KR0167000B1 - 연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프 휠 - Google Patents

연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프 휠 Download PDF

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KR0167000B1
KR0167000B1 KR1019940702271A KR19940702271A KR0167000B1 KR 0167000 B1 KR0167000 B1 KR 0167000B1 KR 1019940702271 A KR1019940702271 A KR 1019940702271A KR 19940702271 A KR19940702271 A KR 19940702271A KR 0167000 B1 KR0167000 B1 KR 0167000B1
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슈지 가와사키
가부시키가이샤 비비에프 야마테
오카 이치노스케
아사히 텍 가부시키가이샤
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B29/00Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents

Abstract

회전 비프 휠(12)에 의해 가공물(W)을 연마하는 방법에서 연마제(B)는 연마되는 가공물(W)의 표면과 버프 휠(12)의 연마 표면(121) 사이에 공급되고, 연마되는 가공물(W)의 표면이 연마되는 한편 버프 휠(12)의 연마 표면은 연마되는 가공물(W)의 표면에 대하여 전후진 운동한다.

Description

[발명의 명칭]
연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프 휠
[도면의 간단한 설명]
제1도는 본 발명의 연마 장치의 사시도.
제2도는 연마 휠의 부분 단면 사시도.
제3도는 다른 실시예의 사시도.
제4도는 연마 휠의 다른 실시예의 부분 단면 사시도.
제5도는 본 발명의 연마 장치의 다른 실시예의 전개도면.
제6도는 본 발명의 연마 장치의 다른 실시예의 사시도.
제7도는 제6도에 도시된 것과 유사한 다른 실시예의 평면도.
제8도는 제7도에 도시된 것과 유사한 다른 실시예의 평면도.
[발명의 분야]
본 발명은 버프 휠을 사용하는 연마 방법, 그 장치 및 그 연마용 버프 휠에 관한 것이다.
[발명의 배경]
버프 휠을 사용하는 종래의 연마 장치로, 가공물의 표면이 로타리 구동 수단에 의해 회전되는 버프 휠에 의해 연마되면서 한편 연마제가 공급된다.
상기한 바와같은 종래의 연마장치는 하지만 단점을 가지고 있는데; 버프 휠의 연마표면이 연마되는 가공물의 표면과 항상 접촉되지 않으므로, 연마제는 버프 휠의 연마표면과 연마되는 가공물의 표면 사이의 갭에 충분히 들어갈 수 없으며, 가공물이 충분히 연마될 수 없다.
더욱이, 종래의 버프 휠이 단일 몸체이므로 적절한 휠이 연마목적에 따라 선택되어야 하므로 작업효율의 개선에 어려움이 따른다.
종래의 연마 장치의 다른 단점은 단지 하나의 버프 휠이 연마 장치에 구비되므로, 버프 휠의 회전방향은 가공물이 정상 및 역전 양방향으로 연마되므로 변경된다.
더욱이, 종래의 연마 장치의 버프 휠의 연마 표면은 연마되는 가공물의 표면과 일정하게 접촉되지 않으므로, 연마제는 연마되는 가공물의 표면과 버프 휠의 연마 표면사이의 갭에 충분히 들어갈 수 없고, 연마는 균일하게 될 수 없다. 결과적으로, 연마되는 가공물의 표면을 연마하는 것은 효과적으로 이루어질 수 없다.
종래의 연마 장치의 다른 단점은 연마제가 단순히 공급되므로, 연마제의 기능이 충분히 이용될 수 없다.
본 발명의 제1목적은 연마되는 가공물의 표면을 효과적으로 연마하기 위한 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 제2목적은 정상 및 역전 양방향으로 연마되는 가공물의 표면을 연마할 수 있는 연마장치를 제공하는데 있다. 본 발명의 제3목적은 연마되는 가공물의 표면을 균일한 표면 상태로 용이하게 연마할 수 있는 연마 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 제4목적은 연마제가 완전히 기능할 수 있는 연마 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 제5목적은 연마의 목적에 따라서 휠 교체가 필요치 않는 버프 휠을 제공하는데 있다.
