JP2021003808A - 二軸配向ポリエステルフィルムおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】熱が加わった際の膨張収縮挙動が少ない二軸配向ポリエステルフィルム及びその製造方法を提供する。【解決手段】任意の一方の方向（該方向をａ方向）およびａ方向に直交する方向（該方向をｂ方向）それぞれについて、２５℃で９．８ｍＮ／５ｍｍの張力をかけた時の長さをＸ１ａおよびＸ１ｂ、２５℃より１０℃／分で１８０℃まで昇温した後の長さをＸ２ａおよびＸ２ｂとした際、式１で求められる熱収縮率差が−０．３５％以上０．３５％以下である、二軸配向ポリエステルフィルム。熱収縮率差（％）＝｛（Ｘ２ａ−Ｘ１ａ）／Ｘ１ａ−（Ｘ２ｂ−Ｘ１ｂ）／Ｘ１ｂ｝×１００ （式１）【選択図】なし

Description

本発明は、二軸配向ポリエステルフィルムおよびその製造方法に関する。

多層プリント配線板を製造する場合において、層間絶縁接着剤にガラスクロスを用いない、ビルドアップ方式による多層プリント配線板の技術が近年、改めて注目されている。ビルドアップ方式による多層プリント配線板ではフィルム状の層間絶縁樹脂層を用いた場合、内層回路板の絶縁基板と回路との段差をなくし、その表面を平滑化するために、内層回路板にアンダーコート材を塗布することが一般化してきた。代表的な例として、特許文献１に示されるように、内層回路板に塗布されたアンダーコート材が未硬化、半硬化または硬化した状態において、層間絶縁接着剤をコートした銅箔をラミネートし、一体硬化することにより多層プリント配線板を得る技術が知られている。

特許文献１に記載されているフィルム状の層間絶縁樹脂層には硬化時の収縮が小さく基材との接着性に優れた熱硬化性樹脂としてエポキシ樹脂が使用されている。

前述のフィルム状の層間絶縁樹脂層を製造する際、近年、優れた耐溶剤性、寸法安定性、剛性を有しているとの理由で二軸配向ポリエステルフィルムが支持体として使用されている。使用される二軸配向ポリエステルフィルムにおいて、表面粗さや熱収縮率を特定の範囲としたもの（特許文献２）、結晶サイズを特定の範囲としたもの（特許文献３）、析出オリゴマー量を抑制したもの（特許文献４）などによって実用特性を高めたフィルムが提案されている。

特開平９−６７５５４号公報 特開平７−２２７９０３号公報 特開平６−２５４９５９号公報 特開２０１１−２５５５２７号公報

前述のフィルム状の層間絶縁樹脂層を製造する際、塗布された層間絶縁樹脂層を乾燥させるためには加熱する方法があり、加熱する際に支持体が膨張ないし収縮する場合には塗布された層間絶縁樹脂層も支持体に伴って移動するが、その挙動によっては層間絶縁樹脂層にシワなどの変形を起こす場合が有り、生産性が低下する要因となっているため、この課題の解決が切望されている。本発明は、熱が加わった際の膨張収縮挙動が少ない二軸配向ポリエステルフィルム及びその製造方法を提供することを課題とする。

上記目的を達成するための本発明は、以下の特徴を有する。即ち、任意の一方の方向（該方向をａ方向）およびａ方向に直交する方向（該方向をｂ方向）それぞれについて、２５℃で９．８ｍＮ／５ｍｍの張力をかけた時の長さをＸ１ａおよびＸ１ｂ、２５℃より１０℃／分で１８０℃まで昇温した後の長さをＸ２ａおよびＸ２ｂとした際、式１で求められる熱収縮率差が−０．３５％以上０．３５％以下である、二軸配向ポリエステルフィルムである。
熱収縮率差（％）＝｛（Ｘ２ａ−Ｘ１ａ）／Ｘ１ａ−（Ｘ２ｂ−Ｘ１ｂ）／Ｘ１ｂ｝×１００ （式１）

本発明により、熱硬化性樹脂との成形時に熱が加わった際に、熱硬化性樹脂にシワなどの発生が少ない二軸配向ポリエステルフィルムを提供できる。

フィルム製造装置の全体構成を例示した図である。

本発明者らは、上記実状に鑑み鋭意検討した結果、二軸延伸後の弛緩処理方法を調整することで、特定の温度範囲でのフィルムの膨張収縮挙動を制御できることを見出した。以下、本発明について詳述する。

