KR100682383B1 - 건조 필름 레지스트용 커버 필름 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 베이스 필름 및 베이스 필름의 적어도 한 면에 1 이상의 왁스 함유 코팅층을 포함하는 건조 필름 레지스트용 커버 필름에 관한 것으로, 상기 코팅층 표면의 물방울 접촉각은 80°이상이다.

Description

건조 필름 레지스트용 커버 필름 {COVER FILM FOR DRY FILM RESIST}
본 발명은 건조 필름 레지스트용 커버 필름에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 우수한 이형성 및 표면 물성을 갖는 건조 필름 레지스트용 커버 필름에 관한 것이다.
최근, 전자 장치의 소형화는 인쇄된 배선반의 고밀도를 요구하여 왔고, 절연된 기판 표면상에 미세한 도체 패턴이 형성되도록 하는 것을 긴급하게 요구하여 왔다.
인쇄된 배선반의 제조에 사용되는 건조 필름 레지스트는 캐리어 필름/포토레지스트/커버 필름의 3층 구조를 갖고 있으며, 폴리에틸렌 필름이 그러한 건조 필름 레지스트용 커버 필름으로 사용되고 있다. 그러나 두께 분포 및 경향은 폴리에틸렌 필름의 어안을 형성하는 현상으로 인해 인쇄된 배선반의 고밀도 실현이 어렵다.
건조 필름 레지스트는 캐리어 필름상에 포토레지스트층을 코팅하고, 형성된 포토레지스트층을 건조한 후, 그 위에 커버 필름을 적층하여 제조된다. 포토레지스트는 커버 필름이 적층될 때 유연하다. 따라서 어안 현상으로 인해 커버 필름 표면이 불균일해지면, 포토레지스트층으로 불균일이 전달되어 표면상에 유사한 불균일 을 형성하고, 절연된 기판에 대한 포토레지스트층의 접착을 부적당하게 하여 불완전한 도체 패턴을 형성한다.
폴리에틸렌 필름은 용융 압출에 의해 성형되지만, 용융 점도가 높기 때문에 용융물이 압출될 때 고성능 필터로 용융물을 거의 여과할 수 없으므로 성형 쉬트에 어안 등의 형성을 피할 수 없다. 또한 폴리에틸렌 필름을 형성하는데 일반적으로 사용되는 확장 방법은 균일한 필름 두께를 제공하기 어렵고, 또한 필름 두께의 불완전성 문제를 일으킨다.
따라서, 커버 필름용 폴리에틸렌을 사용하여 인쇄된 배선반의 고밀도를 위한 요건을 만족시키는 것은 매우 어렵다.
일본 특허 공개 (KOKAI) 제6-297565호에서는 폴리에틸렌 필름 대신 건조 필름 레지스트용 폴리에스테르 필름을 사용하는 것이 개시되어 있다.
그러나 일본 특허 출원 제6-297565호에 따른 폴리에스테르 필름은 이형성을 확보하도록 폴리에틸렌 필름과 동일한 유연성을 제공하기 위해 필름 상에 탈형제를 도포하여 원하는 이형성을 제공하고, 긴사슬 지방족 디카르복시산 및/또는 폴리올레핀과 같은 공중합체 성분을 배합하여 유연성을 제공한다.
상기 필름은 코팅에 의해 제공되는 이형성이 만족스럽지 못하기 때문에, 베이스 필름에 유연성을 제공할 필요가 있다. 그러나 특별한 물질이 베이스 필름으로 사용되기 때문에, 상기 폴리에스테르 필름은 필름의 재생이 곤란하고 생산 비용이 증가하는 문제가 있다.
본 발명자들이 상기 문제를 해결하기 위해 연구한 결과, 베이스 필름 및 왁스 함유 코팅층을 포함하고, 특별한 물방울 접촉각을 갖는 필름이 건조 필름 레지스트용 커버 필름으로서 적당하다는 것을 발견하였다.
본 발명은 상기 발견을 기초로 완성되었다.
본 발명의 목적은 우수한 이형성 및 표면 물성을 갖는 건조 필름 레지스트용 커버 필름을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에서는 베이스 필름 및 베이스 필름 적어도 한 면에 1 이상의 왁스 함유 코팅층을 포함하고, 상기 코팅층의 표면의 물방울 접촉각이 80°이상인 건조 필름 레지스트용 커버 필름을 제공하고 있다.
