を備える。

ハンガー１１０は、レールＲを吊り下げる部材である。ハンガー１１０は、Ｘ方向に隣接する一対の第１方向レールＲ１の端部のそれぞれに連結されている。ハンガー１１０は、Ｙ方向に隣接する一対の第２方向レールＲ２の端部のそれぞれに連結されている。ハンガー１１０は、交差部レールＲ３に連結されている。ハンガー１１０は、レールＲの敷設状態に応じて複数（交差部レールＲ３と同じ数）設けられている。ハンガー１１０は、柱部１１１、板部１１２及び吊りボルト１１３を有する。

柱部１１１は、Ｘ方向に隣接する一対の第１方向レールＲ１の各端部において、一対のリブ１０１の間である非走行エリアに立設されている。また、柱部１１１は、Ｙ方向に隣接する一対の第２方向レールＲ２の各端部において、一対のリブ１０１の間である非走行エリアに立設されている。柱部１１１の高さは、走行車輪２１及び補助車輪２２の高さ以上の高さである。柱部１１１は、下方から挿入されたネジ等の締結部材１１５により一対の第１方向レールＲ１の各端部と締結されて固定されている。柱部１１１は、下方から挿入されたネジ等の締結部材１１５により一対の第２方向レールＲ２の各端部と締結されて固定されている。

板部１１２は、Ｚ方向を厚さ方向とする矩形板状を呈する。板部１１２は、４つの柱部１１１の頂部に架け渡すように設けられている。板部１１２は、平面視で板部１１２の４つのコーナー部のそれぞれにおいて柱部１１１と固定されている。

吊りボルト１１３は、Ｚ方向に沿って延在する。吊りボルト１１３は、交差部レールＲ３の中央部分に挿通され、ナット等の締結部材１１６により当該交差部レールＲ３と締結されて固定されている。吊りボルト１１３は、板部１１２の中央部分に挿通され、ナット等の締結部材１１７により当該板部１１２と締結されて固定されている。

なお、ハンガー１１０は、Ｘ方向の端の第１方向レールＲ１を吊り下げるハンガー１１０Ｓを含む。ハンガー１１０Ｓは、１つの第１方向レールＲ１のみに連結されるように構成されており、それに応じて板部１１２が三角形状を呈する以外はハンガー１１０と同様である。また同様に、ハンガー１１０は、Ｙ方向の端に位置する第２方向レールＲ２を吊り下げるハンガー（不図示）を含む。

レースウェイ１３０は、レールＲの上方にて当該レールＲに沿って延び、格子状に配置されている。レースウェイ１３０は、Ｚ方向における天井ＣとレールＲとの間に配置された中間部材である。レースウェイ１３０は、天井Ｃに固定されている。具体的には、図６に示されるように、レースウェイ１３０は、天井Ｃに既設の溝１６０に対して固定具１７０を介して固定されている。レースウェイ１３０は、天井Ｃとの間に隙間１０５をあけて配置されている。溝１６０は、天井Ｃに予め設けられており、例えば半導体製造工場側において定められた規定ピッチで格子状に延在している。固定具１７０は、特に限定されず、公知の種々の部材を用いることができる。固定具１７０の数及び固定具１７０で固定するレースウェイ１３０の位置は特に限定されず、レースウェイ１３０を固定できればよい。

レースウェイ１３０は、下方が開口する断面Ｃ字状を呈する。図５、図６及び図７に示されるように、レースウェイ１３０は、第１方向レールＲ１の上方にて第１方向レールＲ１に沿って延びる第１レースウェイ（第１中間部材）１３１と、第２方向レールＲ２の上方にて第２方向レールＲ２に沿って延びる第２レースウェイ（第２中間部材）１３２と、を有する。第１レースウェイ１３１及び第２レースウェイ１３２は、同一平面上に配置されている。

ハンガー支持部材１５０は、Ｘ方向に隣接する一対の第１レースウェイ１３１の端部及びＹ方向に隣接する一対の第２レースウェイ１３２の端部を連結すると共に、ハンガー１１０を支持する。ハンガー支持部材１５０は、上部ジョイントプレート（第１板部材）１５１、ナットプレート１５２、下部ジョイントプレート（第２板部材）１５３、スペーサ１５４及び締結部材１５９を有する。

図７及び図８（Ａ）に示されるように、上部ジョイントプレート１５１は、Ｚ方向を厚さ方向とする平板状を呈する。上部ジョイントプレート１５１は、Ｚ方向から見て、Ｘ方向及びＹ方向が交差してなるクロス形状を呈する。上部ジョイントプレート１５１は、一対の第１レースウェイ１３１及び一対の第２レースウェイ１３２の外に配置されている。具体的には、上部ジョイントプレート１５１は、一対の第１レースウェイ１３１の端部の上壁と、一対の第２レースウェイ１３２の端部の上壁と、の上に載置されている。