本発明による二軸配向ポリエステルフィルムは、離型フィルムとして好ましく使用され、特に層間絶縁樹脂（電気絶縁樹脂）の支持体用などの電気絶縁用途に好適に用いることができる。

層間絶縁樹脂用途においては、層間絶縁樹脂層との成形時に熱が加わった際に、離型フィルムの膨張収縮挙動が大きいと層間絶縁樹脂層も伴って移動するためにシワなどの重大な欠陥となり、非常に厳しい管理要求レベルに耐え得ない。すなわち、離型フィルムの膨張収縮挙動により層間絶縁樹脂にシワなどの変形が生じた場合、回路が短絡するなどして絶縁機能が悪化したり、回路を腐食させる原因になることがある。本発明によるポリエステルフィルムは、成形時に熱が加わった際の層間絶縁樹脂の寸法変化率と近しい値とすることにより、層間絶縁樹脂層変形を抑制することができるものである。

本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは電気絶縁用途に好適に用いることができ、半導体パッケージ基板用ビルドアップ基板へ、層間絶縁樹脂（電気絶縁樹脂）を積層する際に離型フィルムとして使用される。層間絶縁樹脂（電気絶縁樹脂）は、本発明の二軸配向ポリエステルフィルムに塗布され、固化された後、巻き取られ、次いで、真空ラミネーションする際に回路基板などの基材に転写される（（株）加工技術研究会編集企画「コンバーティング・テクノロジー便覧」（株）加工技術研究会、２００６年１２月１６日、ｐ．３１４〜３１８）。

ここで、層間絶縁樹脂（電気絶縁樹脂）とは、回路の絶縁に使用される樹脂であれば特に限定されるものではないが、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、ポリブタジエン樹脂、（メタ）アクリレート変性フェノール樹脂、シアネートエステル樹脂などが好適に用いられる。特に、本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは、電気絶縁樹脂としてエポキシ樹脂が用いられる電気絶縁用離型フィルムとして使用されることが好ましい。

本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは、任意の一方の方向（該方向をａ方向）およびａ方向に直交する方向（該方向をｂ方向）それぞれについて、２５℃で９．８ｍＮ／５ｍｍの張力をかけた時の長さをＸ１ａおよびＸ１ｂ、２５℃より１０℃／分で１８０℃まで昇温した後の長さをＸ２ａおよびＸ２ｂとした際、式１で求められる熱収縮率差が−０．３５％以上０．３５％以下であることが必要である。
熱収縮率差（％）＝｛（Ｘ２ａ−Ｘ１ａ）／Ｘ１ａ−（Ｘ２ｂ−Ｘ１ｂ）／Ｘ１ｂ｝×１００ （式１）
この温度である理由は、層間絶縁樹脂（電気絶縁樹脂）は製品使用時の耐熱性と製造時に硬化する際の生産性の点から１００℃程度にて溶媒を乾燥させ、１８０℃程度にて硬化させるためである。この特性を発現させるためには、二軸延伸後の幅方向弛緩を１１０〜１９０℃の温度領域、および７０〜１１０℃の温度領域で段階的に実施することで達成できる。弛緩にかける時間としては１〜１０秒であり、より好ましくは４〜８秒である。ａ方向とｂ方向について、熱収縮率差が上記範囲を下回る場合には、乾燥時に昇温する際、ａ方向のフィルムの収縮過多により層間絶縁樹脂にａ方向にシワなどの変形が生じてしまう。また、上記範囲を上回る場合には、ｂ方向のフィルムの収縮過多により層間絶縁樹脂にｂ方向にシワなどの変形が生じてしまう。

本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは、ａ方向およびｂ方向それぞれについて２５℃で９．８ｍＮ／５ｍｍの張力をかけた時の長さをＸ１ａおよびＸ１ｂ、２５℃より１０℃／分で１８０℃まで昇温する過程での長さの最大値をＸ３ａおよびＸ３ｂとした際、式２および式３で求められる最大膨張率がａ方向で−０．１０％以上０．１０％以下、ｂ方向で０．１０％以上０．５０％以下である必要がある。この特性を発現させるためには、二軸延伸後の幅方向弛緩を１１０〜１９０℃の温度領域、および７０〜１１０℃の温度領域で段階的に実施することで達成できる。弛緩にかける時間としては１〜１０秒であり、より好ましくは４〜８秒である。
最大膨張率（％）＝（Ｘ３ａ−Ｘ１ａ）／Ｘ１ａ×１００ （式２）
最大膨張率（％）＝（Ｘ３ｂ−Ｘ１ｂ）／Ｘ１ｂ×１００ （式３）
最大膨張率が上記範囲を外れる場合、層間絶縁樹脂とフィルムそれぞれの膨張収縮の挙動で差が生じ、層間絶縁樹脂の平面性が失われてしまう。