본 발명은 하기에 더욱 상세히 기재되어 있다.
본 발명에 따른 건조 필름 레지스트용 커버 필름에서, 베이스 필름을 구성하고 있는 수지는 폴리에스테르인 것이 바람직하다. 본 발명에서 사용되고 있는 "폴리에스테르"란 용어는 방향족 이염기산 또는 그의 에스테르 형성 유도체 및 글리콜로부터 합성된 고결정성 직쇄 포화 폴리에스테르를 의미한다.
본 발명에서 폴리에스테르 성분으로서 사용될 수 있는 디카르복시산의 예로서는 테레프탈산, 이소프탈산, 오르토프탈산, 나프탈렌디카르복시산, 파라페닐렌디카르복시산 및 그의 유도체와 같은 방향족 디카르복시산; 1,4-시클로헥산디카르복시산 및 그의 유도체와 같은 지방족 디카르복시산; 숙신산, 아디프산, 수베르산, 세바스산, 도데칸디이온산 및 그의 유도체와 같은 지방족 디카르복시산 및 트리멜 리트산, 피로멜리트산 및 그의 유도체와 같은 다관능성산이 있다.
폴리에스테르의 또 다른 성분으로서 사용되는 디올의 예로서는 에틸렌 글리콜, 1,3-프로필렌 글리콜, 1,4-부탄디올, 1,6-헥산디올, 네오펜틸 글리콜, 디에틸렌 글리콜, 트리에틸렌 글리콜, 폴리에틸렌 글리콜, 폴리테트라메틸렌 글리콜, 1,4-시클로헥산디메탄올 및 그의 유도체가 있다.
본 발명에서 사용되는 바람직한 폴리에스테르는 폴리에틸렌 테레프탈레이트이다.
상기 건조 필름 레지스트용 커버 필름의 헤이즈는 7% 이하, 바람직하게는 4%이하이다. 헤이즈가 7%를 초과하면, 포토레지스트의 고팅에 코팅홀과 같은 결함을 발견하기 어려워진다.
상기 건조 필름 레지스트용 커버 필름의 두께는 바람직하게는 25㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 20㎛ 이하, 가장 바람직하게는 16㎛ 이하이다. 커버 필름 두께가 25㎛ 이상이면, 커버 필름이 제거될 때, 필름이 너무 견고하기 때문에 포토레지스트 표면이 손상될 수 있다.
커버 필름 두께의 하한치는 보통 3.5㎛이다.
본 발명에서 생성된 필름의 표면에 바람직한 조도를 제공하기 위해, 필름 또는 코팅층에 미세 입자를 부가하는 것이 바람직하다. 실리카, 알루미나, 카올린, 칼슘 카르보네이트, 바륨염 등과 같은 각종 물질의 입자가 이런 용도로 사용될 수 있다.
코팅층의 표면 조도는 바람직하게는 0.005 내지 0.2㎛, 더욱 바람직하게는 0.02 내지 0.1㎛이다. 표면 조도가 0.005㎛ 미만이면, 생성된 필름의 권취성이 나빠지는 경향이 있고, 표면 조도가 0.2㎛를 초과하면, 커버 필름과 포토레지스트 사이에 공기 트랩이 형성되어 산소와 레지스트 사이의 반응에 의해 레지스트가 경화된다.
상기 건조 필름 레지스트용 커버 필름에서, 코팅층을 형성하는데 사용되는 코팅 용액에 왁스가 배합된다. 그러한 왁스로서는 식물성 왁스, 동물성 왁스, 무기 왁스 및 석유 왁스 뿐만 아니라 합성 탄화수소, 개질된 왁스 및 수소화 왁스와 같은 합성 왁스가 사용될 수 있다. 이러한 왁스 중, 폴리올레핀 왁스가 바람직하게 사용된다. 예컨대, 에틸렌, 프로필렌, 1-부텐, 4-메틸-1-펜텐 등과 같은 불포화 탄화수소의 중합체 또는 공중합체를 포함하는 폴리올레핀 화합물을 기본 골격으로 갖는 화합물은 용액 또는 현탁액으로서 사용된다. 그러한 화합물의 더욱 특별한 예는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리-1-부텐, 폴리-4-메틸-1-펜텐, 에틸렌-프로필렌 공중합체, 에틸렌-1-부텐 공중합체, 프로필렌-1-부텐 공중합체 등을 포함한다.