[발명의 개시]
제1목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 연마 방법은 연마되는 가공물의 표면과 버프 휠의 연마 표면 사이의 갭에 연마제가 용이하게 들어가게 하는데; 연마방법에서 가공물은 회전하는 버프 휠의 연마 표면에 의해 연마되는 한편, 연마제는 갭 사이에 공급되고 버프 휠의 연마 표면은 연마되는 가공물의 표면을 따라 움직인다.
제1목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 연마 장치는 상기한 연마 방법을 수행하는 것을 용이하게 하는데; 회전 구동 수단에 의해 버프 휠을 회전시키고 버프 휠의 연마표면에 의해 연마되는 가공물의 표면을 연마하는 버프 휠과 로타리 구동 수단으로 구비된 연마 장치에서, 버프 휠의 연마 표면은 연마되는 가공물의 표면을 따라 움직일 수 있다.
제2목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 연마 장치는 2개의 버프 휠에 의해 반대방향으로 연마되는 가공물의 표면을 연마할 수 있게 하고 가공물은 연마되는 가공물의 표면의 중앙에 대하여 회전되고; 적절한 수단에 의해 회전되는 버프 휠로 구비된 연마장치에서, 연마되는 표면의 중앙축선에 대하여 회전하기 위한 가공물 세트로 버프 휠의 바닥 표면에 의해 표면을 연마하고, 한쌍의 버프 휠은 채용되고 그리고 서로 반대방향으로 이들의 축선에 대해 회전하고; 또는 적절한 수단에 의해 회전되는 버프 휠로 구비된 연마 장치에서, 연마되는 표면의 중앙축선에 대해 회전하기 위한 가공물 세트로, 버프 휠의 바닥 표면에 의해 표면을 연마하고, 한쌍의 버프 휠이 채용되고, 하나의 버프 휠이 가공물의 회전과 동일방향으로 회전하며 연마되는 표면과 접촉되는 한편, 다른 버프 휠은 반대방향으로 회전되고 그리고 연마되는 표면과 접촉된다.
제3목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 연마 방법은 연마제가 버프 휠의 연마표면과 연마되는 가공물의 표면 사이에 연마 공정동안 갭에 매끄럽게 들어가게 하고 간단한 기구로 표면을 균일하게 연마할 수 있게 촉진하며; 연마방법에서 가공물을 회전버프 휠의 연마 표면에 의해 연마되는 한편 연마제는 갭 사이에 공급되고 연마가 수행되는 한편 버프 휠의 회전 축선은 연마되는 가공물의 표면을 따라 진동되거나 요동된다.
제3목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 연마 장치는 연마제가 연마 공정동안 연마되는 가공물의 표면과 버프 휠의 연마 표면 사이에서 매끄럽게 들어가게 하고 간단한 기구로 표면을 균일하게 연마하도록 촉진하고; 버프 휠의 연마 표면에 의해 연마되는 가공물의 표면을 연마하도록 로타리 구동 수단에 의해 회전되는 버프 휠과 로타리 구동 수단으로 구비된 연마 장치에서, 버프의 로타리 축은 연마되는 가공물의 표면을 따라 진동될 수 있다.
제4목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 연마 방법은 연마제의 기능을 효과적으로 이용할 수 있게 하는데; 연마 방법에서 가공물은 회전하는 버프 휠의 연마 표면에 의해 연마되는 한편 연마제는 연마되는 가공물의 표면과 버프 휠의 연마 표면 사이의 갭으로 공급되고, 연마제는 가열되면서 공급되거나 또는 가공물은 연마전에 가열된다.