本発明の二軸配向ポリエステルフィルムにおいて、二軸配向の意味は、未延伸（未配向）フィルムを、常法により、二次元方向に延伸された状態をいい、延伸は逐次二軸延伸または同時二軸延伸の何れの方法も採ることができる。

本発明の二軸配向ポリエステルフィルムに用いるポリエステル樹脂とはエステル結合によって多価、多くは二価、の有機基が連結された高分子であり、二価のカルボン酸と二価のジオールが重縮合したものが代表的なものである。かかる成分としては、例えば、カルボン酸成分として、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、ナフタレンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、デカンジカルボン酸等の脂肪族ジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸等の脂環族ジカルボン酸、さらには比較的少量のトリメット酸などのトリカルボン酸等を用いることができ、ジオール成分として、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、１，４−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、シクロヘキサンジメタノール、ポリテトラメチレングリコールなどを用いることができる。また、本発明の目的を損なわない範囲において、３価以上のカルボン酸成分若しくはアルコール成分、あるいは、ヒドロキシカルボン酸成分を用いることは差し支えない。また、本発明の目的を損なわない範囲において、ポリエステル以外の樹脂が相溶し、あるいは、本発明に用いるポリエステルにおいて他の繰り返し単位が共重合されていても良い。

代表的なポリエステル樹脂である、ポリエチレンテレフタレートの製造は、テレフタル酸など上記酸成分とエチレングリコールなど上記アルコール成分を原料とする直接重合法（直重法）、またはテレフタル酸ジメチル（ＤＭＴ）など上記の酸成分とメタノールなどの低分子アルコールとのカルボン酸エステルと、エチレングリコールなど上記アルコールなどを原料とするＤＭＴ法のいずれであっても良い。ＤＭＴ法の場合のエステル交換触媒としては、例えば、カルシウム、リチウム、マンガン、亜鉛、チタン等の金属の酸化物、塩若しくは錯体を用いることができる。また、ＤＭＴ法または直重法の場合の重合触媒としては、３酸化アンチモン等のアンチモン化合物、非晶質ゲルマニウム等のゲルマニウム化合物、テトラブチルチタネートなどのチタン化合物を用いることができる。エステル交換触媒や重合触媒は上記化合物に限定されるものでなく、既知の触媒系を用いて、本発明の原料であるポリエステル樹脂を得ることができる。

本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは原料として固有粘度を上げたポリエステル樹脂を好ましく用いることができ、フィルムとしたときの固有粘度としては、０．５５以上であることが好ましい。固有粘度が０．５５未満ではポリエステル樹脂に含有されるオリゴマ量が多くなる傾向があり、厳しい条件での使用に向かないことがある。上限としては特に制限はないが、固有粘度が０．６５を超えると製膜性に困難を伴うこともあるので、０．６５以下で使用することが望ましい。

本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは、少なくとも２層以上のポリエステル層からなることが好ましい。積層の手段としてはピノール、マルチマニホールドダイ等により合流させてＴダイより押し出す共押出法、単膜で作製したシートにＴダイより押し出しながらラミネートする溶融ラミネート法等を用いることができる。

本発明の二軸配向ポリエステルフィルムが２層以上の積層構成を有する場合、両最表層のうち、単位体積あたりの粒子数が多い最表層を層Ａもう一方の最表層を層Ｂとしたとき、層Ａ、層Ｂの間に、層Ａあるいは層Ｂを構成するポリエステル組成物とは、ポリエステルの種類または粒子が含まれないもしくは含まれる粒子の種類が異なるポリエステル若しくはポリエステル組成物からなる層が設けられたものであっても良い。

本発明の二軸配向ポリエステルフィルムの厚みは、２５μｍ以上５５μｍ以下である。２５μｍより薄いフィルムでは加工温度、加工張力に耐えきれずに破断を起こすなど機械的な工程適性を満たすことができず、５５μｍより厚いフィルムではコスト、廃棄時の環境負荷が高くなるためである。好ましくは３０μｍ以上４０μｍ以下である。

