JP2001128316A - 有軌道台車システム - Google Patents
有軌道台車システムInfo
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- JP2001128316A JP2001128316A JP30635799A JP30635799A JP2001128316A JP 2001128316 A JP2001128316 A JP 2001128316A JP 30635799 A JP30635799 A JP 30635799A JP 30635799 A JP30635799 A JP 30635799A JP 2001128316 A JP2001128316 A JP 2001128316A
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- JP
- Japan
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- guide rail
- floor
- truck
- tracked
- guide
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- Electric Propulsion And Braking For Vehicles (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 クリーンルームの床面上に、非接触給電用の
ケーブルを備えたガイドレール２を敷設して、有軌道台
車４のガイドローラをガイドし、かつケーブルからピッ
クアップコイルへ給電する。 【効果】 設置やレイアウト変更が容易で、コンパクト
かつクリーンな有軌道台車システムが得られる。
ケーブルを備えたガイドレール２を敷設して、有軌道台
車４のガイドローラをガイドし、かつケーブルからピッ
クアップコイルへ給電する。 【効果】 設置やレイアウト変更が容易で、コンパクト
かつクリーンな有軌道台車システムが得られる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】この発明は有軌道台車システムでの
非接触給電に関する。
非接触給電に関する。
【０００２】
【従来技術】従来の有軌道台車システムでは床下にレー
ルを敷設し、該レールに沿って有軌道台車を走行させる
ものが多い。これはレールを床下に配置することによ
り、レール部で生じた塵が床上の空間を汚染するのを防
止するためや、レールが人の歩行などと干渉しないよう
にするためである。
ルを敷設し、該レールに沿って有軌道台車を走行させる
ものが多い。これはレールを床下に配置することによ
り、レール部で生じた塵が床上の空間を汚染するのを防
止するためや、レールが人の歩行などと干渉しないよう
にするためである。
【０００３】しかしながら床下にレールを配置すると、
建物の設計段階からでないと有軌道台車システムの導入
が困難となり、その後のレイアウトの変更も困難であ
る。またレールの敷設に当たっては、柱や梁、配管等の
建築構造との取り合いが発生する。
建物の設計段階からでないと有軌道台車システムの導入
が困難となり、その後のレイアウトの変更も困難であ
る。またレールの敷設に当たっては、柱や梁、配管等の
建築構造との取り合いが発生する。
【０００４】
【発明の課題】この発明の課題は、ガイドレールの敷設
やレイアウトの変更を容易にし、かつ発塵を防止すると
共に、コンパクトなシステムとすることにある（請求項
１〜３）。請求項２の発明での追加の課題は、ガイドレ
ールを利用して、有軌道台車への信号用のマークを設
け、さらにコンパクトなシステムとすることにある。請
求項３の発明での追加の課題は、クリーンルーム等にガ
イドレールを容易に取り付けられるようにすることにあ
る。
やレイアウトの変更を容易にし、かつ発塵を防止すると
共に、コンパクトなシステムとすることにある（請求項
１〜３）。請求項２の発明での追加の課題は、ガイドレ
ールを利用して、有軌道台車への信号用のマークを設
け、さらにコンパクトなシステムとすることにある。請
求項３の発明での追加の課題は、クリーンルーム等にガ
イドレールを容易に取り付けられるようにすることにあ
る。
【０００５】
【発明の構成】この発明は、非接触給電用のケーブルを
備えたガイドレールを床面上に敷設すると共に、有軌道
台車には前記ガイドレールによりガイドされるガイドロ
ーラと、前記ケーブルから給電するためのピックアップ
コイルとを設けた有軌道台車システムにある。
備えたガイドレールを床面上に敷設すると共に、有軌道