본 발명에서, 말단기에 활성 수소기를 갖는 산가 10 내지 50의 폴리올레핀 또는 폴리에틸렌 옥시드나 폴리프로필렌 옥시드를 사용하는 것이 바람직하다. 본 발명에서 "산가"란 1g의 시편에 함유된 유리 지방산을 중화시키는데 필요한 수산화 칼륨의 mg의 수치를 의미한다. 왁스에 함유된 자유 지방산의 함량에 비례하는 수치이다. 10 미만의 산가를 갖는 폴리올레핀 화합물을 사용할 때, 포토레지스트로부터 커버 필름의 이형성은 충분하지만, 코팅층의 코팅 필름 강도가 저하하는 경향이 있고, 코팅층의 일부분이 커버 필름 제거 후, 레지스트층으로 이동하여 레지스트층이 절연된 기판 상에 적층될 때 접착을 감소시키게 된다. 50을 초과하는 산가를 갖는 폴리올레핀 화합물을 사용하는 경우에는 코팅층이 레지스트층으로 이동하지는 않지만, 포토레지스트로부터의 이형성이 악화될 수 있다.
상세하게는 예컨대, 에틸렌 또는 프로필렌 중합체 및/또는 공중합체를 함유하는 폴리올레핀 화합물을 기본 골격으로서 갖고, 말단기에 카르복실기, 히드록실기 또는 아미노기와 같은 활성 수소기를 갖는 화합물은 용액 또는 현탁액으로서 사용된다. 특히, 폴리에틸렌 옥시드 왁스, 폴리프로필렌 옥시드 왁스, 에틸렌 옥시드-프로필렌 공중합체 왁스 등이 바람직하게 사용된다.
왁스 (상술한 바와 같은 폴리올레핀 화합물)는 코팅층을 형성하는데 사용되는 코팅 용액 100중량부를 기준으로 1 내지 100중량부, 바람직하게는 20 내지 100중량부의 양으로 배합된다. 배합되는 왁스 (폴리올레핀 화합물)의 함량이 20중량부 미만인 경우, 포토레지스트로부터 커버 필름의 이형성이 저하하는 경향이 있다.
양호한 외관으로 필름 상에 왁스를 도포하고, 코팅층과 필름 사이에 접착을 향상시키기 위해 코팅 용액에 가교제를 혼합하는 것이 바람직하다. 그러한 가교제로는 예컨대, 멜라민형, 아미드형 및 아크릴아미드형 화합물, 에폭시 화합물, 폴리이소시아네이트, 블록킹 폴리이소시아네이트 및 카르보디아미드 화합물을 사용할 수 있다.
가교제는 코팅 용액 100 중량부를 기준으로 1 내지 50중량부, 바람직하게는 5 내지 30중량부의 양으로 배합된다. 배합되는 가교제의 함량이 30중량부를 초과하면, 포토레시스트로부터 커버 필름의 이형성이 저하되는 경향이 있고, 가교제의 함 량이 1 중량부 미만이면, 코팅층의 코팅 필름 강도가 저하되는 경향이 있다.
상기 도료 조성물은 코팅 성능을 향상시키기 위해 본 발명의 효과에 영향을 미치지 않는 범위에서 윤활제, 대전 방지제, 소포제, 입자 등을 함유할 수 있다.
도포 방법으로는 Y. Harasaki: Coating System, Maki Shoten, 1979에 기재된 바와 같이 역방향 롤 도포기, 그라비아 도포기, 로드 도포기, 공기 닥터 도포기 등을 포함하는 각종 도포기 및 다른 형태의 도포 장치를 사용할 수 있다.
본 발명에서 코팅층은 필름 형성 공정 중에 코팅이 실시되는 인라인 코팅법, 필름 형성 후 코팅이 실시되는 오프라인 코팅법 또는 기타 다른 코팅법에 의해 제공될 수 있지만, 인라인 코팅법이 바람직하다.