제5목적을 달성하기 위해서, 본 밥명의 연마장치는 연마제의 기능을 효과적으로 이용할 수 있게 하는데; 연마장치에서 가공물은 회전하는 버프 휠의 연마표면에 의해 연마되는 한편 연마제는 연마되는 가공물의 표면과 버프 휠의 연마표면사이의 갭내로 공급되고, 연마제를 위한 가열수단을 갖춘 저장소가 채용되거나, 또는 가공물을 가열하기 위한 가열수단이 채용된다.
제5목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 버프 휠은 탄성디스크몸체, 탄성디스크몸체의 중앙내에 탈착가능하게 끼워진 보스, 그리고 디스크 몸체의 외주 표면상에 탈착가능하게 위치한 연마쉬트로 구성되어, 탄성몸체와 연마쉬트는 연마목적에 따라 선택될 수 있다.
[발명의 바람직한 실시예]
본 발명은 첨부도면을 참조하여 실시예로서 습식 연마 방법을 상세히 설명할 것이다.
제1도는 전기모터와 같은 구동원으로 구비된 로타리 구동 장치(1)를 도시하고 있다. 로타리 축(11)은 구동원(1) 상에 구비되고 상기한 모터 등의 동력에 의해 그 축선에 대해 회전한다. 로타리 축(11)은 적절한 수단에 의해 축선방향을 따라 원근운동할 수 있다. 버프 휠(12)은 로타리 축(11)의 끝에 체결되어 있다. 버프 휠(12)은 한끝에 위치한 연마표면(121)에 의해 가공물(W)을 연마하도록 회전한다.
로타리 축(11)이 여기에서 축선방향으로 원근운동하면, 갭이 연마표면(121)과 가공물(W)사이에 산출되어 액체 연마제, 분말연마제 또는 반축연마제가 용이하게 갭으로 들어간다.
제2도에서, 휠(12)의 보스부재(15)는 알루미늄으로 만들어져 있고 휠(12)은 보스부재(15)를 통하여 로타리 구동장치(1)의 로타리 축(11)에 체결되어 있다. 탄성 디스크몸체(16)은 보스부재(15) 위에 탈착가능하게 고정되고 보스부재(15)를 넘어 돌출한 한쪽에 스폰지 재질로 만들어져 있다. 연마 쉬트(17)는 벨크로(Velcro) 등에 의해 보조 탄성 몸체(18)를 통해 탄성 디스크 몸체(16)의 돌출한 한쪽에 탈착가능하게 체결되어 있다. 연마 쉬트(17)는 펠트, 플라네, 가죽 등으로 만들어져 있고 가공물(W)을 연마하기 위한 표면(121)을 구성하고 있다. 한편 연마 쉬트(17)는 보조탄성 몸체(18)의 탄력이 탄성 디스크 몸체(16)의 그것보다 작게 만들어지면 연마되는 가공물(W)의 표면에 더욱 용이하게 일치된다. 더욱이, 보조 탄성 몸체(18)가 연마쉬트(17)에 체결되고 탄성 디스크 몸체(16)상에 탈착가능하게 장치되어 있으면, 보조탄성 몸체(18)는 적절히 교체될 수 있다.
더욱이, 보조 탄성 몸체(18)가 연마 쉬트(17)에 체결되고 탄성 디스크 몸체(16)에 탈착가능하게 배치되면 보조탄성몸체(18)는 적절히 교체될 수 있어서 버프 휠(12) 자체의 탄력은 연마 목적에 따라 용이하게 조절될 수 있다.
제3도는 다른 실시예를 도시하고 있는데, 여기에서 연마 표면(121)은 버프 휠(12)의 원주면상에 구비되고, 로타리 축(11)의 축선은 적절한 수단에 의해 가공물(W)로부터 분리 또는 접촉된다.
제4도는 도시된 바와 같이 본 실시예의 버프 휠(12)은 보조 탄성 몸체(18)를 통해 연마 탄성 쉬트(17)를 탈착가능하게 주위에 장치한 탄성 디스크 몸체(16)를 분리가능하게 주위에 장착한 중앙 면적에 보스부재(15)로 구비되어 있다. 탄성 디스크 몸체(16)와 연마 탄성 쉬트(17) 사이에 탄력값과 재질의 상호관계는 이전 실시예와 유사하다.