台車には前記ガイドレールによりガイドされるガイドロ
ーラと、前記ケーブルから給電するためのピックアップ
コイルとを設けた有軌道台車システムにある。
【０００６】好ましくは、前記ガイドレールにマークを
設けると共に、前記有軌道台車に該マークの検出用セン
サを設ける。
設けると共に、前記有軌道台車に該マークの検出用セン
サを設ける。
【０００７】また好ましくは、床がグレーティング床で
構成されて、該床の孔を利用して取り付け部材を床に取
り付け、さらに該取り付け部材にガイドレールを取り付
ける。
構成されて、該床の孔を利用して取り付け部材を床に取
り付け、さらに該取り付け部材にガイドレールを取り付
ける。
【０００８】
【発明の作用と効果】請求項１の発明では、ガイドレー
ルをクリーンルームなどの床面上に敷設するので、床下
にガイドレールを敷設する場合と異なり、ガイドレール
の敷設やレイアウトの変更が容易である。これは床下で
柱や梁あるいは配管などとの取り合いが生じないためで
ある。請求項１の発明ではさらに、ガイドレールに非接
触給電用のケーブルを設けて、有軌道台車のピックアッ
プコイルへと給電する。このため給電部での接触に伴う
発塵がなく、クリーンルームなどを汚染することが少な
い。さらにケーブルをガイドレールに一体にできるの
で、コンパクトでかつ敷設も容易になる。
ルをクリーンルームなどの床面上に敷設するので、床下
にガイドレールを敷設する場合と異なり、ガイドレール
の敷設やレイアウトの変更が容易である。これは床下で
柱や梁あるいは配管などとの取り合いが生じないためで
ある。請求項１の発明ではさらに、ガイドレールに非接
触給電用のケーブルを設けて、有軌道台車のピックアッ
プコイルへと給電する。このため給電部での接触に伴う
発塵がなく、クリーンルームなどを汚染することが少な
い。さらにケーブルをガイドレールに一体にできるの
で、コンパクトでかつ敷設も容易になる。
【０００９】請求項２の発明では、ガイドレールにマー
クを設けて有軌道台車のセンサで検出するようにしたの
で、有軌道台車の制御が容易になり、かつマークをガイ
ドレールに一体にするのでさらにコンパクトにできる。
クを設けて有軌道台車のセンサで検出するようにしたの
で、有軌道台車の制御が容易になり、かつマークをガイ
ドレールに一体にするのでさらにコンパクトにできる。
【００１０】請求項３の発明では、クリーンルームなど
のグレーティングの孔を利用して取付部材をグレーティ
ング床に取り付ける。そしてこの取付部材に対してガイ
ドレールを取り付ける。このため、ガイドレールを直接
グレーティング床に取り付ける場合に比べて、取付が容
易になる。
のグレーティングの孔を利用して取付部材をグレーティ
ング床に取り付ける。そしてこの取付部材に対してガイ
ドレールを取り付ける。このため、ガイドレールを直接
グレーティング床に取り付ける場合に比べて、取付が容
易になる。
【００１１】
【実施例】図１〜図５に実施例を示す。図１に、ガイド
レール２上の有軌道台車４を模式的に示すと、有軌道台
車４は台車本体６上に移載装置８を搭載したもので、移
載装置８には例えば昇降、回転、伸縮（台車４からの進
退）の３つの自由度を設けて、全方向に対して物品を移
載しかつ姿勢を転換できるようにするのが好ましい。１
０，１１はカバーで、走行時の風などに物品が接触して
汚染されることを防止するためのものである。
レール２上の有軌道台車４を模式的に示すと、有軌道台
車４は台車本体６上に移載装置８を搭載したもので、移
載装置８には例えば昇降、回転、伸縮（台車４からの進
退）の３つの自由度を設けて、全方向に対して物品を移
載しかつ姿勢を転換できるようにするのが好ましい。１
０，１１はカバーで、走行時の風などに物品が接触して
汚染されることを防止するためのものである。
【００１２】台車本体６のガイドレール２寄りで、前後
方向のほぼ中央部には走行車輪１２があり、床面上を走
行する。走行車輪１２は、ブレーキとモーターとを備え
た駆動部１４により駆動され、図示しない軸受けなどに
より台車本体６の底面に取り付けられている。１６，１
７は一対のガイドローラユニットで、それぞれ複数のガ
イドローラを備え、走行車輪１２の前後方向の両側に設
けられ、ガイドレール２によりガイドされる。なおガイ
ドローラユニット１６，１７には、カーブ走行時にガイ
ドローラがガイドレール２に滑らかにガイドされるため
の機構を設けるのが好ましい。１８はピックアップコイ
ルで、ガイドレール２に設けたリッツ線などの非接触給
電用のケーブル（一対設置）から、給電を受けるための
ものである。また２０，２１は一対の従動車輪で、水平