인라인 코팅은 폴리에스테르 필름 형성 공정 중 코팅이 실시되는 방법이며, 더욱 상세하게는 이축 연신 및 열 고정 후 필름을 권취하기 위해 폴리에스테르를 용융 압출하는 공정 중 임의의 적당한 단계에서 코팅이 실시되는 방법이다. 보통, 용융 압출물을 급냉시킴으로써 얻어진 실질적인 무정형 상태 비연신 쉬트, 또는 종 (기계) 방향으로 상기 쉬트 일축을 연신시킴으로써 얻어진 일축 연신된 필름, 또는 열고정 전에 이축 연신된 필름 상에 코팅이 형성된다. 특히 일축 연신된 필름 상에 코팅이 형성된 후, 필름이 역방향으로 추가 연신되는 것이 바람직하다. 이 방법은 필름 형성 및 코팅층의 건조가 동시에 실시되기 때문에 제조 비용면에서 유리하다. 또한, 코팅 후 연신이 실시되기 때문에 박막 코팅이 형성되기 쉽고, 또 코팅 후 실시되는 열처리가 다른 방법으로는 적용될 수 없는 고온에서 실시되기 때문에 코팅층과 폴리에스테르 필름이 서로 단단히 고착된다.
상기 커버 필름의 코팅층 표면의 물방울 접촉각은 80°이상, 바람직하게는 90°이상이다. 접촉각이 80°미만이면, 커버 필름의 이형성이 악화되고, 커버 필름이 이형될 때, 포토레지스트 표면에 금이 가기 쉽다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 우수한 이형성 및 표면 물성을 갖는 건조 필름 레지스트용 커버 필름을 제공하며, 그의 산업적 가치는 높다.
실시예
본 발명은 하기의 실시예에 의해 더욱 설명되지만, 본 발명이 하기 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.
상기 필름의 물성은 하기의 방법에 따라 측정되었다. 우선, 이축 연신된 폴리에스테르 필름 (캐리어 필름) 상에 포토레지스트층을 도포하고, 건조 후 적층물을 본 발명에 따른 건조 필름 레지스트용 커버 필름의 도포면 상에서 롤 압력하에 부착하여 캐리어 필름/포토레지스트/커버 필름의 3층 구조의 건조 필름 레지스트를 얻고, 하기 항목을 측정하였다.
(1) 물방울 접촉각
샘플 필름의 코팅층 표면과 그 위의 증류수 물방울에 의해 형성된 접촉각을 23℃ 및 50% RH 조건하에서 접촉각 측정계 모델 CA-DT-A (mfd. Kyowa Kaimen Kagaku KK 제조)에 의해 측정하였다. 3개 샘플 각각의 두 점 (외쪽점 및 오른쪽점)에서 접촉각을 측정하고 6회 측정의 평균을 접촉각으로 나타내었다. 물방울의 직경은 2㎜이었고, 측정계에 나타난 수치는 물 낙하 후 1분 후에 측정한 수치였다.
(2) 헤이즈
필름의 헤이즈는 적분 구식 탁도계 NHD-20D (니폰 덴쇼쿠 고교 가부시키가이샤 제조)을 사용하여 JIS-7105호에 따라 측정하였다.
(3) 표면 조도 (Ra)
중심선 평균 조도 Ra (㎛)를 표면 조도로서 나타내었다. 표면 조도 측정기 (SE-3F, 코사카 켄큐쇼사 제조)를 사용하여 하기의 방법에 의해 측정하였다. 표준 길이 L (2.5㎜)를 갖는 부분을 샘플 필름의 단면 곡선으로부터 발휘하고, 발휘 부분의 중심선을 x축, 종배율의 방향을 y축으로 하여 조도 곡선 (y)를 y=f(x)로서 나타낼 때, 하기 방정식으로부터 얻은 수치를 표면 조도 (㎛)로 나타내었다. 중심선 평균 조도는 샘플 필름 표면으로부터 10 구간 곡선에서 측정하고, 10 구간 곡선으로부터 결정된 부분으로부터 발휘된 중심선 평균 조도의 평균 수치를 나타내었다. 측정은 하기 조건하에서 실시하였다: 촉침의 선단 반경= 2㎛; 하중= 30mg; 컷오프치 = 0.08㎜.
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(4) 이형성의 평가
샘플 필름을 15㎜ 폭의 조각으로 절단하고, 커버 필름을 인장 시험기에 의해 이형하여 이형성, 레지스트 표면 상태 등을 실험하고, 하기 기준에 따라 그들을 평가하였다.
◎: 접착력은 15g/cm 미만이고, 레지스트 표면에 손상을 주지 않고 매우 부드럽게 이형이 일어남.