上部ジョイントプレート１５１は、一対の第１レースウェイ１３１の端部及び一対の第２レースウェイ１３２の端部のそれぞれを連結する。上部ジョイントプレート１５１のＸ方向の両端部は、第１レースウェイ１３１の内部にて下方から挿入されたネジ等の締結部材１５６を介して、一対の第１レースウェイ１３１の端部のそれぞれに固定されている。上部ジョイントプレート１５１のＹ方向の両端部は、第２レースウェイ１３２の内部にて下方から挿入されたネジ等の締結部材１５６を介して、一対の第２レースウェイ１３２の端部のそれぞれに固定されている。

図７及び図８（Ｃ）に示されるように、下部ジョイントプレート１５３は、Ｚ方向を厚さ方向とする平板状を呈する。下部ジョイントプレート１５３は、Ｚ方向から見て、Ｘ方向及びＹ方向が交差してなるクロス形状を呈する。下部ジョイントプレート１５３は、一対の第１レースウェイ１３１及び一対の第２レースウェイ１３２の内部に配置されている。具体的には、下部ジョイントプレート１５３は、一対の第１レースウェイ１３１の端部の下壁と、一対の第２レースウェイ１３２の端部の下壁と、の上に載置されている。

下部ジョイントプレート１５３は、一対の第１レースウェイ１３１の端部及び一対の第２レースウェイ１３２の端部のそれぞれを連結する。下部ジョイントプレート１５３のＸ方向の両端部は、第１レースウェイ１３１の下方から挿入されたネジ等の締結部材１５７を介して、一対の第１レースウェイ１３１の端部に固定されている。下部ジョイントプレート１５３のＹ方向の両端部は、第２レースウェイ１３２の下方から挿入されたネジ等の締結部材１５７を介して、一対の第２レースウェイ１３２の端部に固定されている。下部ジョイントプレート１５３には、吊りボルト１１３が挿通する挿通孔１５３ｈが形成されている。挿通孔１５３ｈの内径は、吊りボルト１１３の外径よりも大きく、Ｚ方向から見て挿通孔１５３ｈと吊りボルト１１３との間には、隙間が形成されている。

図７及び図８（Ｂ）に示されるように、ナットプレート１５２は、Ｚ方向を厚さ方向とする平板状を呈する。ナットプレート１５２は、Ｚ方向から見て、Ｘ方向に長尺の形状を呈する。ナットプレート１５２は、吊りボルト１１３が螺合するネジ孔１５２ａが形成されている。ナットプレート１５２は、そのネジ孔１５２ａに吊りボルト１１３が螺合した状態で下部ジョイントプレート１５３の上面と当接している。

図７及び図８（Ｄ）に示されるように、スペーサ１５４は、Ｚ方向を厚さ方向とする円環板状を呈する。スペーサ１５４は、下部ジョイントプレート１５３の下方において吊りボルト１１３に相通されている。図７に示されるように、締結部材１５９は、吊りボルト１１３に螺合するナット等の部材であり、スペーサ１５４の下方に配置されている。締結部材１５９を締め付けることで、スペーサ１５４とナットプレート１５２とが協働して下部ジョイントプレート１５３を挟み込む。これにより、吊りボルト１１３は下部ジョイントプレート１５３に支持ないし保持され、ひいては、吊りボルト１１３はレースウェイ１３０に支持ないし保持される。その結果、吊りボルト１１３は、レースウェイ１３０及びハンガー支持部材１５０を介して、天井Ｃに支持ないし保持される。

以上、搬送システムＳＹＳでは、一対の第１方向レールＲ１、一対の第２方向レールＲ２及び交差部レールＲ３を、ハンガー１１０により連結しつつ吊り下げることができる。このようなハンガー１１０を利用してレールＲを配置することで、簡易にレールＲを敷設することが可能となる。

搬送システムＳＹＳでは、台車１００の走行車輪２１及び補助車輪２２がレールＲ上に接触し、レールＲの下側で搬送容器Ｍを保持して搬送する。交差部レールＲ３と第１方向レールＲ１の端部との間、及び、交差部レールＲ３と第２方向レールＲ２の端部との間には、連結部材３１が挿通可能な隙間Ｓが形成されている。このような搬送システムＳＹＳによれば、搬送容器ＭをレールＲの下側で保持して搬送することができる。台車１００が搬送容器ＭをレールＲの上側で保持して搬送する場合に比べ、搬送容器Ｍの積下ろしの際に、レールＲが邪魔をして積下ろし位置が制限されるのを抑制することができる。