本発明において、層Ａないし層Ｂに含有される粒子としては、有機粒子、無機粒子の何れでも特に差し支えはなく、層Ａと層Ｂとで含有される粒子として種類あるいは粒径等において同一でも異なっていても良い。また、二種以上の粒子が用いられても良い。粒子としては、例えば、球状シリカ、ケイ酸アルミニウム、二酸化チタン、炭酸カルシウムなどの無機粒子、またその他有機系高分子粒子としては、架橋ポリスチレン樹脂粒子、架橋シリコーン樹脂粒子、架橋アクリル樹脂粒子、架橋スチレン−アクリル樹脂粒子、架橋ポリエステル粒子、ポリイミド粒子、メラミン樹脂粒子等の外部添加粒子が好ましく、内部粒子（ポリエステル重合反応時に添加する触媒等によって析出する粒子）や塗布等による手段での粒子付与であっても良い。また、必要に応じて濾過などを行うことにより、凝集粒子や粗大粒子などを除去することが好ましい。中でも、乳化重合法で等で合成された、架橋ポリスチレン樹脂粒子、架橋シリコーン樹脂粒子、架橋アクリル樹脂粒子が好適に使用できるが、とくに架橋ポリスチレン粒子、架橋シリコーン、さらに球状シリカなどは真球に近く、粒径分布が極めて均一であることから、好適に用いることができる。さらに、これらの粒子については界面活性剤などによる表面処理を施すことにより、ポリエステルとの親和性の改善を図ることが可能である。

本発明における二軸配向ポリエステルフィルムの層Ｂ側表面の中心線平均粗さＳＲａは５〜２５ｎｍ、十点平均粗さＳＲｚが１００〜４００ｎｍであることが好ましい。係る範囲とすることにより、平滑さが保たれ、層間絶縁樹脂におけるフィルム表面起因の欠陥を抑制することができる。

本発明における二軸配向ポリエステルフィルムの層Ａ側表面の中心線平均粗さＳＲａが２５〜４５ｎｍ、十点平均粗さＳＲｚ（Ａ）が６００〜１０００ｎｍであることが好ましい。また、面粗さを前述の範囲とすることによって、加工中のフィルムの搬送特性（ロールとの摩擦特性）を担保することができる。

フィルム表面の中心線粗さ、十点平均粗さを上記範囲とするためには、フィルムに平均粒径が０．０１μｍ以上８μｍ以下の粒子を添加することが好ましい。より好ましくは、平均粒径が０．１０μｍ以上５μｍ以下である。粒子が０．０１μm以下では面粗さへの寄与が少なく、８μｍ以上の粒子では前述の面粗さを実現することが困難となるためである。

ポリエステルに粒子を添加する方法としては、例えばジオール成分であるエチレングリコールに粒子を所定割合にてスラリーの形で分散させ、このエチレングリコールスラリーをポリエステル重合完結前の任意段階で添加する。ここで、粒子を添加する際には、例えば、粒子を合成時に得られる水ゾルやアルコールゾルを一旦乾燥させることなく添加すると粒子の分散性が良好であり、粗大突起の発生を抑制でき好ましい。また粒子の水スラリーを直接、所定のポリエステルペレットと混合し、ベント方式の２軸混練押出機に供給しポリエステルに練り込む方法も有効である。

以下、本発明のフィルムを製造するための方法を例をあげて図１を用いて説明する。
まず、ポリエステル樹脂チップを、必要に応じて適宜混合した後、図１の真空乾燥機１により、チップ中の水分を除去する。その後原料ホッパー２に貯蔵して、押出機３で溶融して押し出す。その後フィルター４で濾過を行う。

本発明の二軸配向ポリエステルフィルムでは、離型フィルムとして使用したときにフィルム上に形成された層間絶縁樹脂などの転写目的物の層（以下、係る層を成形層と称する）の表面欠落を抑制するために、フィルム内部異物が少ないことが望ましい。フィルム中において１００μｍ以上の物が１００ｃｍ^２当たり２個以内であることが好ましく、更には、実質的に含まないことが好ましい。

このようなフィルムを得るには、濾過精度１〜２０μｍのフィルターを用いて溶融ポリマーを濾過して押し出すことが必要である。濾過寿命をある程度の期間とし、粗大突起や内部異物の発生を抑制するためには、絶対濾過精度３〜１０μｍのフィルターを用いることが更に好ましい。

濾過後の溶融状態の樹脂を、スリット状のダイ５から出してシート状に成形する。このシート状物を、表面温度２０〜５０℃のキャスティングドラム６に巻き付けて冷却固化し未延伸（未配向）フィルムとする。