面内で車軸の向きを回動自在に構成し、有軌道台車４の
ガイドレール２と反対側の側面付近の前後に設ける。こ
こでは走行車輪１２と従動車輪２０，２１とを設けた
が、走行車輪のみでも良く、その場合、取り付け位置は
ガイドレール２寄りとは限らない。
方向のほぼ中央部には走行車輪１２があり、床面上を走
行する。走行車輪１２は、ブレーキとモーターとを備え
た駆動部１４により駆動され、図示しない軸受けなどに
より台車本体６の底面に取り付けられている。１６，１
７は一対のガイドローラユニットで、それぞれ複数のガ
イドローラを備え、走行車輪１２の前後方向の両側に設
けられ、ガイドレール２によりガイドされる。なおガイ
ドローラユニット１６，１７には、カーブ走行時にガイ
ドローラがガイドレール２に滑らかにガイドされるため
の機構を設けるのが好ましい。１８はピックアップコイ
ルで、ガイドレール２に設けたリッツ線などの非接触給
電用のケーブル（一対設置）から、給電を受けるための
ものである。また２０，２１は一対の従動車輪で、水平
面内で車軸の向きを回動自在に構成し、有軌道台車４の
ガイドレール２と反対側の側面付近の前後に設ける。こ
こでは走行車輪１２と従動車輪２０，２１とを設けた
が、走行車輪のみでも良く、その場合、取り付け位置は
ガイドレール２寄りとは限らない。
【００１３】図２に、グレーティング床２２などの構成
を示すと、２４は床下スペースで、従来は床下スペース
２４にガイドレールを敷設してきた。これに対してこの
発明では、文字通りにグレーティング床２２上にガイド
レール２を敷設する。２６は半導体や液晶などの処理装
置で、２８はそのロードポートであり、３０は搬送すべ
きカセットで、その側面に設けたフランジ３１等を移載
装置８で把持して移載するものとする。図２に示すよう
に、ガイドレール２は処理装置やロードポートなどの床
上の設備の周囲を巡るように配設し、人や手押し車との
干渉を少なくする。
を示すと、２４は床下スペースで、従来は床下スペース
２４にガイドレールを敷設してきた。これに対してこの
発明では、文字通りにグレーティング床２２上にガイド
レール２を敷設する。２６は半導体や液晶などの処理装
置で、２８はそのロードポートであり、３０は搬送すべ
きカセットで、その側面に設けたフランジ３１等を移載
装置８で把持して移載するものとする。図２に示すよう
に、ガイドレール２は処理装置やロードポートなどの床
上の設備の周囲を巡るように配設し、人や手押し車との
干渉を少なくする。
【００１４】移載装置８には、ターンテーブル３２とス
カラーアーム３４ならびにハンド３６があり、昇降部３
８でハンド３６を昇降させ、水平面内での旋回と、スカ
ラーアーム３４を用いての伸縮、並びに昇降の３つの動
作ができるようにする。このようにすると、有軌道台車
４に対して、３６０度任意の方向との間で移載ができ、
また有軌道台車４の上部などで、カセット３０の旋回が
でき、有軌道台車４上でのカセット３０の姿勢を変更し
たり、向きをかえてロードポート２８に移載したりする
ことができる。移載装置８は、スカラーアーム３４を用
いたものに限らず、スライドフォークを用いたものや、
移載ロボットなどでも良い。いずれの場合も、水平面内
での旋回と前後進（伸縮）ならびに昇降の３つの自由度
を備えたものが好ましい。
カラーアーム３４ならびにハンド３６があり、昇降部３
８でハンド３６を昇降させ、水平面内での旋回と、スカ
ラーアーム３４を用いての伸縮、並びに昇降の３つの動
作ができるようにする。このようにすると、有軌道台車
４に対して、３６０度任意の方向との間で移載ができ、
また有軌道台車４の上部などで、カセット３０の旋回が
でき、有軌道台車４上でのカセット３０の姿勢を変更し
たり、向きをかえてロードポート２８に移載したりする
ことができる。移載装置８は、スカラーアーム３４を用
いたものに限らず、スライドフォークを用いたものや、
移載ロボットなどでも良い。いずれの場合も、水平面内
での旋回と前後進（伸縮）ならびに昇降の３つの自由度
を備えたものが好ましい。
【００１５】図３に、ガイドレール２に対する、有軌道
台車４の配置を示す。ガイドレール２は、合成樹脂やア
ルミニウムなどの非磁性材料からなり、有軌道台車４の
底面の１側方に片寄った位置にあり、その表面に設けた
凹部に一対のリッツ線４１，４２を設けて、非接触給電
用のケーブルとする。またマーク４４，４５などを設
け、有軌道台車４のセンサ４６，４７で検出して、位置
などを検出する。マーク４４，４５には、複数ビット分
のデータを表して絶対位置等を示すものや、マーク４
４，４５の存在自体をセンサ４６，４７で読み取り、何
番目のマークであるかにより位置を認識するようにした