제5도는 본 발명의 다른 실시예를 도시한다. 제5도에서, 축선상에 구비된 지지축(71)을 갖춘 지지테이블(7)은 적절한 수단에 의해 지지축(71)에 대하여 화살표방향으로 회전한다. 디스크형의 가공물(W)은 지지테이블(7)상에 위치한다. 가공물(W)의 상부 표면은 연마된다.
제1로터리 구동장치(1)는 전기모터와 같은 구동원으로 구비된다. 로타리 축(11)은 로타리 구동장치(1)상에 구비되고 모터 등의 동력에 의해 축선에 대해 회전한다. 제1 버프 휠(12)은 로타리 축(11)의 끝에 체결되어 있다. 가공물(W)은 회전하는 버프 휠(12)의 바닥 표면인 연마 표면(121)에 의해 연마된다.
제2로타리 구동장치(2)는 전기모터와 같은 구동원으로 유사하게 구비되어 있다. 로타리축(21)은 로타리 구동장치(2) 상에 구비되고 모터 등의 동력에 의해 축선에 대하여 회전한다. 제2 버프 휠(22)은 로타리 축(21)의 끝에 체결된다. 가공물(W)은 회전하는 버프 휠(22)의 바닥 표면인 연마 표면(221)에 의해 연마된다.
제1 및 제2 버프 휠(12, 22)이 서로 반대방향으로 회전하므로, 연마되는 가공물(W)의 표면은 서로 반대방향으로 연마된다.
제5도에서, 연마제를 위한 팬(4)은 지지테이블(7) 아래에 위치하여 연마되는 가공물(W)의 표면으로부터 방출되는 연마제 (연마 입자를 포함하는 연마 액체)를 모은다. 연마제 방출 파이프(41)는 연마제 팬(4) 상에 구비되어 스트레이너(411)를 통해 아래쪽으로 모인 연마제 (액체)를 방출한다. 연마제 (액체)에서 더 큰 크기의 연마된 입자는 제거되는 한편 스트레이너(411)를 통과한다.
연마제 저장소(5)는 연마제 팬(4) 아래에 위치하여 연마제 (액체)(B)를 유지하고 연마제 (액체)는 연마제 방출 파이프(41)를 통해 연마제 팬(4)으로부터 방출된다. 저장소(5) 내로 방출된 연마제 (액체)(B)는 펌프(P)의 기능에 의해 흐름 통로(51)를 통해 버프 휠(12,22)의 연마 표면(121,221)과 연마되는 가공물(W)의 표면 사이의 갭에 다시 공급된다. 다시 말해서, 연마제 (액체)(B)는 흐름 통로(51)등을 통해서 순환된다. 스트레이너(S)는 흐름 통로(51)에 구비되어 미소한 크기의 먼지를 제거한다.
전기 히터(6)가 연마제 저장소(5)에 구비되어 연마제 (액체)(B)를 가열한다. 연마제 (액체)(B)는 37℃ 내지 60℃로 바람직하게 가열되는데, 왜냐하면 온도가 37℃ 이라이면 연마제 (액체)(B)에서 대류가 일어나기 어렵고, 60℃ 이상이면 연마제는 연마되는 가공물(W)의 표면에 불어질때 건조되며 그러므로 연마제 (액체)(B)로서의 기능을 상실한다. 건식 연마 방법에서 사용되는 연마제 (고체 연마제)에서도 마찬가지이다.
모터(81)에 의해 구동되는 휘젓기 블레이드(8)와 공기방울 공급 파이프(9)는 연마제 저장소(5)에 구비되어 있다. 휘젓기 블레이드(8)는 회전하여 연마제 (액체)(B)를 휘젓는 한편 공기방울 공급 파이프(9)를 통해 연마제 (액체)(B)에 공급되는 공기방울은 연마제 (액체)(B)의 휘젓기를 돕는다.