0: 접착력은 15 내지 100g/cm 이었고, 레지스트 표면에 손상을 주지 않음.
△: 접착력은 100g/cm 이상이었다. 이형이 일어나기 어려웠지만, 레지스트 표면에 손상을 일으킬 정도로 불량하지는 않음.
×: 이형이 부드럽지 못했고, 레지스트 표면에 손상을 줌.
(5) 절연된 기판에 대한 레지스트층의 접착
◎: 레지스트층이 절연된 기판상에 적층될 때, 양호하게 서로 접착되었으며, 레지스트층이 이형되지 않음.
0: 레지스트층이 절연된 기판상에 적층될 때, 서로 잘 접착되었으며, 레지스트층이 쉽게 이형되지 않음.
△: 레지스트층이 절연된 기판상에 적층될 때, 레지스트층이 적은 부분에서만 이형됨.
×: 레지스트층이 절연된 기판상에 적층될 때, 잘 접착되지 않았으며, 레지스트층이 쉽게 이형됨.
(6) 커버 필름의 적층 후, 건조 필름 레지스트의 안정성
상기 건조 필름 레지스트용 커버 필름을 포토레지스트 층에 적층하고 권취하였다. 롤을 약 2개월 동안 차가운 암소에 방치한 후, 하기 항목을 실험하고 평가하였다.
A. 레지스트층의 경화
◎: 레지스트층이 전혀 경화되지 않음.
0: 레지스트층의 표면 중 일부분만이 경화되었지만, 건조 필름 레지스트의 성능에 영향을 끼치지 않음.
△: 레지스트층의 표면 중 일부분만이 경화됨.
×: 레지스트층의 표면이 전부 경화됨.
B. 건조 필름 레지스트의 권취성
◎: 롤상에서 레지스트층이 느슨해지거나 엇갈리지 않았고, 롤에 주름이 전혀 없음.
0: 롤상에서 레지스트층이 실질적으로 느슨해지거나 엇갈리지 않았고, 롤에 주름이 거의 없음.
△: 롤상에서 레지스트층이 부분적으로 느슨해지고, 롤에 주름이 부분적으로 있음.
×: 롤상에서 레지스트층이 느슨해지고, 롤에 주름이 있음.
(7) 일반 평가
상기 항목에 대한 측정의 결과로부터, 건조 필름 레지스트용 커버 필름으로서 샘플 필름의 성능을 5-단계로 평가하였다. 종합 평가 "5"는 건조 필름 레지스트용 커버 필름으로서 가장 우수한 필름이다. 종합 평가 "1"은 가장 불량한 필름을 나타낸다. "2" 이상의 종합 평가는 건조 필름 레지스트용 커버 필름으로서 사용하기에 적당하다.
실시예 1
0.65의 고유 점도를 갖고, 2㎛의 평균 입경을 갖는 1,000ppm의 무정형 실리카를 함유하는 폴리에스테르를 295℃에서 용융하고, 냉각 주조 드럼 위에 쉬트로서 압출하고 고화시켜 비배향 쉬트를 형성하였다. 이 쉬트를 90℃에서 종방향으로 3.6배 연신한 후, 폴리올레핀 화합물 및 하기에 특정된 가교제를 포함하는 코팅 용액으로 도포하고, 텐터내에서 예열 공정을 거쳐 90℃에서 4회 횡방향 연신시키고, 230℃에서 10초 동안 열처리하여 16㎛ 두께의 폴리에스테르 필름을 얻었다. 이 필름을 포토레지스트 층에 적층하여 캐리어 필름/포토레지스트/커버 필름의 3층 구조를 갖는 건조 필름 레지스트를 얻고, 상술한 바와 같은 방법으로 평가하였다. 16㎛의 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름을 캐리어 필름으로서 사용하였다.
코팅 용액 조성물
폴리올레핀 화합물: 산가 30을 갖는 폴리에틸렌 옥시드 에멀젼 ‥·80중량부
가교제: 알킬올멜라민 ‥·20중량부
표 1에 나타낸 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 건조 필름 레지스트용 커버 필름의 실험 샘플은 우수한 이형성을 갖고, 절연된 기판에 대한 레지스트 층의 접착이 우수하며, 실험한 모든 항목의 평가 결과도 양호하였다.