もの、などを用いる。そしてセンサ４６，４７は、たと
えば有軌道台車４の底面で、レール２に対応する位置に
設ける。
台車４の配置を示す。ガイドレール２は、合成樹脂やア
ルミニウムなどの非磁性材料からなり、有軌道台車４の
底面の１側方に片寄った位置にあり、その表面に設けた
凹部に一対のリッツ線４１，４２を設けて、非接触給電
用のケーブルとする。またマーク４４，４５などを設
け、有軌道台車４のセンサ４６，４７で検出して、位置
などを検出する。マーク４４，４５には、複数ビット分
のデータを表して絶対位置等を示すものや、マーク４
４，４５の存在自体をセンサ４６，４７で読み取り、何
番目のマークであるかにより位置を認識するようにした
もの、などを用いる。そしてセンサ４６，４７は、たと
えば有軌道台車４の底面で、レール２に対応する位置に
設ける。
【００１６】ガイドローラユニット１６，１７は、ガイ
ドレール２に沿って、前後にたとえば一対設け、その間
にピックアップコイル１８を設ける。またガイドローラ
ユニット１６，１７は、その向きを台車本体６に対して
回動自在にする等により、カーブ走行可能に構成する。
そしてガイドローラユニット１６，１７の間の位置で、
ガイドレール２に沿った位置よりやや有軌道台車４の内
側に、走行車輪１２を設ける。走行車輪１２は車軸方向
が旋回自在なものでも固定のものでも良く、実施例では
車軸方向を固定した。また従動車輪２０，２１は車軸方
向を旋回自在に設け、たとえばガイドレール２とは反対
側で有軌道台車４の側方底面の前後に一対配置した。
ドレール２に沿って、前後にたとえば一対設け、その間
にピックアップコイル１８を設ける。またガイドローラ
ユニット１６，１７は、その向きを台車本体６に対して
回動自在にする等により、カーブ走行可能に構成する。
そしてガイドローラユニット１６，１７の間の位置で、
ガイドレール２に沿った位置よりやや有軌道台車４の内
側に、走行車輪１２を設ける。走行車輪１２は車軸方向
が旋回自在なものでも固定のものでも良く、実施例では
車軸方向を固定した。また従動車輪２０，２１は車軸方
向を旋回自在に設け、たとえばガイドレール２とは反対
側で有軌道台車４の側方底面の前後に一対配置した。
【００１７】図４に、ガイドレール２のグレーティング
床２２への取付を示す。グレーティング床２２には多数
の孔５０があり、この孔５０を利用して取り付け板５２
をねじ５３，５４とナットプレート５５などにより取り
付ける。なおナットプレート５５に代えて単なるナット
などを用いても良く、取り付け板５２をグレーティング
床２２の床下側に配置しても良い。ガイドレール２はボ
ルト５６などにより取り付け板５２に取り付ける。そし
てガイドレール２に設けた一対の凹部に前記のリッツ線
４１，４２を配設し、例えばＥ型の磁性コアにピックア
ップ用のコイルを巻き付けたピックアップコイル１８に
より非接触給電を受ける。さらにガイドローラユニット
１６，１７のガイドローラ６０は、各ユニットに左右そ
れぞれたとえば２個づつ設け、図４のように、ガイドレ
ール２の側面に接触してガイドされるようにする。
床２２への取付を示す。グレーティング床２２には多数
の孔５０があり、この孔５０を利用して取り付け板５２
をねじ５３，５４とナットプレート５５などにより取り
付ける。なおナットプレート５５に代えて単なるナット
などを用いても良く、取り付け板５２をグレーティング
床２２の床下側に配置しても良い。ガイドレール２はボ
ルト５６などにより取り付け板５２に取り付ける。そし
てガイドレール２に設けた一対の凹部に前記のリッツ線
４１，４２を配設し、例えばＥ型の磁性コアにピックア
ップ用のコイルを巻き付けたピックアップコイル１８に
より非接触給電を受ける。さらにガイドローラユニット
１６，１７のガイドローラ６０は、各ユニットに左右そ
れぞれたとえば２個づつ設け、図４のように、ガイドレ
ール２の側面に接触してガイドされるようにする。
【００１８】図５に、有軌道台車４のカーブでの走行を
示す。直線区間では、有軌道台車４は一対のガイドロー
ラユニット１６，１７によりガイドレールにガイドさ
れ、リッツ線４１，４２からピックアップコイル１８を
介して給電される。そして有軌道台車４の位置などを、
マーク４４，４５をセンサ４６，４７で読みとることに
より認識して、走行を制御する。走行車輪１２はガイド
レール２のやや内側にあり、ガイドレール２との距離が
短くかつ有軌道台車４の前後方向の中心付近にあるの
で、車軸方向を水平面内で固定してもこじれずにカーブ
走行できる。ガイドレール２から見た有軌道台車４の反
対側には従動車輪２０，２１があり、車軸方向が回動自