연마액(B)을 37℃ 내지 60℃로 가열하는 이유는 연마제가 가공물(W)에 불어질 때 건조되는 것을 방지하는 한편, 연마액(B)에서 대류를 유지한다.
연마액(B)을 가열하는 대신, 가공물(W)을 가열할 수 있으며, 제위치에 고정한후 37℃ 내지 60℃의 온도로 더운 공기를 불어준다.
제6도는 다른 실시예를 도시하고 있는데, 여기에서 각각의 버프 휠(12,22)의 외주는 연마 표면으로서 사용된다. 이 경우에 제1 버프 휠(12)은 가공물(W)의 회전방향과 반대방향으로 회전하며 연마되는 가공물(W)의 표면과 접촉하는 한편, 제2 버프 휠(22)은 가공물(W)의 회전방향과 동일한 방향으로 회전되며 연마되는 가공물(W)의 표면과 접촉한다.
결과적으로, 연마되는 가공물(W)의 표면은 서로 반대방향으로 연마된다.
제7도는 상기한 실시예의 개량으로서 다른 실시예를 도시한다. 제7도에서, 제1로타리 구동장치(1)는 대략 중앙부분에서 진동센터(111)를 갖추고 있다. 제1로타리 구동장치(1)는 수평방향으로 적절한 수단(크랭크 기구, 랙과 피니언 등)을 통해 진동센터(111)의 양쪽으로 진동된다. 로타리 축(11)은 진동센터(111) 상에 위치한다. 로타리 축(11)의 축선상에 로타리 축(11)의 진동센터를 배열함으로써, 이러한 진동이 부드러워진다. 로타리 축(11)은 상기한 바와 같이 모터 등의 동력에 의해 그 축선에 대해 회전한다. 제1 버프 휠(12)은 로타리 축(11)의 끝에 체결되어 연마 표면(121)의 외주에 의해 가공물(W)을 연마한다. 제1로타리 구동장치(1)가 적절한 수단(크랭크 기구, 랙과 피니언 기구 등)을 통해 수평으로 진동할 때 버프 휠(12)은 제7도의 가상선으로 도시된 바와 같이 진동한다.
제1로타리 구동장치(1)와 유사하게 제2로타리 구동장치(2)는 전기모터와 같은 구동원으로 구비되어 있다. 진동센터(211)는 제2로타리 구동장치(2)의 대략 중앙부분에 위치해 있다. 제2로타리 구동장치(2)는 수평방향으로 적절한 수단(크랭크 기구, 랙과 피니언 등)을 통해 진동센터의 양쪽으로 진동한다. 로타리 축(21)은 진동센터(211)에 위치한다. 로타리 축(21)은 상기한 바와 같이 모터 등의 동력에 의해 축선에 대하여 회전한다. 제2버프 휠(22)은 로타리 축(21)의 끝에 체결되어 연마 표면(221) 외주에 의해 가공물(W)을 연마한다. 제2로타리 구동장치(2)가 적절한 수단(크랭크 기구, 랙과 피니언 등)을 통해서 수평으로 진동할 때, 버프 휠(22)은 제7도의 가상선으로 도시된 바와 같이 진동한다. 제2버프 휠(22)은 제1버프 휠(12)의 회전방향과 반대방향으로 회전한다. 제2버프 휠(22)의 진동방향은 제1버프 휠(12)의 진동방향과 동일하거나 반대이다.
제8도는 상기한 실시예를 근거로 개량된 다른 실시예인데 여기에서 제1로타리 구동장치(1)와 함께 로터리 축(11)은 축선과 법선방향으로 왕복운동할 수 있게 장치되어 있고 (화살표 방향 참조) 제1버프 휠(12)은 동일방향으로 운동할 수 있게 만들어져 있다. 이러한 왕복운동은 가공물(W) 또는 지지테이블(7)(제8도에서 1 점쇄선 참조)에 일반적으로 평행하게 이루어진다. 이러한 장치는 전체적인 가공물을 균일하게 연마할 수 있게 한다.