비교 실시예 1
코팅 용액이 도포되지 않는 것을 제외하고는 실시예 1에 기재된 동일한 방법을 실시하여 필름을 얻었다. 그러나 커버 필름 표면의 물방울 접촉각은 단지 65°이고, 포토레지스트 및 커버 필름 사이의 접착력이 매우 크기 때문에 커버 필름이 포토레지스트 층으로부터 쉽게 이형되지 않았다.
비교 실시예 2
코팅 용액 조성물이 100중량부의 가교제를 포함하는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 조건하에 필름을 형성하였다.
얻어진 필름의 코팅층 표면의 물방울 접촉각은 66°이고, 포토레지스트 및 커버 필름 사이의 접착력이 매우 크기 때문에, 커버 필름이 포토레지스트 층으로부터 쉽게 이형되지 않았다.
비교 실시예 3
코팅 용액 조성물이 산가 80을 갖는 100중량부의 폴리에틸렌 옥시드를 포함하는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 조건하에 필름을 형성하였다.
얻어진 필름의 코팅층 표면의 물방울 접촉각은 72°이고, 포토레지스트 및 커버 필름 사이의 접착력이 매우 크기 때문에, 커버 필름이 포토레지스트 층으로부터 쉽게 이형되지 않았다.
실시예 2 내지 5
폴리올레핀 화합물을 하기에 특정한 왁스로 대체하는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 조건하에 필름을 형성하였다.
왁스
산가 15를 갖는 폴리에틸렌 옥시드 (실시예 2)
산가 45를 갖는 폴리에틸렌 옥시드 (실시예 3)
산가 5를 갖는 폴리에틸렌 옥시드 (실시예 4)
산가 55를 갖는 폴리에틸렌 옥시드 (실시예 5)
실시예 6 내지 7
커버 필름에 부가하는 무정형 실리카의 함량을 하기에 특정한 바와 같이 변 경하는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 조건하에 필름을 형성하였다.
부가되는 무정형 실리카의 함량
5,000ppm (실시예 6)
100ppm (실시예 7)
10,000ppm (실시예 8)
20ppm (실시예 9)
얻어진 결과를 표 1에 요약하였다.
표 1
실시예 1 실시예 2 실시예 3 실시예 4
물방울과의 접촉각 95 97 88 98
헤이즈 4 4 4 4
표면 조도 ×103 50 50 50 50
이형성 ◎ ◎ O ◎
접착 ◎ O ◎ △
레지스트의 경화 ◎ ◎ ◎ ◎
권취성 ◎ ◎ ◎ ◎
종합 평가 5 5 5 3
표 1a
실시예 5 실시예 6 실시예 7 실시예 8
물방울과의 접촉각 85 96 92 96
헤이즈 4 7 3 9
표면 조도 ×103 50 200 5 250
이형성 △ ◎ ◎ ◎
접착 ◎ ◎ ◎ ◎
레지스트의 경화 ◎ O ◎ △
권취성 ◎ ◎ O ◎
종합 평가 3 5 5 3
표 1c
실시예 9 비교 실시예 1 비교 실시예 2 비교 실시예 3
물방울과의 접촉각 92 65 66 72
헤이즈 2 3 4 4
표면 조도 ×103 3 50 50 50
이형성 ◎ × × ×
접착 ◎ ◎ ◎ ◎
레지스트의 경화 ◎ ◎ ◎ ◎
권취성 △ ◎ ◎ ◎
종합 평가 3 1 1 1
본 발명에 따른 건조 필름 레지스트용 커버 필름은 우수한 이형성 및 표면 물성을 갖는다.

Claims (7)

  1. 베이스 필름 및 베이스 필름의 적어도 한 면에 1 이상의 왁스 함유 코팅층을 포함하고, 상기 코팅층 표면의 물방울 접촉각이 80°이상이며, 상기 코팅층에 포함된 왁스는 산가 10 내지 50 mgKOH/g을 갖는 폴리에틸렌 옥시드이고, 7% 이하의 헤이즈를 갖는 건조 필름 레지스트용 커버 필름.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서, 4 내지 25㎛의 두께를 갖는 필름.
  6. 제 1항에 있어서, 코팅층의 표면 조도가 0.005 내지 0.2㎛인 필름.
  7. 제 1항에 있어서, 베이스 필름이 폴리에스테르 필름인 필름.
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