搬送システムＳＹＳでは、ハンガー１１０は、走行車輪２１及び補助車輪２２の高さ以上の高さの複数の柱部１１１と、複数の柱部１１１の頂部に架け渡すように設けられた板部１１２と、を含む。柱部１１は、第１方向レールＲ１及び第２方向レールＲ２上のそれぞれにおける走行車輪２１及び補助車輪２２が接触しない非走行エリアに立設される。これにより、ハンガー１１０は、レールＲを吊り下げる機能を発揮しながら、走行車輪２１及び補助車輪２２の邪魔になることを抑制することが可能となる。

搬送システムＳＹＳでは、ハンガー１１０は、下方から挿入された締結部材１１５により一対の第１方向レールＲ１の端部のそれぞれと締結されていると共に、下方から挿入された締結部材１１５により一対の第２方向レールＲ２の端部のそれぞれと締結されている。これにより、ハンガー１１０にレールＲを容易に連結することができ、ハンガー１１０からレールＲを容易に取り外すことがすることができる。

搬送システムＳＹＳでは、レースウェイ１３０を備える。レースウェイ１３０は、レールＲの上方にて当該レールＲに沿って延び、格子状に配置され、天井Ｃに固定されている。レースウェイ１３０は、第１方向レールＲ１に対応する第１レースウェイ１３１と、第２方向レールＲ２に対応する第２レースウェイ１３２と、を有する。ハンガー支持部材１５０は、第１レースウェイ１３１及び第２レースウェイ１３２を連結すると共に、ハンガー１１０を支持する。このような構成では、レースウェイ１３０を利用して、様々な仕様の天井Ｃに対してもハンガー１１０を所望位置に取り付けることが可能となる。

追加の製造装置が後から必要になった際、製造装置の排気ダクト等を天井に接続する場合がある。その際に、搬送システムＳＹＳでは、排気ダクト等がレールＲ及びレースウェイ１３０と干渉する場合がある。干渉する場合には、レールＲ及びレースウェイ１３０を撤去する必要がある。また、撤去するレールＲとは別のレールも、一度取り外してから再度に取り付けなおさなければならない可能性が発生する。レースウェイ１３０を撤去するだけでは無く、長さの違うレースウェイ１３０を新たに準備しなければならない可能性がある。

この点、搬送システムＳＹＳでは、第１方向レールＲ１及び第２方向レールＲ２の少なくとも何れかの撤去の際には、その上方の第１レースウェイ１３１及び第２レースウェイ１３２を取り外せば足り、撤去後の第１方向レールＲ１及び第２方向レールＲ２の配置に合わせて新たなレースウェイ１３０を用意する必要性を抑えることができる。

搬送システムＳＹＳでは、ハンガー支持部材１５０は、上部ジョイントプレート１５１及び下部ジョイントプレート１５３を含んでいる。このような構成では、上部ジョイントプレート１５１及び下部ジョイントプレート１５３によって、一対の第１レースウェイ１３１及び一対の第２レースウェイ１３２を連結すると共にハンガー１１０を支持することができる。ハンガー支持部材１５０の強度を簡易な構成で高めることができる。ハンガー支持部材１５０の曲げ剛性を高めることができる。

搬送システムＳＹＳは、レースウェイ１３０を備えるであってもよい。これにより、レースウェイ１３０を利用して、レールＲ以外の種々の部材も天井Ｃに吊り下げることができる。

搬送システムＳＹＳでは、工場内で製造装置の配置が自由なグリッドシステムを構築することができる。搬送システムＳＹＳでは、締結部材１５６及び締結部材１５７を外し、固定具１７０を外すだけで、簡単にレースウェイ１３０を取り外すことが可能となる。搬送システムＳＹＳでは、下部ジョイントプレート１５３の挿通孔１５３ｈの内径が吊りボルト１１３の外径よりも大きいことから、締結部材１５９を緩めることにより、吊りボルト１１３の位置を調整することが可能となる。

なお、第１レースウェイ１３１断面は下方に開口するＣ字状であるため、締結部材１５６及び締結部材１５７を取り外した後、Ｘ方向を軸方向として第１レースウェイ１３１を４５°回転させることで、第１レースウェイ１３１をＹ方向にスライドして外すことができる。同様に、第２レースウェイ１３２の断面は下方に開口するＣ字状であるため、締結部材１５６及び締結部材１５７を取り外した後、Ｙ方向を軸方向として４５°回転させることで、第２レースウェイ１３２をＸ方向にスライドして外すことができる。