제2로타리 구동장치(2)는 왕복운동할 수 있게 제1로타리 구동장치(1)와 유사하게 장치되어 있다.
[발명의 효과]
상기한 바와 같이, 연마방법, 그 장치 및 연마용 버프 휠은 가공물을 연마하는 수단으로서 유익하며 한편 액체 연마제는 회전하는 버프 휠의 연마 표면과 연마되는 가공물의 표면 사이의 갭에 공급된다.

Claims (25)

  1. 가공물(W)이 로타리 구동수단(1)에 의해 회전하는 버프 휠(12)에 의해 연마되는 한편 연마제(B)가 버프 휠(12)의 연마 표면(121)과 연마되는 가공물(W)의 표면 사이의 갭에 공급되는 연마 방법에 있어서, 버프 휠(12)의 연마 표면(121)은 연마 되는 가공물(W)의 표면에 평행하게 왕복가능한 한편 연마가 수행되고, 그리고 가공물은 연마되는 표면의 중심축선에 대하여 회전가능한 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  2. 제1항에 있어서, 로타리 구동장치(1)와 함께 버프 휠(12)은 왕복운동 가능한 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  3. 버프 휠의 연마 표면(121)으로 가공물(W)을 연마하기 위해 버프 휠(12)과 로타리 구동수단(1)으로 구성된 한편 버프 휠(12)은 로타리 구동수단에 의해 회전하는 연마 장치에 있어서, 버프 휠(12)의 연마 표면(121)은 연마되는 가공물(W)의 표면에 평행하게 왕복운동 가능하고, 그리고 가공물을 지지하는 지지테이블은 연마되는 표면의 중심축선에 대하여 회전가능한 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  4. 제3항에 있어서, 장치는 연마제(B)를 위한 저장소로 더 구비되어 있고 저장소(5)는 가열수단으로 구비된 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  5. 제3항에 있어서, 로타리 구동장치(1)와 함께 버프 휠(12)은 왕복운동 가능한 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  6. 연마되는 표면을 갖춘 가공물(W)과, 버프 휠(12)의 바닥표면에 의해 연마되는 표면의 중앙에서 축선에 대하여 회전할 수 있도록 장치된 가공물(W)을 연마하기 위해 적절한 수단에 의해 회전되는 버프 휠(12)로 구성된 연마 장치에 있어서, 버프 휠(12)은 쌍으로 구비되어 있고, 버프 휠(12)은 서로 반대방향으로 각각 회전하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  7. 연마되는 표면을 갖춘 가공물(W)과, 버프 휠(12,22)의 외주표면에 의해 연마되는 표면의 중앙에서 축선에 대하여 회전할 수 있도록 장치된 가공물(W)을 연마하기 위해서 적절한 수단에 의해 회전되는 버프 휠(12)로 구성된 연마 장치에 있어서, 버프 휠(12,22)은 쌍으로 구비되어 있고, 버프 휠중의 하나(12)는 가공물(W)의 회전방향과 동일한 방향으로 회전하고 연마되는 가공물(W)의 표면과 접촉하는 한편 버프 휠중의 다른 하나(22)는 가공물(W)의 회전방향과 반대방향으로 회전하며 연마되는 가공물(W)의 표면과 접촉하는 것을 특징하는 연마 장치.