在なので、同様にカーブ走行できる。またガイドローラ
ユニット１６，１７は、有軌道台車４の底面に対して回
動軸などで連結されているので、カーブではガイドロー
ラユニット１６，１７の向きが変化することにより走行
できる。なお各ガイドローラユニット１６，１７あたり
のガイドローラの数を２個あるいは３個などと減少させ
れば、ガイドローラユニット１６，１７の向きを有軌道
台車４に対して旋回自在にしなくてもカーブ走行でき
る。特にユニット当たりのガイドローラの数を２個と
し、２個のガイドローラの中心を結ぶ線がカーブでの曲
率中心を通るようにしておけば、滑らかにカーブ走行で
きる。そしてカーブではピックアップコイル１８はリッ
ツ線４１，４２からはずれるが、短時間でカーブを走行
しうるので特に問題はない。
示す。直線区間では、有軌道台車４は一対のガイドロー
ラユニット１６，１７によりガイドレールにガイドさ
れ、リッツ線４１，４２からピックアップコイル１８を
介して給電される。そして有軌道台車４の位置などを、
マーク４４，４５をセンサ４６，４７で読みとることに
より認識して、走行を制御する。走行車輪１２はガイド
レール２のやや内側にあり、ガイドレール２との距離が
短くかつ有軌道台車４の前後方向の中心付近にあるの
で、車軸方向を水平面内で固定してもこじれずにカーブ
走行できる。ガイドレール２から見た有軌道台車４の反
対側には従動車輪２０，２１があり、車軸方向が回動自
在なので、同様にカーブ走行できる。またガイドローラ
ユニット１６，１７は、有軌道台車４の底面に対して回
動軸などで連結されているので、カーブではガイドロー
ラユニット１６，１７の向きが変化することにより走行
できる。なお各ガイドローラユニット１６，１７あたり
のガイドローラの数を２個あるいは３個などと減少させ
れば、ガイドローラユニット１６，１７の向きを有軌道
台車４に対して旋回自在にしなくてもカーブ走行でき
る。特にユニット当たりのガイドローラの数を２個と
し、２個のガイドローラの中心を結ぶ線がカーブでの曲
率中心を通るようにしておけば、滑らかにカーブ走行で
きる。そしてカーブではピックアップコイル１８はリッ
ツ線４１，４２からはずれるが、短時間でカーブを走行
しうるので特に問題はない。
【００１９】実施例ではガイドレール２をグレーティン
グ床２２上に設置するので、床下スペース２４に設置す
る場合と異なり、設置が容易で、設置後のレイアウト変
更も容易である。またガイドレール２はロードポート２
８などに寄せて敷設することができるので、人や手押し
車などの障害となる事が少ない。ガイドレール２には、
一対のリッツ線４１，４２やマーク４４，４５を設けた
が、それでも高さが１〜３ｃｍで幅が５〜１５ｃｍ程度
にできるので、極めてコンパクトにできる。そして一対
のガイドローラユニット１６，１７を用いることによ
り、有軌道台車４をガイドレール２でガイドし、ガイド
レール２寄りでかつ車体の前後方向のほぼ中心部にある
走行車輪１２は、カーブでも直線区間でも滑らかに走行
する。さらに有軌道台車４の反対側の底部に設けた一対
の従動車輪２０，２１で、有軌道台車４からの荷重を支
持する。
グ床２２上に設置するので、床下スペース２４に設置す
る場合と異なり、設置が容易で、設置後のレイアウト変
更も容易である。またガイドレール２はロードポート２
８などに寄せて敷設することができるので、人や手押し
車などの障害となる事が少ない。ガイドレール２には、
一対のリッツ線４１，４２やマーク４４，４５を設けた
が、それでも高さが１〜３ｃｍで幅が５〜１５ｃｍ程度
にできるので、極めてコンパクトにできる。そして一対
のガイドローラユニット１６，１７を用いることによ
り、有軌道台車４をガイドレール２でガイドし、ガイド
レール２寄りでかつ車体の前後方向のほぼ中心部にある
走行車輪１２は、カーブでも直線区間でも滑らかに走行
する。さらに有軌道台車４の反対側の底部に設けた一対
の従動車輪２０，２１で、有軌道台車４からの荷重を支
持する。
【図１】 実施例でのレールと有軌道台車の斜視図
【図２】 実施例での有軌道台車とレールとを示す切り
欠き部付き正面図
欠き部付き正面図
【図３】 実施例での有軌道台車とレールの平面図
【図４】 実施例でのレールの取り付けとピックアップ
コイルとを示す断面図
コイルとを示す断面図
【図５】 実施例でのカーブ走行を示す図