この未延伸フィルムを、縦延伸機７にて、７０〜１３０℃に加熱し、ロール間の周速差により倍率が２．５〜５倍になるように１段階もしくは多段階で長手方向に延伸し、一軸延伸（一軸配向）フィルムを得る。

かかる長手方向に延伸された一軸延伸フィルムを、横延伸機（ステンタ）８にて、８０℃〜１２０℃で３〜６倍に幅方向に延伸し、二軸延伸（二軸配向）フィルムとする。延伸後、１８０℃〜２５０℃にて１〜２０秒間熱処理を行った。
次に、本発明のフィルムは段階的に弛緩を行う。１段階目で１００〜１９０℃の温度にて幅方向に０．５〜２％の弛緩した後、２段階目で７０〜１１０℃の温度にて幅方向に０．５〜２％弛緩処理させる。より好ましくは１段階目で１００〜１９０℃にて幅方向に０．７〜１．３％、２段階目で７０〜１１０℃にて幅方向に０．７〜１．３％弛緩処理させる。弛緩にかける時間としては１〜１０秒であり、より好ましくは４〜８秒である。

幅方向に延伸をしたフィルムは、渡り搬送装置９で冷却させたのち巻き取り、中間製品１０を得る。中間製品１０は、スリット工程にて適切な幅にスリットして巻き取り、本発明の二軸配向ポリエステルフィルムが得られる。

次に実施例に基づき、本発明の実施態様をより具体的に説明する。

本発明で規定する特性値の測定方法と評価方法を以下に述べる。

（１）熱収縮率
ポリエステルフィルムを幅１ｃｍ、長さ１５ｃｍの短冊状に切りだし、長さ方向の両端からそれぞれ２．５ｃｍ内側に幅方向と平行な線を引き、２本の平行線間の距離Ｌ０を正確に測定した。次いでその短冊状サンプルを所定温度の熱風オーブン中にて３０分間熱処理し、冷却後、２本の平行線間の距離Ｌ１を正確に測定した。処理前の寸法と処理後の寸法から下記式にて熱収縮率（％）を求めた。
熱収縮率（％）＝（Ｌ０−Ｌ１）／Ｌ０×１００
なお、測定はａ方向及びｂ方向それぞれについて、各１０サンプル測定を実施し、それぞれの平均値をもってａ方向の熱収縮率、ｂ方向の熱収縮率とした。
また、上記所定温度は、１００℃ないし１８０℃とした。

（２）熱機械挙動
ポリエステルフィルムから、ａ方向及びｂ方向に幅５ｍｍ、長さ４０ｍｍの短冊状サンプルを切り出し、熱機械分析装置（真空理工（株）製ＴＭＡ ＴＭ−３０００）を用いて、荷重９．８ｍＮ／５ｍｍ、サンプル長１５ｍｍ、下記昇温パターンの条件で測定を行った。
昇温パターン （あ）２５℃→１８０℃（１０℃／分）
上記昇温パターンのうち、（あ）の工程開始前のサンプル長さをＸ１ａおよびＸ１ｂ、（あ）の工程終了時点でのサンプル長さをＸ２ａおよびＸ２ｂ、（あ）の過程での最大長さをＸ３ａおよびＸ３ｂとしたとき、熱収縮率差と最大膨張率を下記の通り求めた。
熱収縮率差（％）＝｛（Ｘ２ａ−Ｘ１ａ）／Ｘ１ａ−（Ｘ２ｂ−Ｘ１ｂ）／Ｘ１ｂ｝×１００
最大膨張率（ａ方向）（％）＝（Ｘ３ａ−Ｘ１ａ）／Ｘ１ａ×１００
最大膨張率（ｂ方向）（％）＝（Ｘ３ｂ−Ｘ１ｂ）／Ｘ１ｂ×１００
（３）加工適性
本発明の二軸配向ポリエステルフィルムに層間絶縁樹脂層を塗布し、１００℃程度にて溶媒を乾燥させ、１８０℃程度にて硬化させるときのシワの発生有無を下記の基準により判定した。なお、評価結果は◎が最も優れており、○以上を合格、×を不合格とした。
◎：シワの発生なく良好。
○：シワの発生はあるが、加工上は問題なし。
×：シワが発生し、加工が困難（生産適用不可）。