以上、一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記実施形態では、第１方向レールＲ１、第２方向レールＲ２及び交差部レールＲ３のレイアウトは特に限定されず、様々なレイアウトを採用してもよい。上記実施形態では、中間部材としてレースウェイ１３０を備えたが、中間部材はレースウェイ１３０に限定されない。例えばレールＲの上方にて当該レールＲに沿って延び、格子状に配置され、天井Ｃに固定されていれば、その他の部材を中間部材として備えていてもよい。

上記実施形態では、２つの走行車輪２１を駆動輪としているが、これに限定されない。例えば、３つまたは全ての走行車輪２１が駆動輪であってもよいし、１つの走行車輪２１が駆動輪であってもよい。また、駆動輪である２つの走行車輪２１に対してそれぞれ駆動源３５を備えることに限定されない。例えば、１つの駆動源３５から２つの走行車輪２１に駆動力を伝達する構成であってもよい。

１０…本体部、２１…走行車輪、３１…連結部材、１００…台車、１１０…ハンガー、１１１…柱部、１１２…板部、１１５…締結部材、１３０…レースウェイ（中間部材）、１３１…第１レースウェイ（第１中間部材）、１３２…第２レースウェイ（第２中間部材）、１５０…ハンガー支持部材、１５１…上部ジョイントプレート（第１板部材）、１５３…下部ジョイントプレート（第２板部材）、Ｒ…レール、Ｒ１…第１方向レール，Ｒ２…第２方向レール、Ｒ３…交差部レール。

Claims (6)

1. 水平方向に沿って延び、格子状に配置されたレールと、
   前記レールを吊り下げるハンガーと、
   前記レールに沿って走行可能に設けられ、物品を搬送する台車と、を備え、
   前記レールは、
   第１方向に沿って延び、端部が前記第１方向に対向するように配置された一対の第１方向レールと、
   第１方向と交差する第２方向に沿って延び、端部が前記第２方向に対向するように配置された一対の第２方向レールと、
   一対の前記第１方向レールの端部の間で且つ一対の前記第２方向レールの端部の間に配置された交差部レールと、を有し、
   前記ハンガーは、一対の前記第１方向レールの端部のそれぞれと、一対の前記第２方向レールの端部のそれぞれと、前記交差部レールと、に連結され、
   前記台車は、前記レール上に接触する走行車輪、及び前記レールの下側で物品を保持する本体部を有し、
   前記交差部レールと前記第１方向レールの端部との間、及び、前記交差部レールと前記第２方向レールの端部との間には、前記走行車輪と前記本体部とを連結する連結部材が挿通可能な隙間が形成されている、搬送システム。
2. 前記ハンガーは、
   一対の前記第１方向レールの端部のそれぞれにおける走行車輪が接触しない非走行エリアと、一対の前記第２方向レールの端部のそれぞれにおける走行車輪が接触しない非走行エリアと、に立設され、前記走行車輪の高さ以上の高さの柱部と、
   複数の前記柱部の頂部に架け渡すように設けられた板部と、を含む、請求項１に記載の搬送システム。
3. 前記ハンガーは、下方から挿入された締結部材により一対の前記第１方向レールの端部のそれぞれと締結され、下方から挿入された締結部材により一対の前記第２方向レールの端部のそれぞれと締結されている、請求項１又は２に記載の搬送システム。
4. 前記レールの上方にて当該レールに沿って延び、格子状に配置され、天井に固定された中間部材を備え、
   前記中間部材は、前記第１方向レールの上方にて前記第１方向レールに沿って延びる一対の第１中間部材と、前記第２方向レールの上方にて前記第２方向レールに沿って延びる一対の第２中間部材と、を有し、
   一対の前記第１中間部材の端部及び一対の前記第２中間部材の端部を連結すると共に、前記ハンガーを支持するハンガー支持部材を更に備える、請求項１～３の何れか一項に記載の搬送システム。
5. 前記ハンガー支持部材は、
   鉛直方向を厚さ方向とする平板状を呈し、一対の前記第１中間部材及び一対の前記第２中間部材のそれぞれを連結する第１板部材と、
   鉛直方向を厚さ方向とする平板状を呈し、前記第１板部材の下方に配置され、一対の前記第１中間部材及び一対の前記第２中間部材のそれぞれを連結する第２板部材と、を含む、請求項４に記載の搬送システム。
6. 前記中間部材は、レースウェイである、請求項４又は５に記載の搬送システム。
   

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