２ ガイドレール ４ 有軌道台車 ６ 台車本体 ８ 移載装置 １０，１１ カバー １２ 走行車輪 １４ 駆動部 １６，１７ ガイドローラユニット １８ ピックアップコイル ２０，２１ 従動車輪 ２２ グレーティング床 ２４ 床下スペース ２６ 処理装置 ２８ ロードポート ３０ カセット ３１ フランジ ３２ ターンテーブル ３４ スカラーアーム ３６ ハンド ３８ 昇降部 ４１，４２ リッツ線 ４４，４５ マーク ４６，４７ センサ ５０ 孔 ５２ 取り付け板 ５３，５４ ネジ ５５ ナットプレート ５６ ボルト ６０ ガイドローラ
Claims (3)
- 【請求項１】 非接触給電用のケーブルを備えたガイド
レールを床面上に敷設すると共に、有軌道台車には前記
ガイドレールによりガイドされるガイドローラと、前記
ケーブルから給電するためのピックアップコイルとを設
けた有軌道台車システム。 - 【請求項２】 前記ガイドレールにマークを設けると共
に、前記有軌道台車に該マークの検出用センサを設けた
ことを特徴とする、請求項１の有軌道台車システム。 - 【請求項３】 床がグレーティング床で構成されて、該
床の孔を利用して取り付け部材を床に取り付け、さらに
該取り付け部材にガイドレールを取り付けたことを特徴
とする、請求項１または２の有軌道台車システム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30635799A JP2001128316A (ja) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | 有軌道台車システム |
| US09/696,239 US6374748B1 (en) | 1999-10-28 | 2000-10-26 | Tracking cart system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30635799A JP2001128316A (ja) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | 有軌道台車システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001128316A true JP2001128316A (ja) | 2001-05-11 |
Family
ID=17956103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30635799A Pending JP2001128316A (ja) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | 有軌道台車システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001128316A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130230369A1 (en) * | 2002-07-22 | 2013-09-05 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| US8960099B2 (en) | 2002-07-22 | 2015-02-24 | Brooks Automation, Inc | Substrate processing apparatus |
| US9570330B2 (en) | 2002-07-22 | 2017-02-14 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
-
1999
- 1999-10-28 JP JP30635799A patent/JP2001128316A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130230369A1 (en) * | 2002-07-22 | 2013-09-05 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
| US8827617B2 (en) * | 2002-07-22 | 2014-09-09 | Brooks Automation Inc. | Substrate processing apparatus |
| US8960099B2 (en) | 2002-07-22 | 2015-02-24 | Brooks Automation, Inc | Substrate processing apparatus |
| US9570330B2 (en) | 2002-07-22 | 2017-02-14 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20031222 |