（実施例１）
平均粒径０．３μmのジビニルベンゼン／スチレン共重合架橋粒子を０．２０質量％、平均粒径１．０５μｍの炭酸カルシウムを０．５０質量％含有するポリエステルＡ及び、０．３μmのジビニルベンゼン／スチレン共重合架橋粒子を０．１０質量％含有するポリエステルＢをそれぞれ１６０℃で８時間減圧乾燥した後、別々の押出機に供給し、２７５℃で溶融押出して５μｍ以上の捕集率９５％のフィルターで高精度濾過した後、矩形の合流ブロックで合流積層し、ポリエステルＡによる層／ポリエステルＢによる層からなる２層積層とした。その後、２８５℃に保ったスリットダイを介し冷却ロール上に静電印可キャスト法を用いて表面温度２５℃のキャスティングドラムに巻き付け冷却固化して未延伸積層フィルムを得た。

この未延伸フィルムを長手方向に３．８倍延伸した。さらに、引き続いてテンターにて１１５℃の熱風下で幅方向に３．９倍延伸後、定長下、熱処理温度２３０℃で４秒間熱処理し、その後、１段階目で弛緩温度１１０℃で幅方向に０．９％、２段階目に弛緩温度７０℃で幅方向に弛緩率１．１％、計５秒間弛緩処理を施した。その後、渡り搬送装置で冷却させたのち巻き取り、ポリエステルＡによる層の厚み３５．０μｍ、ポリエステルＢによる層の厚み３．０μｍ、総厚み３８μｍの二軸配向積層ポリエステルフィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表１に示した。本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは、熱収縮率、膨張率が所望の範囲となり、特性に優れるものであった。

（実施例２〜３）
熱処理後の幅方向の弛緩率を表１に記載のように変更する以外は実施例１と同様にして二軸配向積層ポリエステルフィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表１に示した。本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは実施例１同様に、熱収縮率、膨張率が所望の範囲となり、特性に優れるものであった。

（比較例１〜３）
熱処理後の幅方向の弛緩率を表１に記載のように変更する以外は実施例１と同様にして二軸配向積層ポリエステルフィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表１に示した。しかし、このように本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは実施例１にくらべそれぞれ、熱収縮率、膨張率が所望の範囲から外れ、特性に劣るものであった。

本発明の二軸配向ポリエステルフィルムは、良好な熱収縮率、膨張率を有するため、たとえば層間絶縁樹脂支持体用に好適に用いることができる。

１：真空乾燥機
２：原料ホッパー
３：押出機
４：フィルター
５：ダイ
６：キャスティングドラム
７：縦延伸機
８：横延伸機
９：渡り搬送装置
１０：中間製品

Claims (5)

1. 任意の一方の方向（該方向をａ方向）およびａ方向に直交する方向（該方向をｂ方向）それぞれについて、２５℃で９．８ｍＮ／５ｍｍの張力をかけた時の長さをＸ１ａおよびＸ１ｂ、２５℃より１０℃／分で１８０℃まで昇温した後の長さをＸ２ａおよびＸ２ｂとした際、式１で求められる熱収縮率差が−０．３５％以上０．３５％以下である、二軸配向ポリエステルフィルム。
   熱収縮率差（％）＝｛（Ｘ２ａ−Ｘ１ａ）／Ｘ１ａ−（Ｘ２ｂ−Ｘ１ｂ）／Ｘ１ｂ｝×１００ （式１）
2. 前記ａ方向およびｂ方向について、２５℃で９．８ｍＮ／５ｍｍの張力をかけた時の長さをＸ１ａおよびＸ１ｂ、２５℃より１０℃／分で１８０℃まで昇温する過程での長さの最大値をＸ３ａおよびＸ３ｂとした際、式２および式３で求められる最大膨張率がａ方向で−０．１０％以上０．１０％以下、ｂ方向で０．１０％以上０．５０％以下である、請求項１に記載の二軸配向ポリエステルフィルム。
   最大膨張率（％）＝（Ｘ３ａ−Ｘ１ａ）／Ｘ１ａ×１００ （式２）
   最大膨張率（％）＝（Ｘ３ｂ−Ｘ１ｂ）／Ｘ１ｂ×１００ （式３）
3. １００℃にて３０分保持時の熱収縮率が前記ａ方向で０．５％以上１．０％以下、ｂ方向で−０．５％以上０．０％以下であり、１８０℃にて３０分保持時の熱収縮率がａ方向で２．５％以上３．０％以下、ｂ方向で２．３％以上３．０％以下である、請求項１または２に記載の二軸配向ポリエステルフィルム。
4. ２層以上の積層構造を有する、請求項１〜３のいずれかに記載の二軸配向ポリエステルフィルム。
5. 層間絶縁樹脂支持体用として使用される、請求項１〜４のいずれかに記載の二軸配向ポリエステルフィルム。

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