  8. 가공물(W)이 회전 버프 휠(12,22)에 의해 연마되는 한편 연마제(B)가 연마되는 가공물(W)의 표면과 버프 휠(12,22)의 연마표면과의 사이의 갭에 공급되는 연마방법에 있어서, 버프 휠(12,22)의 각각의 로타리 축(11,21)은 연마되는 가공물(W)의 표면을 따라 진동하는 한편 연마가 수행되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  9. 제8항에 있어서, 로타리 축(11,21)의 진동의 센터는 로타리 축(11,21)의 축선상에 배열되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  10. 제8항에 있어서, 로타리 축(11,21)은 그 축선에 법선 방향으로 왕복운동 가능하게 장치된 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  11. 로타리 구동수단(1,2)과, 로타리 구동수단(11,21)에 의해 회전되는 버프 휠(12,22)의 연마 표면에 의해 연마되는 가공물(W)의 표면을 연마하기 위한 버프 휠(12,22)로 구성된 연마 장치에 있어서, 버프 휠(12,22)의 로타리 축(11,21)은 연마되는 가공물(W)의 표면을 따라 진동할 수 있게 만들어진 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  12. 제11항에 있어서, 로타리 축(11,21)의 진동의 센터는 로타리 축(11,21)의 축선상에 배열되는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  13. 제11항에 있어서, 로타리 축(11,21)은 로타리 축(11,21)의 축선에 법선방향으로 왕복운동 가능하게 장치된 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  14. 제11항에 있어서, 장치는 연마제(B)를 위한 저장소(5)로 구성되어 있고 저장소(5)는 가열수단으로 구비된 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  15. 가공물(W)이 회전 버프 휠(12,22)에 의해 연마되는 한편 연마제(B)는 연마되는 가공물(W)의 표면과 버프 휠(12,22)의 연마표면(121,221) 사이의 갭에 공급되는 연마방법에 있어서, 가공물(W)이 연마되는 한편 연마제(B)가 가열되는 것을 특징으로 어떠는 연마 방법.
  16. 제15항에 있어서, 연마제(B)는 37℃ 내지 60℃의 온도범위로 가열되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  17. 가공물(W)이 회전 버프 휠(12,22)에 의해 연마되는 한편 연마제(B)가 연마되는 가공물(W)의 표면과 버프 휠(12,22)의 연마표면(121,221) 사이의 갭에 공급되는 연마 장치에 있어서, 장치는 연마제(B)를 위한 저장소(5)로 구성되어 있으며 저장소(5)는 가열수단으로 구비된 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  18. 보스부재(15)가 탄성 디스크 몸체(16)의 축선 중앙부분에 탈착가능하게 장치되어 있고 그리고 탈착가능한 연마 쉬트(17)는 디스크 몸체(16)의 외주 표면상에 구비된 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
  19. 제18항에 있어서, 보조 탄성 몸체(18)가 탄성 디스크 몸체(16)와 연마 쉬트(17) 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
  20. 제19항에 있어서, 보조 탄성 몸체(18)의 탄력은 탄성 디스크 몸체(16)의 탄력보다 작게 만들어진 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
  21. 제18항 또는 제20항에 있어서, 보조 탄성 몸체(18)는 연마 쉬트(17)에 체결되고 있고 보조 탄성 몸체(18)는 탄성 디스크 몸체(16)상에 탈착가능하게 배치된 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
  22. 보스부재(15)가 탄성 디스크 몸체(16)의 축선 중앙부분에 탈착가능하게 장치되어 있고 디스크 몸체(16)의 한쪽 표면은 보스부재(15)를 넘어 돌출하도록 만들어져 있으며 디스크 몸체(16)의 돌출한 한쪽 표면은 탈착가능한 연마쉬트(17)로 구비된 것을 특징으로 하는 연마용 버프 휠.
  23. 제22항에 있어서, 보조 탄성 몸체(18)가 탄성 디스크 몸체(16)와 연마 쉬트(17)사이에 배치된 것을 특징으로 하는 연마용 버프 휠.
  24. 제23항에 있어서, 보조 탄성 몸체(18)의 탄력은 탄성 디스크 몸체(16)의 탄력보다 작게 만들어진 것을 특징으로 하는 연마용 버프 휠.
  25. 제22항 또는 제24항에 있어서, 보조 탄성 몸체(18)는 연마 쉬트(17)에 체결되어 있고 보조 탄성 몸체(18)는 탄성 디스크 몸체(16)상에 탈착가능하게 배치된 것을 특징으로 하는 연마용 버프 휠.
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